WO2022244423A1

WO2022244423A1 - 貼着装置

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Publication number: WO2022244423A1
Application number: PCT/JP2022/011778
Authority: WO
Inventors: 尚克柏谷; 明冨田; 晃加藤; 剛志近藤; 祐輔渡邊
Original assignee: 株式会社大橋製作所
Priority date: 2021-05-18
Filing date: 2022-03-16
Publication date: 2022-11-24
Also published as: JP2022177457A; JP7141144B1

Abstract

ワークに対して個片フィルムをより高い精度で貼着させることができる貼着装置を提供する。　貼着装置（１）は、ツール（２０）をテープ部材（Ｔ）に向けて移動させる第一移動手段及びツール（２０）をテープ部材（Ｔ）が送り出される向きに沿って移動させる第二移動手段を有する貼着手段（２Ｂ）と、ワーク（Ｗ）を保持するテーブル（２６）を移動させる搬送手段（３）と、先頭に位置する個片フィルム（ｔ１）を撮像する撮像手段（４）と、第一移動手段に指令を送ってツール（２０）をテープ部材（Ｔ）に押し付けるよう制御することが可能であり、撮像手段（４）からの撮像データに基づいて先頭に位置する個片フィルム（ｔ１）の現在位置を算出するとともに現在位置と貼着基準位置とのずれ量を算出し、ずれ量に基づいてツール（２０）とワーク（Ｗ）を現在位置に対応する位置に移動させるよう第二移動手段及びテーブル移動手段に指令を送る制御手段と、を備える。

Description

貼着装置

　本発明は、個片化された異方性導電フィルム（以下「個片フィルム」と称する）をワーク（電子部品を実装する基板等）に貼着するための貼着装置に関する。

　例えば電子部品を基板等のワークに実装するにあたっては、導電性粒子と熱硬化性樹脂とを含んだ異方性導電フィルム（ＡＣＦ）をワークに貼着させる貼着装置が使用される。

　下記の特許文献１に示されている貼着装置は、ともに長尺状になるセパレータと異方性導電フィルムとを積層させたテープ部材を使用する。またこの貼着装置は、テープ部材を送り出す送り出し手段と、テープ部材の上方に設けられ、ツールをテープ部材に向けて移動させる貼着手段と、テープ部材の下方に設けられ、ワークを保持したテーブルを移動させる搬送手段とを備えている。そして送り出し手段によって、異方性導電フィルムにおける送り出し方向先頭部分がツールの直下に位置するようにテープ部材を送り出し、更に搬送手段によってワークをツールの直下に移動させる。その後、貼着手段でツールをテープ部材に押し付けることによって、異方性導電フィルムをワークに貼着させることができる。

特開２００１－２９４３６１号公報

　ところで近年は、電子部品等をより高密度で実装したいとする要望が高まっていて、ワークに対して異方性導電フィルムをより高精度で貼着させる必要性が増している。また従来のワークは、形状が単純（例えば外形が矩形状であって厚みは一定）なものが大半であったが、最近は複雑な形状のワーク（例えば外形が単純な矩形状ではなかったり、表面に凸部や開口部が設けられていたりする等）も出現している。このため、異方性導電フィルムをワークの形状に合わせて個片化した個片フィルムを使用することがある。ここで、上記のような貼着装置で個片フィルムを自動的に貼着するには、複数の個片フィルムをセパレータに積層させたテープ部材を使用し、個片フィルムがツールの真下に位置するようにテープ部材を送り出する手段が考えられる。しかし従来の貼着装置におけるツールに対するテープ部材の送り精度は、様々な調整を行っても平均で±０.１ｍｍ程度のばらつきが生じている。このため、個片フィルムをツールの真下に正確に位置させることは難しい。なお、テープ部材の送り速度を十分に遅くすれば、送り精度のばらつきを抑制することは可能であるが、送り速度の低下に伴って生産性が大きく損なわれることになる。また送り速度を十分に遅くした場合でも、近年求められる精度要求を満たせないことがあり、根本的な解決が求められている。

