JP3390856B2 - フィルム剥離装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明が属する技術分野】本発明は、基板に貼着された
保護フィルムを剥離するフィルム剥離装置、更に詳しく
は、ガラスからなる基板の片面に貼着された保護フィル
ムの一端部を基板から部分的に剥離させ、次いで一端部
が部分的に剥離された保護フィルムを基板から完全に分
離させる形態の、フィルム剥離装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】プリント配線基板の製造においては、ガ
ラス繊維強化エポキシ樹脂等から形成されたコア板の両
面に銅はくを貼着して銅張積層板を形成し、銅張積層板
の両面にフォトレジスト層及び保護フィルムを積層した
プリント配線基板素材を使用している。そしてこのプリ
ント配線基板素材の両面に回路パターンを照射してフォ
トレジスト層を露光し、その後において両表面に存在す
る保護フィルム（以下単に「フィルム」と略称する）を
剥離している。 【０００３】平面から見て矩形をなすプリント配線基板
素材のような基板の、少なくとも片面からフィルムを剥
離することができるフィルム剥離装置は、例えば特開平
４−１６４７７０号公報に開示されている。このフィル
ム剥離装置は、基板搬送手段、クランプ手段、端部剥離
手段（端部分離手段）及び剥離手段を備えている。 【０００４】前記基板搬送手段は複数個の搬送ローラを
備えている。基板搬送手段は、少なくとも片面にフィル
ムが貼着された基板を実質上水平な状態で、その前端部
が端部剥離位置に達するまで搬送方向に移動させて一端
停止させ、そして更に前記搬送方向に搬送する。端部剥
離手段は、前記端部剥離位置に位置付けられ、そしてク
ランプ手段により一時的にクランプされた基板の前端部
に作用してフィルムの前端部を部分的に基板から剥離さ
せる。剥離手段は、搬送方向に移動させられている基板
とフィルムの前端部との間に気体を噴射させる気体噴射
手段、及び前端部が部分的に剥離されたフィルムを基板
の両面から剥離させてそれぞれ上方及び下方に強制的に
搬送するフィルム剥離搬送手段を含んでいる。フィルム
剥離搬送手段は、複数個のベルト機構から構成されてい
る。 【０００５】前記公報には開示されていないが、前記基
板搬送手段には、基板の両側部に作用して、基板を基板
搬送手段の幅方向中央に位置付ける、すなわち幅寄せす
るためのセンタリング手段が備えられている。このセン
タリング手段は、基板搬送手段の両側部に沿って配置さ
れた一対の支持板と、支持板の各々に沿って間隔を置い
て直立された複数個のセンタリングピンとを備えてい
る。支持板の各々は、基板搬送手段の両側部に設けられ
た静止枠体に案内支持手段を介して基板搬送手段の幅方
向に移動自在に支持されている。支持板の各々と対応す
る静止枠体との間には、それぞれ支持板の各々を幅方向
に往復移動させるためのエアシリンダが介在されてい
る。 【０００６】フィルム剥離装置の上流側から基板搬送手
段の搬送ローラ上に基板が搬入され、所定の位置に位置
付けられた状態で、センタリング手段によるセンタリン
グ作用（幅寄せ作用）が遂行される。すなわち、各エア
シリンダにより支持板の各々が幅方向であって相互に接
近する方向に同じ所定ストロークだけ移動させられる
と、支持板の各々におけるセンタリングピンの各々も該
移動に従って同様に移動させられてそれぞれの外周面の
一部が基板の対応する側面に当接し、基板を幅方向中央
に位置付ける。センタリングされた基板は端部剥離手段
に向かって搬送される。 【０００７】 【発明が解決しようとする課題】前記したセンタリング
手段によるセンタリング作用の遂行に際し、搬送ローラ
上に支持された基板の他面、すなわち下面は、容易に理
解されるように、搬送ローラの外周面の接触部に対しそ
れぞれの軸線方向に相対移動させられる。このような相
対移動は、基板が先に述べたようなプリント配線基板素
材である場合には格別の問題は生ずることはない。 【０００８】しかしながら、前記基板がガラスからなる
場合には、前記相対移動により基板の下面と搬送ローラ
