CN105706545B - 元件安装装置 - Google Patents

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Abstract

在元件安装装置中，能够将头保持体保持的头从安装有能够对元件进行保持及解除保持的吸嘴(13)的吸附头和安装有能够从排出口排出粘接剂的排出嘴的排出头中的一个头自动更换为另一个头。另外，管嘴相机在头保持体保持吸附头的情况下，使用光学系统单元(80)从侧方拍摄安装于吸附头的吸嘴位置(13a～13c)的吸嘴13来取得吸嘴图像数据。管嘴相机在头保持体保持排出头的情况下，使用光学系统单元(80)从侧方拍摄位于头保持体的中心轴上的排出嘴来取得排出嘴图像数据。并且，基于吸嘴图像数据进行元件关联检查，基于排出嘴图像数据进行排出关联检查。

Description

元件安装装置
技术领域
本发明涉及元件安装装置。
背景技术
以往，已知有将保持的元件向基板上安装的元件安装装置。作为这样的元件安装装置，已知有对吸嘴进行拍摄来进行吸嘴的检查或吸嘴吸附的元件的检查的元件安装装置(例如专利文献1)。在专利文献1中，从侧面拍摄吸嘴，基于拍摄到的图像来判定元件的吸附错误(相对于吸嘴的吸附的位置偏离)或有无元件的安装异常(吸嘴将元件带回)。
另外，已知有在基板上涂敷粘接剂或焊料糊剂等涂敷材料的涂敷装置。作为这样的涂敷装置，已知有对排出涂敷材料的管嘴的侧方进行拍摄来检查是否地正常进行了排出的涂敷装置(例如专利文献2)。在专利文献2中，从侧方拍摄向基板上涂敷了涂敷材料之后的管嘴的前端部，判定管嘴前端的粘接剂的附着剩余量是否为设定剩余量以下，在附着剩余量为设定剩余量以下时，判定为正常地进行了涂敷材料的排出。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2008-311476号公报
专利文献2：日本特开平2-303570号公报
发明内容
发明要解决的课题
然而，存在希望元件安装装置同时具备保持元件的元件保持件和排出粘性流体的排出件这样的要求。在该情况下，能够想到使用上述专利文献1记载的装置结构进行与元件相关的检查并使用专利文献2记载的装置结构进行与排出相关的检查。但是，在该情况下，元件安装装置分别具备从侧方拍摄元件保持件的机构和从侧方拍摄排出件的机构，存在构成元件安装装置的部件的数量增加的问题。
本发明鉴于这样的课题而作出，主要目的在于以更简单的结构进行元件关联检查和排出关联检查。
用于解决课题的方案
本发明的元件安装装置将粘性流体向基板上涂敷或将所保持的元件向基板上安装，上述元件安装装置具备：
收纳单元，收纳多种头中的一个以上的头，上述多种头包括：具有能够对上述元件进行保持及解除保持的元件保持件的安装头、具有能够将粘性流体从排出口排出的排出件的排出头；
头保持单元，以能够更换的方式对上述头进行保持；
头移动单元，使上述头保持单元移动；
头更换控制单元，对上述头移动单元进行控制而使上述头保持单元保持的头与上述收纳单元收纳的头更换，由此使该头保持单元保持的头从上述安装头与上述排出头中的一个头更换为另一个头；
拍摄单元，在上述头保持单元保持上述安装头的情况下，从侧方拍摄该安装头具有的上述元件保持件来取得元件保持件图像数据，在上述头保持单元保持上述排出头的情况下，从侧方拍摄该排出头具有的上述排出件来取得排出件图像数据；及
检查单元，基于上述元件保持件图像数据进行与上述元件保持件和该元件保持件保持的元件中的至少一方相关的元件关联检查，基于上述排出件图像数据进行与上述排出件和从该排出件的排出口排出的粘性流体中的至少一方相关的排出关联检查。
本发明的元件安装装置使头保持单元移动而使头保持单元保持的头与收纳单元收纳的头更换，由此能够使头保持单元保持的头从具有能够对元件进行保持及解除保持的元件保持件的安装头和具有能够将粘性流体从排出口排出的排出件的排出头中的一个头更换为另一个头。另外，拍摄单元在头保持单元保持安装头的情况下从侧方拍摄安装头具有的元件保持件来取得元件保持件图像数据，在头保持单元保持排出头的情况下从侧方拍摄排出头具有的排出件来取得排出件图像数据。并且，基于元件关联图像数据进行与元件保持件和元件保持件保持的元件中的至少一方相关的元件关联检查，基于排出件图像数据进行与排出件和从排出件的排出口排出的粘性流体中的至少一方相关的排出关联检查。这样，本发明的元件安装装置能够将头保持单元保持的头更换为安装头和排出头，并且拍摄单元兼作为拍摄安装头的元件保持件的机构和拍摄排出头的排出件的机构。因此，能够通过更简单的结构取得元件保持件图像数据和排出件图像数据，而且能够通过更简单的结构进行元件关联检查和排出关联检查。在此，“粘性流体”包括粘接剂、焊料、钎料等。
在本发明的元件安装装置中，也可以是，上述检查单元进行包括涂敷是否良好的检查、滴液检查、排出件检查中的一个以上检查在内的上述排出关联检查，上述涂敷是否良好的检查是基于从上述排出件向上述基板上涂敷了粘性流体之后所拍摄的上述排出件图像数据来对存在于上述排出口的粘性流体进行检测而判定上述涂敷是否良好的检查，上述滴液检查是基于在未向上述基板上涂敷粘性流体时所拍摄的上述排出件图像数据来判定有无来自上述排出口的粘性流体的滴液的检查，上述排出件检查是基于上述排出件图像数据来判定上述排出头具有的排出件的种类是否正确的检查。
在本发明的元件安装装置中，也可以是，上述安装头能够拆装上述元件保持件，上述拍摄单元具有第一光学系统，上述第一光学系统被调整为：在上述排出头被保持于上述头保持单元的状态下，对焦于所保持的该排出头具有的上述排出件，并且在上述安装头被保持于上述头保持单元的状态下，使安装于所保持的该安装头上的上述元件保持件包含在视野中，上述检查单元基于上述拍摄单元使用上述第一光学系统所拍摄的上述排出件图像数据来进行上述排出关联检查，基于上述拍摄单元使用上述第一光学系统所拍摄的上述元件保持件图像数据来进行包括检查上述元件保持件是否安装于上述安装头的安装检查在内的上述元件关联检查。这样一来，第一光学系统被调整为对焦于排出件，因此能够更适当地进行排出关联检查。另外，第一光学系统被调整为使元件保持件也包含在视野中，因此也能够用于安装检查。即，能够在排出关联检查和安装检查中共用第一光学系统。