　このような問題点に鑑み、本発明は、ワークに対して個片フィルムをより高い精度で貼着させることができる貼着装置を提供することを目的とする。

　本発明における貼着装置は、長尺状のセパレータに複数の個片フィルムが積層されたテープ部材に対してツールを押し付けて当該個片フィルムをワークに貼着させる貼着装置であって、前記テープ部材が取り付けられ、先頭に位置する前記個片フィルムを貼着基準位置に向けて送り出す送り出し手段と、積層した前記セパレータが位置する側に設けられ、前記ツールを前記テープ部材に向けて移動させる第一移動手段と、当該ツールを前記テープ部材が送り出される向きに沿って移動させる第二移動手段とを有する貼着手段と、積層した前記個片フィルムが位置する側に設けられ、前記ワークを保持するテーブルと、当該テーブルを移動させるテーブル移動手段とを有する搬送手段と、積層した前記個片フィルムが位置する側に設けられ、前記テープ部材における先頭に位置する前記個片フィルムを撮像する撮像手段と、前記第一移動手段に指令を送って前記ツールを前記テープ部材に押し付けるよう制御することが可能であり、且つ、前記ツールを前記テープ部材に押し付けるにあたって、前記撮像手段からの撮像データに基づいて先頭に位置する前記個片フィルムの現在位置を算出するとともに当該現在位置と前記貼着基準位置とのずれ量を算出し、当該ずれ量に基づいて前記ツールと前記ワークを前記現在位置に対応する位置に移動させるよう前記第二移動手段及び前記テーブル移動手段に指令を送る制御手段と、を備えることを特徴とする。

　このような貼着装置において、前記貼着手段は、前記制御手段からの指令に基づいて、前記ツールを前記テープ部材が送り出される向きに対して交差する向きに沿って移動させる第三移動手段を備えることが好ましい。

　このような構成になる本発明の貼着装置によれば、ワークに対して個片フィルムをより高い精度で貼着させることができる。

本発明に係る貼着装置の一実施形態を正面から模式的に示した図である。Ａ部拡大図である。Ｂ矢視図である。図１に示した貼着装置を側面から模式的に示した図である。図１に示した貼着装置で個片フィルムをワークに貼着する手順について示した図である。図３Ａに引き続く手順について示した図である。図３Ｂに引き続く手順について示した図である。図３Ｃに引き続く手順について示した図である。図４Ａに引き続く手順について示した図である。図１に示した貼着装置の変形例を側面から模式的に示した図である。

　以下、本発明に係る貼着装置の一実施形態（貼着装置１）について、図面を参照しながら説明する。なお、図示した矢印Ｙに沿う向きは、貼着装置１を操作する作業者が貼着装置１に正対した状態での左右方向であり、矢印Ｚに沿う向きは上下方向であり、矢印Ｘに沿う向きは前後方向であって、本明細書等では便宜上、上記の方向により説明する。

　貼着装置１は、テープユニット２Ａと、ヘッドユニット２Ｂと、テーブルユニット３と、撮像ユニット４と、不図示の制御ユニットを備えている。なお制御ユニットは、例えばＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）や各種の記憶装置を含んで構成されるものであって、後述するように各種のモータやカメラと電気的に接続されてこれらを制御する。また本実施形態のテープユニット２Ａは、本明細書等における「送り出し手段」に相当し、ヘッドユニット２Ｂは、本明細書等における「貼着手段」に相当する。そしてテーブルユニット３は、本明細書等における「搬送手段」に相当し、撮像ユニット４は、本明細書等における「撮像手段」に相当し、制御ユニットは、本明細書等における「制御手段」に相当する。

