JP2019140286A - フレキシブルプリント基板の製造方法およびフレキシブルプリント基板の製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】リリースフィルムをソルダーレジストから剥がしても、中間生成物に対して高精度な状態でソルダーレジストフィルムを貼り付けることが可能なフレキシブルプリント基板の製造方法を提供する。【解決手段】ソルダーレジストフィルムの基材層側を保持治具に基材層側を保持させた状態で、接着層に貼り付けられているリリースフィルムを剥がす剥がし工程と、中間生成物に形成されている複数の位置決め用マークを読取手段で読み取る読み取り工程と、読み取り結果に基づいて、中間生成物の伸縮率および傾斜角度を算出する算出工程と、ソルダーレジストフィルムに対するレーザ加工のための加工用データを補正して補正加工用データを算出する補正工程と、ソルダーレジストフィルムに対して切断部位を形成するレーザ加工を行うレーザ加工工程と、レーザ加工がなされたソルダーレジストフィルムと、中間生成物とを位置合わせして貼り付ける貼付工程と、を備える。【選択図】図５

Description

本発明は、フレキシブルプリント基板の製造方法およびフレキシブルプリント基板の製造装置に関する。

フレキシブルプリント基板の各種工程の中には、たとえば特許文献１に開示のように、はんだが不必要な部分に付着するのを防止したり、塵埃や熱等の外部環境から回路パターンを保護するために、ソルダーレジストフィルム（カバーレイフィルム）を、回路パターンが形成済みのフレキシブルプリント基板（ワーク）に貼り付けることが多い。

また、近年は、フレキシブルプリント基板を製造する過程において、レーザ加工を行うことが広がりつつある。たとえば、特許文献２には、外形加工用のガイドおよびスクライブをレーザ加工にて行うことが開示されている。また、特許文献３、特許文献４には、エキシマレーザを用いて、製品外形に適した分離用溝を形成したり、フォトレジスト層に外形輪郭規定ガイドを形成し、その外形輪郭規定ガイドに沿ってレーザ切断する技術について開示されている。

特開２００５−３２７９８２号公報 特開２００５−１０１１９７号公報 特開平４−２５０６８７号公報 特開平９−２４６６８８号公報

ところで、ソルダーレジストフィルムには接着材が設けられているが、その接着材にはリリースフィルムが貼り付けられることで、接着材が保護されている。そして、ソルダーレジストフィルムをワークに貼り付ける場合には、リリースフィルムを剥がす必要がある。ここで、ソルダーレジストフィルムには、たとえば特許文献１に開示のように、開口部が設けられているのが通常である。一方で、剥がした後のソルダーレジストフィルムは、非常に柔らかいのが通常である。したがって、リリースフィルムをソルダーレジストフィルムから剥がす際に、ソルダーレジストフィルムが伸縮したり、剥がした後に残留応力の影響によって伸縮する場合がある。

そのため、ソルダーレジストフィルムに対して、開口部や孔等の打ち抜き部位を、たとえばレーザ加工や金型を用いて高精度に形成しても、リリースフィルムを剥がす際に、寸法精度が悪化してしまう、という問題がある。

ここで、特許文献１〜４のいずれにも、ソルダーレジストフィルムからリリースフィルムを剥がすことについては触れられていない。したがって、上記の問題を解決することはできない。

本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、リリースフィルムをソルダーレジストから剥がしても、中間生成物に対して高精度な状態でソルダーレジストフィルムを貼り付けることが可能なフレキシブルプリント基板の製造方法、およびフレキシブルプリント基板の製造装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の第１の観点によると、フレキシブルプリント基板の中間生成物に、基材層および接着層を備えるソルダーレジストフィルムを貼り付けるフレキシブルプリント基板の製造方法であって、ソルダーレジストフィルムの基材層側を保持治具に保持させる保持工程と、保持治具に基材層側を保持させた状態で、ソルダーレジストフィルムの接着層に貼り付けられているリリースフィルムを剥がす剥がし工程と、剥がし工程の後に、中間生成物に形成されている複数の位置決め用マークを読取手段で読み取る読み取り工程と、読み取り工程での複数の位置決め用マークの読み取り結果に基づいて、中間生成物の伸縮率および傾斜角度のうちの少なくとも一方を算出する算出工程と、算出工程での伸縮率および傾斜角度の少なくとも一方の算出結果に基づいて、ソルダーレジストフィルムに対するレーザ加工のための加工用データを補正して補正加工用データを算出する補正工程と、補正工程での補正加工用データに基づいて、ソルダーレジストフィルムに対して切断部位を形成するレーザ加工を行うレーザ加工工程と、レーザ加工がなされたソルダーレジストフィルムと、中間生成物とを位置合わせして貼り付ける貼付工程と、を備えることを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法が提供される。

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、保持治具は、ソルダーレジストフィルムに対して吸引保持力を与える吸引孔を備える吸引治具であると共に、保持工程では、吸引治具を介してソルダーレジストフィルムを吸引保持する、ことが好ましい。

さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、ソルダーレジストフィルムは供給ローラにロール状に巻回された状態で取り付けられていて、リリースフィルムは巻取ローラによって巻き取られると共に、剥がし工程では、巻取ローラの移動によって保持治具の保持部位に差し掛かるようにソルダーレジストフィルムが引き出され、さらにレーザ加工工程において生じるスクラップを吸引する、ことが好ましい。

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、ソルダーレジストフィルムは、シート状に設けられていて、剥がし工程では、保持工程に先立ってシート状のソルダーレジストフィルムからリリースフィルムが剥がされる、ことが好ましい。

さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、切断部位には、中間生成物の位置決め用マークに対応して形成される位置決め孔が存在すると共に、貼付工程は、位置決め用マークと位置決め孔を位置合わせする位置合わせ工程の後に行う、ことが好ましい。

また、本発明の他の側面は、上述の発明において、中間生成物は供給ローラにロール状に巻回された状態で取り付けられていて、ソルダーレジストフィルムと中間生成物とを貼付工程で貼り合わせた後のフレキシブルプリント基板は、巻取ローラによって巻き取られる、ことが好ましい。

さらに、本発明の他の側面は、上述の発明において、読み取り工程に先立って、シート状の中間生成物を、該中間生成物とソルダーレジストフィルムとを貼り付ける貼付手段まで搬送する搬送工程を備える、ことが好ましい。

また、上記課題を解決するために、本発明の第２の観点によると、フレキシブルプリント基板の中間生成物に、基材層および接着層を備えるソルダーレジストフィルムを貼り付けるフレキシブルプリント基板の製造装置であって、ソルダーレジストフィルムの基材層側を保持させる保持治具と、保持治具に基材層側を保持させた状態で、ソルダーレジストフィルムの接着層に貼り付けられているリリースフィルムを剥がす剥がし手段と、中間生成物に形成されている複数の位置決め用マークを読み取る読取手段と、読取手段での複数の位置決め用マークの読み取り結果に基づいて、中間生成物の伸縮率および傾斜角度のうちの少なくとも一方を算出する算出手段と、算出手段での伸縮率および傾斜角度の少なくとも一方の算出結果に基づいて、ソルダーレジストフィルムに対するレーザ加工のための加工用データを補正して補正加工用データを算出する補正手段と、補正手段で算出された補正加工用データに基づいて、ソルダーレジストフィルムに対して切断部位を形成するレーザ加工を行うレーザ加工手段と、レーザ加工がなされたソルダーレジストフィルムと、中間生成物とを位置合わせして貼り付ける貼付手段と、を備えることを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造装置が提供される。

