CN115004877B - 图像处理装置、安装装置及图像处理方法 - Google Patents

Abstract

对沿着预定的进给方向设置有多个元件收纳用的腔室的带的图像进行处理的图像处理装置具备：生成部，从图像中提取沿着进给方向的行的像素的亮度，生成行的亮度波形；及识别部，根据亮度波形进行亮度变化的周期解析，基于通过该周期解析得到的波长来识别腔室的间距。

Description

图像处理装置、安装装置及图像处理方法

技术领域

本说明书公开图像处理装置、安装装置及图像处理方法。

背景技术

以往，针对设置有元件收纳用的腔室的带，提出有检测腔室的间距等的装置(例如，参照专利文献1)。在该装置中，通过使光相对于带透过，利用光传感器等检测该透过光量，并将检测出的透过光量与阈值进行比较，从而检测是不存在元件的空腔室还是带部分。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2017-220623号公报

发明内容

发明所要解决的课题

此处，有时根据带的材料、颜色等，检测出的透过光量的亮度的变化不足。在该情况下，在如上述的装置那样仅通过将透过光量与阈值进行比较来检测的结构中，恐怕产生错误检测。

本公开的主要目的在于即便为亮度变化不足的带也高精度地识别腔室的间距。

用于解决课题的技术方案

本公开为了实现上述的主要目的而采用以下的方案。

本公开的第1图像处理装置的主旨在于对沿着预定的进给方向设置有多个元件收纳用的腔室的带的图像进行处理，上述图像处理装置具备：生成部，从上述图像中提取沿着上述进给方向的行的像素的亮度，生成上述行的亮度波形；及识别部，根据上述亮度波形进行亮度变化的周期解析，基于通过该周期解析得到的波长来识别上述腔室的间距。

本公开的第1图像处理装置从带的图像中提取沿着进给方向的行的像素的亮度，生成行的亮度波形。而且，根据亮度波形进行亮度变化的周期解析，基于通过周期解析得到的波长来识别腔室的间距。由此，即便为图像的亮度变化不足的带，也能够通过周期解析比较高精度地求出波长，因此，能够高精度地识别腔室的间距。

附图说明

图1是表示安装装置10的结构的概略的结构图。

图2是表示供料器20的供料器部25的概略的立体图。

图3是表示供料器20的供料器部25的概略的俯视图。

图4是表示与安装装置10和管理装置40的控制相关的结构的框图。

图5是表示带进给相关处理的一个例子的流程图。

图6是表示间距识别处理的一个例子的流程图。

图7是表示图像G的多个行L的一个例子的说明图。

图8是表示行L的亮度波形的一个例子的说明图。

图9是表示通过归一化平方差函数计算出的波形的一个例子的说明图。

图10是表示识别腔室24的中心的状况的一个例子的说明图。

图11是表示第2实施方式的间距识别处理的一个例子的流程图。

图12是表示第2实施方式的行L的一个例子的说明图。

图13是表示亮度的大小变化的间距B的一个例子的说明图。

具体实施方式

接下来，参照附图对用于实施发明的形式进行说明。

[第1实施方式]

图1是表示安装装置10的结构的概略的结构图。图2是表示供料器20的供料器部25的概略的立体图。图3是表示供料器20的供料器部25的概略的俯视图。图4是表示与安装装置10的控制相关的结构的框图。此外，在本实施方式中，图1的左右方向是X轴方向，前后方向是Y轴方向，上下方向是Z轴方向。

如图1所示，安装装置10具备：供料器20，供给收容于带的元件P；基板搬运装置12，搬运平板状的基板S；头14，通过吸嘴15吸附元件P并向基板S上安装；及移动机构16，使头14沿XY方向移动。另外，安装装置10具备：标记相机18，能够拍摄标注于基板S的各种标记、供料器20的带上表面等；零件相机19，能够从下方拍摄被吸嘴15吸附的元件P；及控制装置30，负责安装装置10的整体的控制(参照图4)。头14具有一个或者多个吸嘴15，上述吸嘴15通过未图示的Z轴马达而沿上下方向升降。

供料器20具备卷绕有带22(参照图2)的带盘部21和从带盘部21引出并送出带22的供料器部25，并能够拆装地安装于安装装置10。供料器部25具备用于使未图示的带齿卷盘旋转的步进马达等进给马达26(参照图4)。带22沿着带22的进给方向(长度方向)形成有多个用于收容元件P的凹状的腔室24。另外，带22形成有与形成于供料器部25的带齿卷盘的外周的带齿卷盘齿卡合的进给孔23。供料器20通过驱动供料器部25的进给马达26而使带齿卷盘间歇地旋转，由此将带22以每预定量向Y方向后方(进给方向)间歇地送出，向头14(吸嘴15)能够拾取的元件供给位置供给元件P。另外，供料器部25具备引导带22的移动的引导框27。引导框27设置为沿着前后方向而在供料器20的左右两侧延伸，并且一部分跨带22的上方。在该引导框27形成有作为基准位置的基准标记28。此处，示出圆形的基准标记28，但只要能够掌握基准位置，则能够使用任意形状。安装装置10能够基于带22的进给孔23与基准标记28的位置关系，求出带22的进给的位置偏移量等。另外，供料器20虽省略图示，但具备由CPU、ROM、RAM等构成的控制部。若供料器20安装于安装装置10，则控制部以能够通信的方式与控制装置30连接。