の外周面との間に滑り摩擦が生ずるので、ガラスである
基板の下面にきずが付くおそれが多分にある。ガラスか
らなる基板の典型例としては、カラー・プラズマ・ディ
スプレイ・パネル（以下、単に「ＰＤＰ」と略称する）
を挙げることができる。ＰＤＰの原理は、２枚のガラス
間に、蛍光灯と同様に封入したガスを放電させたときに
出る紫外線を蛍光体に当てて発光させるもので、従来の
ブラウン管に代わる大型画面用のフラットディスプレイ
（例えば壁掛け用ＴＶ）としての需要が期待されてお
り、最近、当業者間で注目を集めているものである。 【０００９】ＰＤＰを構成するガラスの一方（表示側）
の片面には、透明電極、誘電体層、保護層（ＭｇＯ）等
が薄膜に形成され、ガラスの他方の片面には、隔壁、電
極、蛍光体等が厚膜に形成される。各ガラスの厚さは
１．８ｍｍ〜３．０ｍｍ程度であり、前記膜は、厚膜、
薄膜のいずれにおいてもミクロン単位の厚さをなすもの
である。そして各ガラスに前記膜が形成された後、封
着、排気、ガス封入等のプロセスを経て完成される。概
略、以上のようなＰＤＰ製造プロセスにおいて、例え
ば、フォトレジスト層及びフィルムを積層し、露光、現
像等を遂行するプロセスが含まれる。したがって、プリ
ント配線基板の製造と同様に、ＰＤＰの製造過程におい
ても、前記形態のフィルム剥離装置を利用して、ガラス
基板からフィルムを剥離する必要が生ずるのである。 【００１０】ガラスからなる基板の片面に貼着されたフ
ィルムを剥離するプロセスの遂行に際しては、当然のこ
とながら、ガラスの表面をきず付けないことが厳しく要
求される。この観点から前記従来のフィルム剥離装置を
みた場合、前記したセンタリング手段によるセンタリン
グ作用の遂行に際し、搬送ローラ上に支持された基板の
下面（誘電体層等の膜が形成された面と反対側の面）
が、搬送ローラの外周面に対して滑り摩擦を伴いながら
相対移動させられ、その結果、ガラス基板の下面にきず
が付くおそれが多分にある、ということは、到底許容さ
れることではなく、改善が要望されるところである。 【００１１】本発明は、以上の事実に基づいてなされた
もので、その目的は、ガラスからなる基板にきずを付け
ることなく、センタリング作用を遂行することができ
る、改良されたフィルム剥離装置を提供することであ
る。 【００１２】 【課題を解決するための手段】本発明によれば、片面に
フィルムが貼着された基板に作用して、該フィルムの一
端部を該基板から部分的に剥離させる端部剥離手段と、
該基板をその他面側を支持した状態で該端部剥離手段に
向けて移動させる複数個の搬送ローラを含む、基板搬送
手段とを備え、該基板搬送手段は、該基板の両側部に作
用して該基板を幅寄せするためのセンタリング手段を含
む、フィルム剥離装置において、該基板搬送手段はその
下側に配置されたフローティング手段を含み、該フロー
ティング手段は、支持枠体と、該支持枠体上に回転自在
に配設された複数の回転ボール部材と、該支持枠体に作
用して、該回転ボール部材の各々が該基板の該他面に当
接して該基板を該搬送ローラから離れるよう上方に持ち
上げて移動自在に支持する作用位置と、該回転ボール部
材の各々が該基板の該他面から下方に離れて該基板を該
搬送ローラ上に支持する非作用位置とに選択的に位置付
けるための昇降動手段とを備えている、ことを特徴とす
るフィルム剥離装置、が提供される。 【００１３】本発明は前記のように構成されているの
で、基板に対しセンタリング作用を遂行する前に、フロ
ーティング手段を作動させ、回転ボール部材の各々によ
り基板を搬送用ローラから離れるよう上方に持ち上げて
移動自在に支持することができる。この状態でセンタリ
ング作用を遂行すれば、基板は、搬送ローラに対して相
対移動させられるのではなく、回転ボール部材の各々に
対して相対移動させられる。したがって、容易に理解さ
れるように、基板の下面とこれに当接している回転ボー
ル部材の各々との間には相対的な滑り摩擦が実質上なく
なり、これに代わって相対的な転動が行なわれることな
る。その結果、基板がガラスから構成されていても、セ
ンタリングによってその下面をきず付けることは確実に
防止されるので、基板の、画像を形成するエリアを損傷
