JP5336153B2 - 電子部品の実装装置及び実装方法 - Google Patents

Description

この発明は基板としてのたとえば液晶表示装置に用いられるガラス製のパネルに、電子部品としてのたとえばＴＣＰ（Tape Carrier Package）を実装する電子部品の実装装置及び実装方法に関する。

たとえば、液晶表示装置を製造する場合、基板としての上記パネルに、電子部品としての上記ＴＣＰを実装するための実装装置が用いられる。上記ＴＣＰは金型によってキヤリアテープから打ち抜かれた後、所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルに供給される。このインデックステーブルには１回当たりの回転角度に応じた間隔で周方向に複数の吸着ヘッドが設けられている。そして、上記金型によって打ち抜かれたＴＣＰは複数の吸着ヘッドに順次供給される。

上記パネルはＸＹテーブルに位置決め載置されていて、このＸＹテーブルによってＸＹ方向に駆動されるようになっている。上記インデックステーブルの実装ポジションにおいて、上記ＴＣＰに設けられた位置合わせマークと、上記パネルに設けられた位置合わせマークとが撮像カメラによって撮像され、その撮像信号が画像処理部で処理される。そして、画像処理部での処理に基いて、上記ＴＣＰの位置合わせマークに上記パネルの位置合わせマークが一致するよう、上記ＸＹテーブルの駆動が制御されて上記パネルが位置決めされるようになっている。

上記ＴＣＰに対して上記パネルが位置決めされると、そのＴＣＰを吸着保持した吸着ヘッドが下降方向に駆動され、上記パネルに設けられた異方性導電部材からなる粘着テープに加圧して貼着する。このとき、上記粘着テープは加熱されて溶融硬化し、上記ＴＣＰが上記パネルに固着される。つまり、ＴＣＰを実装するようになっている。インデックステーブルを用いて基板にＴＣＰを実装する従来の実装装置は、たとえば特許文献１に開示されている。

ところで、特許文献１に開示された実装装置においては、基板にＴＣＰを実装するための粘着テープを、上記基板の一側の長手方向全長にわたって貼着し、そこに上記ＴＣＰを所定間隔で実装するようにしている。

そのため、粘着テープは、パネルに所定間隔で貼着されたＴＣＰの間に位置する部分がＴＣＰの実装に必要のない部分となるから、その部分が無駄になり、コスト上昇につながるということがある。

そこで、最近では基板に粘着テープを貼着せず、ＴＣＰに、このＴＣＰの幅寸法に対応する長さで粘着テープを貼着することで、粘着テープの無駄をなくすということが考えられている。

その場合、離型テープに貼着された粘着テープをＴＣＰの幅寸法に対応する長さで切断し、その粘着テープを上にして離型テープとともに押し上げ、インデックステーブルの吸着ヘッドに保持されたＴＣＰに貼着した後、その粘着テープの下面から離型テープを剥離する。そして、粘着テープの離型テープが剥離された面を基板に貼着することで、上記ＴＣＰを基板に実装することになる。

特許文献２には、離型テープに一側面が貼着された粘着テープの他側面を基板の一側の長手方向全長にわたって貼着してから、上記離型テープをローラユニットによって剥離することが示されている。

そして、従来、インデックステーブルの吸着ヘッドに保持された電子部品に貼着された粘着テープから離型テープを剥離する場合、特許文献２に示されるローラユニットを用いるようにしていた。
特開２００２−３０５３９８号 特開２００１−２９４３６１号

インデックステーブルの吸着ヘッドに保持されたＴＣＰに貼着された粘着テープから離型テープを剥離するためにローラユニットを用いる場合、上記ローラユニットに上下方向及び水平方向に所定間隔で離間して設けられた一対のローラに上記離型テープを係合させる。

そして、このローラユニットをＴＣＰに貼着された粘着テープに沿って駆動することで、一対のローラによって上記離型テープをＴＣＰに貼着された粘着テープから引き剥がす方向に付勢し、この離型テープを上記粘着テープから剥離するようにしている。