　テープユニット２Ａは、本実施形態では門型になるベース５を備えている。ベース５には、制御ユニットによって制御される不図示のモータによって矢印の向きに回転する巻き出しリール６が設けられていて、巻き出しリール６には、ロール状に巻き回したテープ部材Ｔがセットされる。本実施形態のテープ部材Ｔは、図１ＢのＡ部拡大図及び図１ＣのＢ矢視図に示したように、長尺状になるセパレータｔ２に対して異方性導電フィルムを所定の形状に個片化した複数の個片フィルムｔ１を積層させたものである。本実施形態の個片フィルムｔ１は、外形は六角形であって内側には矩形状の貫通穴を有する形状で形作られている。なお、個片フィルムｔ１の形状は後述するワークＷとの関係で種々選択可能であって、図示した形状に限られるものではない。このような個片フィルムｔ１は、図示したようにセパレータｔ２に対して直列状に配置されている。

　またテープユニット２Ａは、図１Ａに示すように巻き出しリール６の右側に位置する第一支持ローラ７と、第一支持ローラ７に対して左斜め下に位置する第二支持ローラ８と、第二支持ローラ８に対して左斜め下に位置するダンシングローラ９と、ダンシングローラ９に対して右斜め上に位置する第三支持ローラ１０を備えている。第一支持ローラ７、第二支持ローラ８、及び第三支持ローラ１０は、ベース５に対して固定された軸部を中心として回転するよう構成されている。またダンシングローラ９は、ベース５に対して上下方向に移動する不図示の移動体に対し、この移動体に固定された軸部を中心として回転するよう構成されている。

　第三支持ローラ１０の下方には、円柱状の第一案内ピン１１が設けられている。そして第一案内ピン１１の下方には、第二案内ピン１２が設けられ、第二案内ピン１２に対して右斜め下には、第三案内ピン１３が設けられている。

　第三案内ピン１３の右側には、制御ユニットで制御される不図示の駆動源（モータ等）によって左右方向に移動する移動部材１４が設けられている。移動部材１４には、第三案内ピン１３に対して略同一の高さに位置する第四案内ピン１５が設けられている。

　第四案内ピン１５の右斜め上には、駆動ローラ１６が設けられている。駆動ローラ１６は、不図示のモータによって矢印の方向に回転する。駆動ローラ１６の上方には、従動ローラ１７が設けられている。従動ローラ１７の外周部は、弾性体（ゴム等）で形成されている。また従動ローラ１７は、駆動ローラ１６に向けて押し付けられるように構成されていて、駆動ローラ１６が回転すると従動ローラ１７も連れ回る。

　従動ローラ１７の右斜め上には、第五案内ピン１８が設けられている。そして第五案内ピン１８の上方には、テープ部材Ｔを吸引して回収することができる回収ユニット１９が設けられている。

　本実施形態のテープ部材Ｔは、第一支持ローラ７等に対して図示したように支持される。すなわち巻き出しリール６に取り付けられたテープ部材Ｔは、第一支持ローラ７から第二支持ローラ８、ダンシングローラ９・・・を経由し、第三案内ピン１３から水平に延在して第四案内ピン１５に至り、更に駆動ローラ１６と従動ローラ１７に挟持された後、第五案内ピン１８を経由して回収ユニット１９に至る経路で支持される。このときのテープ部材Ｔの表裏方向は、図３Ａに示すように個片フィルムｔ１が下側であって、セパレータｔ２が上側である。そして、制御ユニットからの指令に基づいて、巻き出しリール６や駆動ローラ１６を回転させるモータが駆動することによって、第三案内ピン１３から第四案内ピン１５に向かう向きにテープ部材Ｔを送り出すことができる。

　なお制御ユニットは、図３Ａにおいて仮想線で示した個片フィルムｔ１の貼着基準位置Ａ０（テープ部材Ｔが理想的に送り出されるとした場合に個片フィルムｔ１が貼着される位置）や、後述するツール基準位置Ｂ０等の各種の情報を記憶している。

