JP4768473B2 - 電鋳用型の製造方法及びこれにより製造される液体吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents

Description

本発明は、電鋳用型の製造方法及びこれにより製造される液体吐出ヘッド、画像形成装置に関するものであり、特に、逆テーパー形状を有する液体吐出ヘッドのノズルを形成するための電鋳用型の製造方法に関する。

従来からある画像形成装置として、多数の液体吐出ノズルを配置させたインクジェットプリンタヘッド（液体吐出ヘッド）を有し、このインクジェットヘッドと記録媒体とを相対的に移動させながら、ノズルから記録媒体に向けてインク（液体）を吐出することにより記録媒体上に画像を記録するインクジェットプリンタ（インクジェット記録装置）が知られている。

このようなインクジェットプリンタのインクジェットヘッドは、たとえばインクタンクからインク供給路を介してインクが供給される圧力室と、画像データに応じた電気信号によって駆動される圧電素子と、圧電素子の駆動によって変形する圧力室の一部を構成する振動板と、振動板の変形によって圧力室の容積が減少することにより圧力室内のインクが液滴として吐出される圧力室に連通するノズルを含む圧力発生ユニットを有している。そして、インクジェットプリンタにおいては、圧力発生ユニットのノズルから吐出されたインクによって形成されるドットを組み合わせることによって記録媒体上に１つの画像が形成される。

ノズル形状及び吐出口径の精度等がインク滴の噴射性能に影響を与えることは、従来から知られており、ノズル形状や吐出口径の精度等が不均一であると、インクの吐出方向が曲げられたり、インク滴の大きさにばらつきが生じたり、インクの飛翔速度等が不安定になり、記録媒体上に良好な画像を形成することができない。

ノズル形状がインク吐出方向に対して、単純にストレート形状のみで構成されていると、インクメニスカス位置が安定せず、インク吐出方向にバラツキが発生し、インク流入口径とインク吐出口径とが同一であることから、高精細な印字を行うために吐出口径を小さくした場合に、ノズルにおける抵抗が増大し吐出エネルギーの損失につながる。

このためノズル形状を逆テーパー状に形成する方法があるが、ノズル形状を精度よく逆テーパー形状にすることは一般的な方法では容易ではない。

よって、逆テーパー形状のノズルを形成するための製造方法がいくつか提案されている。

例えば、ノズル形状は電鋳法により逆テーパー形状にするため、テーパー形状を設けた電鋳用型を用いる方法がある。

テーパー形状を有する電鋳用型を製造するため、基板上にフォトレジストを塗布し、拡散板を介した露光光をフォトマスクに照射し露光することにより、拡散光によりフォトレジストをテーパー形状に露光することができる。これを現像することにより、テーパー形状を有する電鋳用型を得る方法がある（特許文献１）。

一方、インクの誘い込み作用に関しては非常に優れているベルマウス形状の穴とストレート形状の穴とが連通した構造体をインクジェットヘッドのノズルプレートに使用する方法がある。これは電鋳層を２層形成し、オーバーハング法により形成する方法である（特許文献２）。
特開２００１−３２９３９２号公報 特開２００３−１８２９号公報

しかしながら、上記特許文献１に開示された発明では、電鋳用型にストレート部がなく、その電鋳用型を用いて、ノズルプレートを形成するため、電鋳時のばらつきによりテーパー部の先端形状が変動し、最も精度が要求されるノズルの先端の吐出部分の精度にばらつきを生じさせてしまう。また、テーパー部は拡散板の光の拡散角に依存することから、露光する光に含まれる光の波長の微妙な違いにより拡散板による拡散光の角度が変化した場合には、テーパー部の傾斜角度等にバラツキを生じさせてしまう。

このように、テーパー部の傾斜角度にバラツキが生じると、これにより作製されたノズルプレートでは、安定したインクの吐出を得ることができず、印刷対象となる記録媒体上で良好な画像を形成することができなくなる。

また、上記特許文献２に開示された発明では、逆テーパー部分を形成するため、オーバーハング法を用いているが、特許文献２に記載された方法によっては、逆テーパー部分の角度を制御することができず、また、ノズルの周囲がインクの吐出方向に盛り上がった形状となってしまうため、ノズル面のワイプ等を行うことが困難であり、メンテナンスの際にノズル形状を変形させたり、傷つけるおそれがある。

よって、本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、高精細な画像を得るためノズル径を小さくした場合であっても、インク吐出速度、吐出方向を安定化させ、吐出エネルギーが大きくならないようなインクジェットヘッドのノズルを大量かつ、迅速に供給することができる電鋳用型の製造方法を提供することを目的とするとともに、この電鋳用型により製造されたノズルを有する液体吐出ヘッド及び画像形成装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の発明は、導電性基板上に円板状の第１金属層を形成し、前記第１金属層上に前記第１金属層の円板状の円の面積よりも狭い底面を有する円柱状の第２金属層を形成し、少なくとも前記円柱状の第２金属層に、第１金属層、第２金属層を構成する材料の融点よりも低い融点からなる低融点金属材料を付着させ、前記低融点金属材料を付着させたものを前記低融点金属材料の融点以上に加熱し、前記円柱状の第２金属層の側面の一部にテーパー部を形成することにより、前記導電性基板上に前記低融点金属材料からなるテーパー部と前記円柱状の第２金属層からなるストレート部を形成したことを特徴とする電鋳用型の製造方法である。

テーパー部の他、ストレート部が形成されるため、ノズルプレートの電鋳の際、膜厚が多少変動しても、ノズル径が変化することはない。

請求項２に記載の発明は、前記低融点金属材料の付着が、メッキ或いは、ディスペンサーにより行われることを特徴とする請求項１に記載の電鋳用型の製造方法である。

これにより、微少量の低融点金属材料を第２金属層に効率的に付着させることができる。

請求項３に記載の発明は、前記低融点金属材料の付着量は、前記電鋳用型のテーパー部の角度及びストレート部の長さに応じて設定することを特徴とする請求項１又は２に記載の電鋳用型の製造方法である。

これにより、任意のテーパー角及びストレート部の長さを得ることができ、設計の自由度を広げることができる。

請求項４に記載の発明は、前記円板状の第１金属層の円の面積は、前記電鋳用型のテーパー部の角度及びストレート部の長さに応じて設定することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の電鋳用型の製造方法である。

