JP4716312B2 - マスキングテープの剥離方法および剥離装置 - Google Patents

Description

本発明は、マスキングテープの剥離方法および剥離装置に関し、より特定的には、基板に塗布される塗布物をマスクするために用いられるマスキングテープの剥離方法および剥離装置に関する。

従来、基板に塗布液を塗布する処理工程において、塗布が不要な基板領域に塗布液が付着しないようにマスキングテープを用いることがある。このとき、基板に貼り付けたマスキングテープの剥離方法としては、マスキングテープの一端を狭持しやすいように予めマスキングテープを貼り付けておく方法が考えられる。すなわち、マスキングテープの一端を基板からはみ出して貼り付けておくのである。そして、剥離の際には、当該一端を狭持してマスキングテープを剥離する。これによって、マスキングテープを容易に剥離することができる。なお、マスキングテープの剥離処理は、作業者が自らが行ってもよいし、マスキングテープを狭持する機構を有する剥離装置によって行うことも考えられる。

なお、マスキングテープを剥離する他の方法としては、マスキングテープが貼り付けられた基板に樹脂溶液を塗布し、樹脂溶液を硬化させた後、樹脂溶液とともにマスキングテープを剥離する方法も考えられている（例えば、特許文献１参照）。
特開２０００−４２９２１号公報

ここで、塗布後のマスキングテープ上には塗布液が付着しており、マスキングテープを剥離する際には塗布液がある程度乾燥して固化している。従来の剥離方法では、マスキングテープを剥離する際に塗布物が基板に落下して付着してしまうおそれがある。図８は、従来の方法でマスキングテープを剥離する様子を示す図である。図８の例では、マスキングテープ９１の一端を狭持して基板９２から剥離する時に、マスキングテープ９１が変形したりマスキングテープ９１の塗布面が下向きになったりしてしまう。その結果、マスキングテープ９１上の塗布物９３が基板９２に付着し、基板９２の品質低下の原因となる。

なお、特許文献１の方法は、耐サンドブラストとしてマスキングテープを用いる場合には有効である。しかし、耐塗布液としてマスキングテープを用いる場合には、基板の塗布面にも樹脂溶液が付着し、基板上の塗布物が剥離されたり破壊されたりするので、耐塗布液として用いるマスキングテープに特許文献１の方法を適用することはできない。

それ故、本発明の目的は、マスキングテープ上に付着した塗布物を基板に落下させずに回収することができるマスキングテープの剥離方法および剥離装置を提供することである。

本発明は、上記課題を解決するために、以下の構成を採用した。すなわち、第１の発明は、塗布物が付着したマスキングテープを基板から剥離するための剥離方法であって、マスキングテープに沿ってマスキングテープ上に剥離テープを接着させる接着ステップと、マスキングテープを基板から剥離する剥離ステップとを含んでいる。なお、接着ステップにおいては、マスキングテープの端部に剥離テープを当接することによって当該端部に剥離テープを接着させる。剥離ステップにおいては、剥離テープに接着されたマスキングテープを当該剥離テープとともに基板から離れる方向にマスキングテープの端部を回収しつつ、当該マスキングテープの端部から先の部分へ剥離テープを順次接着させていく動作を継続することによってマスキングテープを基板から剥離する。さらに、剥離テープの幅は、マスキングテープの幅よりも広い。

また、第２の発明においては、接着ステップにおいては、基板上のマスキングテープの端部に対してのみ剥離テープを当接してもよい。このとき、剥離ステップにおいては、マスキングテープの端部が回収されたことによって基板から剥離された部分に剥離テープを接着させる。

また、第３の発明は、塗布物が付着したマスキングテープを基板から剥離する剥離装置であって、基板を載置するステージと、剥離テープを供給する供給手段と、供給手段から供給された剥離テープを、当該剥離テープの粘着面がマスキングテープの方向を向くように案内する案内手段と、ステージおよび案内手段の少なくとも一方をマスキングテープの貼付方向に相対移動させ、案内手段によってその粘着面がマスキングテープの方向を向いた剥離テープを当該相対移動に応じてマスキングテープに順次当接させて接着する移動手段と、剥離テープに接着されたマスキングテープを当該剥離テープとともに基板から離れる方向に回収する回収手段とを備える。なお、移動手段は、剥離テープに接着されたマスキングテープを当該剥離テープとともに基板から離れる方向にマスキングテープの端部を回収しつつ、当該マスキングテープの端部から先の部分へ剥離テープを順次接着させていく動作を継続することによってマスキングテープを基板から剥離する。さらに、剥離テープの幅は、マスキングテープの幅よりも広い。

