TWI387857B - 膜剝離裝置 - Google Patents

Description

膜剝離裝置

本發明係有關一種用以剝離裝設在乾膜光阻(dry film photo resist)的表面之聚酯覆蓋膜等膜之膜剝離裝置。

近年來，在基板等印刷形成配線電路時，係使用原用於IC製造技術之光刻法(photolithographic method)。此時，係使用乾膜光阻作為塗敷在基板上之光阻劑(photo resist)。而且，在該光阻劑上一般黏貼有聚酯製之保護用覆蓋膜。

該膜在光阻劑上進行燒付電路圖案之曝光製程之際必須剝除，以往已有嘗試開發自動且高效率地將該種膜剝離之裝置。

其中之一已知有本申請案申請人所提案之日本專利申請案早期公開特開2002－211836號所揭示者。該發明中，藉由於表面設有凹凸之壓花輥(knurling roller)，在膜端部形成剝離部，由此形成藉由黏貼輥等進行剝離之構成。

(專利文獻1)日本特開2002－211836號

然而，於由增層法(build up method)等製造之基板之情況，由於該製造方法有在乾膜光阻之端部產生段差之情形，而上述習知裝置並無法對應段差，且有容易產生剝離失誤之問題。

本發明之目的係在解決上述習知技術之問題點。

為達成上述目的，本發明之將黏貼於對象物的膜予以剝離之膜剝離裝置之特徵為具備：複數個壓花輥，係抵接於前述對象物之膜的端部而在對象物之寬度方向形成凹凸，而在前述膜端部朝寬度方向形成剝離開始部，且在對象物之長度方向錯開位置而排列；支持裝置，係將前述複數個壓花輥以可分別上下活動自如之方式支持；以及剝離手段，係自藉由前述壓花輥所形成之膜端部的剝離開始部剝離該膜。

壓花輥係為表面設有凹凸之輥，而藉由該輥於膜形成凹凸。藉由該凹凸之形成將膜部分地剝離，且將該凹凸部分作為剝離開始部，藉由剝離手段進行膜之剝離。上述構成中，壓花輥係在對象物之長度方向錯開位置排列，並且可分別上下活動自如地被支持於支持裝置，因此即使為有段差之對象物，亦可追隨該段差，且有效地吸收該段差而形成凹凸，而形成剝離開始部。因此，能防止剝離失誤。

在對象物之表背面皆黏貼有膜時，若將前述壓花輥分別於對象物之表背面對向而設，而構成為各壓花輥係在對象物之表背面的膜端部形成剝離開始部的話係有效率的。

前述壓花輥係最好構成為旋轉行進於對象物之寬度方向以形成凹凸。

又前述支持裝置係具備以可搖動自如之方式裝設於搖動中心之搖動支持體，該搖動支持體係具備在前述對象物之長度方向錯開位置而配置之至少兩個壓花輥，且最好構成為該壓花輥可藉由該搖動上下活動自如地被支持。若進一步地設置以可搖動自如之方式裝設在搖動中心之搖動基台，且將前述搖動支持體以可於搖動中心搖動自如之方式裝設在該搖動基台，使其為雙重之搖動構造，則藉由搖動基台與搖動支持體之兩者的搖動，前述壓花輥之上下活動的追隨性將變高。另外，以作為前述對象物而言，典型的構成可舉出印刷配線基板(printed circuit board)、以及設於該基板上之光阻劑，且在該光阻劑上黏貼有前述膜。

根據本發明之剝離裝置，即使為具有段差之對象物，亦有能進行正確的膜之剝離作業之效果。

以下根據圖式說明本發明之實施形態。

第1圖中係構成為，藉由搬送輥30搬送而來之印刷配線基板W係藉由輥裝置A於其膜F之前端部朝寬度方向(與印刷配線基板W搬送方向垂直之方向)形成剝離開始部50。

基板W係於表背面裝設有光阻劑與膜F，且於此係形成為將表背面之膜F同時進行剝離之形態。

輥裝置A係如第2圖所示，在印刷配線基板W之表背面分別朝寬度方向配設2座，合計配設有4座，從印刷配線基板W之中央朝向寬度方向端部使壓花輥1在印刷配線基板W之膜F上旋轉接觸，而構成為如第5圖所示在印線基板W之膜F上旋轉接觸，而構成為如第5圖所示在印刷配線基板W之膜F的前端部形成剝離開始部50之形態。