本発明によると、リリースフィルムをソルダーレジストから剥がしても、中間生成物に対して高精度な状態でソルダーレジストフィルムを貼り付けることが可能となる。

本発明の一実施の形態に係るソルダーレジストフィルムの構成を示す図である。 本発明の一実施の形態に係るフレキシブルプリント基板の中間生成物を示す図である。 本発明の一実施の形態に係るフレキシブルプリント基板を示す図である。 本発明の一実施の形態に係るフレキシブルプリント基板の製造装置の構成を示す概略図である。 本発明の一実施の形態に係り、シート状のフレキシブルプリント基板の個片毎に位置決め用マークが設けられているイメージを示す図である。 本発明の一実施の形態に係るフレキシブルプリント基板の製造方法を示す処理フローである。 本発明の他の実施の形態に係るフレキシブルプリント基板の製造装置の構成を示す概略図である。

以下、本発明の一実施の形態に係るフレキシブルプリント基板２０の製造方法、およびフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００について、以下に説明する。

＜ソルダーレジストフィルム＞
まず、ソルダーレジストフィルム１０の構成について説明する。図１は、ソルダーレジストフィルム１０の構成を示す図である。ソルダーレジストフィルム１０は、基材層１１と、接着層１２と、リリースフィルム１３とを備えている。基材層１１は、たとえば熱硬化性のポリイミドを主要な材質としているが、ポリイミド以外の材質が存在していても良い。この基材層１１の片面側には、接着層１２が設けられている。接着層１２は、ワークの回路パターンが形成されたパターン面に対する接着性を有している。なお、基材層１１は、可撓性および絶縁性を備えていれば、ポリイミド以外のものを用いることも可能である。また、接着層１２は、その材質を熱可塑性ポリイミドとずるものがあるが、熱可塑性ポリイミド以外に、エポキシ系接着材や、アクリル系接着材等のような、その他の接着材を用いることも可能である。

また、リリースフィルム１３は、接着層１２に対して剥離させることが可能な離型性を備えるフィルムである。なお、リリースフィルム１３は、たとえば、リリースフィルム１３として、紙材やＰＥＴ（Polyethylene terephthalate）等を始めとする各種樹脂を材質とするものが挙げられるが、接着層１２から剥離可能であれば、どのような材質を用いても良い。

なお、図４に示すように、ソルダーレジストフィルム１０の隅角部の近傍には、後述するレーザ加工によって位置決め孔１５が形成されている。この位置決め孔１５は、後述するような中間生成物Ｃ１とソルダーレジストフィルム１０とを貼り合わせる際の基準となる部位である。

＜フレキシブルプリント基板について＞
図２は、本実施の形態に係る、フレキシブルプリント基板２０の中間生成物Ｃ１を示す図である。図２に示すように、フレキシブルプリント基板２０の中間生成物Ｃ１は、製品となるフレキシブルプリント基板２０を製造する中途段階のものである。この中間生成物Ｃ１は、基材層２１と、導体層２２とを少なくとも有している。基材層２１は、たとえばポリイミドフィルムから形成されているが、その材質は、可撓性および絶縁性を備えていれば、他のものであっても良い。また、導体層２２は、たとえば銅箔等の金属箔であるが、導電性を有していれば、その材質は他のものであっても良い。

導体層２２には、エッチング他のフォトファブリケーション手法を用いて、回路パターン２３が形成されている。そして、この回路パターン２３には、上述した接着層１２が接着される。それにより、後の工程で回路パターン２３に対して不必要な半田が付着したり、塵埃や熱等の外部環境から保護することが可能となる。

なお、中間生成物Ｃ１は、１つの基材層２１と１つの導体層２２を有するものには限られず、基材層と導体層のうちの少なくとも一方を複数備えていても良い。

上述のソルダーレジストフィルム１０からリリースフィルム１３を剥離し、その後に接着層１２を中間生成物Ｃ１に対して仮接着させると、図３に示すような、接着層１２が回路パターン２３（導体層２２）に対して仮接着された状態のフレキシブルプリント基板２０が形成される。なお、図３に示すフレキシブルプリント基板２０では、後述するようなレーザ加工により、基材層１１および接着層１２を打ち抜いた開口部１４が形成されている。また、図３に示すフレキシブルプリント基板２０は、最終工程を経た製品ではないが、本明細書では図３に示すものを、フレキシブルプリント基板２０と称呼する。

なお、中間生成物Ｃ１には、位置決めを行うための位置決め用マーク２４が設けられている（図４参照）。この位置決め用マーク２４に基づいて、後述するソルダーレジストフィルム１０との位置合わせがなされる。

＜フレキシブルプリント基板の製造装置について＞
次に、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００について、以下に説明する。図４は、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００の構成を示す概略図である。このフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００は、フィルム供給機構１１０と、フィルム吸着機構１２０と、移動機構１３０と、レーザ照射機構１４０と、カメラ装置１５０と、ワーク貼付機構１６０と、画像処理装置１９０と、制御装置２００とを備えている。

フィルム供給機構１１０は、リリースフィルム１３が剥がされていないソルダーレジストフィルム１０を供給ローラ１１１にロール状に巻回した状態で保持している。この供給ローラ１１１は、駆動可能または従動可能に設けられていて、後述する吸引治具１２１に向けてソルダーレジストフィルム１０を供給可能としている。また、フィルム供給機構１１０は、巻取ローラ１１２も備えている。巻取ローラ１１２は、接着層１２から剥がされたリリースフィルム１３を巻き取るためのローラである。巻取ローラ１１２は、不図示のモータ等によって駆動可能に設けられることで、リリースフィルム１３を巻き取ることが可能となっている。

また、巻取ローラ１１２は、ローラ移動機構１１３により移動可能に設けられている。ローラ移動機構１１３は、フィルム供給機構１１０側に移動してきたフィルム吸着機構１２０の吸引治具１２１上を移動可能となっている。すなわち、巻取ローラ１１２を移動させることで、供給ローラ１１１と巻取ローラ１１２の間の間隔が長くなり、吸引治具１２１を覆うようにソルダーレジストフィルム１０を引き出すことができる。このようなソルダーレジストフィルム１０の引き出し状態で、後述する吸引ポンプ１２３を作動させることにより、ソルダーレジストフィルム１０を吸引保持することができる。そして、ソルダーレジストフィルム１０の吸引保持後に、ローラ移動機構１１３の作動によって供給ローラ１１１側に巻取ローラ１１２が移動することで、巻取ローラ１１２にリリースフィルム１３が巻き取られる一方、リリースフィルム１３の剥離後のソルダーレジストフィルム１０は供給ローラ１１１に吸引保持されたままとなる。

なお、巻取ローラ１１２およびローラ移動機構１１３は、剥がし手段に対応する。

また、フィルム吸着機構１２０は、リリースフィルム１３が剥離された状態のソルダーレジストフィルム１０を吸引保持する機構である。このフィルム吸着機構１２０は、吸引治具１２１と、冶具取付ボックス１２２と、吸引ポンプ１２３とを備えている。吸引治具１２１は、リリースフィルム１３が剥離された状態のソルダーレジストフィルム１０を吸引保持する部分である。具体的には、吸引治具１２１は、基材層１１側を吸引保持し、接着層１２が上面側となるように吸引保持する。この吸引治具１２１には、ソルダーレジストフィルム１０に吸引力を及ぼすための吸引孔（図示省略）が複数配置されている。なお、吸引孔は、孔形状の部分を吸引治具１２１に複数形成するようにしても良く、多孔質状の部材を用い、その多孔質状の部材に存在する微細な孔部分を吸引孔としても良い。なお、吸引治具１２１は、保持治具に対応する。

