KR20110019335A - 시트 박리기 및 표시 장치의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

시트 박리기는, 기판을 이송 방향으로 이동시키기 위한 가동 테이블과, 평탄 부재와, 상기 평탄 부재를 유지하는 홀더와, 상기 홀더를 지지하고 상기 홀더를 승강 방향으로 이동시키기 위한 승강 유닛과, 상기 평탄 부재의 말단을 상기 기판 상의 시트 부재의 에지와 접촉시키기 위한 전송 유닛과, 상기 평탄 부재 및 상기 시트 부재에서 박리 테이프를 부착시키기 위한 테이프 롤러와, 상기 박리 테이프와 함께 상기 시트 부재를 박리시키기 위한 테이프 권회 유닛을 포함한다. 상기 시트 박리기에 따르면, 상기 박리 테이프가 상기 시트 부재 위에 부착되고, 이어서, 상기 시트 부재가, 상기 평탄 부재에 의한 도움으로, 상기 박리 테이프와 함께 박리된다.

Description

시트 박리기 및 표시 장치의 제조 방법{SHEET PEELING MACHINE AND METHOD FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE}

본 발명은 시트 박리기 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 특히, 점착성 박리 테이프를 기판의 표면에 접촉시키는 일없이 시트 부재를 박리시킬 수 있는 시트 박리기 및 표시 장치의 제조 방법에 관한 것이다.

도 12는, 점착성 박리 테이프(10)에 의해, 점착성 시트(3)의 배면상의 점착제(4)로부터 보호 필름(9)을 박리하는 일례를 도시하고 있다. 점착성 시트(3)의 크기와 동일한 크기의 보호 필름(9)은 점착제(4)에 의해 점착성 시트(3)에 부착되어 있다. 보호 필름(9)을 점착성 시트(3) 상의 점착제(4)로부터 박리시킬 때는, 에지 베이스(11)를 사용한다. 점착성 박리 테이프(10)를, 그 점착면(10P)을 위로 하여, 에지 베이스(11) 위에 배치한다. 또한, 보호 필름(9)이 점착성 박리 테이프(10) 위에 부착되도록, 점착성 박리 테이프(10)의 점착면(10P) 상에 보호 필름(9)을 배치한다. 도면에 나타낸 화살표 방향을 따라, 점착성 박리 테이프(10)를 통해 에지 베이스(11)의 에지로부터 경사 하방으로 보호 필름(9)을 잡아당김으로써, 점착성 시트(3) 상의 점착제(4)로부터 보호 필름(9)의 에지를 박리시킬 수 있다.

이와 같이 하여, 에지 베이스(11)로부터 경사 하방으로 점착성 박리 테이프(10)를 잡아당김으로써, 점착성 시트(3) 상의 점착제(4)로부터 보호 필름(9)을 연속적으로 박리시킬 수 있다. 이러한 보호 필름(9)의 박리 방법은, 액정 표시(LCD) 장치의 편광판을 부착하는 프로세스에서 통상 적용되고 있다. 이 방법은 보호 필름(9)이 박리되어 벗겨진 점착성 시트(3)를 힘들이지 않고 취급하는데 효과적이다.

또한, 도 13은 점착제(4)가 기판(1)의 표면에 여전히 남아있는 동안에, 점착제(4)로부터 보호 필름(5)을 박리시키는 다른 종래예를 도시하고 있다. 이러한 보호 필름(5)의 박리 방법은, 기판(1)이 고정되어, 힘들이지 않고 취급하기란 불가능인 경우에 통상 적용되고 있다. 점착성 박리 테이프(10)의 점착면(10P)을 보호 필름(5) 상에 부착하고, 이어서 점착성 박리 테이프(10)에 의해 보호 필름(5)을 그 에지로부터 박리시킨다. 이 방법은 기판(1) 상에 점착제(4)를 형성하고나서, 이 점착제(4)로부터 보호 필름(5)을 제거할 필요가 있는 경우에 효과적이다.

또한, 특허문헌1(일본특허출원공개 제2008-10221호 공보)은 마스킹 테이프의 박리기를 개시하고 있다. 이 박리기는, 기판과 다른 기판을 서로 부착시킬 때, 그들 기판 사이의 시일링 신뢰성을 향상시키려는 것이다. 이 종래예에 있어서의 박리 방법을 도 14에 도시한다. 도 3에 도시한 바와 같이, 롤러(13)에 의해 점착성 박리 테이프(10)의 점착면을 보호 필름(마스킹 테이프)(5)에 대해 가압하고나서, 롤러(13)를 기판(1)에 대해 상대적으로 이동시킴으로써 보호 필름(5)을 박리시킨다.

전술한 종래의 박리 방법에 있어서는, 점착제와 이 점착제로부터 박리시키려고 하는 보호 필름의 총합 두께가 100 ㎛보다 작으면, 점착성 박리 테이프가 기판의 표면에 달라붙을 수 있다. 게다가, 박리시키려고 하는 보호 필름의 점착 강도가 강하다면, 점착성 박리 테이프의 점착면을 보호 필름(특허문헌1의 마스킹 테이프)의 에지에 강하게 부착시켜야 한다. 따라서, 이러한 경우 사전 대책적으로 점착성 박리 테이프를 기판에 부착하는 것이 효과적이다. 점착성 박리 테이프의 점착면이 보호 필름과 기판에 확실하게 부착되지 않는다면, 점착성 박리 테이프만이 박리되고 보호 필름은 점착제상에 남을 수 있다. 그 결과, 박리가 요구되는 보호 필름이 점착제로부터 확실하게 박리되지 않을 수 있다.

최근, 유기 EL(electroluminescent) 디스플레이 등을 사용하는 플랫 패널 디스플레이 장치에 있어서는, 그 "얇은 두께" 특징의 효과적 활용 및 그 보호를 위한 방법으로서, 적층된 필름 또는 전극으로 형성된 발광층 위에 점착성 시트를 프로텍터로서 부착하고 있다. 이들 경우에, 프로텍터로서 사용되는 리자인(resign) 재료가, 보호 필름이 그 프로텍터의 양측에 부착되어 있는 구성으로 주로 제공된다. 그러므로, 보호 필름이 요소들이 형성된 기판이나 보호하려는 재료에 대향하는 기판에 부착된 후, 프로텍터로부터 보호 필름을 박리시키는 일이 필요하다. 점착성 박리 테이프의 점착면은, 기판의 표면 상의 요소 및 대향하는 기판의 표면 상의 요소에 대해 오염 입자를 유발시킬 수 있기 때문에, 보호 필름을 박리시킬 때에는, 점착성 박리 테이프의 점착면이, 요소가 형성되어 있는 기판의 표면이나 대향하는 기판 상의 요소에 부착되지 않도록 하는 일이 요구된다.

도 15의 (a)는 유기 EL 패널의 시일링 기판(6)을 도시하고 있다. 도 16은 유기 EL 패널의 조립 구성예를 도시하고 있다.

