WO2017022098A1

WO2017022098A1 - 部品実装機

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Publication number: WO2017022098A1
Application number: PCT/JP2015/072235
Authority: WO
Inventors: 淳飯阪; 伊藤　秀俊; 啓太田中
Original assignee: 富士機械製造株式会社
Priority date: 2015-08-05
Filing date: 2015-08-05
Publication date: 2017-02-09
Also published as: EP3334264A1; EP3334264A4; CN107852849A; JPWO2017022098A1; EP3334264B1; CN107852849B; JP6666915B2

Abstract

本発明は、キャビティ部（９３）が形成されたキャリアテープ（９）を繰り出して部品（Ｐ）を供給位置（３４）に順次供給するフィーダ装置（３１）を有する部品供給部（３）と、供給位置のキャビティ部から部品を吸着して基板（Ｋ）に装着する吸着ノズル（４６）、実装ヘッド（４４）、およびヘッド駆動機構（４９）を有する部品移載装置（４）と、を備えた部品実装機（１）であって、キャリアテープが保持する部品の残数が所定の僅少数まで減少したことを検出する部品僅少検出部（カメラ装置７）と、部品僅少検出部の検出結果に基づき、キャリアテープが保持する部品の残数がゼロになったときに、吸着ノズルの無効な吸着動作を回避する無効吸着回避部(制御装置６)と、を備えた。本発明によれば、部品を保持していないキャビティ部に対する無効な吸着動作を行わないようにして、基板の生産効率を高めることができる。

Description

部品実装機

　本発明は、キャリアテープを繰り出して部品を順次供給するフィーダ装置を備えた部品実装機に関する。

　多数の部品が実装された基板を生産する設備として、はんだ印刷機、部品実装機、リフロー機、基板検査機などがある。これらの設備を連結して基板生産ラインを構成することが一般的になっている。このうち部品実装機は、基板搬送装置、部品供給装置、部品移載装置、および制御装置を備える。部品供給装置の代表例として、部品を保持するキャビティ部が一列に並んで形成されたキャリアテープを繰り出して、部品を所定の供給位置に順次供給するフィーダ装置がある。部品移載装置は、キャビティ部から部品を吸着して基板に装着する吸着ノズル、および吸着ノズルを保持する実装ヘッドを備える。チップ部品などの小型部品を効率良く装着する目的で、複数の吸着ノズルを回転可能に保持するロータリノズルユニットが用いられる。この種の部品実装機に関連する技術例が、特許文献１、２に開示されている。

　特許文献１のテープフィーダ（フィーダ装置）は、キャリアテープの上方を覆うカバー部材に設けられた部品取り出し用開口部と、カバー部材の部品取り出し用開口部の上流側に設けられて電子部品の存否を確認するための部品確認用開口部と、を備える。これによれば、テープ装着時に凹部（キャビティ部）内の電子部品の有無を確認でき、電子部品見落としを防止して、電子部品の無駄を排除できる、とされている。補足説明すると、一般的にキャリアテープの先端寄りおよび終端寄りの数個のキャビティ部は電子部品を保持しておらず、先頭の電子部品を保持しているキャビティ部の位置は不定になっている。特許文献１の技術では、作業者によるキャリアテープの頭出し動作において、部品確認用開口部から先頭の電子部品を確認できるので、電子部品を見落として部品取り出し用開口部を通過させてしまう無駄が生じない。

　また、特許文献２の電子部品実装方法は、移載ヘッド（実装ヘッド）に３本以上の吸着ノズルを備えて同時に電子部品をピックアップする（吸着する）方法であり、ピックアップミスの有無を検出し、ピックアップミスがあった場合に、ミスをした吸着ノズルを正確にピックアップ位置に移動させて再度ピックアップを行わせようにしている。これによれば、３箇所以上あるピックアップ位置の配設ピッチ誤差に起因するピックアップミスを解消できる、とされている。

特開２００３－２９８２８８号公報特開平１０－１０７４９１号公報

　ところで、キャリアテープが保持する部品の残数を正確に管理することは、部品実装機内の制御装置にとって容易でない。例えば、新品のキャリアテープの公称の部品保持数に対して、実際には何個か多めに部品が保持されているケースがある。また、使いかけのキャリアテープを使用する場合や、キャリアテープをフィーダ装置に装填する際に手動でキャリアテープを繰り出した場合などには、当該時点における部品の残数が不明となり、制御装置による部品の残数管理は行えない。

　このため、特許文献１、２の技術に限定されず一般的に、キャリアテープの終端寄りに位置して部品を保持していないキャビティ部に対しても、吸着ノズルの吸着動作が行われる。この場合、当然ながら部品を吸着できず、無効な吸着動作となる。そして、吸着動作が無効であるか否かは、例えば、吸着ノズルの部品吸着状態を撮像しさらに画像処理を行って判定する必要がある。これにより、無効な吸着動作および無効であるか否かの判定処理を行う分だけ、基板の生産効率が低下する。また、吸着ノズルは無効な吸着動作によって通常時よりも多くの外気を吸入してしまうため、負圧供給機構の負圧状態が低下するおそれが生じる。

　本発明は、上記背景技術の問題点に鑑みてなされたものであり、キャリアテープの終端寄りに位置して部品を保持していないキャビティ部に対する無効な吸着動作を行わないようにして、基板の生産効率を高めた部品実装機を提供することを解決すべき課題とする。

　上記課題を解決する本発明の部品実装機は、部品を保持するキャビティ部が一列に並んで形成されたキャリアテープを繰り出して前記部品を所定の供給位置に順次供給するフィーダ装置を有する部品供給部と、前記供給位置の前記キャビティ部から前記部品を吸着して基板に装着する吸着ノズル、前記吸着ノズルを保持する実装ヘッド、および前記吸着ノズルとともに前記実装ヘッドを駆動するヘッド駆動機構を有する部品移載装置と、を備えた部品実装機であって、前記キャリアテープが保持する部品の残数が所定の僅少数まで減少したことを検出する部品僅少検出部と、前記部品僅少検出部の検出結果に基づき、前記キャリアテープが保持する部品の残数がゼロになったときに、前記吸着ノズルの無効な吸着動作を回避する無効吸着回避部と、を備えた。

　本発明の部品実装機によれば、部品僅少検出部はキャリアテープが保持する部品の残数が所定の僅少数まで減少したことを検出するので、検出結果に基づいて部品の残数がゼロになるときが正確に分かる。そして、無効吸着回避部は、部品の残数がゼロになったときに、吸着ノズルの無効な吸着動作を回避する。このため、部品を保持していないキャビティ部に対する無効な吸着動作は行われず、無効な吸着動作および無効であるか否かの判定処理が行われない分だけ、従来技術よりも基板の生産効率が向上する。