　ヘッドユニット２Ｂは、下端部にツール２０を保持するヘッド２１を備えている。ツール２０は、個片フィルムｔ１やワークＷに対応する形状で形作られていて、ヘッド２１に対して着脱可能である。なおツール２０は、第三案内ピン１３と第四案内ピン１５に掛け渡されたテープ部材Ｔの上方に位置する。そしてヘッド２１は、ベース５に対して上下方向に移動可能であって、また左右方向にも移動可能である。本実施形態においては図２に示すように、Ｚ方向に沿って延在するＺレール２２、Ｚレール２２に案内されて移動するＺナット２３の他、不図示のＺモータやボールねじ等によって、ヘッド２１を上下方向に移動させることができ、またＹ方向に沿って延在するＹレール２４、Ｙレール２４に案内されて移動するＹナット２５の他、不図示のＹモータやボールねじ等によって、ヘッド２１を左右方向に移動させることができる。なお、ＺモータやＹモータは制御ユニットに接続されていて、制御ユニットからの指令によって動作する。また制御ユニットは、貼着基準位置Ａ０の直上であって、ツール２０が下方に向けて移動する直前の位置（ツール基準位置Ｂ０、図３Ａ～図３Ｃ参照）を記憶している。Ｚレール２２等は、本明細書等における「第一移動手段」に相当し、Ｙレール２４等は、本明細書等における「第二移動手段」に相当する。

　テーブルユニット３は、図３Ｃに示したワークＷ（例えば基板）が載置されるテーブル２６を備えている。本実施形態のワークＷは、個片フィルムｔ１よりも一回り大きな六角形の外形であって、表面には個片フィルムｔ１の貫通孔よりも一回り小さな矩形状の凸部が設けられた形状をなしている。なおテーブル２６には、載置したワークＷの位置ずれを防ぐ手段（例えばワークＷの外形に応じた凹状のポケットや、ワークＷを吸着保持する機構等）が設けられている。またテーブル２６は、第三案内ピン１３と第四案内ピン１５に掛け渡されたテープ部材Ｔの下方に位置していて、前後方向及び左右方向に移動可能である。本実施形態のテーブルユニット３は、図１Ａに示すように、Ｘ方向に沿って延在するＸレール２７、Ｘレール２７に案内されて移動するＸナット２８の他、不図示のＸモータやボールねじ等を備えていて、これらによってテーブル２６を前後方向に移動させることができる。またテーブルユニット３は、不図示のＹレール、Ｙナット、Ｙモータ、ボールねじ等も備えていて、これらによってテーブル２６を左右方向に移動させることができる。なおＸモータ等は、制御ユニットに接続されていて、制御ユニットからの指令によって動作する。また、制御ユニットは、貼着基準位置Ａ０の直下であって、個片フィルムｔ１が貼着される直前のワークＷの位置（ワーク基準位置Ｃ０、図３Ｃ参照）を記憶している。テーブル２６を前後方向及び左右方向に移動させるＸレール２７等は、本明細書等における「テーブル移動手段」に相当する。

　またテーブルユニット３は、ワークＷを撮像するワーク用カメラ２９を備えている。本実施形態のワーク用カメラ２９は、テーブル２６が移動する範囲の内側においてテーブル２６の上方に位置する高さでベース５に取り付けられていて、テーブル２６に保持されたワークＷを撮像する。ワーク用カメラ２９は上述した制御ユニットに接続されていて、ワークＷの撮像は制御ユニットの制御の下で行われる。またワーク用カメラ２９で撮像したワークＷの撮像データは、制御ユニットによって画像処理され、テーブル２６に対するワークＷの前後方向及び左右方向の位置（Ｘ方向及びＹ方向の位置）は制御ユニットによって把握される。なお撮像データからは、ワークＷのＸ方向及びＹ方向の位置の他、ＸＹ平面におけるワークＷの傾き、及びワークＷの形状も把握することが可能である。

　そして撮像ユニット４は、個片フィルムｔ１を撮像する個片フィルム用カメラ３０を備えている。個片フィルム用カメラ３０は、図１Ａ、図２に示すようにテーブルユニット３におけるテーブル２６を移動させる部材の内側に取り付けられていて、第三案内ピン１３と第四案内ピン１５に掛け渡されたテープ部材Ｔに対し、このテープ部材Ｔの送り方向先頭に位置する個片フィルムｔ１を下方から撮像する。なお、個片フィルム用カメラ３０の光軸は、図３Ａにおいて仮想線で示した貼着基準位置Ａ０が撮像範囲の中心になるように合わせられている。