するおそれは全くなく、したがってその品質が所望のと
おり保証される。 【００１４】 【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明に従って構成されたフィルム剥離装置の一実施の形態
を詳細に説明する。 【００１５】図１には、本発明の特徴をなす新規なセン
タリング手段を含むフィルム剥離装置の要部の一実施の
形態が概略的に示されている。センタリング手段を説明
する前に、先ず、図１を参照してフィルム剥離装置全体
の概要について説明する。全体を番号２で示すフィルム
剥離装置は、基板搬送手段４、クランプ手段６、基板の
停止位置決め手段７、端部剥離手段８及び剥離手段１０
を含んでいる。なお、図２の２点鎖線で示す基板Ｐは、
片面（上面）にフィルムが貼着されたガラスから構成さ
れている。 【００１６】フィルム剥離装置２の入口側に配置された
基板搬送手段４は複数個の搬送ローラ１２を備えてい
る。搬送ローラ１２は、基板Ｐの下面を幅方向の全幅に
わたって支持しうるよう幅方向に延在すると共に、基板
Ｐの搬送方向Ｆに間隔を置いて実質上水平に配列されて
いる。これらの搬送ローラ１２は、その下流端にある搬
送ローラ１２ａを除き、電動モータによって回転駆動さ
れるよう、歯付きベルトを介して駆動結合されている
（いずれも図示せず）。搬送ローラ１２の各々を回転駆
動することにより、基板Ｐを基板搬送面ＰＬに沿って搬
送方向Ｆに移動させることができる。基板搬送手段４は
また、後に詳述するフローティング手段１４及びセンタ
リング手段１６を備えている。フローティング手段１４
は、複数の回転ボール部材１８を備えており、またセン
タリング手段１６は複数個のセンタリングピン２０を備
えている。センタリング手段１６には後述するピンチロ
ーラ手段２２が備えられ、ピンチローラ手段２２は、基
板搬送手段４の両側部に、搬送方向Ｆに間隔を置いて配
列された２個のピンチローラ２４を備えている。 【００１７】クランプ手段６は一対の上側クランプ部材
２５と、それぞれの下方に対向するよう間隔を置いて配
置された一対の下側クランプ部材２６とを備えている。
上側クランプ部材２５の各々及び下側クランプ部材２６
の各々は、それぞれに関連して設けられたエアシリンダ
（図１では、下側クランプ部材２６の一方のエアシリン
ダ２７のみが示されている）により、基板Ｐから上方及
び下方に離れる非作用位置と、基板Ｐの上面及び下面に
おける幅方向両側縁部を所定の圧力でクランプする作用
位置とに選択的に位置付けられるよう構成されている。
なお、下側クランプ部材２６の各々より下流側には、端
部剥離手段８による剥離作用を下側から支持するための
テーブル部材２８が装着されている。テーブル部材２８
は、下側クランプ部材２６の各々と一体的に昇降動させ
られるよう構成されている。 【００１８】基板Ｐの停止位置決め手段７は、テーブル
部材２８に装着された停止位置検出器３０を含んでい
る。停止位置検出器３０はそれ自体周知の反射型光学式
センサから構成されている。番号３２は基板Ｐのオーバ
ランを検出するためのオーバラン検出器であって、停止
位置検出器３０の、搬送方向下流側に間隔を置いて配置
されている。 【００１９】基板搬送手段４の下流端部には端部剥離手
段８が配置されている。端部剥離手段８は、図示しない
エアシリンダにより幅方向に往復移動させられるよう構
成された移動体３４と、移動体３４に図示しないエアシ
リンダにより昇降動自在に支持された複数の圧接ローラ
３６を備えている。圧接ローラ３６のうち少なくとも２
個の水平軸は幅方向に傾けられている。移動体は、エア
シリンダによって、基板Ｐの一側部の移動開始位置と、
他側部の折り返し位置との間を往復移動自在である。ま
た移動体３４に装着された圧接ローラ３６は、エアシリ
ンダによって、基板Ｐの上面から上方に離された非作用
位置と、基板Ｐの上面を圧接して端部剥離作用を遂行す
る作用位置に選択的に位置付けられるよう構成されてい
る。 【００２０】端部剥離手段８の下流側には搬送ローラ１
２と同様な搬送ローラ３７が配置されている。搬送ロー
ラ３７の上方には一対のピンチローラ３８がエアシリン
ダ３９により昇降動自在に配置されている。ピンチロー