在本发明的元件安装装置中，也可以是，上述拍摄单元具有：第一光学系统，被调整为，在上述排出头被保持于上述头保持单元的状态下，对焦于所保持的该排出头具有的上述排出件；及第二光学系统，被调整为，在上述安装头被保持于上述头保持单元的状态下，对焦于所保持的该安装头具有的上述元件保持件，上述检查单元基于上述拍摄单元使用上述第一光学系统所拍摄的上述排出件图像数据来进行上述排出关联检查，基于上述拍摄单元使用上述第二光学系统所拍摄的上述元件保持件图像数据来进行上述元件关联检查。这样一来，第一光学系统被调整为对焦于排出件且第二光学系统被调整为对焦于元件保持件，因此能够更适当地分别进行排出关联检查和元件关联检查。另外，不仅将第一光学系统用于被调整为对焦于元件保持件的拍摄，也可以将第一光学系统共用于未对焦的其他对象物的拍摄。第二光学系统也相同地可以共用于未对焦的其他对象物的拍摄。
在本发明的元件安装装置中，也可以是，上述安装头能够拆装多个上述元件保持件，上述拍摄单元具有：第一光学系统，被调整为，在上述排出头被保持于上述头保持单元的状态下，对焦于所保持的该排出头具有的上述排出件，并且在上述安装头被保持于上述头保持单元的状态下，使安装于所保持的该安装头中的第一位置的元件保持件包含在视野中；第二光学系统，被调整为，在上述安装头被保持于上述头保持单元的状态下，对焦于位于所保持的该安装头中的与上述第一位置不同的第二位置的元件保持件，上述检查单元基于上述拍摄单元使用上述第一光学系统所拍摄的上述排出件图像数据来进行上述排出关联检查，基于上述拍摄单元使用上述第一光学系统所拍摄的上述元件保持件图像数据来进行包括检查在上述第一位置是否安装有上述元件保持件的安装检查在内的上述元件关联检查，基于上述拍摄单元使用上述第二光学系统所拍摄的上述元件保持件图像数据来进行包括与位于上述第二位置的元件保持件所保持的元件相关的检查在内的上述元件关联检查。这样一来，第一光学系统被调整为对焦于排出件，因此能够更适当地进行排出关联检查。而且，第一光学系统被调整为使元件保持件也包含在视野中，因此还能够用于安装检查。即，能够在排出关联检查和安装检查中共用第一光学系统。另外，第二光学系统被调整为对焦于元件保持件，因此能够使用第二光学系统更适当地进行与元件保持件保持的元件相关的检查。
在本发明的元件安装装置中，也可以是，上述拍摄单元与所述头保持单元一体化。这样一来，容易将拍摄时的拍摄单元与头保持单元保持的头的位置关系保持得适当，容易取得适当的元件保持件图像数据或排出件图像数据。在该情况下，本发明的元件安装装置可以具备相对位置变更单元，该相对位置变更单元使上述拍摄单元与上述头保持单元保持的头中的至少一方移动而使该拍摄单元与该头的相对的位置关系变化。这样一来，例如在粘性流体的涂敷时、元件的安装时和拍摄单元进行拍摄时，能够通过使拍摄单元与头保持单元保持的头的位置关系变化等，而使拍摄单元与头成为与状况对应的适当的位置关系。
附图说明
图1是表示元件安装系统1的整体结构的说明图。
图2是头单元110的立体图。
图3是从下向斜上方地观察头保持体21时的立体图。
图4是管嘴相机124的立体图。
图5是排出头220的立体图。
图6是表示头保持体21保持的吸附头120的吸嘴13与光学系统单元80的位置关系的示意图。
图7是表示头保持体21保持的排出头220的排出嘴14与光学系统单元80的位置关系的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图对本发明的优选的实施方式进行说明。图1是表示元件安装系统1的整体结构的说明图。另外，在本实施方式中，左右方向(X轴)、前后方向(Y轴)及上下方向(Z轴)如图1所示。
[元件安装系统1的结构]
元件安装系统1具备：元件安装装置100和管理计算机200。
如图1所示，元件安装装置100具备：搭载于基台102的基板输送装置104；能够在XY平面上移动的头单元110；以能够拆装的方式安装于头单元110的吸附头120；从侧方(前方)拍摄吸嘴13等管嘴的管嘴相机124；用于收纳各种头的头收纳区域140；供给向基板101安装的元件的元件供给装置150；及执行各种控制的控制器160。
基板输送装置104通过分别安装于前后一对的支撑板106、106的输送带108、108(在图1中仅图示出单方)而将基板101从左向右输送。
头单元110安装于X轴滑动件112，并随着X轴滑动件112沿着导轨114、114在左右方向上移动而在左右方向上移动，随着Y轴滑动件116沿着导轨118、118在前后方向上移动而在前后方向上移动。因此，头单元110能够在XY平面上移动。各滑动件112、116分别由未图示的伺服电动机驱动。
吸附头120以能够拆装的方式安装于头单元110。吸嘴13利用压力而将元件吸附于管嘴前端或者使吸附于管嘴前端的元件脱离。吸嘴13在吸附头120上安装有12根。
头收纳区域140设于基台102的上表面右侧，具有多个用于收纳吸附头120、排出头220的收纳场所142。在前侧的收纳场所收纳有排出头220，但是后侧的收纳场所142为空的状态。
排出头220相对于头单元110可拆装。在排出头220上安装有一根排出嘴14。排出嘴14利用压力而从管嘴前端的排出口排出用于将元件粘接于基板101的粘接剂。
元件供给装置150安装于元件安装装置100的前方。该元件供给装置150具有多个插槽，供料器152能够插入于各插槽。在供料器152中安装有带盘154，带盘154卷绕有带。在带的表面以沿着带的长度方向排列的状态保持有元件。上述元件由覆盖带的表面的膜保护。这样的带被未图示的链轮机构向后方送出，以膜被剥下而元件露出的状态被配置在预定位置。预定位置是吸嘴13能够对该元件进行吸附的位置。在该预定位置吸附了元件的吸嘴13能够将该元件安装于基板101上的被选定的位置。