도 15의 (b)에 도시한 바와 같이, 발광-소자 기판(대향 기판)(7)에 부착되기 전의 시일링 기판(6)에서, 점착성 시트(3)는 점착제(4)와 보호 필름(5)으로 이루어진 2층 구조를 갖는다. 또한, 도 16에 도시한 바와 같이, 시일링 기판(6)은, 그 프릿 프레임(2)을 발광-소자 기판(7)과 접촉시키고나서, 프릿 프레임(2)을 용융시킴으로써 발광-소자 기판(7)에 부착된다. 양 기판(6 및 7)을 부착시키기 전, 점착성 시트(3)는 점착제(4)와 보호 필름(5)으로 이루어진 2층 구조를 가지므로, 양 기판(6 및 7)을 부착시키기 전에, 점착성 박리 테이프를 사용하여 점착제(4)로부터 보호 필름(5)을 박리시킬 것이 요구된다.

따라서, 보호 필름(5)을 박리시킬 때는, 점착성 박리 테이프의 점착면을 보호 필름(5)의 표면에 부착시키고나서, 점착성 박리 테이프와 함께 보호 필름(5)을 점착제(4)로부터 박리시킨다. 그러나, 점착성 박리 테이프의 점착면이 보호 필름(5)을 둘러싸고 있는 프릿 프레임(2)과 접촉하면, 점착성 박리 테이프의 점착면의 점착제 또는 이 점착제에 들러붙은 오염물에 의해 프릿 프레임(2)의 용융면이 오염된다. 그 결과, 프릿 프레임(2)에 의해 충분한 용접 강도를 얻을 수 없으며, 불충분한 용접으로 인해 프릿 프레임(2)에서 누설 경로가 발생한다.

본 발명의 목적은, 상기 문제들을 해결하기 위한, 시트 박리기 및 표시 장치의 제조 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 제1 양태는, 상부에 놓여진 기판을 이송 방향으로 이동시킬 수 있는 가동 테이블과, 평탄 부재와, 상기 평탄 부재를 유지하는 홀더와, 상기 이송 방향에 수직인 승강 방향으로 상기 홀더를 이동시킬 수 있는 승강 부재와(상기 홀더는 상기 승강 부재에 의해 지지되며 상기 이송 방향에 평행하게 이동할 수 있음), 상기 승강 부재에 의해 상기 홀더를 상기 승강 방향으로 하강시킨 후, 상기 홀더를 상기 이송 방향에 평행하게 밀어 상기 평탄 부재를 전진시킴으로써, 상기 평탄 부재의 말단을 상기 가동 테이블 상의 상기 기판 상의 시트 부재의 에지와 접촉시킬 수 있는 전송 유닛과, 상기 이송 방향과 반대 방향으로 이동되면서 박리 테이프를 가압함으로써, 상기 기판 상의 시트 부재 및 상기 평탄 부재 위에 상기 박리 테이프를 부착시키기 위한 테이프 롤러와, 상기 가동 테이블이 상기 이송 방향으로 이동되는 동안, 상기 박리 테이프를 권회함으로써, 상기 시트 부재를 박리시키기 위한 테이프 권회 유닛을 포함하는 박리기를 제공한다.

본 발명의 상기 제1 양태에 따르면, 상기 시트 부재에 상기 박리 테이프를 부착하여 상기 기판 상에 부착된 시트 부재를 박리시킬 때, 상기 박리 테이프가 상기 기판의 표면이나 상기 기판 상에 형성된 영역과 접촉하는 일 없이, 상기 시트 부재를 확실하게 박리시킬 수 있다. 구체적으로는, 상기 박리 테이프는, 가압되면서, 상기 평탄 부재에서부터 상기 시트 부재에 부착될 수 있다. 특히, 상기 박리 테이프는, 상기 시트 부재의 에지에 강하게 가압되면서, 상기 시트 부재의 에지에 부착될 수 있다. 또한, 상기 시트 부재는, 상기 박리 테이프가 상기 기판의 표면에 접촉하는 일 없이, 박리될 수 있다.

상기 시트 부재는, 점착제층을 구비하며 상기 점착제층을 통해 상기 기판 상에 부착되고, 상기 평탄 부재의 말단은 나이프-에지로서 형성되는 것이 바람직하다. 상기 평탄 부재의 말단은 상기 시트 부재의 상기 점착제층의 에지와 접촉된다.

이 구성에 따르면, 상기 점착제층이 상기 시트 부재의 에지 위에 스프레드 되더라도, 상기 평탄 부재의 상기 나이프 에지로 인해, 상기 시트 부재가 상기 점착제층으로부터 확실하게 분리될 수 있다. 또한, 상기 시트 부재 아래에서 상기 점착제층과 접촉함으로써, 상기 평탄 부재의 에지가 확실하게 세팅될 수 있다. 상기 평탄 부재와 상기 시트 부재 사이에 간극이 존재함으로 인해, 상기 시트 부재에 대한 상기 박리 테이프의 점착 강도가 커질 수 있다. 또한, 상기 기판과 상기 평탄 부재 사이의 일정한 각도로 인해, 상기 박리 테이프가 안정적으로 박리될 수 있고, 이에 따라 박리 동작의 신뢰성이 향상된다.

상기 시트 부재는, 점착제층을 구비하며 상기 점착제층을 통해 상기 기판 상에 부착되고, 상기 평탄 부재는 얇은 판상 부재인 것이 바람직하다. 상기 평탄 부재의 말단은 상기 시트 부재의 상기 점착제층의 에지와 접촉된다.

이 구성에 따르면, 상기 점착제층이 상기 시트 부재의 에지 위에 스프레드 되더라도, 상기 얇은 판상 부재로 인해, 상기 시트 부재가 상기 점착제층으로부터 확실하게 분리될 수 있다. 또한, 상기 시트 부재 아래에서 상기 점착제층과 접촉함으로써, 상기 평탄 부재의 에지가 확실하게 세팅될 수 있다. 상기 평탄 부재와 상기 시트 부재 사이에 간극이 존재함으로 인해, 상기 시트 부재에 대한 상기 박리 테이프의 점착 강도가 커질 수 있다. 또한, 상기 기판과 상기 평탄 부재 사이의 일정한 각도로 인해, 상기 박리 테이프가 안정적으로 박리될 수 있고, 이에 따라 박리 동작의 신뢰성이 향상된다.

