JP4958817B2 - 電子部品の実装装置 - Google Patents

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Description

この発明は基板としてのたとえば液晶表示装置に用いられるガラス製のパネルに、電子部品としてのたとえばTCP(Tape Carrier Package)を実装する電子部品の実装装置に関する。
たとえば、液晶表示装置を製造する場合、基板としての上記パネルに、電子部品としての上記TCPを実装するための実装装置が用いられる。上記TCPは金型によってキヤリアテープから打ち抜かれた後、所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルに供給される。このインデックステーブルには1回当たりの回転角度に応じた間隔で周方向に複数の実装ツールが設けられている。そして、上記金型によって打ち抜かれたTCPは複数の実装ツールに順次供給される。
上記パネルはXYテーブルに位置決め載置されていて、このXYテーブルによってXY方向に駆動されるようになっている。上記インデックステーブルの実装ポジションにおいて、上記TCPに設けられた位置合わせマークと、上記パネルに設けられた位置合わせマークとが撮像カメラによって撮像され、その撮像信号が画像処理部で処理される。そして、画像処理部での処理に基いて、上記TCPの位置合わせマークに上記パネルの位置合わせマークが一致するよう、上記XYテーブルの駆動が制御されて上記パネルが位置決めされるようになっている。
上記TCPに対して上記パネルが位置決めされると、その電子部品を保持した吸着ヘッドが下降方向に駆動され、TCPを上記パネルに予め貼着された熱硬化性の異方性導電部材からなる粘着テープに加圧して貼着する。つまり、実装するようになっている。インデックステーブルを用いて基板にTCPを実装する従来の実装装置は、たとえば特許文献1に開示されている。
ところで、特許文献1に開示された実装装置は、基板に貼着された粘着テープにTCPを貼着する、所謂、仮圧着用の実装装置であって、上記粘着テープを溶融加熱してTCPを実装する、所謂、本圧着用の実装装置ではない。
すなわち、従来は基板に対するTCPの仮圧着と本圧着とを別々の実装装置で行うようにしていた。その理由として、基板にTCPを、熱硬化性の異方性導電部材からなる粘着テープを用いて実装する場合、仮圧着はTCPを基板に設けられた粘着テープに貼着するだけであるから短時間で、しかも低温度で行えるのに対し、本圧着は上記粘着テープを溶融加熱しなければならないため、仮圧着に比べて時間が掛かるばかりか、高温度で行わなければならない。そのため、仮圧着と本圧着とでは実装条件が大きく異なるということがある。
さらに、本圧着時には実装ツールによって粘着テープを高温度に加熱して溶融する。そのため、溶融物が実装ツールに付着して実装ツールに汚れが発生し、その汚れの付着が実装不良の原因となる。実装ツールに対する溶融物の付着を防止するためには、実装ツールとTCPとの間に保護テープを介在させてTCPを加圧加熱しなければならないから、そのことも仮圧着とは実装条件が大きく異なるということがある。
特開2002−305398号
このように、従来の実装装置は本圧着と仮圧着とにおける種々の実装条件が異なるから、本圧着と仮圧着を別々の実装装置で行うようにしており、その結果、設備費の上昇や各実装装置を設置するために設置スペースの増大を招いたり、さらには仮圧着と本圧着とを別々に行うことで生産性の低下を招くということがあり、好ましくないということがあった。
この発明は、基板に対して電子部品を仮圧着することなく、直ちに本圧着できるようにすることで、設備費の上昇や設置スペースの増大或いは生産性の低下を招くことなく基板に電子部品を実装できるようにした実装装置を提供することにある。
この発明は、加熱することで溶融硬化する熱硬化性の粘着テープによって電子部品を基板に圧着する電子部品の実装装置であって、
周方向に所定角度ずつ回転駆動されるインデックステーブルと、
このインデックステーブルに周方向に所定間隔で設けられ一端部の下面に上記粘着テープが貼着される上記電子部品の一端部の上面を吸着保持する実装ツールが上下方向に駆動可能に設けられた複数の実装ヘッドと、