第１実施形態の部品実装機の構成を模式的に示す平面図である。第１実施形態の部品実装機の制御の構成を示すブロック図である。フィーダ装置の供給位置の上方に実装ヘッドが駆動された状態を示す斜視図である。フィーダ装置および実装ヘッドの断面、ならびにカメラ装置の第１光路および第２光路を示した側面断面図である。第１実施形態の部品実装機の動作を模式的に説明する平面図である。図５の状態から部品が１個吸着されて、部品の残数が所定の僅少数まで減少した状態を示す平面図である。図６の状態から部品が２個吸着された後に、吸着ノズルが最後の部品を吸着している状態を示す平面図である。従来技術の部品実装機の構成および動作を模式的に説明する平面図である。従来技術において、部品の残数がゼロになったことを検出する方法を説明する平面図である。第２実施形態の部品実装機の構成を模式的に示す平面図である。第２実施形態のカメラ装置の第１光路および第２光路を示した斜視図である。第２実施形態の部品実装機の動作を模式的に説明する平面図である。図１２の状態から部品種Ａ、Ｂの部品が２個ずつ吸着された後に、第８吸着ノズルが部品種Ｂの最後の部品を吸着している状態を示す平面図である。

　（１．第１実施形態の部品実装機１の構成）
　本発明の第１実施形態の部品実装機１について、図１～図７を参考にして説明する。図１は、第１実施形態の部品実装機１の構成を模式的に示す平面図である。図１の紙面左側から右側に向かう方向が基板Ｋを搬入出するＸ軸方向、紙面下側の後方から紙面上側の前方に向かう方向がＹ軸方向、紙面表裏方向がＺ軸方向（上下方向）である。部品実装機１は、基板搬送装置２、部品供給部３、部品移載装置４、部品カメラ５、および制御装置６（図２に示す）などが機台１０に組み付けられて構成されている。図２は、第１実施形態の部品実装機１の制御の構成を示すブロック図である。基板搬送装置２、部品供給部３、部品移載装置４、および部品カメラ５は、制御装置６から制御され、それぞれが所定の作業を行うようになっている。

　基板搬送装置２は、基板Ｋを装着実施位置に搬入し位置決めし搬出する。基板搬送装置２は、搬送ユニット２５およびバックアップユニット２６からなる。搬送ユニット２５は、一対のガイドレール２１、２２、および一対のコンベアベルトなどで構成されている。一対のガイドレール２１、２２は、機台１０の上面中央の搬送方向（Ｘ軸方向）に延在し、かつ、互いに平行して配置されている。一対のガイドレール２１、２２の向かい合う内側に、図略の無端環状の一対のコンベアベルトが並設されている。一対のコンベアベルトは、基板Ｋの両縁をそれぞれ戴置した状態で輪転して、基板Ｋを機台１０の中央部に設定された装着実施位置に搬入および搬出する。バックアップユニット２６は、装着実施位置の下方に配設されている。バックアップユニット２６は、基板Ｋを押し上げて水平姿勢でクランプし、装着実施位置に位置決めする。これにより、部品移載装置４が装着実施位置で部品装着動作を行えるようになる。

　部品供給部３は、パレット台３０および複数のフィーダ装置３１などで構成されている。パレット台３０は、概ね矩形板状であり、機台１０の上面の後方寄りに着脱可能に装備される。フィーダ装置３１は、幅方向寸法に薄く形成されており、パレット台３０上に並べて装備される。図１には、４個のフィーダ装置３１が例示されており、実際には、さらに多数のフィーダ装置３１が列設される。

　フィーダ装置３１は、本体部３２、および本体部３２の後部に交換可能にセットされるテープリール３３などで構成されている。本体部３２の前端付近の上部に、供給位置３４が設定されている。テープリール３３には、キャリアテープ９（図４に示す）が巻回保持されている。キャリアテープ９は、部品を保持するキャビティ部９３が一定ピッチで形成されたボトムテープ９１、およびボトムテープ９１に貼設されてキャビティ部９３を覆うカバーテープ９２からなる。ボトムテープ９１は紙製や樹脂製とされ、カバーテープ９２は透明フィルム製などとされる。フィーダ装置３１は、キャリアテープ９を一定ピッチずつ繰り出し、部品を供給位置３４に順次供給する。生産する基板Ｋの種類に応じて、複数のフィーダ装置３１は適宜交換され、あるいは、部品供給部３の全体が交換される。

　部品移載装置４は、Ｘ軸方向およびＹ軸方向に水平移動可能なＸＹロボットタイプの装置である。部品移載装置４は、ヘッド駆動機構４９を構成する一対のＹ軸レール４１、４２およびＹ軸スライダ４３、実装ヘッド４４、ロータリノズルユニット４５、吸着ノズル４６（図３に示す）、カメラ装置７、および基板カメラ４８などで構成されている。一対のＹ軸レール４１、４２は、機台１０の両方の側面寄りに配置されて、前後方向（Ｙ軸方向）に延在している。Ｙ軸レール４１、４２上に、Ｙ軸スライダ４３が移動可能に装架されている。Ｙ軸スライダ４３は、図略のＹ軸ボールねじ機構によってＹ軸方向に駆動される。

　実装ヘッド４４は、Ｙ軸スライダ４３に移動可能に装架されている。実装ヘッド４４は、図略のＸ軸ボールねじ機構によってＸ軸方向に駆動される。ロータリノズルユニット４５は、実装ヘッド４４の下側に交換可能に保持される。ロータリノズルユニット４５は、１６本の吸着ノズル４６を下向きに保持している。カメラ装置７は、ロータリノズルユニット４５の後方に並んで実装ヘッド４４に設けられている。カメラ装置７は、本発明の部品僅少検出部に相当する。ロータリノズルユニット４５およびカメラ装置７については、後で詳述する。基板カメラ４８は、ロータリノズルユニット４５の側方に並んで実装ヘッド４４に設けられている。基板カメラ４８は、基板Ｋに付設された位置基準マークを撮像して、基板Ｋの正確な位置を検出する。