したがって、このような構成によると、ローラユニットやこのローラユニットを駆動する駆動手段が必要となるから、構成の複雑化及びコストの上昇を招くということがある。しかも、ローラユニットによって離型テープを剥離する間はインデックステーブルを回転させることができない。つまり、離型テープを剥離するためには専用の作業時間が必要となるから、そのことによって生産性の低下を招くということもある。

この発明は、簡単な構成で、しかも専用の作業時間を必要とせずに、インデックステーブルの吸着ヘッドに保持された電子部品に貼着された粘着テープから離型テープを剥離することができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。

この発明は、基板に電子部品を実装する実装装置であって、
上記電子部品を吸着保持する複数の吸着ヘッドが周方向に所定間隔で設けられたインデックステーブルと、
このインデックステーブルを回転駆動し、上記吸着ヘッドを上記電子部品を受ける受け取りポジション、受け取りポジションで受けた電子部品に一方の面に離型テープが貼着されて所定長さに切断された粘着テープの他方の面を貼着して上記一方の面から上記離型テープを剥離する貼着剥離ポジション及び離型テープが剥離された粘着テープの一方の面によって上記電子部品を上記基板に実装する実装ポジションのそれぞれに順次位置決めする駆動手段と、
上記粘着テープが貼着された上記離型テープを繰り出す供給手段及び上記貼着剥離ポジションで上記粘着テープが上記電子部品に貼着されて除去される上記離型テープを送る送り手段と、
上記貼着剥離ポジションで上記離型テープに係合し巻き取り手段によって巻き取られる上記離型テープの走行方向を上記電子部品に貼着された粘着テープから剥離する方向に変換する係合部材と、
上記送り手段が上記離型テープを送るときにその送りと上記駆動手段による上記インデックステーブルの回転駆動を同期させることで上記離型テープを上記係合部材によって上記粘着テープから剥離させる制御手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。

上記送り手段は上記離型テープを挟持して所定方向に牽引する牽引機構であって、
上記制御手段は上記インデックステーブルの回転駆動に上記牽引機構の牽引動作を同期させることが好ましい。

上記供給手段から繰り出されて牽引機構によって牽引される離型テープの走行方向は上記インデックステーブルの接線方向に設定されていて、
上記貼着剥離ポジションで上記離型テープから上記粘着テープが上記電子部品に貼着された後、上記インデックステーブルの回転と上記離型テープの走行によってこの離型テープが幅方向に捩じられながら上記電子部品に貼着された粘着テープの幅方向の一端から剥離されることが好ましい。

上記電子部品は上記吸着ヘッドによって水平に保持され、
上記離型テープは上記係合部材によって下方に方向変換されて上記牽引手段によって牽引されることが好ましい。

この発明は、基板に電子部品を実装する実装方法であって、
インデックステーブルの周方向に所定間隔で設けられた複数の吸着ヘッドに上記電子部品を吸着保持する工程と、
上記インデックステーブルを回転駆動し、上記吸着ヘッドを上記電子部品を受ける受け取りポジション、受け取りポジションで受けた電子部品に一方の面に離型テープが貼着されて所定長さに切断された粘着テープの他方の面を貼着して上記一方の面から上記離型テープを剥離する貼着剥離ポジション及び離型テープが剥離された粘着テープの一方の面によって上記電子部品を上記基板に実装する実装ポジションのそれぞれに順次位置決めする工程と、
上記貼着剥離ポジションで上記電子部品に上記粘着テープを貼着してから上記インデックステーブルを回転駆動させるとき、このインデックステーブルの回転に同期させて上記離型テープを上記電子部品に貼着された粘着テープから離反する方向に牽引する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。

上記貼着剥離ポジションで上記離型テープから上記粘着テープが上記電子部品に貼着されるまでは上記離型テープを上記インデックステーブルの接線方向に沿って走行させ、上記粘着テープが上記電子部品に貼着された後、上記離型テープを上記吸着ヘッドに保持された電子部品から離反する下方に向かって牽引することが好ましい。

この発明によれば、貼着剥離ポジションにおいて、インデックステーブルの回転に同期させて離型テープを電子部品に貼着された粘着テープから離反する方向に走行させるようにした。