また、後述のように、ソルダーレジストフィルム１０には開口部１４が形成される。そのため、吸引治具１２１には、吸引孔は、開口部１４を打ち抜いた際の切取部１４ａを落下させるための除去孔（図示省略）も設けられている。そのため、吸引孔は、除去孔を避けた状態で、ソルダーレジストフィルム１０に対して全体的に吸引力を及ぼすように複数配置されている。なお、吸引治具１２１における吸引孔および除去孔の配置は、ソルダーレジストフィルム１０に形成する開口部１４に対応させて、異なる状態となっている。

また、上述した吸引治具１２１は、冶具取付ボックス１２２に取り付けられる。冶具取付ボックス１２２は、吸引治具１２１を取付固定すると共に、上述した切取部１４ａ（スクラップ）を落下させる内部空間１２２ａを備えている。また、冶具取付ボックス１２２には、吸引管路や吸引用のキャビティが設けられ（図示省略）、上述した吸引孔と連通している。この吸引孔に吸引力を与えるために、冶具取付ボックス１２２の外部には吸引ポンプ１２３が設けられ、その吸引ポンプ１２３が配管等を介して上記の吸引管路やキャビティと連通している。

さらに、上述した除去孔に吸引力を与えるために、上述の吸引孔とは別系統の吸引管路や吸引キャビティが設けられている。それにより、開口部１４を形成した後の切取部１４ａを、外部に飛散させずに冶具取付ボックス１２２の内部空間１２２ａに蓄えることが可能となっている。

また、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００には、移動機構１３０が設けられている。移動機構１３０は、冶具取付ボックス１２２を移動させるための機構である。そのため、移動機構１３０は、冶具取付ボックス１２２の移動をガイドするガイド部材１３１と、冶具取付ボックス１２２が移動するための駆動力を与えるモータ等の駆動源１３２とを備えている。

この移動機構１３０においては、駆動源１３２を作動させて冶具取付ボックス１２２をガイド部材１３１に沿ってフィルム供給機構１１０側に移動させることにより、リリースフィルム１３が剥がされたソルダーレジストフィルム１０を吸引治具１２１に吸引保持させることができる。また、駆動源１３２を作動させて冶具取付ボックス１２２をガイド部材１３１に沿ってワーク貼付機構１６０側に移動させることにより、ソルダーレジストフィルム１０を中間生成物Ｃ１に貼り付けることが可能となる。

なお、ガイド部材１３１としては、ボールねじやＸＹステージ、リニアガイド、スライドレール等、適宜の機械要素を用いることが可能である。

また、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００には、レーザ照射機構１４０が設けられている。なお、レーザ照射機構１４０は、レーザ加工手段に対応する。レーザ照射機構１４０は、レーザ発振器やレーザ光を集光した集光系からのレーザを直接、ソルダーレジストフィルム１０に向けて出射するレーザヘッド１４１と、レーザヘッド１４１を揺動させたり移動させるＸＹステージを用いたヘッドスキャン装置１４２とを備えるタイプがある。しかしながら、レーザ照射機構１４０は、上記のタイプには限られず、たとえばレーザ発振器やレーザ光を集光した集光系からのレーザをミラーにより反射して、ソルダーレジストフィルム１０上を走査させるガルバノスキャナ方式によるタイプ等のような他のタイプとしても良い。

なお、図４に示す構成では、レーザ照射機構１４０の作動によって、ソルダーレジストフィルム１０を打ち抜いた開口部１４、位置決め孔１５およびソルダーレジストフィルム１０をシート状に切断するための切断線１６が形成されている。なお、開口部１４、位置決め孔１５および切断線１６は、切断部位に対応する。

また、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００には、カメラ装置１５０が設けられている。カメラ装置１５０は、中間生成物Ｃ１の位置決め用マーク２４を読み取る装置である。たとえば、中間生成物Ｃ１に存在する少なくとも３箇所の位置決め用マーク２４をカメラ装置１５０で読み取ることにより、中間生成物Ｃ１の伸縮、位置ずれおよび傾斜等の情報を算出することができる。そのため、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００には、上述した中間生成物Ｃ１の伸縮、位置ずれおよび傾斜等を算出するための、後述するような画像処理装置１９０が設けられている。なお、カメラ装置１５０は、読取手段および貼付手段に対応する。なお、少なくとも３箇所の位置決め用マーク２４のうちの少なくとも１箇所の位置決め用マーク２４は、同一直線上には存在していない。それにより、位置決め用マーク２４の中間生成物Ｃ１の位置は、２次元的に算出することができるので、中間生成物Ｃ１の伸縮率および傾斜角度を算出可能となる。

また、少なくとも３箇所の位置決め用マーク２４を読み込んで、中間生成物Ｃ１の伸縮、位置ずれおよび傾斜等の情報を算出する場合、図５に示すフレキシブルプリント基板２０に対して行うこともできる。図５は、シート状のフレキシブルプリント基板２０の個片２５毎に位置決め用マーク２４が設けられているイメージを示す図である。なお、図５においては、破線で囲まれた内部に存在する個片２５と位置決め用マーク２４とが１つのセットになっている。

上述した図５に示す構成では、後に切り離される予定の個片２５毎に、その個片２５の伸縮、位置ずれおよび傾斜等の情報を算出するための位置決め用マーク２４が設けられている。そのため、それらの位置決め用マーク２４をカメラ装置１５０で読み取ることで、個片２５毎の伸縮、位置ずれおよび傾斜等の情報を算出することができる。したがって、後述する画像処理装置１９０で、個片２５毎の伸縮、位置ずれおよび傾斜等を算出することで、ソルダーレジストフィルム１０をカットするＣＡＤデータである加工用データを一層精度良く補正する処理を行える。なお、図５においては、１つの個片２５毎に３つの位置決め用マーク２４が設けられている構成が示されているが、１つの個片２５毎に存在する位置決め用マーク２４の個数は３つ以上であれば幾つであっても良い。また、１つの個片２５毎に２つの位置決め用マーク２４が存在する構成を採用しても良い。

なお、カメラ装置１５０は、カメラ移動機構１５１によって移動可能に設けられている。それにより、中間生成物Ｃ１のそれぞれの位置決め用マーク２４を読み取ることを可能としている。しかしながら、位置決め用マーク２４に対応する個数分だけ、カメラ装置１５０を設けることで、カメラ移動機構１５１を省略する構成を採用しても良い。また、カメラ装置１５０は、ソルダーレジストフィルム１０の位置決め孔１５等の位置決めマークを読み取り可能となっている。したがって、画像処理装置１９０での所定の演算を経ることで、ソルダーレジストフィルム１０と中間生成物Ｃ１とを精度良く貼り付けることが可能となっている。

なお、ソルダーレジストフィルム１０側の位置決め孔１５等の位置決めマークを読み取るカメラ装置１５０は、中間生成物Ｃ１の位置決め用マーク２４を読み取るカメラ装置１５０と別個のものであっても良く、同一のものであっても良い。

また、吸引治具１２１に貼り付けられたソルダーレジストフィルム１０に中間生成物Ｃ１を貼り付けるために、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００には、ワーク貼付機構１６０が設けられている。ワーク貼付機構１６０は、ＦＰＣ供給機構１７０と、加熱プレス装置１８０とを備えている。