ラ３８の各々は、前記幅方向に間隔を置いて搬送ローラ
３７に対向するようその上方に配置され、エアシリンダ
３９により、基板Ｐの上面から上方に離れた非作用位置
と、基板Ｐの上面における幅方向側縁部を所定の圧力で
圧接する作用位置とに選択的に位置付けられるよう構成
されている。搬送ローラ３７は、各ピンチローラ３８の
作用位置においてそれらと協動して、基板Ｐの幅方向側
縁部を下側からホールドする。 【００２１】搬送ローラ３７の下流側には剥離手段１０
が配置されている。剥離手段１０は、フィルム剥離搬送
手段４０と、エア噴射手段４２とを備えている。フィル
ム剥離搬送手段４０は、基板Ｐから部分的に剥離された
フィルムを完全に剥離して、下方に配置された図示しな
い収集ボックス内に搬送するために設けられたもので、
上側ベルト機構４４と、下側ベルト機構４６とを含んで
いる。これらの上側ベルト機構４４及び下側ベルト機構
４６は、それぞれ複数個のベルト車及びそれらに巻き掛
けられた複数の無端ベルトを備えている。またエア噴射
手段４２は幅方向に延在する円筒部材から圧縮エアが上
流方向に向けて噴射されるよう構成されている。なお図
示の番号４８は補助案内ローラ、４９は搬送ローラを示
している。これら上側ベルト機構４４、下側ベルト機構
４６、補助案内ローラ及びエア噴射手段４２は、前記特
開平４−１６４７７０号公報に開示されたものと実質上
同一の構成でよく、したがって更なる説明は省略する。 【００２２】上側ベルト機構４４及び下側ベルト機構４
６にはそれぞれフィルムを無端ベルトにより形成された
搬送径路に沿って案内するための針金ガイド対５０及び
５２が複数対設けられている。上側ベルト機構４４に設
けられた針金ガイド対５０の各々は、エアシリンダ５３
により昇降動自在である。番号５４はそれ自体周知の静
電エア吹き出し型の静電気除去装置であって、上側ベル
ト機構４４の上方に設けられている。 【００２３】フィルム剥離搬送手段４０の下流側には他
の基板搬送手段５６が配置されている。基板搬送装置２
の出口側に配置された基板搬送手段５６は、フィルムが
完全に剥離されて存在しない基板Ｐを更に下流に向けて
搬送するために設けられ、搬送ローラ１２と同様な搬送
ローラ５８が複数個備えられている。 【００２４】次に、主として図２及び図３を参照して、
搬送ローラ１２、フローティング手段１４及びセンタリ
ング手段１６を備えた基板搬送装置４について詳細に説
明する。先ず、搬送ローラ１２について説明する。基板
搬送装置４の幅方向両側部には静止フレーム手段６０
が、前記搬送方向Ｆに延在するよう配置されている。静
止フレーム手段６０の各々は、断面が角型の中空部材か
らなるサイドフレーム６２と、サイドフレーム６２上に
固着された水平フレーム６４と、水平フレーム６４に下
端が固着された鉛直壁フレーム６６と、サイドフレーム
６２の下面に固着されかつサイドフレーム６２の長手方
向（図２の左右方向）に間隔を置いて配置された鉛直柱
フレーム６７とを備えている。水平フレーム６４及び鉛
直壁フレーム６６は板部材から構成されている。鉛直壁
フレーム６６間には前記搬送ローラ１２が支持されてい
る。 【００２５】搬送ローラ１２は軸７０と、軸７０に固着
されたローラ７２から構成されている。軸７０の両端は
軸受７４を介して対応する鉛直壁フレーム６６に回転自
在に支持されている。ローラ７２はステンレス製のパイ
プから構成されている。この構成により、従来のウレタ
ンゴムを外周面にライニングした搬送ローラに比べ、ロ
ール自身からの塵埃の発生を防止し、更に、ガラス基板
Ｐの下面（ディスプレーの表面となる場合がある）をき
ず付けることを確実に防止することができる。なお、搬
送ローラ１２の各々の頂部は基板Ｐの、水平な搬送面Ｐ
Ｌと一致するよう位置付けられている。 【００２６】次に、フローティング手段１４について説
明する。一対の鉛直柱フレーム６７間には幅方向に延び
る横水平フレーム７６が装着されている。Ｌ形断面を有
する横水平フレーム７６の中央部（基板搬送手段４の幅
方向中央）にはエアシリンダ７８が装着され、エアシリ
ンダ７８の出力側には基板搬送方向に延在する縦水平フ
レーム８０が装着されている。したがって、縦水平フレ