この実装ヘッドに設けられ上記実装ツールが上記電子部品の一端部の上面を吸着保持するときに上記実装ツールと電子部品の間に介在し上記粘着テープが加熱されて溶融したときに発生する溶融物が上記実装ツールに付着するのを防止する通気性を備えた保護テープと、
上記実装ツールに設けられこの実装ツールに吸着保持された上記電子部品を上記基板に実装するときに上記保護テープを介して上記粘着テープを加熱溶融するヒータを具備し、
上記実装ヘッドは、
上記実装ツールが設けられた取付け板と、
上記保護テープが巻装され上記取付け板の上記実装ツールの一端側に設けられた供給リールと、
上記取付け板の上記実装ツールの他端側に設けられ上記供給リールから繰り出されて上記実装ツールの下端面に対向する位置を通過した上記保護テープを巻き取る巻き取りリールを備え、
上記インデックステーブルの回転によって上記実装ヘッドの実装ツールと、上記保護テープの供給リール及び巻取りリールが一体的に移動することを特徴とする電子部品の実装装置にある。
上記実装ツールにはパルスヒート方式のヒータが設けられていることが好ましい。
キヤリアテープから上記電子部品を打ち抜いて上記実装ツールに供給する部品供給手段と、
この部品供給手段によって上記実装ツールに供給されて一端部の上面が吸着保持された上記電子部品の一端部下面に上記粘着テープを貼着する貼着手段と
を備えていることが好ましい。
記部品供給手段と上記貼着手段は上記インデックステーブルによって位置決めされる上記実装ツールと対向する位置に設けられていることが好ましい。
この発明によれば、実装ツールが電子部品を吸着保持するときに、この実装ツールと電子部品との間に通気性を備えた保護テープを介在させ、この保護テープによって粘着テープが実装ツールによって加熱されて溶融したときに、その溶融物が実装ツールに付着するのを防止するようにした。
そのため、実装ツールに電子部品を保護テープを介して吸着保持したならば、実装ツールによって粘着テープを加熱溶融して電子部品を基板に実装することが可能となる。つまり実装ツールが電子部品を吸着保持したならば、その電子部品を基板に仮圧着することなく、直ちに本圧着することが可能となる。
以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図1はこの発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の全体構成を示す概略図である。この実装装置は基板としてのたとえば液晶表示装置用のパネル1を搬送する第1の搬送手段であるパネルテーブル2と、電子部品としてのTCP3を搬送する第2の搬送手段としてのインデックステーブル4を有する。
上記パネルテーブル2はベース5上にX方向(図1の紙面に直交する方向)に沿って移動可能に設けられたXテーブル6を有する。このXテーブル6は上記ベース5に設けられたX駆動源7によって上記ベース5上をX方向に沿って駆動されるようになっている。
上記Xテーブル6にはX方向と直交するY方向(矢印で示す)に沿って移動可能なYテーブル8が設けられている。このYテーブル8は上記Xテーブル6に設けられたY駆動源9によってY方向に沿って駆動されるようになっている。上記Yテーブル8にはθテーブル10が水平面上で回転可能に設けられ、上記Yテーブル8に設けられたθ駆動源10aによって回転方向に駆動されるようになっている。
そして、このθテーブル10の上面に上記パネル1が供給され、たとえば真空吸着などの手段によって移動不能に保持される。それによって、上記パネル1は上記パネルテーブル2によってXY及びθ方向に対して位置決め可能となっている。なお、θテーブル10はパネル1よりも小さく形成されている。それによって、パネル1は周辺部をθテーブル10の周辺部から突出させている。
上記インデックステーブル4は、中心に回転軸11が設けられ、この回転軸11はθ駆動源12によって図2に矢印Rで示す時計方向に所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるようになっている。この実施の形態では、上記インデックステーブル4は90度の回転角度で間欠駆動されるようになっている。
上記インデックステーブル4の上面には、90度間隔で4つの実装ヘッド14が設けられている。この実装ヘッド14は支持体15を有する。図1では2つの支持体15だけを示し、他の支持体15を省略している。この支持体15は側面形状がL字状をなしていて、その垂直面には取付け板16が板面を垂直にしての下端部が取付け固定されている。