본 발명의 제2 양태는, 상기 본 발명의 제1 양태에 따른 시트 박리기에 의해, 기판으로부터 시트 부재가 박리되고, 상기 시트 부재는, 점착제층을 구비하며 상기 점착제층을 통해 시일링 기판 상에 부착되고, 상기 표시 장치는 발광-소자 기판을 그 구성 요소로서 포함하는 표시 장치의 제조 방법을 제공한다. 상기 방법은, 상기 시일링 기판 상에 상기 시트 부재를 부착하는 공정 - 상기 시일링 기판은 상기 기판과 동일함 - 과, 상기 박리기를 사용하여 상기 시트 부재를 박리시키는 공정과, 상기 시일링 기판 상에 남은 점착제층을 통해 상기 발광-소자 기판에 상기 시일링 기판을 부착하는 공정과, 상기 점착제층을 용융시키기 위해 상기 점착제층을 가열하는 공정과, 상기 용융된 점착제층을 굳히기 위해 상기 용융된 점착제층을 냉각하는 공정을 포함한다.

본 발명의 제2 양태에 따르면, 상기 시트 부재에 상기 박리 테이프를 부착하여 상기 점착제를 통해 상기 기판 상에 부착된 상기 시트 부재를 박리시킬 때, 상기 박리 테이프가 상기 기판의 표면이나 상기 기판 상에 형성된 영역과 접촉하는 일 없이, 상기 시트 부재를 확실하게 박리시킬 수 있다.

도 1은, 본 발명에 따른 일 실시형태의 박리기에 있어서의 시트 박리 유닛의 투명 측면도.
도 2는, 도 1에 도시한 시트 박리 유닛을 복수 구비한 박리기의 구성예를 도시하는 사시도.
도 3의 (a)는, 초기 위치에서의 시트 박리 유닛의 투명 측면도.
도 3의 (b)는, 나이프(평탄 부재)가 전방 이동할 때의 시트 박리 유닛의 투명 측면도.
도 4의 (a)는, 나이프가 하방 이동할 때의 시트 박리 유닛의 투명 측면도.
도 4의 (b)는, 나이프가 전방 이동하고 나이프와 보호 필름의 에지와의 접촉이 검출될 때의 시트 박리 유닛의 투명 측면도.
도 5의 (a)는, 테이프 롤러가 하방 이동하고 점착성 박리 테이프가 나이프에서부터 부착될 때의 시트 박리 유닛의 투명 측면도.
도 5의 (b)는, 점착성 박리 테이프가 보호 필름 위에 부착될 때의 시트 박리 유닛의 투명 측면도.
도 6의 (a)는, 점착성 박리 테이프가 박리될 때의 시트 박리 유닛의 투명 측면도.
도 6의 (b)는, 점착성 박리 테이프가 더욱 박리되고 나이프와 테이프 롤러가 초기 위치로 이동될 때의 시트 박리 유닛의 투명 측면도.
도 6의 (c)는, 점착성 박리 테이프와 보호 필름이 박리된 때의 시트 박리 유닛의 투명 측면도.
도 7의 (a)는, 나이프가 보호 필름 아래의 점착제에 세팅되어 있는 상태를 도시하는 단면도.
도 7의 (b)는, 보호 필름쪽으로 테이프 롤러에 의해 가압되면서 점착성 박리 테이프가 나이프에 부착된 상태를 도시하는 단면도.
도 7의 (c)는, 점착성 박리 테이프가 보호 필름 위에 부착된 상태를 도시하는 단면도.
도 8의 (a)는, 점착성 박리 테이프가 나이프로부터 박리되는 상태를 도시하는 단면도.
도 8의 (b)는, 점착성 박리 테이프가 더 박리되는 상태를 도시하는 단면도.
도 8의 (c)는, 점착성 박리 테이프가 보호 필름과 함께 보다 더 박리되는 상태를 도시하는 단면도.
도 9는, 본 발명에 따른 실시형태에서 실제 치수값에 대한 계산을 설명하는 개략 측면도.
도 10은, 상기 박리기를 사용하여 표시 장치를 제조하는 방법의 일 실시형태의 흐름도.
도 11은, 평탄 부재(얇은 판상 부재)의 다른 실시형태를 설명하는 단면도.
도 12는, 종래의 방법에서 점착성 박리 테이프에 의해 보호 필름을 박리시키는 상태를 도시하는 단면도.
도 13은, 다른 종래의 방법에서 점착성 박리 테이프에 의해 보호 필름을 박리시키는 상태를 도시하는 단면도.
도 14는, 또 다른 종래의 방법에서 유기 EL 패널로부터 보호 필름을 박리시키는 상태를 도시하는 단면도.
도 15의 (a)는, 유기 EL 패널에서의 시일링 기판, 이 시일링 기판 위에 부착된 점착성 시트의 보호 필름 등을 도시하는 사시도.
도 15의 (b)는, 보호 필름과 점착제로 구성된 점착성 시트의 단면도.
도 16은, 유기 EL 패널에서의 시일링 기판, 발광-소자 기판 등을 도시하는 단면도.

이하, 첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 일 실시형태를 설명한다.

도 2에 도시된 시트 박리기(50)는, 도 1에 도시된 구성을 갖는 시트 박리 유닛(20)을 복수개 포함한다.

시트 박리 유닛(20)은 나이프(평탄 부재)(31), 부착 기구 유닛(100) 및 박리 기구 유닛(200)을 포함한다. 나이프(31)는, 예를 들어, 금속 평탄 부재이며, 그 말단 에지(31B)가 예리한 에지를 갖는 나이프 에지로 형성된다. 그러나, 나이프(31)의 말단 에지(31B)는, 나이프 에지(나이프 블레이드의 에지 형상) 대신에, 평탄 부재의 단순한 오픈 에지이어도 된다. 어쨌든, 나이프(31)의 말단 에지(31B)는, 도 1에 도시된 점착제(층)(4)에 삽입되어질 수 있는 형상을 갖도록 적응되어 있다. 나이프(31)는 박리 테이프(10)를 부착하기 위한 시작 위치를 규정하고, 박리 테이프(10)의 일부분이 나이프(31)에 부착된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 시트 박리 유닛(20)은 Z-방향(수직 방향)을 따라서 연장되는 베이스 플레이트(21)를 갖는다. 베이스 플레이트(21) 상의 Z-방향을 따라서 리니어 가이드 샤프트(22)가 제공된다. 리니어 가이드 샤프트(22) 상에는, 롤러 가이드(23), 나이프 전송 가이드(전달 유닛)(37) 및 나이프 승강 가이드(승강 유닛)(36)가 제공된다.

롤러 가이드(23)는, b-방향으로 리니어 가이드 샤프트(22)를 따라 이동 및 정지가 가능하다(도 1 참조). 나이프 전송 가이드(37)는, c-방향으로 리니어 가이드 샤프트(22)를 따라 이동 및 정지가 가능하다(도 1 참조). 나이프 승강 가이드(36)는, d-방향으로 리니어 가이드 샤프트(22)를 따라 이동 및 정지가 가능하다(도 1 참조). b, c, d 방향은 Z-방향과 평행하다.