これにより、任意のテーパー角及びストレート部の長さを得ることができ、設計の自由度を広げることができる。

請求項５に記載の発明は、前記電鋳用型のテーパー部とストレート部の表面の非導電化処理を行うことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の電鋳用型の製造方法である。

これにより、ノズルプレート電鋳時にテーパー部とストレート部を有するノズル孔を形成することができる。

請求項６に記載の発明は、前記非導電化処理は、樹脂材料の電着コートにより行うことを特徴とする請求項５に記載の電鋳用型の製造方法である。

これにより、微細領域の非導電化処理が、一括して短時間に行うことができる。

請求項７に記載の発明は、前記導電性基板上の前記第１金属層が形成されない領域をフォトレジストで覆った後、電鋳法により前記導電性基板上のフォトレジストで覆われていない部分に金属を堆積させることにより、前記第１金属層を形成することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の電鋳用型の製造方法である。

これにより、液体がノズルに入る入口が精密である電鋳用型を得ることができる。

請求項８に記載の発明は、前記導第１金属層上の前記第２金属層が形成されない領域をフォトレジストで覆った後、電鋳法により前記第１金属層上のフォトレジストで覆われていない部分に金属を堆積させることにより、前記第２金属層を形成することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の電鋳用型の製造方法である。

これにより、液体がノズルから出る出口が精密である電鋳用型を得ることができる。

請求項９に記載の発明は、請求項１から８のいずれかに記載の製造方法により製造された電鋳用型を用いて、電鋳法により金属膜を堆積させ、前記堆積させた金属膜を電鋳用型から取り外して形成したノズルプレートを有することを特徴とする液体吐出ヘッドである。

電鋳用型を用いた高精度なノズルプレートを使用することにより、インク吐出性能に優れた液体吐出ヘッドを得ることができる。

請求項１０に記載の発明は、請求項９に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする画像形成装置である。

インク吐出性能に優れた液体吐出ヘッドを有することにより、高精細、高画質な画像形成を実現することができる。

以上のように、本発明における液体吐出ヘッドのノズルを製造するための電鋳用型によれば、インクの吐出速度、吐出方向を安定化させ、吐出エネルギーが大きくならないようなインクジェットヘッドのノズルプレートを大量にかつ迅速に供給することができる。

また、本発明における上記電鋳用型を使用して製造されたノズルプレートを構成部材とする液体吐出ヘッド、画像形成装置においては、インクの吐出速度、吐出方向が安定化するため記録媒体上で良好な画像を得ることができる。

以下、第１の実施の形態として、本発明に係る液体吐出ヘッドのノズル部分を形成するための電鋳用型の製造方法について説明する。

図７は、本発明に係る電鋳用型の製造方法の製造工程を示す図である。

図７（ａ）は、導電性基板１０１上に第１レジスト層１０２が形成されたものである。具体的には、ステンレスからなる導電性基板１０１上にフォトレジストを塗布し、プリベークした後、導電性基板１０１上で第１金属層が形成される領域以外の領域にフォトレジストが残るよう所定のマスクを用い露光装置により露光し、現像することにより作製される。

尚、第１レジスト層１０２を形成するために用いられるフォトレジストは、後の工程の関係から耐熱性の高いものを使用する必要がある。具体的には、感光性ソルダレジスト等が好ましい。また、導電性基板１０１の表面は、第１金属層との密着性を高めるため事前に、表面処理が行われている。具体的には、ステンレスからなる導電性基板１０１を浸漬脱脂した後、塩酸等に浸漬させ、電解脱脂、約１０％の濃度の塩酸により表面を活性化することにより行われる。

これによりステンレスからなる導電性基板１０１上に、第１金属層が形成される領域を除き、第１レジスト層１０２により覆われたものが作製される。

この後、図７（ｂ）に示すように、電鋳法によりＮｉ等からなる第１金属層１０３を形成する。電鋳法では、導電性基板１０１が露出している導電性領域のみ金属メッキされ、第１レジスト層１０２に覆われている部分は導電性がないため金属メッキがされない。ここでは、Ｎｉのストライクメッキの後、電鋳法により第１金属層１０３が形成される。

次に、図７（ｃ）に示すように、第１金属層１０３、フォトレジスト１０２上に、更にフォトレジストを塗布し、プリベーク、露光、現像を行い、第２レジスト層１０４を形成した後、電鋳法により第２金属層１０５を形成する。

尚、第１金属層１０３と第２金属層１０５との密着性を向上させるため、第１金属層１０３を形成した後、先の工程で行った表面処理と同様の表面処理を行ってもよい。また、第２金属層１０５は、第１金属層１０３と同様に電鋳法により作製され、用いられる金属としては、Ｎｉの他、Ｃｕ、Ｃｏ、Ｚｎ等があるが、後の工程で低融点金属を加熱溶解する際、所望の状態に低融点金属が広がるよう、濡れ性を考慮して材料を組み合わせたものを使用する。

この後、第２レジスト層１０４を有機溶剤等により除去することにより、図７（ｄ）に示すように、導電性基板１０１上に、第１レジスト層１０２、第１金属層１０３、第２金属層１０５が形成されたものが得られる。

この後、図７（ｅ）に示すように、第１金属層１０３と第２金属層１０５とに、ディスペンサーにより低融点金属１０６を付着させる。ここで用いられる低融点金属は、第１レジスト層１０２の耐熱温度（約２５０℃）以下のものを選択する必要がある。具体的には、Ｓｎ−Ｐｂ、Ｓｎ−Ａｇ、Ｓｎ−Ｃｕ等の合金からなるハンダやＩｎ或いはＩｎを含む合金等がある。

この後、低融点金属１０６の融点以上に加熱する熱処理を行うと、図７（ｆ）に示すように、低融点金属１０６は溶解し低融点金属は第１金属層１０３の上面と第２金属層１０５の側面に渡って広がり、略円錐状の傾斜を有するテーパー部１０７が形成される。よって、第１金属層１０３上に、テーパー部１０７、更にその上に、円柱状の第２金属層１０５によるストレート部が形成されたものが作製される。

この後、図７（ｇ）に示すように、テーパー部１０７及び第２金属層１０５の露出した部分の表面について非導電化処理１０８を行う。非導電化処理の方法としては、樹脂材料の電着コート等が挙げられる。樹脂材料の電着コートでは、導電性をもつテーパー部１０７及び第２金属層１０５の露出部分のみ樹脂材料をコーティングできるので望ましい。

