CN1963665A - 薄膜剥离装置 - Google Patents

薄膜剥离装置 Download PDF

Info

Publication number
CN1963665A
CN1963665A CNA2006101063200A CN200610106320A CN1963665A CN 1963665 A CN1963665 A CN 1963665A CN A2006101063200 A CNA2006101063200 A CN A2006101063200A CN 200610106320 A CN200610106320 A CN 200610106320A CN 1963665 A CN1963665 A CN 1963665A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mentioned
film
annular knurl
roller
swing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2006101063200A
Other languages
English (en)
Other versions
CN1963665B (zh
Inventor
五十岚晃
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
ADITECH ENGINEERING Co Ltd
Adtec Engineering Co Ltd
Original Assignee
ADITECH ENGINEERING Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by ADITECH ENGINEERING Co Ltd filed Critical ADITECH ENGINEERING Co Ltd
Publication of CN1963665A publication Critical patent/CN1963665A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN1963665B publication Critical patent/CN1963665B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65H—HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL, e.g. SHEETS, WEBS, CABLES
    • B65H41/00—Machines for separating superposed webs
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/02—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding
    • H05K3/06—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits in which the conductive material is applied to the surface of the insulating support and is thereafter removed from such areas of the surface which are not intended for current conducting or shielding the conductive material being removed chemically or electrolytically, e.g. by photo-etch process

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing Of Printed Circuit Boards (AREA)
  • Folding Of Thin Sheet-Like Materials, Special Discharging Devices, And Others (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)

Abstract

本发明提供的薄膜剥离装置，即使对象物存在高低差，也能可靠且迅速地进行薄膜剥离。滚子装置A具有四个滚花滚子(1)，一对滚花滚子(1)分别由摆动支承体(11)支承。另外，两个摆动支承体(11)由一个摆动基台(13)支承。摆动支承体(11)能够通过摆动中心(12)相对于摆动基台(13)转动、摆动，摆动基台(13)可绕摆动中心(14)转动地安装在支承台(3)上，并且能够摆动。从而，滚花滚子(1)能绕摆动中心(14)进行大幅度摆动，还能绕摆动中心(12)进行小幅度摆动，四个滚花滚子(1)能分别沿上下方向移动。各滚花滚子(1)配置成在基板(W)的长度方向上位置错开，能够对应基板W在长度方向上存在的高低差。