如第1圖所示輥裝置A係構成為，透過升降氣缸2以可上下方向升降自如之方式裝設在支持台3，且以預定之壓力壓接於印刷配線基板W。

該支持台3係構成為，進一步地透過引導軌5以可於寬度方向移動自如之方式被支持在基台10，且藉由橫向移動氣缸4之驅動移動於寬度方向。藉由該支持台3之移動，壓花輥1係構成為一邊旋轉於膜F上一邊進行移動。

各輥裝置A在此實施形態中係具備四個壓花輥1，兩個一組的壓花輥1、1分別被支持於搖動支持體11、11。而且，兩個搖動支持體11、11係被支持於1之搖動基台13。搖動支持體11係構成為藉由搖動中心12相對於搖動基台13轉動，而為可搖動之形態。此外，搖動基台13係構成為藉由搖動中心14以可轉動自如之方式被安裝在支持台3，而為可搖動之形態。

藉由以上之構成，壓花輥1係藉由搖動中心14可作大的搖動，又藉由搖動中心12可作微小的搖動，四個之各壓花輥1係構成為可壓接於印刷配線基板W，並且構成為可朝上下方向移動自如，而能吸收段差。

此外各壓花輥1係如第3圖所示，在基板W長度方向(圖之箭頭方向)錯開位置而配設，且構成為能對應存在於長度方向之基板W的段差之形態。

於第4圖說明在基板W有段差時之壓花輥1之上下活動的動作。基板W之表側的長度方向(箭頭方向)之前端側乾膜光阻R較薄，且產生有段差。該部分之壓花輥1a係構成為，對應段差而下降，而接觸於膜F以形成凹凸之狀態。

又在基板W之背面係成為，壓花輥1b移動而壓接密著於膜F以形成凹凸之狀態。

藉由以上之構成，即使於基板W有段差，亦因各壓花輥1係對應該段差朝上下方向活動，因此壓花輥1能有效的壓接於膜F而形成凹凸，而產生剝離開始部50。

於第6圖顯示藉由四個壓花輥1所形成之凹凸的模樣之一例。

在輥裝置A之印刷配線基板W搬送方向下游側設有止動件(stopper)6，形成為藉由止動氣缸7進行升降之形態。藉由該止動件6使印刷配線基板W在預定位置停止，而構成為，藉由輥裝置A在印刷配線基板W之膜F的前端部之位置正確地形成剝離開始部50。

基板確認感測器9係用以檢測印刷配線基板W之到達者，且構成為藉由來自該基板確認感測器9之信號執行一系列的動作。

在輥裝置A之印刷配線基板W搬送方向上游側設有基板固定具8，且構成為，將印刷配線基板W固定在其與基台10之間，以當壓花輥1在膜F上行進時將印刷配線基板W予以固定。

在升降氣缸2之更下游側設有黏著輥20、20，其構成為密著於膜F而從形成有剝離開始部50之端部剝除膜F之形態。

亦可採用其他任何的剝離手段來取代黏著輥20。

如前述所示，輥裝置A之壓花輥1係從印刷配線基板W之寬度方向中央部朝端部方向行進。藉此構成為不會在膜F之寬度方向端部產生裂痕等之形態。

壓花輥1之行進並非僅限定為一次者，因應需要可進行複數次。但，當朝印刷配線基板W寬度方向中央部方向行進時，並不以端部為出發點而從印刷配線基板W之寬度方向中途來進行行進。藉此能防止膜F之裂痕等情況。

另外，第2圖所示之輥裝置A係由四個壓花輥1所構成，但並非限定於此，亦可為例如第7圖與第8圖所示，將兩個壓花輥1,1安裝於搖動支持體11，而藉由搖動中心12使搖動支持體11為可搖動自如之構成。此外，只要為能使壓花輥1個別上下活動之構成，亦可採用其他構成。

藉由第9圖至第12圖說明動作。

藉由搬送輥30將印刷配線基板W搬送至基台10(第9圖)，當抵接於止動件6而停止時，基板固定具8會下降而在其與基台10之間將印刷配線基板W固定(第10圖)。然後，藉由壓花輥1將印刷配線基板W自表背面夾住(第11圖)，再藉由橫向移動氣缸4使壓花輥1朝寬度方向橫向移動。壓花輥1係一開始即先靠近印刷配線基板W之中央側，再使之從印刷配線基板W之中央朝端部方向行進。

此時即使在印刷配線基板W有段差，亦如第4圖所示藉由壓花輥1之上下活動加以吸收，使壓花輥1確實地壓接於印刷配線基板W。

藉由該行進，壓花輥1係如第2圖所示一邊進行旋轉一邊接觸於印刷配線基板W之膜F，而在膜F上形成第6圖所示之凹凸。該凹凸即成為第5圖所示之剝離開始部50。該剝離開始部50係以印刷配線基板W之中央部為邊界在膜F之前端部於左右形成一對。