また、第４の発明においては、剥離テープは、供給手段から案内手段を通って回収手段まで延びるように配置されてもよい。このとき、案内手段は、供給手段から延びる剥離テープを、基板の方向へ凸となるように張設するローラである。

また、第５の発明においては、ローラは、基板上に貼り付けられたマスキングテープの端部に剥離テープを当接させた後、基板から離れる方向に移動するようにしてもよい。

第１、第３および第４の発明によれば、塗布物が付着したマスキングテープの上面に剥離テープが接着されるので、マスキングテープを剥離する際に当該上面から塗布物が落下して基板に付着することがない。したがって、基板に不要な塗布物が付着することによる基板の品質低下を防止することができる。さらに、マスキングテープへの剥離テープの接着処理をマスキングテープの回収処理と同時に行うことにより、処理をより迅速に行うことができる。また、塗布物が付着したマスキングテープの上面全面を剥離テープで確実に覆うことができるので、マスキングテープ上面の塗布物が落下することをより確実に防止することができる。

また、第２および第５の発明によれば、基板上に貼り付けられたマスキングテープに剥離テープを接着する際に、必要以上に基板に圧力をかけることがない。したがって、マスキングテープを剥離する際において基板に与える影響を小さくすることができる。

図１Ａ〜図１Ｃは、本発明の一実施形態に係るマスキングテープの剥離装置を示す図である。図１Ａは剥離装置の上面図であり、図１Ｂは剥離装置の側面図であり、図１Ｃは剥離装置の正面図である。図１Ａ〜図１Ｃに示す剥離装置は、塗布液を塗布する前の基板にマスキングテープを貼り付けるとともに、塗布後の基板からマスキングテープを剥離するものである。

剥離装置は、テーブル１、テーブル移動機構２、第１レール３、貼付ユニット４、剥離ユニット５、ユニット移動機構６、第２レール７、および支持部材８を備える。マスキングテープの貼付および剥離を行う対象となる基板は、テーブル１の上面（載置面）に載置される。テーブル１の載置面はＸＹ平面と平行である。テーブル１は、その下面がテーブル移動機構２の上部に固着される。テーブル移動機構２は、Ｘ軸方向に延びる第１レール３上に設置され、第１レール３に沿って滑動可能である。これによって、テーブル移動機構２は、テーブル１をＸ軸方向に平行移動させることができる。また、テーブル移動機構２は、テーブル１の中心であるＺ軸を中心に回転可能であり、Ｚ軸を中心にテーブル１を回転させることができる。

一方、支持部材８は、テーブル１の移動可能領域の上方で２本の第２レール７を支持する。各第２レール７は、Ｙ軸方向に延びる向きに支持される。支持部材８および２本の第２レール７からなる組は２組設けられる。ユニット移動機構６は、第２レール７に沿って滑動可能なように４本（２組）の第２レール７に接続される。これによって、ユニット移動機構６はＹ軸方向に平行移動することが可能である。貼付ユニット４および剥離ユニット５は、ユニット移動機構６に固着される。図１Ａ〜図１Ｃでは、ユニット移動機構６に対してＹ軸負方向側に貼付ユニット４が固着され、ユニット移動機構６に対してＹ軸正方向側に剥離ユニット５が固着される。貼付ユニット４および剥離ユニット５は、それらの下面がテーブル１の上面よりも高い位置（Ｚ軸に関して正方向の位置）に配置される。以上によって、ユニット移動機構６は、テーブル１の移動可能領域の上方において貼付ユニット４および剥離ユニット５をＹ軸方向に移動させることが可能である。

図２は、貼付ユニット４の内部構成を模式的に示す図で、図１ＡにおいてＹ軸正方向視の図である。図２に示すように、貼付ユニット４は、筐体１０、供給リール１１、回収リール１２、ガイドローラ１３〜１５、可動ローラ１６、調整ローラ１７、テープ分離部材１８、エアシリンダ１９、可動部材２０、および切断部２１を備える。貼付ユニット４は、基板にマスキングテープ２４を貼付するものである。