　また撮像ユニット４は、個片フィルム用カメラ３０で個片フィルムｔ１を撮像する際に使用する照明ユニット３１を備えている。本実施形態の照明ユニット３１は、ベース５に対して、テープ部材Ｔとツール２０との間に位置する高さでもって前後方向に移動可能に取り付けられていて、貼着基準位置Ａ０の直上まで前進させることができる。また貼着基準位置Ａ０の直上に位置させた状態において、照明ユニット３１は、テープ部材Ｔに向けて光を照射する。すなわち照明ユニット３１で照射した光は、セパレータｔ２のみが存在する部分に対して個片フィルムｔ１とセパレータｔ２が積層された部分では透過しにくいため、個片フィルム用カメラ３０ではこの明暗を利用して個片フィルムｔ１を撮像する。

　個片フィルム用カメラ３０と照明ユニット３１は、上述した制御ユニットに接続されていて、個片フィルムｔ１の撮像は、制御ユニットの制御の下で行われる。また個片フィルム用カメラ３０で撮像した個片フィルムｔ１の撮像データは、制御ユニットによって画像処理され、個片フィルムｔ１の左右方向の位置（Ｙ方向の位置）は制御ユニットによって把握される。なお撮像データからは、個片フィルムｔ１のＹ方向の位置の他、個片フィルムｔ１のＸ方向の位置、ＸＹ平面における個片フィルムｔ１の傾き、及び個片フィルムｔ１の形状も把握することが可能である。

　このような構成になる貼着装置１は、図３Ａ～図４Ｂに示した手順で個片フィルムｔ１をワークＷに貼着させることができる。以下、図面を参照しながら詳細に説明する。

　図３Ａは、テープ部材Ｔの送り方向先頭に位置する個片フィルムｔ１が、仮想線で示した貼着基準位置Ａ０に向けて送り出される直前の状態を示している。本実施形態ではこの状態において照明ユニット３１を前進させて、貼着基準位置Ａ０の直上に照明ユニット３１を位置させる。そして、巻き出しリール６や駆動ローラ１６を回転させてテープ部材Ｔを送り出し、送り方向先頭に位置する個片フィルムｔ１を貼着基準位置Ａ０に向けて移動させる（図３Ｂ）。このときのテープ部材Ｔの送り出し速度は、従来の貼着装置と同等でよく、特段遅くする必要はない。その後は、照明ユニット３１から光を照射するとともに個片フィルム用カメラ３０で送り方向先頭に位置する個片フィルムｔ１を撮像する。これにより制御ユニットは、送り方向先頭に位置する個片フィルムｔ１の現在位置Ａ１を把握する。

　なお図示は省略するが、制御ユニットは、テーブルユニット３に指令を送ってテーブル２６に保持されたワークＷをワーク用カメラ２９で撮像する。これにより制御ユニットは、テーブル２６に対するワークＷの位置を把握する。すなわち、テーブル２６に対して載置されるワークＷの位置が理想とする位置からずれていても、図３Ｃに示したワーク基準位置Ｃ０にワークＷを移動させることができる。