また、ＦＰＣ供給機構１７０は、上述したフィルム供給機構１１０と同様に、供給ローラ１７１と、巻取ローラ１７２と、一対の段差ローラ１７３とを備えている。供給ローラ１７１は、駆動可能または従動可能に設けられていて、後述する加熱プレス装置１８０と対向する部位に中間生成物Ｃ１を供給可能としている。また、ＦＰＣ供給機構１７０は、巻取ローラ１７２も備えている。巻取ローラ１７２は、中間生成物Ｃ１にソルダーレジストフィルム１０が貼り付けられたフレキシブルプリント基板２０を巻き取るためのローラである。この巻取ローラ１７２は、不図示のモータ等によって駆動可能に設けられることで、フレキシブルプリント基板２０を巻き取ることが可能となっている。また、一対の段差ローラ１７３は、中間生成物Ｃ１を吸着板１８４に良好に吸引保持させるために、吸着板１８４を挟んで吸引保持前に中間生成物Ｃ１を張設し、吸引保持前に中間生成物Ｃ１に段差が形成されるのを防ぐためのローラである。

また、ワーク貼付機構１６０は、加熱プレス装置１８０を備えている。なお、加熱プレス装置１８０は、貼付手段に対応する。加熱プレス装置１８０は、加熱装置１８１と、押圧装置１８２と、加熱押圧ツール１８３と、吸着板１８４とを備えている。加熱装置１８１は、加熱押圧ツール１８３を加熱する装置である。また、押圧装置１８２は、少なくとも加熱押圧ツール１８３を中間生成物Ｃ１に向けて押圧する装置である。

また、加熱押圧ツール１８３は、吸着板１８４の挿通孔１８４ａに差し込まれ、吸着板１８４から突出する。そして、押圧装置１８２の作動の際には、中間生成物Ｃ１を加熱しながら押圧する部分である。また、吸着板１８４は、中間生成物Ｃ１の接着面側がソルダーレジストフィルム１０と対向するように吸引保持する。この吸着板１８４には、加熱押圧ツール１８３が差し込まれる挿通孔１８４ａが設けられている。

以上のような構成により、中間生成物Ｃ１が吸着板１８４に吸引保持された状態でソルダーレジストフィルム１０と中間生成物Ｃ１との位置合わせを行い、その位置合わせの後に、加熱押圧ツール１８１が中間生成物Ｃ１を加熱状態で押圧することで、中間生成物Ｃ１に対してソルダーレジストフィルム１０がスポット的に仮接着される。

なお、中間生成物Ｃ１とソルダーレジストフィルム１０の位置合わせは、上述した移動機構１３０によってソルダーレジストフィルム１０を移動させることで、実現しても良く、加熱プレス装置１８０を移動させる移動機構を別途設け、その移動機構の作動によって実現しても良い。

また、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００には、画像処理装置１９０が設けられている。画像処理装置１９０は、図示を省略するＣＰＵ（Central Processing Unit）と、主記憶装置と、補助記憶装置と、画像処理回路等を備えている。この画像処理装置１９０は、カメラ装置１５０での中間生成物Ｃ１の位置決め用マーク２４の撮像結果に基づいて、レーザ照射機構１４０でソルダーレジストフィルム１０でのレーザ加工を行うための加工用データ（加工用のＣＡＤデータ）に対して、補正処理を行う。具体的には、画像処理装置１９０は、上記の撮像結果に基づいて、加工用のＣＡＤデータを、伸縮させたり、回転させる等の画像処理を行う。

なお、画像処理装置１９０は、たとえばコンピュータであり、外部記憶装置を含むメモリに記憶されている所定の画像処理プログラムを実行することで、カメラ装置１５０から送信された画像データに対して、所定の画像処理を実行することを可能としている。なお、画像処理装置１９０は、算出手段および補正手段に対応する。

また、制御装置２００は、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００の各駆動部位の作動を制御する部分である。この制御装置２００は、画像処理装置１９０に接続されていて、その画像処理装置１９０での画像処理結果に基づいて、レーザ照射機構１４０の駆動を司る。また、制御装置２００は、フィルム供給機構１１０、吸引ポンプ１２３、移動機構１３０、カメラ装置１５０、カメラ移動機構１５１、ＦＰＣ供給機構１７０、加熱プレス装置１８０の各作動を制御することも可能となっている。なお、制御装置２００は、たとえばコンピュータであり、外部記憶装置を含むメモリに記憶されている所定の画像処理プログラムを実行することで、各種の制御動作を実行可能としている。

なお、上記の制御装置２００を用いて、全ての動作を自動的に実行するようにしても良い。しかしながら、作業者が操作スイッチを操作することで、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００の中で作動可能な各装置を作動させるようにしても良い。

＜フレキシブルプリント基板の製造方法について＞
以上のような構成を有するフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００を用いた、フレキシブルプリント基板２０の製造方法について、以下に説明する。

（ステップＳ１）：ソルダーレジストフィルム１０の吸引保持（保持工程に対応）
図６は、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００の製造方法を示す処理フローである。図６に示すように、予めフィルム供給機構１１０にセットされたロール状の供給ローラ１１１からソルダーレジストフィルム１０を供給可能とし、さらに巻取ローラ１１２においてリリースフィルム１３を巻き取り可能な状態とする。この状態で、ローラ移動機構１１３を作動させて、ソルダーレジストフィルム１０が吸引治具１２１を覆うように、ソルダーレジストフィルム１０を引き出す。その状態で、吸引ポンプ１２３を作動させて、ソルダーレジストフィルム１０が吸引治具１２１で吸引保持された状態とする。

（ステップＳ２）：リリースフィルム１３のソルダーレジストフィルム１０からの剥離（剥がし工程に対応）
上述した吸引保持状態で、制御装置２００での制御に基づいてローラ移動機構１１３を作動させて、巻取ローラ１１２をロール状の供給ローラ１１１側に移動させる。このとき、巻取ローラ１１２がリリースフィルム１３を巻き取る方向に回転させるようにする。すると、リリースフィルム１３は巻取ローラ１１２で巻き取られる一方で、リリースフィルム１３が剥がされたソルダーレジストフィルム１０が吸引治具１２１に残存する状態となる。このようにして、ソルダーレジストフィルム１０からリリースフィルム１３が剥がされると共に、剥離後のソルダーレジストフィルム１０が吸引治具１２１で保持された状態を実現可能となる。

（ステップＳ３）：中間生成物Ｃ１の位置決め用マーク２４の読み取り（読み取り工程に対応）
次に、制御装置２００での制御に基づいてカメラ装置１５０を作動させて、中間生成物Ｃ１の位置決め用マーク２４の周囲の撮像を行う。すなわち、カメラ装置１５０によって位置決め用マーク２４の読み取りを行う。この読み取りを行う場合、制御装置２００での制御指令によってカメラ移動機構１５１を作動させ、位置決め用マーク２４を撮像可能な位置まで、カメラ装置１５０を移動させる。しかしながら、それぞれの位置決め用マーク２４に対応する部位に専用のカメラ装置１５０が存在する場合には、上記の移動は省略される。

カメラ装置１５０を用いて位置決め用マーク２４を読み取る場合、同一直線上には存在しない位置決め用マーク２４を、３箇所以上読み取る。たとえば、図４に示す中間生成物Ｃ１に存在する４箇所の位置決め用マーク２４を読み取る場合、カメラ装置１５０で撮像されたそれぞれの位置決め用マーク２４を含む画像データに基づいて、それぞれの位置決め用マーク２４の位置情報が得られる。また、たとえば図５に示すそれぞれの個片２５に対応した位置決め用マーク２４を読み取る場合、カメラ装置１５０で撮像されたそれぞれの個片２５に対応した位置決め用マーク２４を含む画像データに基づいて、それぞれの個片２５の位置情報が得られる。このとき、カメラ移動機構１５１によってカメラ装置１５０を移動させた場合、その移動量に関する情報も算出する。