Description

薄膜剥离装置
技术领域
本发明涉及一种薄膜剥离装置，用于剥离装在干膜光致抗蚀剂(dryfilm photo resist)的表面上的聚酯覆膜等薄膜。
背景技术
近年来，当在基板等上印刷形成布线电路时，使用用于IC制造技术的照相平版印刷法(photolithographic method)。作为此时涂敷在基板上的光致抗蚀剂，使用的是干膜光致抗蚀剂。另外，该光致抗蚀剂上通常贴附有聚酯制成的保护用的覆膜。
当进行在光致抗蚀剂上烧制电路图案的曝光工序时，需要将该薄膜剥离，以往曾尝试开发了自动、高效地剥离该种薄膜的装置。
作为其中之一，在本发明的申请人所提出的日本专利公报特开2002-211836号所公开的装置已经公知。在该发明中构成为这样的结构：在表面上设有凹凸的滚花滚子(knurling roller)在薄膜的端部形成剥离部，从该剥离部通过粘附滚子(粘着ロ一ラ)等进行剥离。
专利文献1：日本专利公报特开2002-211836号
然而，在基板是通过组装法(build up method)等制造的情况下，由于其制造方法，在干膜光致抗蚀剂的端部会产生高低差，而上述现有的装置无法对应于高低差，因而存在容易产生剥离失败的问题。
发明内容
本发明的目的在于解决上述现有技术的问题。
为达到上述目的，本发明的剥离贴附在对象物上的薄膜的薄膜剥离装置，其特征在于，包括：多个滚花滚子，配置成在上述对象物的长度方向上位置错开，上述多个滚花滚子与上述对象物的薄膜的端部抵接，并在对象物的宽度方向上形成凹凸，从而在上述薄膜端部沿宽度方向形成剥离开始部；支承装置，支承上述多个滚花滚子，并使它们能够分别上下动作；以及剥离单元，从通过上述滚花滚子形成的薄膜端部的剥离开始部开始，将该薄膜剥离。
滚花滚子是在表面上设有凹凸的滚子，通过该滚子在薄膜上形成凹凸。通过该凹凸的形成，局部地将薄膜剥离，将该凹凸部分作为剥离开始部，通过剥离单元进行薄膜的剥离。在上述结构中，滚花滚子配置成在对象物的长度方向上位置错开，而且可分别上下动作地由支承装置支承，因此即使是存在高低差的对象物，也可以跟随该高低差，有效地吸收该高低差形成凹凸，从而形成剥离开始部。因此，能够防止剥离失败。
当在对象物的表面和背面上都贴附有薄膜的情况下，如果构成以下的结构则是非常高效的：将上述滚花滚子设置成分别与对象物的表面和背面相对，以使各滚花滚子在对象物的表面和背面的薄膜端部形成剥离开始部。
理想的是上述滚花滚子构成为：沿对象物的宽度方向旋转运行，以形成凹凸。
另外理想的是：上述支承装置具有摆动支承体，该摆动支承体安装成能够绕摆动中心摆动，该摆动支承体具有配置成在上述对象物的长度方向上位置错开的、至少两个滚花滚子，并且上述支承装置以这样的方式支承上述滚花滚子：使上述滚花滚子能通过该摆动而上下动作。另外，如果采用这样的双重摆动结构：设置以可绕摆动中心摆动的方式进行安装的摆动基台，将上述摆动支承体可以绕摆动中心摆动地安装在该摆动基台上，则上述滚花滚子通过摆动基台与摆动支承体两者的摆动而上下动作的跟随性提高。此外，作为上述对象物，典型的是印刷布线基板(printed circuit board)，和设于该基板上的光致抗蚀剂，可以列举在该光致抗蚀剂上贴附有上述薄膜的结构。
通过本发明的剥离装置，具有这样的效果：即使是存在高低差的对象物，也能够正确地进行薄膜剥离作业。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式的概略侧视图。
图2是表示本发明的一个实施方式的概略局部主视图。
图3是表示本发明的一个实施方式的概略局部俯视图。
图4是表示本发明的一个实施方式的动作的概略局部侧视图。
图5是表示本发明的一个实施方式的动作的说明图。
图6是表示本发明的一个实施方式的动作的说明图。
图7是表示本发明的另一个实施方式的概略局部主视图。
图8是表示本发明的另一个实施方式的概略局部俯视图。
图9是表示本发明的一个实施方式的动作的概略侧视图。
图10是表示本发明的一个实施方式的动作的概略侧视图。
图11是表示本发明的一个实施方式的动作的概略侧视图。
图12是表示本发明的一个实施方式的动作的概略侧视图。
标号说明
1：滚花滚子；2：升降气压缸；3：支承台；4：横向移动气压缸；5：导轨；6：止挡件；7：止挡件气压缸；8：基板夹具；9：基板确认传感器；10：基台；11：摆动支承体；12：摆动中心；13：摆动基台；14：摆动中心；20：粘附滚子；30：搬送滚子；50：剥离开始部。
具体实施方式
下面根据附图对本发明的实施方式进行说明。
在图1中，通过搬送滚子30搬送来的印刷布线基板W，通过滚子装置A，在其薄膜F的前端部上沿宽度方向(与印刷布线基板W的搬送方向正交的方向)形成有剥离开始部50。
基板W在其表面和背面上都装有光致抗蚀剂与薄膜F，这里，同时对表面和背面上的薄膜F进行剥离。
如图2所示，滚子装置A在印刷布线基板W的表面和背面上沿宽度方向分别配置有两台，合计有四台，并且，从印刷布线基板W的中央朝向宽度方向的端部，滚子装置A使滚花滚子1与印刷布线基板W的薄膜F旋转接触，如图5所示，在印刷布线基板W的薄膜F的前端部形成有剥离开始部50。
