KR20070050756A - 필름박리장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대상물에 단차가 있을지라도 확실하고 더욱이 신속하게 필름의 박리를 행하는 필름 박리장치를 제공한다.

롤러 장치 A는 4개의 널링롤러(1)를 구비하고, 1대의 널링롤러(1)가 각각이 요동지지체(11)에 지지된다. 그래서, 2개의 요동지지체(11)가 하나의 요동기대(13)에 지지된다. 요동지지체(11)는 요동중심(12)에 의해 요동기대(13)에 대하여 회동하고 요동되도록 되고, 요동기대(13)는 지지대(3)에 요동중심(14)에 의해 회동가능하게 취부되어 요동을 하게 된다. 따라서, 널링롤러(1)에 요동중심(14)에 의해 크게 요동가능하게 되고 또한 요동중심(12)에 의해 미세하게 요동가능하게 되어, 4개의 각 널링롤러(1)는 각각이 상하방향으로 이동된다. 각 널링롤러(1)는 기판 W 길이방향으로 위치가 서로 겹치도록 배설되어 지고 길이 방향에 존재하는 기판 W의 단차에 대응한다.

필름, 박리, 기판, 롤러, 포토 레지스트.

Description

필름박리장치{Film peeling device}

도 1은 본 발명의 하나의 실시형태를 나타내는 개략측면도이고,

도 2는 본 발명의 하나의 실시형태를 나타내는 개략부분정면도이고,

도 3은 본 발명의 하나의 실시형태를 나타내는 개략부분평면도이고,

도 4는 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 개략부분측면도이고,

도 5는 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 설명도이고,

도 6은 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 설명도이고,

도 7은 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 개략부분정면도이고,

도 8은 본 발명의 다른 실시형태를 나타내는 개략부분평면도이고,

도 9는 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 개략측면도이고,

도 10은 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 개략측면도이고,

도 11은 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 개략측면도이고,

도 12는 본 발명의 하나의 실시형태의 동작을 나타내는 개략측면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 널링롤러 2 : 승강에어실린더

3 : 지지대 4 : 횡이동에어실린더

5 : 가이드레일 6 : 스토퍼

7 : 스토퍼에어실린더 8 : 기판클램프

9 : 기판확인센서 10 : 기대

11 : 요동지지체 12 : 요동중심

13 : 요동기대 14 : 요동중심

20 : 점착롤러 30 : 반송롤러

50 : 박리개시부

특허문헌 1 : 일본국 특허공개번호 제2002-211836호

본 발명은 드라이 필름 포토 레지스트(dry film photo resist)의 표면에 장착되어지는 폴리에스테르 커버 필름 등의 필름을 박리하기 위한 필름박리장치에 관한 것이다.

기판에 배선회로를 프린트 형성할 때에, IC 제조기술에 이용되는 포토리소그라피법(photolithographic method)이 근년에 들어 이용되고 있다. 이때에, 기판 상에 도포되어지는 포토 레지스트로서 드라이 필름 포토 레지스트가 사용되어 진다. 그런데, 이러한 포토 레지스트 위에는 폴리에스테르제의 보호용 커버 필름이 점착되어지는 것이 보통이다.

이 필름은 포토 레지스트 상에 회로 패턴을 인화시켜 프린트하는 노광공정에서 박리 제거할 필요가 있다. 종래로부터 이와 같은 종류의 필름을 자동적이고 효율적으로 박리하는 장치의 개발이 시도되어 왔다.

이들 중의 하나는 본 출원인에 의하여 제안된 일본국 특허공개번호 제2002-211836호에 개시되어진 것이 알려져 있다. 상기 발명에서는 표면에 요철이 형성되어진 널링롤러(knurling roller)에 의해 필름 단부에 박리부를 형성하고 이로부터 점착롤러에 의해 박리를 수행하는 구성으로 된다.

그러나, 빌드업 방법(build up method) 등에 의해 제조된 기판의 경우, 그 제조방법에 있어서, 드라이 필름 포토 레지스트의 단부에 단차가 발생하게 되며, 상기한 종래의 장치로서는 단차에 대응할 수 없고, 박리 미스가 발생하는 문제가 있었다.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 대상물에 점착되어지는 필름을 박리하는 필름 박리장치는 상기 대상물의 필름 단부에 접하여 대상물의 폭방향으로 요철을 형성하고, 상기 필름의 단부에 폭 방향으로 박리개시부를 형성하여, 대상물의 길이 방향으로 위치가 서로 겹치도록 배열한 복수의 널링롤러와, 상기 복수의 널링롤러를 각각 상하 이동가능하게 지지하는 지지장치와, 상기 널링롤러에 의해 형성된 필름 단부의 박리 개시부로부터 필름을 박리하는 박리 수단을 구비함을 특징으로 한다.

