JP3353021B2 - フィルム剥離装置 - Google Patents
フィルム剥離装置Info
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- peeling
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- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
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- B32B43/006—Delaminating
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- H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C63/00—Lining or sheathing, i.e. applying preformed layers or sheathings of plastics; Apparatus therefor
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- B29C63/0013—Removing old coatings
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- B32B38/105—Removing layers, or parts of layers, mechanically or chemically on edges
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- B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
- B65H41/00—Machines for separating superposed webs
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
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- G03F7/16—Coating processes; Apparatus therefor
- G03F7/161—Coating processes; Apparatus therefor using a previously coated surface, e.g. by stamping or by transfer lamination
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29K—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
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- Printing Methods (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ドライフィルムフォ
トレジストの表面に装着されているポリエステルカバー
フィルム等のフィルムを剥離するための装置に関する。
トレジストの表面に装着されているポリエステルカバー
フィルム等のフィルムを剥離するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】基板などに回路を形成する際に、ＩＣ製
造技術に用いられているリソグラフィ法が近年用いられ
るようになってきている。その際に基板上に塗布される
フォトレジストとしてドライフィルムフォトレジストが
使用されるようになってきている。図８はその一例を示
すもので、基板Ｗの表裏にフォトレジストＲが塗布され
ており、このフォトレジストＲの上にポリエステル製の
保護用のカバーフィルムＦが貼着されている。
造技術に用いられているリソグラフィ法が近年用いられ
るようになってきている。その際に基板上に塗布される
フォトレジストとしてドライフィルムフォトレジストが
使用されるようになってきている。図８はその一例を示
すもので、基板Ｗの表裏にフォトレジストＲが塗布され
ており、このフォトレジストＲの上にポリエステル製の
保護用のカバーフィルムＦが貼着されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このフィルムＦは、フ
ォトレジストＲ上に回路パターンを焼き付ける露光工程
の後に剥す必要があり、従来よりこの種のフィルムを自
動的に効率よく剥離する装置の開発が試みられている。
しかしフィルムＦを剥離する際には、フォトレジストＲ
に傷をつけてはならないことや、フィルムＦの表面が円
滑である等の条件があり、満足な自動剥離装置はいまだ
開発されていない。即ち従来提案されたものの一つとし
