JP2012004336A - テープ貼付け装置およびテープ貼付け方法 - Google Patents

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真五 山田
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Abstract

【課題】導電テープの無駄を排除しつつテープ剥離動作を効率良く行って、生産性を向上させることができるテープ貼付け装置およびテープ貼付け方法を提供することを目的とする。
【解決手段】テープ部材4を個片導電テープ4b*に切断して基板20の側縁部20aに形成された複数の貼付け部位に貼付けるテープ貼付方法において、第1の押圧位置P1の貼付け部位に個片導電テープ4b*を貼付ける貼付け工程と、圧着ヘッド15と剥離部17とを一体的に基板20に対して相対移動させながらテープ送り機構を駆動してテープ部材4の送り動作を行うことにより圧着ヘッド15を第2の圧着位置P2の貼付け部位に位置合わせするとともに、この相対移動過程において剥離部17によって第1の押圧位置P1に貼付けられたテープ部材4からセパレータ4aを剥離する移動工程とを反復して実行する。
【選択図】図5

Description

本発明は、表示パネルなどの基板に部品を実装するためのテープを貼付けるテープ貼付け装置およびテープ貼付け方法に関するものである。
表示パネル(以下、基板と称す)の側縁部に、IC、TCP(Tape Carrier Package)、COF(Chip on Film)、FPC(Flexible Printed Circuit)等の部品を実装する部品実装においては、部品の搭載動作に先立って導電粒子を含んだ接着剤としての異方性導電テープ(Anisotropic Conductive Film:ACF)(以下、導電テープと称す)を基板の側縁部に設けられた電極部に貼付けるテープ貼付け作業が実行される。
このテープ貼付け作業は、導電テープをセパレータと呼ばれる保護テープに積層したテープ部材を、貼付けユニットの押圧体により基板の側縁部に押圧することにより行われ、これにより電極部に対して導電テープが貼付けられる。そして貼付け後には、導電テープからセパレータを剥離する剥離工程が実行される(例えば特許文献1参照)。この特許文献に示す先行技術においては、貼付けられた導電テープとセパレータとの間に介在する剥離部材を水平方向に移動させることにより、セパレータのみを剥離するようにしている。
特開2001−294361号公報
近年テレビの大画面化に伴い、この用途に使用される表示パネルのサイズは縦横とも大型化する傾向にある。このため、このような大型の表示パネルの組立て作業において上述の導電テープが貼付けられる範囲も増大する。ところが表示パネルにおいては、部品を接続する電極部は必ずしも表示パネルの側縁部の全範囲には形成されず、所定長さの電極部が間隔を置いて飛び飛びで形成される場合が多い。このような表示パネルを導電テープの貼付け対象とする場合には、側縁部の全範囲に一繋ぎの導電テープを貼付けると、本来不必要な範囲にまで導電テープを貼付けることとなり、資材の無駄を生じる。
このような無駄を排除するためには、表示パネルの側縁部において電極部が形成された部品接続範囲のみを導電テープの貼付け対象とすればよい。しかしながら、このようなテープ貼付け形態を採用する場合には、テープ貼付けの後テープ剥離する動作を複数回反復する必要があることから、全体の作業タクトタイムが遅延することが避けがたく、生産性が低下するという課題がある。このため、導電テープの無駄を排除しつつテープ剥離動作の作業効率を改善することが望まれていた。
そこで本発明は、導電テープの無駄を排除しつつテープ剥離動作を効率良く行って、生産性を向上させることができるテープ貼付け装置およびテープ貼付け方法を提供することを目的とする。
