JPH1120115A - フィルム張付方法及び装置 - Google Patents
フィルム張付方法及び装置Info
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- JPH1120115A JPH1120115A JP9182785A JP18278597A JPH1120115A JP H1120115 A JPH1120115 A JP H1120115A JP 9182785 A JP9182785 A JP 9182785A JP 18278597 A JP18278597 A JP 18278597A JP H1120115 A JPH1120115 A JP H1120115A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルム張付装置に用いる積層体フィルムの
感光性樹脂層をカバーフィルムと共に切断し、且つカバ
ーフィルム全体を連続的に剥離すると共に、基板への張
付け時にフィルムのしわを防止する。 【解決手段】 フィルム張付装置１０におけるフィルム
ロール１２から供給された積層体フィルム１４は、その
カバーフィルム１４Ｃが感光性樹脂層と共にハーフカッ
ター３８によってフィルム幅方向に切断され、該切断さ
れた部分を含むカバーフィルム１４Ｃ全体が、カバーフ
ィルム剥離装置１６の粘着テープ３２によって連続的に
感光性樹脂層から剥離される。透光性支持フィルム１４
Ａには、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの入側
で、張力付与ロール２８により張力を与えて、基板２０
に張り付け、剥離させる際には、これを連続的に巻き取
ると各基板２０間での感光性樹脂層１４Ｂは透光性支持
フィルム１４Ａと共に巻き取られ、且つ各基板２０が分
離される。
感光性樹脂層をカバーフィルムと共に切断し、且つカバ
ーフィルム全体を連続的に剥離すると共に、基板への張
付け時にフィルムのしわを防止する。 【解決手段】 フィルム張付装置１０におけるフィルム
ロール１２から供給された積層体フィルム１４は、その
カバーフィルム１４Ｃが感光性樹脂層と共にハーフカッ
ター３８によってフィルム幅方向に切断され、該切断さ
れた部分を含むカバーフィルム１４Ｃ全体が、カバーフ
ィルム剥離装置１６の粘着テープ３２によって連続的に
感光性樹脂層から剥離される。透光性支持フィルム１４
Ａには、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂの入側
で、張力付与ロール２８により張力を与えて、基板２０
に張り付け、剥離させる際には、これを連続的に巻き取
ると各基板２０間での感光性樹脂層１４Ｂは透光性支持
フィルム１４Ａと共に巻き取られ、且つ各基板２０が分
離される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、プリント配線板
用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラ
ス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるた
めのフィルム張付方法及び装置に関する。
用基板あるいは液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラ
ス基板に例示される基板の表面にフィルムを張付けるた
めのフィルム張付方法及び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】コンピュータ等の電子機器に使用される
プリント配線板の製造過程において、プリント配線板用
基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポ
リエステルに代表される透光性樹脂フィルム）上に直接
又は介在層を介して感光性樹脂層が形成され、且つ、こ
れがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルム
を、カバーフィルムを剥して張付ける。そして、この
後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフ
ィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹
脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルム
を剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチ
ングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不
必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定
の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。
又、液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に表
示セルを形成する工程で同様の積層体フィルムが張付け
られる。
プリント配線板の製造過程において、プリント配線板用
基板の表面の導電層に、透光性支持フィルム（通常はポ
リエステルに代表される透光性樹脂フィルム）上に直接
又は介在層を介して感光性樹脂層が形成され、且つ、こ
れがカバーフィルムによって覆われた積層体フィルム
を、カバーフィルムを剥して張付ける。そして、この
後、配線パターンフィルムを重ね、この配線パターンフ
ィルム及び前記透光性支持フィルムを通して、感光性樹
脂層を所定時間露光する。次いで、透光性支持フィルム
を剥した後、露光された感光性樹脂層を現像してエッチ
ングマスクパターンを形成し、この後、前記導電層の不
必要部分をエッチングにより除去し、これにより、所定
の配線パターンを有するプリント配線板が形成される。
又、液晶表示装置、プラズマ表示装置のガラス基板に表
示セルを形成する工程で同様の積層体フィルムが張付け
られる。
【０００３】上記のような積層体フィルムを張り付ける
ためのフィルム張付装置としては、フィルムロールから
連続フィルムを巻き出し、これを、基板搬送面上を搬送
手段により間欠的に順次搬送されてくる複数の基板のフ
ィルム張付面に沿って、その感光性樹脂層が該フィルム
張付面側になるようにして、両者を重ねた状態でラミネ
ーションロール間に通し、フィルムを複数の基板に連続
的に圧着しつつ基板を搬送するようにした、いわゆる連
続張りタイプのものがある。
ためのフィルム張付装置としては、フィルムロールから
連続フィルムを巻き出し、これを、基板搬送面上を搬送
手段により間欠的に順次搬送されてくる複数の基板のフ
ィルム張付面に沿って、その感光性樹脂層が該フィルム
張付面側になるようにして、両者を重ねた状態でラミネ
ーションロール間に通し、フィルムを複数の基板に連続
的に圧着しつつ基板を搬送するようにした、いわゆる連
続張りタイプのものがある。
【０００４】基板に張り付けられた透光性支持フィルム
は、露光の前又は後で、且つ、現像工程の前において感
光性樹脂層を基板側に残して剥離されなければならない
が、剥離と同時又は剥離の前又は後に各基板間で分離さ
れなければならない。
は、露光の前又は後で、且つ、現像工程の前において感
光性樹脂層を基板側に残して剥離されなければならない
が、剥離と同時又は剥離の前又は後に各基板間で分離さ
れなければならない。
【０００５】透光性支持フィルムを剥離方向に引張る場
合、その裏面の感光性樹脂層が、基板からのはみ出し部
分から基板上に連続していると、透光性支持フィルムを
剥離する際に残さなければならない基板上の感光性樹脂
層までがはみ出し部分の感光性樹脂層に続いて剥離され
てしまうという問題点がある。
合、その裏面の感光性樹脂層が、基板からのはみ出し部
分から基板上に連続していると、透光性支持フィルムを
剥離する際に残さなければならない基板上の感光性樹脂
層までがはみ出し部分の感光性樹脂層に続いて剥離され
てしまうという問題点がある。
【０００６】これらの問題点を解消するため、従来、例