そのため、電子部品に貼着された粘着テープからの離型テープの剥離を、インデックステーブルの回転駆動とともに行なうことができるから、その剥離作業を比較的簡単に、しかも専用の作業時間を必要とせずに行なうことができる。

以下、この発明の実施の形態を図面を参照して説明する。
図１はこの発明の一実施の形態の電子部品の実装装置の全体構成を示す概略図である。この実装装置は基板としてのたとえば液晶表示装置用のパネル１を搬送する第１の搬送手段であるパネルテーブル２と、電子部品としてのＴＣＰ３を搬送する第２の搬送手段としてのインデックステーブル４を有する。

上記パネルテーブル２はベース５上にＸ方向（図１の紙面に直交する方向）に沿って移動可能に設けられたＸテーブル６を有する。このＸテーブル６は、上記ベース５に設けられた第１のＸ駆動源７によって上記ベース５上をＸ方向に沿って駆動されるようになっている。

上記Ｘテーブル６にはＸ方向と直交するＹ方向（矢印で示す）に沿って移動可能なＹテーブル８が設けられている。このＹテーブル８は上記Ｘテーブル６に設けられた第１のＹ駆動源９によってＹ方向に沿って駆動される。上記Ｙテーブル８にはθテーブル１０が回転方向に移動可能に設けられ、上記Ｙテーブル８に設けられたθ駆動源１０ａによって回転方向に駆動されるようになっている。

そして、上記θテーブル１０の上面に上記パネル１が供給され、たとえば真空吸着などの手段によって保持される。それによって、上記パネル１は上記パネルテーブル２によってＸＹ及びθ方向に対して位置決め可能となっている。なお、θテーブル１０はパネル１よりも小さく形成されている。そのため、パネル１は周辺部をθテーブル１０の周辺部から外方へ突出させている。

上記インデックステーブル４は、中心に回転軸１１が設けられ、この回転軸１１は駆動手段としての第１の回転駆動源１２によって図２に矢印Ｒで示す時計方向に所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるようになっている。この実施の形態では、上記インデックステーブル４は９０度の回転角度で間欠駆動されるようになっている。

上記インデックステーブル４の上面には、９０度間隔で４つの支持体１３が設けられている。図１では２つの支持体１３だけを図示し、他の支持体１３を省略している。この支持体１３は側面形状がＬ字状をなしていて、その垂直面には可動体１４がリニアガイド１５によって垂直方向に移動可能に支持されている。

図１に示すように、上記支持体１３の上端にはブラケット１６が設けられ、このブラケット１６には実装シリンダ１７が軸線を垂直にし、かつロッド１７ａの先端を上記可動体１４の上端に連結して設けられている。なお、図２においては上記実装シリンダ１７の図示を省略している。

各可動体１４の下端面には実装手段として側面形状がＬ字状の吸着ヘッド１８が設けられている。この吸着ヘッド１８は、図２にＡで示す受け取りポジションで後述する部品供給部２１から供給されたＴＣＰ３を吸着保持し、上記パネル１に実装するようになっている。なお、インデックステーブル４は上述した受け取りポジションＡの他に、Ｂ〜Ｄで示す３つのポジション、つまり合計で４つのポジションを有する。

Ｂは受け取りポジションＡで吸着ヘッド１８に供給されたＴＣＰ３の端子部をブラシ（ともに図示せず）で洗浄する洗浄ポジション、Ｃは洗浄されたＴＣＰ３の端子部に図３に示すように離型テープ２０に貼着された状態で所定長さに切断された異方性導電部材からなる粘着テープ１９を後述するように貼着してから、その粘着テープ１９から離型テープ２０を剥離する貼着剥離ポジション、Ｄは端子部に粘着テープ１９が貼着されたＴＣＰ３をパネル１の側辺部の上面に上記粘着テープ１９によって実装するための実装ポジションである。

上記部品供給部２１は、図１に示すようにキヤリアテープ２２から上記ＴＣＰ３を打ち抜く金型２３を有する。この金型２３は上下方向に駆動される上型２３ａと、この上型２３ａに対向して固定的に配置された下型２３ｂとを有し、上型２３ａにはポンチ２４が設けられ、下型２３ｂには上型２３ａが下降したときに上記ポンチ２４が入り込む貫通孔２５が設けられている。