本発明のテープ貼付け装置は、異方性導電テープを所定の貼付長さの個片導電テープに切断して基板の側縁部に形成された複数の貼付け部位に貼付けるテープ貼付装置であって、前記基板を保持する基板保持テーブルと、セパレータに異方性導電テープが積層されて成るテープ部材をテープ供給部から基板の側縁部にその長手方向に沿って設けられた貼付け部位に案内するとともに、前記異方性導電テープが前記貼付け部位に貼付けられてセパレータ単体となったテープ部材をテープ回収部側に送るテープ案内手段と、前記異方性導電テープに対して前記貼付け部位における貼付長さに対応した間隔で切れ目を入れて前記個片導電テープを形成するカット部と、前記基板保持テーブルに保持され前記側縁部を下受部によって下受けされた前記基板に、圧着ヘッドによって前記テープ部材を押圧して異方性導電テープを前記貼付け部位に貼付ける貼付け手段と、前記貼付け手段により貼付けられた前記異方性導電テープから前記セパレータを剥離する剥離部と、前記貼付け手段と前記剥離部とを相互の相対位置を保持した状態で前記基板保持テーブルに対して水平方向に相対移動させる相対移動手段と、前記相対移動手段、テープ案内手段、カット部、貼付け手段および剥離部を制御する制御部とを備え、前記制御部は、前記相対移動手段による前記相対移動と同期させて前記テープ案内手段によるテープ部材の送り動作を行わせる。
本発明のテープ貼付け方法は、基板を保持する基板保持テーブルと、セパレータに異方性導電テープが積層されて成るテープ部材をテープ供給部から基板の側縁部にその長手方向に沿って設けられた貼付け部位に案内するとともに、前記異方性導電テープが前記貼付け部位に貼付けられてセパレータ単体となったテープ部材をテープ回収部側に送るテープ案内手段と、前記異方性導電テープに対して前記貼付け部位の貼付長さに対応した間隔で切れ目を形成するカット部と、前記基板保持テーブルに保持され前記側縁部を下受部によって下受けされた前記基板に、圧着ヘッドによって前記テープ部材を押圧して異方性導電テープを前記貼付け部位に貼付ける貼付け手段と、前記貼付け手段により貼付けられた前記異方性導電テープから前記セパレータを剥離する剥離部と、前記貼付け手段と前記剥離部とを相互の相対位置を保持した状態で前記基板保持テーブルに対して水平方向に相対移動させる相対移動手段と、前記相対移動手段、テープ案内手段、カット部、貼付け手段および剥離部を制御する制御部とを備えたテープ貼付け装置によって、異方性導電テープを所定の貼付長さの個片導電テープに切断して基板の側縁部に形成された複数の貼付け部位に貼付けるテープ貼付方法であって、一の前記貼付け部位に前記個片導電テープを貼付ける貼付け工程と、前記圧着ヘッドを上昇させた後に、前記相対移動手段を駆動して前記貼付け手段と剥離部とを一体的に前記基板保持テーブルに対して相対移動させながら前記テープ案内手段を駆動してテープ部材の送り動作を行うことにより、圧着ヘッドを次の貼付け部位に位置合わせするとともに、この相対移動過程において前記剥離部によって前記一の貼付け部位に貼付けられた前記異方性導電テープから前記セパレータを剥離する移動工程とを含み、前記貼付け工程と移動工程とを反復して実行する。
本発明によれば、異方性導電テープを所定の貼付長さの個片導電テープに切断して基板の側縁部に形成された複数の貼付け部位に貼付けるテープ貼付方法において、一の貼付け部位に個片導電テープを貼付ける貼付け工程と、貼付け手段と剥離部とを一体的に基板保持テーブルに対して相対移動させながらテープ案内手段を駆動してテープ部材の送り動作を行うことにより圧着ヘッドを次の貼付け部位に位置合わせするとともにこの相対移動過程において剥離部によって一の貼付け部位に貼付けられた異方性導電テープからセパレータを剥離する移動工程とを反復して実行することにより、導電テープの無駄を排除しつつテープ剥離動作を効率良く行って、生産性を向上させることができる。
本発明の一実施の形態のテープ貼付け装置の正面図 本発明の一実施の形態のテープ貼付け装置の側面図 本発明の一実施の形態のテープ貼付け装置の対象となる基板における異方性導電テープの貼付け長さの説明図 本発明の一実施の形態のテープ貼付け方法の工程説明図 本発明の一実施の形態のテープ貼付け方法の工程説明図 本発明の一実施の形態のテープ貼付け方法の工程説明図