롤러 가이드(23), 나이프 전송 가이드(37) 및 나이프 승강 가이드(36) 각각은, 독립적으로 운동하는 그 자신 소유의 홀더와 각기 결합된다. 롤러 가이드(23), 나이프 전송 가이드(37) 및 나이프 승강 가이드(36)는 리니어 가이드 샤프트(22)를 따라 서로 독립적으로 운동할 수 있다. 홀더에는, 예를 들어, 모터, 이 모터의 출력축과 결합된 피드 스크류(feed screw) 및 이 피드 스크류에 나사 결합(screw)된 너트가 구비될 수 있다. 다르게는, 리니어 모터가 사용될 수 있다.

우선, 도 1의 최하측에 위치된 나이프 승강 가이드(36)와, 이 나이프 승강 가이드(36)에 의해 d-방향으로 이동되는 그 주변 기구를 설명한다.

나이프 승강 가이드(36)의 가이드 몸체(36B)에 나이프 홀더(35)가 이동가능하게 제공되어 있고, 이 나이프 홀더(35)의 바닥에 나이프 유닛(30)이 유지되어 있다. 나이프 홀더(35)는 e-방향으로 가이드 몸체(36B)를 따라 이동할 수 있으며(도 1), 이에 따라 나이프 유닛(30)은 e-방향으로 이동된다. e-방향은 z-방향에 수직인 수평 방향이다.

나이프 유닛(30)은 나이프(31)를 유지하는 나이프 로드(32), 로드 홀더(32H) 및 스프링(34)을 포함한다. 나이프(31)는 나이프 로드(32)의 일단부에 유지되며, 나이프 로드(32)의 타단부는 로드 홀더(32H) 내에 유지된다. 로드 홀더(32H) 내에는, 스프링(34)이 나이프 로드(32)의 상기 타단부와 로드 홀더(32H)의 내벽 사이에 구비된다. 나이프(31)의 위치는, 스프링(34)의 압박력에 의해 최전방 위치로 세팅된다. 나이프(31)가 후방으로 눌려지면, 나이프(31)는 스프링(34)의 압박력에 대항하여 e-방향을 따라 이동되어질 수 있다. 나이프 접촉 센서(33)가 나이프 유닛(30)에서의 나이프(31)의 상대 변위를 검출한다.

나이프 전송 가이드(37)는 나이프 승강 가이드(36) 위에 위치하고 가이드 몸체(37B)를 구비한다. 가이드 몸체(37B)의 일단부에는 컴(cum) 롤러(38)가 회전가능하게 장착된다. 상술한 홀더(35)의 상측 표면은 경사 가이드면(35M)으로서 형성된다. 따라서, 나이프 전송 가이드(37)가 c-방향으로 이동되는 동안, 컴 롤러(38)는 가이드면(35M)에 의해 안내되고, 이에 따라 홀더(35)와 나이프 유닛(30)은 e-방향을 따라 이동 및 정지된다.

다음으로, 최상측에 위치된 롤러 가이드(23) 및 이 롤러 가이드(23)에 의해 b-방향으로 이동되는 그 주변 기구를 설명한다.

암 피봇(25)을 통해 롤러 암(24)의 상단부가 롤러 가이드(23)에 장착되고, 롤러 암(24)은 암 피봇(25)을 중심으로 하여 스윙 운동될 수 있다. 롤러 암(24)의 하단부에는 테이프 롤러(12)가 회전가능하게 장착된다.

롤러 암(24)과 롤러 가이드(23) 사이에는 텐션 스프링(29)이 장착된다. 테이프 롤러(12)가 나이프(31)로부터 이격되도록 이동되면, 텐션 스프링(29)의 장력으로 인해 되돌림력(pullpack force)이 발생된다. 롤러 암(24)의 디폴트 위치는, 스토퍼(24S)에 의해, 도 1에 도시된 각도 위치로 규제되고, 초기 장력은 이러한 상태에서의 텐션 스프링(29)에 의해 여전히 발생된다.

테이프 롤러(12)는 원통 형상을 가지며 그 회전축(명확하게 도시하지 않음)은 롤러 암(24)의 하단부에 제공된다. 테이프 롤러(12)는 롤러 암(24)과 함께 이동하며 회전축을 중심으로 하여 회전할 수 있다. 점착성 박리 테이프(10)는 테이프 롤러(12)의 둘레에 걸어지고, 점착성 박리 테이프(10)의 점착면(10P)은 바깥으로 노출된다. 환언하면, 점착성 박리 테이프(10)가 테이프 롤러(12)의 둘레에 걸어진 상태에서, 점착면(10P)은, 테이프 롤러(12)에 들러붙지 않으며 나이프(31)를 향한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 베이스 플레이트(21)는 박리 테이프 축(28), 테이프 권회 기구(테이프 권회 유닛)(26) 및 가이드 롤러(28B)를 구비한다. 박리 테이프 축(28)은 테이프 권회 기구(26) 위에 위치된다. 테이프 권회 기구(26)는 베이스 플레이트(21)의 중간 부분, 즉, 박리 테이프 축(28)과 테이프 롤러(12) 사이에 구비된다. 점착성 박리 테이프(10)는 박리 테이프 공급 롤러(27)의 둘레에 권회된다. 박리 테이프 공급 롤러(27)는 박리 테이프 축(28) 상에 설치되며 박리 테이프 축(28)으로부터 분리할 수 있다. 박리 테이프 공급 롤러(27)로부터 인출된 점착성 박리 테이프(10)는 가이드 롤러(28B)와 테이프 롤러(12)를 거쳐 테이프 권회 기구(26)의 둘레에 권회되게 된다.

도 1에 도시된 바와 같이, 테이프 권회 기구(26)는 구동 기구(26M)에 의해 f-방향으로 구동될 수 있다. 테이프 권회 기구(26)는 그 중심축(26C)을 중심으로 구동되고, 이에 따라 점착성 박리 테이프(10)는 테이프 권회 기구(26)의 둘레면에 권회된다. 테이프 롤러와 테이프 권회 기구(26) 사이에는 필름-말단 센서(41)가 제공된다. 예를 들어, 필름-말단 센서(41)는 발광부와 수광부를 갖는 광학 센서이며, 점착성 박리 테이프(10)에 의해 제거된 보호 필름(5)의 말단 에지(5D)가 통과하였는지의 여부를 검출할 수 있다.

다음으로, 도 2를 참조하여, 시트 박리기(50)의 구성예를 설명한다.

도 1에 도시된 복수의 시트 박리 유닛(20)이 도 1에 도시된 시트 박리기(50)에 대해 실행된다. 도 2에 도시한 바와 같이, 시트 박리기(50)는 가동 테이블(51)을 구비한다. 가동 테이블(51)은 구동 유닛(51M)에 의해 a-방향으로 이동 및 정지가 가능하다(도 1 참조). a-방향은, 도 1에 도시된 바와 같이, e-방향에 평행한 수평 방향이다.