上記取付け板16の前面の幅方向中央部にはリニアガイド17が上下方向に沿って設けられている。このリニアガイド17には実装ツール18が背面に設けられたガイド部材19をスライド可能に係合させて設けられている。
図6と図7に示すように、実装ツール18の下端には取付け板16の幅方向に沿って細長い吸着ノズル18aが設けられ、上端は上記取付け板16に取付けられたZ駆動源としてのシリンダ20のロッド20aに連結されている。上記吸着ノズル18aにはカートリッジ式のヒータ18bが幅方向に沿って埋設されている。ヒータ18bとしては、上記吸着ノズル18aを急速に温度上昇させることができるパルスヒート方式が用いられている。パルスヒート方式のヒータを用いることで、TCP3を後述する耐熱性の保護テープ101を介して吸着ノズル18aで吸着保持しても、急速加熱が可能であるため、TCP3をこがしたり、反らすのを防止できる。
図7に示すように、上記取付け板16の幅方向一端部には通気性及び耐熱性を備えた保護テープ101が巻装された供給リール102が回転可能に設けられ、他端部には供給リール102から繰り出された保護テープ101を所定長さずつ巻き取る巻き取りリール103が設けられている。この巻き取りリール103は図8に示すように上記取付け板16の背面に設けられた巻取りモータ104によって回転駆動されるようになっている。
上記保護テープ101の供給リール102と巻き取りリール103との間の部分は、上記実装ツール18の吸着ノズル18aの先端面に平行にわずかな間隔で離間対向するよう、一対のガイドローラ105によってガイドされている。
このように、保護テープ101と実装ツール18は同一の取付け板16に取付けられて一体的に移動できるようになっている。
なお、上記保護テープ101としては耐熱性の繊維をメッシュ状に編んだものやフッ素樹脂などの耐熱性を有するテープ状の樹脂に多数の微細な孔を形成したものなどが用いられている。
上記実装ツール18の吸着ノズル18aは、図2にAで示す受け取りポジションで後述する部品供給部21(図1に示す)から供給されたTCP3を吸着保持し、上記パネル1に実装するようになっている。なお、インデックステーブル4は上述した受け取りポジションAの他に、B〜Dで示す3つのポジション、つまり合計で4つのポジションを有する。
Bのポジションは、上記受け取りポジションAで実装ツール18に供給されてその吸着ノズル18aによって一端部の上面が吸着保持されたTCP3のその一端部の下面に設けられた端子部(図示せず)をブラシなどで洗浄する洗浄ポジション、Cのポジションは洗浄されたTCP3の端子部に図3に示すように離型テープ120に貼着された状態で所定長さに切断された異方性導電部材からなる粘着テープ119を後述するように貼着してから、その粘着テープ119から離型テープ120を剥離する貼着剥離ポジション、Dのポジションは端子部に粘着テープ119が貼着されたTCP3をパネル1の側辺部の上面に上記粘着テープ119を加熱溶融して実装、つまり本圧着するための実装ポジションである。
なお、粘着テープ119としては低温度硬化型のもの、たとえば150℃で溶融硬化する材料で作られたものを用いるようにすれば、本圧着時における粘着テープ119の溶融硬化の要するタクトタイムを短縮することが可能となる。
また、低温度でTCP3を加熱するので、TCP3が反ったり、変形するということが少ないから、後述するようにパネル1とTCP3を位置合わせして実装するときに、精度よく実装することができる。
上記部品供給部21は、図1に示すようにキヤリアテープ22から上記TCP3を打ち抜く金型23を有する。この金型23は上下方向に駆動される上型23aと、この上型23aに対向して固定的に配置された下型23bとを有する。上型23aにはポンチ24が設けられ、下型23bには上型23aが下降したときに上記ポンチ24が入り込む貫通孔25が設けられている。
上記キヤリアテープ22は上型23aと下型23bとの間に通され、上型23aが下降することで上記TCP3が打ち抜かれ、上昇したときに+Yで示す矢印方向に所定ピッチで送られて新たにTCP3が打ち抜き可能な状態となる。
上記下型23bの下方には受け具26が配置されている。この受け具26はXテーブル27に設けられたZθ駆動源28によって上下方向となるZ方向及び回転方向となるθ方向に駆動されるようになっている。上記Xテーブル27はYテーブル29に上記Y方向と直交するX方向に沿って移動可能に設けられている。このYテーブル29には上記Xテーブル27をX方向に沿って駆動するX駆動源31が設けられている。