図２に示す筐体１０の内部において、供給リール１１、回収リール１２、各ガイドローラ１３〜１５、および調整ローラ１７は、筐体１０によってその回転軸が支持される。マスキングテープ２４は、供給リール１１に巻き付けられて収納されている。なお、本実施形態では、供給リール１１は、マスキングテープ２４をベーステープ２５に貼り付けて１本のテープとした状態で収納している。つまり、供給リール１１に巻き付けられているテープは、マスキングテープ２４とベーステープ２５との２層からなる構成である。供給リール１１に巻き付けられているテープは、ガイドローラ１３〜１５、テープ分離部材１８の先端部分、および調整ローラ１７を順に通って回収リール１２に巻き付けられる。

図２において、テープ分離部材１８は、筐体１０の下面に形成された開口部２６付近に配置される。切断部２１は、マスキングテープ２４を切断するための切断刃２２を有しており、ガイドローラ１５とテープ分離部材１８の先端部分との間に配置される。可動ローラ１６は、テープ分離部材１８の先端部分近傍に配置される。可動部材２０は、その一端で可動ローラ１６の回転軸を支持する。可動部材２０の他端は、伸縮動作を行うエアシリンダ１９に接続される。可動部材２０の支点２３は筐体１０に固定されており、可動部材２０は支点２３を中心に回転可能に支持される。これらのエアシリンダ１９および可動部材２０によって、エアシリンダ１９の伸縮動作に応じて可動ローラ１６を上下方向に移動させる（正確には、支点２３を中心とした円弧上を移動させる）ことができる（図２に示す矢印参照。）。なお、可動ローラ１６は、筐体１０の下面よりも下方に突出した位置まで移動することが可能である。

図３は、剥離ユニット５の内部構成を模式的に示す図で、貼付ユニット４と同様に図１ＡにおいてＹ軸正方向視の図である。図３に示すように、剥離ユニット５は、筐体３０、供給リール３１、回収リール３２、ガイドローラ３３〜３５、調整ローラ３６、可動ローラ３７、エアシリンダ３８、および可動部材３９を備える。剥離ユニット５は、基板に貼付されたマスキングテープを剥離するものである。

図３に示す筐体３０の内部において、回収リール３２、供給リール３１、各ガイドローラ３３〜３５、および調整ローラ３６は、筐体３０によってその回転軸が支持される。剥離テープ４１は、供給リール３１に巻き付けられて収納されている。剥離テープ４１は、基板に貼り付けられたマスキングテープ２４にその粘着面を接着することによってマスキングテープ２４を基板から剥離するために用いられる。なお、マスキングテープ２４を完全に覆うことができるように、剥離テープ４１の幅はマスキングテープ２４の幅よりも広い。また、剥離テープ４１は、上述したマスキングテープ２４とは異なり、他のテープに貼り付けられていない１層の構成である。剥離テープ４１は、ガイドローラ３３および３４、可動ローラ３７、ガイドローラ３５、および調整ローラ３６を順に通って回収リール３２に巻き付けられる。

また、可動ローラ３７は、筐体３０の下面に形成された開口部４２付近に配置される。剥離テープ４１は、可動ローラ３７によって、粘着面がマスキングテープの方向を向くように案内される。可動部材３９は、その一端で可動ローラ３７の回転軸を支持する。可動部材３９の他端は、伸縮動作を行うエアシリンダ３８に接続される。可動部材３９の支点４０は筐体３０に固定されており、可動部材３９は支点４０を中心に回転可能に支持される。これらのエアシリンダ３８および可動部材３９によって、エアシリンダ３８の伸縮動作に応じて可動ローラ３７を上下方向に移動させる（正確には、支点４０を中心とした円弧上を移動させる）ことができる（図３に示す矢印参照。）。なお、可動ローラ３７は、筐体３０の下面よりも下方に突出した位置まで移動することが可能である。

