JP2006008276A - ピーリング装置及びピーリング方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ピーリオング装置の構成を、粘着テープを保持してフィルムの角部に対して粘着テープを押し付ける押え用部材と、押え用部材に対して粘着テープを供給するテープ供給系と、フィルムの角部に粘着テープを押し付けた後、押え用部材をフィルム上の所定点を中心とする球面上或いは円周上に沿って移動させる押え用部材駆動系とを有するものとする。
【選択図】図2
Description
Claims (4)
- 基板表面に貼り付けられたフィルムを剥離するピーリング装置であって、
粘着テープを保持し、前記フィルムの角部に対して前記粘着テープを押し付ける押え用部材と、
前記押え用部材に対して前記粘着テープを供給するテープ供給系と、
前記フィルムの角部に前記粘着テープを押し付けた後、前記押え用部材を、前記フィルム上の所定点を中心とする球面上或いは円周上に沿って移動させる押え用部材駆動系とを有することを特徴とするピーリング装置。 - 前記基板を第一の方向に移動させる基板駆動系と、前記粘着テープを介して前記押え用部材に付着して前記基板表面より剥離した前記フィルムの一部を把持するチャック機構と、前記チャック機構を前記第一の方向と直行する方向に駆動する駆動系とを更に有することを特徴とする請求項1記載のピーリング装置。
- 基板に貼り付けられたフィルムを剥離するピーリング方法であって、
押え用部材によって粘着テープを保持し、前記フィルムの角部に対して前記粘着テープを貼付け、
前記押え用部材を、前記フィルム上の所定点を中心とする球面上或いは円周上に沿って移動させて前記フィルムの角部を前記基板から剥離する工程を有することを特徴とするピーリング方法。 - 前記フィルム角部を前記基板から剥離した状態で前記押え用部材を前記基板表面から遠ざけ、
剥離状態にある前記フィルムをチャック機構により把持し、
前記チャック機構を前記基板の延在する面と平行な面にて前記基板の略対角方向に相対的に移動する工程を更に有することを特徴とする請求項3記載のピーリング方法。
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