JP2006264895A - 巻取装置、および巻取方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】帯状の剥離シートA1に帯状のフイルムA2が仮着された原反Aを剥離シートA1とフイルムA2とに一旦剥離し、それらを再接合する迂回手段が設けられ、該迂回手段で剥離した上記フイルムA2を被着体Bに貼り付け、この貼り付けたフイルムA2を所定形状に切り抜いた後、その切り抜かれたフイルムA2と上記剥離シートA1とを同時に巻き取る前に該フイルムA2の切り抜き穴を塞ぐように、上記迂回手段で剥離した上記剥離シートA1が貼り付けられるものとする。
【選択図】図1
Description
2 原反支持軸(原反支持手段)
5 剥離ローラ
6 プレスローラ
7 受ローラ
8 第1の迂回ローラ
9 第2の迂回ローラ
13 巻取ローラ
24 切断手段
25 カッタ刃
A 原反
A1 剥離シート
A2 フイルム
B 被着体
B1 半導体ウエハ
C 切り抜き穴
S1 フイルム貼付ステージ
Claims (8)
- 所定形状に切り抜かれ縁部が細くなったフイルムを巻き取る装置において、
上記フイルムを巻き取る前に該フイルムの切り抜き穴を塞ぐようにシートを貼り付ける機構を設けたこと
を特徴とする巻取装置。 - 帯状の剥離シートに帯状のフイルムが仮着された原反を剥離シートとフイルムとに一旦剥離し、それらを再接合する迂回手段を備え、該迂回手段で剥離した上記フイルムを被着体に貼り付け、この貼り付けたフイルムを所定形状に切り抜いた後、その切り抜かれたフイルムと上記剥離シートとを同時に巻き取る装置において、
上記切り抜かれたフイルムと上記剥離シートとを同時に巻き取る前に該フイルムの切り抜き穴を塞ぐように、上記迂回手段で剥離した上記剥離シートを貼り付ける機構を設けたこと
を特徴とする巻取装置。 - 上記被着体は半導体ウエハであることを特徴とする請求項2に記載の巻取装置。
- 上記貼付手段は貼付ローラを含むことを特徴とする請求項2または3のいずれかに記載の巻取装置。
- 所定形状に切り抜かれ縁部が細くなったフイルムを巻き取る方法において、
上記フイルムを巻き取る前に該フイルムの切り抜き穴を塞ぐようにシートを貼り付けること
を特徴とする巻取方法。 - 帯状の剥離シートに帯状のフイルムが仮着された原反を剥離シートとフイルムとに一旦剥離し、それらを再接合する迂回手段を備え、該迂回手段で剥離した上記フイルムを被着体に貼り付け、この貼り付けたフイルムを所定形状に切り抜いた後、その切り抜かれたフイルムと上記剥離シートとを同時に巻き取る方法において、
上記切り抜かれたフイルムと上記剥離シートとを同時に巻き取る前に、該フイルムの切り抜き穴を塞ぐように、上記迂回手段で剥離した上記剥離シートを貼り付けること
を特徴とする巻取方法。 - 上記被着体は、半導体ウエハであることを特徴とする請求項6に記載の巻取方法。
- 上記貼付手段は、貼付ローラを含むことを特徴とする請求項6または7のいずれかに記載の巻取方法。
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