JP2022153960A - テープ貼着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】対象物に対して異方性導電テープをより高い精度で貼着させることができるテープ貼着装置を提供する。
【解決手段】テープ貼着装置１は、テープ部材Ｔを供給する供給手段と、テープ部材Ｔを送り出す駆動部とテープ部材Ｔに所定の張力を付加する張力付加部とを備えテープ部材Ｔを搬送して異方性導電テープｔ１における搬送方向先端に位置する部位を対象物Ｗの上方に位置させる搬送手段と、異方性導電テープｔ１を対象物Ｗに貼着させる貼着手段と、異方性導電テープｔ１からセパレータｔ２を剥離する剥離手段と、テープ部材Ｔを回収する回収手段とを備え、駆動部と張力付加部との間に設けられてテープ部材Ｔに接触する案内部材の全てと剥離手段におけるテープ部材Ｔに接触する案内部材の全ては、ともにテープ部材Ｔに対して回転不能である。
【選択図】図１

Description

本発明は、異方性導電テープを対象物（電子部品を実装する基板等）に貼着するためのテープ貼着装置に関する。

例えば電子部品を基板等の対象物に実装するにあたっては、導電性粒子と熱硬化性樹脂とを含んだ異方性導電テープ（ＡＣＦテープ）を対象物に貼着させるテープ貼着装置が使用される。

下記の特許文献１に示されているテープ貼着装置は、異方性導電テープとセパレータとを積層させたテープ部材を使用する。またこのテープ貼着装置は、テープ部材を供給する供給手段と、供給手段から供給されるテープ部材を搬送して異方性導電テープにおける搬送方向先端に位置する部位を対象物の上方に位置させる搬送手段と、対象物に対してテープ部材を押し付けて異方性導電テープを対象物に貼着させる貼着手段と、貼着手段により貼付けられた異方性導電テープからセパレータを剥離する剥離手段と、剥離手段によってセパレータ単体となったテープ部材を回収する回収手段と、を備えている。このようなテープ貼着装置を利用することによって、対象物に異方性導電テープを自動で貼着することができる。

特開２０１１－２５６００７号公報

ところで近年は、電子部品等を高密度で実装するべく、対象物に対して異方性導電テープをより高い精度で貼着させることが求められている。しかし従来のテープ貼着装置における対象物に対するテープ部材の送り精度は、様々な調整を行っても平均で±０.１ｍｍ程度のばらつきが生じていて、送り精度のばらつきをそれ以下に抑えることは困難であった。

本発明はこのような問題点を解決することを課題とするものであり、対象物に対して異方性導電テープをより高い精度で貼着させることができるテープ貼着装置を提供することを目的とする。

本発明におけるテープ貼着装置は、異方性導電テープとセパレータとを積層させたテープ部材を供給する供給手段と、前記供給手段から供給される前記テープ部材を送り出す駆動部と、当該駆動部によって送り出される当該テープ部材に所定の張力を付加する張力付加部とを備え、当該テープ部材を搬送して前記異方性導電テープにおける搬送方向先端に位置する部位を対象物の上方に位置させる搬送手段と、前記対象物に対して前記テープ部材を押し付けて前記異方性導電テープを当該対象物に貼着させる貼着手段と、前記貼着手段により貼着された前記異方性導電テープから前記セパレータを剥離する剥離手段と、前記剥離手段によってセパレータ単体となった前記テープ部材を回収する回収手段と、を備え、前記搬送手段における前記駆動部と前記張力付加部との間に設けられて前記テープ部材に接触する案内部材の全てと、前記剥離手段における当該テープ部材に接触する案内部材の全ては、ともに当該テープ部材に対して回転不能であることを特徴とする。

このようなテープ貼着装置において、前記案内部材の全ては、前記テープ部材に接触する部位に低摩擦処理が施されていることが好ましい。

また前記駆動部は、前記テープ部材を挟持する駆動ローラ及び従動ローラと、当該駆動ローラが停止している間は当該従動ローラの回転を停止させるストッパと、を備えることが好ましい。