ーム８０はエアシリンダ７８により昇降動自在である。
チャンネル形状をなす縦水平フレーム部材８０の上面に
は、４個の横水平支持板８２が搬送方向に間隔を置いて
装着されている。各横水平支持板８２は細長い板部材か
らなり、その長手方向中央部が縦水平フレーム部材８０
の上面に固着され、その両端は基板搬送手段４の両幅方
向に突出するよう延在している。縦水平フレーム部材８
０、横水平支持板８２の各々は支持枠体を構成する。図
３の符号Ｃは、基板搬送手段４の幅方向の中心を通る鉛
直中心線を示している。 【００２７】横水平支持板８２の各々上には、５個のボ
ール回転支持体８４が装着されている。ボール回転支持
体８４としては、例えば、タギゲン製造株式会社から商
品名「ボールキャスター」、形式名「Ｋ１４２」として
販売されているもの、あるいはこれに類する構成を有す
るものが好適である。ボール回転支持体８４は、基板Ｐ
の下面に直接当接する前記回転ボール部材１８を含んで
おり、回転ボール部材１８は鋼球の全面に合成樹脂コー
ティングを施したもの、あるいはそれ自体が合成樹脂
（一例としてメラミン樹脂）から形成されているもの、
であることが、基板Ｐの下面をきず付けない、という面
で好ましい。ボール回転支持体８４の各々は、回転ボー
ル部材１８と、回転ボール部材１８を全方向に回転自在
に支持するケースから構成されており、回転ボール部材
１８は、その一部がケースの上方に露呈するようケース
に支持されている。 【００２８】前記エアシリンダ７８、横水平支持板８２
の各々及び回転ボール部材１８を含むボール回転支持体
８４の各々はフローティング手段１４を構成している。
回転ボール部材１８の各々の頂部は、実質上同一平面上
に位置付けられている。回転ボール部材１８の各々は、
エアシリンダ７８により、基板Ｐの搬送面ＰＬから下方
に離れた非作用位置と、搬送面ＰＬより上方に位置する
作用位置とに選択的に位置付けられるよう構成されてい
る。なお横水平支持板８２の各々は、対応する搬送ロー
ラ１２の間に位置付けられているので、昇降時にそれら
と干渉することはない。 【００２９】次に、センタリング手段１６について説明
する。水平フレーム６４の各々の下方には、基板搬送手
段４の両側部に沿って所定の長さ延在する水平支持板８
６が配置されている。水平支持板８６は、水平フレーム
６４の各々に前記幅方向に延在するよう設けられた図示
しない案内支持手段を介して幅方向に移動自在に支持さ
れている。水平フレーム６４の各々には２個のガイド手
段９０が前記搬送方向に間隔を置いて装着されている。
ガイド手段９０の各々は、水平フレーム６４の下面に装
着された支持体９２と、支持体９２の下面に装着された
チャンネル状のガイドレール９３を備えている。他方、
水平支持板８６の各々の上面には、ガイドレール９３に
対応して被ガイド部材９４が装着され、被ガイド部材９
４の各々は、対応するガイドレール９３に移動自在に嵌
合されている。 【００３０】水平支持板８６の各々には４個のセンタリ
ングピン２０が直立して固着されている。これによりセ
ンタリングピン２０の各々は、搬送手段４の両側部に沿
って搬送方向Ｆに延在するよう配列される。センタリン
グピン２０の各々の頂部にはリング２０ａが回転自在に
装着されている。水平支持板８６の各々と、対応する静
止フレーム手段６０との間には、図示しないエアシリン
ダが介在されている。したがって、センタリングピン２
０は、エアシリンダによって、そのリング２０ａの外周
面の一部が基板Ｐの両側部から幅方向に離れた非作用位
置（図３の実線で示す位置）と、リング２０ａの外周面
の一部が基板Ｐの両側部に当接して幅方向中央に幅寄せ
する作用位置（図２の２点鎖線で示す位置）とに選択的
に位置付けられるよう構成されている。センタリングピ
ン２０の各々は、搬送ローラ１２の間に位置付けられて
いるので、往復移動時にそれらと干渉することはない。 【００３１】ピンチローラ手段２２は、水平支持板８６
の各々に装着されたエアシリンダ９６と、エアシリンダ
９６の出力側に装着された支持体９８を含んでいる。支
持体９８は図２に示すようにＴ形をなし、Ｔ形部の両端
部にピンチローラ２４がそれぞれ回転自在に支持されて