具体的に、電着コートには、カチオン電着とアニオン電着とがあり、本実施の形態においては、形成されたテーパー部とストレート部の溶出を防ぐため、カチオン電着が好ましい。カチオン電着のための樹脂材料としては、ポリイミド、エポキシ樹脂系、フッ素樹脂系等が挙げられる。電着コートは、導電性をもつテーパー部１０７及び第２金属層１０５の露出部分を電極として印加された電界により、電荷をもった塗料樹脂が電極部分の表面に付着し、その後硬化することにより形成される。

この後、第１レジスト層１０２を除去し、図７（ｈ）に示すように、導電性基板１０１表面、第１金属層１０３側面について、剥離被膜処理１０９を行う。

以上の工程により、液体吐出ヘッドのノズル部分を作製する電鋳用型が作製される。

次に、図８に基づき液体吐出ヘッドのノズル部分を作製する方法を説明する。

図８（ａ）は、上記工程により製造された電鋳用型である。この電鋳用型に、図８（ｂ）に示すように電鋳法により金属膜１１０を堆積させていく。金属膜１１０の堆積厚は、テーパー部１０７の上端、即ち、テーパー部１０７と第２金属層１０５の境界部分を越え、電鋳用型の第２金属層１０５の上面を越えない厚さである（金属膜１１０の上面は、矢印の範囲内となる）。堆積させた後、金属膜１１０の表面に撥液処理を施してもよい。

この後、電鋳用型と堆積させた金属膜１１０とを剥離することにより、図８（ｃ）に示す逆テーパー形状とストレート形状を併せ持つ液体吐出ヘッド用のノズルプレートが完成する。この製造方法により製造された金属膜１１０からなるノズルプレートは、逆テーパー形状を有する部分の両端であるインク吐出する面とつながる部分と、圧力室へとつながる部分の双方にストレート部を有している。

尚、電鋳用型は剥離被膜処理１０９を行っているので、金属膜１１０は電鋳用型から容易に剥離することができる。また、電鋳用型はこの後何度でも使用可能であり、上記と同様に工程を繰り返すことにより、液体吐出ヘッドに用いられるノズルプレートを大量に生産することができる。

また、電鋳用型におけるテーパー部１０７の角度は、円板状の第１金属層１０３の円の面積と、第１金属層１０３と第２金属層１０５に付着させる低融点金属１０６の量を調整することにより、所望のテーパー角及びストレート部の長さを容易に得ることができる。これについて図９に基づき説明する。低融点金属１０６は、低融点金属１０６の融点以上の温度による熱処理を行うことにより、導電性基板１０１上の第１金属層１０３の表面と第２金属層１０５の側面の間で広がる。

図９（ａ）は、第１金属層１０３の円板状の円の面積が狭く、付着させる低融点金属１０６の量が多い場合である。この場合、テーパー部１０７の角度は急峻になる。一方、図９（ｂ）のように、第１金属層１０３の円板状の円の面積が広く、付着させる低融点金属１０６の量を多くすると、テーパー部１０７の角度は、比較的なだらかなものとなる。

また、図９（ｃ）のように、第１金属層１０３の円板状の円の面積が狭く、低融点金属１０６の付着量が少ない場合には、テーパー部１０７の角度が比較的なだらかなものとなる。一方、図９（ｄ）のように、第１金属層１０３の円の面積が広く、低融点金属１０６の付着量が少ない場合には、テーパー部１０７の角度をより一層なだらかなものとすることができる。

このように、第１金属層１０３の円板状の円の面積と低融点金属１０６の付着量により、テーパー部１０７において所望の角度を得ることができる。また、形成されるノズルプレートの厚さに対応して、低融点金属１０６の付着量を変えて調整することができる。具体的には、形成されるノズルプレートが比較的薄いものである場合には、少量の低融点金属１０６を付着させ電鋳用型を作製し、形成されるノズルプレートが比較的厚いものである場合には、低融点金属１０６の付着量を多くして電鋳用型を作製する。

また、これに伴って、電鋳用型に堆積させる金属膜１１０の厚さを変えることにより、ノズル先端部分のストレート部の長さを調整することも可能である。更に、第２金属層１０５の円柱状の円の面積を変えることによりノズル先端径が定まる。

以上より、ノズルプレートの形状が定まれば、それに応じて最適な円板状の第１金属層１０３の円の面積、低融点金属１０６の付着量、円柱状の第２金属層１０５の円の面積及び高さ、金属膜１１０の膜厚を選定することにより、所望のテーパー部１０７の形状を有した電鋳用型を得ることができる。尚、第２金属層の側面部で低融点金属１０６に覆われていないストレート部の長さは、ノズルプレートを形成するために必要な長さ、電鋳時のバラツキを考慮した長さ、余裕分の和により定められる。図９（ａ）と図９（ｂ）において、ＬａとＬｂの値、即ち、ストレート部の長さを同じにすることにより、第１金属層１０３の円の面積を変えるだけでテーパー部の角度を調整することができる。図９（ｃ）と図９（ｄ）の場合においても同様である。

次に、上記工程により作製したノズルプレートを用い作製したインクジェットヘッドの断面構造を図４に示す。

本発明に係る電鋳用型を用い作製されたノズルプレート１５０は、圧力室壁面５９とノズル５１部分での位置合わせをした後はりつけられる。ノズルプレート１５０は、ノズル部分で圧力室壁面５９と接する側においてもストレート部を有しているため、位置合わせがしやすくなるとともに、圧力室壁面５９とノズルプレート１５０のノズル部分での位置が微妙にずれた場合であっても、接続部分のノズル流路に鋭角部分が形成されることはないため、気泡等がノズルの途中に付着することはない。

圧力室ユニット５４は、インクを吐出するノズル５１と連通する圧力室５２によって形成され、供給口５３を介してインクを供給する共通液室（不図示）と連通する。圧力室５２の一面（図では天面）は振動板５６で構成され、その上部には、振動板５６に圧力を付与して振動板５６を変形させる圧電素子５８が接合されている。圧電素子５８の上面には個別電極５７が形成される。また、振動板５６は共通電極を兼ねている。

圧電素子５８は、共通電極（振動板５６）と個別電極５７によって挟まれており、共通電極（振動板５６）と個別電極５７との間に駆動電圧を印加することによって変形する。圧電素子５８の変形によって振動板５６が押され、圧力室５２の容積が縮小されてノズル５１からインクが吐出されるようになっている。共通電極（振動板５６）と個別電極５７との間に印加されていた電圧が解除されると圧電素子５８がもとに戻り、圧力室５２の容積が元の大きさに回復し、共通液室（不図示）から供給口５３を通って新しいインクが圧力室５２に供給されるようになっている。