なお、図３においては、供給リール３１から回収リール３２までの全区間で剥離テープ４１が張設されていると、可動ローラ３７が上下方向に移動することによって、剥離テープ４１に余計な力が加えられたり剥離テープ４１がたるんだりすることがある。そこで、他の実施形態では、剥離ユニット５は、供給リール３１から供給された剥離テープ４１（供給リール３１および回収リール３２に巻き取られていない部分の剥離テープ４１）の長さを調節する機構をさらに備えていてもよい。具体的には、ガイドローラ３３〜３５または調整ローラ３６を、剥離テープ４１に加えられる張力に応じて（換言すれば、可動ローラ３７の移動に応じて）移動するようにしてもよい。これによって、供給リール３１および回収リール３２に巻き取られていない部分の剥離テープ４１の長さを一定とすることができ、剥離テープ４１に余計な力が加えられたり剥離テープ４１がたるんだりすることを防止することができる。

次に、以上のように構成される剥離装置が有機ＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）表示装置の製造工程において用いられる場合を例として剥離装置の動作を説明する。有機ＥＬ表示装置を製造する際、基板（ガラス基板）に対して正孔輸送材料や有機ＥＬ材料といった塗布液が塗布される。ここで、塗布が不要な基板領域に塗布液が塗布されることを防止するために、マスキングテープを基板に貼り付ける工程（貼付工程）が行われる。次に、マスキングテープが貼り付けられた基板に対して塗布液を塗布する工程（塗布工程）が行われる。さらに、塗布工程が完了した基板からマスキングテープを剥離する工程（剥離工程）が行われる。剥離装置は、上記貼付工程および剥離工程において用いられる。

図４Ａ〜図４Ｃを用いて、有機ＥＬ表示装置の製造工程の概要を説明する。図４Ａは、貼付工程が施された基板を示す図である。本実施形態における貼付工程においては、剥離装置は２本のマスキングテープ２４を基板５０に貼り付ける。図４Ａに示すように、１本のマスキングテープ２４は、略正方形の基板５０の一辺から所定長さ離れた位置に当該一辺と平行に貼り付けられる。もう１本のマスキングテープは、当該一辺に対向する辺から所定長さ離れた位置に当該対向する辺と平行に貼り付けられる。なお、マスキングテープ２４を基板に貼り付ける際の剥離装置の具体的な動作については後述する（図５Ａ〜図５Ｃ参照）。貼付工程が完了した基板は、図示しない塗布装置に搬送されて塗布工程が施される。

図４Ｂは、塗布工程が施された基板を示す図である。図４Ｂにおいて点線で囲まれる斜線領域５１は、塗布液が塗布された領域を示す。塗布工程においては、図４Ｂに示すように、マスキングテープ２４が貼り付けられた基板５０に対して塗布液が塗布される。塗布方法としては、例えばノズルから塗布液を基板５０に向けて吐出する方法が考えられる。図４Ｂでは、マスキングテープ２４に垂直な方向（図４Ｂにおける上下方向）のストライプ状に塗布液が塗布される。なお、塗布工程においては、基板５０の搬送時に塗布液が流動することを防止する目的で、塗布中または塗布直後に基板５０を加熱する処理（予備加熱処理）が行われることがある。この予備加熱処理や自然乾燥によって、基板５０に塗布された塗布液が硬化する。そのため、マスキングテープ２４を剥離する際にマスキングテープ２４から塗布物が剥がれ落ちて基板５０に付着するおそれがある。塗布工程が完了した基板５０は、剥離装置に搬送されて剥離工程が施される。

図４Ｃは、剥離工程が施された基板を示す図である。図４Ｃにおいて斜線で示される領域５２〜５４は、塗布液が塗布された基板領域を示す。剥離工程においては、塗布液が塗布された後の基板５０から剥離装置によってマスキングテープ２４が剥離される。なお、マスキングテープ２４を基板から剥離する際の剥離装置の具体的な動作については後述する（図６Ａ〜図６Ｄ参照）。図４Ｃに示すように、領域５２と領域５３との間の基板領域は、マスキングテープ２４が貼り付けられていた領域であるので、塗布液が付着していない。領域５３と領域５４との間の基板領域についても、領域５２と領域５３との間の基板領域と同様に塗布液が付着していない。本実施形態においては、以上のようにマスキングテープを用いることによって、塗布不要な基板領域に塗布液が付着することを防止することができる。なお、図４Ｃに示す一点鎖線領域５５は、１枚の有機ＥＬ表示装置として用いられる領域であり、一点鎖線領域５５の外側の領域は切断されて破棄される。