また、本発明のテープ貼着装置は、異方性導電テープとセパレータとを積層させたテープ部材を供給する供給手段と、前記供給手段から供給される前記テープ部材を送り出す駆動部と、当該駆動部によって送り出される当該テープ部材に所定の張力を付加する張力付加部とを備え、当該テープ部材を搬送して前記異方性導電テープにおける搬送方向先端に位置する部位を対象物の上方に位置させる搬送手段と、前記対象物に対して前記テープ部材を押し付けて前記異方性導電テープを当該対象物に貼着させる貼着手段と、前記貼着手段により貼着された前記異方性導電テープから前記セパレータを剥離する剥離手段と、前記剥離手段によってセパレータ単体となった前記テープ部材を回収する回収手段と、を備え、前記駆動部は、前記テープ部材を挟持する駆動ローラ及び従動ローラと、当該駆動ローラが停止している間は当該従動ローラの回転を停止させるストッパと、を備えるものでもある。

このような構成になる本発明のテープ貼着装置によれば、対象物に対して異方性導電テープをより高い精度で貼着させることができる。

本発明に係るテープ貼着装置の第一実施形態を模式的に示した図である。 本発明に係るテープ貼着装置の第二実施形態を模式的に示した図である。 図１に示したテープ貼着装置の比較例を模式的に示した図である。 図２に示したテープ貼着装置の比較例を模式的に示した図である。

以下、本発明に係るテープ貼着装置の第一実施形態（テープ貼着装置１）について、図１を参照しながら説明する。なお、図示した矢印Ｙに沿う向きは、テープ貼着装置１を操作する作業者から見て左右方向であり、矢印Ｚに沿う向きは、作業者から見て上下方向であり、矢印Ｙと矢印Ｚに対して直交する向き（紙面に対して直交する向き）は、作業者から見て前後方向であって、以下においては上記の方向で説明する。なお、左右方向についてはＹ方向、上下方向についてはＺ方向、前後方向についてはＸ方向と称することがある。

テープ貼着装置１は、ヘッド２を備えている。ヘッド２は、ベースプレート３に対して上下方向に移動可能に保持されている。ヘッド２を上下動させる駆動源は、モータやエアシリンダ等、種々のものが採用可能である。なおテープ貼着装置１は、不図示の制御部（例えばＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）によって実現される）を備えていて、ヘッド２の駆動源を含めて以下に説明する各部の動作は、制御部によって制御される。なおヘッド２は、本明細書等における「貼着手段」に相当する部位である。

ヘッド２の下方には、基板等の対象物Ｗがセットされる。本実施形態のテープ貼着装置１は、対象物Ｗを複数載置する不図示のステージを備えている。このステージは、後述する異方性導電テープｔ１を対象物Ｗに貼着させる際は、対象物Ｗをヘッド２の下方へ移動させ、貼着後は対象物Ｗをヘッド２から移動させるとともに新たな対象物Ｗをヘッド２の下方に移動させるよう動作する。

本実施形態のテープ貼着装置１は、対象物Ｗに貼着させる異方性導電テープｔ１として、長尺状になるセパレータｔ２に対して長尺状になる異方性導電テープｔ１を積層させたテープ部材Ｔを使用する。本実施形態のテープ貼着装置１は、テープ部材Ｔを搬送する途中で異方性導電テープｔ１を所定の長さでハーフカット（セパレータｔ２に積層した状態で異方性導電テープｔ１のみを厚み方向にカット）する不図示のカット手段を備えていて、対象物Ｗへの貼着を行う前にカット手段により異方性導電テープｔ１を所定の長さにカットし、個片化された異方性導電テープｔ１を対象物Ｗへ貼着する。なおテープ部材Ｔは、予め個片化された異方性導電テープｔ１を長尺状のセパレータｔ２に積層させたものを使用してもよい。

またテープ貼着装置１は、ベースプレート３に取り付けられた巻き出しリール４を備えている。巻き出しリール４には、巻き回された状態のテープ部材Ｔがセットされる。巻き出しリール４は、不図示のモータによって図１に示した矢印の向きに回転するよう構成されていて、テープ部材Ｔは、巻き出しリール４から後述する各部に向けて供給される。なお巻き出しリール４は、本明細書等における「供給手段」に相当する。

またテープ貼着装置１は、図１に示すように巻き出しリール４の右側に位置する第一支持ローラ５と、第一支持ローラ５に対して左斜め下に位置する第二支持ローラ６と、第二支持ローラ６に対して左斜め下に位置するダンシングローラ７と、ダンシングローラ７に対して右斜め上に位置する第三支持ローラ８を備えている。第一支持ローラ５、第二支持ローラ６、及び第三支持ローラ８は、ベースプレート３に対して固定された軸部を中心として回転するよう構成されている。またダンシングローラ７は、ベースプレート３に対して上下方向に移動する不図示の移動体に対し、この移動体に固定された軸部を中心として回転するよう構成されている。