上記Yテーブル29は図1に矢印で示すY方向に沿って配置されたベース32にY方向に沿って移動可能に設けられている。このベース32の一端には上記Yテーブル29をY方向に沿って駆動するY駆動源33が設けられている。このベース32の他端は上記インデックステーブル4の受け取りポジションAの下方に位置している。
上記金型23によってキヤリアテープ22から打ち抜かれたTCP3を受け具26が受けて下降すると、Yテーブル29がY駆動源33によってベース32の一端から他端へ駆動される。それによって、TCP3を保持した受け具26が図1に鎖線で示すようにインデックステーブル4の受け取りポジションAの下方に位置決めされる。
受け具26が受け取りポジションAの下方に位置決めされると、上記受け具26が上昇方向に駆動される。それによって、図6に鎖線で示すように上記実装ツール18の下端に設けられた吸着ノズル18aに、上記受け具26に保持されたTCP3の端子部が設けられた一端部の上面が上記吸着ノズル18aの下端面に対向して設けられた保護テープ101を介して吸着保持される。
なお、図6ではTCP3の一端部の下端面に粘着テープ119が貼着されているが、TCP3が受け取りポジションAに位置決めされた時点では上記粘着テープ119は貼着されていない。
上記吸着ノズル18aが受け取りポジションAでTCP3を吸着すると、インデックステーブル4が90度回転駆動され、その吸着ノズル18aが洗浄ポジションBに位置決めされる。洗浄ポジションBでは図示しないブラシによって吸着ノズル18aに吸着保持されたTCP3の端子部がブラッシングされる。それによって、端子部に付着した汚れが除去される。
洗浄ポジションBでTCP3の端子部の汚れが除去されると、インデックステーブル4は90度回転駆動される。それによって、上記TCP3は貼着剥離ポジションCに位置決めされる。貼着剥離ポジションCでは、図6に鎖線で示すように上記TCP3の端子部に所定長さに切断された粘着テープ119が貼着される。
上記貼着剥離ポジションCは、図3乃至図5に示すように貼着剥離ポジションCに位置決めされた実装ツール18の下方に対向する位置に、その吸着ノズル18aとほぼ同じ幅寸法の押圧ブロック34が設けられている。この押圧ブロック34にはヒータ34aが内蔵されている。
上記押圧ブロック34は軸線を垂直にして配置された駆動シリンダ35のロッド35aに取付けられ、図3に矢印で示す上下方向に駆動可能となっている。それによって、上記駆動シリンダ35が作動して上記ロッド35aが突出方向に駆動されると、上記押圧ブロック34が上記吸着ノズル18aに向かって上昇する。
上記押圧ブロック34の上面には、一方の面に上記粘着テープ119が貼着された離型テープ120が上記粘着テープ119を上に向けて一対のガイドローラ37によってガイドされて図3に矢印で示す方向に走行するようになっている。
上記粘着テープ119が貼着された離型テープ120は供給リール38から繰り出され、巻き取りリール39に巻き取られるようになっている。上記粘着テープ119は、上記押圧ブロック34の上面に対向する位置に搬送されてくる前に、図示しない切断機構によって所定長さに切断され、かつ所定長さに切断された粘着テープ119の隣り合う端部間に隙間119aができるよう、その端部間の部分が除去(中抜き)される。
粘着テープ119の所定長さに切断された部分が保護テープ101を介してTCP3の一端部を吸着保持した吸着ノズル18aの下方に位置決めされると、上記駆動シリンダ35が作動してそのロッド35aが突出方向に駆動され、ロッド35aに設けられた押圧ブロック34が離型テープ120の所定長さに切断された粘着テープ119が上面に貼着された部分の下面を押し上げながら上昇する。
それによって、図4に示すように、所定長さに切断された上記粘着テープ119が上記押圧ブロック34によって吸着ノズル18aに保護テープ101を介して吸着保持されたTCP3の一端部の下面に押圧ブロック34に内蔵されたヒータ34aによって加熱されながら貼着される。なお、上記ヒータ34aは粘着テープ119の粘度を高める温度で押圧ブロック34を加熱する。
上記押圧ブロック34は所定長さに切断された上記粘着テープ119をTCP3の一端部の下面に貼着する貼着手段を構成している。