えば特開平７−１５７１８６号公報に開示されるフィル
ム剥離装置においては、フィルムを基板に連続的に張り
付けた後、各基板間の隙間位置で感光性樹脂層のみを基
板の端縁に沿ってフィルム幅方向に切断し、しかる後、
透光性支持フィルムを連続的に剥離するものであり、こ
の際、剥離された透光性支持フィルム側には、各基板間
部分での感光性樹脂層が付着されている。
えば特開平７−１５７１８６号公報に開示されるフィル
ム剥離装置においては、フィルムを基板に連続的に張り
付けた後、各基板間の隙間位置で感光性樹脂層のみを基
板の端縁に沿ってフィルム幅方向に切断し、しかる後、
透光性支持フィルムを連続的に剥離するものであり、こ
の際、剥離された透光性支持フィルム側には、各基板間
部分での感光性樹脂層が付着されている。
【０００７】又、特開平８−１５０６９４号公報に開示
されるフィルム張付装置では、各基板間に対応する感光
性樹脂層の部分に予めフィルム幅方向にスリットを形成
し、そのまま基板に連続的に張り付けて、張付後に各基
板間位置で切断し、切断端縁から透光性支持フィルムを
剥離させるようにしている。
されるフィルム張付装置では、各基板間に対応する感光
性樹脂層の部分に予めフィルム幅方向にスリットを形成
し、そのまま基板に連続的に張り付けて、張付後に各基
板間位置で切断し、切断端縁から透光性支持フィルムを
剥離させるようにしている。
【０００８】更に、特開平７−１１０５７５号公報に開
示されるフィルム張付装置は、カバーフィルム剥離前
に、各基板間に対応する部分の両端間よりもやや広め
に、カバーフィルム及びその内側の感光性樹脂層と共に
フィルム幅方向に切断し、次に、基板に張り付けられる
べき部分のカバーフィルムのみを粘着テープにより剥離
して感光性樹脂層を露出させ、この状態で基板に連続的
に張り付けるようにしたものである。張付後、透光性支
持フィルムは各基板間位置でカッターにより切断され
る。
示されるフィルム張付装置は、カバーフィルム剥離前
に、各基板間に対応する部分の両端間よりもやや広め
に、カバーフィルム及びその内側の感光性樹脂層と共に
フィルム幅方向に切断し、次に、基板に張り付けられる
べき部分のカバーフィルムのみを粘着テープにより剥離
して感光性樹脂層を露出させ、この状態で基板に連続的
に張り付けるようにしたものである。張付後、透光性支
持フィルムは各基板間位置でカッターにより切断され
る。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上記特開平７−１１０
５７５号公報に開示されるように、感光性樹脂層をカバ
ーフィルムと共に切断する場合は基板に張り付けられる
部位のカバーフィルムのみを選択的に剥離しなければな
らないので、その剥離機構が複雑となり、又、処理速度
を低下せざるを得ないという問題点がある。
５７５号公報に開示されるように、感光性樹脂層をカバ
ーフィルムと共に切断する場合は基板に張り付けられる
部位のカバーフィルムのみを選択的に剥離しなければな
らないので、その剥離機構が複雑となり、又、処理速度
を低下せざるを得ないという問題点がある。
【００１０】更に、特開平７−１５７１８６号公報のフ
ィルム張付装置のように、フィルムが基板に張付けられ
た状態のまま基板間の隙間位置で感光性樹脂層のみを切
断する場合、切断装置の位置合せ、構成が複雑となり、
又、感光性樹脂層の粘性が低いとき、あるいは薄いとき
に、切断が非常に困難であり、又切断の際にカッターの
刃先に感光性樹脂が付着して、これが周囲を汚したりす
るという問題点がある。
ィルム張付装置のように、フィルムが基板に張付けられ
た状態のまま基板間の隙間位置で感光性樹脂層のみを切
断する場合、切断装置の位置合せ、構成が複雑となり、
又、感光性樹脂層の粘性が低いとき、あるいは薄いとき
に、切断が非常に困難であり、又切断の際にカッターの
刃先に感光性樹脂が付着して、これが周囲を汚したりす
るという問題点がある。
【００１１】又、感光性樹脂層を切断すると、残りの透
光性支持フィルムにかかる張力が大幅に変動し、特にカ
バーフィルムと共に切断した場合、カバーフィルムの厚
さが透光性支持フィルムの厚さの約１／６であるので張
力の変動が大きく、これにより、ラミネーションロール
で基板に張付けられたとき、しわが発生することがある
という問題点があった。
光性支持フィルムにかかる張力が大幅に変動し、特にカ
バーフィルムと共に切断した場合、カバーフィルムの厚
さが透光性支持フィルムの厚さの約１／６であるので張
力の変動が大きく、これにより、ラミネーションロール
で基板に張付けられたとき、しわが発生することがある
という問題点があった。
【００１２】この発明は、上記従来の問題点に鑑みてな
されたものであって、基板への張付け前に感光性樹脂層
を切断でき、又、カバーフィルムと共に感光性樹脂層を
切断したとき、切断された部分のカバーフィルムを剥離
する必要がなく、従って複雑な剥離機構が不要となり、
且つ、処理速度を向上させることができると共に透光性
支持フィルムを連続的に剥離することができ、又、感光
性樹脂層又はこれとカバーフィルムを切断した後に、残
りの透光性支持フィルムにかかる張力の大幅な変動を抑
制し、しわが発生することなく積層体フィルムを基板に
張付けることができるようにしたフィルム張付方法及び
装置を提供することを目的とする。
されたものであって、基板への張付け前に感光性樹脂層
を切断でき、又、カバーフィルムと共に感光性樹脂層を
切断したとき、切断された部分のカバーフィルムを剥離
する必要がなく、従って複雑な剥離機構が不要となり、
且つ、処理速度を向上させることができると共に透光性
支持フィルムを連続的に剥離することができ、又、感光
性樹脂層又はこれとカバーフィルムを切断した後に、残
りの透光性支持フィルムにかかる張力の大幅な変動を抑
制し、しわが発生することなく積層体フィルムを基板に
張付けることができるようにしたフィルム張付方法及び
装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本方法発明は、請求項１
のように、フィルムロールから巻き出した、透光性支持
フィルム、及び、感光性樹脂層の少なくとも２層を積層
してなる積層体フィルムの前記感光性樹脂層をそのフィ
ルム長手方向で、前記透光性支持フィルムの厚さ方向の
少なくとも一部を残してフィルム幅方向に切断するハー
フカット工程と、このハーフカット工程後に、透光性支
持フィルムを、その感光性樹脂層が、間欠的に順次送ら
れてくる複数の基板のフィルム張付面に向くように、基
板の搬送面に沿って供給し、該基板と共に回転するラミ
ネーションロール間に送り込んで、複数の基板を間欠的
に接続するようにこれらに連続的に張り付ける工程と、
次に基板に張付けられた透光性支持フィルムを基板から
剥離する工程とを含んでなり、ハーフカット工程を実行
する位置と前記ラミネーションロールとの間の位置で、
該ラミネーションロールに送り込まれる前記積層体フィ
ルムにその送り方向の張力を付加するようにしたことを
特徴とするフィルム張付方法により、上記目的を達成す
るものである。
のように、フィルムロールから巻き出した、透光性支持
フィルム、及び、感光性樹脂層の少なくとも２層を積層
してなる積層体フィルムの前記感光性樹脂層をそのフィ
ルム長手方向で、前記透光性支持フィルムの厚さ方向の
少なくとも一部を残してフィルム幅方向に切断するハー
フカット工程と、このハーフカット工程後に、透光性支
持フィルムを、その感光性樹脂層が、間欠的に順次送ら
れてくる複数の基板のフィルム張付面に向くように、基
板の搬送面に沿って供給し、該基板と共に回転するラミ
ネーションロール間に送り込んで、複数の基板を間欠的
に接続するようにこれらに連続的に張り付ける工程と、
次に基板に張付けられた透光性支持フィルムを基板から
剥離する工程とを含んでなり、ハーフカット工程を実行
する位置と前記ラミネーションロールとの間の位置で、
該ラミネーションロールに送り込まれる前記積層体フィ
ルムにその送り方向の張力を付加するようにしたことを
特徴とするフィルム張付方法により、上記目的を達成す
るものである。
【００１４】請求項２のように、前記感光性樹脂層を切
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断するようにしても