更にテープ貼着装置１は、第三支持ローラ８の下方に位置する第一案内ピン９と、第一案内ピン９の下方に位置する第二案内ピン１０と、第二案内ピン１０に対して右斜め下に位置する第三案内ピン１１と、第三案内ピン１１に対して右斜め下に位置する第四案内ピン１２を備えている。第一案内ピン９等は全て円柱状であって、ベースプレート３に対して固定されている。

本実施形態の第一案内ピン９、第二案内ピン１０、第三案内ピン１１、及び第四案内ピン１２の表面には、接触する相手物との摩擦力が低減される低摩擦処理が施されている。低摩擦処理の一例としては、第一案内ピン９等の表面に各種のメッキ（例えば硬質クロムメッキや無電解ニッケルメッキ）を施すことが挙げられるが、特にテフロン無電解ニッケルメッキを施すことが好ましい。なお「テフロン」は登録商標である。本実施形態の第一案内ピン９等の全てには、表面にテフロン無電解ニッケルメッキが施されている。

第四案内ピン１２の右側には、不図示の駆動源（モータ等）によって左右方向に移動する移動部材１３が設けられている。移動部材１３には、第四案内ピン１２に対して略同一の高さに位置する第五案内ピン１４と、第五案内ピン１４に対して右斜め上に位置する第六案内ピン１５が設けられている。第五案内ピン１４と第六案内ピン１５はともに円柱状であって、移動部材１３に対して固定されている。また第五案内ピン１４と第六案内ピン１５の表面にも、テフロン無電解ニッケルメッキが施されている。なお、移動部材１３、第五案内ピン１４、及び第六案内ピン１５は、本明細書等における「剥離手段」に相当する。

移動部材１３の右側には、円柱状であって、ベースプレート３に対して固定されている第七案内ピン１６が設けられている。第七案内ピン１６の表面にも、テフロン無電解ニッケルメッキが施されている。

そして第七案内ピン１６の右斜め上には、駆動ローラ１７が設けられている。駆動ローラ１７は、上述した制御部からの指令に基づいて動作する不図示のモータによって自転するよう構成されている。また駆動ローラ１７は、軸部の前側端部と後側端部がともに支持されている。すなわち駆動ローラ１７は、軸部が両端支持された状態で回転する。

駆動ローラ１７の上方には、従動ローラ１８が設けられている。従動ローラ１８の外周部は、弾性体（ゴム等）で形成されている。また従動ローラ１８は、駆動ローラ１７に向けて押し付けられるように構成されていて、駆動ローラ１７が回転すると従動ローラ１８も連れ回る。

そして従動ローラ１８の右側には、ストッパ１９が設けられている。ストッパ１９は、上述した制御部からの指令に基づいて動作する不図示のエアシリンダによって、従動ローラ１８に対して接近又は離反するように揺動する。ストッパ１９を従動ローラ１８に対して接近するように揺動させた際、ストッパ１９はエアシリンダの推力によって従動ローラ１８の外周部に押し当たるため、従動ローラ１８は回転しない状態で保持される。

従動ローラ１８の右斜め上には、円柱状であって、ベースプレート３に対して固定されている第八案内ピン２０が設けられている。第八案内ピン２０の表面にも、テフロン無電解ニッケルメッキが施されている。

なお、上述した第一支持ローラ５、第二支持ローラ６、ダンシングローラ７、第三支持ローラ８、第一案内ピン９、第二案内ピン１０、第三案内ピン１１、第四案内ピン１２、第七案内ピン１６、駆動ローラ１７、従動ローラ１８、及び第八案内ピン２０は、本明細書等における「搬送手段」に相当する。また第一案内ピン９等の案内ピンは、本明細書等の「案内部材」に相当する。そして、第一支持ローラ５、第二支持ローラ６、ダンシングローラ７、及び第三支持ローラ８は、本明細書等における「張力付加部」に相当し、駆動ローラ１７、従動ローラ１８、及びストッパ１９は、本明細書等における「駆動部」に相当する。

そして第八案内ピン２０の上方には、テープ部材Ｔを吸引して回収することができる回収ユニット２１が設けられている。なお回収ユニット２１は、本明細書等における「回収手段」に相当する。