此外，元件安装装置100具备管嘴贮存器134等。管嘴贮存器134是贮存多种吸嘴13或多种排出嘴14的箱，配置在元件供给装置150旁边。吸嘴13被更换为适合于安装元件的基板的种类和元件的种类的吸嘴。排出嘴14被更换为适合于排出的粘接剂的量(向基板101上涂敷的粘接剂的直径)的直径的排出嘴。
控制器160具备：执行各种控制的CPU162、存储控制程序等的ROM164、被利用为作业区域的RAM166及存储大容量的数据的HDD168，它们由未图示的总线连接。控制器160与基板输送装置104、X轴滑动件112、Y轴滑动件116及头单元110以能够进行信号的交换的方式连接。
管理计算机200是对基板101的生产任务进行管理的计算机，存储有操作员生成的生产任务数据。生产任务数据确定在元件安装装置100中从哪个插槽位置的供料器将哪个元件以何种顺序向哪个基板种类的基板101安装和制作几张这样安装而成的基板101等。另外，生产任务数据还确定为了将安装的各元件向基板101粘接而在基板101上的哪个位置以何种顺序涂敷多少量的粘接剂等。管理计算机200与元件安装装置100的控制器160以能够进行双向通信的方式连接。
在此，详细地对头单元110进行说明。图2是拆下了罩的状态的头单元110的立体图，详细而言，是使吸附头120相对于头保持体21的R轴22下降后的状态的立体图。图3是从下向斜上方向地观察头保持体21时的立体图，图4是从上向斜下方向地观察吸附头120时的立体图。图4是管嘴相机124的立体图。
头单元110具备：头保持体21、吸附头120、管嘴相机124。
头保持体21以能够通过未图示的升降机构升降的方式安装于X轴滑动件112(参照图1)。该头保持体21在上部具有环状的R轴齿轮24，在下部具有圆柱状的R轴22。R轴齿轮24被R轴电动机25驱动而旋转，与R轴22一体地旋转。R轴22具有多个卡合部件31(在本实施方式中为四个)，卡合部件31在下端具有钩。钩的朝向被对齐为与R轴22正转的方向相同。上述卡合部件31等间隔地配置在R轴22的下表面的同一圆周上(该圆的中心与R轴22的中心轴一致)。另外，各卡合部件31能够通过未图示的气缸而上下移动。
吸附头120是外观为大致圆柱状的部件，在下方具有多根(在本实施方式中为12根)吸嘴13。吸嘴13与沿上下方向延伸的吸嘴支架12一体化。吸嘴支架12在上端附近具有吸嘴操作杆39，由弹簧40向上方施力而被定位于预定的固定位置(上方位置)。吸嘴操作杆39按照操作吸嘴13的顺序而存在第一个吸嘴操作杆39(A)至最后一个(第12个)吸嘴操作杆39(L)。该顺序设为在从图2的上方观察时从第一个沿逆时针计数至最后一个。当吸嘴操作杆39被按下时，吸嘴支架12及吸嘴13克服弹簧40的弹力而下降，当解除了吸嘴操作杆39的按下时，吸嘴支架12及吸嘴13通过弹簧40的弹力而返回固定位置。另外，头保持体21具有将吸嘴操作杆39向下方向按下的未图示的吸嘴操作杆按下部。该吸嘴操作杆按下部安装于未图示的第一Z轴滑动件，通过由未图示的伺服电动机对第一Z轴滑动件进行驱动而上下移动。通过该吸嘴操作杆按下部的上下移动，来按下吸嘴操作杆39和解除该按下。
另外，吸附头120具有从底部向图2的下方向突出的圆筒状的背景体44(参照后述的图6)。背景体44的中心轴与R轴22的中心轴和12根吸嘴13的圆周状的排列的中心轴一致。在背景体44的外周面涂敷有例如荧光涂料等，能够接收来自管嘴相机124的光源81(参照图4)的紫外线而发光。
此外，吸附头120具有能够插入R轴22的圆筒空间。在该圆筒空间的内部，在未图示的圆盘状的基体上形成有多个(在本实施方式中为四个)卡合孔。该卡合孔与R轴22的卡合部件31的钩卡合，由此头保持体21能够保持吸附头120。
在头单元110上安装有管嘴相机124。如图4所示，管嘴相机124具备：主体框架90、支撑轴92、相机主体94及光学系统单元80。主体框架90及支撑轴92安装于头单元110而与头保持体21一体化。由此，管嘴相机124随着头单元110(头保持体21)的XY方向的移动而在XY方向上移动。另外，头保持体21的升降能够与管嘴相机124独立地进行，由此能够调整头保持体21保持的头(吸附头120或排出头220)与管嘴相机124的光学系统单元80的上下的位置关系。相机主体94安装于主体框架90，具备未图示的透镜、拍摄元件、图像处理部等。光学系统单元80安装于主体框架90及支撑轴92。在光学系统单元80的后侧的面上安装有多个光源81。
对光学系统单元80的内部构造进行说明。在图2中，表示图4中的光学系统单元80的拆下了上罩80a的状态。如图2所示，光学系统单元80具备：朝向后方(安装于头保持体21的头所在的方向)开口的中入射口83a、左入射口83b、右入射口83c及覆盖各入射口83a～83c的透明的中罩84a、左罩84b、右罩84c。另外，光学系统单元80具备将从中入射口83a、左入射口83b、右入射口83c分别入射的光向相机主体94的拍摄元件引导的中光学系统82a、左光学系统82b、右光学系统82c。中光学系统82a具有反射镜86a等。从中入射口83a入射的光经由反射镜86a而被引导至相机主体94。左光学系统82b具有反射镜86b、棱镜85b、反射镜86a(与中光学系统82a共用)等。从左入射口83b入射的光在反射镜86b、棱镜85b、反射镜86a中依次反射或透过而被引导至相机主体94。右光学系统82c具有反射镜86c、棱镜85c、反射镜86a(与中光学系统82a共用)等。从右入射口83c入射的光在反射镜86c、棱镜85c、反射镜86a中依次反射或透过而被引导至相机主体94。另外，在棱镜85b与棱镜85c之间沿左右方向形成间隙，来自中入射口83a的光通过该间隙而到达反射镜86a。相机主体94的拍摄元件通过从中光学系统82a、左光学系统82b、右光学系统82c接收光而产生电荷。相机主体94的图像处理部输入由拍摄元件产生的电荷，并生成基于该电荷的图像数据。