そして、図5に示すように、粘着テープ119をTCP3に貼着した押圧ブロック34が元の位置まで下降すると、離型ローラ41が図示せぬ駆動機構によって離型テープ120を下方へ押圧する、つまり矢印−Zで示す下降方向に駆動されてから、矢印+Xで示すTCP3の幅方向一端から他端に向かって駆動される。それによって、上記TCP3に貼着された粘着テープ119から離型テープ120が剥離される。
なお、離型ローラ41はインデックステーブル4が回転したときに、実装ツール18にぶつからないようX方向と直交するY方向に退避駆動可能となっている。
TCP3に貼着された粘着テープ119から離型テープ120が剥離されると、インデックステーブル4が90度回転され、粘着テープ119が貼着されたTCP3が実装ポジションDに位置決めされる。実装ポジションDには、図2に示す撮像手段としての第1の撮像カメラ43と第2の撮像カメラ44が配置されている。
上記パネル1の上記TCP3が実装される部分には一対の第1の位置合わせマーク(図示せず)が所定間隔で設けられ、上記TCP3の端子が設けられた一端部の幅方向両端部には上記一対の第1の位置合わせマークと同じ間隔で一対の第2の位置合わせマーク(図示せず)が設けられている。
粘着テープ119が貼着されたTCP3が実装ポジションDに位置決めされると、パネル1は予めティーチングされた座標に基づき、TCP3が実装される部位が実装ポジションDに位置決めされたTCP3に接近するようパネルテーブル2によって仮位置決めされる。
TCP3に対してパネル1が仮位置決めされると、第1の撮像カメラ43が一方の第1の位置合わせマークと一方の第2の位置合わせマークを撮像する。同様に、第2の撮像カメラ44が他方の第1の位置合わせマークと他方第2の位置合わせマークを撮像する。
各撮像カメラ43,44の撮像信号は図9に示す画像処理装置45に出力され、ここで上記撮像信号がアナログ信号からデジタル信号に変換されて制御装置46に設けられた演算処理部47で処理される。
上記演算処理部47は、各一対の第1、第2の位置合わせマークのX、Y座標を算出し、算出された座標からパネル1とTCP3とのX、Y及びθ方向における位置ずれ量を算出する。
そして、演算処理部47の算出結果が駆動出力部48に出力されると、この駆動出力部48は上記パネルテーブル2をX、Y及びθ方向に駆動して、θテーブル10上のパネル1を、上記実装ポジションDに位置決めされたTCP3に対して位置決めする。つまり、パネル1に設けられた一対の第1の位置合わせマークに対してTCP3に設けられた一対の第2の位置合わせマークがそれぞれ一致するよう位置決めする。
そして、パネルテーブル2がX、Y及びθ方向に駆動されてパネル1がTCP3に対して位置決めされると、シリンダ20が作動して実装ツール18を下降方向に駆動する。それによって、実装ツール18の吸着ノズル18aに保護テープ101を介して吸着保持されたTCP3がパネル1に実装される。このとき、上記パネル1のTCP3が実装される部分の下面はバックアップツール49によって支持される。
実装ツール18を下降方向に駆動されてTCP3をパネル1に加圧実装するとき、上記吸着ノズル18aに設けられたパルス式のヒータ18bに通電される。それによって、上記吸着ノズル18aは急速に粘着テープ119を溶融硬化させる温度、この実施の形態では150℃に加熱される。
そのため、TCP3の下面に貼着された粘着テープ119は、上記ヒータ18bによって加熱されて溶融し、その温度が150℃に達すると硬化するから、上記TCP3を上記パネル1に実装、つまり本圧着することができる。
しかも、実装時、上記実装ツール18の吸着ノズル18aは保護テープ101を介してTCP3を加圧加熱している。そのため、粘着テープ119が加熱されて溶融しても、実装ツール18とTCP3との間に介在する保護テープ101によって溶融した粘着テープ119が上記実装ツール18に設けられた吸着ノズル18aの先端面に付着するのが阻止されるから、吸着ノズル18aが溶融物によって汚されるのが防止される。
つまり、粘着テープ119を溶融させてTCP3を実装する本圧着を行っても、吸着ノズル18aに溶融物が付着して汚れるのが保護テープ101によって阻止されるから、パネル1に対してTCP3を1つずつ本圧着する実装を、繰り返して行なうことが可能となる。