よい。
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断するようにしても
よい。
【００１５】本装置発明は、請求項３のように、少なく
とも透光性支持フィルム及び感光性樹脂層を積層してな
る積層体フィルムを帯状に連続的に供給するフィルム供
給源と、基板搬送面に沿って複数の基板を連続的に搬送
する基板搬送手段と、前記透光性支持フィルムを、前記
感光性樹脂層が基板搬送面に向くようにして前記基板と
を重ねて挟み込みつつ送りをかける一対のラミネーショ
ンロールと、を有してなり、間欠的に順次搬送されてく
る複数の基板に前記積層体フィルムを連続的に張り付け
るフィルム張付装置において、前記積層体フィルムにお
ける前記感光性樹脂層をフィルム幅方向に切断するハー
フカッターと、このハーフカッターと前記ラミネーショ
ンロールの間に配置され、感光性樹脂層が切断された後
の積層体フィルムに張力を付与する張力付与手段と、前
記ラミネーションロールの出側に配置され、前記基板に
張り付けられた後の前記透光性支持フィルムを、該基板
から引き剥がす支持フィルム剥離手段と、を設けるよう
にして、上記目的を達成するものである。
とも透光性支持フィルム及び感光性樹脂層を積層してな
る積層体フィルムを帯状に連続的に供給するフィルム供
給源と、基板搬送面に沿って複数の基板を連続的に搬送
する基板搬送手段と、前記透光性支持フィルムを、前記
感光性樹脂層が基板搬送面に向くようにして前記基板と
を重ねて挟み込みつつ送りをかける一対のラミネーショ
ンロールと、を有してなり、間欠的に順次搬送されてく
る複数の基板に前記積層体フィルムを連続的に張り付け
るフィルム張付装置において、前記積層体フィルムにお
ける前記感光性樹脂層をフィルム幅方向に切断するハー
フカッターと、このハーフカッターと前記ラミネーショ
ンロールの間に配置され、感光性樹脂層が切断された後
の積層体フィルムに張力を付与する張力付与手段と、前
記ラミネーションロールの出側に配置され、前記基板に
張り付けられた後の前記透光性支持フィルムを、該基板
から引き剥がす支持フィルム剥離手段と、を設けるよう
にして、上記目的を達成するものである。
【００１６】請求項４のように、前記ハーフカッター
を、フィルム長手方向に前記所定間隔で一対配置され、
フィルム幅方向に移動自在のディスクカッターと、この
ディスクカッターの先端に対して、フィルム搬送面を介
して対向して配置され、ディスクカッターがフィルム幅
方向に移動するとき前記積層体フィルムを支持するカッ
ター台と、を含んで構成すると共に、前記一対のディス
クカッター及びカッター台を、前記積層体フィルムの送
り方向に、これと等速で移動させ得るカバーフィルムカ
ッター移動装置を設けてもよい。
を、フィルム長手方向に前記所定間隔で一対配置され、
フィルム幅方向に移動自在のディスクカッターと、この
ディスクカッターの先端に対して、フィルム搬送面を介
して対向して配置され、ディスクカッターがフィルム幅
方向に移動するとき前記積層体フィルムを支持するカッ
ター台と、を含んで構成すると共に、前記一対のディス
クカッター及びカッター台を、前記積層体フィルムの送
り方向に、これと等速で移動させ得るカバーフィルムカ
ッター移動装置を設けてもよい。
【００１７】他の本方法発明は、請求項５のように、ィ
ルムロールから巻き出した、透光性支持フィルム、この
透光性支持フィルムに直接的又は間接的に積層された感
光性樹脂層、該感光性樹脂層を被って積層されたカバー
フィルムを有してなる積層体フィルムの前記カバーフィ
ルムを、前記感光性樹脂層と共に、フィルム長手方向
で、前記透光性支持フィルムの厚さ方向の少なくとも一
部を残してフィルム幅方向に切断するハーフカット工程
と、このハーフカット工程で切断された切断部分を含む
カバーフィルムを、粘着テープの粘着層を押圧して感光
性樹脂層から引き剥がす工程と、カバーフィルムを剥が
した後に、透光性支持フィルムを、その感光性樹脂層
が、間欠的に順次送られてくる複数の基板のフィルム張
付面に向くように、基板の搬送面に沿って供給し、該基
板と共に回転するラミネーションロール間に送り込ん
で、複数の基板を間欠的に接続するようにこれらに連続
的に張り付ける工程と、次に基板に張付けられた透光性
支持フィルムを基板から連続的に剥離する工程とを含ん
でなり、前記切断個所を、前記基板の後端及びこれに後
行する基板の先端に、ほぼ対応する位置とすると共に、
ハーフカット工程を実行する位置と前記ラミネーション
ロールとの間の位置で、該ラミネーションロールに送り
込まれる前記透光性支持フィルムにその送り方向の張力
を付加するようにしたことを特徴とするフィルム張付方
法により、上記目的を達成するものである。
ルムロールから巻き出した、透光性支持フィルム、この
透光性支持フィルムに直接的又は間接的に積層された感
光性樹脂層、該感光性樹脂層を被って積層されたカバー
フィルムを有してなる積層体フィルムの前記カバーフィ
ルムを、前記感光性樹脂層と共に、フィルム長手方向
で、前記透光性支持フィルムの厚さ方向の少なくとも一
部を残してフィルム幅方向に切断するハーフカット工程
と、このハーフカット工程で切断された切断部分を含む
カバーフィルムを、粘着テープの粘着層を押圧して感光
性樹脂層から引き剥がす工程と、カバーフィルムを剥が
した後に、透光性支持フィルムを、その感光性樹脂層
が、間欠的に順次送られてくる複数の基板のフィルム張
付面に向くように、基板の搬送面に沿って供給し、該基
板と共に回転するラミネーションロール間に送り込ん
で、複数の基板を間欠的に接続するようにこれらに連続
的に張り付ける工程と、次に基板に張付けられた透光性
支持フィルムを基板から連続的に剥離する工程とを含ん
でなり、前記切断個所を、前記基板の後端及びこれに後
行する基板の先端に、ほぼ対応する位置とすると共に、
ハーフカット工程を実行する位置と前記ラミネーション
ロールとの間の位置で、該ラミネーションロールに送り
込まれる前記透光性支持フィルムにその送り方向の張力
を付加するようにしたことを特徴とするフィルム張付方
法により、上記目的を達成するものである。
【００１８】請求項６のように、前記感光性樹脂層を切
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断するようにしても
よい。
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断するようにしても
よい。
【００１９】他の本装置発明は、請求項７のように、透
光性支持フィルム、この透光性支持フィルムに積層され
た感光性樹脂層、この感光性樹脂層を被って積層された
カバーフィルムを含む積層体フィルムを帯状に連続的に
供給するフィルム供給源と、このフィルム供給源から供
給される積層体フィルムから前記カバーフィルムを連続
的に剥離するカバーフィルム剥離手段と、基板搬送面に
沿って複数の基板を連続的に搬送する基板搬送手段と、
前記カバーフィルムが剥離された透光性支持フィルム
を、前記感光性樹脂層が基板搬送面に向くようにして前
記基板とを重ねて挟み込みつつ送りをかけるラミネーシ
ョンロールと、を有してなり、間欠的に順次搬送されて
くる複数の基板に前記カバーフィルムが剥された積層体
フィルムを連続的に張り付けるフィルム張付装置におい
て、前記フィルム供給源と前記カバーフィルム剥離手段
との間の位置に、前記カバーフィルムを前記感光性樹脂
層と共に、前記透光性樹脂層の厚さ方向の少なくとも一
部を残してフィルム幅方向に切断するハーフカッター
と、このハーフカッターと前記ラミネーションロールの
間に配置され、感光性樹脂層が切断された後の透光性支
持フィルムに張力を付与する張力付与手段と、前記ラミ
ネーションロールの出側に配置され、前記基板に張り付
けられた後の前記透光性支持フィルムを、該基板から引
き剥がす支持フィルム剥離手段と、を設けると共に、前
記カバーフィルム剥離手段を、粘着テープの粘着面を、
前記切断された部分を含むカバーフィルムに連続的に粘
着し、且つ、フィルム搬送面から離間させることにより
前記カバーフィルムを引き剥がすように構成して、上記
目的を達成するものである。