예를 들어, 가동 테이블(51)의 구동 유닛(51M)은 모터, 이 모터에 의해 회전되는 피드 스크류 및 가동 테이블(51)에 구비되며 상기 피드 스크류에 나사 결합된 너트를 구비한다. 다르게는, 구동 유닛(51M)은 리니어 모터 등에 의해 구성되어도 된다.

기판(1)은, 그 위치 정렬이 된 후에, 도 2에 도시된 가동 테이블(51)에 분리가능하게 고정된다. 복수의 점착성 시트(3)가 a-방향 및 이 a-방향에 수직인 s-방향을 따라 매트릭스 방식으로 기판(1) 상에 부착된다. 각각의 시트 박리 유닛(20)은, 점착성 시트(3)의 컬럼의 각 피치에 정합(matching)되어 정렬되거나 또는 그 위치를 조정가능하게 설치된다. 도 2에 도시된 예에서는, 4개의 시트 박리 유닛(20)이 정렬되어 있지만, 구비되는 시트 박리 유닛(20)의 수는 상기한 예로 제한되지 않고 임의적으로 정해질 수 있다.

보다 이해하기 쉽게 설명하기 위해, 도 1에 도시된 기판(1)은, 도 2에 도시된 매트릭스 방식의 복수의 점착성 시트(3) 가운데서 단 하나의 점착성 시트(3)만을 가지고 묘사하고 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 점착성 시트(3)는 점착제(층)(4)와 보호 필름(5)으로 구성된 적층 부재이다. 환언하면, 보호 필름(시트 부재)(5)에 점착제(층)(4)가 제공되어 전체로서 점착성 시트(3)를 구성한다. 보호 필름(5)은 프릿 프레임(2) 내의 영역에서 점착제(4)를 통해 기판(1)에 부착된다. 기판(1)은, 도 2에 도시된 가동 테이블(51)에 의해, 도 1에 도시된 a-방향으로 이동 및 정지가 가능하다.

도 1에 도시된 바와 같이, 부착 기구 유닛(100)은 롤러 암(24), 롤러 가이드(23), 테이프 롤러(12) 및 텐션 스프링(29)으로 구성되어 있다. 부착 기구 유닛(100)은, 테이프 롤러(12)를 통해 나이프(31) 및 보호 필름(5) 위에 점착성 박리 테이프(10)를 가압하여, 보호 필름(시트 부재)(5)의 에지(5B)에 그 말단 에지(31B)가 세팅된(도 7의 (a) 참조) 나이프(평탄 부재)(31)에서부터 연속적으로 점착성 박리 테이프(10)의 점착면(10P)을 보호 필름(5)으로 부착시킨다.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 박리 기구 유닛(200)은 테이프 권회 기구(26), 가동 테이블(51)의 구동 유닛(51M) 및 나이프(평탄 부재)(31)의 변위 유닛(250)으로 구성된다. 박리 기구 유닛(200)은, 나이프(31)로부터 부착된 점착성 박리 테이프(10)를 박리시킨 후, 박리된 점착성 박리 테이프(10)와 함께 보호 필름(5)을 제거하는데 사용된다.

테이프 권회 기구(26)는 점착성 박리 테이프(10)를 권회한다. 가동 테이블(51)의 구동 유닛(51M)은, 보호 필름(5)의 평면에 평행하고 또한 점착성 박리 테이프(10)의 부착 방향과 대향하는 방향으로, 보호 필름(5)이 부착된 기판(1)을 이동시키고, 이에 따라 보호 필름(5)이 점착제(4)로부터 제거된다.

또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 나이프(31)의 변위 유닛(250)은 나이프 승강 가이드(36), 나이프 홀더(35) 및 나이프 유닛(30)으로 구성되어 있다. 변위 유닛(250)은, 나이프(31)로부터 점착성 박리 테이프(10)가 박리된 직후(도 8의 (b) 내지 도 8의 (c) 참조), 나이프(31)를 기판(1)으로부터 멀어지도록 상방(d-방향을 따른 상방)으로 변위시킴으로써, 보호 필름(5)의 말단 에지(5D)를 점착제(4)로부터 점착성 박리 테이프(10)와 함께 박리시킬 수 있다.

제어기(400)는 커맨드를 생성하여, 도 1에 도시된 바와 같이, 롤러 가이드(23), 나이프 전송 가이드(37), 나이프 승강 가이드(36), 구동 기구(26M) 및 구동 유닛(51M)의 동작을 제어한다. 또한, 나이프 접촉 센서(33) 및 필름-말단 센서(41)의 검출 신호가 제어기(400)로 전송된다.

다음으로, 도 3의 (a) 내지 도 6의 (c)를 참조하여, 시트 박리기(50)에서의 시트 박리 유닛(20)의 동작예를 설명한다.

도 3의 (a) 내지 도 6의 (c)에는, 동작 방향을 나타내는 화살표와 설명에 필수적인 구성요소만이 도시되어 있다.

도 3의 (a)는 시트 박리 유닛(20)의 박리 동작의 초기 상태를 도시하며, 이 초기 상태는 도 1에 도시된 시트 박리 유닛(20)의 상태와 거의 동일하다. 이 상태에서, 박리 테이프 축(28)에 박리 테이프 공급 롤러(27)가 설치된다. 박리 테이프 공급 롤러(27)로부터 공급된 점착성 박리 테이프(10)의 일단부는, 가이드 롤러(28) 및 테이프 롤러(12)를 거쳐 테이프 권회 기구(26)에 예비적으로 권회된다. 기판(1)은 나이프(31)에 보다 가까이 위치되고, 나이프(31)는, 프릿 프레임(2) 위에, 그러나 프릿 프레임으로부터 이격되어 위치된다.

도 3의 (b)를 참조하면, 나이프 전송 가이드(37)는 제어기(400)의 커맨드에 따라서 c-방향을 따라 하방 이동되고, 이에 따라 나이프 유닛(30)은 e-방향을 따라 전진 이동된다. 이와 같이 하여, 나이프(31)의 말단 에지(31B)가 점착성 시트(3)의 에지(즉, 박리하려는 보호 필름(5)의 에지) 위에 세팅된다.

도 4의 (a)를 참조하면, 나이프 전송 가이드(37)는 c-방향을 따라 하방으로 더 이동되고, 나이프 전송 가이드(37)와 동기하여 나이프 승강 가이드(36)도 d-방향을 따라 하방 이동된다. 이와 같이 하여, 나이프(31)의 말단 에지(31B)는, 나이프(31)와 프릿 프레임(2)이 접촉하는 일 없이, 점착성 테이프(3)의 에지 근방에 위치된다. 여기서, 말단 에지(31B)의 높이는 점착제(4)의 두께 이내이지만, 프릿 프레임(2)과의 접촉은 방지되는 높이 레벨로 유지된다.