以下、添付図面を参照して、本発明に係る液体吐出ヘッド及び画像形成装置について第１の実施の形態として詳細に説明する。

図１は、本発明に係るインクジェットヘッド（液体吐出ヘッド）を備えた画像形成装置としてのインクジェット記録装置の概略を示す全体構成図である。

図１に示すように、このインクジェット記録装置１０は、インクの色毎に設けられた複数の印字ヘッド（液体吐出ヘッド）１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙを有する印字部１２と、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに供給するインクを貯蔵しておくインク貯蔵／装填部１４と、記録紙１６を供給する給紙部１８と、記録紙１６のカールを除去するデカール処理部２０と、前記印字部１２のノズル面（インク吐出面）に対向して配置され、記録紙１６の平面性を保持しながら記録紙１６を搬送するベルト搬送部２２と、印字部１２による印字結果を読み取る印字検出部２４と、印画済みの記録紙（プリント物）を外部に排出する排紙部２６とを備えている。

図１では、給紙部１８の一例としてロール紙（連続用紙）のマガジンが示されているが、紙幅や紙質等が異なる複数のマガジンを併設してもよい。また、ロール紙のマガジンに代えて、又はこれと併用して、カット紙が積層装填されたカセットによって用紙を供給してもよい。

ロール紙を使用する装置構成の場合、図１のように、裁断用のカッター２８が設けられており、前記カッター２８によってロール紙は所望のサイズにカットされる。カッター２８は、記録紙１６の搬送路幅以上の長さを有する固定刃２８Ａと、前記固定刃２８Ａに沿って移動する丸刃２８Ｂとから構成されており、印字裏面側に固定刃２８Ａが設けられ、搬送路を挟んで印字面側に丸刃２８Ｂが配置されている。なお、カット紙を使用する場合には、カッター２８は不要である。

複数種類の記録紙を利用可能な構成にした場合、紙の種類情報を記録したバーコードあるいは無線タグ等の情報記録体をマガジンに取り付け、その情報記録体の情報を所定の読取装置によって読み取ることで、使用される用紙の種類を自動的に判別し、用紙の種類に応じて適切なインク吐出を実現するようにインク吐出制御を行うことが好ましい。

給紙部１８から送り出される記録紙１６はマガジンに装填されていたことによる巻き癖が残り、カールする。このカールを除去するために、デカール処理部２０においてマガジンの巻き癖方向と逆方向に加熱ドラム３０で記録紙１６に熱を与える。このとき、多少印字面が外側に弱いカールとなるように加熱温度を制御するとより好ましい。

デカール処理後、カットされた記録紙１６は、ベルト搬送部２２へと送られる。ベルト搬送部２２は、ローラー３１、３２間に無端状のベルト３３が巻き掛けられた構造を有し、少なくとも印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサー面に対向する部分が平面（フラット面）をなすように構成されている。

ベルト搬送部２２は、特に限定されるものではなく、ベルト面に設けられた吸引孔より空気を吸引して負圧により記録紙１６をベルト３３に吸着させて搬送する真空吸着搬送でもよいし、静電吸着による方法でもよい。

ベルト３３は、記録紙１６の幅よりも広い幅寸法を有しており、上に述べた真空吸着搬送の場合には、ベルト面には図示を省略した多数の吸引孔が形成されている。図１に示したとおり、ローラー３１、３２間に掛け渡されたベルト３３の内側において印字部１２のノズル面及び印字検出部２４のセンサ面に対向する位置には吸着チャンバー３４が設けられており、この吸着チャンバー３４をファン３５で吸引して負圧にすることによってベルト３３上の記録紙１６が吸着保持される。

ベルト３３が巻かれているローラー３１、３２の少なくとも一方にモータ（図示省略）の動力が伝達されることにより、ベルト３３は図１において、時計回り方向に駆動され、ベルト３３上に保持された記録紙１６は、図１の左から右へと搬送される。

縁無しプリント等を印字するとベルト３３上にもインクが付着するので、ベルト３３の外側の所定位置（印字領域以外の適当な位置）にベルト清掃部３６が設けられている。ベルト清掃部３６の構成について詳細は図示しないが、例えば、ブラシ・ロール、吸水ロール等をニップする方式、清浄エアーを吹き掛けるエアーブロー方式、あるいはこれらの組み合わせなどがある。清掃用ロールをニップする方式の場合、ベルト線速度とローラー線速度を変えると清掃効果が大きい。

なお、ベルト搬送部２２に代えて、ローラー・ニップ搬送機構を用いる態様も考えられるが、印字領域をローラー・ニップ搬送すると、印字直後に用紙の印字面にローラーが接触するので、画像が滲み易いという問題がある。したがって、本例のように、印字領域では画像面と接触させない吸着ベルト搬送が好ましい。

ベルト搬送部２２により形成される用紙搬送路上において印字部１２の上流側には、加熱ファン４０が設けられている。加熱ファン４０は、印字前の記録紙１６に加熱空気を吹きつけ、記録紙１６を加熱する。印字直前に記録紙１６を加熱しておくことにより、インクが着弾後乾き易くなる。

図２は、インクジェット記録装置１０の印字部１２周辺を示す要部平面図である。

図２に示すように、印字部１２は、最大紙幅に対応する長さを有するライン型ヘッドを紙搬送方向（副走査方向）と直交する方向（主走査方向）に配置した、いわゆるフルライン型のヘッドとなっている。

各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙは、本インクジェット記録装置１０が対象とする最大サイズの記録紙１６の少なくとも一辺を超える長さにわたってインク吐出口（ノズル）が複数配列されたライン型ヘッドで構成されている。

記録紙１６の搬送方向（紙搬送方向）に沿って上流側（図１の左側）から黒（Ｋ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）の順に各色インクに対応した印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙが配置されている。記録紙１６を搬送しつつ各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙからそれぞれ色インクを吐出することにより記録紙１６上にカラー画像を形成し得る。