光性支持フィルム、この透光性支持フィルムに積層され
た感光性樹脂層、この感光性樹脂層を被って積層された
カバーフィルムを含む積層体フィルムを帯状に連続的に
供給するフィルム供給源と、このフィルム供給源から供
給される積層体フィルムから前記カバーフィルムを連続
的に剥離するカバーフィルム剥離手段と、基板搬送面に
沿って複数の基板を連続的に搬送する基板搬送手段と、
前記カバーフィルムが剥離された透光性支持フィルム
を、前記感光性樹脂層が基板搬送面に向くようにして前
記基板とを重ねて挟み込みつつ送りをかけるラミネーシ
ョンロールと、を有してなり、間欠的に順次搬送されて
くる複数の基板に前記カバーフィルムが剥された積層体
フィルムを連続的に張り付けるフィルム張付装置におい
て、前記フィルム供給源と前記カバーフィルム剥離手段
との間の位置に、前記カバーフィルムを前記感光性樹脂
層と共に、前記透光性樹脂層の厚さ方向の少なくとも一
部を残してフィルム幅方向に切断するハーフカッター
と、このハーフカッターと前記ラミネーションロールの
間に配置され、感光性樹脂層が切断された後の透光性支
持フィルムに張力を付与する張力付与手段と、前記ラミ
ネーションロールの出側に配置され、前記基板に張り付
けられた後の前記透光性支持フィルムを、該基板から引
き剥がす支持フィルム剥離手段と、を設けると共に、前
記カバーフィルム剥離手段を、粘着テープの粘着面を、
前記切断された部分を含むカバーフィルムに連続的に粘
着し、且つ、フィルム搬送面から離間させることにより
前記カバーフィルムを引き剥がすように構成して、上記
目的を達成するものである。
【００２０】請求項８のように、前記ハーフカッター
を、フィルム長手方向に前記所定間隔で一対配置され、
フィルム幅方向に移動自在のディスクカッターと、この
ディスクカッターの先端に対して、フィルム搬送面を介
して対向して配置され、ディスクカッターがフィルム幅
方向に移動するとき前記積層体フィルムを支持するカッ
ター台と、を含んで構成すると共に、前記一対のディス
クカッター及びカッター台を、前記積層体フィルムの送
り方向に、これと等速で移動させ得るハーフカッター移
動装置を設けてもよい。
を、フィルム長手方向に前記所定間隔で一対配置され、
フィルム幅方向に移動自在のディスクカッターと、この
ディスクカッターの先端に対して、フィルム搬送面を介
して対向して配置され、ディスクカッターがフィルム幅
方向に移動するとき前記積層体フィルムを支持するカッ
ター台と、を含んで構成すると共に、前記一対のディス
クカッター及びカッター台を、前記積層体フィルムの送
り方向に、これと等速で移動させ得るハーフカッター移
動装置を設けてもよい。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態の例を図
面を参照して詳細に説明する。
面を参照して詳細に説明する。
【００２２】この発明に係るフィルム張付装置１０は、
図１に示されるように、フィルム供給源であるフィルム
ロール１２から積層体フィルム１４を巻き出し、該積層
体フィルム１４を構成するカバーフィルム１４Ｃ（後
述）をカバーフィルム剥離装置１６によって剥離した
後、基板搬送装置１８によって順次間欠的に搬送されて
くる複数の基板２０の上面に重ねて、該基板２０と共に
上下一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に通
して基板２０に積層体フィルム１４を圧着するものであ
る。
図１に示されるように、フィルム供給源であるフィルム
ロール１２から積層体フィルム１４を巻き出し、該積層
体フィルム１４を構成するカバーフィルム１４Ｃ（後
述）をカバーフィルム剥離装置１６によって剥離した
後、基板搬送装置１８によって順次間欠的に搬送されて
くる複数の基板２０の上面に重ねて、該基板２０と共に
上下一対のラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に通
して基板２０に積層体フィルム１４を圧着するものであ
る。
【００２３】複数の基板２０に連続的に圧着された透光
性支持フィルム１４Ａは、各基板２０から連続的に剥離
され、これにより各基板毎に分離される。
性支持フィルム１４Ａは、各基板２０から連続的に剥離
され、これにより各基板毎に分離される。
【００２４】なお、この透光性支持フィルム１４Ａは、
各基板間で切断してから非連続で剥離してもよい。
各基板間で切断してから非連続で剥離してもよい。
【００２５】前記積層体フィルム１４は、図２に示され
るように、透光性支持フィルム１４Ａ、この透光性支持
フィルムに積層された感光性樹脂層１４Ｂ、及び、この
感光性樹脂層１４Ｂを被って積層されたカバーフィルム
１４Ｃからなり、帯状に巻かれたフィルムロール１２か
ら連続的に巻き出されるようになっている。ここで透光
性支持フィルム１４における「透光性」とは、感光性樹
脂層１４Ｂを露光させる光あるいはビーム、即ち、可視
光線、紫外光、Ｘ線、電子線等を透過できることを意味
する。
るように、透光性支持フィルム１４Ａ、この透光性支持
フィルムに積層された感光性樹脂層１４Ｂ、及び、この
感光性樹脂層１４Ｂを被って積層されたカバーフィルム
１４Ｃからなり、帯状に巻かれたフィルムロール１２か
ら連続的に巻き出されるようになっている。ここで透光
性支持フィルム１４における「透光性」とは、感光性樹
脂層１４Ｂを露光させる光あるいはビーム、即ち、可視
光線、紫外光、Ｘ線、電子線等を透過できることを意味
する。
【００２６】フィルムロール１２は、例えば、トルクモ
ータ１２Ａによりその巻き出し張力が制御されるように
なっている。前記フィルムロール１２から巻き出された
積層体フィルム１４は、一対のガイドロール２６Ａ、２
６Ｂに巻き掛けられ、ここから、水平のフィルム搬送面
に沿って延在され、張力付与ロール２８に巻き掛けられ
ている。 この張力付与ロール２８は、トルクモータ２
９によりブレーキをかけつつ回転するようにされ、これ
により、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂとの間
で、透光性支持フィルム１４Ａに適当な張力を付与（制
御）するようにされ、表面は透光性支持フィルム１４Ａ
との摩擦係数が大きいゴム等の材料から構成されされて
いる（詳細図示省略）。又、張力の付与は、表面に負圧
による多数吸引孔を備えた吸着ロール等の他の手段によ
ってもよい。
ータ１２Ａによりその巻き出し張力が制御されるように
なっている。前記フィルムロール１２から巻き出された
積層体フィルム１４は、一対のガイドロール２６Ａ、２
６Ｂに巻き掛けられ、ここから、水平のフィルム搬送面
に沿って延在され、張力付与ロール２８に巻き掛けられ
ている。 この張力付与ロール２８は、トルクモータ２
９によりブレーキをかけつつ回転するようにされ、これ
により、ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂとの間
で、透光性支持フィルム１４Ａに適当な張力を付与（制
御）するようにされ、表面は透光性支持フィルム１４Ａ
との摩擦係数が大きいゴム等の材料から構成されされて
いる（詳細図示省略）。又、張力の付与は、表面に負圧
による多数吸引孔を備えた吸着ロール等の他の手段によ
ってもよい。
【００２７】ここで、積層体フィルム１４は、前記ガイ
ドロール２６Ｂと張力付与ロール２８の間でカバーフィ
ルム１４Ｃが上側となるようにされている。
ドロール２６Ｂと張力付与ロール２８の間でカバーフィ
ルム１４Ｃが上側となるようにされている。
【００２８】前記カバーフィルム剥離装置１６は、前記
張力付与ロール２８の直前位置に設けられ、粘着テープ
ロール３０から粘着層をカバーフィルム１４Ｃ側に向け
て巻き出された粘着テープ３２を、２対のピンチロール
３４Ａ、３４Ｂにより積層体フィルム１４と共に挟み込
み、更に、巻き取りロール３６によって粘着テープ３２
を巻き取る際に、カバーフィルム１４Ｃを感光性樹脂層
１４Ｂから引き剥がして、同時に巻き取るようにされて
いる。
張力付与ロール２８の直前位置に設けられ、粘着テープ
ロール３０から粘着層をカバーフィルム１４Ｃ側に向け
て巻き出された粘着テープ３２を、２対のピンチロール
３４Ａ、３４Ｂにより積層体フィルム１４と共に挟み込