なお、有機ＥＬ表示装置を製造する際、基板５０に対して正孔輸送材料や赤、緑、および青色の有機ＥＬ材料といった塗布液が塗布される。図５は、有機ＥＬ表示装置の製造工程を示す図である。具体的な製造工程の順序は、基板Ｐの上面にバンク（壁）を形成した後、テープ剥離装置を用いて各塗布液の塗布工程毎に貼付工程および剥離工程が行われる（図５参照）。例えば、赤色の有機ＥＬ材料を基板Ｐに塗布する際は、塗布工程前にマスキングテープ２４が貼り付けられ、塗布工程後にマスキングテープ２４を剥離して、ベーク処理が行われる。そして、他の色の有機ＥＬ材料についても赤色の有機ＥＬ材料の場合と同様に、貼付工程、塗布工程、剥離工程、およびベーク処理工程が行われる。

次に、剥離装置の動作を詳細に説明する。まず、貼付工程における剥離装置の動作を説明する。貼付工程においては、まず、剥離装置の動作開始前にテーブル１に基板が載置される。なお、詳細は後述するが、マスキングテープ２４はＸ軸方向と平行に貼り付けられる。したがって、マスキングテープ２４を貼り付ける方向が所望の方向となるように、テーブル１上の基板はテーブル移動機構２の回転動作によってその向きが調整される。初期状態において、テーブル１は、例えば図１Ａに示す位置のように、２つの支持部材８の間の外側に配置される。初期状態における貼付ユニット４は、２つの支持部材８の間にテーブル１が位置する場合にテーブル１の直上空間となる位置に配置される。

以上に示した初期状態から、まず、ユニット移動機構６により貼付ユニット４を所定位置とした後、テーブル１の移動が開始される。すなわち、テーブル１は、貼付ユニット４に近づく方向（図１ＡではＸ軸正方向）に移動する。さらに、テープの送り動作が開始される。すなわち、貼付ユニット４の供給リール１１、回収リール１２、および調整ローラ１７が回転駆動を開始する。これによって、供給リール１１からテープが供給されるとともに、回収リール１２にテープが巻き取られて回収される。なお、供給リール１１、回収リール１２、および調整ローラ１７によるテープの送り速度は、テーブル１の移動速度と等しくなるように設定される。

図６Ａ、図６Ｂおよび図６Ｃは、貼付工程の動作時における筐体１０の開口部付近の様子を示す図である。なお、図６Ａ〜図６Ｃにおいては、図面を見やすくする目的で筐体１０、エアシリンダ１９および可動部材２０の記載を省略している。テーブル１が貼付ユニット４直下の所定位置に達すると、切断部２１はマスキングテープ２４を切断する（図６Ａ）。具体的には、切断部２１は、切断刃２２をマスキングテープ２４へ向けて突出させてマスキングテープ２４に食い込ませることによってマスキングテープ２４を切断する。ここで、ガイドローラ１５からテープ分離部材１８へ送られてくるテープは、マスキングテープ２４およびベーステープ２５の２層からなる。切断刃２２は、マスキングテープ２４およびベーステープ２５のうちでマスキングテープ２４のみを切断する厚さまで食い込むように調整されている。したがって、切断部２１によってマスキングテープ２４は切断されるが、ベーステープ２５は切断されない。

マスキングテープ２４が切断部２１によって切断された後、テープがさらに送られると、マスキングテープ２４の切断位置がテープ分離部材１８の先端部分に達する。テープ分離部材１８の先端部分ではベーステープ２５が鋭角に折り曲げられるので、マスキングテープ２４はベーステープ２５から剥離される。これによってマスキングテープ２４が上記先端部分から下方に突出する。可動ローラ１６は、マスキングテープ２４が上記先端部分から下方に突出したタイミングで、エアシリンダ１９の伸縮動作によって下方（Ｚ軸負方向）に移動する（図６Ｂ）。可動ローラ１６は、基板５０の上面付近まで移動することによってマスキングテープ２４の先端を基板５０に接触させる。これによって、マスキングテープ２４の先端が基板５０に貼り付けられる。マスキングテープ２４を基板５０に接触させると、可動ローラ１６は上方に移動して元の位置に戻る。