上記キヤリアテープ２２は上型２３ａと下型２３ｂとの間に通され、上型２３ａが下降することで上記ＴＣＰ３が打ち抜かれ、上昇したときに＋Ｙで示す矢印方向に所定ピッチで送られて新たにＴＣＰ３が打ち抜き可能な状態となる。

上記下型２３ｂの下方には受け具２６が配置されている。この受け具２６はＸテーブル２７に設けられたＺθ駆動源２８によって上下方向となるＺ方向及び回転方向となるθ方向に駆動されるようになっている。上記Ｘテーブル２７はＹテーブル２９に上記Ｙ方向と直交するＸ方向に沿って移動可能に設けられている。このＹテーブル２９には上記Ｘテーブル２７をＸ方向に沿って駆動する第２のＸ駆動源３１が設けられている。

上記Ｙテーブル２９は図１に矢印で示すＹ方向に沿って配置されたベース３２にＹ方向に沿って移動可能に設けられている。このベース３２の一端には上記Ｙテーブル２９をＹ方向に沿って駆動する第２のＹ駆動源３３が設けられている。上記ベース３２の他端は上記インデックステーブル４の受け取りポジションＡの下方に位置している。

上記金型２３によってキヤリアテープ２２から打ち抜かれたＴＣＰ３を受け具２６が受けて下降すると、Ｙテーブル２９が第２のＹ駆動源３３によってベース３２の一端から他端へ駆動される。それによって、ＴＣＰ３を保持した受け具２６が図１に鎖線で示すようにインデックステーブル４の受け取りポジションＡの下方に位置決めされる。

受け具２６が受け取りポジションＡの下方に位置決めされると、上記受け具２６が上昇方向に駆動され、可動体１４の下端に設けられた吸着ヘッド１８によって上記受け具２６に保持されたＴＣＰ３の端子部が設けられた一端部の上面を吸着する。

吸着ヘッド１８が受け取りポジションＡでＴＣＰ３を吸着すると、インデックステーブル４が９０度回転駆動され、その吸着ヘッド１８が洗浄ポジションＢに位置決めされる。洗浄ポジションＢでは図示しないブラシによって吸着ヘッド１８に吸着保持されたＴＣＰ３の端子部がブラッシングされる。それによって、端子部に付着した汚れが除去される。

洗浄ポジションＢでＴＣＰ３の汚れが除去されると、インデックステーブル４は９０度回転駆動されて上記ＴＣＰ３は貼着剥離ポジションＣに位置決めされる。貼着剥離ポジションＣでは、上記ＴＣＰ３の端子部に所定長さに切断された粘着テープ１９を貼着する。

上記貼着剥離ポジションＣは、図３と図６に示すように貼着剥離ポジションＣに位置決めされた吸着ヘッド１８の下方に対向してこの吸着ヘッド１８とほぼ同じ大きさの押圧ブロック３４が設けられている。この押圧ブロック３４には上記ＴＣＰ３に貼着される粘着テープ１９を加熱するためのヒータ３４ａが内蔵されている。

上記押圧ブロック３４は軸線を垂直にして配置された駆動シリンダ３５のロッド３５ａに取付けられ、図３に矢印Ｚで示す上下方向に駆動可能となっている。それによって、上記駆動シリンダ３５が作動して上記ロッド３５ａが突出方向に駆動されると、上記押圧ブロック３４が上記吸着ヘッド１８に向かって上昇する。

上記押圧ブロック３４の上面側には、一方の面に上記粘着テープ１９が貼着された上記離型テープ２０が上記粘着テープ１９を上に向けて供給手段としての供給リール３８から繰り出される。供給リール３８から繰り出された離型テープ２０は第１乃至第４のガイドローラ４１〜４４にガイドされて巻き取りリール４５に巻き取られるようになっている。