도 4의 (b)를 참조하면, 나이프 전송 가이드(37)는 c-방향을 따라 보다 더 하방 이동된다. 그 결과, 나이프(31)가 전진 이동되어 말단 에지(31B)가 점착제(4)의 에지 표면과 접촉하게 되고, 따라서 이 접촉으로 인해 스프링(34)이 압축된다. 나이프(31)의 정지 상태가 나이프 접촉 센서(33)에 의해 검출된다. 그리고나서, 제어기(400)는, 나이프 접촉 센서(33)로부터의 센서 신호를 기초로 하여, c-방향을 따른 나이프 전송 가이드(37)의 하강을 종결시킨다.

도 5의 (a)를 참조하면, 롤러 가이드(23)는, 제어기(400)로부터의 커맨드에 따라서 b-방향을 따라 하방 이동되어, 나이프(31)의 상측 표면 위에 테이프 롤러(12)를 가압하는 동안에 점착성 박리 테이프(10)의 점착면(10P)을 나이프(31)의 상측 표면 위에 부착시킨다. 도 5의 (b)를 참조하면, 롤러 가이드(23)는, 제어기(400)로부터의 커맨드에 따라서 b-방향을 따라 더욱 하방 이동되고, 테이프 롤러(12)는 점착성 박리 테이프(10)의 점착면(10P)을 나이프(31)의 상측 표면에서부터 보호 필름(5)의 상측 표면으로 부착시킨다.

테이프 롤러(12)는, 텐션 스프링(29)의 장력의 각도(angular) 성분과 일치하는 가압력으로(도 1 참조) 나이프(31)의 상측 표면에서부터 보호 필름(5)의 상측 표면으로 점착성 박리 테이프(10)를 연속적으로 부착시킬 수 있으므로, 나이프(31)의 상측 표면 상의 점착성 박리 테이프(10)에 충분히 큰 가압력이 인가될 수 있다.

도 5의 (b)에 도시된 이 경우에 있어서는, 제어기(400)가 테이프 권회 기구(26)의 구동 기구(26M)의 구동을 정지시키므로, 박리 테이프 공급 롤러(27)로부터 점착성 박리 테이프(10)가 인출되어 화살표 방향을 따라 공급된다.

상술한 점착성 박리 테이프(10)의 박리 동작이 진행되면, 도 6의 (a)에 도시된 바와 같이, 제어기(400)는 테이프 권회 기구(26)의 구동 기구(26M)를 구동하여 f-방향을 따라 점착성 박리 테이프(10)를 권회한다. 이 권회 동작으로 인해, 보호 필름(5)은 점착제(4)로부터 박리되기 시작한다. 이 때, 도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 나이프 승강 가이드(36)와 나이프 전송 가이드(37)는 d-방향 및 c-방향을 따라 약간 상방으로 동기하여 이동되고, 이에 따라 나이프(31)는 약간 상방으로 이동된다. 이 동작에 의해, 점착성 박리 테이프(10)를 사용하여 보호 필름(5)을 박리시키는 것이 촉진되고, 이에 따라 점착제(4)로부터 보호 필름(5)을 용이하게 박리시킬 수 있다. 또한, 기판(1) 역시 a-방향을 따라 이동하고, 이에 따라 나이프(31)의 각도가 일정하게 유지된다. 그러므로, 보호 필름(5)을 점착제(4)로부터 안정적으로 박리시킬 수 있다.

도 6의 (b)를 참조하면, 제어기(400)가 테이프 권회 기구(26)를 f-방향으로 회전시키고 또한 기판(1)을 a-방향을 따라 연속적으로 이동시킴으로써, 보호 필름(5)을 확실하게 제거할 수 있다. 그리고나서, 제어기(400)는 롤러 가이드(23), 나이프 전송 가이드(37) 및 나이프 승강 가이드(36)를 그들의 초기 위치로 리셋시킨다.

도 6의 (c)를 참조하면, 보호 필름(5)의 박리 동작이 종결되고 필름-말단 센서(41)가 점착제(4)로부터 제거된 보호 필름(5)의 말단 에지(5D)를 검출하면, 제어기(400)는, 필름-말단 센서(41)로부터의 검출 신호를 기초로 하여, 테이프 권회 기구(26)를 정지시킨다. 이 정지 상태에서의 시트 박리 유닛(20)은, 기판(1)의 위치를 제외하고는, 도 3의 (a)에 나타낸 초기 상태와 거의 동일한 상태이다. 기판(1)은 a-방향을 따라 이동되었다. 즉, 기판(1)은, 도 6의 (c)에 도시된 상태에서 기판(1) 상의 하나의 시트 유닛에 부합하는 변위로 이동되었다.

상기 시트 박리 유닛(20)은, 위에서 설명한 박리 동작을 통해, 점착성 박리 테이프(10)의 점착면(10P)과 그 주변부(예컨대, 프릿 프레임(2) 및 요소의 표면)가 접촉하는 일 없이, 도 5에 도시된 기판(1) 상의 한 컬럼에 있는 보호 필름(5)을 확실하게 제거할 수 있다. 점착성 박리 테이프(10)의 점착면(10P)은 기판(1)의 표면 또는 그 기판상에 형성된 영역과 접촉되지 않으므로, 상기 표면이나 상기 영역에 형성된 요소가 오염되는 것이 방지되고 또한 보호 필름(5)을 용이하고 확실하게 제거할 수 있다.

매트릭스 방식으로 배열된 보호 필름(5)에 대처하도록 복수의 시트 박리 유닛(20)을 제공함으로써, 하나의 로우(row)에 있는 복수의 보호 필름(5)을 단 한번의 동작으로 한꺼번에 제거할 수 있다.

상기 복수의 시트 박리 유닛(20)을 제공할 때에는, 롤러 가이드(23), 나이프 전송 가이드(37) 및 나이프 승강 가이드(36)가 동일한 스트로크로 동기하여 동작된다(이 동작을 도면에 명확하게 도시하지 않음). 보호 필름(5) 중 일부의 위치 정렬이 약간 벗어나게 될 경우, 이 오정렬은 스프링(34)에 의해 보상되고, 이에 따라 나이프(31)들을 그 적절한 위치에서 각기 정지시킬 수 있다. 모든 나이프 접촉 센서(33)가 나이프(31)의 접촉을 검출한 것이 확인되면, 제어기(400)는 나이프 승강 가이드(37)의 하강을 정지시킨다. 이 경우, 복수의 시트 박리 유닛(20)의 롤러 가이드(23), 나이프 전송 가이드(37) 및 나이프 승강 가이드(36)는 세개의 로드를 사용하여 동기적으로 작동될 수 있다. 물론, 이들은 독립된 모터에 의해 독립적으로 작동되어도 된다.

다음으로, 도 7의 (a) 내지 도 8의 (c)를 참조하여, 나이프(31)와 점착성 박리 테이프(10)에 의해 점착제(4)로부터 보호 필름(5)을 박리시키는 동작에 대해 상세히 설명한다.