このように、紙幅の全域をカバーするフルラインヘッドがインク色毎に設けられてなる印字部１２によれば、紙搬送方向（副走査方向）について記録紙１６と印字部１２を相対的に移動させる動作を一回行うだけで（すなわち、一回の副走査で）記録紙１６の全面に画像を記録することができる。これにより、印字ヘッドが紙搬送方向と直交する方向（主走査方向）に往復動作するシャトル型ヘッドに比べて高速印字が可能であり、生産性を向上させることができる。

なお、ここで主走査方向及び副走査方向とは、次に言うような意味で用いている。すなわち、記録紙の全幅に対応したノズル列を有するフルラインヘッドで、ノズルを駆動する時、（１）全ノズルを同時に駆動するか、（２）ノズルを片方から他方に向かって順次駆動するか、（３）ノズルをブロックに分割して、ブロックごとに片方から他方に向かって順次駆動するか、等のいずれかのノズルの駆動が行われ、用紙の幅方向（記録紙の搬送方向と直交する方向）に１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）の印字をするようなノズルの駆動を主走査と定義する。そして、この主走査によって記録される１ライン（帯状領域の長手方向）の示す方向を主走査方向という。

一方、上述したフルラインヘッドと記録紙とを相対移動することによって、上述した主走査で形成された１ライン（１列のドットによるライン又は複数列のドットから成るライン）の印字を繰り返し行うことを副走査と定義する。そして、副走査を行う方向を副走査方向という。結局、記録紙の搬送方向が副走査方向であり、それに直交する方向が主走査方向ということになる。

また本例では、ＫＣＭＹの標準色（４色）の構成を例示したが、インク色や色数の組み合わせについては本実施形態には限定されず、必要に応じて淡インク、濃インクを追加してもよい。例えば、ライトシアン、ライトマゼンタ等のライト系インクを吐出する印字ヘッドを追加する構成も可能である。

図１に示したように、インク貯蔵／装填部１４は、各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙに対応する色のインクを貯蔵するタンクを有し、各タンクは図示を省略した管路を介して各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙと連通されている。また、インク貯蔵／装填部１４は、インク残量が少なくなるとその旨を報知する報知手段（表示手段、警告音発生手段等）を備えるとともに、色間の誤装填を防止するための機構を有している。

印字検出部２４は、印字部１２の打滴結果を撮像するためのイメージセンサー（ラインセンサー等）を含み、前記イメージセンサーによって読み取った打滴画像からノズルの目詰まりその他の吐出不良をチェックする手段として機能する。

本例の印字検出部２４は、少なくとも各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙによるインク吐出幅（画像記録幅）よりも幅の広い受光素子列を有するラインセンサーで構成される。このラインセンサーは、赤（Ｒ）の色フィルターが設けられた光電変換素子（画素）がライン状に配列されたＲセンサー列と、緑（Ｇ）の色フィルターが設けられたＧセンサー列と、青（Ｂ）の色フィルターが設けられたＢセンサー列とからなる色分解ラインＣＣＤセンサーで構成されている。なお、ラインセンサーに代えて、受光素子が２次元配列されて成るエリアセンサーを用いることも可能である。

印字検出部２４は、各色の印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙにより印字されたテストパターンを読み取り、各ヘッドの吐出検出を行う。吐出判定は、吐出の有無、ドットサイズの測定、ドット着弾位置の測定等で構成される。

印字検出部２４の後段には、後乾燥部４２が設けられている。後乾燥部４２は、印字された画像面を乾燥させる手段であり、例えば、加熱ファンが用いられる。印字後のインクが乾燥するまでは印字面と接触することは避けたほうが好ましいので、熱風を吹きつける方式が好ましい。

多孔質のペーパに染料系インクで印字した場合などでは、加圧によりペーパの孔を塞ぐことでオゾンなど染料分子を壊す原因となるものと接触することを防ぎ画像の耐候性がアップする効果がある。

後乾燥部４２の後段には、加熱・加圧部４４が設けられている。加熱・加圧部４４は、画像表面の光沢度を制御するための手段であり、画像面を加熱しながら所定の表面凹凸形状を有する加圧ローラー４５で加圧し、画像面に凹凸形状を転写する。

このようにして生成されたプリント物は、排紙部２６から排出される。本来プリントすべき本画像（目的の画像を印刷したもの）とテスト印字とは分けて排出することが好ましい。このインクジェット記録装置１０では、本画像のプリント物と、テスト印字のプリント物とを選別してそれぞれの排出部２６Ａ、２６Ｂへと送るために排紙経路を切り換える選別手段（図示省略）が設けられている。なお、大きめの用紙に本画像とテスト印字とを同時に並列に形成する場合は、カッター（第２のカッター）４８によってテスト印字の部分を切り離す。カッター４８は、排紙部２６の直前に設けられており、画像余白部にテスト印字を行った場合に、本画像とテスト印字部を切断するためのものである。カッター４８の構造は前述した第１のカッター２８と同様であり、固定刃４８Ａと丸刃４８Ｂとから構成されている。

また、図示を省略したが、本画像の排出部２６Ａには、オーダー別に画像を集積するソーターが設けられている。

次に、印字ヘッド（液体吐出ヘッド）のノズル（液体吐出口）の配置について説明する。インク色毎に設けられている各印字ヘッド１２Ｋ、１２Ｃ、１２Ｍ、１２Ｙの構造は共通しているので、以下、これらを代表して符号５０によって印字ヘッドを表すものとし、図３に印字ヘッド５０の平面透視図を示す。

図３に示すように、本実施形態の印字ヘッド５０は、インクを液滴として吐出するノズル５１、インクを吐出する際インクに圧力を付与する圧力室５２、図３では図示を省略した共通液室から圧力室５２にインクを供給する供給口５３を含んで構成される圧力室ユニット５４が千鳥状の２次元マトリクス状に配列され、ノズル５１の高密度化が図られている。

図３に示す例においては、各圧力室５２を上方から見た場合に、その平面形状は略正方形状をしているが、圧力室５２の平面形状はこのような正方形に限定されるものではない。圧力室５２には、図３に示すように、その対角線の一方の端にノズル５１が形成され、他方の端の側に供給口５３が設けられている。

また、図示は省略するが、複数の短尺ヘッドを２次元の千鳥状に配列して繋ぎ合わせて、これらの複数の短尺ヘッド全体で印字媒体の全幅に対応する長さとなるようにして１つの長尺のフルラインヘッドを構成するようにしてもよい。