接下来，对排出头220进行说明。图5是排出头220的立体图。图5所示的排出头220收纳于头收纳区域140(参照图1)。排出头220具备：圆筒状的主体部70，具备在内部收纳粘接剂的收纳室；基体36，安装于图5中的主体部70的上部。主体部70在图5中的下部具备一根排出嘴14。基体36具备多个卡合孔37。另外，在基体36的中心形成有上下贯通基体36的压力供给口38。能够经由头保持体21而对压力供给口38供给正压或负压。另外，压力供给口38、主体部70的收纳室、排出嘴14连通。因此，当对压力供给口38供给正压时，通过该压力而使主体部70的收纳室内的粘接剂从排出嘴14的排出口排出。另外，当对压力供给口38供给负压时，将排出嘴14的排出口的粘接剂向收纳室侧吸引，抑制粘接剂从排出嘴14的排出。另外，上述吸附头120的未图示的基体及卡合孔的形状与排出头220的基体26及卡合孔37相同。
另外，在排出头220的主体部70上安装有沿着主体部70的外周面弯曲的背景板72。在背景板72的内周面(排出嘴14侧的面)上涂敷有例如荧光涂料等，接收来自管嘴相机124的光源81的紫外线而能够发光。该背景板72通过未图示的突出部而安装于引导槽76、76，引导槽76、76沿着轴向(图5的上下方向)形成于主体部70的外周面。由此，背景板72能够沿着引导槽76、76沿轴向移动。另外，背景板72在上端具有背景板操作杆74，由引导槽76、76内的未图示的弹簧向上方施力而被定位于预定的固定位置(图5的虚线位置)。当背景板操作杆74被按下时，背景板72克服弹簧的弹力而下降至与排出嘴14相对的位置(图5的实线位置)。另外，当解除了背景板操作杆74的按下时，背景板72通过弹簧的弹力而返回固定位置。另外，头保持体21具有向下方向按下背景板操作杆74的未图示的背景板操作杆按下部。该背景板操作杆按下部安装于未图示的第二Z轴滑动件，通过由未图示的伺服电动机对第二Z轴滑动件进行驱动而上下移动。通过该背景板操作杆按下部的上下移动，来按下背景板操作杆74或解除该按下。
在此，对管嘴相机124的光学系统单元80与各头的管嘴的位置关系进行说明。图6是表示头保持体21保持的吸附头120的吸嘴13与光学系统单元80的位置关系的示意图。图7是表示头保持体21保持的排出头220的排出嘴14与光学系统单元80的位置关系的示意图。另外，图6、图7表示与Z轴垂直的剖视图。另外，图6、图7分别图示使头保持体21升降，以使吸嘴13、排出嘴14位于与光学系统单元80相对而管嘴相机124能够对各管嘴进行拍摄的高度位置(拍摄位置)的状态。
在本实施方式中，中光学系统82a被调整为大致对焦于头保持体21的中心轴(＝所保持的吸附头120的中心轴)。因此，如图6所示，在头保持体21保持吸附头120时，吸附头120的12根吸嘴13中的作为位于中入射口83a的正面(后方)的、最近的吸嘴13的位置(以下，将该位置称为吸嘴位置13a)包含于中光学系统82a的视野中。由此，管嘴相机124虽然未对焦于吸嘴位置13a的吸嘴13，但也能够经由中光学系统82a拍摄吸嘴位置13a的吸嘴13(及该吸嘴13吸附的元件)。另外，左入射口83b、右入射口83c分别被调整为对焦于吸嘴位置13a的左右相邻的吸嘴13的位置(以下，将上述位置分别称为吸嘴位置13b、吸嘴位置13c)。由此，管嘴相机124能够在已对焦的状态下经由左光学系统82b拍摄吸嘴位置13b的吸嘴13(及该吸嘴13吸附的元件)，在已对焦的状态下经由右光学系统82c拍摄吸嘴位置13c的吸嘴13(及该吸嘴13吸附的元件)。另外，在本实施方式中，中光学系统82a、左光学系统82b、右光学系统82c共用反射镜86a，因此经由中光学系统82a、左光学系统82b、右光学系统82c而入射的光汇总而由相机主体94的拍摄元件接收。由此，管嘴相机124取得表示将基于经由中光学系统82a、左光学系统82b、右光学系统82c的受光的各图像配置于中央、左侧、右侧而成的一个图像的图像数据。因此，当以图6的状态进行拍摄时，取得未对焦的吸嘴位置13a的吸嘴13的图像配置于中央、已对焦的吸嘴位置13b的吸嘴13配置于左侧、已对焦的吸嘴位置13c的吸嘴13配置于右侧而成的一个图像数据(以下，称为吸嘴图像数据)。另外，通过背景体44位于吸嘴位置13a～13c的后方和调整中光学系统82a、左光学系统82b、右光学系统82c的视野，而能够避免在吸嘴图像数据中拍摄有吸嘴位置13a～13c以外的其他位置的吸嘴13。另外，通过R轴电动机25使R轴旋转，由此12根吸嘴13以头保持体21的中心轴为中心旋转。因此，能够通过管嘴相机124拍摄12根吸嘴13中的在圆周方向上连续的任意的3根吸嘴。
另一方面，如图7所示，在头保持体21保持排出头220时，排出嘴14位于排出头220的中心轴附近。由此，管嘴相机124能够在已对焦的状态下经由中光学系统82a拍摄排出嘴14(及排出嘴14的排出口的粘接剂)。另外，通过背景体44位于排出嘴14的后方，而左光学系统82b、右光学系统82c的视野中仅包含背景板72。因此，当以图7的状态进行拍摄时，取得已对焦的排出嘴14的图像配置于中央而成的图像数据(以下，称为排出嘴图像数据)。
另外，管嘴相机124通过光源81向背景体44或背景板72照射紫外线，利用背景体44或背景板72的发光进行拍摄。由此，在吸嘴图像数据中，背景体44部分成为明亮的背景，作为拍摄对象的吸嘴位置13a～13c的吸嘴13等显示得较暗。同样，在排出嘴图像数据中，背景板72部分成为明亮的背景，作为拍摄对象的排出嘴14等显示为较暗的图像。
[元件安装系统1的动作-粘接剂涂敷处理]