널링롤러는 표면에 요철이 있는 롤러로서, 이 롤러에 의해 필름에 요철을 형성하게 된다. 이 요철의 형성에 의해 부분적으로 필름이 박리되고 이 요철부분을 박리개시부로 하여 박리 수단에 의해 필름의 박리가 이루어진다. 상기 구성에 있어서, 널링롤러는 대상물의 길이 방향으로 위치가 서로 겹치도록 배열되어 지고, 각각이 상하 이동가능하게 지지장치에 지지되어 있으므로, 단차를 갖는 대상물인 경우에도, 이 단차에 추종되어, 해당 단차를 효과적으로 흡수하여 요철을 형성하고, 박리개시부를 형성하는 것이 가능하다. 따라서, 박리 미스를 방지할 수 있게 된다.

대상물의 표리(表裏)에 필름이 점착되어지는 경우에는 상기 널링롤러를 대상물의 표리에 각각 대향하도록 설치하고, 각 널링롤러는 대상물의 표리의 필름 단부에 박리개시부를 형성하도록 구성하는 것이 효율적이다.

상기 널링롤러는 대상물의 폭방향으로 회전 주행하도록 요철을 형성하는 것이 바람직하다.

또한 상기 지지장치는 요동(搖動)중심에 요동가능하게 장착된 요동지지체를 구비하고, 이 요동지지체는 상기 대상물의 길이 방향으로 위치가 서로 겹치도록 하 여 배치한 적어도 2개의 널링롤러를 구비하여, 이 요동에 의해 상기 널링롤러를 상하 이동가능하게 지지되도록 구성하는 것이 바람직하다. 특히, 요동중심에 요동가능하게 장착된 요동기대를 설치하여, 상기 요동지지체를 이 요동기대에 요동중심으로 요동가능하게 장착하여, 2중의 요동구조를 갖게 하면, 요동기대와 요동지지체 양방의 요동에 의해 상기 널링롤러의 상하 이동의 추적성을 향상시킬 수 있게 된다. 한편, 상기 대상물로서는 전형적으로 프린트 배선 기판(printed circuit board)과 이 기판 위에 설치된 포토 레지스트로서, 이러한 포토 레지스트 위에 상기 필름이 점착되어 있는 구성을 들 수 있다.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 기준으로 하여 상세하게 설명한다.

도 1이 있어서, 반송 롤러(30)에 의해 반송되어진 프린트 배선 기판 W는 롤러 장치 A에 의해 그 필름 F의 선단부에서부터 폭방향(프린트 배선 기판 W 반송방향과 직교하는 방향)으로 박리개시부(50)을 형성하도록 되어 있다.

기판 W는 표면과 이면에 포토 레지스트와 필름 F이 장착되어 있고, 여기에 표면과 이면의 필름 F가 동시에 박리되도록 되어 있다.

롤러 장치 A는 도 2에 나타난 바와 같이 프린트 배선 기판 W의 표리에 각각 폭 방향으로 2기, 합계 4기가 배설되어 있고, 프린트 배선 기판 W의 중앙으로부터 폭방향 단부를 향하는 널링롤러(1)를 프린트 배선 기판 W의 필름 F 상으로 회전접촉시켜서, 도 5에 도시된 바와 같이 프린트 배선 기판 W의 필름 F의 선단부에 박리개시부(50)를 형성하도록 되어 있다.

도 1에 도시된 바와 같이 롤러 장치 A는 지지대(3)에 승강에어실린더(2)를 거쳐서 상하방향으로 승강 가능하게 장착되고, 프린트 배선 기판 W에 대하여 소정의 압력으로 압접하도록 구성되어있다.

이 지지대(3)는 다시 가이드 레일(5)을 매개로 기대(10)에 폭방향으로 이동가능하게 지지되어 횡이동에어실린더(4)의 구동에 의해 폭방향으로 이동하게 된다. 이 지지대(3)의 이동에 의해 널링롤러(1)는 필름 F 위를 회전하면서 이동하도록 구성되어 있다.

각 롤러 장치 A는 그 실시형태로는 4개의 널링롤러(1)를 구비하고 있으며, 2개 1조의 널링롤러(1, 1)가 각각 요동지지체(11, 11)에 지지되어 있다. 그리하여, 2개의 요동지지체(11, 11)는 하나의 요동기대(13)에 지지되어 있다. 요동지지체(11)는 요동중심(12)에 의해 요동기대(13)에 대하여 회동하고, 요동할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, 요동기대(13)는 지지대(3)에 요동중심(14)에 의해 회동가능하게 취부되어 요동을 하게 된다.