　部品カメラ５は、基板搬送装置２と部品供給部３との間の機台１０の上面に、上向きに設けられている。部品カメラ５は、実装ヘッド４４が部品供給部３から基板Ｋ上に移動する途中で、吸着ノズル４６に吸着されている部品の状態を撮像する。部品カメラ５の撮像データによって部品の吸着姿勢の誤差や回転角のずれなどが判明すると、制御装置６は、必要に応じて部品装着動作を微調整し、装着が困難な場合には当該の部品を廃棄する制御を行う。

　制御装置６は、機台１０に組み付けられており、その配設位置は特に限定されない。制御装置６は、ＣＰＵを有してソフトウェアで動作するコンピュータ装置である。制御装置６は、オペレータによる入力設定を行う入力部６１、オペレータに情報を表示する表示部６３、および各種のプログラムやデータを記憶する記憶部６２を備えている。図２に示されるように、制御装置６は、基板搬送装置２、部品供給部３の各フィーダ装置３１、部品移載装置４、および部品カメラ５と通信接続されている。さらに、制御装置６は、上位のホストコンピュータ６９にも通信接続されている。

　制御装置６は、基板Ｋに装着する部品の種類および装着順序、当該の部品を供給するフィーダ装置３１などを指定した装着シーケンスを保持している。制御装置６は、カメラ装置７、基板カメラ４８、および部品カメラ５の撮像データ、ならびに図略のセンサの検出データなどに基づき、装着シーケンスにしたがって部品装着動作を制御する。また、制御装置６は、生産完了した基板Ｋの生産数や、部品の装着に要した装着時間、部品の吸着エラーの発生回数などの稼動状況データを逐次収集して更新する。さらに、後述するように、制御装置６は、本発明の無効吸着回避部および部品切れ対応部の機能を果たす。

　（２．フィーダ装置３１および実装ヘッド４４の詳細な構成）
　図３は、フィーダ装置３１の供給位置３４の上方に実装ヘッド４４が駆動された状態を示す斜視図である。図示されるように、フィーダ装置３１の供給位置３４の後方には、テープ剥離部３５が配設されている。テープ剥離部３５は、ボトムテープ９１からカバーテープ９２を剥離してキャビティ部９３を開放し、部品の吸着を可能にする。テープ剥離部３５は、２条の接着箇所の一方を剥離して、カバーテープ９２を接着箇所の他方側に折り返すように構成されている。これに限定されず、テープ剥離部は、カバーテープ９２の２条の接着箇所の両方を剥離して、ボトムテープ９１から引き離すように構成してもよい。

　テープ剥離部３５の後方に、押え板３６が配設されている。押え板３６は、キャリアテープ９の繰り出しを案内する図略のレール部材の上側に離隔しつつ平行に配置されている。押え板３６は、キャリアテープ９の浮上を抑止する。押え板３６の前方寄りに、部品確認孔３７が穿設されている。部品確認孔３７は、キャリアテープ９を撮像または視認して、キャビティ部９３内の部品の有無を確認するためのものである。

　ロータリノズルユニット４５は、１６本の吸着ノズル４６を中心軸４５１(図５に示す)の周りに回転駆動するＲ軸回転駆動機構４５２を有する。また、ロータリノズルユニット４５は、特定の回転位置に配置された吸着ノズル４６をＺ軸方向に昇降駆動するＺ軸駆動機構４５３を有する。さらに、ロータリノズルユニット４５は、吸着ノズル４６に負圧を供給する負圧供給機構４５４の一部を内蔵する。厳密に言うと、負圧供給機構４５４は、吸着ノズル４６が部品を装着するときに若干の正圧を供給する機能を兼備している。Ｒ軸回転駆動機構４５２、Ｚ軸駆動機構４５３、および負圧供給機構４５４は、公知の技術を適宜応用して構成できる。

　吸着ノズル４６は、まず、ヘッド駆動機構４９およびＲ軸回転駆動機構４５２によって供給位置３４の上方位置まで駆動される。吸着ノズル４６は、次に、Ｚ軸駆動機構４５３に下降駆動されて供給位置３４に接近し、負圧供給機構４５４から負圧が供給されて、部品の吸着を行う。

　図３に示されるように、カメラ装置７は、実装ヘッド４４に設けられて、複数のフィーダ装置３１に共用とされている。カメラ装置７は、撮像部７０が下方を向くように配設されている。撮像部７０とフィーダ装置３１の部品確認孔３７とを結ぶ第１光路７Ｌ１を形成するために、第１～第３全反射ミラー７１、７２、７３が用いられる。撮像部７０と、部品吸着後に上昇した吸着ノズル４６の先端付近とを結ぶ第２光路７Ｌ２を形成するために、第４全反射ミラー７４が用いられる。図４は、フィーダ装置３１および実装ヘッド４４の断面、ならびにカメラ装置７の第１光路７Ｌ１および第２光路７Ｌ２を示した側面断面図である。図４～図９、図１２、および図１３において、部品Ｐは便宜的に黒塗りで示されている。

　図３および図４に示されるように、第１～第４全反射ミラー７１～７４は、直角二等辺三角形を底面とする三角柱状に形成されている。第１～第４全反射ミラー７１～７４は、光路７Ｌ１、７Ｌ２を遮らない図略の取付部材を用いて、実装ヘッド４４に固定されている。第１～第４全反射ミラー７１～７４は、それぞれ光路７Ｌ１、７Ｌ２を９０°反射させる。

　具体的に、第１全反射ミラー７１は、撮像部７０の真下に配置され、第２全反射ミラー７２は、第１全反射ミラー７１の前方に配置されている。また、第３全反射ミラー７３は、フィーダ装置３１の部品確認孔３７の真上の位置であって、第２全反射ミラー７２の側方に配置されている。第１全反射ミラー７１は、撮像部７０から下方に向かう第１光路７Ｌ１をＹ軸方向に反射させる。続いて、第２全反射ミラー７２は、Ｙ軸方向の第１光路７Ｌ１をＸ軸方向に反射させる。最後に、第３全反射ミラー７３は、Ｘ軸方向の第１光路７Ｌ１を下向きに反射させ、部品確認孔３７に到達させる。

　一方、第４全反射ミラー７４は、撮像部７０の真下の位置であって、第１全反射ミラー７１の側方の斜め下寄りに配置されている。第４全反射ミラー７４は、撮像部７０から下方に向かう第２光路７Ｌ２をＹ軸方向に反射させ、吸着ノズル４６の先端付近に到達させる。第１光路７Ｌ１および第２光路７Ｌ２の光路長さは、相互に等しくなるように構成されている。