このような第一支持ローラ５等に対し、巻き出しリール４から引き出されたテープ部材Ｔは、図１に示すように「張力付加部」である第一支持ローラ５、第二支持ローラ６、ダンシングローラ７、第三支持ローラ８に接触し、更に第一案内ピン９、第二案内ピン１０、第三案内ピン１１、第四案内ピン１２に接触した後、そこからヘッド２の下方を水平方向に延在して、第五案内ピン１４、第六案内ピン１５、第七案内ピン１６に接触する。更に第七案内ピン１６に接触したテープ部材Ｔは、「駆動部」である駆動ローラ１７と従動ローラ１８に挟持された後、第八案内ピン２０に接触して回収ユニット２１に至る図示した経路上に案内される。この状態においてテープ部材Ｔには、ダンシングローラ７及び上述した移動体の自重によって所定の張力が付加される。また駆動ローラ１７を回転させると、それに伴ってテープ部材Ｔが搬送されるとともに従動ローラ１８も回転する。

このようなテープ貼着装置１において対象物Ｗに異方性導電テープｔ１を貼着するにあたっては、駆動ローラ１７を図１の矢印の向きに回転させる。これにより、駆動ローラ１７と従動ローラ１８に挟持されたテープ部材Ｔは、ヘッド２の下方において左から右に向かう向きに搬送される。そして、異方性導電テープｔ１における搬送方向先端に位置する個片化された異方性導電テープｔ１が対象物Ｗの上方に位置する状態で駆動ローラ１７の回転を停止させる。その後、ヘッド２を下方に向けて移動させ、対象物Ｗに対してテープ部材Ｔを押し付けることにより、個片化された異方性導電テープｔ１を対象物Ｗに貼着させることができる。

異方性導電テープｔ１を対象物Ｗに貼着させた後は、ヘッド２を上方に向けて移動させ、更に移動部材１３を左側に移動させる。これにより、対象物Ｗに貼着させた個片化した異方性導電テープｔ１からセパレータｔ２が剥離される。その後、移動部材１３を元の位置に戻し、駆動ローラ１７を図１の矢印の向きに所定量回転させることによって、テープ部材Ｔにおける異方性導電テープｔ１から剥離してセパレータｔ２のみになった部位をヘッド２の下方から右側に移動させるとともに、次の対象物Ｗに貼着される個片化した異方性導電テープｔ１を対象物Ｗの上方に位置させることができる。なお、単体のセパレータｔ２になったテープ部材Ｔは、最終的に回収ユニット２１で回収される。

このように本実施形態のテープ貼着装置１によれば、複数の対象物Ｗに対して異方性導電テープｔ１を順次自動で貼着させることができる。またテープ貼着装置１によれば、対象物Ｗに対して異方性導電テープｔ１を、より高い精度で貼着させることができる。以下、テープ貼着装置１による対象物Ｗに対して高い精度で異方性導電テープｔ１を貼着できる点について、図３に示した比較例のテープ貼着装置１０１と対比しながら説明する。なお以下の説明において、テープ貼着装置１と同等の機能を有する部位は同一の名称を付して詳細な説明は省略する。

図３に示すようにテープ貼着装置１０１は、ヘッド１０２、ベースプレート１０３、巻き出しリール１０４、第二支持ローラ１０６、ダンシングローラ１０７、第三支持ローラ１０８、第一案内ローラ１０９Ｒ、第二案内ローラ１１０Ｒ、第三案内ローラ１１１Ｒ、第四案内ピン１１２、移動部材１１３、第五案内ピン１１４、第六案内ローラ１１５Ｒ、第七案内ローラ１１６Ｒ、第八案内ローラ１２０Ｒ、第九案内ローラ１２２Ｒ、駆動ローラ１１７、従動ローラ１１８、回収ユニット１２１、を備えている。なお、第一案内ローラ１０９Ｒ等の案内ローラは、ベースプレート１０３に対して固定された軸部を中心として回転するよう構成されている。また巻き出しリール１０４、第二支持ローラ１０６、及びダンシングローラ１０７は、回転軸がＹ方向を指向し、第三支持ローラ１０８は、回転軸がＸ方向を指向していて、巻き出しリール１０４から引き出されたテープ部材Ｔは、第二支持ローラ１０６とダンシングローラ１０７に巻きかけられた後、第三支持ローラ１０８に巻きかけられる途中で捩られるが、テープ部材Ｔの幅に対してダンシングローラ１０７が上下動する距離は長く、捻りの影響はほとんど認められない。すなわち、第二支持ローラ１０６、ダンシングローラ１０７、及び第三支持ローラ１０８により構成される「張力付加部」に相当する部位の機能は、テープ貼着装置１と同等である。