接下来，对元件安装装置100的控制器160的CPU162基于从管理计算机200接收到的生产任务数据而利用头单元110进行粘接剂涂敷处理的动作进行说明。CPU162在头保持体21保持有排出头220的状态下，基于从200接收到的生产任务数据而反复进行使头单元110移动并向基板101上的预定位置涂敷预定量的粘接剂的粘接剂涂敷处理。在该粘接剂涂敷处理中，在不从排出嘴14排出粘接剂的期间中，CPU162向压力供给口38供给负压而抑制粘接剂从排出嘴14的滴液。例如在排出嘴14移动到用于接下来涂敷粘接剂的基板101上的预定位置为止的期间，CPU162抑制从排出嘴14的滴液。并且，当排出嘴14移动到预定位置时，CPU162使头保持体21下降而使排出嘴14接近于基板101，向压力供给口38供给正压而从排出嘴14排出粘接剂，而将粘接剂向预定位置涂敷。另外，CPU162基于生产任务数据在粘接剂涂敷处理的开始时适当地使排出头220移动至管嘴贮存器134的上方，来进行排出嘴14的更换，以使排出头220安装适当的种类的排出嘴14。另外，在粘接剂涂敷处理中，在涂敷粘接剂时或更换排出嘴14时，CPU162使头保持体21下降至比拍摄位置低的位置。因此，前方的管嘴相机124不会妨碍粘接剂涂敷处理。
[元件安装系统1的动作-排出关联检查]
另外，在进行粘接剂涂敷处理的期间，CPU162使用管嘴相机124进行排出关联检查。在本实施方式中，CPU162进行排出嘴检查、滴液检查、涂敷是否良好的检查作为排出关联检查。排出嘴检查是判定安装于排出头220的排出嘴14的种类是否正确的检查，在刚进行了排出嘴14的更换之后由CPU162执行。在该排出嘴检查中，CPU162首先使头保持体21升降至上述拍摄位置。接下来，CPU162使背景板72下降并取得从侧方拍摄排出嘴14而得到的排出嘴图像数据。接下来，CPU162基于排出嘴图像数据来判定拍摄到的排出嘴14的种类是否适当。在本实施方式中，设为基于排出嘴14的口径(图像数据中的左右宽度)来进行判定。在排出嘴14的种类不正确时，CPU162再次进行排出嘴14的更换而重复进行上述拍摄和判定。并且，在排出嘴14的种类正确时，CPU162结束排出嘴检查。
接下来，对滴液检查进行说明。滴液检查是判定有无来自排出嘴14的排出口的粘接剂的滴液的检查。该滴液检查在排出嘴14移动至用于接下来涂敷粘接剂的基板101上的预定位置为止的期间等不进行粘接剂的涂敷的期间中，由CPU162执行。在该排出嘴检查中，CPU162首先与排出嘴检查相同地取得排出嘴图像数据。接下来，CPU162基于排出嘴图像数据来判定有无来自排出嘴14的排出口的滴液。在本实施方式中，设为CPU162对存在于排出嘴14的排出口的下方的较暗的图像(＝积液)的大小(例如上下方向的长度)是否为预定阈值以上进行判定。并且，在为预定阈值以上时，CPU162判定为粘接剂的积液较大而存在滴液(＝产生了滴液或产生滴液的可能性较高)，中断滴液检查及粘接剂涂敷处理。当中断粘接剂涂敷处理时，例如CPU162通过画面或声音等向作业者报知存在滴液，并使排出头220从基板101上退避。确认了报知的作业者在进行了排出嘴14或基板101上滴液的粘接剂的清洁的基础上，对元件安装装置100进行指示以重新进行粘接剂涂敷处理。另一方面，在CPU162判定为积液的大小小于预定阈值时，直接结束滴液检查。另外，CPU162例如每隔预定时间反复执行这样的滴液检查。
接下来，对涂敷是否良好的检查进行说明。涂敷是否良好的检查是判定粘接剂向基板101的涂敷是否良好的检查。该涂敷是否良好的检查在从排出嘴14排出粘接剂而向预定位置涂敷了粘接剂之后，向排出嘴14供给了负压紧后，由CPU162执行。该排出嘴检查除了执行的时机不同以外，其他与上述滴液检查相同地进行。在基于排出嘴14的粘接剂向基板101的涂敷不良(粘接剂的涂敷量不充分)的情况下，很多时候会在排出嘴14的排出口产生积液。因此，CPU162与滴液检查相同地，通过判定存在于排出嘴14的排出口的下方的积液的大小是否为预定阈值以上，来判定粘接剂的涂敷是否良好。另外，在CPU162判定为粘接剂的涂敷不良时，CPU162可以再次进行粘接剂向预定位置的涂敷，也可以向作业者报知涂敷不良。另外，在滴液检查和涂敷是否良好的检查中，阈值可以相同，也可以不同。
[元件安装系统1的动作-头自动更换处理]
接下来，对元件安装装置100的控制器160的CPU162基于从管理计算机200接收到的生产任务数据而自动地更换头的动作进行说明。在进行了粘接剂涂敷处理与元件安装处理中的一个处理之后进行另一个处理时等，CPU162在基于生产任务数据的预定的头自动更换时机，进行头自动更换处理。在头自动更换处理中，CPU162首先使头单元110移动到头收纳区域140中的空的收纳场所142的正上方，使头保持体21下降而将当前保持的头收纳于收纳场所142。然后，CPU162在使卡合部件31的钩脱离所保持的头的卡合孔之后，使头保持体21上升。接下来，CPU162使头单元110移动到作为更换对象的头的正上方。然后，CPU162使头保持体21下降，使卡合部件31与作为更换对象的头的卡合孔卡合，结束头自动更换处理。由此，通过头保持体21保持作为更换对象的头。这样，CPU162进行从吸附头120与排出头220中的一方向另一方的更换。
[元件安装系统1的动作-元件安装处理]
接下来，对元件安装装置100的控制器160的CPU162基于从管理计算机200接收到的生产任务数据，来利用头单元110向基板101安装元件的元件安装处理进行说明。设为在头单元110上安装有吸附头120。在元件安装处理中，CPU162首先使吸附头120的吸嘴13吸附元件。具体而言，首先，CPU162使头单元110在XY方向上移动，而使第一个吸嘴13移动到吸附元件的预定位置。接下来，CPU162使头保持体21下降，并按下吸嘴操作杆39而使第一个吸嘴13下降，并向吸嘴13的前端供给负压来吸附元件。然后，解除吸嘴操作杆39的按下而使第一个吸嘴13上升。第二个以后的吸嘴13也反复进行与之相同的动作，能够使第一个到最后一个吸嘴13全部吸附元件。当元件的吸附完成时，CPU162使头单元110在XY方向上移动，使吸附有作为安装对象的元件的吸嘴13移动至安装元件的安装位置的上方。并且，CPU162使头保持体21下降并按下吸嘴操作杆39而使吸嘴13下降，解除吸嘴13的负压而将元件安装到基板101上。然后，使吸嘴13上升。CPU162反复进行这样将一个元件安装于基板101上的动作，而将吸附头120的吸嘴13吸附的全部元件安装到基板101上。并且，CPU162反复进行这样的进行元件的吸附和向基板101上的安装的元件安装处理。另外，CPU162基于生产任务数据而在元件安装处理的开始时适当地使吸附头120移动到管嘴贮存器134的上方，并进行吸嘴13的更换，以使吸附头120安装适当的种类的吸嘴13。CPU162与元件的吸附相同地按下吸嘴操作杆39而使吸嘴13逐个下降，来进行吸嘴13的更换。另外，在向吸嘴13吸附元件时、向基板101上安装元件时、更换吸嘴13时，CPU162使用吸嘴操作杆39来使吸嘴13下降。因此，在上述情况下，前方的管嘴相机124不会成为妨碍。