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1,図2を参照してテープ貼付け装置1の構成を説明する。テープ貼付け装置1は、表示パネルなどの基板の側縁部にドライバ用等の部品を実装する部品実装装置において、側縁部に部品を接合するとともに部品を電極部に導通させるための異方性導電テープ(以下、単に「導電テープ」と略称。)を、部品の搭載動作に先立って所定の貼付長さの個片導電テープに切断して、基板の側縁部に形成された複数の貼付け部位に貼付ける機能を有するものである。
図1,図2において、テープ貼付け装置1は、導電テープを供給して貼付ける機能を有する貼付け機構2の下方に、貼付け対象の基板を位置決めする基板位置決め部3を配設した構成となっている。貼付け機構2は、貼付け部移動機構2bによってX方向に移動自在な垂直平板状のベースプレート2aを主体としており、ベースプレート2aの上部には、テープ供給リール5が配設されている。テープ供給リール5は、セパレータ4aに導電テープ4bを積層した構成のテープ部材4を卷回収納しており、ベースプレート2aの裏面に配設されたリール駆動機構5a(図2参照)によって回転駆動される。
リール駆動機構5aを駆動することによりテープ供給リール5は矢印a方向に回転し、卷回収納されたテープ部材4が繰り出され、張力付与機構6のテンションローラ6aを周回して下方に導かれる(矢印b)。張力付与機構6は繰り出されたテープ部材4が弛みを生じないように、テープ部材4に対して所定の張力を付与する機能を有している。テープ供給リール5およびリール駆動機構5aは、テープ部材4を供給するテープ供給部を構成する。
ベースプレート2aの下端部の両側には、第1ガイドローラ8および第2ガイドローラ9が水平位置に配設されており、さらに第2ガイドローラ9の上方にはテープ送り機構10およびテープ回収部13が配設されている。第1ガイドローラ8および第2ガイドローラ9の間の水平部分は、後述する貼付け手段によって導電テープ4bを基板20の貼付け部位23(図3参照)に貼付ける貼付け作業位置となっており、テープ供給リール5から繰り出されて張力付与機構6を経由したテープ部材4は、第1ガイドローラ8を周回して導電テープ4bを下向きにした姿勢で水平方向に導かれ、貼付け作業位置においてテープ部材4のうち下面側の導電テープ4bのみが基板20の貼付け部位23に貼付けられる。
そして導電テープ4bが基板20の貼付け部位23に貼付けられてセパレータ4aのみとなったテープ部材4は、第2ガイドローラ9を周回してテープ送り機構10によって上方に導かれ(矢印c)、テープ回収部13によって回収される。テープ送り機構10は、セパレータ4aを挟み込んで上方に送る駆動ローラ11およびアイドルローラ12を備えており、駆動ローラ11はベースプレート2aの背面側に配設されたローラ駆動機構11a(図2参照)によって回転駆動される。テープ送り機構10、第1ガイドローラ8および第2ガイドローラ9は、セパレータ4aに導電テープ4bが積層されて成るテープ部材4を、テープ供給部から基板20の側縁部20aにその長手方向に沿って設けられた貼付け部位23に案内するとともに、導電テープ4bが基板20の貼付け部位23に貼付けられてセパレータ4aの単体となったテープ部材4をテープ回収部13側に送るテープ案内手段となっている。
張力付与機構6から第1ガイドローラ8に至るテープ部材4の送給経路には、カット部7が配設されている。カット部7はブレード進退機構7aによってカッタブレード7bを導電テープ4bに対して進退させる構成となっている。セパレータ4aの背面側を受け部材7cによって支持した状態で、カッタブレード7bをテープ部材4に対して進退させることにより、テープ部材4において導電テープ4bのみがカットされ、切れ目4cが形成される。切れ目4cは、1回のテープ貼付け動作において貼付けられる導電テープ4bの範囲、すなわち貼付け長さを区分するものである。すなわちカット部7は、導電テープ4bに基板20の貼付け部位23における貼付長さL(図3(b)参照)に対応した間隔で切れ目4cを形成する。切れ目4cは、導電テープ4bの貼付け開始位置Sに対応しており、テープ貼付け作業においては、切れ目4cの位置を貼付け部位23の貼付け開始端部23aに位置合わせする(図4(b)参照)。