このようなテープ貼着装置１０１において、巻き出しリール１０４から引き出されたテープ部材Ｔは、図３に示すように、「張力付加部」に相当する第二支持ローラ１０６、ダンシングローラ１０７、第三支持ローラ１０８に接触し、更に第一案内ローラ１０９Ｒ、第二案内ローラ１１０Ｒ、第三案内ローラ１１１Ｒ、第四案内ピン１１２に接触した後、そこからヘッド１０２の下方を水平方向に延在して、第五案内ピン１１４、第六案内ローラ１１５Ｒ、第七案内ローラ１１６Ｒ、第八案内ローラ１２０Ｒ、第九案内ローラ１２２Ｒに接触する。更に第九案内ローラ１２２Ｒに接触したテープ部材Ｔは、「駆動部」に相当する駆動ローラ１１７と従動ローラ１１８に挟持された後、回収ユニット１２１に至る図示した経路上に案内される。

ところで、テープ貼着装置１０１において対象物Ｗに対するテープ部材Ｔの送り精度を確認したところ、様々な調整を行っても平均で±０.１ｍｍ程度のばらつきが生じていた。この点につき発明者が検討を重ねたところ、第一案内ローラ１０９Ｒ等の案内ローラは、軸部の偏心や案内ローラ外周部の偏心が比較的大きいことが認められた。また案内ローラが回転を開始するまでの抵抗にはばらつきがあり、テープ部材Ｔを搬送させた際に、案内ローラがテープ部材Ｔに追従して回転する場合と、案内ローラがテープ部材Ｔに追従できずにテープ部材Ｔが案内ローラに対して滑る場合があることが認められた。また、案内ローラが回転を開始するまでの抵抗と回転中の抵抗には差があるため、「張力付加部」に相当する部位を設けていても、テープ部材Ｔに作用する張力は案内ローラ間で相違することになり、これによりテープ部材Ｔの伸び量に差が出る現象が認められた。またテープ部材Ｔは、駆動ローラ１１７の回転に同期して搬送され、駆動ローラ１１７が停止している状態ではテープ部材Ｔも停止するものの、テープ貼着装置１０１やテープ部材Ｔに外乱（例えば振動）等が作用する状態、或いは異方性導電テープｔ１を対象物Ｗに貼着させるにあたってヘッド２を下方に向けて移動させてテープ部材Ｔがダンシングローラ１０７から引き出される状態にあっては、従動ローラ１１８がわずかに回転してテープ部材Ｔが動く現象が認められることがあった。

そして、これらの要因で送り精度にばらつきが生じるとの推測の下、発明者が更に検討を重ねて、「張力付加部」と「駆動部」の間に設けられたテープ部材Ｔに接触する第一案内ローラ１０９Ｒ～第九案内ローラ１２２Ｒを、テープ貼着装置１の第一案内ピン９～第七案内ピン１６のようにベースプレート３に対して固定する（すなわち、搬送されるテープ部材Ｔに対して回転不能とする）ことによって、送り精度のばらつきを抑えられることを見出した。また、第一案内ピン９～第七案内ピン１６における少なくともテープ部材Ｔに接触する部位に低摩擦処理を施すと、送り精度のばらつきは更に抑制できることを見出した。また、テープ貼着装置１のようにストッパ１９を設け、駆動ローラ１７が回転する際はストッパ１９を従動ローラ１８から離反させ、駆動ローラ１７が停止している状態ではストッパ１９を従動ローラ１８の外周部に押し当てることによっても、送り精度のばらつき抑制に効果的であることが見出された。テープ貼着装置１によれば、一例として対象物Ｗに対するテープ部材Ｔの送り精度を、平均で±５０μｍ程度のばらつきに抑えることが可能であった。

上述したテープ貼着装置１は、ヘッド２に対してテープ部材Ｔの搬送方向上流側に「張力付加部」を設け、搬送方向下流側に「駆動部」を設けた構成を採用しているが、図２に示したテープ貼着装置５１のように、両者を入れ替えた場合にも送り精度のばらつきが抑制できることが認められた。この点につき、図４に示したテープ貼着装置１５１と対比しながら説明する。