[元件安装系统1的动作-元件关联检查]
另外，CPU162在进行元件安装处理的期间，使用管嘴相机124进行元件关联检查。在本实施方式中，CPU162进行安装检查、元件吸附状态检查作为元件关联检查。安装检查是判定在吸附头120上是否安装有吸嘴13的检查，每当头保持体21更换一个吸嘴13时，由CPU162执行。在该安装检查中，CPU162首先使头保持体21升降至上述拍摄位置。接下来，CPU162取得管嘴相机124拍摄的吸嘴图像数据。接下来，CPU162基于吸嘴图像数据来判定是否安装有吸嘴位置13a的吸嘴13。CPU162例如基于在吸嘴图像数据的中央是否存在较暗的图像等，来判定是否被安装有(是否存在)吸嘴位置13a的吸嘴13。并且，CPU162当判定为未安装吸嘴位置13a的吸嘴13时，看作前一个吸嘴13的更换失败，从管嘴贮存器134再次进行吸嘴13的安装，并重复进行上述拍摄和判定。并且，CPU162当判定为安装有吸嘴位置13a的吸嘴13时，结束安装检查。在更换多个吸嘴13时，CPU162反复进行一个吸嘴13的更换与安装检查。
接下来，对元件吸附状态检查进行说明。元件吸附状态检查是判定吸嘴13吸附的元件的吸附状态是否良好(有无元件的吸附和吸附的元件的姿势是否良好)的检查。该元件吸附状态检查在从第一个至最后一个吸嘴13全部吸附了元件紧后，由CPU162执行。在该元件吸附状态检查中，CPU162首先拍摄吸嘴位置13a～13c来取得吸嘴图像数据。接下来，CPU162基于吸嘴图像数据来判定吸嘴位置13b、13c的吸嘴13的吸附状态是否良好。具体而言，CPU162基于吸嘴图像数据的较暗的图像的大小和位置等，来判定吸嘴位置13b、13c的全部吸嘴13的前端的是否存在元件，并且在存在的情况下，判定该元件的姿势(倾斜等)是否良好。在判定为吸嘴位置13b、13c的吸嘴13中存在一个以上不存在元件的吸嘴或元件的姿势不良的吸嘴时，CPU162使作为对象的吸嘴13再次进行元件的吸附，并重复进行上述拍摄和判定。并且，CPU162在判定为吸嘴位置13b、13c的全部吸嘴13的吸附状态良好时，使R轴22旋转而使未检查的吸嘴13移动至吸嘴位置13b、13c，反复进行上述拍摄和判定。CPU162在将吸附头120的全部吸嘴13判定为吸附状态良好时，结束元件吸附状态检查。另外，在元件吸附状态检查中，不对未对焦的吸嘴位置13a的吸嘴13进行检查。因此，在本实施方式中，CPU162在元件吸附状态检查中每次检查两根吸嘴13。
在此，明确本实施方式的构成要素与本发明的构成要素的对应关系。本实施方式的吸嘴13相当于本发明的元件保持件，吸附头120相当于安装头，排出嘴14相当于排出件，排出头220相当于排出头，头收纳区域140相当于收纳单元，头保持体21相当于头保持单元，X轴滑动件112和Y轴滑动件116相当于头移动单元，CPU162相当于头更换控制单元及检查单元，吸嘴图像数据相当于元件保持件图像数据，排出嘴图像数据相当于排出件图像数据，管嘴相机124相当于拍摄单元。另外，中光学系统82a相当于第一光学系统，左光学系统82b及右光学系统82c相当于第二光学系统。此外，使头保持体21升降的未图示的升降机构相当于相对位置变更单元。
根据以上所说明的本实施方式的元件安装装置100，使头保持体21移动而使头保持体21保持的头与头收纳区域140的收纳场所142收纳的头进行更换，由此能够将头保持体21保持的头从安装有能够对元件进行保持及解除保持的吸嘴13的吸附头120与安装有能够从排出口排出粘接剂的排出嘴14的排出头220中的一个头更换为另一个头。另外，管嘴相机124在头保持体21保持吸附头120的情况下从侧方拍摄安装于吸附头120的吸嘴13(吸嘴位置13a～13c的吸嘴13)来取得吸嘴图像数据。管嘴相机124在头保持体21保持排出头220的情况下，从侧方拍摄安装于排出头220的排出嘴14来取得排出嘴图像数据。并且，基于吸嘴图像数据进行元件关联检查，基于排出嘴图像数据进行排出关联检查。这样，本实施方式的元件安装装置100能够将头保持体21保持的头更换为吸附头120与排出头220，且管嘴相机124兼作为拍摄吸附头120的吸嘴13的机构和拍摄排出头220的排出嘴14的机构。因此，与分别设置两个机构的情况相比，能够以更简单的结构取得吸嘴图像数据和排出嘴图像数据，进一步能够以更简单的结构进行元件关联检查和排出关联检查。
另外，CPU162进行包括涂敷是否良好的检查、滴液检查、排出件检查在内的排出关联检查，上述涂敷是否良好的检查是基于从排出嘴14向基板101上涂敷了粘接剂之后所拍摄的排出嘴图像数据来对存在于排出口的粘接剂进行检测而判定涂敷是否良好的检查，上述滴液检查是基于在未向基板101上涂敷粘接剂时所拍摄的排出嘴图像数据来判定有无来自排出口的粘接剂的滴液的检查，上述排出件检查是基于排出嘴图像数据来判定安装于排出头220的排出嘴14的种类是否正确的检查。
此外，中光学系统82a被调整为对焦于排出嘴14，因此能够更适当地进行排出关联检查。另外，中光学系统82a被调整为将安装于吸附头120的吸嘴位置13a的吸嘴13也包含在视野中，因此也能够用于安装检查。即，能够在排出关联检查和安装检查将中共用光学系统82a。另外，在安装检查中，仅检查有无吸嘴13，因此即使使用依赖于未对焦的中光学系统82a的受光的图像数据，也能够进行检查。