また、可動ローラ１６が上下方向に移動している間もテーブル１の移動動作およびテープの送り動作は継続されている。したがって、マスキングテープ２４の先端が基板５０に貼り付けられると、続いて供給されるマスキングテープ２４が先端から順に基板５０に貼り付けられていく（図６Ｃ）。一方、マスキングテープ２４を切断してから所定長さのテープが送られると、切断部２１は再度マスキングテープ２４を切断する。なお、この所定長さは、基板５０に貼り付けるマスキングテープ２４の長さである。切断部２１による再度の切断が行われた後、テープがさらに送られることによってマスキングテープ２４が終端まで基板５０に貼り付けられる。なお、可動ローラ１６を上下方向に移動させることによって、マスキングテープ２４の終端を基板５０に接触させるようにしてもよい。また、マスキングテープ２４の貼り付け動作中、可動ローラ１６をマスキングテープ２４を介して基板５０に押しつけたままとしてもよい。以上の動作によって、１本のマスキングテープ２４を基板５０に貼り付ける処理が完了する。

以上の動作によって、Ｘ軸方向に沿ってマスキングテープ２４を貼り付けることができる。複数本のマスキングテープ２４を基板に貼り付ける場合には、剥離装置は上記の動作を複数回繰り返す。なお、マスキングテープ２４の先端を貼り付けるＸ軸方向の位置は、マスキングテープ２４を切断するタイミングを調整することによって任意の位置に設定することができる。一方、マスキングテープ２４を貼り付けるＹ軸方向の位置は、ユニット移動機構６によって貼付ユニット４をＹ軸方向に予め移動させることによって任意の位置に設定することができる。

次に、剥離工程における剥離装置の動作を説明する。剥離工程においては、まず、剥離装置の動作開始前にテーブル１に基板５０が載置される。基板５０は、剥離すべきマスキングテープ２４がＸ軸方向を向くように載置される。テーブル１上の基板５０の向きはテーブル移動機構２の回転動作によって調整される。剥離工程におけるテーブル１の初期位置は、貼付工程と同様、２つの支持部材８の間の外側の位置である。また、初期状態において、剥離ユニット５は、基板５０から剥離すべきマスキングテープ２４の延長線上に可動ローラ３７が位置するように配置される。基板５０から剥離すべきマスキングテープ２４の位置と可動ローラ３７の位置とがＹ軸方向に関して同じになるように剥離ユニット５が配置される。

以上に示した初期状態から、まず、テーブル１の移動が開始される。テーブル１は、剥離ユニット５に近づく方向（図１ＡではＸ軸正方向）に移動する。さらに、剥離テープ４１の送り動作が開始される。すなわち、剥離ユニット５の供給リール３１、回収リール３２、および調整ローラ３６が回転駆動を開始する。これによって、供給リール３１から剥離テープ４１が供給されるとともに、回収リール３２に剥離テープ４１が巻き取られて回収される。なお、供給リール３１、回収リール３２、および調整ローラ３６による剥離テープ４１の送り速度は、テーブル１の移動速度と等しくなるように設定される。

図７Ａ、図７Ｂ、図７Ｃ、および図７Ｄは、剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図である。なお、図７Ａ〜図７Ｄにおいては、図面を見やすくする目的で筐体３０、エアシリンダ３８および可動部材３９の記載を省略している。

初期状態からテーブル１が移動することによって、基板５０に貼り付けられたマスキングテープ２４の先端が可動ローラ３７の直下位置に達する（図７Ａ）と、可動ローラ３７はエアシリンダ３８の伸縮動作によって下方（Ｚ軸負方向）に移動する。図３および図７Ａ等に示すように、可動ローラ３７は、基板５０の方向へ凸となるように剥離テープを張設している。したがって、可動ローラ３７が基板５０の上面付近まで移動することによって、剥離テープ４１の粘着面はマスキングテープ２４の先端に接触する（図７Ｂ）。これによって、剥離テープ４１とマスキングテープ２４とが接着される。剥離テープ４１をマスキングテープ２４に接触させると、可動ローラ３７は上方に移動して元の位置に戻る。このとき、マスキングテープ２４の先端は剥離テープ４１に接着されているので、マスキングテープ２４の先端は基板５０から剥離される（図７Ｃ）。