第1ガイドローラ8、第2ガイドローラ9の中間の、テープ部材4の水平方向(X方向)の送給経路の上方には、昇降機構14によって昇降する圧着ヘッド15が配設されており、圧着ヘッド15の下方には、圧着ヘッド15と対向して下受部22が配置されている。さらに下受部22のY方向の背面側には、基板移動機構18によって基板保持テーブル19を移動させる構成の基板位置決め部3が配設されている。基板保持テーブル19は、貼付け対象の基板20を保持する。図2に示すように、基板20は2枚のガラス基板を貼り合わせた構成となっており、下面側のガラス基板が部分的に露呈した側縁部20aには、A−A矢視に示すように、部品接続用の複数の端子21aより成る複数(本実施の形態においては4つ)の電極部21が、側縁部20aの長手方向に沿って列状に形成されている。
基板移動機構18は、下からX軸テーブル18X、Y軸テーブル18Y、Zθ軸テーブル18Zθを積層して構成されており、Zθ軸テーブル18Zθの上面には基板保持テーブル19が結合されている。基板移動機構18を駆動することにより、基板20を保持した基板保持テーブル19はX方向、Y方向、Z方向およびθ方向に移動する。これにより、基板20の側縁部20aの貼付け部位23を圧着ヘッド15による貼付け作業位置に位置決めすることができる。
すなわちY軸テーブル18Yにより基板20の側縁部20aはY方向に移動して(矢印d)圧着ヘッド15の下方に位置し、さらにZθ軸テーブル18Zθにより側縁部20aは下降し(矢印e)、これにより側縁部20aの裏面は下受部22の上端面の下受け面によって下受けされる。そして、側縁部20aの裏面を下受部22の上端面の下受け面から離間させた状態で、X軸テーブル18Xを駆動することにより、基板20の側縁部20aはX方向に移動し、側縁部20aに沿って設定された貼付け部位23を圧着ヘッド15に対向させることができる。すなわち基板移動機構18は、基板保持テーブル19を少なくとも基板20の側縁部20aに沿うX方向へ移動させる。なお、基板20の側縁部20aの裏面と下受部22の上端面の下受け面との接触による下受け動作、側縁部20aの裏面と下受部22の上端面の下受け面の離間動作は、下受部22を上下方向可動式として下受部22を上下方向に移動させて行ってもよい。
圧着ヘッド15によるテープ貼付け動作においては、側縁部20aの上方に貼付け対象の導電テープ4bを下面側にしたテープ部材4を位置させた状態で、圧着ヘッド15を昇降機構14により下降させてテープ部材4を側縁部20aの貼付け部位に所定荷重で押圧するとともに、圧着ヘッド15に設けられたヒータ16によってテープ部材4を加熱する。これにより、個片導電テープ4b*が電極部21を覆って貼付けられる。ベースプレート2aの側端部には、カメラ25が撮像方向を下向きにして装着されており、カメラ25は電極部21に貼り付けられた後の個片導電テープ4b*を上方から撮像する。この撮像結果を認識処理することにより、個片導電テープ4b*の貼り付け結果の良否が検査される。
ここで図3を参照して、圧着ヘッド15の押圧長さと基板20の貼付け部位の貼付け長さとの関係について説明する。図3(a)に示すように、本実施の形態に示す昇降機構14には、テープ部材4を押し付ける押圧長さBの圧着ヘッド15が取り付けられている。そして図3(b)に示すように、貼付け対象となる基板20の側縁部20aにおける電極部21の位置、すなわち基板20における導電テープ4bの貼付け部位23の長さLは、圧着ヘッド15の押圧長さBよりも幾分短く、圧着ヘッド15による1回の押圧動作で1つの個片導電テープ4b*の全範囲をカバーすることができるようになっている。
そして、本実施の形態においては、4つの電極部21のそれぞれに対応した第1の押圧位置P1、第2の押圧位置P2、第3の押圧位置P3、第4の押圧位置P4に対して圧着ヘッド15を押圧することにより、各貼付け部位23に個片導電テープ4b*を順次貼り付ける。昇降機構14、圧着ヘッド15は、基板保持テーブル19に保持され側縁部20aを下受部22によって下受けされた基板20に対して、セパレータ4aに導電テープ4bが積層されたテープ部材4を圧着ヘッド15によって押圧して、個片導電テープ4b*を基板20の貼付け部位23に貼付ける貼付け手段を構成する。