図５は、インクジェット記録装置１０におけるインク供給系の構成を示した概要図である。インクタンク６０は印字ヘッド５０にインクを供給するための基タンクであり、図１で説明したインク貯蔵／装填部１４に設置される。インクタンク６０の形態には、インク残量が少なくなった場合に、補充口（図示省略）からインクを補充する方式と、タンクごと交換するカートリッジ方式とがある。使用用途に応じてインク種類を替える場合には、カートリッジ方式が適している。この場合、インクの種類情報をバーコード等で識別して、インク種類に応じて吐出制御を行うことが好ましい。なお、図５のインクタンク６０は、先に記載した図１のインク貯蔵／装填部１４と等価のものである。

図５に示すように、インクタンク６０と印字ヘッド５０を繋ぐ管路の中間には、異物や気泡を除去するためにフィルター６２が設けられている。フィルター・メッシュサイズは印字ヘッド５０のノズル径と同等若しくはノズル径以下（一般的には、２０μｍ程度）とすることが好ましい。

なお、図５には示さないが、印字ヘッド５０の近傍又は印字ヘッド５０と一体にサブタンクを設ける構成も好ましい。サブタンクは、ヘッドの内圧変動を防止するダンパー効果及びリフィルを改善する機能を有する。

また、インクジェット記録装置１０には、ノズルの乾燥防止又はノズル近傍のインク粘度上昇を防止するための手段としてのキャップ６４と、ノズル面５０Ａの清掃手段としてのクリーニングブレード６６とが設けられている。

これらキャップ６４及びクリーニングブレード６６を含むメンテナンスユニットは、図示を省略した移動機構によって印字ヘッド５０に対して相対移動可能であり、必要に応じて所定の退避位置から印字ヘッド５０下方のメンテナンス位置に移動されるようになっている。

キャップ６４は、図示しない昇降機構によって印字ヘッド５０に対して相対的に昇降変位される。昇降機構は、電源ＯＦＦ時や印刷待機時にキャップ６４を所定の上昇位置まで上昇させ、印字ヘッド５０に密着させることにより、ノズル面５０Ａのノズル領域をキャップ６４で覆うようになっている。

クリーニングブレード６６は、ゴムなどの弾性部材で構成されており、図示を省略したブレード移動機構により印字ヘッド５０のインク吐出面（ノズル面５０Ａ）に摺動可能である。ノズル面５０Ａにインク液滴又は異物が付着した場合、クリーニングブレード６６をノズル面５０Ａに摺動させることでノズル面５０Ａを拭き取り、ノズル面５０Ａを清浄化するようになっている。

印字中又は待機中において、特定のノズル５１の使用頻度が低くなり、そのノズル５１近傍のインク粘度が上昇した場合、粘度が上昇して劣化したインクを排出すべく、キャップ６４に向かって予備吐出が行われる。

また、印字ヘッド５０内のインク（圧力室５２内のインク）に気泡が混入した場合、印字ヘッド５０にキャップ６４を当て、吸引ポンプ６７で圧力室５２内のインク（気泡が混入したインク）を吸引により除去し、吸引除去したインクを回収タンク６８へ送液する。この吸引動作は、初期のインクのヘッドへの装填時、或いは長時間の停止後の使用開始時にも行われ、粘度が上昇して固化した劣化インクが吸い出され除去される。

すなわち、印字ヘッド５０は、ある時間以上吐出しない状態が続くと、ノズル近傍のインク溶媒が蒸発してノズル近傍のインクの粘度が高くなってしまい、吐出駆動用のアクチュエータ（積層圧電素子５８）が動作してもノズル５１からインクが吐出しなくなる。したがって、この様な状態になる手前で（積層圧電素子５８の動作によってインク吐出が可能な粘度の範囲内で）、インク受けに向かって積層圧電素子５８を動作させ、粘度が上昇したノズル近傍のインクを吐出させる「予備吐出」が行われる。また、ノズル面５０Ａの清掃手段として設けられているクリーニングブレード６６等のワイパーによってノズル面５０Ａの汚れを清掃した後に、このワイパー摺擦動作によってノズル５１内に異物が混入するのを防止するためにも予備吐出が行われる。なお、予備吐出は、「空吐出」、「パージ」、「唾吐き」などと呼ばれる場合もある。

また、ノズル５１や圧力室５２内に気泡が混入したり、ノズル５１内のインクの粘度上昇があるレベルを超えたりすると、上記予備吐出ではインクを吐出できなくなるため、以下に述べる吸引動作を行う。

すなわち、ノズル５１や圧力室５２のインク内に気泡が混入した場合、或いはノズル５１内のインク粘度があるレベル以上に上昇した場合には、積層圧電素子５８を動作させてもノズル５１からインクを吐出できなくなる。このような場合、印字ヘッド５０のノズル面５０Ａに、キャップ６４を当てて圧力室５２内の気泡が混入したインク又は増粘インクをポンプ６７で吸引する動作が行われる。

ただし、上記の吸引動作は、圧力室５２内のインク全体に対して行われるためインク消費量が大きい。したがって、粘度上昇が少ない場合はなるべく予備吐出を行うことが好ましい。なお、図５で説明したキャップ６４は、吸引手段として機能するとともに、予備吐出のインク受けとしても機能し得る。

また、好ましくは、キャップ６４の内側が仕切壁によってノズル列に対応した複数のエリアに分割されており、これら仕切られた各エリアをセレクタ等によって選択的に吸引できる構成とする。

図６は、インクジェット記録装置１０のシステム構成を示す要部ブロック図である。インクジェット記録装置１０は、通信インターフェース７０、システムコントローラ７２、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８、プリント制御部８０、画像バッファメモリ８２、ヘッドドライバ８４等を備えている。

通信インターフェース７０は、ホストコンピュータ８６から送られてくる画像データを受信するインターフェース部である。通信インターフェース７０にはＵＳＢ、ＩＥＥＥ１３９４、イーサネット（登録商標）、無線ネットワークなどのシリアルインターフェースやセントロニクスなどのパラレルインターフェースを適用することができる。この部分には、通信を高速化するためのバッファメモリ（図示省略）を搭載してもよい。ホストコンピュータ８６から送出された画像データは通信インターフェース７０を介してインクジェット記録装置１０に取り込まれ、一旦画像メモリ７４に記憶される。画像メモリ７４は、通信インターフェース７０を介して入力された画像を一旦格納する記憶手段であり、システムコントローラ７２を通じてデータの読み書きが行われる。画像メモリ７４は、半導体素子からなるメモリに限らず、ハードディスクなどの磁気媒体を用いてもよい。