이상과 같은 구성에 의해 널링롤러(1)는 요동중심(14)에 의해 크게 요동가능하게 되고 또한 요동중심(12)에 의해 미세하게 요동가능하게 되어, 4개의 각 널링롤러(1)는 프린트 배선 기판 W에 압접하게 되고, 또 각각이 상하방향으로 이동가능하여 단차를 흡수하게 된다.

또, 각 널링롤러(1)는 도 3에 도시된 바와 같이 기판 W의 길이 방향(도면에 화살표 방향)으로 위치가 서로 겹치도록 배설되고 길이 방향으로 존재하는 기판 W의 단차에 대응할 수 있도록 구성되어 있다.

도 4에는 기판 W에 단차가 존재할 때의 널링롤러(1)의 상하 이동에 따른 동작을 설명한다. 기판 W의 표면 측 길이 방향(화살표 방향) 선단측은 드라이 필름 포토 레지스트 R이 얇아지고 단차가 발생되어 있다. 이 부분의 널링롤러(1a)는 단차에 대응하여 하강하고 필름 F에 접촉되어 요철을 형성하게 된다.

또한 기판 W의 이면에는 널링롤러(1b)가 이동하여서, 필름 F에 압접, 밀착하여 요철을 형성하게 된다.

상기 구성에 의하여, 기판 W에 단차가 있더라도, 각 널링롤러(1)는 이 단차에 대응하여 상하 방향으로 이동하게 되므로 널링롤러(1)는 효과적으로 필름 F에 압접하여 요철을 형성하고 박리개시부(50)를 생성하는 것이 가능하게 된다.

도 6에는 4개의 널링롤러(1)에 의해 형성된 요철 모양의 하나의 예를 나타내고 있다.

롤러 장치 A의 프린트 배선 기판 W 반송방향 하류 측에는 스토퍼(6)가 설치되어 지고, 스토퍼에어실린더(7)에 의해 승강할 수 있게 되어 있다. 상기 스토퍼(6)에 의해 프린트 배선 기판 W을 소정의 위치에 정지시켜서, 롤러 장치 A에 의해 프린트 배선 기판 W의 필름 F 선단부의 위치에 정확하게 박리개시부(50)를 형성할 수 있도록 구성되어 있다.

기판확인 센서(9)는 프린트 배선 기판 W의 도래를 검출하는 것으로서, 이 기판확인 센서(9)의 신호에 의해 일련의 동작을 실행하게 된다.

롤러 장치 A의 프린트 배선 기판 W 반송방향 상류 측에는 기판 클램프(8)가 설치되어, 프린트 배선 기판 W를 기대(10)와의 사이에 클램프되어 널링롤러(1)의 필름 F 상의 주행 시에 프린트 배선 기판 W를 고정시킬 수 있도록 구성되어 있다.

승강에어실린더(2)의 하류 측에는 점착 롤러(20, 20)가 설치되어 있고, 필름 F에 밀착하여 박리개시부(50)가 형성된 단부로부터 필름 F를 박리하도록 구성되어 있다.

점착 롤러(20)에 대신하여 다른 어떤 형태의 박리수단도 채택가능하다.

상기에서와 같이 롤러 장치 A의 널링롤러(1)는 프린트 배선 기판 W의 폭방향 중앙부에서 단부방향으로 주행하도록 한다. 이에 의해 필름 F의 폭방향 단부에는 찢어진 눈금이 발생하지 않도록 한다.

널링롤러(1)의 주행은 1회 만으로 한정되어 지는 것은 아니고, 필요에 따라 여러 번 행하는 것도 가능하다. 다만, 프린트 배선 기판 W의 폭방향 중앙부 방향으로 향하여 주행하는 경우에는 단부를 출발점으로 하지 않고, 프린트 배선 기판 W의 폭방향 도중에서 주행을 하게 된다. 이에 의해 필름 F의 찢어짐 등이 방지되는 것이 가능하다.

한편, 도 2에 도시된 롤러 장치 A는 4개의 널링롤러(1)에 의해 구성되어 있으나, 여기에 한정되는 것이 아니며, 예를 들어, 도 7 및 도 8에 도시된 바와 같이 2개의 널링롤러(1, 1)를 요동지지체(11)에 취부하여, 요동지지체(11)를 요동중심(12)에 의해 요동가능하게 하는 구성이라도 좋다. 또, 널링롤러(1)를 각각 상하 이동시키는 구성인 경우에는 다른 구성도 채택 가능하다.

도 9 내지 도 12에 의해 동작을 설명한다.