如图1所示，滚子装置A可通过升降气压缸2沿上下方向升降地安装在支承台3上，并以预定压力与印刷布线基板W压力接触。
该支承台3又可通过导轨5沿基台10的宽度方向移动地支承在基台10上，该支承台3通过横向移动气压缸4的驱动沿宽度方向移动。通过该支承台3的移动，滚花滚子1形成为在薄膜F上边旋转边移动的结构。
在本实施方式中，各滚子装置A具有四个滚花滚子1，两个为一组的滚花滚子1，1分别由摆动支承体11，11支承。并且，两个摆动支承体11，11由一个摆动基台13支承。摆动支承体11能够绕摆动中心12相对于摆动基台13转动、摆动。另外，摆动基台13可绕摆动中心14转动地安装在支承台3上，并且能够摆动。
通过以上结构，滚花滚子1能够绕摆动中心14进行大幅度摆动，另外能够绕摆动中心12进行小幅度摆动，四个滚花滚子1分别与印刷布线基板W压力接触，并且可以分别沿上下方向移动，从而能够吸收高低差。
另外，如图3所示，将各滚花滚子1配置成在基板W的长度方向(图中的箭头方向)上位置错开，从而能够应对基板W的存在于长度方向的高低差。
图4说明在基板W上有高低差时滚花滚子1的上下移动的动作。基板W正面侧的长度方向(箭头方向)的前端侧的干膜光致抗蚀剂R较薄，产生高低差。该部分的滚花滚子1a对应于高低差而下降，并与薄膜F接触，从而在薄膜F上形成凹凸。
另外在基板W的背面，滚花滚子1b移动并紧密地与薄膜F压力接触，从而在薄膜F上形成凹凸。
通过以上结构，即使在基板W上存在高低差，由于各滚花滚子1对应于该高低差沿上下方向进行动作，因此滚花滚子1能有效地与薄膜F压力接触，并在其上形成凹凸，从而生成剥离开始部50。
图6表示通过四个滚花滚子1形成的凹凸的形态的一个示例。
在滚子装置A的印刷布线基板W的搬送方向的下游侧设有止挡件6，该止挡件6通过止挡件气压缸7进行升降。通过该止挡件6使印刷布线基板W停止在预定位置，通过滚子装置A在印刷布线基板W的薄膜F的前端部的位置上准确地形成剥离开始部50。
基板确认传感器9用于检测印刷布线基板W的到来，根据来自该基板确认传感器9的信号来执行一系列的操作。
在滚子装置A的印刷布线基板W的搬送方向的上游侧，设有基板夹具8，该基板夹具8将印刷布线基板W固定在其与基台10之间，并且当滚花滚子1在薄膜F上运行时，对印刷布线基板W进行固定。
在升降气压缸2的更下游侧设有粘附滚子20，20，粘附滚子20，20构成为：与薄膜F紧密贴合，并从形成有剥离开始部50的端部开始将薄膜F剥离。
也能够采用其他剥离单元来代替粘附滚子20。
如上所述，滚子装置A的滚花滚子1从印刷布线基板W的宽度方向的中央部向端部方向运行。由此，薄膜F的宽度方向的端部不会产生裂口等。
滚花滚子1的运行并不仅限定于一次，可以根据需要进行多次。但是，在朝向印刷布线基板W的宽度方向的中央部方向运行的情况下，不要将端部作为出发点，而是从印刷布线基板W的宽度方向的中途开始运行。由此能够避免薄膜F裂开等情况。
此外，图2所示的滚子装置A由四个滚花滚子1构成，然而也并不仅限于此，例如可以如图7和图8所示，构成为：将两个滚花滚子1，1安装在摆动支承体11上，使摆动支承体11可绕摆动中心12摆动。另外，只要是使滚花滚子1能够分别上下动作的结构，也可以采用其他的结构。
通过图9至图12说明动作。
当印刷布线基板W通过搬送滚子30被搬送到基台10上(图9)、并与止挡件6抵接而停止时，基板夹具8下降将印刷布线基板W固定在基板夹具8与基台10之间(图10)。然后，通过滚花滚子1从表面和背面夹住印刷布线基板W(图11)，通过横向移动气压缸4使滚花滚子1沿宽度方向进行横向移动。滚花滚子1起初靠近印刷布线基板W的中央侧，然后从印刷布线基板W的中央向端部方向运行。
此时即使印刷布线基板W上带有高低差，也会如图4所示那样通过滚花滚子的上下动作而被吸收，从而，滚花滚子1可靠地与印刷布线基板W压力接触。
通过该运行，滚花滚子1在如图2所示那样旋转的同时与印刷布线基板W的薄膜F接触，在薄膜F上形成如图6所示的凹凸。该凹凸成为图5中所示的剥离开始部50。该剥离开始部50以印刷布线基板W的中央部为分界在薄膜F的前端部形成为左右一对。
在使滚花滚子横向运行预定次数后，使滚花滚子1与基板夹具8离开印刷布线基板W，以使印刷布线基板W自由，然后通过搬送滚子30搬送到粘附滚子20(图12)。
然后通过粘附滚子20从剥离开始部50开始将薄膜F剥离。
在以上所说明的实施方式中，各滚花滚子1能够沿上下方向移动，从而能够对应基板W的高低差，因此能够有效地形成剥离开始部50。另外，由于剥离开始部50形成于薄膜F前端的大致整个宽度方向上，因此通过粘附滚子20极其顺利地进行剥离作业，不会产生因局部剥离不良而造成的薄膜F的破裂等。另外，由于剥离开始部50从印刷布线基板W的宽度方向中央部朝向端部形成，因此，不会产生因滚花滚子1与薄膜F端部之间的冲击而导致的龟裂等，不存在薄膜F在剥离过程中破裂等问题。