도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 나이프(31)가 보호 필름(5) 아래의 점착제(4)에 대해 세팅된다. 점착제(4)가 보호 필름(5)의 에지(5B) 위에 스프레드 되더라도, 나이프(31)의 말단 에지(31B)는 점착제(4)(즉, 점착제(4)의 에지 표면)의 스프레딩 부분을 절단할 수 있다. 그러므로, 나이프(31)의 말단 에지(31B) 덕분에 스프레딩 부분이 용이하게 분리될 수 있기 때문에, 보호 필름을 박리시키기 위한 박리력을 감소시킬 수 있다.

도 7의 (b) 내지 도 7의 (c)에 도시된 바와 같이, 가압 롤러(12)에 의해 점착성 박리 테이프(10)가 가압되면서, 보호 필름(5)의 상측 표면에 나이프(31)의 상측 표면(31C)에서부터 점착성 박리 테이프(10)가 부착된다. 점착성 박리 테이프(10)가, 테이프 롤러(12)에 의해 가압되는 상태에서, 나이프(31)의 상측 표면(31C)에서부터 부착되므로, 박리시키려는 보호 필름(5)의 에지(5B)에 점착성 박리 테이프(10)를 용이하고 또한 확실하게 부착할 수 있다.

위에서 설명한 바와 같이, 나이프(31)를 보호 필름(5)의 에지(5B)에 틀림없이 위치시킬 수 있다. 게다가, 에지(5B)의 상측 표면과 말단 에지(31B)의 상측 표면(31C) 사이에 간극이 존재함으로 인해, 보호 필름(5)에 대한 점착성 박리 테이프(10)의 점착 강도가 커질 수 있다. 점착제(4)가 보호 필름(5)의 에지(5B) 위에 스프레드 되더라도, 나이프(31)의 사용으로 인해 점착제(4)로부터 보호 필름(5)을 확실하게 분리시킬 수 있다. 또한, 점착면(10P)이 기판(1)과 접촉하지 않음에 따라 기판(1)이 오염되는 것이 방지된다.

도 8의 (a)에 도시된 바와 같이, 점착성 박리 테이프(10)의 점착면(10P)은 나이프(31)의 상측 표면(31C)에서부터 박리되고 있다. 도 8의 (b) 내지 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 점착성 박리 테이프(10)가 f-방향을 따라 경사지게 상방으로 잡아당겨지고, 보호 필름(5)이 점착제(4)로부터 점차 박리될 수 있다. 나이프(31)는, 점착성 박리 테이프(10)에 의한 보호 필름(5)의 박리 동작에 동기하여, 기판(1)으로부터 이격되어 떨어지게 d-방향을 따라 상방으로 약간 이동된다. 이 d-방향을 따른 나이프(31)의 상방 운동으로 인해, 보호 필름(5) 위에 점착제(4)가 스프레드 되더라도 보호 필름(5)을 점착제(4)로부터 틀림없이 박리시킬 수 있다.

다음으로, 도 9를 참조하여, 상기 실시형태에서의 실제 치수값에 대한 계산을 설명한다.

기판(1) 상의 프릿 프레임(2)과 보호 필름(5) 사이의 거리 L1을 1.5㎜로 설정하는 경우, 나이프(31)와 기판(1) 사이의 각도θ를 30도로 설정하고, 점착성 박리 테이프(10)의 두께 t1을 0.2㎜로 설정하고, 보호 필름(5)의 두께 t2를 0.03㎜로 설정하고, 나이프(31)의 두께 t3를 0.5㎜로 설정한다. 이 경우, 두께 t3가 그 최대 두께 t3max=0.86㎜ 미만이면, 나이프(31)는 프릿 프레임(2)과 접촉하지 않는다. t3=0.5㎜이면, 0.36㎜(=t3max-t3)의 간극이 존재한다. 이 간극을 활용함으로써, 나이프(31)의 말단 에지(31B)는 프릿 프레임(2)과 접촉하는 일 없이 세팅될 수 있다. 또한, 테이프 롤러(12)의 직경이 4㎜(=2×Rmax) 미만이면, 테이프 롤러(12)의 중심은 보호 필름(5)의 에지로부터 나이프(31)측에 위치된다. 그러므로, 말단 에지(31B)의 상측 표면과 보호 필름(5)의 상측 표면 사이의 간극이 확보되고, 이에 따라 보호 필름(5)의 에지 상의 점착성 박리 테이프(10)에 보다 큰 가압력이 인가될 수 있다. 이점이 본 실시형태의 주된 이점이다.

도 10은 박리기(20)를 사용하여 표시 장치를 제조하는 방법에 대한 흐름도이다. 프릿 프레임을 페이스트하고 소성하는 공정(ST1)에서는, 프릿 프레임(2)이 시일링 기판(6) 상에 페이스트된 후 소성된다. 점착성 시트를 부착하는 공정(ST2)에서는, 점착성 시트(4)의 점착제(4)가 시일링 기판(6) 상의 프릿 프레임(2) 내에 적층된다. 보호 필름(5)은 점착제(4) 상에 부착되어 있다. 예를 들어, 점착제(4)는 열경화성 수지 필름이다.

시트 부재를 박리시키는 공정(ST3)에서는, 상기 시트 박리기(50)에 의해 보호 필름(5)이 점착제(4)로부터 제거된다. 구체적으로는, 나이프(31)가 보호 필름(5)의 에지에 세팅되어 점착성 박리 테이프(10)를 보호 필름(5)의 에지와 접촉시킨다. 이어서, 점착성 박리 테이프(10)가, 가압되면서, 나이프(31)에서부터 보호 필름(5)으로 연속적으로 부착된다. 그리고나서, 점착성 박리 테이프(10)가 나이프(31)로부터 박리되어 보호 필름(5)을 제거한다. 이와 같이 하여, 보호 필름(5)이 점착제(4)로부터 제거된다.

부착 및 접착 공정(ST4)에서는, 점착제(4)가 적층된 시일링 기판(6), 및 발광 소자 영역(8)을 갖는 발광-소자 기판(7)이 서로 부착된다. 이어서, 감압 또는 진공하에서, 프릿 프레임(2)이 용융되어 시일링 기판(6)과 발광-소자 기판(7)을 접합시킨다. 점착제를 경화시키는 공정(ST5)에서는, 시일링 기판(6)과 발광-소자 기판(7) 사이의 점착제(4)가 가열된 후 경화된다.

상기 표시 장치를 제조하는 방법에 따르면, 표시 장치를 제조할 때, 점착성 박리 테이프(10)가, 점착제(4)의 사용에 의해 기판(1) 상에 부착된 보호 필름(5)에 부착되고, 점착성 박리 테이프(10)가 기판(1) 또는 기판(1) 상에 형성된 영역과 접촉하는 일 없이, 보호 필름(5)을 확실하게 제거할 수 있다. 구체적으로는, 점착성 박리 테이프(10)는, 가압되면서, 나이프(평탄 부재)(31)에서부터 제거하려는 보호 필름(5)에 부착된다. 따라서, 점착성 박리 테이프(10)를 기판(1)의 표면과 결코 접촉시키지 않으면서, 보호 필름(5)을 제거할 수 있다.