上記第４のガイドローラ４４と上記巻き取りリール４５の間には、離型テープ２０を挟持して上記巻き取りリール４５に巻き取られる方向に所定長さづつ間欠的に牽引する牽引機構としての一対の挟持片４７ａからなるチャック４７が設けられている。このチャック４７は牽引駆動源５２によって開閉及び図３に実線で示す位置と鎖線で示す位置との間で上下方向に直線駆動されるようになっている。

上記巻き取りリール４５と上記チャック４７とで上記離型テープ２０を送るための送り手段を構成している。

上記供給リール３８から繰り出された離型テープ２０は、第１のガイドローラ４１と第２のガイドローラ４２によってガイドされて粘着テープ１９が貼着された面が上を向くよう上記吸着ヘッド１８の下端面と平行に、しかも図４に示すように上記インデックステーブル４の接線方向に沿って走行する。ついで、上記離型テープ２０は上記第２のガイドローラ４２によって垂直方向下方に向かって走行するよう方向変換される。

つまり、第２のガイドローラ４２は、上記貼着剥離ポジションＣで上記離型テープ２０に係合し、この離型テープ２０が上記チャック４７によって牽引されるとともに、その牽引長さに応じて上記巻き取りリール４５によって巻き取られることで、この離型テープ２０の走行方向を上記粘着テープ１９から離反する方向に変換する。

すなわち、上記第２のガイドローラ４２は、上記ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９の、上記インデックステーブル４の回転方向先端側に位置する端部で、上記離型テープ２０との係合によってこの離型テープ２０の走行方向を上記粘着テープ１９から剥離する方向に変換する係合部材として作用するようになっている。

上記第２のガイドローラ４２によって垂直方向下方へガイドされた離型テープ２０は第３のガイドローラ４３によって水平に方向変換された後、第４のガイドローラ４４によって垂直方向下方へガイドされて上記巻き取りリール４５に巻き取られる。この巻き取りリール４５は第２の回転駆動源５１によって回転駆動されるようになっている。

上記第１の回転駆動源１２、第２の回転駆動源５１及び上記牽引駆動源５２は、上記押圧ブロック３４が上昇方向に駆動されて吸着ヘッド１８に吸着保持された上記ＴＣＰ３に粘着テープ１９の一側面が貼着された後、上記押圧ブロック３４が所定の位置まで下降したときに、図８に示す制御装置５３によって同期して駆動される。

すなわち、上記制御装置５３は、第１の回転駆動源１２を作動させてインデックステーブル４を所定の角度で回転する。それと同時に、牽引駆動源５２を作動させてチャック４７によって離型テープ２０を所定の長さだけ下方へ牽引するとともに、第２の回転駆動源５１を作動させて巻き取りリール４５に離型テープ２０を上記チャック４７によって牽引された長さ分だけ巻き取らせる。

上記制御装置５３は、図８に示すように上述した第１のＸ駆動源７、第１のＹ駆動源９、実装シリンダ１７、Ｚθ駆動源２８、第２のＸ駆動源３１、第２のＹ駆動源３３及び駆動シリンダ３５の駆動を予め設定されたタイミングで制御するようになっている。

上記ＴＣＰ３に一側面が貼着された上記粘着テープ１９の他側面に貼着された離型テープ２０の、上記インデックステーブル４の回転方向先端側に位置する端部は、第２のガイドローラ４２との係合によって上述したように上記粘着テープ１９から離反する方向に走行方向が変換される。

そのため、制御装置５３によって上記第１の回転駆動源１２、第２の回転駆動源５１及び牽引駆動源５２が同期して駆動されると、上記インデックステーブル４の回転駆動に同期して上記チャック４７の一対の挟持片４７ａが閉じられ、このチャック４７が図３に実線で示す位置から鎖線で示す位置に駆動されて、上記離型テープ２０が上記チャック４７によって上記巻き取りリール４５に巻き取られる方向に牽引され、その分が上記巻き取りリール４５によって巻き取られる。それによって、上記離型テープ２０が上記粘着テープ１９から剥離されることになる。

しかも、上記離型テープ２０が牽引されて上記粘着テープ１９から剥離される際、それに同期して上記インデックステーブル４は図４に示す位置から図５に矢印θで示す方向に回転駆動される。なお、図６は上記インデックステーブル４が回転した状態を示す側面図である。