て、フィルムにキズをつけた後エアで吹くことによって
剥離する方法があるが、フォトレジストのテント破れが
発生し、その破片が基板に再付着する問題がある。また
従来方式では一旦停止させて作業するためタクトタイム
が長くなり、又装置が長大化する欠点があり、通常は人
手により剥離作業を行っているのが現状である。本発明
は、このような従来技術の問題点を解決することを目的
とする。
ォトレジストＲ上に回路パターンを焼き付ける露光工程
の後に剥す必要があり、従来よりこの種のフィルムを自
動的に効率よく剥離する装置の開発が試みられている。
しかしフィルムＦを剥離する際には、フォトレジストＲ
に傷をつけてはならないことや、フィルムＦの表面が円
滑である等の条件があり、満足な自動剥離装置はいまだ
開発されていない。即ち従来提案されたものの一つとし
て、フィルムにキズをつけた後エアで吹くことによって
剥離する方法があるが、フォトレジストのテント破れが
発生し、その破片が基板に再付着する問題がある。また
従来方式では一旦停止させて作業するためタクトタイム
が長くなり、又装置が長大化する欠点があり、通常は人
手により剥離作業を行っているのが現状である。本発明
は、このような従来技術の問題点を解決することを目的
とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、対象物に貼着されたフィルムを剥離するフ
ィルム剥離装置であって、フィルム表面に当接してフィ
ルムを引っ掛けて持ち上げる突起部と、該持ち上げられ
たフィルムの部分を保持する凹部とを備えた剥離手段
と、該突起部をフィルム表面に対して押圧し、且つ該突
起部がフィルム表面の上下方向の変位に対応して上下動
可能なように支持する手段と、該剥離手段により剥離さ
れた部分に当接し、粘着して該フィルムを対象物から剥
離する粘着ローラと、を備え、前記対象物が剥離装置に
対し相対的に移動し、前記突起部が相対的に移動するフ
ィルムを引っ掛けて持ち上げ、前記粘着ローラが相対的
に移動するフィルムに粘着して剥離する、ことを特徴と
する。
に本発明は、対象物に貼着されたフィルムを剥離するフ
ィルム剥離装置であって、フィルム表面に当接してフィ
ルムを引っ掛けて持ち上げる突起部と、該持ち上げられ
たフィルムの部分を保持する凹部とを備えた剥離手段
と、該突起部をフィルム表面に対して押圧し、且つ該突
起部がフィルム表面の上下方向の変位に対応して上下動
可能なように支持する手段と、該剥離手段により剥離さ
れた部分に当接し、粘着して該フィルムを対象物から剥
離する粘着ローラと、を備え、前記対象物が剥離装置に
対し相対的に移動し、前記突起部が相対的に移動するフ
ィルムを引っ掛けて持ち上げ、前記粘着ローラが相対的
に移動するフィルムに粘着して剥離する、ことを特徴と
する。
【０００５】
【作用】剥離手段によりフィルムの一部分が対象物から
浮き上がる。粘着ローラによりこの部分から剥離して、
フィルム全体を対象物から剥離する。
浮き上がる。粘着ローラによりこの部分から剥離して、
フィルム全体を対象物から剥離する。
【０００６】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１は本発明の一実施例を示す平面図である。この
実施例において、基板Ｗは表裏にフォトレジストＲとフ
ィルムＦを装着しており、表裏のフィルムＦを同時に剥
離できるようになっている。基板Ｗはベルトコンベア５
により搬送され、その両端を送りローラ３、３により表
裏から挟持されて、更に矢印方向に移送されるようにな
っている。送りローラ３の下流側に端部剥離装置１と粘
着ローラ２が設けられており、これらは基板Ｗの両端に
表裏から基板Ｗを挟持するように設けられている。
る。図１は本発明の一実施例を示す平面図である。この
実施例において、基板Ｗは表裏にフォトレジストＲとフ
ィルムＦを装着しており、表裏のフィルムＦを同時に剥
離できるようになっている。基板Ｗはベルトコンベア５
により搬送され、その両端を送りローラ３、３により表
裏から挟持されて、更に矢印方向に移送されるようにな
っている。送りローラ３の下流側に端部剥離装置１と粘
着ローラ２が設けられており、これらは基板Ｗの両端に
表裏から基板Ｗを挟持するように設けられている。
【０００７】端部剥離装置１はこの実施例では表裏に一
対づつ、合計４個設けられている。端部剥離装置１は図
２に示すように、ローレット１０ａ，１０ｂとパイロッ
トローラ１３とこれらを基板Ｗに対して進退可能に支持
する昇降装置１５、１５とを備えており、必要に応じて
基板ＷのフィルムＦに当接してフィルムＦの一部を剥離
するようになっている。また昇降装置１５による進退の
タイミングをとるための基板先端センサ１６、１７が備
えられている。
対づつ、合計４個設けられている。端部剥離装置１は図
２に示すように、ローレット１０ａ，１０ｂとパイロッ
トローラ１３とこれらを基板Ｗに対して進退可能に支持
する昇降装置１５、１５とを備えており、必要に応じて
基板ＷのフィルムＦに当接してフィルムＦの一部を剥離