まず比較例であるテープ貼着装置１５１について説明する。テープ貼着装置１５１は、ヘッド１５２、ベースプレート１５３、巻き出し部材１５４、第一案内ローラ１５９Ｒ、駆動ローラ１６７、従動ローラ１６８、第三案内ローラ１６１Ｒ、第四案内ピン１６２、移動部材１６３、第五案内ピン１６４、第六案内ローラ１６５Ｒ、第七案内ローラ１６６Ｒ、第二支持ローラ１５６、ダンシングローラ１５７、第三支持ローラ１５８、巻き取り部材１７１を備えている。

このようなテープ貼着装置１５１において、巻き出し部材１５４から引き出されたテープ部材Ｔは、図４に示すように、第一案内ローラ１５９Ｒに接触し、「駆動部」に相当する駆動ローラ１６７と従動ローラ１６８に挟持された後、第三案内ローラ１６１Ｒと第四案内ピン１６２に接触し、そこからヘッド１５２の下方を水平方向に延在して、第五案内ピン１６４、第六案内ローラ１６５Ｒ、第七案内ローラ１６６Ｒに接触する。更に第七案内ローラ１６６Ｒに接触したテープ部材Ｔは、「張力支持部」に相当する第二支持ローラ１５６、ダンシングローラ１５７、第三支持ローラ１５８に接触した後、巻き取り部材１７１に至る図示した経路上に案内される。なお、巻き出し部材１５４にはトルクリミッタが設けられている。また巻き取り部材１７１は、モータによって回転して単体のセパレータｔ２になったテープ部材Ｔを巻き取るように構成されている。

このテープ貼着装置１５１で確認を行ったところ、図３に示したテープ貼着装置１０１と比較して対象物Ｗに対するテープ部材Ｔの送り精度のばらつきは抑えられていた。これは、「駆動部」に相当する駆動ローラ１６７と従動ローラ１６８が、テープ貼着装置１０１の駆動ローラ１１７と従動ローラ１１８よりも対象物Ｗに対して近い位置に設けられていることが一つの要因であると考えられる。但しテープ貼着装置１５１でも、テープ貼着装置１で得られる程の送り精度の高さを実現させることは困難であった。

一方、図２に示したテープ貼着装置５１は、ヘッド５２、ベースプレート５３、巻き出し部材５４、第一案内ピン５９、駆動ローラ６７、従動ローラ６８、ストッパ６９、第三案内ピン６１、第四案内ピン６２、移動部材６３、第五案内ピン６４、第六案内ピン６５、第七案内ピン６６、第二支持ローラ５６、ダンシングローラ５７、第三支持ローラ５８、巻き取り部材７１を備えている。また第一案内ピン５９、第三案内ピン６１、第四案内ピン６２、第五案内ピン６４、第六案内ピン６５、及び第七案内ピン６６の表面には、低摩擦処理（本実施形態ではテフロン無電解ニッケルメッキ）が施されている。

このようなテープ貼着装置５１で確認を行ったところ、「駆動部」と「張力付加部」との間に設けられたテープ部材Ｔに接触する第三案内ピン６１、第四案内ピン６２、第五案内ピン６４、第六案内ピン６５、及び第七案内ピン６６をベースプレート５３に対して固定する（すなわち、搬送されるテープ部材Ｔに対して回転不能とする）ことによって、送り精度のばらつきが抑えられることが見出された。また第三案内ピン６１～第七案内ピン６６に低摩擦処理を施すことによって、送り精度のばらつきは更に抑制できることが見出された。また、駆動ローラ６７が回転する際はストッパ６９を従動ローラ６８から離反させ、駆動ローラ６７が停止している状態ではストッパ６９を従動ローラ６８の外周部に押し当てることによっても、送り精度のばらつき抑制に効果的であることが見出された。そしてテープ貼着装置５１によれば、テープ貼着装置１５１よりも送り精度のばらつきが抑えられることが確認された。またテープ貼着装置５１での送り精度のばらつきは、テープ貼着装置１と同等、或いはそれ以上に抑制することが可能であった。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、上記の説明で特に限定しない限り、特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。また、上記の実施形態における効果は、本発明から生じる効果を例示したに過ぎず、本発明による効果が上記の効果に限定されることを意味するものではない。