このように、上記離型テープ２０がチャック４７によって牽引される際、上記インデックステーブル４が回転すると、吸着ヘッド１８に保持されたＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９は図５にθで示すインデックステーブル４の回転方向に進むのに対して、離型テープ２０はインデックステーブル４の回転方向θと異なる方向である、同図にＡで示すインデックステーブル４の接線方向に走行する。

そのため、離型テープ２０の上記粘着テープ１９からの剥離はＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９に対してひねられながら進行する。つまり、上記離型テープ２０の上記粘着テープ１９からの剥離は、この粘着テープ１９の幅方向において、上記インデックステーブル４の径方向内側に位置する一端から開始される。

つまり、粘着テープ１９からの離型テープ２０の剥離は、離型テープ２０がＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９に対してひねられることで、図７にＬ１で示す粘着テープ１９の幅方向に直交する直線に対し、粘着テープ１９の幅方向に対して角度αで傾斜した直線Ｌ２に沿って進行する。つまり、同図にＥ１で示す粘着テープ１９の幅方向の一端からＥ２で示す幅方向他端に向かって進行する。

しかも、上記角度αはインデックステーブル４の回転に伴って大きくなるから、その角度αの増加に伴って離型テープ２０の粘着テープ１９に対するひねり度合も大きくなる。

それによって、離型テープ２０の剥離が粘着テープ１９の幅方向に対して直交する直線Ｌ１に沿う全域で同時に進行する場合に比べ、その剥離が容易かつ確実に行なわれるから、ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９に無理な力が加わって、粘着テープ１９がＴＣＰ３から剥がれたり、ＴＣＰ３が変形するなどのことが防止される。

しかも、ＴＣＰ３は吸着ヘッド１８によって水平に保持され、上記離型テープ２０は第２のガイドローラ４２によって上記ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９に対して直交する下方に方向変換されて牽引される。

そのため、離型テープ２０に加わる牽引力が粘着テープ１９との貼着部位に確実に、しかも効率よく作用することになるから、そのことによっても離型テープ２０の剥離を確実に行なうことが可能となる。

このように、ＴＣＰ３に貼着された粘着テープ１９から離型テープ２０を剥離する際、第２のガイドローラ４２によって走行方向が変換された離型テープ２０をチャック４７によって牽引しながら、巻き取りリール４５によって巻き取るとともに、その牽引及び巻き取りに同期させてインデックステーブル４を回転させて離型テープ２０を粘着テープ１９から剥離するようにした。

そのため、離型テープ２０を剥離するために専用の駆動機構、たとえば第２のガイドローラ４２を駆動させるようなことをせずに、粘着テープ１９から離型テープ２０を剥離することができるから、装置全体の構成の簡略化及びそれによるコストの低減を図ることができる。

しかも、インデックステーブル４の回転駆動と同時に、上記離型テープ２０の剥離を行なうことができる。つまり、インデックステーブル４の回転駆動による作業の進行と同時に離型テープ２０の剥離を行うことができる。そのため、離型テープ２０の剥離のめに専用の作業時間を必要としないから、タクトタイムを短縮することができるということもある。

なお、上記一実施の形態では粘着テープから離型テープを剥離する際、離型テープを牽引しながら送る送り手段を、巻き取りリールと牽引機構であるチャックとで構成したが、巻き取りリールをなくし、チャックだけによって離型テープを牽引して走行させるようにしてもよい。その場合、チャックによって牽引走行させられた離型テープは、たとえば回収ボックスなどに捨てるようにすればよい。

この発明の一実施の形態を示す実装装置の概略的構成図。 インデックステーブルとパネルテーブルを示す平面図。 貼着剥離ポジションの構成を示す側面図。 貼着剥離ポジションにおいて、離型テープの剥離を開始する前の状態を示す平面図。 貼着剥離ポジションにおいて、インデックステーブルを回転させながら離型テープの剥離しているときの状態を示す平面図。 同じく離型テープを剥離しているときの状態を示す側面図。 ＴＣＰに貼着された粘着テープから離型テープが剥離されるときの状態を説明した模式図。 制御系統のブロック図。