図1において、第2ガイドローラ9の中央側の側方には、剥離部17が貼付け機構2の固定位置に配設されており、剥離部17と上述の貼り付け手段との相対位置は常に同一に保持されている。剥離部17は、水平方向に送給されるセパレータ4aの下面側に位置する第1剥離ローラ17a、およびセパレータ4aの上面側に位置する第2剥離ローラ17bの2つの剥離ローラを備えおり、貼付け手段により貼付けられた導電テープ4bからセパレータ4aを剥離する機能を有している。
すなわち、図5(b)に示すように、基板20の側縁部20aに貼付けられた導電テープ4bとセパレータ4aとの間に第1剥離ローラ17aが位置する状態で、貼付け部移動機構2bを駆動して剥離部17をベースプレート2aとともに基板20に対して相対的にX方向に水平移動させることにより、テープ部材4の導電テープ4bとセパレータ4aとの界面に第1剥離ローラ17aが進入し、セパレータ4aは基板20の側縁部20aに貼付けられた導電テープ4bから剥離される。このとき、テープ送り機構10によってテープ部材4を剥離部17の水平移動と同期して送ることにより、剥離されたセパレータ4aに弛みを生じることなく、剥離後のセパレータ4aを回収することができる。第2剥離ローラ17bは剥離部17において昇降自在となっており、圧着ヘッド15によるテープ貼付け動作時には、基板20の側縁部20aに押圧される導電テープ4bが積層されたテープ部材4に対して第2剥離ローラ17bを圧着ヘッド15とともに昇降させることができる。
したがって、貼付け部移動機構2bは、前述の貼付け手段と剥離部17とを相互の相対位置を保持した状態で基板保持テーブル19に対して水平方向に相対移動させる相対移動手段となっている。なお、貼付け機構2において、貼付け部移動機構2bによってベースプレート2aを水平移動させる替わりに、基板移動機構18によって基板保持テーブル19をX方向に水平移動させることにより、前述の貼付け手段と剥離部17とを相互の相対位置を保持した状態で、基板保持テーブル19に対して水平方向に相対移動させるようにしてもよい。この場合には、基板移動機構18が前述の相対移動手段を構成する。
貼付け部移動機構2b、カット部7、テープ送り機構10、昇降機構14、圧着ヘッド15、剥離部17、基板移動機構18の動作は、制御部24によって制御される。このとき、制御部24が、貼付け部移動機構2bによる基板保持テーブル19と剥離部17との相対移動と同期させてテープ送り機構10によるテープ部材の送り動作を行わせることにより前述のテープ剥離が行われ、これにより、以下に説明するテープ貼付け作業が実行される。以下、テープ貼付け装置1によって導電テープ4bを所定の貼付け長さの個片導電テープ4b*に切断して基板20の側縁部20aに形成された複数の貼付け部位23に貼付けるテープ貼付け方法について、図1、図3および、図4,図5,図6を参照して説明する。
まず図4(a)に示すように、基板保持テーブル19に保持された基板20の側縁部20aを基板移動機構18によって下受部22の上方に移動させて(矢印f)位置合わせするとともに、貼付け機構2を移動させて(矢印h)、側縁部20aに設定された第1の押圧位置P1および圧着ヘッド15を、下受部22の所定位置に位置合わせする。これとともに、テープ送り機構10を駆動してテープ部材4を送ることにより(矢印g)、予め形成された個片導電テープ4b*のうちの第1番目の個片導電テープ4b*の貼付け開始位置Sを第1の押圧位置P1に合わせる頭出し動作を行う。
次いで、図4(b)に示すように、Zθ軸テーブル18Zθを駆動して基板保持テーブル19を下降させることにより、基板20を下降させて(矢印i)側縁部20aの裏面を下受部22によって下受けする。この状態では、圧着ヘッド15は、個片導電テープ4b*を側縁部20aの第1の押圧位置P1に対して押圧する位置にあり、個片導電テープ4b*の貼付け開始位置Sは第1の押圧位置P1の貼付け開始端部23aに位置合わせされている。ここで個片導電テープ4b*の貼付け開始位置Sは、カット部7によって導電テープ4bに形成された切れ目4cに対応している。そしてこの状態で、カット部7を作動させる(矢印j)ことにより、テープ部材4には新たに切れ目4cが形成される。