Claims (6)

1.剥离贴附在对象物上的薄膜的薄膜剥离装置，其特征在于，包括：
多个滚花滚子，配置成在对象物的长度方向上位置错开，上述多个滚花滚子与上述对象物的薄膜的端部抵接，并在对象物的宽度方向上形成凹凸，从而在上述薄膜端部沿宽度方向形成剥离开始部；
支承装置，支承上述多个滚花滚子，并使它们能够分别上下动作；以及剥离单元，从通过上述滚花滚子形成的薄膜端部的剥离开始部开始，将该薄膜剥离。
2.根据权利要求1所述的薄膜剥离装置，其特征在于，
在对象物的表面和背面都贴附有薄膜，
上述滚花滚子设置成分别与对象物的表面和背面相对，
各滚花滚子在对象物的表面和背面的薄膜端部形成剥离开始部。
3.根据权利要求1或2所述的薄膜剥离装置，其特征在于，
上述滚花滚子在上述对象物的薄膜的端部沿对象物的宽度方向旋转运行，从而在对象物上沿宽度方向形成凹凸。
4.根据权利要求1或2所述的薄膜剥离装置，其特征在于，
上述支承装置具有安装成能够绕摆动中心摆动的摆动支承体，
该摆动支承体具有配置成在上述对象物的长度方向位置错开的、至少两个滚花滚子，并且以这样的方式支承上述滚花滚子：能通过上述摆动使该滚花滚子上下动作。
5.根据权利要求4所述的薄膜剥离装置，其特征在于，
上述支承装置还具有安装成能够绕摆动中心摆动的摆动基台，
上述摆动支承体可绕摆动中心摆动地安装在该摆动基台上，
并且上述支承装置以这样的方式支承上述滚花滚子：使上述滚花滚子能够通过上述摆动基台与摆动支承体两者的摆动而上下动作。
6.根据权利要求1或2所述的薄膜剥离装置，其特征在于，
上述对象物为印刷布线基板与设在该基板上的光致抗蚀剂，在该光致抗蚀剂上贴附有上述薄膜。
CN2006101063200A 2005-11-11 2006-07-19 薄膜剥离装置 Active CN1963665B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005327082 2005-11-11
JP2005-327082 2005-11-11
JP2005327082A JP4445457B2 (ja) 2005-11-11 2005-11-11 フィルム剥離装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1963665A true CN1963665A (zh) 2007-05-16
CN1963665B CN1963665B (zh) 2011-08-17