（ステップＳ４）：位置情報に基づく中間生成物Ｃ１の伸縮率および傾斜角度の算出（算出工程に対応）
次に、上述のカメラ装置１５０での位置決め用マーク２４の読み取りの際に得られた位置決め用マーク２４の位置情報に基づき、画像処理装置１９０は、中間生成物Ｃ１の伸縮率および傾斜角度を算出する。また、図５に示す個片２５毎の位置情報を算出した場合、画像処理装置１９０は、個片２５毎の伸縮率および傾斜角度を算出する。

（ステップＳ５）：伸縮率および傾斜角度に基づく加工用データの補正処理（補正工程に対応）
上述の算出工程の後に、レーザ照射機構１４０でソルダーレジストフィルム１０をカットするＣＡＤデータである加工用データに対して補正する画像処理を行う。すなわち、上記で算出された中間生成物Ｃ１（個片２５毎に対応する位置決め用マーク２４が存在するものも含む。以下同様）の伸縮率に基づいて、加工用データの伸縮処理を行い、また上記で算出された中間生成物Ｃ１の傾斜角度に基づいて、加工用データの回転処理を行う。そして、補正後の加工用データが得られる。

（ステップＳ６）：ソルダーレジストフィルム１０のレーザ加工（レーザ加工工程に対応）
次に、上記によって算出された補正後の加工用データに基づいて、ソルダーレジストフィルム１０のレーザ加工を行う。具体的には、ソルダーレジストフィルム１０に対して、ヘッドスキャン装置１４２を作動させつつレーザヘッド１４１からレーザ光を照射する、または上述のガルバノスキャナ方式のレーザ照射機構のミラーによって反射されたレーザ光を照射して、開口部１４、位置決め孔１５および切断線１６の形成を行う。このとき、移動機構１３０を作動させて、冶具取付ボックス１２２を移動させることで、比較的広い面積のソルダーレジストフィルム１０に対してレーザ加工を行うようにしても良い。

（ステップＳ７）：中間生成物Ｃ１とソルダーレジストフィルム１０との位置合わせ（位置合わせ工程に対応）
次に、移動機構１３０によって冶具取付ボックス１２２を、フレキシブルプリント基板２０との貼りあわせを行う位置まで移動させる。その後に、カメラ装置１５０による撮像、または制御装置２００で算出された移動機構１３０の移動量等に基づいて、中間生成物Ｃ１とソルダーレジストフィルム１０の位置合わせを行う。

なお、カメラ装置１５０での撮像に基づいて、ソルダーレジストフィルム１０と中間生成物Ｃ１との位置合わせを行う場合、ソルダーレジストフィルム１０の位置合わせの基準となる部位と、中間生成物Ｃ１の位置合わせの基準となる部位との間で行われる。たとえば、ソルダーレジストフィルム１０の位置合わせの基準となる部位は、いずれかの位置決め孔１５としても良く、複数の位置決め孔１５から算出されるソルダーレジストフィルム１０の中心位置としても良い。同様に、中間生成物Ｃ１の位置合わせの基準となる部位は、いずれかの位置決め用マーク２４としても良く、複数の位置決め用マーク２４から算出される中間生成物Ｃ１の中心位置としても良い。

（ステップＳ８）：中間生成物Ｃ１とソルダーレジストフィルム１０との貼り合わせ（貼付工程に対応）
次に、中間生成物Ｃ１とソルダーレジストフィルム１０との貼り合わせを行う。すなわち、ステップＳ５での位置合わせが完了した後に、押圧装置１８２および加熱押圧ツール１８３を作動させる。このとき、加熱押圧ツール１８１を中間生成物Ｃ１に当接させると共に、押圧装置１８２の作動によって中間生成物Ｃ１をソルダーレジストフィルム１０に向けて移動させる。そして、中間生成物Ｃ１をソルダーレジストフィルム１０に熱圧着による仮接着を行う。この仮接着は、１箇所のみならず、複数箇所行うのが好ましい。さらに、より多くの箇所で熱圧着を行って中間生成物Ｃ１をソルダーレジストフィルム１０に対して、全面的に仮接着することが好ましい。

このような仮接着を行った後に、吸引ポンプ１２３の作動を停止させる。すると、吸引治具１２１によるソルダーレジストフィルム１０の吸引保持も解除される。その後に、押圧装置１８２の作動によってフレキシブルプリント基板２０を吸引治具１２１から離れる方向に移動させると、ソルダーレジストフィルム１０が貼り付けられたフレキシブルプリント基板２０が吸引治具１２１から離れる。その状態で、巻取ローラ１７２を作動させると、ソルダーレジストフィルム１０が仮接着された状態の中間生成物Ｃ１（フレキシブルプリント基板２０）を巻き取ることができる。

＜効果について＞
以上のような構成のフレキシブルプリント基板２０の製造方法、およびフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００によると、次のような効果が生じる。

すなわち、フレキシブルプリント基板２０の製造方法は、ソルダーレジストフィルム１０の基材層１１側を保持治具（吸引治具１２１）に保持させる保持工程と、保持治具（吸引治具１２１）に基材層１１側を保持させるのに前後して、ソルダーレジストフィルム１０の接着層１２に貼り付けられているリリースフィルム１３を剥がす剥がし工程とを備えている。また、剥がし工程の後に、中間生成物Ｃ１に形成されている複数の位置決め用マーク２４を読取手段（カメラ装置１５０）で読み取る読み取り工程と、読み取り工程での複数の位置決め用マーク２４の読み取り結果に基づいて、中間生成物Ｃ１の伸縮率および傾斜角度のうちの少なくとも一方を算出する算出工程とを備えている。また、算出工程での伸縮率および傾斜角度の少なくとも一方の算出結果に基づいて、ソルダーレジストフィルム１０に対するレーザ加工のための加工用データを補正して補正加工用データを算出する補正工程と、補正工程での補正加工用データに基づいて、ソルダーレジストフィルム１０に対して切断部位（開口部１４、位置決め孔１５、切断線１６）を形成するレーザ加工を行うレーザ加工工程と、レーザ加工がなされたソルダーレジストフィルム１０と中間生成物Ｃ１とを位置合わせして貼り付ける貼付工程と、を備えている。

このため、レーザ加工のための加工用データは、読み取り工程での複数の位置決め用マーク２４の読み取り結果に基づいて、中間生成物Ｃ１の伸縮率および傾斜角度のうちの少なくとも一方を反映させた状態で補正される。ここで、上述のような補正加工用データを算出しない場合には、中間生成物Ｃ１に伸縮や傾斜が生じていても、そのままソルダーレジストフィルム１０が貼り付けられるので、中間生成物Ｃ１の微細な回路パターン２３と開口部１４等を高精度に位置合わせすることは困難である。しかしながら、上述のように中間生成物Ｃ１の伸縮や傾斜を反映させて、ソルダーレジストフィルム１０のレーザ加工を行うことで、中間生成物Ｃ１の微細な回路パターン２３と開口部１４等を高精度に位置合わせすることが可能となる。

また、本実施の形態では、剥がし工程でソルダーレジストフィルム１０からリリースフィルム１３を剥がす場合には、保持治具（吸引治具１２１）で保持された状態で行われる。そのため、リリースフィルム１３を剥がす際に、ソルダーレジストフィルム１０に伸縮や傾斜等の影響が生じるのを低減することができる。

また、本実施の形態では、保持治具は、ソルダーレジストフィルム１０に対して吸引保持力を与える吸引孔を備える吸引治具１２１であると共に、保持工程では、吸引治具１２１を介してソルダーレジストフィルム１０を吸引保持している。このため、たとえば吸引ポンプ１２３の作動停止により、ソルダーレジストフィルム１０の吸引保持を容易に停止することができる。このため、粘着や静電吸着といった他の手法でソルダーレジストフィルム１０を保持するのと比較して、ソルダーレジストフィルム１０の吸引保持の解除が容易となる。また、吸引治具１２１からソルダーレジストフィルム１０を離間させる際に、ソルダーレジストフィルム１０にダメージが生じるのを防止可能となる。