　ここで、部品確認孔３７は、キャリアテープ９を一定ピッチだけ繰り出した都度、キャビティ部９３がちょうど停止する位置に設定されている。図４に示されるように、部品確認孔３７から見えるキャビティ部９３Ｅは、供給位置３４のキャビティ部９３Ｆよりも１４個だけキャリアテープ９の終端側に形成されている。したがって、部品確認孔３７から見えるキャビティ部９３Ｅは、本発明の終端側キャビティ部９３Ｅに相当し、僅少数は１４個となる。また、第１光路７Ｌ１は、部品確認孔３７を通り、透明なカバーテープ９２を透かして、終端側キャビティ部９３Ｅまで到達している。

　一方、撮像対象となる終端側キャビティ部９３Ｅおよび吸着ノズル４６の先端付近は、図略の撮像用照明具によって照射される。撮像用照明具の配設位置は限定されず、カメラ装置７と別体であってもよい。さらに、４個の第１～第４全反射ミラー７１～７４に代えて、少なくとも１個のハーフミラーを用い、撮像部７０から出た１つの光路を第１光路７Ｌ１および第２光路７Ｌ２に分岐させるように構成してもよい。

　吸着ノズル４６が或るフィーダ装置３１の供給位置３４に駆動されるのに連動して、カメラ装置７は、図３および図４に示された位置に移動する。これにより、カメラ装置７は、第１光路７Ｌ１を経由して終端側キャビティ部９３Ｅに臨み、第２光路７Ｌ２を経由して吸着ノズル４６の先端付近に臨む。カメラ装置７は、終端側キャビティ部９３Ｅおよび吸着ノズル４６の先端付近を同時に撮像して、１つの画像データを得ることができる。あるいは、カメラ装置７は、終端側キャビティ部９３Ｅおよび吸着ノズル４６の先端付近を別々に撮像して、それぞれ画像データを得ることができる。

　カメラ装置７は、終端側キャビティ部９３Ｅを撮像し、得られた画像データを画像処理することにより、終端側キャビティ部９３Ｅに部品Ｐが保持されているか否かを検出できる。また、カメラ装置７は、吸着ノズル４６の先端付近を側方から撮像することにより、部品Ｐの吸着の成否の判定、および吸着された部品の吸着姿勢の確認を実施できる。したがって、カメラ装置７による側方からの撮像と、部品カメラ５による下方からの撮像とが併用され、部品Ｐの吸着状態が高い精度で確認される。

　（３．第１実施形態の部品実装機１の動作および作用）
　次に、第１実施形態の部品実装機１の動作について、制御装置６が有する無効吸着回避部および部品切れ対応部の機能と併せて模式的に説明する。図５は、第１実施形態の部品実装機１の動作を模式的に説明する平面図である。図６は、図５の状態から部品Ｐが１個吸着されて、部品Ｐの残数が所定の僅少数まで減少した状態を示す平面図である。さらに、図７は、図６の状態から部品Ｐが２個吸着された後に、吸着ノズル４６が最後の部品Ｐを吸着している状態を示す平面図である。

　模式的な説明を簡易にするために、図５～図７では、僅少数を３個とする。つまり、フィーダ装置３１の部品確認孔３７は、キャビティ部９３の３個分だけ供給位置３４よりもキャリアテープ９の終端９４に近い側に設けられている。キャリアテープ９の終端９４から数えて５番目までのキャビティ部９３に部品が保持されておらず、終端９４から数えて６番目のキャビティ部９３に最後の部品Ｐが保持されている。そして、キャリアテープ９の使用が進んで、部品Ｐの残数が４個になっているときを想定する。

　一方、ロータリノズルユニット４５は、円周上に一定角度ピッチで同一形状の１６個の吸着ノズル４６を保持している。吸着ノズル４６は、反時計回りに第１～第１６の順番が設定されている。ロータリノズルユニット４５のＲ軸回転駆動機構４５２は、１６個の吸着ノズル４６を時計回りに一定角度ピッチずつ回転駆動して、第１吸着ノズル４６１から順番にＺ軸駆動機構４５３に係合させる。ここでは、各吸着ノズル４６を用いて部品Ｐを合計で１６個吸着し、まとめて基板Ｋに装着する動作を想定する。

　上述された想定条件下で、まず、ロータリノズルユニット４５がフィーダ装置３１の上方に駆動され、Ｚ軸駆動機構４５３が供給位置３４の真上に位置決めされる。次に、第１吸着ノズル４６１がＺ軸駆動機構４５３に係合されて、図５に示される状態となる。このとき、カメラ装置７は、部品確認孔３７を通して終端側キャビティ部９３Ｅを撮像する。カメラ装置７は、終端側キャビティ部９３Ｅに部品Ｐが保持されていることから、部品Ｐの残数が３個よりも多いと判定する。

　吸着動作の１番目に、第１吸着ノズル４６１は、Ｚ軸駆動機構４５３に駆動されて下降する。２番目に、第１吸着ノズル４６１は、負圧供給機構４５４から負圧が供給されて部品Ｐを吸着する。３番目に、第１吸着ノズル４６１は、Ｚ軸駆動機構４５３に駆動されて上昇する。４番目に、第１吸着ノズル４６１が部品Ｐを吸着した吸着姿勢が、カメラ装置７によって側方から撮像される。この後、吸着ノズル４６が変更されて上記した１番目から４番目の動作が繰り返される。以降の説明では、上記した４動作をまとめて「吸着ノズル４６が吸着動作を行う」と略記する。

　第１吸着ノズル４６１が吸着動作を行った後、Ｒ軸回転駆動機構４５２が各吸着ノズル４６を一定角度ピッチだけ時計回りに回転駆動する。これにより、第２吸着ノズル４６２がＺ軸駆動機構４５３に係合される。一方、キャリアテープ９は、一定ピッチだけ繰り出され、終端側キャビティ部９３Ｅが１個分だけ終端９４の側に移動する。これで、図６に示される状態となる。このとき、カメラ装置７は、部品確認孔３７を通して新たな終端側キャビティ部９３Ｅを撮像する。カメラ装置７は、新たな終端側キャビティ部９３Ｅに部品Ｐが保持されていないことから、部品Ｐの残数が僅少数の３個になったことを検出し、制御装置６に通知する。

　制御装置６は、僅少数の通知を受け付けた時点から無効吸着回避部の機能を発揮して、部品Ｐの残数管理を行う。すなわち、制御装置６は、第２吸着ノズル４６２が吸着動作を行った時点で、部品Ｐの残数を僅少数の３個から２個に減じる。さらに、各吸着ノズル４６が一定角度ピッチだけ時計回りに回転駆動されて、第３吸着ノズル４６３がＺ軸駆動機構４５３に係合される。一方、キャリアテープ９は、また一定ピッチだけ繰り出される。そして、第３吸着ノズル４６３が吸着動作を行うと、制御装置６は、部品Ｐの残数を２個から１個に減じる。