み、更に、巻き取りロール３６によって粘着テープ３２
を巻き取る際に、カバーフィルム１４Ｃを感光性樹脂層
１４Ｂから引き剥がして、同時に巻き取るようにされて
いる。
【００２９】前記ガイドロール２６Ｂと前記カバーフィ
ルム剥離装置１６の間の位置には、フィルム送り方向の
所定間隔をもった２個所で、積層体フィルム１４におけ
る透光性支持フィルム１４Ａを残して、カバーフィルム
１４Ｃを感光性樹脂層１４Ｂと共に、フィルム幅方向に
切断するハーフカッター３８が設けられている。
ルム剥離装置１６の間の位置には、フィルム送り方向の
所定間隔をもった２個所で、積層体フィルム１４におけ
る透光性支持フィルム１４Ａを残して、カバーフィルム
１４Ｃを感光性樹脂層１４Ｂと共に、フィルム幅方向に
切断するハーフカッター３８が設けられている。
【００３０】このハーフカッター３８は、フィルム送り
方向に上記所定間隔で配置された１対のディスクカッタ
ー３８Ａ、３８Ｂと、このディスクカッター３８Ａ、３
８Ｂの先端（下端）に対してフィルム搬送面を介して対
向して配置され、該ディスクカッター３８Ａ、３８Ｂが
フィルム幅方向に移動するとき、前記積層体フィルムを
支持する水平なカッター台３８Ｃと、ディスクカッター
３８Ａ、３８Ｂがフィルム切断をするときに積層体フィ
ルム１４をカッター台３８Ｃに押圧するフィルム押えシ
リンダ３８Ｅと、を含んで構成されている。ここで、カ
ッター台３８Ｃは、積層体フィルム１４の図において幅
方向下側を被う長さに形成されている。
方向に上記所定間隔で配置された１対のディスクカッタ
ー３８Ａ、３８Ｂと、このディスクカッター３８Ａ、３
８Ｂの先端（下端）に対してフィルム搬送面を介して対
向して配置され、該ディスクカッター３８Ａ、３８Ｂが
フィルム幅方向に移動するとき、前記積層体フィルムを
支持する水平なカッター台３８Ｃと、ディスクカッター
３８Ａ、３８Ｂがフィルム切断をするときに積層体フィ
ルム１４をカッター台３８Ｃに押圧するフィルム押えシ
リンダ３８Ｅと、を含んで構成されている。ここで、カ
ッター台３８Ｃは、積層体フィルム１４の図において幅
方向下側を被う長さに形成されている。
【００３１】前記ディスクカッター３８Ａ、３８Ｂは、
図３に示されるように、例えばロッドレスシリンダから
なる駆動装置３８Ｄによってフィルム幅方向に駆動さ
れ、幅方向に１回の往復動につき往動若しくは復動の一
方で１回又は往動及び復動の両方で２回、カバーフィル
ム１４Ｃを切断できるようにされている。
図３に示されるように、例えばロッドレスシリンダから
なる駆動装置３８Ｄによってフィルム幅方向に駆動さ
れ、幅方向に１回の往復動につき往動若しくは復動の一
方で１回又は往動及び復動の両方で２回、カバーフィル
ム１４Ｃを切断できるようにされている。
【００３２】前記カッター台３８Ｃと駆動装置３８Ｄ
は、ハーフカッター移動装置４０によって積層体フィル
ム１４の送りに同期して、同方向に等速度で移動され得
るようになっている。従って、ディスクカッター３８
Ａ、３８Ｂは、積層体フィルム１４の送りを停止させる
ことなく、いわゆる走間カットをすることができる。
は、ハーフカッター移動装置４０によって積層体フィル
ム１４の送りに同期して、同方向に等速度で移動され得
るようになっている。従って、ディスクカッター３８
Ａ、３８Ｂは、積層体フィルム１４の送りを停止させる
ことなく、いわゆる走間カットをすることができる。
【００３３】このハーフカッター移動装置４０は、フィ
ルム搬送面と平行に配置されたラック４０Ａと、ラック
４０Ａに噛み合うピニオン４０Ｂとを含み、ピニオン４
０Ｂをカッター台３８Ｃ及び駆動装置３８Ｄ側に取り付
け、該ピニオン４０Ｂをモータ４０Ｃによって駆動する
ことにより、ディスクカッター３８Ａ、３８Ｂとカッタ
ー台３８Ｃを積層体フィルム１４と同期して移動させる
ものである。
ルム搬送面と平行に配置されたラック４０Ａと、ラック
４０Ａに噛み合うピニオン４０Ｂとを含み、ピニオン４
０Ｂをカッター台３８Ｃ及び駆動装置３８Ｄ側に取り付
け、該ピニオン４０Ｂをモータ４０Ｃによって駆動する
ことにより、ディスクカッター３８Ａ、３８Ｂとカッタ
ー台３８Ｃを積層体フィルム１４と同期して移動させる
ものである。
【００３４】前記張力付与ロール２８とラミネーション
ロール２２Ａ、２２Ｂとの間には、カバーフィルム１４
Ｃが剥離された積層体フィルム１４（透光性支持フィル
ム１４Ａと感光性支持層１４Ｂ）を案内するためのガイ
ドロール４２Ａ、４２Ｂ、及びフィルムプレヒータ４２
Ｃが、この順で配置されている。
ロール２２Ａ、２２Ｂとの間には、カバーフィルム１４
Ｃが剥離された積層体フィルム１４（透光性支持フィル
ム１４Ａと感光性支持層１４Ｂ）を案内するためのガイ
ドロール４２Ａ、４２Ｂ、及びフィルムプレヒータ４２
Ｃが、この順で配置されている。
【００３５】前記上側のガイドロール４２Ａには、テン
ションピックアップ４４が設けられ、ガイドロール４２
Ａにかかる力によって、この位置での積層体フィルム１
４の引張力を検出し、これによってフィルム張力が最適
となるように制御装置４６を介して、前記張力付与ロー
ル２８の負圧を制御している。
ションピックアップ４４が設けられ、ガイドロール４２
Ａにかかる力によって、この位置での積層体フィルム１
４の引張力を検出し、これによってフィルム張力が最適
となるように制御装置４６を介して、前記張力付与ロー
ル２８の負圧を制御している。
【００３６】ガイドロール４２Ｂは、積層体フィルム１
４がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に斜めに入
るように案内するものであり、又、フィルムプレヒータ
４２Ｃは、基板圧着直前に積層体フィルム１４を所定温
度にまで加熱するものである。
４がラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ間に斜めに入
るように案内するものであり、又、フィルムプレヒータ
４２Ｃは、基板圧着直前に積層体フィルム１４を所定温
度にまで加熱するものである。
【００３７】図１の符号４８は、基板搬送装置１８の上
端に形成される基板搬送面１８Ａ上の基板２０を加熱す
るためのヒータを示す。
端に形成される基板搬送面１８Ａ上の基板２０を加熱す
るためのヒータを示す。
【００３８】前記ラミネーションロール２２Ａ、２２Ｂ
の下流側には、基板搬送方向に離間して配置されたピン
チロール５０Ａ、５０Ｂ、その上方には支持フィルム巻
取りロール６０がそれぞれ配置されている。
の下流側には、基板搬送方向に離間して配置されたピン
チロール５０Ａ、５０Ｂ、その上方には支持フィルム巻
取りロール６０がそれぞれ配置されている。
【００３９】前記上側のラミネーションロール２２Ａ
は、ラミネーションロール開閉装置５６（図４参照）に
より下側のラミネーションロール２２Ｂに対して離接
（開閉）自在とされ、基板先端センサ５４が基板２０の
先端を検出し、該先端がラミネーションロール２２Ａ、
２２Ｂ間の位置に到達したとき、制御装置４６により該
基板２０を挟み込むように「閉」とされ、又、基板後端
センサ５８が基板後端を検出し、これがラミネーション
ロール２２Ａ、２２Ｂ間から抜け出るとき「開」となる
ようにされている。
は、ラミネーションロール開閉装置５６（図４参照）に
より下側のラミネーションロール２２Ｂに対して離接
（開閉）自在とされ、基板先端センサ５４が基板２０の
先端を検出し、該先端がラミネーションロール２２Ａ、
２２Ｂ間の位置に到達したとき、制御装置４６により該
基板２０を挟み込むように「閉」とされ、又、基板後端
センサ５８が基板後端を検出し、これがラミネーション
ロール２２Ａ、２２Ｂ間から抜け出るとき「開」となる
ようにされている。
【００４０】次に上記フィルム張付装置の作用について
説明する。
説明する。
【００４１】まず、積層体フィルム１４をフィルムロー
ル１２から巻き出し、ガイドロール２６Ａ、２６Ｂ、張
力付与ロール２８、ガイドロール４２Ａ、４２Ｂを経
て、待機状態（開状態）のラミネーションロール２２
Ａ、２２Ｂ間を通し、更にピンチロール５０Ａ、５０Ｂ
間を通して先端を支持フィルム巻き取りロール６０に巻
き取られるようにしておく。
ル１２から巻き出し、ガイドロール２６Ａ、２６Ｂ、張
力付与ロール２８、ガイドロール４２Ａ、４２Ｂを経
て、待機状態（開状態）のラミネーションロール２２
Ａ、２２Ｂ間を通し、更にピンチロール５０Ａ、５０Ｂ
間を通して先端を支持フィルム巻き取りロール６０に巻
き取られるようにしておく。
【００４２】このとき、カバーフィルム１４Ｃはカバー
フィルム剥離装置１６により、その先端から剥離して巻
き取っておく。
フィルム剥離装置１６により、その先端から剥離して巻
き取っておく。
【００４３】次に、フィルム張付装置１０全体を作動さ
せるが、このとき、ハーフカッター３８は、そのディス
クカッター３８Ａ、３８Ｂによる切断個所が、積層体フ
ィルム１４を張り付けた状態での先行基板の後端及び後
行基板の先端間に該当する位置で、且つ、これよりもわ
ずかに広くなるように、予めセットしておく。
せるが、このとき、ハーフカッター３８は、そのディス
クカッター３８Ａ、３８Ｂによる切断個所が、積層体フ
ィルム１４を張り付けた状態での先行基板の後端及び後
行基板の先端間に該当する位置で、且つ、これよりもわ
ずかに広くなるように、予めセットしておく。
【００４４】フィルム張付装置１０が作動されると、ま
ず、積層体フィルム１４を搬送しつつ、ハーフカッター
３８をハーフカッター移動装置４０によって積層体フィ
ルム１４と同期して移動させつつ、駆動装置３８Ｄによ
りディスクカッター３８Ａ、３８Ｂを駆動して、カバー
フィルム１４Ｃをその裏側の感光性樹脂層１４Ｂと共
に、フィルム幅方向に切断する（図５参照）。この切断
の際に、ディスクカッター３８Ａ、３８Ｂの刃先が、透
光性支持フィルム１２に僅かに切込むようにすると、感
光性樹脂層１４Ｂをより確実に切断できる。透光性支持
フィルム１２は感光性樹脂層１４Ｂと比較すれば十分に
厚いので少々切込まれても切断されることがない。
ず、積層体フィルム１４を搬送しつつ、ハーフカッター
３８をハーフカッター移動装置４０によって積層体フィ
ルム１４と同期して移動させつつ、駆動装置３８Ｄによ
りディスクカッター３８Ａ、３８Ｂを駆動して、カバー
フィルム１４Ｃをその裏側の感光性樹脂層１４Ｂと共
に、フィルム幅方向に切断する（図５参照）。この切断
の際に、ディスクカッター３８Ａ、３８Ｂの刃先が、透
光性支持フィルム１２に僅かに切込むようにすると、感
光性樹脂層１４Ｂをより確実に切断できる。透光性支持
フィルム１２は感光性樹脂層１４Ｂと比較すれば十分に
厚いので少々切込まれても切断されることがない。
【００４５】一方、カバーフィルム剥離装置１６は、粘
着テープロール３０から巻き出される粘着テープ３２を
ピンチロール３４Ａ、３４Ｂ間でカバーフィルム１４Ｃ
に強く圧着した後、巻き取りロール３６によって巻き取
るので、カバーフィルム１４Ｃは粘着テープ３２と共に
巻き取られ、感光性樹脂層１４Ｂから剥離される。
着テープロール３０から巻き出される粘着テープ３２を
ピンチロール３４Ａ、３４Ｂ間でカバーフィルム１４Ｃ
に強く圧着した後、巻き取りロール３６によって巻き取
るので、カバーフィルム１４Ｃは粘着テープ３２と共に
巻き取られ、感光性樹脂層１４Ｂから剥離される。
【００４６】粘着テープ３２は、カバーフィルム１４Ｃ
に連続的に圧着されるので、前記ディスクカッター３８
Ａ、３８Ｂによって切断線の入っている部分も、確実に
粘着されて巻き取りロール３６に巻き取られる。
に連続的に圧着されるので、前記ディスクカッター３８
Ａ、３８Ｂによって切断線の入っている部分も、確実に
粘着されて巻き取りロール３６に巻き取られる。
【００４７】ハーフカッター３８のディスクカッター３
８Ａ、３８Ｂによって、カバーフィルム１４Ｃが切断さ
れる際、積層体フィルム１４は、フィルムロール１２の
回転を制御するトルクモータ１２Ａと前記張力付与ロー
ル２８とによって、切断に最適な張力が付与される。
８Ａ、３８Ｂによって、カバーフィルム１４Ｃが切断さ
れる際、積層体フィルム１４は、フィルムロール１２の
回転を制御するトルクモータ１２Ａと前記張力付与ロー
ル２８とによって、切断に最適な張力が付与される。
【００４８】カバーフィルム剥離装置１６によってカバ
ーフィルム１４Ｃが剥離され、感光性樹脂層１４Ｂが露
出された積層体フィルム１４は、該感光性樹脂層１４Ｂ
を基板搬送面１８Ａ側にしてガイドロール４２Ａ、４２
Ｂ及びフィルムプレヒータ４２Ｃ位置を通過して、ラミ
ネーションロール２２Ａ、２２Ｂに至る。
ーフィルム１４Ｃが剥離され、感光性樹脂層１４Ｂが露
出された積層体フィルム１４は、該感光性樹脂層１４Ｂ
を基板搬送面１８Ａ側にしてガイドロール４２Ａ、４２
Ｂ及びフィルムプレヒータ４２Ｃ位置を通過して、ラミ
ネーションロール２２Ａ、２２Ｂに至る。
【００４９】このとき、基板搬送装置１８によって搬送
される基板２０の上面に、感光性樹脂層１４Ｂが圧着さ
れた状態で、透光性支持フィルム１４Ａが基板２０に張
り付けられる。
される基板２０の上面に、感光性樹脂層１４Ｂが圧着さ
れた状態で、透光性支持フィルム１４Ａが基板２０に張
り付けられる。
【００５０】前記透光性支持フィルム１４は、ハーフカ
ッター３８によりカバーフィルム１４Ｃ及び感光性樹脂
層１４Ｂが切断されると伸び易くなるため張力が大幅に
減少するが、張力付与ロール２８がトルクモータ２９に
よりブレーキをかけながら回転されることにより、ラミ
ネーションロール２２Ａ、２２Ｂとの間で張力が付与さ
れる。従って、基板２０への張付け状態でしわが発生す
ることがない。
ッター３８によりカバーフィルム１４Ｃ及び感光性樹脂
層１４Ｂが切断されると伸び易くなるため張力が大幅に
減少するが、張力付与ロール２８がトルクモータ２９に
よりブレーキをかけながら回転されることにより、ラミ
ネーションロール２２Ａ、２２Ｂとの間で張力が付与さ
れる。従って、基板２０への張付け状態でしわが発生す
ることがない。
【００５１】基板２０は、その後端が前記下流側のディ
スクカッター３８Ｂによって切断された位置が、基板後
端近傍のフィルム張付面上に位置するように基板搬送装
置１８によって搬送される。又、後行の基板２０の先端
に対して、上流側のディスクカッター３８Ａによる切断
位置が、該後行基板の先端近傍におけるフィルム張付面
上に位置するように調整しておく。
スクカッター３８Ｂによって切断された位置が、基板後
端近傍のフィルム張付面上に位置するように基板搬送装
置１８によって搬送される。又、後行の基板２０の先端
に対して、上流側のディスクカッター３８Ａによる切断
位置が、該後行基板の先端近傍におけるフィルム張付面
上に位置するように調整しておく。
【００５２】従って、間欠的に搬送されてくる複数の基
板２０上に張り付けられた積層体フィルム１４を、ディ
スクカッター３８Ａ、３８Ｂにより切断された切断線３
９Ａ、３９Ｂは、図６に示されるようになる。
板２０上に張り付けられた積層体フィルム１４を、ディ
スクカッター３８Ａ、３８Ｂにより切断された切断線３
９Ａ、３９Ｂは、図６に示されるようになる。
【００５３】この状態で、基板に張り付けられている透
光性支持フィルム１４Ａを、支持フィルム巻き取りロー
ルにより巻き取ると、図７に示されるように、基板２０
上の感光性樹脂層１４Ｂは、該基板２０に付着した状態
で残り、各基板２０、２０間の感光性樹脂層１４Ｂは、
付着する対象がないので、切断線３９Ａ、３９Ｂ位置で
基板上の感光性樹脂層１４Ｂから分離して透光性支持フ
ィルム１４Ａに付着した状態で支持フィルム巻き取りロ
ール６０に巻き取られる。
光性支持フィルム１４Ａを、支持フィルム巻き取りロー
ルにより巻き取ると、図７に示されるように、基板２０
上の感光性樹脂層１４Ｂは、該基板２０に付着した状態
で残り、各基板２０、２０間の感光性樹脂層１４Ｂは、
付着する対象がないので、切断線３９Ａ、３９Ｂ位置で
基板上の感光性樹脂層１４Ｂから分離して透光性支持フ
ィルム１４Ａに付着した状態で支持フィルム巻き取りロ
ール６０に巻き取られる。
【００５４】従って、透光性支持フィルム１４Ａが基板
２０から剥離されると同時に、各基板２０が分離される
ことになる。
２０から剥離されると同時に、各基板２０が分離される
ことになる。
【００５５】ここで、ピンチロール５０Ａ、５０Ｂの出
側近傍に、図１において符号６２で示されるように、透
光性支持フィルム１４Ａを鋭角に案内する分離部材を設
けるとよい。この場合、感光性樹脂層１４Ｂの透光性支
持フィルム側と基板２０側部分との分離が円滑になされ
る。
側近傍に、図１において符号６２で示されるように、透
光性支持フィルム１４Ａを鋭角に案内する分離部材を設
けるとよい。この場合、感光性樹脂層１４Ｂの透光性支
持フィルム側と基板２０側部分との分離が円滑になされ
る。
【００５６】なお、上記実施の形態の例においては、積
層体フィルムは透光性支持フィルム、感光性樹脂層及び
カバーフィルムを積層したものであるが、本発明は、図
８に示されるように、透光性支持フィルム１５Ａ及び感
光性樹脂層１５Ｂからなり、カバーフィルムを備えてい
ない積層体フィルム１５を用いる場合にも適用されるも
のである。この場合、カッターは感光性樹脂層のみ、又
は、透光性支持フィルムの一部と感光性樹脂層を切断す
ることになる。
層体フィルムは透光性支持フィルム、感光性樹脂層及び
カバーフィルムを積層したものであるが、本発明は、図
８に示されるように、透光性支持フィルム１５Ａ及び感
光性樹脂層１５Ｂからなり、カバーフィルムを備えてい
ない積層体フィルム１５を用いる場合にも適用されるも
のである。この場合、カッターは感光性樹脂層のみ、又
は、透光性支持フィルムの一部と感光性樹脂層を切断す
ることになる。
【００５７】ここで切断とは、感光性樹脂層を遮断でき
るものであればよく、実質的には除去を含むものとす
る。
るものであればよく、実質的には除去を含むものとす
る。
【００５８】又、前記ハーフカッター３８は、積層体フ
ィルム１４と同期して移動しつつ、該積層体フィルム１
４を走間カットするものであるが、本発明はこれに限定
されるものでなく、例えばハーフカッター３８とラミネ
ーションロール２２Ａ、２２Ｂとの間の位置に、積層体
フィルム１４を溜め込むアキュムレータを設け、ラミネ
ーションロール２２Ａ、２２Ｂに積層体フィルム１４を
供給しつつも、ハーフカッター３８の位置では積層体フ
ィルム１４の送りを停止させ、カバーフィルム１４Ｃを
切断する構成としてもよい。
ィルム１４と同期して移動しつつ、該積層体フィルム１
４を走間カットするものであるが、本発明はこれに限定
されるものでなく、例えばハーフカッター３８とラミネ
ーションロール２２Ａ、２２Ｂとの間の位置に、積層体
フィルム１４を溜め込むアキュムレータを設け、ラミネ
ーションロール２２Ａ、２２Ｂに積層体フィルム１４を
供給しつつも、ハーフカッター３８の位置では積層体フ
ィルム１４の送りを停止させ、カバーフィルム１４Ｃを
切断する構成としてもよい。
【００５９】又、上記切断線３９Ａ、３９Ｂは、基板２
０へのフィルム張付け状態で、基板２０の搬送方向端面
よりも僅かに基板上面中心側にずれた位置とされている
が、本発明はこれに限定されるものではなく、図９
（Ａ）〜（Ｅ）に示されるように、基板２０の端面と同
位置、あるいははみ出した位置となるようにしてもよ
い。
０へのフィルム張付け状態で、基板２０の搬送方向端面
よりも僅かに基板上面中心側にずれた位置とされている
が、本発明はこれに限定されるものではなく、図９
（Ａ）〜（Ｅ）に示されるように、基板２０の端面と同
位置、あるいははみ出した位置となるようにしてもよ
い。
【００６０】又、本発明は基板の下面あるいは両面に積
層体フィルムを張付ける場合、基板を上下方向又は斜め
方向に搬送しつつ、その片面又は両面に積層体フィルム
を張付ける場合にも適用されるものである。
層体フィルムを張付ける場合、基板を上下方向又は斜め
方向に搬送しつつ、その片面又は両面に積層体フィルム
を張付ける場合にも適用されるものである。
【００６１】
【発明の効果】本発明は上記のように構成したので、基
板へのフィルム張付後に、感光性樹脂層を切断する必要
がなく、感光性樹脂層を容易に切断できると共に透光性
支持フィルムを連続的に剥離させて、処理速度を向上さ
せることができ、又、感光性樹脂層の切断後に、ラミネ
ーションロールの入側で張力を付与して、透光性支持フ
ィルムを基板に張付けたときのしわの発生を防止できる
という効果を有する。又感光性樹脂層をカバーフィルム
と共に確実に切断し、且つ、感光性樹脂によるカッター
の汚れ等を防止することができると共に、切断後のカバ
ーフィルム全体を感光性樹脂層から連続的に剥離させた
場合には、処理速度を増大させることができるという優
れた効果を有する。
板へのフィルム張付後に、感光性樹脂層を切断する必要
がなく、感光性樹脂層を容易に切断できると共に透光性
支持フィルムを連続的に剥離させて、処理速度を向上さ
せることができ、又、感光性樹脂層の切断後に、ラミネ
ーションロールの入側で張力を付与して、透光性支持フ
ィルムを基板に張付けたときのしわの発生を防止できる
という効果を有する。又感光性樹脂層をカバーフィルム
と共に確実に切断し、且つ、感光性樹脂によるカッター
の汚れ等を防止することができると共に、切断後のカバ
ーフィルム全体を感光性樹脂層から連続的に剥離させた
場合には、処理速度を増大させることができるという優
れた効果を有する。
【図１】本発明の実施の形態に係るフィルム張付装置を
示す一部ブロック図を含む略示側面図
示す一部ブロック図を含む略示側面図
【図２】同フィルム張付装置で用いる積層体フィルムを
拡大して示す断面図
拡大して示す断面図
【図３】同フィルム張付装置におけるカバーフィルム切
断装置の要部を示す斜視図
断装置の要部を示す斜視図
【図４】同フィルム張付装置の制御系を示すブロック図
【図５】カバーフィルムカッターにより切断された状態
の積層体フィルムを拡大して示す断面図
の積層体フィルムを拡大して示す断面図
【図６】基板に積層体フィルムを張付けた状態を示す拡
大断面図
大断面図
【図７】基板から積層体フィルムを剥離させる状態を拡
大して示す断面図
大して示す断面図
【図８】他の積層体フィルムを拡大して示す断面図
【図９】積層体フィルムの基板への各種張付け態様を示
す拡大断面図
す拡大断面図
【符号の説明】 １０…フィルム張付装置 １２…フィルムロール １４、１５…積層体フィルム １４Ａ、１５Ａ…透光性支持フィルム １４Ｂ、１５Ｂ…感光性樹脂層 １４Ｃ…カバーフィルム １６…カバーフィルム剥離装置 １８…基板搬送装置 １８Ａ…基板搬送面 ２０…基板 ２２Ａ、２２Ｂ…ラミネーションロール ２４…分離カッター ２８…張力付与ロール ２９…トルクモータ ３２…粘着テープ ３８…ハーフカッター ３８Ａ、３８Ｂ…ディスクカッター ３８Ｃ…カッター台 ３８Ｄ…駆動装置 ３９Ａ、３９Ｂ…切断線 ４０…ハーフカッター移動装置 ４６…制御装置 ６０…支持フィルム巻き取りロール
Claims (8)
- 【請求項１】フィルムロールから巻き出した、透光性支
持フィルム、及び、感光性樹脂層の少なくとも２層を積
層してなる積層体フィルムの前記感光性樹脂層をそのフ
ィルム長手方向で、前記透光性支持フィルムの厚さ方向
の少なくとも一部を残してフィルム幅方向に切断するハ
ーフカット工程と、このハーフカット工程後に、透光性
支持フィルムを、その感光性樹脂層が、間欠的に順次送
られてくる複数の基板のフィルム張付面に向くように、
基板の搬送面に沿って供給し、該基板と共に回転するラ
ミネーションロール間に送り込んで、複数の基板を間欠
的に接続するようにこれらに連続的に張り付ける工程
と、次に基板に張付けられた透光性支持フィルムを基板
から剥離する工程とを含んでなり、ハーフカット工程を
実行する位置と前記ラミネーションロールとの間の位置
で、該ラミネーションロールに送り込まれる前記積層体
フィルムにその送り方向の張力を付加するようにしたこ
とを特徴とするフィルム張付方法。 - 【請求項２】請求項１において、前記感光性樹脂層を切
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断することを特徴と
するフィルム張付方法。 - 【請求項３】少なくとも透光性支持フィルム及び感光性
樹脂層を積層してなる積層体フィルムを帯状に連続的に
供給するフィルム供給源と、基板搬送面に沿って複数の
基板を連続的に搬送する基板搬送手段と、前記透光性支
持フィルムを、前記感光性樹脂層が基板搬送面に向くよ
うにして前記基板とを重ねて挟み込みつつ送りをかける
一対のラミネーションロールと、を有してなり、間欠的
に順次搬送されてくる複数の基板に前記積層体フィルム
を連続的に張り付けるフィルム張付装置において、 前記積層体フィルムにおける前記感光性樹脂層をフィル
ム幅方向に切断するハーフカッターと、このハーフカッ
ターと前記ラミネーションロールの間に配置され、感光
性樹脂層が切断された後の積層体フィルムに張力を付与
する張力付与手段と、前記ラミネーションロールの出側
に配置され、前記基板に張り付けられた後の前記透光性
支持フィルムを、該基板から引き剥がす支持フィルム剥
離手段と、を設けたことを特徴とするフィルム張付装
置。 - 【請求項４】請求項３において、前記ハーフカッター
を、フィルム長手方向に前記所定間隔で一対配置され、
フィルム幅方向に移動自在のディスクカッターと、この
ディスクカッターの先端に対して、フィルム搬送面を介
して対向して配置され、ディスクカッターがフィルム幅
方向に移動するとき前記積層体フィルムを支持するカッ
ター台と、を含んで構成すると共に、前記一対のディス
クカッター及びカッター台を、前記積層体フィルムの送
り方向に、これと等速で移動させ得るカバーフィルムカ
ッター移動装置を設けたことを特徴とするフィルム張付
装置。 - 【請求項５】フィルムロールから巻き出した、透光性支
持フィルム、この透光性支持フィルムに直接的又は間接
的に積層された感光性樹脂層、該感光性樹脂層を被って
積層されたカバーフィルムを有してなる積層体フィルム
の前記カバーフィルムを、前記感光性樹脂層と共に、フ
ィルム長手方向で、前記透光性支持フィルムの厚さ方向
の少なくとも一部を残してフィルム幅方向に切断するハ
ーフカット工程と、このハーフカット工程で切断された
切断部分を含むカバーフィルムを、粘着テープの粘着層
を押圧して感光性樹脂層から引き剥がす工程と、カバー
フィルムを剥がした後に、透光性支持フィルムを、その
感光性樹脂層が、間欠的に順次送られてくる複数の基板
のフィルム張付面に向くように、基板の搬送面に沿って
供給し、該基板と共に回転するラミネーションロール間
に送り込んで、複数の基板を間欠的に接続するようにこ
れらに連続的に張り付ける工程と、次に基板に張付けら
れた透光性支持フィルムを基板から連続的に剥離する工
程とを含んでなり、前記切断個所を、前記基板の後端及
びこれに後行する基板の先端に、ほぼ対応する位置とす
ると共に、ハーフカット工程を実行する位置と前記ラミ
ネーションロールとの間の位置で、該ラミネーションロ
ールに送り込まれる前記透光性支持フィルムにその送り
方向の張力を付加するようにしたことを特徴とするフィ
ルム張付方法。 - 【請求項６】請求項５において、前記感光性樹脂層を切
断する手段を積層体フィルムに沿って、これと等速、同
方向に移動させつつ、フィルムを切断することを特徴と
するフィルム張付方法。 - 【請求項７】透光性支持フィルム、この透光性支持フィ
ルムに積層された感光性樹脂層、この感光性樹脂層を被
って積層されたカバーフィルムを含む積層体フィルムを
帯状に連続的に供給するフィルム供給源と、このフィル
ム供給源から供給される積層体フィルムから前記カバー
フィルムを連続的に剥離するカバーフィルム剥離手段
と、基板搬送面に沿って複数の基板を連続的に搬送する
基板搬送手段と、前記カバーフィルムが剥離された透光
性支持フィルムを、前記感光性樹脂層が基板搬送面に向
くようにして前記基板とを重ねて挟み込みつつ送りをか
けるラミネーションロールと、を有してなり、間欠的に
順次搬送されてくる複数の基板に前記カバーフィルムが
剥された積層体フィルムを連続的に張り付けるフィルム
張付装置において、 前記フィルム供給源と前記カバーフィルム剥離手段との
間の位置に、前記カバーフィルムを前記感光性樹脂層と
共に、前記透光性樹脂層の厚さ方向の少なくとも一部を
残してフィルム幅方向に切断するハーフカッターと、こ
のハーフカッターと前記ラミネーションロールの間に配
置され、感光性樹脂層が切断された後の透光性支持フィ
ルムに張力を付与する張力付与手段と、前記ラミネーシ
ョンロールの出側に配置され、前記基板に張り付けられ
た後の前記透光性支持フィルムを、該基板から引き剥が
す支持フィルム剥離手段と、を設けると共に、前記カバ
ーフィルム剥離手段を、粘着テープの粘着面を、前記切
断された部分を含むカバーフィルムに連続的に粘着し、
且つ、フィルム搬送面から離間させることにより前記カ
バーフィルムを引き剥がすように構成したことを特徴と
するフィルム張付装置。 - 【請求項８】請求項７において、前記ハーフカッター
を、フィルム長手方向に前記所定間隔で一対配置され、
フィルム幅方向に移動自在のディスクカッターと、この
ディスクカッターの先端に対して、フィルム搬送面を介
して対向して配置され、ディスクカッターがフィルム幅
方向に移動するとき前記積層体フィルムを支持するカッ
ター台と、を含んで構成すると共に、前記一対のディス
クカッター及びカッター台を、前記積層体フィルムの送
り方向に、これと等速で移動させ得るハーフカッター移
動装置を設けたことを特徴とするフィルム張付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18278597A JP3905603B2 (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | フィルム張付方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18278597A JP3905603B2 (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | フィルム張付方法及び装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1120115A true JPH1120115A (ja) | 1999-01-26 |
| JP3905603B2 JP3905603B2 (ja) | 2007-04-18 |
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ID=16124384
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18278597A Expired - Fee Related JP3905603B2 (ja) | 1997-07-08 | 1997-07-08 | フィルム張付方法及び装置 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3905603B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006256268A (ja) * | 2005-03-18 | 2006-09-28 | Fuji Photo Film Co Ltd | 感光性積層体の製造装置及び製造方法 |
| KR101088607B1 (ko) | 2010-06-10 | 2011-11-30 | (주)동우에스티 | 동박 도전성 테이프의 복합가공장치 |
| JP2019171696A (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-10 | 日本メクトロン株式会社 | ラミネート装置およびフレキシブルプリント基板の製造方法 |
| KR20200000545A (ko) * | 2018-06-25 | 2020-01-03 | 에이피시스템 주식회사 | 기판용 가접장치 |
| CN112520148A (zh) * | 2020-12-01 | 2021-03-19 | 力同铝业（广东）有限公司 | 自动撕膜机 |
-
1997
- 1997-07-08 JP JP18278597A patent/JP3905603B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| KR101088607B1 (ko) | 2010-06-10 | 2011-11-30 | (주)동우에스티 | 동박 도전성 테이프의 복합가공장치 |
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