此外，左光学系统82b及右光学系统82c被调整为对焦于吸嘴位置13b、13c的吸嘴13，因此能够更适当地进行元件关联检查。即，对于元件关联检查中的若未对焦则比较难以进行检查的元件吸附状态检查，能够使用左光学系统82b及右光学系统82c适当地进行。
另外，管嘴相机124经由主体框架90而与头保持体21一体化。因此，容易将拍摄时的管嘴相机124与头保持体21保持的头的位置关系确保成适当，容易取得适当的吸嘴图像数据或排出嘴图像数据。更具体而言，头保持体21与管嘴相机124在XY方向上一体移动，因此容易将头的吸嘴13或排出嘴14与管嘴相机124在XY方向上的位置关系确保成适当。另外，使头保持体21升降的未图示的升降机构使头保持体21移动。因此，例如在涂敷粘接剂时、安装元件时和管嘴相机124进行拍摄时，能够通过使管嘴相机124与头保持体21保持的头的位置关系变化等，而使管嘴相机124和头形成为与状况对应的适当的位置关系。另外，在拍摄时仅通过使头保持体21上下移动，就能够使头移动到适当的拍摄位置。
另外，本发明不受上述实施方式的任何限定，只要属于本发明的技术范围，则能够以各种形态实施，这是不言而喻的。
例如，在上述实施方式中，设为中光学系统82a将吸嘴位置13a的吸嘴13包含于视野中，但也可以设为不将吸嘴位置13a的吸嘴13包含于视野中。即使在该情况下，也能够使用中光学系统82a进行排出关联检查。另外，在该情况下，在本实施方式中使用中光学系统82a而进行的吸嘴13的安装检查只要使用左光学系统82b及右光学系统82c进行即可。
在上述实施方式中，设为光学系统单元80具备中光学系统82a、左光学系统82b、右光学系统82c，但是至少具备中光学系统82a即可。即，可以设为光学系统单元80不具备左光学系统82b及右光学系统82c中的至少一方。即使在光学系统单元80不具备左光学系统82b及右光学系统82c中的一方的情况下，也能够使用另一方进行元件关联检查。另外，即使在光学系统单元80不具备左光学系统82b及右光学系统82c这两方的情况下，也能够使用中光学系统82a进行排出关联检查和安装检查。
在上述实施方式中，设为中光学系统82a、左光学系统82b、右光学系统82c共用反射镜86a，但是也可以设为还共用其他反射镜或棱镜等，还可以设为没有共用的部件的独立的光学系统。
在上述实施方式中，取得将基于经由中光学系统82a、左光学系统82b、右光学系统82c的受光的各图像配置于中央、左侧、右侧而成的一个图像数据，但也可以按照各光学系统取得不同的图像数据。例如，管嘴相机124可以设为在中入射口83a、左入射口83b、右入射口83c分别具备通过开闭来切换有无受光的遮挡板。这样一来，仅打开想要取得的光学系统的遮挡板来取得图像数据，由此能够取得各光学系统的图像。
在上述实施方式中，设为CPU162进行排出嘴检查、滴液检查、涂敷是否良好的检查作为排出关联检查，但是只要进行与排出嘴14和从排出嘴14的排出口排出的粘接剂中的至少一方相关的检查即可，而不限于此。例如，可以不进行排出嘴检查、滴液检查、涂敷是否良好的检查中的一个以上的检查，也可以追加其他检查。关于进行检查的时机，也并不限于上述实施方式的形态。
在上述实施方式中，设为CPU162进行安装检查及元件吸附状态检查作为元件关联检查，但是只要进行与吸嘴13和吸嘴13保持的元件中的至少一方相关的检查即可，而不限于此。另外，也可以安装检查及元件吸附状态检查均不进行，取而代之进行其他检查。例如，作为其他检查，可以进行判定安装于吸附头120的吸嘴13的种类的吸嘴检查。吸嘴检查例如可以与排出嘴检查相同地基于吸嘴13的口径(图像数据中的左右宽度)进行。这样的检查优选的是使用已对焦于吸嘴13的左光学系统82b或右光学系统82c进行。或者，可以进行缺件检查，即对将元件安装在基板101上之后的吸嘴13检查吸嘴13是否将元件带回(缺件)。缺件检查例如可以与安装检查相同地判定吸嘴13的前端是否存在较暗的图像来进行。另外，这样的检查优选的是使用已对焦于吸嘴13的左光学系统82b或右光学系统82c进行，从而即便是较小的元件也能够进行判定。
在上述实施方式中，设为头保持体21每更换一个吸嘴13时，CPU162就进行安装检查，但也可以在全部吸嘴13的更换完成之后进行安装检查。在该情况下，可以是不仅将中光学系统82a用于安装检查，而且将左光学系统82b及右光学系统82c也用于安装检查，从而同时进行多根吸嘴13的安装检查。另外，设为CPU162在全部吸嘴13吸附了元件之后进行元件吸附状态检查，但也可以每当吸嘴13吸附一个元件时进行元件吸附状态检查。在该情况下，只要通过左光学系统82b及右光学系统82c中的一方进行检查即可。
在上述实施方式中，头单元110可以具备使管嘴相机124上下移动的机构。这样一来，通过使管嘴相机124上下移动而能够使管嘴相机124移动到适当的拍摄位置。
在上述实施方式中，在吸嘴图像数据和排出嘴图像数据中，背景明亮而拍摄对象较暗地显示，但不限于此。例如，在图像数据中，可以是背景较暗而拍摄对象明亮。在该情况下，可以使背景体44及背景板72的表面为黑色等，而降低背景体44及背景板72的表面的可视光反射率，并从光源81照射可视光而管嘴相机124进行拍摄。
在上述实施方式中，设为吸附头120的吸嘴13、排出头220的排出嘴14能够拆装，但也可以是吸嘴13与排出嘴14中的至少一方以不能拆装的方式安装于头。
在上述实施方式中，设为排出头220排出粘接剂，但是不限于粘接剂，只要是排出焊料或钎料等粘性流体即可。另外，设为元件安装装置100具备一个吸附头120和一个排出头220，但也可以存在多种(例如能够安装管嘴的数量不同)吸附头120或排出头220。
工业上的可用性
本发明能够利用于将粘性流体向基板上涂敷或将保持的元件向基板上安装的元件安装装置的技术领域。
附图标记说明