　ところで従来の貼着装置におけるテープ部材の送り精度は、上述したように平均で±０.１ｍｍ程度のばらつきが生じている。従って、図３Ｂにおける送り方向先頭に位置する個片フィルムｔ１の現在位置Ａ１は、貼着基準位置Ａ０に対してＹ方向に平均で±０.１ｍｍ程度ずれることがある。ここで制御ユニットは、個片フィルム用カメラ３０で得られた個片フィルムｔ１の貼着基準位置Ａ０と現在位置Ａ１とのずれ量を算出し、そのずれ量に基づいて、記憶しているツール基準位置Ｂ０へツール２０を移動させるための指令を補正して、ツール２０が現在位置Ａ１の直上に位置するようにヘッドユニット２ＢのＹモータに指令を送る。これによりツール２０を、図３Ｃに示すように現在位置Ａ１の直上であるツール補正位置Ｂ１に位置させることができる。また制御ユニットは、算出したずれ量に基づいて、記憶しているワーク基準位置Ｃ０へワークＷを移動させるための指令も補正して、ワークＷが現在位置Ａ１の直下に位置するようにテーブルユニット３のＹモータに指令を送る。これによりワークＷを、図３Ｃに示すように現在位置Ａ１の直下であるワーク補正位置Ｃ１に位置させることができる。

　なお、上述したように本実施形態の制御ユニットは、ワーク用カメラ２９で得られるワークＷの撮像データに基づいて、ＸＹ平面におけるワークＷの傾きやワークＷの形状を把握し、また個片フィルム用カメラ３０で得られる個片フィルムｔ１の撮像データに基づいて、個片フィルムｔ１のＸ方向の位置、ＸＹ平面における個片フィルムｔ１の傾き、及び個片フィルムｔ１の形状も把握する。従って、上述したワークＷや個片フィルムｔ１の傾き等が所定の条件から外れていて、個片フィルムｔ１を意図した通りに固着できないと判断される場合には、制御ユニットがエラー処理を行う（例えば光や音を発して作業員にエラーであることを伝える等）ように構成してもよい。

　次いで制御ユニットは、貼着基準位置Ａ０の直上に位置していた照明ユニット３１を後退させ、更にヘッドユニット２ＢのＺモータに指令を送って、図４Ａに示すようにツール２０を下方に向けて移動させ、テープ部材Ｔにツール２０を押し付ける。これにより、個片フィルムｔ１をワークＷに固着させることができる。

　このように本実施形態の貼着装置１によれば、テープ部材Ｔの送り精度は従来と同等であっても、テープ部材Ｔで送り出された個片フィルムｔ１の現在位置Ａ１を把握して、現在位置Ａ１の直上にツール２０を移動させ、また現在位置Ａ１の直下にワークＷを移動させることができるため、ワークＷに対して個片フィルムｔ１をより高い精度で固着させることができる。

　その後制御ユニットは、ヘッドユニット２ＢのＺモータに指令を送って、図４Ｂに示すようにツール２０を上方に向けて移動させる。なお図示は省略するが、ツール２０を上昇させた後は、移動部材１４（図１Ａ参照）を左側に移動させることによって、個片フィルムｔ１をセパレータｔ２から剥離させることができる。しかる後は、図３Ａからの手順を繰り返すことにより、個片フィルムｔ１をワークＷに対して順次固着させることができる。

　ところで個片フィルムｔ１の位置は、Ｙ方向においては上述したようにテープ部材Ｔの送り精度がそれ程高くないためにばらつきやすい一方、Ｘ方向においてはテープ部材Ｔを幅方向に規制するガイド等を設けることによってばらつきが抑えられている。しかし、本実施形態の貼着装置１のようにテープ部材Ｔの送り精度によらずに個片フィルムｔ１をワークＷに対して高い精度で固着できる場合、Ｘ方向においてもより高い精度での固着が求められることが想定される。この場合、貼着装置１のヘッドユニット２Ｂは、ツール２０を上下方向と左右方向に移動させるに加えて、前後方向にも移動させることができるように構成することが好ましい。図５は、ツール２０を前後方向にも移動させることができる構成の一例を示していて、ヘッドユニット２Ｂは、Ｘ方向に沿って延在するＸレール３２、Ｘレール３２に案内されて移動するＸナット３３の他、不図示のＸモータやボールねじ等を備えている。なおＸレール３２等は、本明細書等における「第三移動手段」に相当する。