するようになっている。また昇降装置１５による進退の
タイミングをとるための基板先端センサ１６、１７が備
えられている。
【０００８】パイロットローラ１３は図３に示すように
基板Ｗに当接し、上から基板Ｗを押圧つけるようになっ
ている。ローレット１０ａは該パイロットローラ１３よ
りフィルムＦ厚さにほぼ相当する長さだけ下方に下がっ
ており、フィルムＦに適正に当接するようになってい
る。ローレット１０ａの基板Ｗ移動方向下流側には、下
側のフィルムＦに当接するローレット１０ｂが設けられ
ている。該パイロットローラ１３とローレット１０ａ及
びローレット１０ｂは昇降装置１５により昇降可能であ
るが、これら自体上下動可能であり、バネ等の押圧手段
（図示せず）によりフィルムＦ方向に押し付けられるよ
うになっている。
基板Ｗに当接し、上から基板Ｗを押圧つけるようになっ
ている。ローレット１０ａは該パイロットローラ１３よ
りフィルムＦ厚さにほぼ相当する長さだけ下方に下がっ
ており、フィルムＦに適正に当接するようになってい
る。ローレット１０ａの基板Ｗ移動方向下流側には、下
側のフィルムＦに当接するローレット１０ｂが設けられ
ている。該パイロットローラ１３とローレット１０ａ及
びローレット１０ｂは昇降装置１５により昇降可能であ
るが、これら自体上下動可能であり、バネ等の押圧手段
（図示せず）によりフィルムＦ方向に押し付けられるよ
うになっている。
【０００９】基板先端センサ１６はローレット１０ａの
下流側、基板先端センサ１７はローレット１０ｂの下流
側に設けられており、これらはいずれも基板Ｗ移動方向
に可動になっている。基板先端センサ１６と基板先端セ
ンサ１７は基板Ｗ先端を検出し、この検出信号により昇
降装置１５を駆動して端部剥離装置１を基板Ｗから離す
ようにしている。依って、基板先端センサ１６と基板先
端センサ１７の位置を調整することによりローレット１
０によるフィルムＦ剥離部の長さを調整することが可能
になる。
下流側、基板先端センサ１７はローレット１０ｂの下流
側に設けられており、これらはいずれも基板Ｗ移動方向
に可動になっている。基板先端センサ１６と基板先端セ
ンサ１７は基板Ｗ先端を検出し、この検出信号により昇
降装置１５を駆動して端部剥離装置１を基板Ｗから離す
ようにしている。依って、基板先端センサ１６と基板先
端センサ１７の位置を調整することによりローレット１
０によるフィルムＦ剥離部の長さを調整することが可能
になる。
【００１０】ローレット１０は図４に示すように円板状
をなし、その周囲に爪状突起１１を波型状に形成してい
る。この波型状の爪状突起１１と１１との間が凹部１２
になっている。この実施例の場合、１つの爪状突起１１
が摩耗したら、ローレット１０を回転させて隣の次の爪
状突起１１を使用すればよく、交換の手間を減少するこ
とができる。また図５に示すように爪状突起１１の上下
方向位置が少しづつずれるため、適当な単一の爪状突起
１１のみがフィルムＦに接触するようになる利点があ
る。
をなし、その周囲に爪状突起１１を波型状に形成してい
る。この波型状の爪状突起１１と１１との間が凹部１２
になっている。この実施例の場合、１つの爪状突起１１
が摩耗したら、ローレット１０を回転させて隣の次の爪
状突起１１を使用すればよく、交換の手間を減少するこ
とができる。また図５に示すように爪状突起１１の上下
方向位置が少しづつずれるため、適当な単一の爪状突起
１１のみがフィルムＦに接触するようになる利点があ
る。
【００１１】図６によりローレット１０によるフィルム
Ｆの剥離の機構を説明する。昇降装置１５によりローレ
ット１０の爪状突起１１が基板ＷのフィルムＦ端部に当
接する（Ａ）。この状態で、基板Ｗが矢印方向に進行す
ると、爪状突起１１の先端にフィルムＦの端部が引っ掛
けられて一部分が持ち上がり、該持ち上がった部分が凹
部１２内に収納され保持される（Ｂ、Ｃ）。更に基板Ｗ
が進行すると、爪状突起１１は上下方向可動であるため
フィルムＦの上に乗り上げて、フィルムＦが２重になる
（Ｄ）。この２重になったフィルムＦがフォトレジスト
Ｒを保護するため、爪状突起１１によりフォトレジスト
Ｒをキズつけることがない。そして、基板Ｗの先端が基
板先端センサ１６により検出されると（Ｅ）、昇降装置
１５が稼動して端部剥離装置１を上昇させる（Ｆ）。な
お、基板先端センサ１６の位置を調整することにより、
例えば（Ｃ）の状態で端部剥離装置１を上昇させること
も可能であり、ユーザーのニーズに適合した動作を得る
ことができる。なお、下側のフィルムＦをローレット１
０ｂにより剥離する動作も上記と同様であるので説明を
省略する。
Ｆの剥離の機構を説明する。昇降装置１５によりローレ
ット１０の爪状突起１１が基板ＷのフィルムＦ端部に当
接する（Ａ）。この状態で、基板Ｗが矢印方向に進行す
ると、爪状突起１１の先端にフィルムＦの端部が引っ掛
けられて一部分が持ち上がり、該持ち上がった部分が凹
部１２内に収納され保持される（Ｂ、Ｃ）。更に基板Ｗ
が進行すると、爪状突起１１は上下方向可動であるため
フィルムＦの上に乗り上げて、フィルムＦが２重になる
（Ｄ）。この２重になったフィルムＦがフォトレジスト
Ｒを保護するため、爪状突起１１によりフォトレジスト
Ｒをキズつけることがない。そして、基板Ｗの先端が基
板先端センサ１６により検出されると（Ｅ）、昇降装置
１５が稼動して端部剥離装置１を上昇させる（Ｆ）。な
お、基板先端センサ１６の位置を調整することにより、
例えば（Ｃ）の状態で端部剥離装置１を上昇させること
も可能であり、ユーザーのニーズに適合した動作を得る
ことができる。なお、下側のフィルムＦをローレット１
０ｂにより剥離する動作も上記と同様であるので説明を
省略する。
【００１２】以上のように端部剥離装置１を通過した基
板ＷのフィルムＦには、図７に示すように端部に剥離部
Ｔが形成され、フィルムＦの端部を基板Ｗから浮いた状
態とすることが出来る。
板ＷのフィルムＦには、図７に示すように端部に剥離部
Ｔが形成され、フィルムＦの端部を基板Ｗから浮いた状
態とすることが出来る。
【００１３】端部剥離装置１の下流側には、粘着ローラ
２が設けられている。この粘着ローラ２はこの実施例で
は表裏に２個づつ、合計４個設けられている。粘着ロー
ラ２は端部剥離装置１の直線上の位置に設けられてお
り、端部剥離装置１により形成された剥離部Ｔに粘着し
て、フィルムＦを基板ＷのフォトレジストＲから剥離す
るようになっている。粘着ローラ２は、その表面に粘着
材が設けられており、フィルムＦに粘着してフィルムＦ
をフォトレジストＲから剥離するようになっている。
２が設けられている。この粘着ローラ２はこの実施例で
は表裏に２個づつ、合計４個設けられている。粘着ロー
ラ２は端部剥離装置１の直線上の位置に設けられてお
り、端部剥離装置１により形成された剥離部Ｔに粘着し
て、フィルムＦを基板ＷのフォトレジストＲから剥離す
るようになっている。粘着ローラ２は、その表面に粘着
材が設けられており、フィルムＦに粘着してフィルムＦ
をフォトレジストＲから剥離するようになっている。
【００１４】なお、粘着ローラ２及び送りローラ３も基
板Ｗに対して接離可能に設けてある。
板Ｗに対して接離可能に設けてある。
【００１５】次に動作を説明する。ベルトコンベア５に
より移送される基板Ｗは、送りローラ３に両端を挟持さ
れる端部剥離装置１及び粘着ローラ２方向に移送され
る。基板Ｗが端部剥離装置１の位置に来ると、昇降装置
１５が稼働してローレット１０が基板Ｗの表裏から当接
し、ローレット１０の爪状突起１１が基板Ｗのフィルム
Ｆの端部を剥離し、図７に示すようにフィルムＦに剥離
部Ｔを形成する。次に基板Ｗの先端が粘着ローラ２の位
置に来ると、粘着ローラ２がフィルムＦに粘着する。フ
ィルムＦの粘着ローラ２当接部には剥離部Ｔが形成され
ているから、フィルムＦは粘着ローラ２の粘着力により
フォトレジストＲから剥される。そして、この剥離部Ｔ
から剥離が進行し、基板Ｗの進行に伴って、粘着ローラ
２によりフィルムＦが全面的に剥離する。
より移送される基板Ｗは、送りローラ３に両端を挟持さ
れる端部剥離装置１及び粘着ローラ２方向に移送され
る。基板Ｗが端部剥離装置１の位置に来ると、昇降装置
１５が稼働してローレット１０が基板Ｗの表裏から当接
し、ローレット１０の爪状突起１１が基板Ｗのフィルム
Ｆの端部を剥離し、図７に示すようにフィルムＦに剥離
部Ｔを形成する。次に基板Ｗの先端が粘着ローラ２の位
置に来ると、粘着ローラ２がフィルムＦに粘着する。フ
ィルムＦの粘着ローラ２当接部には剥離部Ｔが形成され
ているから、フィルムＦは粘着ローラ２の粘着力により
フォトレジストＲから剥される。そして、この剥離部Ｔ
から剥離が進行し、基板Ｗの進行に伴って、粘着ローラ
２によりフィルムＦが全面的に剥離する。
【００１６】以上説明したように上記した構成によれ
ば、端部剥離装置１によりフィルムＦが基板Ｗのフォト
レジストＲから部分的に剥離して剥離部Ｔが形成され、
次いで粘着ローラ２により全体的にフィルムＦが剥離さ
れる。また、この動作は基板Ｗを停止させることなく、
連続的に行えるから作業効率が極めて高い等の利点があ
る。
ば、端部剥離装置１によりフィルムＦが基板Ｗのフォト
レジストＲから部分的に剥離して剥離部Ｔが形成され、
次いで粘着ローラ２により全体的にフィルムＦが剥離さ
れる。また、この動作は基板Ｗを停止させることなく、
連続的に行えるから作業効率が極めて高い等の利点があ
る。
【００１７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明は対象物に
貼着されたフィルムを剥離するフィルム剥離装置であっ
て、フィルム表面に当接してフィルムを引っ掛けて持ち
上げる突起部と、該持ち上げられたフィルムの部分を保
持する凹部とを備えた剥離手段と、該突起部をフィルム
表面に対して押圧し、且つ該突起部がフィルム表面の上
下方向の変位に対応して上下動可能なように支持する手
段と、該剥離手段により剥離された部分に当接し、粘着
して該フィルムを対象物から剥離する粘着ローラと、を
備え、前記対象物が剥離装置に対し相対的に移動し、前