使壓花輥1橫向行進預定次數之後，將壓花輥1與基板固定座8自印刷配線基板W分離使之成自由狀態，再藉由搬送輥30搬送至黏著輥20(第12圖)。

然後，藉由黏著輥20從剝離開始部50將膜F剝除。

以上說明之實施形態中，各壓花輥1由於可朝上下方向移動自如，而能對應基板W之段差，因此能有效的形成剝離開始部50。又，剝離開始部50係形成在膜F前端之寬度方向大致全體，因此黏著輥20之剝離作業能非常順利地進行，且不會產生起因於部分的剝離不良之膜F的裂縫等。進一步地，剝離開始部50係從印刷配線基板W之寬度方向中央部朝向端部而形成，因此並不會產生壓花輥1與膜F端部之衝突所致之龜裂等，而沒有於剝離中膜F裂開等之問題。

1,1a,1b．．．壓花輥

2．．．升降氣缸

3．．．支持台

4．．．橫向移動氣缸

5．．．引導軌

6．．．止動件

7．．．止動氣缸

8．．．基板固定具

9．．．基板確認感測器

10．．．基台

11．．．搖動支持體

12,14．．．搖動中心

13．．．搖動基台

20．．．黏著輥

30．．．搬送輥

50．．．剝離開始部

A．．．輥裝置

F．．．膜

W．．．印刷配線基板

第1圖係顯示本發明一實施形態之概略側視圖。

第2圖係顯示本發明一實施形態之概略部分前視圖。

第3圖係顯示本發明一實施形態之概略部分俯視圖。

第4圖係顯示本發明一實施形態之動作的概略部分側視圖。

第5圖係顯示本發明一實施形態之動作的說明圖。

第6圖係顯示本發明一實施形態之動作的說明圖。

第7圖係顯示本發明另一實施形態之概略部分前視圖。

第8圖係顯示本發明另一實施形態之概略部分俯視圖。

第9圖係顯示本發明一實施形態之動作的概略側視圖。

第10圖係顯示本發明一實施形態之動作的概略側視圖。

第11圖係顯示本發明一實施形態之動作的概略側視圖。

第12圖係顯示本發明一實施形態之動作的概略側視圖。

1．．．壓花輥

11．．．搖動支持體

12．．．搖動中心

13．．．搖動基台

14．．．搖動中心

A．．．輥裝置

F．．．膜

W．．．印刷配線基板

Claims (6)

1. 一種膜剝離裝置，係將黏著在對象物之膜予以剝離者，其特徵為具備：複數個壓花輥，係抵接於前述對象物之膜的端部而在對象物之寬度方向形成凹凸，而在前述膜端部朝寬度方向形成剝離開始部，且朝對象物之長度方向錯開位置而排列；支持裝置，係將前述複數個壓花輥以可個別上下活動自如之方式予以支持；以及剝離手段，係自藉由前述壓花輥形成之膜端部的剝離開始部剝離該膜。
2. 如申請專利範圍第1項之膜剝離裝置，其中，在對象物之表背面黏貼有膜，而前述壓花輥分別於對象物之表背面相對向而設，且各壓花輥係在對象物之表背面之膜端部形成剝離開始部。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項之膜剝離裝置，其中，前述壓花輥係於前述對象物之膜的端部朝對象物之寬度方向旋轉行進以在對象物之寬度方向形成凹凸。
4. 如申請專利範圍第1項或第2項之膜剝離裝置，其中，前述支持裝置係具備可搖動自如地裝設於搖動中心之搖動支持體，而該搖動支持體係具備在前述對象物之長度方向錯開位置而配置之至少兩個壓花輥，並藉由該搖動將該壓花輥以可上下活動自如之方式予以支持。
5. 如申請專利範圍第4項之膜剝離裝置，其中，前述支持裝置係復具備以可搖動自如之方式裝設在搖動中心之搖動基台，而前述搖動支持體係於搖動中心以可搖動自如之方式裝設在該搖動基台，藉由前述搖動基台與搖動支持體之兩者的搖動，將前述壓花輥以可上下活動自如之方式予以支持。
6. 如申請專利範圍第1項或第2項之膜剝離裝置，其中，前述對象物為印刷配線基板與設在該基板上之光阻劑，且在該光阻劑上黏貼有前述膜。