　さらに、各吸着ノズル４６が一定角度ピッチだけ時計回りに回転駆動されて、第４吸着ノズル４６４がＺ軸駆動機構４５３に係合される。また、キャリアテープ９は一定ピッチだけ繰り出され、図７に示される状態となる。そして、第４吸着ノズル４６４が最後の部品Ｐの吸着動作を行うと、制御装置６は、部品Ｐの残数を１個から０個に減じる。つまり、制御装置６は、部品切れになったことを自動で判定でき、もはやこのフィーダ装置３１から部品Ｐが供給されないと分かる。このため、制御装置６は、このフィーダ装置３１におけるキャリアテープ９の繰り出しを止める。

　また、各吸着ノズル４６が一定角度ピッチだけ時計回りに回転駆動されて、第５吸着ノズル４６５がＺ軸駆動機構４５３に係合されても、制御装置６は、第５吸着ノズル４６５の下降や負圧の供給を行わないように制御する。したがって、第５吸着ノズル４６５の無効な吸着動作が回避される。

　次に、制御装置６は、部品切れ対応部として機能し、残数がゼロになった部品Ｐと同種の部品を保持するキャリアテープ９を繰り出す別のフィーダ装置３１を探索する。予備の別のフィーダ装置３１が有る場合、制御装置６は、別のフィーダ装置３１の供給位置３４に第５吸着ノズル４６５を駆動し、残された全部の吸着ノズル４６に吸着動作を行わせる。この後、制御装置６は、実装ヘッド４４を部品カメラ５から基板Ｋの上方へと移動させて、１６個の部品Ｐの装着動作を制御する。別のフィーダ装置３１が無い場合、制御装置６は、部品切れ状態を作業者に報知する。

　次に、第１実施形態の部品実装機１の作用について、従来技術の部品実装機と比較して説明する。図８は、従来技術の部品実装機の構成および動作を模式的に説明する平面図である。また、図９は、従来技術において、部品の残数がゼロになったことを検出する方法を説明する平面図である。従来技術において、カメラ装置７Ｘは、Ｚ軸駆動機構４５３から一定角度ピッチだけ回転した後の吸着ノズル４６の先端付近を側方から撮像する位置に配設されている。そして、キャビティ部９３の部品Ｐの有無は、このカメラ装置７Ｘの撮像データによって判定される。従来技術においても、図５と同様に部品Ｐの残数が４個になっているときを想定する。

　従来技術を説明する図８において、第１～第４吸着ノズル４６１～４６４がそれぞれ部品を吸着して、第５吸着ノズル４６５がＺ軸駆動機構４５３に係合されている。この状態で、カメラ装置７Ｘは、第４吸着ノズル４６４が最後の部品Ｐを吸着した状態を撮像するので、部品Ｐの残数がゼロになっていることが分からない。このため、第５吸着ノズル４６５の吸着動作、換言すると無効な吸着動作が行われる。続いて、第５吸着ノズル４６５が回転駆動され、図９に示される状態になる。

　図９の時点で、カメラ装置７Ｘは、第５吸着ノズル４６５が部品を吸着していない状態を撮像する。したがって、カメラ装置７Ｘは、部品Ｐの残数がゼロになっていると判断して、部品切れの情報を制御装置６に通知する。部品切れの情報を受け取ると、制御装置６は、同種の部品Ｐが供給される他のフィーダ装置３１に第５吸着ノズル４６５を移動する。その際に、制御装置６は、第５吸着ノズル４６を逆方向に回転させて、Ｚ軸駆動機構４５３に再度係合させなければならない。

　従来技術との比較から明らかなように、第１実施形態では、第５吸着ノズル４６５の無効な吸着動作、第５吸着ノズル４６５の回転、カメラ装置７Ｘによる第５吸着ノズル４６５の撮像、ならびに、第５吸着ノズル４６の逆方向の回転が不要になる。

　（４．第１実施形態の部品実装機１の態様および効果）
　第１実施形態の部品実装機１は、部品Ｐを保持するキャビティ部９３が一列に並んで形成されたキャリアテープ９を繰り出して部品Ｐを所定の供給位置３４に順次供給するフィーダ装置３１を有する部品供給部３と、供給位置３４のキャビティ部９３Ｆから部品Ｐを吸着して基板に装着する吸着ノズル４６、吸着ノズル４６を保持する実装ヘッド４４、および吸着ノズル４６とともに実装ヘッド４４を駆動するヘッド駆動機構４９を有する部品移載装置４と、を備えた部品実装機１であって、キャリアテープ９が保持する部品Ｐの残数が所定の僅少数まで減少したことを検出するカメラ装置７（部品僅少検出部）と、カメラ装置７の検出結果に基づき、キャリアテープ９が保持する部品Ｐの残数がゼロになったときに、吸着ノズル４６の無効な吸着動作を回避する制御装置６（無効吸着回避部）と、を備えた。

　第１実施形態の部品実装機１によれば、カメラ装置７はキャリアテープ９が保持する部品Ｐの残数が所定の僅少数まで減少したことを検出するので、検出結果に基づいて部品Ｐの残数がゼロになるときが正確に分かる。そして、制御装置６は、部品Ｐの残数がゼロになったときに、吸着ノズル４６の無効な吸着動作を回避する。このため、部品Ｐを保持しないキャビティ部９３に対する無効な吸着動作は行われず、無効な吸着動作および無効であるか否かの判定処理が行われない分だけ、従来技術よりも基板Ｋの生産効率が向上する。

　また、吸着ノズル４６は部品Ｐを保持していないキャビティ部９３に対する無効な吸着動作を行わない。したがって、吸着ノズル４６が多くの外気を吸入してしまうことは無く、負圧供給機構４５４の負圧状態を低下させるおそれは生じない。

　さらに、部品供給部３は複数のフィーダ装置３１を有し、カメラ装置７は、実装ヘッド４４に設けられて複数のフィーダ装置３１に共用とされ、かつ、吸着ノズル４６が或るフィーダ装置３１の供給位置３４に駆動されるのに連動して、当該供給位置３４のキャビティ部９３Ｆよりも僅少数だけキャリアテープ９の終端９４側に形成された終端側キャビティ部９３Ｅに臨み、終端側キャビティ部９３Ｅに部品Ｐが保持されているか否かを検出する。これによれば、部品僅少検出部に相当するカメラ装置７を各フィーダ装置３１に個別に設ける必要が無いので、コストの上昇が抑制される。