Family

ID=38082769

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2006101063200A Active CN1963665B (zh) 2005-11-11 2006-07-19 薄膜剥离装置

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4445457B2 (zh)
KR (1) KR101195344B1 (zh)
CN (1) CN1963665B (zh)
TW (1) TWI387857B (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101204124B1 (ko) * 2010-07-28 2012-11-22 삼성전기주식회사 보호필름 필링장치 및 필링방법
KR102128396B1 (ko) 2013-10-22 2020-07-01 삼성디스플레이 주식회사 필름 박리 장치
JP2016147737A (ja) * 2015-02-12 2016-08-18 富士フイルム株式会社 積層フィルムの剥離方法、及び機能性フィルムの製造方法
JP2024061708A (ja) 2022-10-23 2024-05-08 株式会社アドテックエンジニアリング フィルム剥離装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2644184B2 (ja) * 1994-06-06 1997-08-25 ソマール株式会社 フィルム剥離方法及び装置
JP2002211836A (ja) 2001-01-11 2002-07-31 Adtec Engineeng Co Ltd フィルム剥離装置
JP3970813B2 (ja) * 2002-09-05 2007-09-05 三星コーニング精密琉璃株式会社 フィルム除去装置及びフィルム除去方法
CN1909982B (zh) * 2004-01-21 2012-03-28 松下电器产业株式会社 显示面板的薄膜剥离方法及薄膜剥离装置

Also Published As

Publication number Publication date
TWI387857B (zh) 2013-03-01
JP2007131424A (ja) 2007-05-31
TW200719096A (en) 2007-05-16
CN1963665B (zh) 2011-08-17
KR101195344B1 (ko) 2012-10-29
JP4445457B2 (ja) 2010-04-07
KR20070050756A (ko) 2007-05-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1963665B (zh) 薄膜剥离装置
JP2823793B2 (ja) 積層基板からカバーシートを除去する方法と装置
US4880488A (en) Film peeling method and apparatus
WO2007001495A8 (en) Thermal development system and method of using the same
JP2007025436A (ja) 露光装置
JPH07330213A (ja) フィルム剥離方法及び装置
JPH01271356A (ja) 薄膜剥離装置
JPH01156480A (ja) 薄膜剥離装置
JPS62196893A (ja) 流体吹付装置を有する薄膜剥離装置
JP3517291B2 (ja) フィルム剥離装置
JPH0717309B2 (ja) 薄膜剥離方法
JP5630740B2 (ja) フィルム剥離装置及びフィルム剥離方法
JP3395152B2 (ja) フィルム張付方法及び装置
JP2013086940A5 (zh)
JP5630741B2 (ja) フィルム剥離装置
JPH04223971A (ja) フィルム剥離方法及びその実施装置
JP2002211836A (ja) フィルム剥離装置
JP2007039214A (ja) 保護シート剥離装置
JP2006008276A (ja) ピーリング装置及びピーリング方法
JP2002338135A (ja) フィルム剥離装置
JP4716312B2 (ja) マスキングテープの剥離方法および剥離装置
JPS6256248A (ja) 薄膜剥離方法及びその実施装置
KR20230115392A (ko) 기판 반송 장치
JP3390856B2 (ja) フィルム剥離装置
JPH11246110A (ja) フィルム剥離装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant