JP2011044262A - シート剥離装置および表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】シート状部材上に剥離テープを貼って、粘着材の上面のシート状部材を剥離するときに、基材面および基材面に形成された領域に対して剥離テープを接触させること無く確実にシート状部材の剥離を行うことができるシート剥離装置および表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】剥離テープ１０の貼り付け開始部分を位置決めする板状部材３１と、板状部材３１の先端部を粘着材４の端面に当接した状態で剥離テープ巻き体２７から繰り出された剥離テープ１０を板状部材の上面からシート状部材の上面にかけて加圧しながら貼り付ける貼り付け機構部１００と、基材移動テーブル５１を剥離テープの貼り付け方向と反対方向に直線移動させる駆動部５１Ｍと、シート状部材を粘着材から剥ぎ取って巻き取るテープ巻取り機構部２６を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、シート剥離装置および表示装置の製造方法に関し、特に基材上に粘着材を用いて貼り付けられたシート状部材を、剥離用粘着テープを利用して粘着材から剥離する際に、基材面に剥離用粘着テープを接触させることなくシート状部材を剥離するシート剥離装置および表示装置の製造方法に関する。

図１１は、粘着シート３の粘着材４から裏面の保護フィルム９を、剥離用粘着テープ１０を用いて剥離する例を示している。粘着シート３には、予め同一サイズの保護フィルム９が粘着材４を用いて貼り付けられている。粘着シート３の粘着材４からこの保護フィルム９を剥離する際には、エッジ台１１を用いる。エッジ台１１の上には、粘着面を上にして置いた剥離用粘着テープ１０が置かれている。この剥離用粘着テープ１０の粘着面には保護フィルム９が載せて貼り付けられており、保護フィルム９をエッジ台１１のエッジから矢印の方向に沿って斜め下方向に引くことで、保護フィルム９の端部は粘着シート３の粘着材４の端部から引き剥がすことができる。

このように剥離用粘着テープ１０をエッジ台１１から斜め下方向に引くことで、粘着シート３の粘着材４から保護フィルム９を連続的に剥離することができる。この保護フィルム９の剥離手法は、液晶ディスプレイの偏光板貼り付け作業等で多く使用され、保護フィルム９を剥離した粘着シート３を自由に取り扱う場合には、この剥離方法が有効である。

また、図１２は別の従来例を示しており、基材１上に貼られた粘着材４を基材１の面側に残すようにして、保護フィルム５を粘着材４から剥離する例を示している。この保護フィルム５の剥離例は、基材１が固定されており基材１を自由に取り扱うことができない場合に用いられることが多く、剥離用粘着テープ１０の粘着面を保護フィルム５上に一旦貼ってから保護フィルム５の端部から引き剥がすことになる。このように基材１上に粘着材４を貼り付けて、その後保護フィルム５を粘着材３から引き剥がす必要がある場合には、この剥離方法が有効である。

さらに、平面表示装置用の基板と他の基板とを貼り合わせる際に両基板の間の封止の信頼性を向上させるためのマスキングテープの剥離装置が、特許文献１（特開２００８−１０２２１号公報）に提案されている。この従来例におけるマスキングテープの剥離方法は、図１３に示しており、ローラ１２で剥離用粘着テープ１０の粘着面を剥離しようとする保護フィルム（マスキングテープ）５に押し付けて、ローラ１２と基材１を相対的に移動させることで、保護フィルム５を剥離するようになっている。

特開２００８−１０２２１号公報

ところが、上述したような従来の各保護フィルムの剥離方法では、粘着材およびこの粘着材から剥離しようとする保護フィルムを合せた厚さが１００μｍに満たないような場合には、剥離用粘着テープが基材の面に貼り付くことがある。また、剥離しようとする保護フィルム（特許文献１ではマスキングテープ）の粘着力が強い場合には、保護フィルムの端部に剥離用粘着テープの粘着面を強く貼り付ける必要があるため、積極的に基材１に対しても剥離用粘着テープを貼り付けるようにすると効果的である。剥離用粘着テープの粘着面を、保護フィルムと基材に対して十分な貼り付けを行わないと、剥離用粘着テープのみが剥がれてしまって保護フィルムは粘着材側に残ってしまい、剥離しようとする保護フィルムを確実に粘着材から剥離できないという問題があった。

また近年、有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネル等を用いた薄型ディスプレイや表示装置では、積層成膜で形成した発光層や電極上に粘着材を有する保護材としてのシートを貼ることで、特徴である薄さを有効に利用しかつ保護する手法がとられるようになっている。この場合には、保護材として用いられる樹脂材料は、両面を保護フィルムで挟まれた構造で供給されることが多く、素子の形成された基板上、あるいは対向する基板上に一旦貼ってから保護材から保護フィルムを剥離する必要がある。この保護フィルムの剥離の際には、素子の形成された基板面や対向基板面における素子には、剥離用粘着テープの粘着面を付着させることを避ける必要がある。なぜなら、この剥離用粘着テープの粘着面は、この基板面や対向基板面における素子に対しては汚染源となるからである。

図１４は有機ＥＬパネルの封止基板６を示している。図１５は有機ＥＬパネルの組み立て構成例を示している。

図１３に示すように、封止基板６の単体では、粘着シート３は、粘着材４と保護フィルム５の２層構成になっている。そして、図１５に示すように、封止基板６は、発光素子基板７に対してフリット枠２を用いて接触させて、このフリット枠２を局所的に溶融させて溶着させる。この封止基板６と発光素子基板７との間に貼った粘着材４は封止後に溶融させることで、両基板を一体にする。上述したように、封止基板６の単体では、粘着シート３は、粘着材４と保護フィルム５の２層構成になっているので、封止基板６と発光素子基板７と組み合わせる前に、剥離用粘着テープを用いて粘着材４から保護フィルム５を剥離する必要がある。

そこで、この保護フィルム５の剥離作業の際には、剥離用粘着テープの粘着面を保護フィルム５の表面に貼り付けて剥離用粘着テープとともに保護フィルム５を粘着材４から引き剥がす。しかし、剥離用粘着テープの粘着面が周辺部のフリット枠２に対して接触すると、フリット枠２の溶着面が剥離用粘着テープの粘着面の粘着材または粘着材に付着した物質で汚染されてしまい、フリット枠２における十分な溶着強度が得られなかったり、リークパスとして融合できずに固化することがある。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであり、その目的は、基材上に粘着材を用いて貼られたシート状部材上に剥離テープを貼って、粘着材の上面のシート状部材を剥離するときに、基材面および基材面に形成された領域に対して剥離テープを接触させること無く、かつ確実にシート状部材の剥離を行うことができるシート剥離装置および表示装置の製造方法を提供することである。

本発明のシート剥離装置は、基材を載せて前記基材を移動方向に移動自在な基材移動テーブルと、
板状部材と、
前記板状部材が保持されている前進軸部と、
前記前進軸部が前記基材の前記移動方向に平行に移動可能に支持され、前記前進軸部を前記基材の前記移動方向と交差する昇降方向に昇降させる昇降操作部と、
前記昇降ガイド部により前記前進軸部を前記昇降方向に下降させた後、前記前進軸部を押すことで前記移動方向と平行に前進させて前記板状部材の先端部を前記基材移動テーブル上の前記基材の端部に接触させる前進操作部と、
前記基材移動テーブルの前記移動方向と反対方向に移動されて剥離テープを前記板状部材と前記基材のシート状部材に加圧して貼り付けるテープローラと、
前記基材移動テーブルの前記移動方向への移動に応じて前記剥離テープを巻き取り前記基材から前記シート状部材を剥離させるテープ巻取り部と、
を備えることを特徴とする。

また、本発明の表示装置の製造方法は、シート状部材が粘着材を介して封止基材上に貼り付けられる粘着シート貼り付け工程と、
基材移動テーブルに前記封止基材を載せて前記封止基材を移動方向に移動自在にし、昇降操作部が、板状部材を保持している前進軸部を前記封止基材の前記移動方向に平行に移動可能に支持し前記前進軸部を前記封止基材の前記移動方向と交差する昇降方向に昇降させ、前記昇降操作部が前記前進軸部を前記昇降方向に下降させた後、前進操作部が前記前進軸部を前記移動方向と平行に前進させて前記板状部材の先端部を前記封止基材移動テーブル上の前記封止基材の端部に接触させ、テープローラが前記封止基材移動テーブルの前記移動方向と反対方向に移動されて剥離テープを前記板状部材と前記封止基材のシート状部材に加圧して貼り付け、テープ巻取り部が前記基材移動テーブルの前記移動方向への移動に応じて前記剥離テープを巻き取り前記封止基材から前記シート状部材を剥離するシート状部材剥離工程と、
前記粘着材が積層された前記封止基材と、発光素子領域を有する発光素子基板とを貼り合せて、前記封止基材と前記発光素子基板を接着する貼り合せ接着工程と、
前記封止基材と前記発光素子基板の間に位置する前記粘着材を加熱して硬化させる粘着材硬化工程と、
を有することを特徴とする。

本発明によれば、基材上に粘着材を用いて貼られたシート状部材上に剥離テープを貼って、粘着材の上面のシート状部材を剥離するときに、基材面および基材面に形成された領域に対して剥離テープを接触させること無く、かつ確実にシート状部材の剥離を行うことができるシート剥離装置および表示装置の製造方法を提供することができる。

本発明のシート剥離装置の１つのシート剥離ユニットの好ましい実施形態を示す側面図である。 図１に示す複数台のシート剥離ユニットを有するシート剥離装置の構成例を示す斜視図である。 図３（Ａ）は、フィルム剥離ユニットの動作の初期位置を示し、図３（Ｂ）は、ナイフが前進した状態を示している図である。 図４（Ａ）は、ナイフが下降した状態を示し、図４（Ｂ）は、ナイフが前進してシートエッジを接触してこの接触状態を検出した状態を示す図である。 図５（Ａ）は、テープローラが下降して、ナイフの上から剥離用粘着テープを貼る状態を示し、図５（Ｂ）は、保護フィルム上に剥離用粘着テープを貼る状態を示す図である。 図６（Ａ）は、剥離用粘着テープを巻き取る状態を示し、図６（Ｂ）は、剥離用粘着テープを巻き取り、ナイフユニットとテープローラを初期位置へ戻す状態を示し、図６（Ｃ）は、剥離用粘着テープの巻き取り終了を示す図である。 図７（Ａ）は、ナイフが保護フィルムの下の粘着材に対して位置決めされる様子を示し、図７（Ｂ）は、剥離用粘着テープをナイフの刃上から保護フィルム側にテープローラで加圧しながら貼る工程を示し、図７（Ｃ）は、剥離用粘着テープが保護フィルム上に張り付けられた状態を示す図である。 図８（Ａ）では、剥離用粘着テープをナイフの刃上側から引き剥がす様子を示し、図８（Ｂ）と図８（Ｃ）は剥離用粘着テープにより保護フィルムを順次引き剥がす様子を示す図である。 本発明の実施形態における実際の寸法的な試算値を示す図である。 本発明のシート剥離装置を用いて表示装置を製造する製造方法の好ましい実施形態を示す図である。 従来の剥離用粘着テープを用いて粘着シートから保護フィルムを剥離する様子を示す図である。 別の従来の剥離用粘着テープを用いて基材から保護フィルムを剥離する様子を示す図である。 さらに別の従来の有機ＥＬパネルから保護フィルムを剥離する様子を示す図である。 有機ＥＬパネルの封止基板の基材と粘着シートの保護フィルム等を示す斜視図である。 有機ＥＬパネルを構成する封止基板の基材と発光素子基板等を示す図である。

本発明の実施形態について図面を参照して説明する。

図１は、本発明のシート剥離装置の１つのシート剥離ユニットの好ましい実施形態を示す側面図である。図２は、図１に示す複数台のシート剥離ユニットを有するシート剥離装置の構成例を示す斜視図である。

図２に示すシート剥離装置５０は、図１に示す構造を有する複数台のシート剥離ユニット２０を備えている。

図１に示すシート剥離ユニット２０は、板状部材としてのナイフ３１と、貼り付け機構部１００と、引き剥がし機構部２００と、を備えている。ナイフ３１は、例えば金属の板状部材であり、ナイフ３１の先端部３１Ｂは先の尖ったナイフエッジとなっている。しかし、ナイフ３１の先端部３１Ｂは先の尖ったナイフエッジ（ナイフ刃形状）ではなく、ナイフ３１の先端部３１Ｂは薄い板状に形成されているだけでも良い。いずれにしても、ナイフ３１の先端部３１Ｂは図１に示す粘着材４に挿入できる形状を採用する。このナイフ３１は、剥離テープ２６の貼り付け開始の位置を定めて剥離テープ２６の一部を貼り付けるための部分である。

図１に示すように、シート剥離ユニット２０は、上下方向であるＺ方向に配置されたベース板２１を有しており、ベース板２１にはリニアガイド軸２２が、Ｚ方向に沿って設置されている。このリニアガイド軸２２には、ローラガイド２３と、前進操作部としてのナイフユニット前進ガイド３７と、昇降操作部としてのナイフ昇降ガイド３６が配置されている。

ローラガイド２３は、リニアガイド軸２２に沿って矢印ｂ方向に移動して位置決め可能である。ナイフユニット前進ガイド３７は、図１に示すリニアガイド軸２２に沿って矢印ｃ方向に移動して位置決め可能である。ナイフ昇降ガイド３６は、図１に示すリニアガイド軸２２に沿って矢印ｄ方向に移動して位置決め可能である。矢印ｂ，ｃ，ｄ方向は、Ｚ方向に平行である。

これらのローラガイド２３と、ナイフユニット前進ガイド３７と、ナイフ昇降ガイド３６は、夫々独立に移動する移動軸に接続されており、ローラガイド２３と、ナイフユニット前進ガイド３７と、ナイフ昇降ガイド３６は、別々にリニアガイド軸２２に沿って互いに独立して移動することができる。各移動軸は、例えばモータと、このモータの出力軸に接続された送りねじと、送りねじに噛み合うナットから構成したり、あるいはリニアモータを用いても良い。

まず、図１に示す最も下側に位置されるナイフ昇降ガイド３６と、このナイフ昇降ガイド３６により矢印ｄ方向に移動される周辺機構部について説明する。

ナイフ昇降ガイド３６のガイド体３６Ｂには前進軸部としてのナイフ前進軸３５が移動可能に配置されており、ナイフ前進軸３５の下部はナイフユニット３０を固定している。ナイフ前進軸３５はガイド体３６Ｂに沿って矢印ｅ方向移動することで、ナイフユニット３０を図１の矢印ｅ方向に移動可能である。矢印ｅ方向はＺ方向に対して直交する水平方向である。

図１に示すナイフユニット３０は、ナイフ３１を保持しているナイフ軸３２と、ホルダ３２Ｈと、バネ３４を有している。ナイフ軸３２の先端部にはナイフ３１が保持されており、ナイフ軸３２の後端部はホルダ３２Ｈ内に保持されている。ホルダ３２Ｈ内にはナイフ軸３２の後端部とホルダ３２Ｈとの間にバネ３４が配置され、ナイフ３１はこのバネ３４の力によって前進側の端部に位置決めされており、ナイフ３１は押されることによりバネ３４の力に抗して矢印ｅ方向に移動可能である。ナイフ接触センサ３３は、ナイフユニット３０内でのナイフ３１の相対移動を検知するセンサである。

図１に示すナイフユニット前進ガイド３７は、ナイフ昇降ガイド３６の上部に位置されており、ナイフユニット前進ガイド３７はガイド体３７Ｂを有している。ガイド体３７Ｂの先端部にはカムローラ３８が回転可能に取り付けられている。上述したナイフユニット３０のナイフ前進軸３５の上面は、傾斜した案内面３５Ｍとなっている。カムローラ３８は案内面３５Ｍに載っている。これにより、ナイフユニット前進ガイド３７が矢印ｃ方向の移動することによって、カムローラ３８は案内面３５Ｍに沿ってガイドされるので、ナイフユニット３０とナイフ前進軸３５は、前後動作である矢印ｅ方向に移動して位置決めすることができる。

次に、図１に示す最も上位に位置されるローラガイド２３と、このローラガイド２３により矢印ｂ方向に移動される周辺機構部について説明する。

図１に示すローラガイド２３には、アーム軸２５を介して軸（図１の紙面と垂直な方向）を中心としてローラアーム２４の上端部が回転自在に取り付けられている。ローラアーム２４の下端部には、テープローラ１２が回転可能に取り付けられている。

ローラアーム２４とローラガイド２３との間には、引張バネ２９が取り付けられている。ローラアーム２４のテープローラ１２がナイフ３１から離れる側に移動すると、引張バネ２９の張力によりローラアーム２４を引き戻す側に力を発生する。ローラアーム２４は、ストッパ２４Ｓにより、図１に示す角度にてローラガイド２３に位置決めされており、この状態でも張力バネ２９には初期張力が発生している。

図１に示すテープローラ１２は図１の紙面に垂直な円筒状であり、その軸（図示していない）はローラアーム２４の下端部に固定されている。テープローラ１２は、ローラアーム２４と一体的に移動するが、円筒の軸を中心に回転自在である。テープローラ１２には、剥離用粘着テープ１０がローラ面の外側を粘着面１０Ｐとして掛けられている。すなわち、剥離用粘着テープ１０をテープローラ２４に対して掛けている状態では、粘着面１０Ｐはテープローラ２４には貼り付かず、粘着面１０Ｐはナイフ３１側に面するようになっている。

図１に示すように、ベース板２１は、剥離テープ軸２８と、テープ巻取り部としてのテープ巻取り機構部２６と、ガイドコロ２８Ｂを有している。剥離テープ軸２８はテープ巻取り機構部２６の上部に位置されている。テープ巻取り機構部２６はベース板２１の中間部であって、剥離テープ軸２８とテープローラ１２の間の位置に設けられている。剥離テープ巻き体２７には、剥離用粘着テープ１０が巻かれており、剥離テープ巻き体２７は剥離テープ軸２８に対して着脱可能に装着されている。剥離テープ巻き体２７から引き出される剥離用粘着テープ１０は、ガイドコロ２８Ｂと、テープローラ１２を介して、テープ巻取り機構部２６に巻き取られるようになっている。

図１に示すように、テープ巻取り機構部２６は、駆動機構２６Ｍにより矢印ｆ方向に回転できる。テープ巻取り機構部２６の筒面には剥離用粘着テープ１０を巻き付けて、円筒中心軸２６Ｃを中心にして回転することで、剥離用粘着テープ１０を矢印ｆ方向に巻き取ることができる。テープローラ１２とテープ巻き取り機構部２６のテープ巻き用の円筒の間には、剥離フィルムエンドセンサ４１が設置されている。このセンサ４１は、例えば光センサであり、投光部と受光部を有しており、剥離用粘着テープ１０によって引き剥がされた保護フィルム５の終端部５Ｄが通過したかどうかを検出できるようにしている。

次に、図２に示すように、シート剥離装置５０の構成例を説明する。

図２に示すシート剥離装置５０には、図１に示した複数個のシート剥離ユニット２０が搭載されている。図２に示すように、シート剥離装置５０は、基板移動テーブル（基材移動テーブルともいう）５１を備えている。この基板移動テーブル５１は、図２に示す基板移動テーブルの駆動部５１Ｍの駆動により、矢印ａ方向に移動して位置決め可能である。この矢印ａ方向は、図１に示すように、矢印ｅ方向と平行な水平方向である。

基板移動テーブルの駆動部（基材移動テーブルの駆動部ともいう）５１Ｍは、例えばモータと、このモータにより回転される送りねじと、基板移動テーブル５１側に設けられて送りねじに噛み合うナットにより構成されるか、あるいはリニアモータ等により構成することができる。

図２に示す基板移動テーブル５１上には、基材（基板ともいう）１が着脱可能に位置決めして固定されている。基材１には複数枚の粘着シート３が矢印ａ方向と直交する矢印ｓ方向に沿ってマトリックス状に貼り付けられている。各シート剥離ユニット２０は、基材１の各列ピッチに合せて配置または位置決め可能に設置されている。図２では、一例として４つのシート剥離ユニット２０が配列されているが、シート剥離ユニット２０の設置数は特に限定されず任意に選択できる。

図１に戻ると、図１に示す基材１は、図面の簡単化のために、図２の基材１上のマトリックス状に配置された１組の粘着シート３を取り出して図示したものである。図１に示すように、基材１には、フリット枠２と粘着シート３が配置されている。粘着シート３は、粘着材４と保護フィルム５の積層体である。基材１の表面には、フリット枠２の内側において、粘着材４を介して保護フィルム５が貼り付けられている。この基材１は、図２に示す基板移動テーブル５１により、図１に示す矢印ａ方向に沿って移動して位置決め可能である。

図１に示すローラアーム２４とローラガイド２３とテープローラ１２と引張バネ２９は、シート状部材である保護フィルム５の端部に位置決めされた板状部材であるナイフ３１の上から連続して保護フィルム５上に剥離用粘着テープ１０の粘着面を、加圧しながら貼り付ける貼り付け機構部１００を構成している。

また、図１に示す引き剥がし機構部２００は、貼り付けた剥離用粘着テープ１０をナイフ３１の上側から保護フィルム５に渡って引き剥がすのに用いられ、テープ巻取り機構部２６と、基板移動テーブルの駆動部５１Ｍと、板状部材の移動部２５０と、により構成されている。

テープ巻取り機構部２６は、剥離用粘着テープ１０を巻き取る。基板移動テーブルの駆動部５１Ｍは、保護フィルム５が固定されている基材１を保護フィルム５の面と平行にかつ剥離用粘着テープ１０を貼りつけた方向と逆方向に移動させて保護フィルム５を粘着材４から引き剥がす。

さらに、引き剥がし機構部２００の板状部材の移動部２５０は、貼り付けた剥離用粘着テープ１０をナイフ３１側から保護フィルム５に渡って引き剥がすときに、ナイフ３１を基材１の面から離れる上昇方向（矢印ｄ方向に沿った上方向）に移動させる動作を伴って、保護フィルム５を粘着材４から剥離させることができる。この板状部材の移動部２５０は、図１に示すナイフ昇降ガイド３６とナイフ前進軸３５とナイフユニット３０により構成されている。

なお、図１に示すように、ローラガイド２３と、ナイフユニット前進ガイド３７と、ナイフ昇降ガイド３６と、駆動機構２６Ｍと、基板移動テーブルの駆動部５１Ｍは、制御部４００の指令により動作が制御される。また、ナイフ接触センサ３３の検出信号と剥離フィルムエンドセンサ４１の検出信号は、制御部４００に送られる。

次に、上述した構成を有するシート剥離装置５０のシート剥離ユニット２０の動作例を、図３〜図６を参照して説明する。

図３（Ａ）は、シート剥離ユニット２０による剥離動作の初期位置を示し、図３（Ｂ）は、ナイフ３１が粘着シート３側に前進した状態を示している。図４（Ａ）は、ナイフ３１が下降した状態を示し、図４（Ｂ）は、ナイフ３１が前進して粘着シート３の端部に接触してこの接触状態を検出した状態を示す図である。

図５（Ａ）は、テープローラ１２が下降して、ナイフ３１の上から剥離用粘着テープ１０を貼る状態を示し、図５（Ｂ）は、保護フィルム５上に剥離用粘着テープ１０を貼る状態を示す図である。図６（Ａ）は、剥離用粘着テープ１０を巻き取る状態を示し、図６（Ｂ）は、剥離テープを巻き取り、ナイフユニット３０とテープローラ１２を初期位置へ戻す状態を示し、図６（Ｃ）は、剥離用粘着テープ１０の巻き取り終了を示す図である。

なお、図３〜図６では、動作方向を示す矢印と、動作の説明に必要なセンサのみを記載している。また、一部バネ等図が分かりにくくなる部材については、図示を省略している。

まず、図３（Ａ）に示すシート剥離ユニット２０の剥離動作の初期状態では、図１に示すシート剥離ユニット２０の状態とほぼ同じ状態を示している。剥離テープ巻き体２７が剥離テープ軸２８に装着され、剥離テープ巻き体２７の剥離用粘着テープ１０の先端部は、ガイドコロ２８Ｂとテープローラ１２を介して、テープ巻取り機構部２６に予め取り付けられている。ただし、基材１は、ナイフ３１側に近づいており、ナイフ３１はほぼフリット枠２に上方にフリット枠２から離れた位置に位置決めされている。

次に、図３（Ｂ）を参照すると、制御部４００の指令により、ナイフ前進ガイド３７が矢印ｃ方向に下降することで、ナイフユニット３０が矢印ｅ方向に前進して、ナイフ３１の先端部３１Ｂを、剥離しようとする粘着シート３の保護フィルム５上に位置決めする。

図４（Ａ）を参照すると、制御部４００の指令により、ナイフユニット前進ガイド３７を矢印方向ｃに、またナイフ昇降ガイド３６を矢印方向ｄに同時に同期して下降することで、ナイフ３１の先端部３１Ｂがフリット枠２に接触しないようにして、粘着テープ３の端部に近接する場所に位置決めされる。この際に、ナイフ３１の先端部３１Ｂが、粘着材４の厚みの範囲内で、フリット枠２に対して接触しない高さを保つように位置決めされる。

図４（Ｂ）を参照すると、制御部４００の指令により、ナイフユニット前進ガイド３７を再度矢印ｃに示すように移動させる。この時に、ナイフ３１の先端部３１Ｂが粘着材４の端面と接触（当接）して移動停止するため、この接触の反動によりバネ３４が圧縮されて、ナイフ接触センサ３３がナイフ３１の停止状態を検出する。これにより、制御４００は、このナイフ接触センサ３３からのセンサ信号に基づいて、ナイフユニット前進ガイド３７の矢印ｃの下降を停止させる。

次に、図５（Ａ）〜図６（Ｃ）を参照して、更にシート剥離ユニット２０の動作を説明するが、これからの動作は剥離用粘着テープ１０の動作になる。

図５（Ａ）を参照すると、矢印ｂ方向に示すように、制御部４００の指令により、ローラガイド２３を下降させて、テープローラ１２をナイフ３１の上面に接触して加圧させて、剥離用粘着テープ１０の粘着面１０Ｐをナイフ３１の上面に貼る。図５（Ｂ）を参照すると、制御部４００の指令により、更にそのままローラガイド２３を下降させることで、テープローラ１２が剥離用粘着テープ１０の粘着面１０Ｐをナイフ３１の上面から保護フィルム５の表面に貼ってゆく。

この時に、テープローラ１２は、引張バネ２９（図１を参照）の力の角度分の加圧力で加圧しながら剥離用粘着テープ１０をナイフ３１の上面から保護フィルム５の表面に連続して貼ることができるため、ナイフ３１の上面側で剥離用粘着テープ１０に対して大きな加圧力を加えることができる。

この場合には、図５（Ｂ）に示すように、制御部４００はテープ巻き取り機構部２６の駆動機構２６Ｍを停止させているために、剥離用粘着テープ１０は、剥離テープ巻き体２７から矢印方向に引き出されて使用される。

剥離用粘着テープ１０の貼り作業が進むと、図６（Ａ）に示すように、制御部４００はテープ巻取り機構部２６の駆動機構２６Ｍを動作させて、図６（Ａ）に示す矢印ｆ方向に剥離用粘着テープ１０を巻き取る。この巻き取り動作により、保護フィルム５は粘着材４から引き剥がされて剥離される。この時に、図６（Ｂ）に示すように、制御部４００の指令により、ナイフ昇降ガイド３６とともにナイフユニット前進ガイド３７を同期して、ｄ、ｃ方向にわずかに上昇させて、ナイフ３１を僅かに矢印ｄ方向に上昇させることで、剥離用粘着テープ１０による保護フィルム５の剥離作業を助けて、剥離用粘着テープ１０による剥離力を低減することができる。これにより、保護フィルム５を粘着材４から引き剥がす剥離作業が容易になる。また、図６（Ａ）に示すａ方向に基材１を移動させることで、剥離用粘着テープ１０と保護テープ５の角度を一定に保つことができ、保護フィルム５を粘着材４から引き剥がす剥離作業を安定して行うことができる。

図６（Ｂ）を参照すると、制御部４００はテープ巻き取り機構部２６を矢印ｆ方向に回転させるとともに、制御部４００は基材１の矢印ａ方向への移動を継続させることで、保護フィルム５を確実に剥離できる。そして、制御部４００は下降していたローラガイド２３、ナイフユニット前進ガイド３７、ナイフ昇降ガイド３６を、それぞれ剥離動作の初期位置に戻す動作も行う。

図６（Ｃ）を参照すると、粘着材４から保護フィルム５を剥離する剥離作業が終了し、剥離フィルムエンドセンサ４１が、粘着材４から剥離した保護フィルム５の後端部５Ｄを検出すると、制御部４００は剥離フィルムエンドセンサ４からの検出信号により、テープ巻取り機構部２６を停止させる。この停止状態でのシート剥離ユニット２０内の状態は、図３（Ａ）の初期状態と同じであるが、基材１のみがａ方向に移動している。すなわち、基材１は、図２では、基材１上の１パネル分移動している状態になっている。

上述したシート剥離ユニット２０は、粘着材４から保護フィルム５を剥離する剥離動作を繰り返すことで、図２に示す基板１の１列の保護フィルム５を、周辺部、例えば機材の表面やフリット枠２に対して剥離用粘着テープ１０の粘着面を接触させることなく確実に剥離することができる。このため、剥離用粘着テープ１０の粘着面１０Ｐが基板面および基板面に形成された領域に接触させることが無いので、基板面および基板面に形成された領域の素子を汚染することが無く、かつ確実にしかも容易に保護フィルム５の剥離作業を実現できる。

図２に示すように、複数台のシート剥離ユニット２０が、マトリックス配置された分保護フィルム５に対応して配置することで、１回に１行ずつ保護フィルム５の剥離が行える。

詳細な図示はしていないが、シート剥離ユニット２０を複数台配置する場合は、各シート剥離ユニット２０のローラガイド２３、ナイフユニット前進ガイド３７、ナイフ昇降ガイド３６は、一括して同じストロークの動作を行えばよい。保護フィルム５の位置が多少ずれていても、バネ３４によりナイフ３１は停止したままになる。制御部４００は、全部のシート剥離ユニット２０のナイフ接触センサ３３が動作したことを確認できたら、ナイフユニット前進ガイド３７の下降を停止すればよい。よって、複数台のシート剥離ユニット２０のローラガイド２３、ナイフユニット前進ガイド３７、ナイフ昇降ガイド３６は、３本のバーで共通動作させることも可能である。もちろん個別モータで独立動作させても良い。

ここで、図７（Ａ）と図７（Ｂ）と図７（Ｃ）、図８（Ａ）と図８（Ｂ）と図８（Ｂ）を参照して、ナイフ３１と剥離用粘着テープ１０が、保護フィルム５を粘着材４から剥離する動作を、さらに詳しく説明する。

図７（Ａ）は、ナイフ３１が保護フィルム５の下の粘着材４に対して位置決めする様子を示している。粘着材４が、保護フィルム５の端部５Ｂにまではみ出している場合でも、ナイフ３１の先端部３１Ｂによって粘着材４のはみ出し部（粘着材の端面）に切れ目を入れることができ、ナイフ３１の先端部３１Ｂを使用することで、保護フィルム５を剥離する場合の剥離力を低減する効果がある。

図７（Ｂ）と図７（Ｃ）は、ナイフ３１の先端部３１Ｂの上面３１Ｃから保護フィルム５の表面に渡って、剥離用粘着テープ１０をテープローラ１２で加圧しながら貼る工程を示している。テープローラ１２でナイフ３１の上面３１Ｃに対して剥離用粘着テープ１０を加圧しながら貼るために、剥離しようとする保護フィルム５の端部５Ｂに対しても剥離用粘着テープ１０の粘着面１０Ｐを容易に確実に貼ることができる。剥離しようとするシート状部材である保護フィルム５の端部に確実にナイフ３１を位置決めでき、かつ保護フィルム５の端部に段差ができるために、剥離用粘着テープ１０の貼り付け力を高めることができる。ナイフ３１を用いることで、粘着材４が剥離する保護フィルム５の端部の上部にまで広がっている場合でも、粘着材からシート状部材を確実に分離することができる。しかも、剥離用粘着テープ１０の粘着面１０Ｐが基材１側には触れることがなく、基材１が汚染されることがない。

次に、図８（Ａ）では、剥離用粘着テープ１０の粘着面１０Ｐをナイフ３１の上面３１Ｃ側から引き剥がす途中の様子を示している。斜め上方である矢印ｆ方向に剥離用粘着テープ１０を引くことで、保護フィルム５は粘着材４から図８（Ｂ）と図８（Ｃ）に示すように順次引き剥がしていくことができる。剥離用粘着テープ１０が保護フィルム５をはがす動作に合わせて、ナイフ３１を基材１から離れる方向である矢印ｄ方向に僅かに持ち上げる動作をする。このナイフ３１を矢印ｄ方向に持ち上げる動作をすることで、仮に粘着材４が保護フィルム５端側にはみ出していても、保護フィルム５の粘着材４からの剥離作業を確実に行うことができる。

次に、図９を参照して、本発明の実施形態における実際の寸法的な試算値を示す。

基材１上に配置されたフリット枠２と保護フィルム５との距離がＬ１＝１．５ｍｍとなるように保護フィルム５が貼られた場合には、ナイフ３１と基材１の成す角度θ＝３０度と設定し、剥離用粘着テープ１０の厚みｔ１＝０．２ｍｍ、保護フィルム５の厚みｔ２＝０．０３ｍｍ、ナイフ３１の厚みｔ３＝０．５ｍｍとする。この場合には、ナイフ３１は、ナイフ３１の厚みがｔ３ｍａｘ＝０．８６ｍｍまではフリット枠２には接触しないことになり、距離で０．３６ｍｍの隙間が存在することになる。この隙間を使って、フリット枠２に接触することなくナイフ３１の先端部３１Ｂを位置決めできる。また、テープローラ１２は、直径を４ｍｍ（＝２×Ｒｍａｘ）まで大きくしても、テープローラ１２の中心が保護フィルム５の端部よりもナイフ３１側になるため、保護フィルム５の端部では剥離用粘着テープ１０の貼り動作で段差を生じ、大きな加圧力を加えることができることを示している。これは、本発明の実施形態における最も大きな効果の一つである。

図１０は、本発明のシート剥離装置を用いて表示装置を製造する製造方法の好ましい実施形態を示す図である。

図１０のフリット枠塗布焼成工程ＳＴ１では、フリット枠２が封止基板６上に枠形状に塗布して焼成される。粘着シート貼り付け工程ＳＴ２では、封止基板６上であってフリット枠２の内側には、粘着シート３の粘着材４が貼り付けられて積層される。この粘着材４の上には保護フィルム５が貼り付けられている。粘着材４は例えば熱硬化性樹脂フィルムである。

保護フィルム剥離工程ＳＴ３では、保護フィルム５がすでに説明したシート剥離装置５０により粘着材４から剥離される。すなわち、粘着材４に貼り付けられている保護フィルム（シート状部材）５の端部に、剥離用粘着テープ１０が当たるようにナイフ３１を位置決めし、ナイフ３１の上から連続して保護フィルム５上に剥離用粘着テープ１０を加圧しながら貼り付け、貼り付けた剥離用粘着テープ１０をナイフ３１側から保護フィルム５に渡って引き剥がすことで、保護フィルム５が粘着材４から剥離される。

貼り合せ接着工程ＳＴ４では、粘着材４が積層された封止基板６と、発光素子領域８を有する発光素子基板７とが貼り合されて、フリット枠２を溶融して封止基板６と発光素子基板７を減圧または真空下で接着する。その後、粘着材硬化工程ＳＴ５では、封止基板６と発光素子基板７の間に位置する粘着材４を加熱して硬化させる。この表示装置の製造方法によれば、表示装置を製造する際に、基材上に粘着材を用いて貼られたシート状部材上に剥離用粘着テープを貼って、粘着材の上面のシート状部材を剥離するときに、基材面および基材面に形成された領域に対して剥離用粘着テープを接触させること無く、かつ確実にシート状部材の剥離を行うことができる。すなわち、板状部材から剥離用粘着テープを剥離するシート状部材上に加圧しながら貼り付けることができ、特に剥離用粘着テープはシート状部材の端部を強く加圧して貼り付けることができ、かつ基材面には剥離テープが一切触れることも無くシート状部材を剥離することができる。

従来、例えば有機ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）パネル等の機能膜を形成した基板に貼った保護フィルムを剥離する工程を必要とする製品では、剥離する保護フィルム面に剥離用粘着テープ（剥離テープともいう）を貼って引き剥がす手法がある。この剥離作業を確実に行うには、剥離する保護フィルムの端部に剥離用粘着テープを確実に貼ることが必要であるが、剥離用粘着テープが基板面に接触して基板面を汚染する可能性が高い。

しかし、本発明の実施形態では、剥離する保護フィルムの端部の基板面との間にナイフ刃状の板材部材を位置決めし、この板状部材上から剥離用粘着テープを剥離する保護フィルム上に貼って剥離することで、剥離用粘着テープが基板面および基板面に形成された領域に接触させることなく、基板面および基板面に形成された領域を汚染することなく、かつ確実に保護フィルムの剥離作業を実現できる。

本発明のシート剥離装置は、基材を載せて前記基材を移動方向に移動自在な基材移動テーブルと、板状部材と、前記板状部材が保持されている前進軸部と、前記前進軸部が前記基材の前記移動方向に平行に移動可能に支持され、前記前進軸部を前記基材の前記移動方向と交差する昇降方向に昇降させる昇降操作部と、前記昇降ガイド部により前記前進軸部を前記昇降方向に下降させた後、前記前進軸部を押すことで前記移動方向と平行に前進させて前記板状部材の先端部を前記基材移動テーブル上の前記基材の端部に接触させる前進操作部と、前記基材移動テーブルの前記移動方向と反対方向に移動されて剥離テープを前記板状部材と前記基材のシート状部材に加圧して貼り付けるテープローラと、前記基材移動テーブルの前記移動方向への移動に応じて前記剥離テープを巻き取り前記基材から前記シート状部材を剥離させるテープ巻取り部と、を備えることを特徴とする。

これにより、基材上に粘着材を用いて貼られたシート状部材上に剥離テープを貼って、粘着材の上面のシート状部材を剥離するときに、基材面および基材面に形成された領域に対して剥離テープを接触させること無く、かつ確実にシート状部材の剥離を行うことができる。すなわち、板状部材から剥離テープを剥離するシート状部材上に加圧しながら貼り付けることができ、特に剥離テープはシート状部材の端部を強く加圧して貼り付けることができ、かつ基材面には剥離テープが一切触れることも無くシート状部材を剥離することができる。また、基材上に粘着材を用いて貼られたシート状部材上に剥離テープを貼って、必要に応じて剥離テープごと粘着シート全体を剥離するときに、基材面および基材面に形成された領域に対して剥離テープを接触させることが無い。

また、本発明のシート剥離装置では、前記粘着材に当接される前記板状部材の先端部は、尖ったナイフ刃であることを特徴とする。これにより、粘着材が剥離するシート状部材の端部の上部にまで広がっている場合でも、粘着材からシート状部材を確実に分離することができる。板状部材の先端部は、シート状部材の端部の下の粘着材に当てて粘着材に挿入して確実に位置決めでき、板状部材とシート状部材との間に段差ができるためにシート状部材の端部に対して剥離テープを貼り付ける力を高めることができる。また、剥離テープの引き剥がしを剥離テープと基材の成す角度を安定した状態に継続して実施することができ、シート状部材を粘着材から剥離作業の信頼性が高まる。

本発明のシート剥離装置では、前記粘着材に当接される前記板状部材は、薄板部材であることを特徴とする。これにより、粘着材が剥離するシート状部材の端部の上部にまで広がっている場合でも、粘着材からシート状部材を確実に分離することができる。板状部材の先端部は、シート状部材の端部の下の粘着材に当てて粘着材に挿入して確実に位置決めでき、板状部材とシート状部材との間に段差ができるためにシート状部材の端部に対して剥離テープを貼り付ける力を高めることができる。また、剥離テープの引き剥がしを剥離テープと基材の成す角度を安定した状態に継続して実施することができ、シート状部材を粘着材から剥離作業の信頼性が高まる。