　図５に示した貼着装置１によれば、個片フィルム用カメラ３０で送り方向先頭に位置する個片フィルムｔ１を撮像した際、現在位置Ａ１が貼着基準位置Ａ０に対してＸ方向にずれていた場合であっても、ツール２０を現在位置Ａ１の直上に位置させることができるため、Ｘ方向においても個片フィルムｔ１をワークＷに対して高い精度で固着することができる。

　以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は係る特定の実施形態に限定されるものではなく、上記の説明で特に限定しない限り、特許請求の範囲に記載された本発明の趣旨の範囲内において、種々の変形・変更が可能である。また、上記の実施形態における効果は、本発明から生じる効果を例示したに過ぎず、本発明による効果が上記の効果に限定されることを意味するものではない。

　例えば上述した実施形態におけるテープユニット２Ａでは、テープ部材Ｔを送り出す駆動ローラ１６がツール２０に対して送り方向下流側に設けられていたが、駆動ローラ１６をツール２０に対して送り方向上流側に設けたテープユニットを使用してもよい。

１：貼着装置
２Ａ：テープユニット（送り出し手段）
２Ｂ：ヘッドユニット（貼着手段）
３：テーブルユニット（搬送手段）
４：撮像ユニット（撮像手段）
５：ベース
６：巻き出しリール
７：第一支持ローラ
８：第二支持ローラ
９：ダンシングローラ
１０：第三支持ローラ
１１：第一案内ピン
１２：第二案内ピン
１３：第三案内ピン
１４：移動部材
１５：第四案内ピン
１６：駆動ローラ
１７：従動ローラ
１８：第五案内ピン
１９：回収ユニット
２０：ツール
２１：ヘッド
２２：Ｚレール（第一移動手段）
２３：Ｚナット（第一移動手段）
２４：Ｙレール（第二移動手段）
２５：Ｙナット（第二移動手段）
２６：テーブル
２７：Ｘレール
２８：Ｘナット
２９：ワーク用カメラ
３０：個片フィルム用カメラ
３１：照明ユニット
３２：Ｘレール（第三移動手段）
３３：Ｘナット（第三移動手段）
Ａ０：貼着基準位置
Ａ１：現在位置
Ｂ０：ツール基準位置
Ｂ１：ツール補正位置
Ｃ０：ワーク基準位置
Ｃ１：ワーク補正位置
Ｔ：テープ部材
Ｗ：ワーク
ｔ１：個片フィルム
ｔ２：セパレータ

Claims

　長尺状のセパレータに複数の個片フィルムが積層されたテープ部材に対してツールを押し付けて当該個片フィルムをワークに貼着させる貼着装置であって、
　前記テープ部材が取り付けられ、先頭に位置する前記個片フィルムを貼着基準位置に向けて送り出す送り出し手段と、
　積層した前記セパレータが位置する側に設けられ、前記ツールを前記テープ部材に向けて移動させる第一移動手段と、当該ツールを前記テープ部材が送り出される向きに沿って移動させる第二移動手段とを有する貼着手段と、
　積層した前記個片フィルムが位置する側に設けられ、前記ワークを保持するテーブルと、当該テーブルを移動させるテーブル移動手段とを有する搬送手段と、
　積層した前記個片フィルムが位置する側に設けられ、前記テープ部材における先頭に位置する前記個片フィルムを撮像する撮像手段と、
　前記第一移動手段に指令を送って前記ツールを前記テープ部材に押し付けるよう制御することが可能であり、且つ、前記ツールを前記テープ部材に押し付けるにあたって、前記撮像手段からの撮像データに基づいて先頭に位置する前記個片フィルムの現在位置を算出するとともに当該現在位置と前記貼着基準位置とのずれ量を算出し、当該ずれ量に基づいて前記ツールと前記ワークを前記現在位置に対応する位置に移動させるよう前記第二移動手段及び前記テーブル移動手段に指令を送る制御手段と、を備える貼着装置。
　前記貼着手段は、前記制御手段からの指令に基づいて、前記ツールを前記テープ部材が送り出される向きに対して交差する向きに沿って移動させる第三移動手段を備える請求項１に記載の貼着装置。