유기 EL(electroluminescent) 패널과 같이 기능성 필름이 형성된 기판 상에 부착된 보호 필름을 박리시키는 공정을 필요로 하는 종래의 제조 방법이 있다. 이 종래의 방법에서는, 점착성 박리 테이프(박리 테이프라고도 함)가 보호 필름 상에 부착된 뒤에, 보호 필름이 박리된 점착성 박리 테이프와 함께 제거된다. 보호 필름을 확실하게 제거하기 위해서는, 박리시키려는 보호 필름의 에지에 점착성 박리 테이프가 확고하게 부착될 것이 요구된다. 그러나, 점착성 박리 테이프와 기판의 접촉으로 인해 기판의 표면이 오염될 가능성이 높다.

본 실시형태에 따르면, 기판(1)과 접촉하지 않으면서, 박리시키려는 보호 필름(5)의 에지(5B)에 나이프(나이프-에지 형상을 구비한 평탄 부재)(31)가 위치된다. 그러므로, 점착성 박리 테이프(10)가 기판(1)의 표면이나 기판 상에 형성된 영역과 접촉하는 일 없이, 또한 기판(1)의 표면이나 기판 상의 영역을 오염시키는 일 없이, 보호 필름(5)을 확실하게 제거할 수 있다.

본 발명은 상기한 실시형태에 한정되지 않는다. 예를 들어, 상기한 실시형태에서, 점착성 박리 테이프(10)는 점착제(층)(4)로부터 보호 필름(5)을 박리시킨다. 그러나, 필요에 따라, 점착성 박리 테이프(10)는 보호 필름(5)과 점착제(층)(4) 양자를 전체로서 박리(제거)시킬 수 있다. 환언하면, 보호 필름(시트 부재)(5)는 점착제(층)(4)와 함께 박리(제거)될 수 있다[점착성 시트(3) 전체가 제거될 수 있음].

상기한 실시형태에서는, 보호 필름(5)이 점착제(층)(4)에 구비되며, 나이프(평탄 부재)(31)의 말단 에지(31B)는 보호 필름(시트 부재)(5)의 에지(5B)에서 점착제(층)(4)와 접촉된다. 여기서, 말단 에지(31B)는 나이프-에지로서 형성된다. 그러나, 도 11에 도시된 바와 같이, 평탄 부재는, 그 말단 에지(310B)가 점착제(층)(4)와 접촉될 수 있는 한, 예리한 나이프-에지로서 형성되지 않고 얇은 두께의 말단 에지(310B)를 갖는 얇은 판상 부재(310)이어도 된다.

또한, 나이프(평탄 부재)(31)는 그 말단 에지(31B)가 기판(1)의 표면에 보다 가까운 위치에서 점착제(층)(4)와 접촉하도록 세팅되어도 된다. 이에 따르면, 나이프(평탄 부재)(31)가 박리시키려는 보호 필름(시트 부재)(5)의 에지(5B)에 확실하게 위치될 수 있고, 에지(5B)의 상측 표면과 말단 에지(31B)의 상측 표면(31C) 사이의 간극이 확보될 수 있어, 테이프 롤러(12)에 대한 큰 가압력으로 인해, 큰 점착성 박리 테이프(10)의 점착 강도를 얻을 수 있다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태에서 개시된 구성 요소를 조합함으로써 변경이 가능하다. 예를 들어, 상기 실시형태에서 개시된 구성 요소 중의 일부를 생략하여도 된다. 또한, 다른 실시형태에서의 구성 요소들을 임의로 조합하여도 된다.

Claims (4)

1. 시트 박리기로서,
   상부에 놓여진 기판을 이송 방향으로 이동시킬 수 있는 가동 테이블과,
   평탄 부재와,
   상기 평탄 부재를 유지하는 홀더와,
   상기 이송 방향에 수직인 승강 방향으로 상기 홀더를 이동시킬 수 있는 승강 유닛 - 상기 홀더는 상기 승강 유닛에 의해 지지되며 상기 이송 방향에 평행하게 이동할 수 있음 - 과,
   상기 승강 유닛에 의해 상기 홀더를 상기 승강 방향으로 하강시킨 후, 상기 홀더를 상기 이송 방향에 평행하게 밀어 상기 평탄 부재를 전진시킴으로써, 상기 평탄 부재의 말단을 상기 가동 테이블 상의 상기 기판 상의 시트 부재의 에지와 접촉시킬 수 있는 전송 유닛과,
   상기 이송 방향과 반대 방향으로 이동되면서 박리 테이프를 가압함으로써, 상기 기판 상의 시트 부재 및 상기 평탄 부재 위에 상기 박리 테이프를 부착시키기 위한 테이프 롤러와,
   상기 가동 테이블이 상기 이송 방향으로 이동되는 동안, 상기 박리 테이프를 권회함으로써, 상기 시트 부재를 박리시키기 위한 테이프 권회 유닛을
   포함하는, 시트 박리기.
2. 제1항에 있어서,
   상기 시트 부재는, 점착제층을 구비하며 상기 점착제층을 통해 상기 기판 상에 부착되고,
   상기 평탄 부재의 말단은 나이프-에지로서 형성되고,
   상기 평탄 부재의 말단은 상기 시트 부재의 상기 점착제층의 에지와 접촉되는, 시트 박리기.
3. 제1항에 있어서,
   상기 시트 부재는, 점착제층을 구비하며 상기 점착제층을 통해 상기 기판 상에 부착되고,
   상기 평탄 부재는 얇은 판상 부재이며,
   상기 평탄 부재의 말단은 상기 시트 부재의 상기 점착제층의 에지와 접촉되는, 시트 박리기.
4. 표시 장치의 제조 방법으로서,
   제1항에 따른 시트 박리기에 의해, 기판으로부터 시트 부재가 박리되고,
   상기 시트 부재는, 점착제층을 구비하며 상기 점착제층을 통해 시일링 기판 상에 부착되고,
   상기 표시 장치는 발광-소자 기판을 그 구성 요소로서 포함하고,
   상기 시일링 기판 상에 상기 시트 부재를 부착하는 공정 - 상기 시일링 기판은 상기 기판과 동일함 - 과,
   상기 박리기를 사용하여 상기 시트 부재를 박리시키는 공정과,
   상기 시일링 기판 상에 남은 점착제층을 통해 상기 발광-소자 기판에 상기 시일링 기판을 부착하는 공정과,
   상기 점착제층을 용융시키기 위해 상기 점착제층을 가열하는 공정과,
   상기 용융된 점착제층을 굳히기 위해 상기 용융된 점착제층을 냉각하는 공정을
   포함하는, 표시 장치의 제조 방법.
   
   
   
   

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