さらに、本実施の形態では、ソルダーレジストフィルム１０は供給ローラ１１１にロール状に巻回された状態で取り付けられていて、リリースフィルム１３は巻取ローラ１１２によって巻き取られると共に、剥がし工程では、巻取ローラ１１２の移動によって保持治具（吸引治具１２１）の保持部位に差し掛かるようにソルダーレジストフィルム１０が引き出され、さらにレーザ加工工程において生じるスクラップを吸引する。このため、ソルダーレジストフィルム１０を保持治具（吸引治具１２１）に保持させた状態で巻取ローラ１１２を移動させるだけで、リリースフィルム１３を容易に剥がすことが可能となる。

また、本実施の形態においては、切断部位には、中間生成物Ｃ１の位置決め用マーク２４に対応して形成される位置決め孔１５が存在すると共に、貼付工程は、位置決め用マーク２４と位置決め孔１５を位置合わせする位置合わせ工程の後に行う。このため、ソルダーレジストフィルム１０と中間生成物Ｃ１とを高精度に位置合わせすることができる。

また、本実施の形態においては、中間生成物Ｃ１は供給ローラ１７１にロール状に巻回された状態で取り付けられていて、ソルダーレジストフィルム１０と中間生成物Ｃ１とを貼付工程で貼り合わせた後のフレキシブルプリント基板２０は、巻取ローラ１７２によって巻き取られる。このため、貼り付け後のフレキシブルプリント基板２０を自動的に巻き取ることができ、次の工程に容易に移行することができる。

また、本実施の形態のフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００においては、ソルダーレジストフィルム１０の基材層１１側を保持させる保持治具（吸引治具１２１）と、保持治具（吸引治具１２１）に基材層１１側を保持させた状態で、ソルダーレジストフィルム１０の接着層１２に貼り付けられているリリースフィルム１３を剥がす剥がし手段（巻取ローラ１１２）とを備える。また、中間生成物Ｃ１に形成されている複数の位置決め用マーク２４を読み取る読取手段（カメラ装置１５０）と、読取手段（カメラ装置１５０）での複数の位置決め用マーク２４の読み取り結果に基づいて、中間生成物Ｃ１の伸縮率および傾斜角度のうちの少なくとも一方を算出する算出手段（画像処理装置１９０）と、算出手段（画像処理装置１９０）での伸縮率および傾斜角度の少なくとも一方の算出結果に基づいて、ソルダーレジストフィルム１０に対するレーザ加工のための加工用データを補正して補正加工用データを算出する補正手段（画像処理装置１９０）とを備える。また、補正手段（画像処理装置１９０）で算出された補正加工用データに基づいて、ソルダーレジストフィルム１０に対して切断部位（開口部１４、位置決め孔１５、切断線１６）を形成するレーザ加工を行うレーザ加工手段（レーザ照射機構１４０）と、レーザ加工がなされたソルダーレジストフィルム１０と、中間生成物Ｃ１とを位置合わせして貼り付ける貼付手段（加熱プレス装置１８０）と、を備えている。

このため、レーザ加工のための加工用データは、読取手段（カメラ装置１５０）での複数の位置決め用マーク２４の読み取り結果に基づいて、中間生成物Ｃ１の伸縮率および傾斜角度のうちの少なくとも一方を反映させた状態で補正される。ここで、上述のような補正加工用データを算出しない場合には、中間生成物Ｃ１に伸縮や傾斜が生じていても、そのままソルダーレジストフィルム１０が貼り付けられるので、中間生成物Ｃ１の微細な回路パターン２３と開口部１４等を高精度に位置合わせすることは困難である。しかしながら、上述のように補正手段（画像処理装置１９０）で中間生成物Ｃ１の伸縮や傾斜を反映させた補正用加工データを算出し、その補正用加工データに基づいてソルダーレジストフィルム１０のレーザ加工を行うことで、中間生成物Ｃ１の微細な回路パターン２３と開口部１４等を高精度に位置合わせすることが可能となる。

また、本実施の形態では、剥がし工程でソルダーレジストフィルム１０からリリースフィルム１３を剥がす場合には、保持治具（吸引治具１２１）で保持された状態で行われる。そのため、リリースフィルム１３を剥がす際に、ソルダーレジストフィルム１０に伸縮や傾斜等の影響が生じるのを低減することができる。

＜変形例＞
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。

上述の実施の形態においては、位置決め孔１５をカメラ装置１５０で認識することで、リリースフィルム１３を剥離した後のソルダーレジストフィルム１０の伸縮率および傾斜角度を算出している。しかしながら、位置決め孔１５によらずに、ソルダーレジストフィルム１０の隅部をカメラ装置１５０で認識して、リリースフィルム１３の剥離後のソルダーレジストフィルム１０の伸縮率および傾斜角度を算出するようにしても良い。

また、上述の実施の形態では、フレキシブルプリント基板２０は、図２に示すような片面側のみに導体層２２および回路パターン２３が存在していて、その片面側の導体層２２および回路パターン２３を覆うようにソルダーレジストフィルム１０が接着されている。しかしながら、フレキシブルプリント基板２０は、このような構成には限られず、基材層２１の両面側に導体層２２および回路パターン２３が存在する構成を採用しても良い。このような両面側に導体層２２および回路パターン２３が存在する構成においては、上述のようなフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００を用いて、片面側ずつ、導体層２２および回路パターン２３を覆うようにソルダーレジストフィルム１０が接着される。

また、上述の実施の形態では、ソルダーレジストフィルム１０は、供給ローラ１１１と巻取ローラ１１２との間で、ロールトゥロールの状態で供給されると共に、リリースフィルム１３が巻き取られる状態となっている。しかしながら、ソルダーレジストフィルム１０は、予めシート状に形成されていても良い。また、中間生成物Ｃ１も予めシート状に形成されていても良い。このような構成例を、図７に示す。

図７は、本発明の他の実施の形態に係るフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００（枚葉式の製造装置１００）の構成を示す概略図である。なお、図７に示すフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００は、画像処理装置１９０および制御装置２００の図示は省略しているが、画像処理装置１９０や制御装置２００を備えている。また、図７に示す構成では、中間生成物Ｃ１はシート状であるので、供給ローラ１７１や巻取ローラ１７２を備えるＦＰＣ供給機構１７０は設けられていない。同様に、ソルダーレジストフィルム１０はシート状であるので、供給ローラ１１１や巻取ローラ１１２を備えるフィルム供給機構１１０は設けられていない。以下、図７に示すフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００の構成について、図４に示すフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００の構成と相違する部分について説明する。

図７に示すフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００は、図４に示すフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００とは異なり、ロボットアーム機構２１０と、ＦＰＣ吸引機構２２０と、移動ステージ２３０とを備えている。なお、これらのロボットアーム機構２１０、ＦＰＣ吸引機構２２０および移動ステージ２３０の各作動部位は、上述した制御装置２００の制御指令に基づいて、制御駆動される。

ロボットアーム機構２１０は、ベース２１１と、アーム部２１２と、吸着パッド治具２１３とを備えている。ベース２１１は、ロボットアーム機構２１０の全体を支持する部分である。また、アーム部２１２は、ジョイントにより複数のリンクが連結されている。それぞれのリンクは、不図示のアクチュエータの駆動により、回動させられる。また、アーム部２１２は、ベース２１１に対して全体的に回転可能としても良い。なお、ロボットアーム機構２１０には、不図示のセンサも設けられていて、該センサでの移動量（回動量、スライド量等）の検出に基づいて、制御装置２００により駆動制御される。