　さらに、部品僅少検出部は、終端側キャビティ部９３を上方から撮像するカメラ装置７とされている。これによれば、終端側キャビティ部９３を撮像して得られた画像データを画像処理することにより、部品Ｐが保持されているか否かを正確に検出できる。

　さらに、カメラ装置７は、吸着ノズル４６の先端付近を側方から撮像して、部品Ｐの吸着の成否の判定または吸着された部品Ｐの吸着姿勢の確認の少なくとも一方を実施可能としている。これによれば、カメラ装置７は、部品僅少検出部としての機能に加え、吸着ノズル４６の先端付近を側方から撮像する機能を兼ねるので、コストの上昇が抑制される。加えて、カメラ装置７による側方からの撮像と、部品カメラ５による下方からの撮像とが併用されるので、部品Ｐの吸着状態が高い精度で確認される。

　さらに、カメラ装置７は、全反射ミラー７１～７４またはハーフミラーの少なくとも一方が１個以上用いられて、撮像部７０と終端側キャビティ部９３Ｅとを結ぶ第１光路７Ｌ１、および撮像部７０と吸着ノズル４６の先端付近とを結ぶ第２光路７Ｌ２が形成されている。これによれば、カメラ装置７が兼ねる前述した２つの機能は、第１および第２光路７Ｌ１、７Ｌ２が簡易な部材で形成されて実現されるので、コストの上昇が抑制される。

　さらに、制御装置６は、吸着ノズル４６の無効な吸着動作を回避するのに伴い、残数がゼロになった部品Ｐと同種の部品を保持するキャリアテープ９を繰り出す別のフィーダ装置３１の供給位置３４に吸着ノズル４６を駆動して、吸着動作を行わせる。これによれば、或るフィーダ装置３１が部品切れになっても、予備の別のフィーダ装置３１に自動的に移行できる。したがって、作業者の手間を煩わせることなく、基板Ｋの生産を継続できる。

　（５．第２実施形態の部品実装機１Ａ）
　次に、第２実施形態の部品実装機１Ａについて、図１０～図１３を参考にして、第１実施形態と異なる点を主に説明する。図１０は、第２実施形態の部品実装機１Ａの構成を模式的に示す平面図である。第２実施形態において、ロータリノズルユニット４５Ａは、２０本の吸着ノズル４６を保持しており、２組のＺ軸駆動機構４５３Ａ、４５３Ｂを有して２個の部品Ｐを同時に吸着する。第１および第２のＺ軸駆動機構４５３Ａ、４５３Ｂは、ロータリノズルユニット４５Ａ内に互いに９０°だけ離れて配置されている。したがって、相互に５本分だけ離れた２本の吸着ノズル４６が、第１および第２のＺ軸駆動機構４５３Ａ、４５３Ｂに係合される。例えば、第１吸着ノズル４６１が第１のＺ軸駆動機構４５３Ａに係合されると、同時に、第６吸着ノズル４６６が第２のＺ軸駆動機構４５３Ｂに係合される（図１２参照）。

　２組のＺ軸駆動機構４５３Ａ、４５３Ｂに対応して、部品供給部３のパレット台３０上には、２個一対のフィーダ装置３１Ａ、３１Ｂが間隔を設けて装備される。図１０において、部品種Ａの部品Ｐを供給する第１フィーダ装置３１Ａと、部品種Ｂの部品Ｐを供給する第２フィーダ装置３１Ｂとが、フィーダ装置３１の１個分の間隔を設けて装備されている。さらに予備として、部品種Ａの部品Ｐを供給する第３フィーダ装置３１Ｃと、部品種Ｂの部品Ｐを供給する第４フィーダ装置３１Ｄとが、フィーダ装置３１の１個分の間隔を設けて装備されている。

　カメラ装置８は、第２実施形態においても実装ヘッド４４に設けられ、撮像部８０が下方を向くように配設されている。ただし、第２実施形態では、光路８Ｌ１、８Ｌ２の形成に関する構造が変更されている。図１１は、第２実施形態のカメラ装置８の第１光路８Ｌ１および第２光路８Ｌ２を示した斜視図である。図示されるように、カメラ装置８は、第１フィーダ装置３１Ａと第２フィーダ装置３１Ｂとの間に配置されて動作する。そして、撮像部８０と第１フィーダ装置３１Ａの部品確認孔３７とを結ぶ第１光路８Ｌ１を形成するために、第１～第３全反射ミラー８１、８２、８３が用いられる。また、撮像部８０と第２フィーダ装置３１Ｂの部品確認孔３７とを結ぶ第２光路８Ｌ２を形成するために、第４～第６全反射ミラー８４、８５、８６が用いられる。

　図１１に示されるように、第１～第６全反射ミラー８１～８６は、直角二等辺三角形を底面とする三角柱状に形成されている。第１～第６全反射ミラー８１～８６は、光路８Ｌ１、８Ｌ２を遮らない図略の取付部材を用いて、実装ヘッド４４に固定されている。第１～第６全反射ミラー８１～８６は、それぞれ光路８Ｌ１、８Ｌ２を９０°反射させる。

　具体的に、第１全反射ミラー８１は、撮像部８０の真下に配置され、第２全反射ミラー８２は、第１全反射ミラー８１の前方に配置されている。また、第３全反射ミラー８３は、第１フィーダ装置３１Ａの部品確認孔３７の真上の位置であって、第２全反射ミラー８２の側方に配置されている。第１全反射ミラー８１は、撮像部８０から下方に向かう第１光路８Ｌ１をＹ軸方向に反射させる。続いて、第２全反射ミラー８２は、Ｙ軸方向の第１光路８Ｌ１をＸ軸方向に反射させる。最後に、第３全反射ミラー８３は、Ｘ軸方向の第１光路８Ｌ１を下向きに反射させ、第１フィーダ装置３１Ａの部品確認孔３７に到達させる。これにより、第１光路８Ｌ１は、第１フィーダ装置３１Ａの部品確認孔３７を通って終端側キャビティ部９３Ｅに到達する。