符号の説明

１…パネル（基板）、３…ＴＣＰ（電子部品）、４…インデックステーブル、１２…第１の回転駆動源（駆動手段）、１８…吸着ヘッド、１９…粘着テープ、２０…離型テープ、３８…供給リール（供給手段）、４２…第２のガイドローラ（係合部材）、４５…巻き取りリール（送り手段）、４７…チャック（送り手段）、５１…第２の回転駆動源（送り手段）、５２…牽引駆動源、５３…制御装置。

Claims (6)

1. 基板に電子部品を実装する実装装置であって、
   上記電子部品を吸着保持する複数の吸着ヘッドが周方向に所定間隔で設けられたインデックステーブルと、
   このインデックステーブルを回転駆動し、上記吸着ヘッドを上記電子部品を受ける受け取りポジション、受け取りポジションで受けた電子部品に一方の面に離型テープが貼着されて所定長さに切断された粘着テープの他方の面を貼着して上記一方の面から上記離型テープを剥離する貼着剥離ポジション及び離型テープが剥離された粘着テープの一方の面によって上記電子部品を上記基板に実装する実装ポジションのそれぞれに順次位置決めする駆動手段と、
   上記粘着テープが貼着された上記離型テープを繰り出す供給手段及び上記貼着剥離ポジションで上記粘着テープが上記電子部品に貼着されて除去される上記離型テープを送る送り手段と、
   上記貼着剥離ポジションで上記離型テープに係合し巻き取り手段によって巻き取られる上記離型テープの走行方向を上記電子部品に貼着された粘着テープから剥離する方向に変換する係合部材と、
   上記送り手段が上記離型テープを送るときにその送りと上記駆動手段による上記インデックステーブルの回転駆動を同期させることで上記離型テープを上記係合部材によって上記粘着テープから剥離させる制御手段と
   を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。
2. 上記送り手段は上記離型テープを挟持して所定方向に牽引する牽引機構であって、
   上記制御手段は上記インデックステーブルの回転駆動に上記牽引機構の牽引動作を同期させることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
3. 上記供給手段から繰り出されて牽引機構によって牽引される離型テープの走行方向は上記インデックステーブルの接線方向に設定されていて、
   上記貼着剥離ポジションで上記離型テープから上記粘着テープが上記電子部品に貼着された後、上記インデックステーブルの回転と上記離型テープの走行によってこの離型テープが幅方向に捩じられながら上記電子部品に貼着された粘着テープの幅方向の一端から剥離されることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
4. 上記電子部品は上記吸着ヘッドによって水平に保持され、
   上記離型テープは上記係合部材によって下方に方向変換されて上記牽引手段によって牽引されることを特徴とする請求項３記載の電子部品の実装装置。
5. 基板に電子部品を実装する実装方法であって、
   インデックステーブルの周方向に所定間隔で設けられた複数の吸着ヘッドに上記電子部品を吸着保持する工程と、
   上記インデックステーブルを回転駆動し、上記吸着ヘッドを上記電子部品を受ける受け取りポジション、受け取りポジションで受けた電子部品に一方の面に離型テープが貼着されて所定長さに切断された粘着テープの他方の面を貼着して上記一方の面から上記離型テープを剥離する貼着剥離ポジション及び離型テープが剥離された粘着テープの一方の面によって上記電子部品を上記基板に実装する実装ポジションのそれぞれに順次位置決めする工程と、
   上記貼着剥離ポジションで上記電子部品に上記粘着テープを貼着してから上記インデックステーブルを回転駆動させるとき、このインデックステーブルの回転に同期させて上記離型テープを上記電子部品に貼着された粘着テープから離反する方向に牽引する工程と
   を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。
6. 上記貼着剥離ポジションで上記離型テープから上記粘着テープが上記電子部品に貼着されるまでは上記離型テープを上記インデックステーブルの接線方向に沿って走行させ、上記粘着テープが上記電子部品に貼着された後、上記離型テープを上記吸着ヘッドに保持された電子部品から離反する下方に向かって牽引することを特徴とする請求項５記載の電子部品の実装方法。

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