いる。したがって、２個のピンチローラ２４は、それぞ
れ基板搬送手段４の両側部に、搬送方向Ｆに間隔を置い
て配列される。エアシリンダ９６が水平支持板８６の各
々に装着されていることにより、ピンチローラ２４の各
々は、センタリングピン２０の各々と共に幅方向に往復
動させられ、かつエアシリンダ９６により、基板Ｐの上
面から上方に離れた非作用位置（図３の実線で示す位
置）と、基板Ｐの上面を所定の圧力で圧接する作用位置
（図３の２点鎖線で示す位置）とに選択的に位置付けら
れるよう構成されている。各ピンチローラ２４は、搬送
ローラ１２のうちの２個の搬送ローラ１２ｂの直上部に
配置され、前記作用位置においては、対応する搬送ロー
ラ１２ｂと協動して、基板Ｐの幅方向側縁部をホールド
できるよう、その位置が規定されている。 【００３２】次に、以上のように構成されたフィルム剥
離装置２の作用について説明する。なお、フィルム剥離
装置２は、マイクロコンピュータ、各種検出器等からな
る制御手段により自動制御されるが、それらは本発明の
構成をなすものではなく、したがって説明は省略する。
図１を参照して、図示しない電源スイッチをＯＮする
と、上流側の図示しない装置から、入口側の基板搬送手
段４の搬送ローラ１２上に基板Ｐが搬入される。次い
で、基板停止位置等、必要なデータが制御手段に入力さ
れた後、装置は自動スタートする。先ず、入口側の基板
搬送手段４及び出口側の基板搬送手段５６の搬送ローラ
１２及び５８、上側ベルト機構４４及び下側ベルト機構
４６がそれぞれ起動される。基板Ｐは搬送ローラ１２に
より搬送方向Ｆに向かって搬送される。基板搬送手段４
に設けられた図示しない検出器が基板Ｐを検出すると搬
送ローラ１２の回転が停止させられ、基板Ｐは搬送ロー
ラ１２上の所定の位置に位置付けられる。 【００３３】フローティング手段１４のエアシリンダ７
８が作動し、回転ボール部材１８が作用位置まで上昇さ
せられる。基板Ｐは搬送ローラ１２から離され、回転ボ
ール部材１８により支持される。次いでセンタリングピ
ン２０の各々が作用位置に移動させられ、基板Ｐは回転
ボール部材１８上でセンタリングされる。基板Ｐの下面
は回転ボール部材１８上を相対的に転動するので滑り摩
擦がなく、該下面がきず付けられることはない。センタ
リングが終了すると、回転ボール部材１８は非作用位置
に降下させられ、基板Ｐは再び搬送ローラ１２上に支持
される。搬送ローラ１２が回転駆動され、基板Ｐの搬送
が再開される。 【００３４】停止位置検出器３０が基板Ｐの前端を検出
すると、搬送ローラ１２の回転が停止させられ、基板Ｐ
の移動が停止する。基板Ｐは、所定の基準停止位置に位
置付けられる。次いで、基板Ｐが基準停止位置から端部
剥離位置まで移動させるべく、搬送ローラ１２が予め設
定された値、すなわち送り量だけ回転駆動される。この
送り量は、搬送ローラ１２の一つに関連して設けられた
図示しないロータリエンコーダにより検出され、設定値
と一致した時点で駆動が停止される。 【００３５】基板Ｐが端部剥離位置に位置付けられた
後、下側クランプ部材２６とテーブル部材２８が作用位
置に上昇させられ、上側クランプ部材２５が作用位置に
降下させられ、更にピンチローラ２４が作用位置に降下
させられる。基板Ｐの幅方向両側縁部は、上側クランプ
部材２５と下側クランプ部材２６、ピンチローラ２４と
搬送ローラ１２ｂとにより、それぞれクランプあるいは
ホールドされる。 【００３６】次いで端部剥離手段８の移動体３４の移動
開始位置において、圧接ローラ３６が作用位置に降下さ
せられ、基板Ｐの端部におけるフィルムの端部上面に所
定の圧力で圧接される。この状態で移動体３４は、移動
開始位置と折り返し位置との間を往復移動させられ、移
動開始位置に戻される。これにより圧接ローラ３６は幅
方向に往復移動させられ、基板Ｐのフィルムの端部が部
分的に剥離される。 【００３７】フィルムの端部剥離作用の遂行後、圧接ロ
ーラ３６は、作用位置から非作用位置に上昇させられ
る。下側クランプ部材２６とテーブル部材２８が非作用
位置に降下させられ、上側クランプ部材２５が非作用位
置に上昇させられ、更にピンチローラ２４が非作用位置