１：テープ貼着装置
２：ヘッド（貼着手段）
４：巻き出しリール（供給手段）
５：第一支持ローラ（張力付加部、搬送手段）
６：第二支持ローラ（張力付加部、搬送手段）
７：ダンシングローラ（張力付加部、搬送手段）
８：第三支持ローラ（張力付加部、搬送手段）
９：第一案内ピン（案内部材、搬送手段）
１０：第二案内ピン（案内部材、搬送手段）
１１：第三案内ピン（案内部材、搬送手段）
１２：第四案内ピン（案内部材、搬送手段）
１３：移動部材（剥離手段）
１４：第五案内ピン（案内部材、剥離手段、搬送手段）
１５：第六案内ピン（案内部材、剥離手段、搬送手段）
１６：第七案内ピン（案内部材、搬送手段）
１７：駆動ローラ（駆動部、搬送手段）
１８：従動ローラ（駆動部、搬送手段）
１９：ストッパ（駆動部）
２０：第八案内ピン（搬送手段）
２１：回収ユニット（回収手段）
５１：テープ貼着装置
５２：ヘッド（貼着手段）
５４：巻き出し部材（供給手段）
５６：第二支持ローラ（張力付加部、搬送手段）
５７：ダンシングローラ（張力付加部、搬送手段）
５８：第三支持ローラ（張力付加部、搬送手段）
５９：第一案内ピン（案内部材、搬送手段）
６１：第三案内ピン（案内部材、搬送手段）
６２：第四案内ピン（案内部材、搬送手段）
６３：移動部材（剥離手段）
６４：第五案内ピン（案内部材、剥離手段、搬送手段）
６５：第六案内ピン（案内部材、剥離手段、搬送手段）
６６：第七案内ピン（案内部材、搬送手段）
６７：駆動ローラ（駆動部、搬送手段）
６８：従動ローラ（駆動部、搬送手段）
６９：ストッパ（駆動部）
７１：巻き取り部材（回収手段）
Ｔ：テープ部材
ｔ１：異方性導電テープ
ｔ２：セパレータ
Ｗ：対象物

Claims (4)

1. 異方性導電テープとセパレータとを積層させたテープ部材を供給する供給手段と、
   前記供給手段から供給される前記テープ部材を送り出す駆動部と、当該駆動部によって送り出される当該テープ部材に所定の張力を付加する張力付加部とを備え、当該テープ部材を搬送して前記異方性導電テープにおける搬送方向先端に位置する部位を対象物の上方に位置させる搬送手段と、
   前記対象物に対して前記テープ部材を押し付けて前記異方性導電テープを当該対象物に貼着させる貼着手段と、
   前記貼着手段により貼着された前記異方性導電テープから前記セパレータを剥離する剥離手段と、
   前記剥離手段によってセパレータ単体となった前記テープ部材を回収する回収手段と、を備えるテープ貼着装置であって、
   前記搬送手段における前記駆動部と前記張力付加部との間に設けられて前記テープ部材に接触する案内部材の全てと、前記剥離手段における当該テープ部材に接触する案内部材の全ては、ともに当該テープ部材に対して回転不能である、テープ貼着装置。
2. 前記案内部材の全ては、前記テープ部材に接触する部位に低摩擦処理が施されている、請求項１に記載のテープ貼着装置。
3. 前記駆動部は、前記テープ部材を挟持する駆動ローラ及び従動ローラと、当該駆動ローラが停止している間は当該従動ローラの回転を停止させるストッパと、を備える請求項１又は２に記載のテープ貼着装置。
4. 異方性導電テープとセパレータとを積層させたテープ部材を供給する供給手段と、
   前記供給手段から供給される前記テープ部材を送り出す駆動部と、当該駆動部によって送り出される当該テープ部材に所定の張力を付加する張力付加部とを備え、当該テープ部材を搬送して前記異方性導電テープにおける搬送方向先端に位置する部位を対象物の上方に位置させる搬送手段と、
   前記対象物に対して前記テープ部材を押し付けて前記異方性導電テープを当該対象物に貼着させる貼着手段と、
   前記貼着手段により貼着された前記異方性導電テープから前記セパレータを剥離する剥離手段と、
   前記剥離手段によってセパレータ単体となった前記テープ部材を回収する回収手段と、を備えるテープ貼着装置であって、
   前記駆動部は、前記テープ部材を挟持する駆動ローラ及び従動ローラと、当該駆動ローラが停止している間は当該従動ローラの回転を停止させるストッパと、を備えるテープ貼着装置。

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