また、アーム部２１２の先端側には、吸着パッド治具２１３が取り付けられている。吸着パッド治具２１３は、柔軟なシート状の中間生成物Ｃ１が、湾曲したり折れ曲がらないように吸着保持する部分である。そのため、吸着パッド治具２１３は、中間生成物Ｃ１に対して吸引力を及ぼす複数の吸着パッド２１４を備えている。なお、吸着パッド治具２１３の複数の吸着パッド２１４から中間生成物Ｃ１に吸引力を及ぼすために、ロボットアーム機構２１０には図示を省略する吸引ポンプが内蔵されている。しかしながら、ロボットアーム機構２１０は吸引ポンプを内蔵せずに、外部に別体的な吸引ポンプを設け、その外部の吸引ポンプからそれぞれの吸着パッド２１４に吸引力を及ぼす構成としても良い。

このようなロボットアーム機構２１０を用いることにより、ストック部２４０にストックされている中間生成物Ｃ１を、吸着パッド２１４によって吸引保持することが可能となる。そして、吸引保持された中間生成物Ｃ１は、ＦＰＣ吸引機構２２０に受け渡される。

また、ＦＰＣ吸引機構２２０は、セット治具２２１と、図示を省略する吸引ポンプとを備えている。セット治具２２１は、ロボットアーム機構２１０から受け渡された中間生成物Ｃ１が載置される部分であると共に、移動ステージ２３０に搭載されている部分である。このセット治具２２１は、図示を省略する複数の吸引孔を備えていると共に、それらの吸引孔が図示を省略する吸引ポンプに接続されている。したがって、吸引ポンプを作動させることで、中間生成物Ｃ１を吸引保持することが可能となっている。

また、セット治具２２１が搭載される移動ステージ２３０は、図示を省略するモータによって所定方向にスライドすることを可能としている。具体的には、移動ステージ２３０は、中間生成物Ｃ１がロボットアーム機構２１０によって受け渡される搭載位置と、中間生成物Ｃ１をセット治具２２１に保持させた状態で、加熱プレス装置１８０の吸着板１８４に受け渡す受渡し位置との間を移動可能としている。

また、吸引治具１２１に搭載されるソルダーレジストフィルム１０がシート状である場合、ロボットアーム機構２１０または別途のロボットアーム装置を用いて、吸引治具１２１にシート状のソルダーレジストフィルム１０を供給するようにしても良い。しかしながら、ロボットアーム装置を用いずに、たとえば作業者が吸引治具１２１にシート状のソルダーレジストフィルム１０を載置するようにしても良い。

また、図７に示す構成において、ソルダーレジストフィルム１０を吸引治具１２１に供給する場合、たとえば、図４および図６に示す場合と同様に、リリースフィルム１３が剥がされていないソルダーレジストフィルム１０を供給ローラ１１１にロール状に巻回した状態で保持させる。そして、ロール状に巻回されたソルダーレジストフィルム１０を引き出して、ステップＳ１のようにソルダーレジストフィルム１０を吸引治具１２１に吸引保持させ、その後にステップ２のようにソルダーレジストフィルム１０からリリースフィルム１３を剥離させるようにしても良い。

このような、図７に示すフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００においても、上述した図６の各処理フローを実行可能である。ただし、図６に存在しない処理としては、次のようなものがある。すなわち、ロボットアーム機構２１０を作動させて、吸着パッド治具２１３の吸着パッド２１４によりストック部２４０にストックされている中間生成物Ｃ１を、吸着パッド２１４によって吸引保持させる。その後に、ロボットアーム機構２１０を作動させて、ＦＰＣ吸引機構２２０のセット治具２２１にシート状の中間生成物Ｃ１を受け渡す。すると、セット治具２２１ではシート状の中間生成物Ｃ１を吸引保持する。

この状態で、移動ステージ２３０を作動させて、セット治具２２１を上述した受渡し位置に移動させる（搬送工程に対応）。その後に、吸着板１８４を降下させて、シート状の中間生成物Ｃ１を吸引保持する。なお、吸着板１８４によるシート状の中間生成物Ｃ１の吸引保持後、吸着板１８４は元の位置に戻す。また、吸着板１８４によるシート状の中間生成物Ｃ１の吸引保持後、移動ステージ２３０を作動させて、セット治具２２１を元の搭載位置に戻す。このような処理を、上述したステップＳ１とは別途で行う。なお、ステップＳ２以降の各工程は、図６に基づいて説明したものと同様である。

ただし、シート状のソルダーレジストフィルム１０に関しては、ステップＳ２の剥がし工程は、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００とは別の装置にて実行しても良く、人手によって実行しても良く、また図４に示すフィルム供給機構１１０と同様の構成を設けることで実行するようにしても良い。また、ステップＳ２の剥がし工程は、ソルダーレジストフィルム１０がシート状に形成された後に行っても良く、シート状に形成される前に行っても良い。また、ステップＳ１の保持工程の前（保持工程に先立って）に、ステップＳ２の剥がし工程を行うようにしても良い。

また、上述の実施の形態および図７に示すような変形例に係る形態においては、シート状のソルダーレジストフィルム１０からリリースフィルム１３を剥がす場合、吸引治具１２１に吸引保持させる直前に剥がしても良い。しかしながら、吸引治具１２１に吸引保持させる直前よりも前の段階で、シート状のソルダーレジストフィルム１０からリリースフィルム１３を剥がし、リリースフィルム１３が剥がされた後のシート状のソルダーレジストフィルム１０を不図示のストック部にストックするようにしても良い。シート状のソルダーレジストフィルム１０から予めリリースフィルム１３を剥がして、不図示のストック部にストックする場合、シート状のソルダーレジストフィルム１０の間に合紙を挟んだ状態で積層しておくことが好ましい。合紙を挟む場合、シート状のソルダーレジストフィルム１０同士が接着してしまうのを防止可能となる。また、ロボットアーム装置を用いて吸引治具１２１にシート状のソルダーレジストフィルム１０を吸引保持させた後に、リリースフィルム１３を剥がすようにしても良い。

なお、上述の実施の形態では、フレキシブルプリント基板２０の製造装置１００は、単独で、レーザ加工と貼り合わせを行うものとしている。しかしながら、単独のフレキシブルプリント基板２０の製造装置１００にて、レーザ加工と貼り合わせを行わずに、レーザ加工と貼り合わせとを、別々の装置で行うようにしても良い。たとえば、シート状のソルダーレジストフィルム１０を吸引保持可能な吸引治具を、コンベアやレール上に配置可能な構成とする。そして、コンベアやレールの上流側で、シート状のソルダーレジストフィルム１０のレーザ加工を行う。また、コンベアやレールの下流側でシート状のソルダーレジストフィルム１０を中間生成物Ｃ１に貼り合わせる。このように構成する場合にも、
上述した図６に示す各処理フローの各ステップを実行可能である。しかしながら、ステップＳ１の保持工程の前に、ステップＳ２の剥がし工程を行うようにしても良い。

また、上述の実施の形態では、ソルダーレジストフィルム１０は、保持治具としての吸引治具１２１を用いて、ソルダーレジストフィルム１０を吸引保持させている。しかしながら、ソルダーレジストフィルム１０の保持は、吸引保持に限られるものではない。たとえば、ソルダーレジストフィルム１０に対して粘着力を備える粘着部位を有する保持治具を用いても良く、静電気を利用した静電吸着によってソルダーレジストフィルム１０を保持する保持治具を用いても良い。