프린트 배선 기판 W가 반송 롤러(30)에 의해 기대(10)로 반송되고(도 9), 스 토퍼(6)에 당접하여 정지하면, 기판 클램프(8)가 하강하여 기대(10)와의 사이에서 프린트 배선 기판 W를 클램핑 한다(도 10). 그래서, 널링롤러(1)에 의해 프린트 배선 기판 W를 표면과 이면에서 조여주어(도 11), 횡이동 에어실린더(4)에 의해 널링롤러(1)를 폭방향으로 횡이동시킨다. 널링롤러(1)는 당초에는 프린트 배선 기판 W의 중앙측에 있으나, 프린트 배선 기판 W의 중앙에서 단부 방향으로 이동하게 된다.

이때에, 프린트 배선 기판 W에 단차가 있더라도, 도 4에 도시되어 진 바와 같이 널링롤러(1)의 상하 이동에 의해 흡수되고, 널링롤러(1)는 확실하게 프린트 배선 기판 W에 압접한다.

이 주행에 의해 널링롤러(1)는 도 2에 나타난 바와 같이 회전하면서 프린트 배선 기판 W의 필름 F에 접촉하여, 필름 F 상에 도 6과 같은 요철을 형성하게 된다. 이 요철은 도 5에 도시된 박리개시부(50)가 된다. 이 박리개시부(50)는 프린트 배선 기판 W의 중앙부를 경계로 필름 F의 선단부에 좌우로 1쌍씩 형성된다.

널링롤러(1)을 소정횟수 횡으로 이동시키면, 널링롤러(1)와 기판 클램프(8)는 프린트 배선 기판 W에서 떨어져 자유롭게 되고, 반송 롤러(30)에 의해 점착 롤러(20) 쪽으로 반송된다(도 12).

그래서, 점착 롤러(20)에 의해 박리개시부(50)로부터 필름 F가 박리된다.

이상에서 설명한 실시형태에서는 각 널링롤러(1)는 상하방향으로 이동가능하고 기판 W의 단차에 대응하게 되어, 효과적으로 박리개시부(50)를 형성한다. 또한, 박리개시부(50)는 필름 F 선단의 폭방향 거의 전체에 형성되어 지므로, 점착 롤 러(20)에 의한 박리 작업이 극히 원활하게 이루어지고, 부분적인 박리불량에 기인하는 필름 F의 찢어짐 등이 발생하지 않는다. 특히, 박리개시부(50)는 프린트 배선 기판 W의 폭방향 중앙부로부터 선단으로 향하여 형성되어짐으로, 널링롤러(1)와 필름 F 단부와의 충돌에 의한 균열 등이 발생하지 않고, 박리 중에 필름 F가 찢어지는 등의 문제가 없게 된다.

본 발명의 박리 장치에 따르면, 단차를 갖는 대상물의 경우에도 정확한 필름의 박리작업이 행하여지는 효과가 있다.

Claims (6)

1. 대상물에 점착되어지는 필름을 박리하는 필름 박리장치에 있어서,

   상기 대상물의 필름 단부에 접하여 대상물의 폭방향으로 요철을 형성하고, 상기 필름의 단부에 폭 방향으로 박리개시부를 형성하여, 대상물의 길이 방향으로 위치가 서로 겹치도록 배열한 복수의 널링롤러와,

   상기 복수의 널링롤러를 각각 상하 이동가능하게 지지하는 지지장치와,

   상기 널링롤러에 의해 형성된 필름 단부의 박리 개시부로부터 필름을 박리하는 박리 수단을 구비함을 특징으로 하는 필름박리장치.
2. 제 1항에 있어서,

   대상물의 표리(表裏)에 필름이 점착되고,

   상기 널링롤러는 대상물의 표리에 각각 대향하도록 설치되고,

   각 널링롤러는 대상물의 표리의 필름 단부에 박리개시부를 형성하는 필름박리장치.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 널링롤러는 상기 대상물의 필름 단부에서 대상물의 폭방향으로 회전 주 행하여 대상물의 폭방향에 요철을 형성하는 필름박리장치.
4. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 지지장치는 요동(搖動)중심에 요동가능하게 장착된 요동지지체를 구비하고,

   이 요동지지체는 상기 대상물의 길이 방향으로 위치가 서로 겹치도록 하여 배치한 적어도 2개의 널링롤러를 구비하여, 이 요동에 의해 상기 널링롤러를 상하 이동가능하게 지지되는 필름박리장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 지지장치는 요동(搖動)중심에 요동가능하게 장착된 요동기대를 더 구비하고,

   상기 요동지지체는 이 요동기대에 요동중심으로 요동가능하게 장착되고,

   상기 요동기대와 요동지지체 양방의 요동에 의해 상기 널링롤러의 상하 이동가능하게 지지되는 필름박리장치.
6. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 대상물은 프린트 배선 기판(printed circuit board)과 이 기판 위에 설치된 포토 레지스트로서, 이러한 포토 레지스트 위에 상기 필름이 점착되어 있는 필름박리장치.

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