　一方、第２光路８Ｌ２は、第１光路８Ｌ１と鏡面対称形状に形成されている。第４全反射ミラー８４は、撮像部８０の真下に第１全反射ミラー８１と並んで配置され、第５全反射ミラー８５は、第４全反射ミラー８４の前方に配置されている。また、第６全反射ミラー８６は、第２フィーダ装置３１Ｂの部品確認孔３７の真上の位置であって、第５全反射ミラー８５の側方に配置されている。第２光路８Ｌ２は、第４～第６全反射ミラー８４～８６によって反射され、第２フィーダ装置３１Ｂの部品確認孔３７を通って終端側キャビティ部９３Ｅに到達する。

　第１および第２のＺ軸駆動機構４５３Ａ、４５３Ｂが第１および第２フィーダ装置３１Ａ、３１Ｂの供給位置３４に駆動されるのに連動して、カメラ装置８は、図１１に示された位置に移動する。これにより、カメラ装置８は、第１光路８Ｌ１および第２光路を経由して、第１および第２フィーダ装置３１Ａ、３１Ｂの終端側キャビティ部９３Ｅに臨む。カメラ装置８は、２箇所の終端側キャビティ部９３Ｅを同時に撮像し、あるいは別々に撮像して、それぞれ部品Ｐが保持されているか否かを検出できる。

　次に、第２実施形態の部品実装機１Ａの動作について、制御装置６が有する無効吸着回避部および部品切れ対応部の機能と併せて模式的に説明する。図１２は、第２実施形態の部品実装機１Ａの動作を模式的に説明する平面図である。図１３は、図１２の状態から部品種Ａ、Ｂの部品Ｐが２個ずつ吸着された後に、第８吸着ノズル４６が部品種Ｂの最後の部品Ｐを吸着している状態を示す平面図である。

　模式的な説明を簡易にするために、図１２および図１３では、僅少数を３個とする。キャリアテープ９の終端９４から数えて５番目までのキャビティ部９３に部品が保持されておらず、終端９４から数えて６番目のキャビティ部９３に最後の部品Ｐが保持されている。そして、第１フィーダ装置３１Ａの部品種Ａの部品Ｐの残数は多く、第２フィーダ装置３１Ｂの部品種Ｂの部品Ｐが僅少数の３個になっているときを想定する。

　一方、ロータリノズルユニット４５Ａに関して、部品種Ａおよび部品種Ｂの部品Ｐを５個ずつ吸着する動作を想定する。詳細には、ロータリノズルユニット４５Ａは、第１～第５吸着ノズル４６１～４６５を順番に用いて第１フィーダ装置３１Ａから部品種Ａの部品Ｐを５個吸着し、同時に、第６～第１０吸着ノズル４６６～４６９、４６Ａを順番に用いて第２フィーダ装置３１Ｂから部品種Ｂの部品Ｐを５個吸着する。

　上述された想定条件下で、まず、ロータリノズルユニット４５Ａが第１および第２フィーダ装置３１Ａ、３１Ｂの上方に駆動される。次に、第１吸着ノズル４６１が第１のＺ軸駆動機構４５３Ａに係合され、同時に、第６吸着ノズル４６６が第２のＺ軸駆動機構４５３Ｂに係合されて、図１２に示される状態となる。このとき、カメラ装置８は、２箇所の終端側キャビティ部９３Ｅを撮像する。第１フィーダ装置３１Ａに関して、カメラ装置８は、終端側キャビティ部９３Ｅに部品Ｐが保持されていることから、部品Ｐの残数が３個より多いと判定する。一方、第２フィーダ装置３１Ｂに関して、カメラ装置８は、終端側キャビティ部９３Ｅに部品Ｐが保持されていないと分かる。そして、カメラ装置８は、前回撮像時に１つ前のキャビティ部９３Ｅに部品Ｐが保持されていたことから、部品Ｐの残数が僅少数の３個になったことを検出し、制御装置６に通知する。

　制御装置６は、僅少数の通知を受け付けた時点から無効吸着回避部の機能を発揮して、第２フィーダ装置３１Ｂの部品種Ｂの部品Ｐの残数管理を行う。図１２の状態から、第１および第２吸着ノズル４６１、４６２が部品種Ａの部品Ｐを吸着し、第６および第７吸着ノズル４６６、４６７が部品種Ｂの部品Ｐを吸着した後に、各吸着ノズル４６が一定角度ピッチだけ回転駆動される。これで、図１３に示される状態になる。この時点で、制御装置６は、部品種Ｂの部品Ｐの残数を１個まで減じている。

　そして、第１のＺ軸駆動機構４５３Ａに係合された第３吸着ノズル４６３が部品種Ａの部品Ｐの吸着動作を行い、第２のＺ軸駆動機構４５３Ｂに係合された第８吸着ノズル４６８が部品種Ｂの最後の部品Ｐの吸着動作を行う。これにより、制御装置６は、部品種Ｂの部品Ｐの残数を１個から０個に減じる。つまり、制御装置６は、部品種Ｂの部品Ｐが部品切れになったことを自動で判定でき、もはや第２フィーダ装置３１Ｂから部品種Ｂの部品Ｐが供給されないと分かる。制御装置６は、第２フィーダ装置３１Ｂおけるキャリアテープ９の繰り出しを止めるとともに、第９吸着ノズル４６９の下降や、負圧の供給を行わないように制御する。したがって、第９吸着ノズル４６９の無効な吸着動作が回避される。

　次に、制御装置６は、部品切れ対応部として機能し、ロータリノズルユニット４５Ａを別の一対の第３および第４フィーダ装置３１Ｃ、３１Ｄに移動させる。この後、第４および第５吸着ノズル４６４、４６５は第３フィーダ装置３１Ｃから部品種Ａの部品Ｐを吸着し、第９および第１０吸着ノズル４６９、４６Ａは第４フィーダ装置３１Ｄから部品種Ｂの部品Ｐを吸着する。

　仮に、予備として第３フィーダ装置３１Ｃが装備されず、第４フィーダ装置３１Ｄのみが装備されていた場合、制御装置６は、部品切れ対応部として異なる制御を行う。すなわち、制御装置６は、図１３に引き続き、第４および第５吸着ノズル４６４、４６５が第１フィーダ装置３１Ａから部品種Ａの部品Ｐを吸着するように制御する。制御装置６は、次に、ロータリノズルユニット４５Ａを第４フィーダ装置３１Ｄに移動させ、第９および第１０吸着ノズル４６９、４６Ａが第４フィーダ装置３１Ｄから部品種Ｂの部品Ｐを吸着するように制御する。また、第４フィーダ装置３１Ｄが装備されていなかった場合、制御装置６は、部品種Ｂの部品Ｐの部品切れ状態を作業者に報知する。