次いで、図4(c)に示すように、圧着ヘッド15を下降させることにより(矢印k)、個片導電テープ4b*を第1の押圧位置P1に対して押圧し、対応する貼付け部位23(一の貼付け部位)に貼り付ける(貼付け工程)。このとき、剥離部17の第2剥離ローラ17bを圧着ヘッド15とともに下降させる。ただし、この第2剥離ローラ17bの下降動作は必須要件ではなく、省略が可能である。
この後、第1の押圧位置P1を対象とする押圧が終了したならば、図5(a)に示すように、圧着ヘッド15を上昇させる(矢印l)。次いで貼付け部移動機構2bを駆動することにより、図5(b)に示すように、圧着ヘッド15を含む貼付け手段と剥離部17とを一体的に基板保持テーブル19に保持された基板20に対して水平方向に相対移動させながら(矢印n)、前述のテープ案内手段を駆動してテープ部材4の送り動作を行う(矢印m)。そして基板保持テーブル19と剥離部17とのX方向への相対移動において、剥離部17の第1剥離ローラ17aと基板20とが相対移動することにより、基板20の側縁部20aの貼付け部位23に貼付けられた個片導電テープ4b*からのセパレータ4aの剥離が行われる。
この後、次の貼り付け部位23を対象とした位置合わせが行われる。すなわち図5(c)に示すように、第1の押圧位置P1に押圧された個片導電テープ4b*からセパレータ4aが完全に剥離するまで剥離部17を移動させる。このとき、圧着ヘッド15は第2の押圧位置から外れる位置まで水平移動することから、剥離完了後には、図6に示すように、圧着ヘッド15を反対方向に移動させて(矢印o)、第2の押圧位置P2の上方に位置させる。これとともに、テープ案内手段のテープ送り機構10を駆動してテープ部材4を送ることにより(矢印p)、次に貼付け対象となる個片導電テープ4b*の貼付け開始位置Sを第2の押圧位置P2に対応した貼付け部位23(次の貼付け部位)の貼付け開始端部23aに位置合わせする。
これらの動作とともに、カット部7を作動させる(矢印q)ことにより、テープ部材4には新たに切れ目4cが形成され、さらに貼り付け済みの個片導電テープ4b*の貼付け開始位置Sをカメラ25が撮像して位置認識することにより、個片導電テープ4b*の貼り付け位置の良否が検査される。そしてこの後、図4(c)以降の処理が、第2の押圧位置P2〜第4の押圧位置P4にそれぞれ対応した貼付け部位23を対象として、同様に反復実行される。
すなわち上述のテープ貼付け方法は、一の貼付け部位23に個片導電テープ4b*を貼付ける貼付け工程と、相対移動手段である貼付け部移動機構2bを駆動して貼付け手段と剥離部17とを一体的に基板保持テーブル19に対して相対移動させながら、テープ案内手段を駆動してテープ部材4の送り動作を行うことにより、圧着ヘッド15を次の貼付け部位23に位置合わせするとともに、この相対移動過程において剥離部17によって一の貼付け部位に貼付けられた個片導電テープ4b*からセパレータ4aを剥離する移動工程とを反復して実行する形態となっている。すなわちこの移動工程においては、セパレータ4aの剥離と次の貼付け部位23への圧着ヘッド15の位置合わせとを同時並行的に行うことができ、テープ貼付け作業において剥離動作に要する時間を短縮することが可能となっている。
これにより、大型の表示パネルを作業対象とする場合のように、複数の電極部21が間隔を置いて飛び飛びで形成される場合にあっても、基板20の側縁部20aにおいて電極部21が形成された部品接続範囲のみを導電テープ4bの貼付け対象として、導電テープ4bの無駄を排除しつつテープ剥離動作を効率よく行って、生産性を向上させることができる。
本発明のテープの貼付け装置およびテープの貼付け方法は、導電テープの無駄を排除しつつテープ剥離動作を効率良く行って、生産性を向上させることができることができるという効果を有し、表示パネルなどの基板に部品を実装するためのテープを貼付ける用途に利用可能である。