また、可動ローラ３７が上下方向に移動している間もテーブル１の移動動作および剥離テープ４１の送り動作は継続されている。したがって、剥離テープ４１がマスキングテープ２４の先端に接着すると、剥離テープ４１が続いて供給されることによって、マスキングテープ２４は先端から順に剥離テープ４１に接着されていく（図７Ｄ）。すなわち、剥離テープ４１の送り動作によって可動ローラ３７が回転すると、マスキングテープ２４は先端から順に剥離テープ４１に接触するので両者が接着されていく。その後もテーブル１の移動動作および剥離テープ４１の送り動作は継続されるので、マスキングテープ２４は終端まで剥離テープ４１に接着されて基板５０から剥離される。剥離テープ４１に接着されたマスキングテープ２４は、剥離テープの送り動作によって筐体３０の内部に回収され、ガイドローラ３５および調整ローラ３６を通って回収リール３２に回収される。なお、マスキングテープ２４の上面には塗布物が付着しているが、マスキングテープ２４が回収される際、この上面は剥離テープ４１によって覆われている。したがって、マスキングテープ２４の上面に付着した塗布物が落下して基板に付着するおそれがない。

以上の動作によって、１本のマスキングテープ２４を基板５０から剥離する処理が完了する。なお、複数本のマスキングテープ２４を基板５０から剥離する場合には、剥離装置は上記の動作を複数回繰り返す。

以上のように、本実施形態によれば、基板に貼り付けられたマスキングテープに沿って剥離テープをマスキングテープに接着し、剥離テープとともにマスキングテープを回収することによってマスキングテープを基板から剥離する。このとき、塗布物が付着したマスキングテープの上面は剥離テープによって覆われるので、マスキングテープを剥離・回収する際にマスキングテープ上の塗布物が剥がれ落ちて基板に付着することがない。したがって、本実施形態によれば、塗布物が塗布された基板の品質を低下させることなくマスキングテープを剥離することができる。

なお、上記実施形態においては、有機ＥＬ材料を塗布する場合に剥離装置を用いる場合を例として説明したが、本発明に係る剥離装置は、耐塗布液として基板に貼り付けたマスキングテープを剥離する場合に適用することが可能である。例えば、有機ＥＬ材料を塗布する場合に限らず、ＰＤＰ（Ｐｌａｓｍａ Ｄｉｓｐｌａｙ Ｐａｎｅｌ）の蛍光材料、レジスト液、ＳＯＧ（Ｓｐｉｎ Ｏｎ Ｇｌａｓｓ）液等を基板に塗布する際に用いられるマスキングテープを剥離する場合にも本発明を適用することができる。

また、上記実施形態においては、剥離テープをマスキングテープに接着させる動作と、剥離テープに接着されたマスキングテープを回収する動作とが同時に行われた（図７Ａ〜図７Ｄ）。ここで、他の実施形態においては、２つの動作を別個に行うようにしてもよい。すなわち、剥離テープをマスキングテープに接着させる動作が完了した後、剥離テープに接着されたマスキングテープを回収する動作を行うようにしてもよい。具体的には、マスキングテープの全面を覆うように剥離テープを接着した後、剥離テープとともにマスキングテープを回収してもよい。なお、上記２つの動作は、作業者の手によって行われてもよい。

また、上記実施形態においては、供給リールに巻き付けられた１本の剥離テープを切断せずに用いたが、他の実施形態においては、マスキングテープの長さに応じて剥離テープを切断して用いてもよい。具体的には、本発明に係る剥離方法は、次のようなステップで行われてもよい。すなわち、まず、マスキングテープに応じた長さに剥離テープを切断する。このとき、剥離テープの長さは、剥離するマスキングテープよりも長いことが好ましい。次に、切断した剥離テープをマスキングテープに沿ってマスキングテープの上面に接着する。これによって、マスキングテープの上面は剥離テープによって覆われる。最後に、剥離テープとともにマスキングテープを回収することによって、マスキングテープが基板から剥離される。

また、上記実施形態においては、剥離テープの送り速度と等しい速度でテーブルを移動させるようにしたが、他の実施形態においては、剥離ユニットを移動させるようにしてもよい。

本発明は、耐塗布物として用いられるマスキングテープを基板から剥離する剥離装置において、マスキングテープ上に付着した塗布物を基板に落下させずに回収すること等を目的として利用することが可能である。