システムコントローラ７２は、通信インターフェース７０、画像メモリ７４、モータドライバ７６、ヒータドライバ７８等の各部を制御する制御部である。システムコントローラ７２は、中央演算処理装置（ＣＰＵ）及びその周辺回路等から構成され、ホストコンピュータ８６との間の通信制御、画像メモリ７４の読み書き制御等を行うとともに、搬送系のモータ８８やヒータ８９を制御する制御信号を生成する。

モータドライバ７６は、システムコントローラ７２からの指示に従ってモータ８８を駆動するドライバ（駆動回路）である。ヒータドライバ７８は、システムコントローラ７２からの指示にしたがって後乾燥部４２等のヒータ８９を駆動するドライバである。

プリント制御部８０は、システムコントローラ７２の制御に従い、画像メモリ７４内の画像データから印字制御用の信号を生成するための各種加工、補正などの処理を行う信号処理機能を有し、生成した印字制御信号（印字データ）をヘッドドライバ８４に供給する制御部である。プリント制御部８０において所要の信号処理が施され、前記画像データに基づいてヘッドドライバ８４を介して印字ヘッド５０のインク液滴の吐出量や吐出タイミングの制御が行われる。これにより、所望のドットサイズやドット配置が実現される。

プリント制御部８０には画像バッファメモリ８２が備えられており、プリント制御部８０における画像データ処理時に画像データやパラメータなどのデータが画像バッファメモリ８２に一時的に格納される。なお、図６において画像バッファメモリ８２はプリント制御部８０に付随する態様で示されているが、画像メモリ７４と兼用することも可能である。また、プリント制御部８０とシステムコントローラ７２とを統合して１つのプロセッサで構成する態様も可能である。

ヘッドドライバ８４はプリント制御部８０から与えられる印字データに基づいて各色の印字ヘッド５０のアクチュエータ５８を駆動する。ヘッドドライバ８４にはヘッドの駆動条件を一定に保つためのフィードバック制御系を含んでいてもよい。

印字検出部２４は、図１で説明したように、ラインセンサー（図示省略）を含むブロックであり、記録紙１６に印字された画像を読み取り、所要の信号処理などを行って印字状況（吐出の有無、打滴のばらつきなど）を検出し、その検出結果をプリント制御部８０に提供するものである。

プリント制御部８０は、必要に応じて印字検出部２４から得られる情報に基づいて印字ヘッド５０に対する各種補正を行うようになっている。

次に、第２の実施の形態として、本発明に係る液体吐出ヘッドのノズル部分を形成するための他の電鋳用型の製造方法について説明する。

図１０は、本発明に係る電鋳用型の製造方法の製造工程を示す図である。

図１０（ａ）は、導電性基板１１１上に第１レジスト層１１２が形成されたものである。具体的には、ステンレスからなる導電性基板１１１上にフォトレジストを塗布し、プリベークした後、導電性基板１１１上で第１金属層が形成される領域以外の領域にフォトレジストが残るよう所定のマスクを用い露光装置により露光し、現像することにより作製される。

尚、第１レジスト層１１２を形成するために用いられるフォトレジストは、後の工程の関係から耐熱性の高いものを使用する必要がある。具体的には、感光性ソルダレジスト等が好ましい。また、導電性基板１１１の表面は、第１金属層との密着性を高めるため事前に、表面処理が行われている。具体的には、ステンレスからなる導電性基板１１１を浸漬脱脂した後、塩酸等に浸漬させ、電解脱脂、約１０％の濃度の塩酸により表面を活性化させることにより行われる。

これによりステンレスからなる導電性基板１１１上に、第１金属層が形成される領域を除き、第１レジスト層１１２により覆われたものが作製される。

この後、図１０（ｂ）に示すように、電鋳法によりＮｉ等からなる第１金属層１１３を形成する。電鋳法では、導電性基板１１１が露出している導電性領域のみ金属メッキされ、第１レジスト層１１２に覆われている部分は導電性がないため金属メッキがされない。ここでは、Ｎｉストライクメッキの後、電鋳法により第１金属層１１３が形成される。

次に、図１０（ｃ）に示すように、第１金属層１１３、フォトレジスト１１２上に、更にフォトレジストを塗布し、プリベーク、露光、現像を行い、第２レジスト層１１４を形成した後、電鋳法により第２金属層１１５を形成する。

尚、第１金属層１１３と第２金属層１１５との密着性を向上させるため、第１金属層１１３を形成した後、先の工程で行った表面処理と同様の表面処理を行ってもよい。第２金属層１１５は、第１金属層１１３と同様に電鋳法により作製される。用いられる金属としては、Ｎｉ以外には、Ｃｕ、Ｃｏ、Ｚｎ等があるが、後の工程で低融点金属を加熱溶解する際、所望の状態に低融点金属が広がるよう、濡れ性を考慮して材料を組み合わせたものを使用する。

この後、第２レジスト層１１４を有機溶剤等により除去することにより、図１０（ｄ）に示すように、導電性基板１１１上に、第１レジスト層１１２、第１金属層１１３、第２金属層１１５が形成されたものが得られる。

この後、図１０（ｅ）に示すように、第１金属層１１３と第２金属層１１５との表面に低融点金属１１６のメッキを行う。メッキの厚さは、作製されるテーパー部の角度等を考慮して定められる。ここで用いられる低融点金属は、第１レジスト層１１２の耐熱温度（約２５０℃）以下のものを選択する必要がある。具体的には、Ｓｎ−Ｐｂ、Ｓｎ−Ａｇ、Ｓｎ−Ｃｕ等の合金からなるハンダやＩｎ或いはＩｎを含む合金等がある。

この後、低融点金属１１６の融点以上に加熱すると、図１０（ｆ）に示すように、低融点金属１１６は溶解し低融点金属は第１金属層１１３の上面と第２金属層１１５の側面に渡って広がり、略円錐状の傾斜を有するテーパー部１１７が形成される。

この後、図１０（ｇ）に示すように、テーパー部１１７及び第２金属層１１５の露出した部分の表面について非導電化処理１１８を行う。非導電化処理の方法としては、樹脂材料の電着コート等が挙げられる。樹脂材料の電着コートでは、導電性をもつテーパー部１１７及び第２金属層１１５の露出部分のみ樹脂材料をコーティングできるので望ましい。