言い換えれば、吸着ノズル18aに保護テープ101を介してTCP3を吸着保持することができるようにしたため、従来のようにTCP3の実装を、仮圧着をしてから本圧着するということをせず、仮圧着を行わずに直ちに本圧着することが可能となる。そのため、実装に要する装置の簡略化やそれに伴う設置スペースの効率化、さらには実装に要するタクトタイムの短縮などを図ることが可能となる。
また、本圧着時にTCP3の加熱をパルス式のヒータ34aで行うようにした。そのため、パネル1とTCP3を位置合わせした後で加熱するので、TCP3を精度よく実装することができる。また、加熱温度も低温度であるから、TCP3の反りを少なくできるから、そのことによっても実装精度を向上させることができる。
上記一実施の形態ではインデックステーブルを用いて部品供給部から供給されたTCPをパネルに実装するようにしたが、実装ツール及び保護テープが設けられた実装ヘッドをX及びY方向に駆動できるように設け、上記実装ツールが保護テープを介してTCPを吸着保持したならば、上記実装ヘッドをX、Y方向に駆動してTCPの一端部下面に粘着テープを貼着し、ついでそのTCPをパネルに実装するよう位置決めして行うようにしてもよい。
この発明の一実施の形態を示す実装装置の概略的構成図。 インデックステーブルとパネルテーブルを示す平面図。 TCPに所定長さに切断された粘着テープを貼着する貼着剥離ポジションを示す構成図。 貼着剥離ポジションでTCPに粘着テープを貼着するときの説明図。 TCPに貼着された粘着テープから離型テープを剥離するときの説明図。 実装ヘッドの側面図。 実装ヘッドの正面図。 実装ヘッドに設けられた巻取りリールの部分の側面図。 制御系統のブロック図。
符号の説明
1…パネル(基板)、3…TCP(電子部品)、4…インデックステーブル、14…実装ヘッド、18…実装ツール、18a…吸着ノズル、34…押圧ブロック(貼着手段)、21…部品供給部、101…保護テープ、102…供給リール、119…粘着テープ、120…離型テープ、103…巻き取りリール。

Claims (4)

  1. 加熱することで溶融硬化する熱硬化性の粘着テープによって電子部品を基板に圧着する電子部品の実装装置であって、
    周方向に所定角度ずつ回転駆動されるインデックステーブルと、
    このインデックステーブルに周方向に所定間隔で設けられ一端部の下面に上記粘着テープが貼着される上記電子部品の一端部の上面を吸着保持する実装ツールが上下方向に駆動可能に設けられた複数の実装ヘッドと、
    この実装ヘッドに設けられ上記実装ツールが上記電子部品の一端部の上面を吸着保持するときに上記実装ツールと電子部品の間に介在し上記粘着テープが加熱されて溶融したときに発生する溶融物が上記実装ツールに付着するのを防止する通気性を備えた保護テープと、
    上記実装ツールに設けられこの実装ツールに吸着保持された上記電子部品を上記基板に実装するときに上記保護テープを介して上記粘着テープを加熱溶融するヒータを具備し、
    上記実装ヘッドは、
    上記実装ツールが設けられた取付け板と、
    上記保護テープが巻装され上記取付け板の上記実装ツールの一端側に設けられた供給リールと、
    上記取付け板の上記実装ツールの他端側に設けられ上記供給リールから繰り出されて上記実装ツールの下端面に対向する位置を通過した上記保護テープを巻き取る巻き取りリールを備え、
    上記インデックステーブルの回転によって上記実装ヘッドの実装ツールと、上記保護テープの供給リール及び巻取りリールが一体的に移動することを特徴とする電子部品の実装装置。
  2. 上記実装ツールにはパルスヒート方式のヒータが設けられていることを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。
  3. キヤリアテープから上記電子部品を打ち抜いて上記実装ツールに供給する部品供給手段と、
    この部品供給手段によって上記実装ツールに供給されて一端部の上面が吸着保持された上記電子部品の一端部下面に上記粘着テープを貼着する貼着手段と
    を備えていることを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。
  4. 記部品供給手段と上記貼着手段は上記インデックステーブルによって位置決めされる上記実装ツールと対向する位置に設けられていることを特徴とする請求項3記載の電子部品の実装装置。
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