本実施形態に係るマスキングテープの剥離装置の上面図 本実施形態に係るマスキングテープの剥離装置の側面図 本実施形態に係るマスキングテープの剥離装置の正面図 貼付ユニット４の内部構成を模式的に示す図 剥離ユニット５の内部構成を模式的に示す図 貼付工程が施された基板を示す図 塗布工程が施された基板を示す図 剥離工程が施された基板を示す図 有機ＥＬ表示装置の製造工程を示す図 貼付工程における筐体１０の開口部付近の様子を示す図 貼付工程における筐体１０の開口部付近の様子を示す図 貼付工程における筐体１０の開口部付近の様子を示す図 剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図 剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図 剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図 剥離工程における筐体３０の開口部付近の様子を示す図 従来の方法でマスキングテープを剥離する様子を示す図

符号の説明

１ テーブル
２ テーブル移動機構
３ 第１レール
４ 貼付ユニット
５ 剥離ユニット
６ ユニット移動機構
７ 第２レール
８ 支持部材
１０ 筐体
１１、３１ 供給リール
１２、３２ 回収リール
１３〜１５、３３〜３５ ガイドローラ
１６、３７ 可動ローラ
１７、３６ 調整ローラ
１８ テープ分離部材
１９、３８ エアシリンダ
２０、３９ 可動部材
２１ 切断部
２２ 切断刃
２３、４０ 支点

Claims (5)

1. 塗布物が付着したマスキングテープを基板から剥離するための剥離方法であって、
   前記マスキングテープに沿ってマスキングテープ上に剥離テープを接着させる接着ステップと、
   前記マスキングテープを前記基板から剥離する剥離ステップとを含み、
   前記接着ステップにおいては、前記マスキングテープの端部に前記剥離テープを当接することによって当該端部に剥離テープを接着させ、
   前記剥離ステップにおいては、前記剥離テープに接着された前記マスキングテープを当該剥離テープとともに前記基板から離れる方向に前記マスキングテープの端部を回収しつつ、当該マスキングテープの端部から先の部分へ前記剥離テープを順次接着させていく動作を継続することによって前記マスキングテープを前記基板から剥離し、
   前記剥離テープの幅は、前記マスキングテープの幅よりも広いことを特徴とする、マスキングテープの剥離方法。
2. 前記接着ステップにおいては、前記基板上のマスキングテープの端部に対してのみ前記剥離テープを当接し、
   前記剥離ステップにおいては、前記マスキングテープの端部が回収されたことによって前記基板から剥離された部分に前記剥離テープを接着させる、請求項１に記載の剥離方法。
3. 塗布物が付着したマスキングテープを基板から剥離する剥離装置であって、
   前記基板を載置するステージと、
   剥離テープを供給する供給手段と、
   前記供給手段から供給された剥離テープを、当該剥離テープの粘着面がマスキングテープの方向を向くように案内する案内手段と、
   前記ステージおよび前記案内手段の少なくとも一方を前記マスキングテープの貼付方向に相対移動させ、前記案内手段によってその粘着面がマスキングテープの方向を向いた前記剥離テープを当該相対移動に応じて前記マスキングテープに順次当接させて接着する移動手段と、
   前記剥離テープに接着された前記マスキングテープを当該剥離テープとともに前記基板から離れる方向に回収する回収手段とを備え、
   前記移動手段は、前記剥離テープに接着された前記マスキングテープを当該剥離テープとともに前記基板から離れる方向に前記マスキングテープの端部を回収しつつ、当該マスキングテープの端部から先の部分へ前記剥離テープを順次接着させていく動作を継続することによって前記マスキングテープを前記基板から剥離し、
   前記剥離テープの幅は、前記マスキングテープの幅よりも広いことを特徴とする、剥離装置。
4. 前記剥離テープは、前記供給手段から前記案内手段を通って前記回収手段まで延びるように配置され、
   前記案内手段は、前記供給手段から延びる剥離テープを、基板の方向へ凸となるように張設するローラである、請求項３に記載の剥離装置。
5. 前記ローラは、前記基板上に貼り付けられた前記マスキングテープの端部に前記剥離テープを当接させた後、前記基板から離れる方向に移動する、請求項４に記載の剥離装置。

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