具体的に、電着コートには、カチオン電着とアニオン電着とがあり、本実施の形態においては、形成されたテーパー部とストレート部の溶出を防ぐため、カチオン電着が好ましい。カチオン電着のための樹脂材料としては、ポリイミド、エポキシ樹脂系、フッ素樹脂系等が挙げられる。電着コートは、導電性をもつテーパー部１０７及び第２金属層１０５の露出部分を電極として印加された電界により、電荷をもった塗料樹脂が電極部分の表面に付着し、その後硬化することにより形成される。

この後、第１レジスト層１１２を除去し、図１０（ｈ）に示すように、導電性基板１１１表面、第１金属層１１２側面について、剥離被膜処理１１９を行う。

以上の工程により、液体吐出ヘッドのノズル部分を作製する電鋳用型が作製される。

ノズルプレートの製造方法、液体吐出ヘッドに関しては、第１の実施の形態と同様である。

次に、第３の実施の形態として、第１の実施の形態、第２の実施の形態により作製された電鋳用型を用いて作製されたノズルプレートを用いた他の液体吐出ヘッドについて説明する。

上記工程により作製したノズルプレートを用い作製したインクジェットヘッドの断面構造を図１１に示す。

本発明に係る電鋳用型を用い作製されたノズルプレート１５０は、圧力室１５２の壁面を構成する部材であり、他の部材と組み合わせ接続することにより圧力室１５２が形成され、液体吐出ヘッドが完成する。ノズルプレート１５０のノズル部分での微妙な位置合わせが不要となるため、製造時の作業性が向上する。

圧力室ユニット１５４は、インクを吐出するノズル１５１と連通する圧力室１５２によって形成され、供給口１５３を介してインクを供給する共通液室（不図示）と連通する。圧力室１５２の一面（図では天面）は振動板１５６で構成され、その上部には、振動板１５６に圧力を付与して振動板１５６を変形させる圧電素子１５８が接合されている。圧電素子１５８の上面には個別電極１５７が形成される。また、振動板１５６は共通電極を兼ねている。

圧電素子１５８は、共通電極（振動板１５６）と個別電極１５７によって挟まれており、共通電極（振動板１５６）と個別電極１５７との間に駆動電圧を印加することによって変形する。圧電素子１５８の変形によって振動板１５６が押され、圧力室１５２の容積が縮小されてノズル１５１からインクが吐出されるようになっている。共通電極（振動板１５６）と個別電極１５７との間に印加されていた電圧が解除されると圧電素子１５８がもとに戻り、圧力室１５２の容積が元の大きさに回復し、共通液室（不図示）から供給口１５３を通って新しいインクが圧力室１５２に供給されるようになっている。

以上、本発明に係る電鋳用型並びにこの電鋳用型により作製される液体吐出ヘッド、画像形成装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。

本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の概略を示す全体構成図 本発明に係る画像形成装置としてのインクジェット記録装置の印字部周辺を示す要部平面図 印字ヘッドの概略を示す平面透視図 本発明の第１の実施の形態に係る液体吐出ヘッドの断面図 本発明に係るインクジェット記録装置のインク供給系の概略を示す構成図 本発明に係るインクジェット記録装置のシステム構成を示すブロック図 本発明の第１の実施の形態に係る電鋳用型の製造の工程図 本発明の第１の実施の形態に係る電鋳用型を用いて液体吐出ヘッドのノズルプレートの製造の工程図 本発明において作製可能な電鋳用型の断面図 本発明の第２の実施の形態に係る電鋳用型の製造の工程図 本発明の第３の実施の形態に係る液体吐出ヘッドの断面図

符号の説明

５１…ノズル、５２…圧力室、５３…供給口、５４…圧力室ユニット、５６…振動板（共通電極）、５７…個別電極、５８…圧電素子、５９…圧力室壁面、１０１…導電性基板、１０２…第１レジスト層、１０３…第１金属層、１０４…第２レジスト層、１０５…第２金属層、１０６…低融点金属、１０７…テーパー部、１０８…非導電化処理、１０９…剥離被膜処理、１１０…金属膜、１５０…ノズルプレート

Claims (10)

1. 導電性基板上に円板状の第１金属層を形成し、
   前記第１金属層上に前記第１金属層の円板状の円の面積よりも狭い底面を有する円柱状の第２金属層を形成し、
   少なくとも前記円柱状の第２金属層に、第１金属層、第２金属層を構成する材料の融点よりも低い融点からなる低融点金属材料を付着させ、
   前記低融点金属材料を付着させたものを前記低融点金属材料の融点以上に加熱し、前記円柱状の第２金属層の側面の一部にテーパー部を形成することにより、
   前記導電性基板上に前記低融点金属材料からなるテーパー部と前記円柱状の第２金属層からなるストレート部を形成したことを特徴とする電鋳用型の製造方法。
2. 前記低融点金属材料の付着が、メッキ或いは、ディスペンサーにより行われることを特徴とする請求項１に記載の電鋳用型の製造方法。
3. 前記低融点金属材料の付着量は、
   前記電鋳用型のテーパー部の角度及びストレート部の長さに応じて設定することを特徴とする請求項１又は２に記載の電鋳用型の製造方法。
4. 前記円板状の第１金属層の円の面積は、
   前記電鋳用型のテーパー部の角度及びストレート部の長さに応じて設定することを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の電鋳用型の製造方法。
5. 前記電鋳用型のテーパー部とストレート部の表面の非導電化処理を行うことを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の電鋳用型の製造方法。
6. 前記非導電化処理は、樹脂材料の電着コートにより行うことを特徴とする請求項５に記載の電鋳用型の製造方法。
7. 前記導電性基板上の前記第１金属層が形成されない領域をフォトレジストで覆った後、
   電鋳法により前記導電性基板上のフォトレジストで覆われていない部分に金属を堆積させることにより、前記第１金属層を形成することを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の電鋳用型の製造方法。
8. 前記導第１金属層上の前記第２金属層が形成されない領域をフォトレジストで覆った後、
   電鋳法により前記第１金属層上のフォトレジストで覆われていない部分に金属を堆積させることにより、前記第２金属層を形成することを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の電鋳用型の製造方法。
9. 請求項１から８のいずれかに記載の製造方法により製造された電鋳用型を用いて、電鋳法により金属膜を堆積させ、
   前記堆積させた金属膜を電鋳用型から取り外して形成したノズルプレートを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。
10. 請求項９に記載の液体吐出ヘッドを有することを特徴とする画像形成装置。

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