記突起部が相対的に移動するフィルムを引っ掛けて持ち
上げ、前記粘着ローラが相対的に移動するフィルムに粘
着して剥離するため、簡単にしかも高速でドライフィル
ムフォトレジストのカバーフィルムを剥離することがで
きる。また、フォトレジストにキズをつけることもない
等の効果がある。
貼着されたフィルムを剥離するフィルム剥離装置であっ
て、フィルム表面に当接してフィルムを引っ掛けて持ち
上げる突起部と、該持ち上げられたフィルムの部分を保
持する凹部とを備えた剥離手段と、該突起部をフィルム
表面に対して押圧し、且つ該突起部がフィルム表面の上
下方向の変位に対応して上下動可能なように支持する手
段と、該剥離手段により剥離された部分に当接し、粘着
して該フィルムを対象物から剥離する粘着ローラと、を
備え、前記対象物が剥離装置に対し相対的に移動し、前
記突起部が相対的に移動するフィルムを引っ掛けて持ち
上げ、前記粘着ローラが相対的に移動するフィルムに粘
着して剥離するため、簡単にしかも高速でドライフィル
ムフォトレジストのカバーフィルムを剥離することがで
きる。また、フォトレジストにキズをつけることもない
等の効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す概略平面図。
【図２】本発明の一実施例を示す概略側面図。
【図３】図２の部分拡大図。
【図４】ローレット１０の拡大図であり、（Ａ）は側面
図、（Ｂ）は正面図。
図、（Ｂ）は正面図。
【図５】ローレット１０の爪状突起１１の拡大図。
【図６】本発明におけるローレット１０による剥離の動
作説明図。
作説明図。
【図７】本発明の一実施例の動作説明図。
【図８】ドライフィルムフォトレジストを施した回路基
板Ｗの構造を示す断面図。
板Ｗの構造を示す断面図。
１：端部剥離装置、２：粘着ローラ、３：送りローラ、
５：ベルトコンベア、１０：ローレット、１１：爪状突
起、１２：凹部、１３：パイロットローラ、１５：昇降
装置、１６：基板先端センサ、１７：基板先端センサ。
５：ベルトコンベア、１０：ローレット、１１：爪状突
起、１２：凹部、１３：パイロットローラ、１５：昇降
装置、１６：基板先端センサ、１７：基板先端センサ。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｈ０５Ｋ 3/06 Ｊ (56)参考文献 特開 昭62−56244（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−80529（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−67551（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−106560（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G03F 7/26 G03F 7/004 512 G03F 7/38 501 B65H 41/00 H05K 3/06
Claims (5)
- 【請求項１】 対象物に貼着されたフィルムを剥離する
フィルム剥離装置であって、 フィルム表面に当接してフィルムを引っ掛けて持ち上げ
る突起部と、該持ち上げられたフィルムの部分を保持す
る凹部とを備えた剥離手段と、 該突起部をフィルム表面に対して押圧し、且つ該突起部
がフィルム表面の上下方向の変位に対応して上下動可能
なように支持する手段と、 該剥離手段により剥離された部分に当接し、粘着して該
フィルムを対象物から剥離する粘着ローラと、を備え、 前記対象物が剥離装置に対し相対的に移動し、前記突起
部が相対的に移動するフィルムを引っ掛けて持ち上げ、
前記粘着ローラが相対的に移動するフィルムに粘着して
剥離する、 ことを特徴とするフィルム剥離装置。 - 【請求項２】 前記突起部が円板の周側面に所定間隔で
規則的に複数配設され、 該突起部と突起部の間を前記凹部とした、 請求項１に記載のフィルム剥離装置。 - 【請求項３】 前記剥離手段を対象物に対して接離させ
る駆動装置を備えた、 請求項１又は２に記載のフィルム剥離装置。 - 【請求項４】 フィルムが対象物の表裏に貼着され、 前記剥離手段と粘着ローラが対象物の表裏に対向して夫
々一対以上設けられている、 請求項１又は２又は３に記載のフィルム剥離装置。 - 【請求項５】 対象物が回路基板と、該基板上に設けら
れたフォトレジストであり、該フォトレジスト上にフィ
ルムが貼着されている、 請求項１又は２又は３又は４に記載のフィルム剥離装
置。
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| CN107444725B (zh) * | 2017-08-07 | 2019-10-25 | 台州市黄岩康亿丰塑业有限公司 | 一种全自动撕膜装置及其撕膜方法 |
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