本発明の表示装置の製造方法は、シート状部材が粘着材を介して封止基材上に貼り付けられる粘着シート貼り付け工程と、基材移動テーブルに前記封止基材を載せて前記封止基材を移動方向に移動自在にし、昇降操作部が、板状部材を保持している前進軸部を前記封止基材の前記移動方向に平行に移動可能に支持し前記前進軸部を前記封止基材の前記移動方向と交差する昇降方向に昇降させ、前記昇降操作部が前記前進軸部を前記昇降方向に下降させた後、前進操作部が前記前進軸部を前記移動方向と平行に前進させて前記板状部材の先端部を前記封止基材移動テーブル上の前記封止基材の端部に接触させ、テープローラが前記封止基材移動テーブルの前記移動方向と反対方向に移動されて剥離テープを前記板状部材と前記封止基材のシート状部材に加圧して貼り付け、テープ巻取り部が前記基材移動テーブルの前記移動方向への移動に応じて前記剥離テープを巻き取り前記封止基材から前記シート状部材を剥離するシート状部材剥離工程と、前記粘着材が積層された前記封止基材と、発光素子領域を有する発光素子基板とを貼り合せて、前記封止基材と前記発光素子基板を接着する貼り合せ接着工程と、前記封止基材と前記発光素子基板の間に位置する前記粘着材を加熱して硬化させる粘着材硬化工程と、を有することを特徴とする。これにより、基材上に粘着材を用いて貼られたシート状部材上に剥離テープを貼って、粘着材の上面のシート状部材を剥離するときに、基材面および基材面に形成された領域に対して剥離テープを接触させること無く、かつ確実にシート状部材の剥離を行うことができ、表示装置の製造が容易にしかも確実に行える。

本発明は上記実施形態に限定されない。上述した本発明の実施形態では、剥離用粘着テープは保護フィルムを粘着材から剥離しているが、これに限らず、必要に応じて、剥離用粘着テープは保護フィルムと粘着材の両方を含む全体を剥離するようにしても良い。

板状部材としてのナイフ３１は、基材１に対し粘着材を挟んで貼り付けられているシート状部材に対して、シート状部材の端部の下の粘着材（粘着材）にナイフ３１の先端部３１Ｂを当てる。

また、ナイフ３１の先端部３１Ｂは、粘着材４に挿入可能であれば、尖った三角形状のナイフ刃形状ではなく、尖った三角形状ではない薄い厚みの端面を有する薄板部材に形成することができる。また、ナイフ３１は、基材１と粘着材４の間、あるいは粘着材４の厚さ方向の中央よりも基材１側に位置決め、あるいは挿入されるナイフの先端部３１Ｂの刃状に形成しても良い。これにより、 剥離しようとするシート状部材の端部に確実に板状部材を位置決めでき、かつシート状部材の端部に段差ができるために、剥離用粘着テープの貼り付け力を高めることができる。

さらに、本発明の実施の形態に開示されている複数の構成要素を適宜組み合わせることにより種々の発明を形成できる。例えば、本発明の実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。更に、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせてもよい。

１ 基材（基板ともいう）、２ フリット枠、３ 粘着シート、４ 粘着材、５ 保護フィルム（シート状部材の一例）、１０ 剥離用粘着テープ（剥離テープの一例）、１２ テープローラ、２０ シート剥離ユニット、２１ ベース板、２２ リニアガイド軸、２３ ローラガイド、２４ ローラアーム、２６ テープ巻取り機構部（テープ巻取り部の一例）、２８ 剥離テープ軸、２９ 張力バネ、３０ ナイフユニット、３１ ナイフ（板状部材の一例）、３３ ナイフ接触センサ、３５ ナイフ前進軸（前進軸部の一例）、３５Ｍ 案内面、３６ ナイフ昇降ガイド（昇降操作部の一例）、３７ ナイフユニット前進ガイド（前進操作部の一例）、３８ カムローラ、４１ 剥離フィルムエンドセンサ、５０ シート剥離装置、５１ 基板移動テーブル（基材移動テーブル）、５１Ｍ 基板移動テーブルの駆動部（基材移動テーブルの駆動部）、１００ 貼り付け機構部、２００ 引き剥がし機構部、２５０ 板状部材の移動部、

Claims (4)

1. 基材を載せて前記基材を移動方向に移動自在な基材移動テーブルと、
   板状部材と、
   前記板状部材が保持されている前進軸部と、
   前記前進軸部が前記基材の前記移動方向に平行に移動可能に支持され、前記前進軸部を前記基材の前記移動方向と交差する昇降方向に昇降させる昇降操作部と、
   前記昇降ガイド部により前記前進軸部を前記昇降方向に下降させた後、前記前進軸部を押すことで前記移動方向と平行に前進させて前記板状部材の先端部を前記基材移動テーブル上の前記基材の端部に接触させる前進操作部と、
   前記基材移動テーブルの前記移動方向と反対方向に移動されて剥離テープを前記板状部材と前記基材のシート状部材に加圧して貼り付けるテープローラと、
   前記基材移動テーブルの前記移動方向への移動に応じて前記剥離テープを巻き取り前記基材から前記シート状部材を剥離させるテープ巻取り部と、
   を備えることを特徴とするシート剥離装置。
2. 前記粘着材に当接される前記板状部材の先端部は、尖ったナイフ刃であることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
3. 前記粘着材に当接される前記板状部材は、薄板部材であることを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
4. シート状部材が粘着材を介して封止基材上に貼り付けられる粘着シート貼り付け工程と、
   基材移動テーブルに前記封止基材を載せて前記封止基材を移動方向に移動自在にし、昇降操作部が、板状部材を保持している前進軸部を前記封止基材の前記移動方向に平行に移動可能に支持し前記前進軸部を前記封止基材の前記移動方向と交差する昇降方向に昇降させ、前記昇降操作部が前記前進軸部を前記昇降方向に下降させた後、前進操作部が前記前進軸部を前記移動方向と平行に前進させて前記板状部材の先端部を前記封止基材移動テーブル上の前記封止基材の端部に接触させ、テープローラが前記封止基材移動テーブルの前記移動方向と反対方向に移動されて剥離テープを前記板状部材と前記封止基材のシート状部材に加圧して貼り付け、テープ巻取り部が前記基材移動テーブルの前記移動方向への移動に応じて前記剥離テープを巻き取り前記封止基材から前記シート状部材を剥離するシート状部材剥離工程と、
   前記粘着材が積層された前記封止基材と、発光素子領域を有する発光素子基板とを貼り合せて、前記封止基材と前記発光素子基板を接着する貼り合せ接着工程と、
   前記封止基材と前記発光素子基板の間に位置する前記粘着材を加熱して硬化させる粘着材硬化工程と、
   を有することを特徴とする表示装置の製造方法。

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