1 テープ貼付け装置
2 貼付け機構
2b 貼付け部移動機構
3 基板位置決め部
4 テープ部材
4a セパレータ
4b 導電テープ
5 テープ供給リール
7 カット部
8 第1ガイドローラ
9 第2ガイドローラ
10 テープ送り機構
13 テープ回収部
14 昇降機構
15 圧着ヘッド
17 剥離部
18 基板移動機構
19 基板保持テーブル
20 基板
20a 側縁部
21 電極部
22 下受部
23 貼付け部位
23a 貼付け開始端部
B 押圧長さ
P1 第1の押圧位置
P2 第2の押圧位置
S 貼付け開始位置
L 貼付け長さ

Claims (2)

  1. 異方性導電テープを所定の貼付長さの個片導電テープに切断して基板の側縁部に形成された複数の貼付け部位に貼付けるテープ貼付装置であって、
    前記基板を保持する基板保持テーブルと、セパレータに異方性導電テープが積層されて成るテープ部材をテープ供給部から基板の側縁部にその長手方向に沿って設けられた貼付け部位に案内するとともに、前記異方性導電テープが前記貼付け部位に貼付けられてセパレータ単体となったテープ部材をテープ回収部側に送るテープ案内手段と、
    前記異方性導電テープに対して前記貼付け部位における貼付長さに対応した間隔で切れ目を入れて前記個片導電テープを形成するカット部と、
    前記基板保持テーブルに保持され前記側縁部を下受部によって下受けされた前記基板に、圧着ヘッドによって前記テープ部材を押圧して異方性導電テープを前記貼付け部位に貼付ける貼付け手段と、前記貼付け手段により貼付けられた前記異方性導電テープから前記セパレータを剥離する剥離部と、
    前記貼付け手段と前記剥離部とを相互の相対位置を保持した状態で前記基板保持テーブルに対して水平方向に相対移動させる相対移動手段と、
    前記相対移動手段、テープ案内手段、カット部、貼付け手段および剥離部を制御する制御部とを備え、
    前記制御部は、前記相対移動手段による前記相対移動と同期させて前記テープ案内手段によるテープ部材の送り動作を行わせることを特徴とするテープ貼付け装置。
  2. 基板を保持する基板保持テーブルと、セパレータに異方性導電テープが積層されて成るテープ部材をテープ供給部から基板の側縁部にその長手方向に沿って設けられた貼付け部位に案内するとともに、前記異方性導電テープが前記貼付け部位に貼付けられてセパレータ単体となったテープ部材をテープ回収部側に送るテープ案内手段と、前記異方性導電テープに対して前記貼付け部位の貼付長さに対応した間隔で切れ目を形成するカット部と、前記基板保持テーブルに保持され前記側縁部を下受部によって下受けされた前記基板に、圧着ヘッドによって前記テープ部材を押圧して異方性導電テープを前記貼付け部位に貼付ける貼付け手段と、前記貼付け手段により貼付けられた前記異方性導電テープから前記セパレータを剥離する剥離部と、前記貼付け手段と前記剥離部とを相互の相対位置を保持した状態で前記基板保持テーブルに対して水平方向に相対移動させる相対移動手段と、前記相対移動手段、テープ案内手段、カット部、貼付け手段および剥離部を制御する制御部とを備えたテープ貼付け装置によって、異方性導電テープを所定の貼付長さの個片導電テープに切断して基板の側縁部に形成された複数の貼付け部位に貼付けるテープ貼付方法であって、
    一の前記貼付け部位に前記個片導電テープを貼付ける貼付け工程と、前記圧着ヘッドを上昇させた後に、前記相対移動手段を駆動して前記貼付け手段と剥離部とを一体的に前記基板保持テーブルに対して相対移動させながら前記テープ案内手段を駆動してテープ部材の送り動作を行うことにより、圧着ヘッドを次の貼付け部位に位置合わせするとともに、この相対移動過程において前記剥離部によって前記一の貼付け部位に貼付けられた前記異方性導電テープから前記セパレータを剥離する移動工程とを含み、
    前記貼付け工程と移動工程とを反復して実行することを特徴とするテープ貼付け方法。
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