に上昇させられる。以上により基板Ｐの端部剥離位置へ
の拘束が解除される。センタリングピン２０も非作用位
置に移動させられる。次いで搬送ローラ１２が回転駆動
され、基板Ｐの搬送が開始される。所定のタイミングで
ピンチローラ３８が作用位置に降下させられ、搬送ロー
ラ３７との間に、基板Ｐの幅方向側縁部をホールドして
基板Ｐを搬送方向に移動させる。 【００３８】図示しないセンサが基板Ｐを検出すると、
エア噴射手段４２から圧縮エアが、基板Ｐと前端部から
部分的に剥離されたフィルムとの間に吹き付けられる。
これによりフィルムの剥離が促進され、その前端部が上
方に偏向させられ、補助案内ローラ４８に案内されて上
側ベルト機構４４のベルト間に挟まれて上方に搬送され
る。基板Ｐはフィルムが完全に剥離された状態で出口側
の基板搬送手段５６に搬送される。基板Ｐから剥離され
たフィルムは上側ベルト機構４４、下側ベルト機構４６
の順に、針金ガイド対５０及び５２に案内されながら搬
送され、下方の図示しない収集ボックス内に落下させら
れる。基板搬送手段５６に搬送された基板Ｐは搬送ロー
ラ５８により下流側の装置に搬出される。 【００３９】以上、本発明によるフィルム剥離装置の実
施の形態について説明したが、本発明は前記実施の形態
に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱するこ
となく種々の変形あるいは修正が可能である。例えば本
発明が適用される基板はガラスであるが、ガラスに限ら
ず、他のきず付き易い材料からなる基板にも適用するこ
とができる。 【００４０】 【発明の効果】本発明に従って構成されたフィルム剥離
装置によれば、基板がガラスから構成されていても、そ
の面をきず付けることなく、センタリング作用を遂行す
ることができる。その結果、基板の、画像を形成するエ
リアを損傷するおそれは全くなく、したがってその品質
が所望のとおり保証される。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明に従って構成されたフィルム剥離装置の
一実施の形態を概略的に示す要部側面図。 【図２】図１に示すフィルム剥離装置に含まれる基板搬
送手段の一部を示す側面図。 【図３】図１に示すフィルム剥離装置に含まれる基板搬
送手段の一部横断面図。 【符号の説明】 ２ フィルム剥離装置 ４ 基板搬送手段（入口側） ６ クランプ手段 ８ 端部剥離手段 １０ 剥離手段 １２ 搬送ローラ １４ フローティング手段 １６ センタリング手段 １８ 回転ボール部材 ２０ センタリングピン ４０ フィルム剥離搬送手段 ７８ エアシリンダ ８０ 縦水平フレーム部材 ８２ 横水平支持板 ８４ ボール回転支持体 ９０ ガイド手段 Ｐ 基板 ＰＬ 基板Ｐの搬送面

フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) B65H 29/54 B65H 9/00 H05K 3/06

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 片面にフィルムが貼着された基板に作用
   して、該フィルムの一端部を該基板から部分的に剥離さ
   せる端部剥離手段と、該基板をその他面側を支持した状
   態で該端部剥離手段に向けて移動させる複数個の搬送ロ
   ーラを含む、基板搬送手段とを備え、該基板搬送手段
   は、該基板の両側部に作用して該基板を幅寄せするため
   のセンタリング手段を含む、フィルム剥離装置におい
   て、 該基板搬送手段はその下側に配置されたフローティング
   手段を含み、該フローティング手段は、支持枠体と、該
   支持枠体上に回転自在に配設された複数の回転ボール部
   材と、該支持枠体に作用して、該回転ボール部材の各々
   が該基板の該他面に当接して該基板を該搬送ローラから
   離れるよう上方に持ち上げて移動自在に支持する作用位
   置と、該回転ボール部材の各々が該基板の該他面から下
   方に離れて該基板を該搬送ローラ上に支持する非作用位
   置とに選択的に位置付けるための昇降動手段とを備えて
   いる、ことを特徴とするフィルム剥離装置。