1元件安装系统，12吸嘴支架，13吸嘴，13a～13c吸嘴位置，14排出嘴，21头保持体，22R轴，24R轴齿轮，25R轴电动机，27Q轴齿轮，28Q轴电动机，31卡合部件，33圆筒齿轮，34小齿轮，36基体，37卡合孔，38压力供给口，39吸嘴操作杆，40弹簧，44背景体，61离合器部件，62离合器部件，70主体部，72背景板，74背景板操作杆，76、76引导槽，80光学系统单元，80a上罩，81光源，82a中光学系统，82b左光学系统，82c右光学系统，83a中入射口，83b左入射口，83c右入射口，84a中罩，84b左罩，84c右罩，85b、85c棱镜，86a～86c反射镜，90主体框架，92支撑轴，94相机主体，100元件安装装置，101基板，102基台，104基板输送装置，106支撑板，108输送带，110头单元，112X轴滑动件，114导轨，116Y轴滑动件，118导轨，120吸附头，124管嘴相机，134管嘴贮存器，140头收纳区域，142收纳场所，150带盘单元，152供料器，154带盘，160控制器，162CPU，164ROM，166RAM，168HDD，200管理计算机，220排出头，主体部，压力供给口。

Claims (7)

1.一种元件安装装置，将粘性流体向基板上涂敷或将所保持的元件向基板上安装，所述元件安装装置具备：
收纳单元，收纳多种头中的一个以上的头，所述多种头包括：具有能够对所述元件进行保持及解除保持的元件保持件的安装头、具有能够将粘性流体从排出口排出的排出件的排出头；
头保持单元，以能够更换的方式对所述头进行保持；
头移动单元，使所述头保持单元移动；
头更换控制单元，对所述头移动单元进行控制而使所述头保持单元保持的头与所述收纳单元收纳的头更换，由此使该头保持单元保持的头从所述安装头与所述排出头中的一个头更换为另一个头；
拍摄单元，在所述头保持单元保持所述安装头的情况下，从侧方拍摄该安装头具有的所述元件保持件来取得元件保持件图像数据，在所述头保持单元保持所述排出头的情况下，从侧方拍摄该排出头具有的所述排出件来取得排出件图像数据；及
检查单元，基于所述元件保持件图像数据进行与所述元件保持件和该元件保持件保持的元件中的至少一方相关的元件关联检查，基于所述排出件图像数据进行与所述排出件和从该排出件的排出口排出的粘性流体中的至少一方相关的排出关联检查。
2.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，
所述检查单元进行包括涂敷是否良好的检查、滴液检查、排出件检查中的一个以上检查在内的所述排出关联检查，
所述涂敷是否良好的检查是基于从所述排出件向所述基板上涂敷了粘性流体之后所拍摄的所述排出件图像数据来对存在于所述排出口的粘性流体进行检测而判定所述涂敷是否良好的检查，
所述滴液检查是基于在未向所述基板上涂敷粘性流体时所拍摄的所述排出件图像数据来判定有无来自所述排出口的粘性流体的滴液的检查，
所述排出件检查是基于所述排出件图像数据来判定所述排出头具有的排出件的种类是否正确的检查。
3.根据权利要求1所述的元件安装装置，其中，
所述安装头能够拆装所述元件保持件，
所述拍摄单元具有第一光学系统，所述第一光学系统被调整为：在所述排出头被保持于所述头保持单元的状态下，对焦于所保持的该排出头具有的所述排出件，并且在所述安装头被保持于所述头保持单元的状态下，使安装于所保持的该安装头上的所述元件保持件包含在视野中，
所述检查单元基于所述拍摄单元使用所述第一光学系统所拍摄的所述排出件图像数据来进行所述排出关联检查，基于所述拍摄单元使用所述第一光学系统所拍摄的所述元件保持件图像数据来进行包括检查所述元件保持件是否安装于所述安装头的安装检查在内的所述元件关联检查。
4.根据权利要求2所述的元件安装装置，其中，
所述安装头能够拆装所述元件保持件，
所述拍摄单元具有第一光学系统，所述第一光学系统被调整为：在所述排出头被保持于所述头保持单元的状态下，对焦于所保持的该排出头具有的所述排出件，并且在所述安装头被保持于所述头保持单元的状态下，使安装于所保持的该安装头上的所述元件保持件包含在视野中，
所述检查单元基于所述拍摄单元使用所述第一光学系统所拍摄的所述排出件图像数据来进行所述排出关联检查，基于所述拍摄单元使用所述第一光学系统所拍摄的所述元件保持件图像数据来进行包括检查所述元件保持件是否安装于所述安装头的安装检查在内的所述元件关联检查。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的元件安装装置，其中，
所述拍摄单元具有：第一光学系统，被调整为，在所述排出头被保持于所述头保持单元的状态下，对焦于所保持的该排出头具有的所述排出件；及第二光学系统，被调整为，在所述安装头被保持于所述头保持单元的状态下，对焦于所保持的该安装头具有的所述元件保持件，
所述检查单元基于所述拍摄单元使用所述第一光学系统所拍摄的所述排出件图像数据来进行所述排出关联检查，基于所述拍摄单元使用所述第二光学系统所拍摄的所述元件保持件图像数据来进行所述元件关联检查。
6.根据权利要求1～4中任一项所述的元件安装装置，其中，
所述安装头能够拆装多个所述元件保持件，
所述拍摄单元具有：第一光学系统，被调整为，在所述排出头被保持于所述头保持单元的状态下，对焦于所保持的该排出头具有的所述排出件，并且在所述安装头被保持于所述头保持单元的状态下，使安装于所保持的该安装头中的第一位置的元件保持件包含在视野中；第二光学系统，被调整为，在所述安装头被保持于所述头保持单元的状态下，对焦于位于所保持的该安装头中的与所述第一位置不同的第二位置的元件保持件，
所述检查单元基于所述拍摄单元使用所述第一光学系统所拍摄的所述排出件图像数据来进行所述排出关联检查，基于所述拍摄单元使用所述第一光学系统所拍摄的所述元件保持件图像数据来进行包括检查在所述第一位置是否安装有所述元件保持件的安装检查在内的所述元件关联检查，基于所述拍摄单元使用所述第二光学系统所拍摄的所述元件保持件图像数据来进行包括与位于所述第二位置的元件保持件所保持的元件相关的检查在内的所述元件关联检查。
7.根据权利要求1～4中任一项所述的元件安装装置，其中，
所述拍摄单元与所述头保持单元一体化。
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