　第２実施形態の部品実装機１Ａにおいて、実装ヘッド４４は、複数のフィーダ装置３１Ａ～３１Ｄの各供給位置３４から同時に部品を吸着可能な複数の吸着ノズル４６１～４６９、４６Ａを保持しており、複数の吸着ノズル４６１～４６９、４６Ａに共用される１つのカメラ装置８（部品僅少検出部）を備えている。これによれば、部品僅少検出部に相当するカメラ装置８が共用されるので、コストの上昇が抑制される。

　さらに、複数の吸着ノズル４６１～４６９、４６Ａに共用される１つの部品僅少検出部は、実装ヘッド４４に設けられ、かつ、複数の吸着ノズル４６１～４６９、４６Ａがそれぞれの供給位置３４に駆動されたときに、同時に部品が吸着される複数のフィーダ装置３１Ａ～３１Ｄの各終端側キャビティ部９３Ｅを上方から撮像するカメラ装置８であって、全反射ミラー８１～８６またはハーフミラーの少なくとも一方が１個以上用いられて撮像部８０と各終端側キャビティ部９３Ｅとを結ぶ第１光路８Ｌ１および第２光路８Ｌ２が形成されている。これによれば、共用されるカメラ装置８の第１および第２光路７Ｌ１、７Ｌ２は、簡易な部材で形成されるので、コストの上昇が抑制される。

　（６．実施形態の応用および変形）
　なお、第２実施形態において、カメラ装置８に代え、第１実施形態のカメラ装置７を２個用いることができる。また、カメラ装置８の撮像視野を４分割して、２箇所の終端側キャビティ部９３Ｅおよび２箇所の部品吸着姿勢を撮像するように構成してもよい。さらに、第１光路７Ｌ１、８Ｌ１および第２光路７Ｌ２、８Ｌ２の形成方法には、様々な変形が考えられる。また、第１および第２実施形態において、カメラ装置７、８に代わる検出手段として、カバーテープ９２が剥離された後のキャビティ部９３の内部の高さを測定する高さセンサを用いることができる。

　さらになお、本発明は、ロータリノズルユニット４５、４５Ａを用いず実装ヘッド４４が１本の吸着ノズル４６を保持する構成においても実施できる。本発明は、その他にも様々な応用や変形が可能である。

　　１、１Ａ：部品実装機　　２：基板搬送装置　　３：部品供給部
　　３１：フィーダ装置　　３４：供給位置　　３７：部品確認孔
　　４：部品移載装置　　４４：実装ヘッド
　　４５、４５Ａ：ロータリノズルユニット
　　４６、４６１～４６９、４６Ａ：吸着ノズル
　　４９：ヘッド駆動機構　　５：部品カメラ
　　６：制御装置（無効吸着回避部、部品切れ対応部）
　　７：カメラ装置　　７Ｌ１：第１光路
　　７Ｌ２：第２光路　　７１～７４：全反射ミラー
　　８：カメラ装置　　８Ｌ１：第１光路
　　８Ｌ２：第２光路　　８１～８６：全反射ミラー
　　９：キャリアテープ　　９３：キャビティ部
　　９３Ｆ：供給位置のキャビティ部　　９３Ｅ：終端側キャビティ部
　　Ｋ：基板　　Ｐ：部品

Claims

　部品を保持するキャビティ部が一列に並んで形成されたキャリアテープを繰り出して前記部品を所定の供給位置に順次供給するフィーダ装置を有する部品供給部と、
　前記供給位置の前記キャビティ部から前記部品を吸着して基板に装着する吸着ノズル、前記吸着ノズルを保持する実装ヘッド、および前記吸着ノズルとともに前記実装ヘッドを駆動するヘッド駆動機構を有する部品移載装置と、を備えた部品実装機であって、
　前記キャリアテープが保持する部品の残数が所定の僅少数まで減少したことを検出する部品僅少検出部と、
　前記部品僅少検出部の検出結果に基づき、前記キャリアテープが保持する部品の残数がゼロになったときに、前記吸着ノズルの無効な吸着動作を回避する無効吸着回避部と、を備えた部品実装機。
　前記部品供給部は複数の前記フィーダ装置を有し、
　前記部品僅少検出部は、前記実装ヘッドに設けられて前記複数のフィーダ装置に共用とされ、かつ、前記吸着ノズルが或るフィーダ装置の前記供給位置に駆動されるのに連動して、当該供給位置の前記キャビティ部よりも前記僅少数だけ前記キャリアテープの終端側に形成された終端側キャビティ部に臨み、前記終端側キャビティ部に前記部品が保持されているか否かを検出する請求項１に記載の部品実装機。
　前記部品僅少検出部は、前記終端側キャビティ部を上方から撮像するカメラ装置である請求項２に記載の部品実装機。
　前記カメラ装置は、前記吸着ノズルの先端付近を側方から撮像して、部品の吸着の成否の判定または吸着された部品の吸着姿勢の確認の少なくとも一方を実施可能とした請求項３に記載の部品実装機。
　前記カメラ装置は、全反射ミラーまたはハーフミラーの少なくとも一方が１個以上用いられて、撮像部と前記終端側キャビティ部とを結ぶ光路、および前記撮像部と前記吸着ノズルの先端付近とを結ぶ光路が形成されている請求項４に記載の部品実装機。
　前記実装ヘッドは、複数のフィーダ装置の各供給位置から同時に部品を吸着可能な複数の吸着ノズルを保持しており、
　前記複数の吸着ノズルに共用される１つの部品僅少検出部、または、前記複数の吸着ノズルに個別に対応する複数の部品僅少検出部を備えた請求項２～５のいずれか一項に記載の部品実装機。
　前記複数の吸着ノズルに共用される１つの部品僅少検出部は、
　前記実装ヘッドに設けられ、かつ、前記複数の吸着ノズルがそれぞれの前記供給位置に駆動されたときに、同時に部品が吸着される複数のフィーダ装置の各前記終端側キャビティ部を上方から撮像するカメラ装置であって、
　全反射ミラーまたはハーフミラーの少なくとも一方が１個以上用いられて撮像部と各前記終端側キャビティ部とを結ぶ複数の光路が形成されている請求項６に記載の部品実装機。
　前記無効吸着回避部が前記吸着ノズルの無効な吸着動作を回避するのに伴い、前記残数がゼロになった部品と同種の部品を保持するキャリアテープを繰り出す別のフィーダ装置の供給位置に前記吸着ノズルを駆動して、吸着動作を行わせる部品切れ対応部をさらに備えた請求項２～７のいずれか一項に記載の部品実装機。