JP2015008188A - テープ貼付け装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 基板位置決め機構(基板位置決め部)
4b 接着テープ
4bA 個片テープ
5,5A,5B,5C 基板
7 第1の基板保持テーブル(第1の基板保持部材)
7a 第1の基板保持部
7b 第2の基板保持部
10 第2の基板保持テーブル(第2の基板保持部材)
10a 第3の基板保持部
11 テープ供給リール(テープ案内手段)
13 第1のガイドローラ(テープ案内手段)
14 第2のガイドローラ(テープ案内手段)
15 テープ送り機構(テープ案内手段)
20 ショートツール(第1の圧着ツール)
21 ロングツール(第2の圧着ツール)
Claims (4)
- 接着テープを所定の貼り付け長さの個片テープに切断して基板の側縁部に設けられた貼付け部位に貼り付けるテープ貼付け装置であって、
それぞれ基板を保持可能な第1の基板保持部と第2の基板保持部を有する第1の基板保持部材と、
前記第1の基板保持部材を移動させて当該第1の基板保持部材に保持された基板を所定の位置に位置決めする基板位置決め部と、
前記基板位置決め部による基板位置決め後の前記第1の基板保持部に保持された基板に前記個片テープを貼り付ける第1の圧着ツールと、
前記第1の圧着ツールと一の方向に並列して配設され、前記基板位置決め部による基板位置決め後の前記第2の基板保持部に保持された基板に前記個片テープを貼り付ける第2の圧着ツールとを備え、
前記第2の圧着ツールの圧着面の前記一の方向に沿った長さが前記第1の圧着ツールの圧着面の前記一の方向に沿った長さよりも大きく設定されており、
前記第1の圧着ツールは、前記第1の圧着ツールの前記一の方向における両側の端辺のうち前記第2の圧着ツールと遠い側の端辺を基準として前記個片テープを貼り付け、
前記第2の圧着ツールは、前記第2の圧着ツールの前記一の方向における両側の端辺のうち前記第1の圧着ツールと近い側の端辺を基準として前記個片テープを貼り付けることを特徴とするテープ貼付け装置。 - 前記個片テープを前記第1の基板保持部材に保持された前記基板の側縁部に沿って設けられた前記貼付け部位に案内するテープ案内手段を備え、
前記第1の基板保持部に保持された基板の位置決め動作時において、前記基板位置決め部は前記第1の圧着ツールの前記第2の圧着ツールと遠い側の端辺に前記貼付け部位の前記個片テープの案内方向とは逆側の端辺を合わせ、
前記第2の基板保持部に保持された基板の位置決め動作時において、前記基板位置決め部は前記第2の圧着ツールの前記第1の圧着ツールと近い側の端辺に前記貼付け部位の前記個片テープの案内方向とは逆側の端辺を合わせることを特徴とする請求項1記載のテープ貼付け装置。 - 前記テープ案内手段は、前記第1の基板保持部に保持された前記基板の前記貼付け部位に前記個片テープを案内する第1のテープ案内手段と、前記第2の基板保持部に保持された前記基板の前記貼付け部位に前記接着テープを案内する第2のテープ案内手段から成ることを特徴とする請求項1又は2に記載のテープ貼付け装置。
- 前記基板位置決め部に、前記第1の基板保持部材に保持される基板よりも大きいサイズの基板を保持可能な第3の基板保持部を有する第2の基板保持部材が前記第1の基板保持部材と交換可能に装着され、
前記第2の圧着ツールは、前記第2の圧着ツールの前記一の方向における両側の端辺のうち前記第1の圧着ツールと近い側の端辺を基準として前記第1の圧着ツールの貼り付け可能な長さよりも長い前記個片テープを前記第3の基板保持部に保持された基板に貼り付けることを特徴とする請求項1又は3に記載のテープ貼付け装置。
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- 2013-06-25 JP JP2013132238A patent/JP5948588B2/ja active Active
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