また、上述の実施の形態では、画像処理装置１９０は、中間生成物Ｃ１の伸縮率および傾斜角度を算出するものとしている。しかしながら、画像処理装置１９０は、中間生成物Ｃ１の伸縮率および傾斜角度のうちのいずれか一方を算出するものとしても良い。中間生成物Ｃ１の伸縮率および傾斜角度のうちのいずれか一方を算出する場合でも、現状のフレキシブルプリント基板２０の製造方法と比較して、中間生成物Ｃ１に対して高精度な状態でソルダーレジストフィルムを貼り付けることが可能となる。

また、ソルダーレジストフィルム１０には、金型等で予め開口部が形成されていても良い。たとえば、中間生成物Ｃ１との貼り合わせ位の際に、貼り合わせの精度がさほど必要とされない開口部は、上述のように金型等で予め開口部を形成しても良い。

１０…ソルダーレジストフィルム、１１…基材層、１２…接着層、１３…リリースフィルム、１４…開口部（切断部位に対応）、１５…位置決め孔（切断部位に対応）、１６…切断線（切断部位に対応）、２０…フレキシブルプリント基板、２１…基材層、２２…導体層、２３…回路パターン、２４…位置決め用マーク、１００…フレキシブルプリント基板の製造装置、１１０…フィルム供給機構、１１１…供給ローラ、１１２…巻取ローラ（剥がし手段の一部に対応）、１１３…ローラ移動機構（剥がし手段の一部に対応）、１２０…フィルム吸着機構、１２１…吸引治具（保持治具に対応）、１２２…冶具取付ボックス、１２２ａ…内部空間、１２３…吸引ポンプ、１３０…移動機構、１３１…ガイド部材、１３２…駆動源、１４０…レーザ照射機構（レーザ加工手段に対応）、１４１…レーザヘッド、１４２…ヘッドスキャン装置、１５０…カメラ装置（読取手段および貼付手段に対応）、１５１…カメラ移動機構、１６０…ワーク貼付機構、１７０…ＦＰＣ供給機構、１７１…供給ローラ１７１、１７２…巻取ローラ、１７３…段差ローラ、１８０…加熱プレス装置（貼付手段に対応）、１８１…加熱押圧ツール、１８２…押圧装置、１８３…加熱押圧ツール、１８４…吸着板、１８４ａ…挿通孔、１９０…画像処理装置（算出手段および補正手段に対応）、２００…制御装置、２１０…ロボットアーム機構、２１１…ベース、２１２…アーム部、２１３…吸着パッド治具、２１４…吸着パッド、２２０…ＦＰＣ吸引機構、２２１…セット治具、２３０…移動ステージ、２４０…ストック部、Ｃ１…中間生成物

Claims (8)

1. フレキシブルプリント基板の中間生成物に、基材層および接着層を備えるソルダーレジストフィルムを貼り付けるフレキシブルプリント基板の製造方法であって、
   前記ソルダーレジストフィルムの前記基材層側を保持治具に保持させる保持工程と、
   前記保持治具に前記基材層側を保持させるのに前後して、前記ソルダーレジストフィルムの接着層に貼り付けられているリリースフィルムを剥がす剥がし工程と、
   前記剥がし工程の後に、前記中間生成物に形成されている複数の位置決め用マークを読取手段で読み取る読み取り工程と、
   前記読み取り工程での複数の前記位置決め用マークの読み取り結果に基づいて、前記中間生成物の伸縮率および傾斜角度のうちの少なくとも一方を算出する算出工程と、
   前記算出工程での前記伸縮率および前記傾斜角度の少なくとも一方の算出結果に基づいて、前記ソルダーレジストフィルムに対するレーザ加工のための加工用データを補正して補正加工用データを算出する補正工程と、
   前記補正工程での前記補正加工用データに基づいて、前記ソルダーレジストフィルムに対して切断部位を形成するレーザ加工を行うレーザ加工工程と、
   前記レーザ加工がなされた前記ソルダーレジストフィルムと、前記中間生成物とを位置合わせして貼り付ける貼付工程と、
   を備えることを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法。
2. 請求項１記載のフレキシブルプリント基板の製造方法であって、
   前記保持治具は、前記ソルダーレジストフィルムに対して吸引保持力を与える吸引孔を備える吸引治具であると共に、
   前記保持工程では、前記吸引治具を介して前記ソルダーレジストフィルムを吸引保持する、
   ことを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法。
3. 請求項１または２記載のフレキシブルプリント基板の製造方法であって、
   前記ソルダーレジストフィルムは供給ローラにロール状に巻回された状態で取り付けられていて、前記リリースフィルムは巻取ローラによって巻き取られると共に、
   前記剥がし工程では、前記巻取ローラの移動によって前記保持治具の保持部位に差し掛かるように前記ソルダーレジストフィルムが引き出され、
   さらに前記レーザ加工工程において生じるスクラップを吸引する、
   ことを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法。
4. 請求項１または２記載のフレキシブルプリント基板の製造方法であって、
   前記ソルダーレジストフィルムは、シート状に設けられていて、
   前記剥がし工程では、前記保持工程に先立ってシート状の前記ソルダーレジストフィルムから前記リリースフィルムが剥がされる、
   ことを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法。
5. 請求項１から４のいずれか１項に記載のフレキシブルプリント基板の製造方法であって、
   前記切断部位には、前記中間生成物の前記位置決め用マークに対応して形成される位置決め孔が存在すると共に、
   前記貼付工程は、前記位置決め用マークと前記位置決め孔を位置合わせする位置合わせ工程の後に行う、
   ことを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法。
6. 請求項１から５のいずれか１項に記載のフレキシブルプリント基板の製造方法であって、
   前記中間生成物は供給ローラにロール状に巻回された状態で取り付けられていて、
   前記ソルダーレジストフィルムと前記中間生成物とを貼付工程で貼り合わせた後のフレキシブルプリント基板は、巻取ローラによって巻き取られる、
   ことを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法。
7. 請求項１から５のいずれか１項に記載のフレキシブルプリント基板の製造方法であって、
   前記中間生成物はシート状に設けられていて、
   前記読み取り工程に先立って、シート状の中間生成物を、該中間生成物と前記ソルダーレジストフィルムとを貼り付ける貼付手段まで搬送する搬送工程を備える、
   ことを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造方法。
8. フレキシブルプリント基板の中間生成物に、基材層および接着層を備えるソルダーレジストフィルムを貼り付けるフレキシブルプリント基板の製造装置であって、
   前記ソルダーレジストフィルムの前記基材層側を保持させる保持治具と、
   前記保持治具に前記基材層側を保持させた状態で、前記ソルダーレジストフィルムの接着層に貼り付けられているリリースフィルムを剥がす剥がし手段と、
   前記中間生成物に形成されている複数の位置決め用マークを読み取る読取手段と、
   前記読取手段での複数の前記位置決め用マークの読み取り結果に基づいて、前記中間生成物の伸縮率および傾斜角度のうちの少なくとも一方を算出する算出手段と、
   前記算出手段での前記伸縮率および前記傾斜角度の少なくとも一方の算出結果に基づいて、前記ソルダーレジストフィルムに対するレーザ加工のための加工用データを補正して補正加工用データを算出する補正手段と、
   前記補正手段で算出された前記補正加工用データに基づいて、前記ソルダーレジストフィルムに対して切断部位を形成するレーザ加工を行うレーザ加工手段と、
   前記レーザ加工がなされた前記ソルダーレジストフィルムと、前記中間生成物とを位置合わせして貼り付ける貼付手段と、
   を備えることを特徴とするフレキシブルプリント基板の製造装置。
   
   

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