此处，带22的腔室24以多个间距中的某一个固定间距沿着进给方向形成有多个。作为多个间距，例如存在1mm、2mm、4mm、8mm等，根据应该收容的元件P的尺寸以某一个间距形成。另外，供料器20通过作为带22的进给的预定量而间歇地进给相当于腔室24的间距的量，能够将腔室24内的元件P依次供给于元件供给位置。此外，带22形成为一个腔室24位于进给孔23的中心位置的侧方(图3中的右方)。

控制装置30具备未图示的CPU、ROM、RAM、HDD等。如图3所示，控制装置30作为功能模块而具备：驱动控制部32，驱动各部分；和图像处理部34，对由标记相机18、零件相机19拍摄到的图像进行处理。驱动控制部32向供料器20、基板搬运装置12、头14、移动机构16、标记相机18、零件相机19等输出控制信号。在驱动控制部32输入有来自供料器20的控制部的与元件P相关的各种信息、来自标记相机18的图像信号、来自零件相机19的图像信号等。来自标记相机18、零件相机19的图像信号由图像处理部34处理。此外，图像信号可以直接输入至图像处理部34。另外，控制装置30经由通信网络以能够进行双向通信的方式与进行和安装处理相关的信息的管理的管理装置40连接，相互进行数据、控制信号的交换。

管理装置40是通用的计算机，如图4所示，具备管理控制部42、键盘、鼠标等输入设备44、显示器46、HDD、SSD等存储装置48。管理控制部42由CPU、ROM、RAM等构成，从输入设备44输入输入信号，并向显示器46输出图像信号。存储装置48存储基板S的生产计划。基板S的生产计划是决定安装装置10以怎样的顺序在基板S的安装面的哪个位置安装哪个元件P、或者决定制作几个安装有元件P的基板S等的计划。管理装置40以根据生产计划而安装元件P的方式对控制装置30输出指令信号。

以下，为这样构成的安装装置10的动作的说明。此处，对与供料器20的带22的进给相关的处理进行说明。图5是表示带进给相关处理的一个例子的流程图。该处理通过驱动控制部32和图像处理部34的功能来执行。

在带进给相关处理中，控制装置30首先判定是否为带22的腔室24的间距识别时间点(S100)。控制装置30例如在新的供料器20安装于安装装置10的情况下判定为是间距识别时间点。另外，控制装置30在进行使新的带22的始端与接近元件用尽的带22的末端接合的拼接作业而新的带22进给至元件供给位置的附近为止时等也判定为是间距识别时间点。控制装置30若判定为是间距识别时间点，则由标记相机18从上方拍摄带22的图像G(S110，参照图2)，处理拍摄到的图像G而进行用于识别腔室24的间距的间距识别处理(S120)。图6是表示间距识别处理的一个例子的流程图。间距识别处理由图像处理部34执行。

在间距识别处理中，图像处理部34从S110中拍摄到的图像G提取沿着带22的进给方向(前后方向)的多个行L的各像素的亮度(S200)。图7是表示图像G的多个行L的一个例子的说明图。多个行L在左右方向上例如以预定像素数的间隔设定即可。此外，通过UV坐标表示图像G的像素的位置。U轴相当于X轴方向，V轴相当于Y轴方向。

接下来，图像处理部34基于提取出的亮度，按每行L，生成表示带进给方向的亮度变化的亮度波形(S210)。图8是表示行L的亮度波形的一个例子的说明图。此外，图8中，横轴表示相当于带进给方向的V轴的坐标，纵轴表示亮度。在该亮度波形中，按每约1000μm产生亮度接近值255的比较大的峰值，该峰值间产生亮度接近值160～170的比较小的峰值。此外，光的反射状况根据带22、腔室24内的元件P的材质、表面的光泽的有无、颜色等而变化，因此，行L的亮度变化的波形根据带22、元件P的种类而不同。

接着，图像处理部34进行亮度波形的周期解析(S220)。此处，如上述那样，腔室24以多个中的某一个固定间距设置。因此，与腔室24的列重叠的行L的亮度变化成为以相当于腔室24的间距的长度作为一个波长的周期性的波形。另一方面，不与腔室24的列重叠的行L的亮度变化没有成为这样的周期性的波形。在本实施方式中，使用用于评价这样的周期性的函数、解析方法而进行亮度波形的周期解析。作为一个例子，图像处理部34使用归一化平方差函数(NSDF：Normalized Square Difference Function)。归一化平方差函数由式(1)定义。

式1

式(1)中，n’(τ)是延迟τ的归一化平方差函数，n’(τ)的值越大则表示亮度变化的周期性越强。r’(τ)是由式(2)定义的自相关函数(ACF：Autocorrelation Function)。m’(τ)是由式(3)定义的平方差函数(SDF：Square Difference Function)函数。此外，W是波形解析的窗的尺寸的初始值，V是图像的V方向即带进给方向的Y方向。在归一化平方差函数中，通过一边使亮度波形沿V方向挪位一边检测出相关性高的峰值来评价周期性，但由于记载于本申请申请人的国际申请(国际申请编号PCT/JP2014/065043)等，所以省略详细的说明。

式2

图像处理部34将通过S220的周期解析得到的峰值的间距A(波长)识别为腔室24的间距(S230)。此处，图9是表示通过归一化平方差函数计算出的波形的一个例子的说明图。在归一化平方差函数中，在相关性高的波长中具有接近值1.0的特性，在值1.0附近出现多个峰值(参照图9中的圆圈)。此外，图像处理部34能够根据各峰值的产生部位的像素值和标记相机18的分辨率，求出间距A。图9中，例示出间距A约为1000μm的情况。在这种情况下，图像处理部34在S230中将腔室24的间距识别为0.1mm。另外，图9中，将图8中产生的比较小的峰值等排除，因此，图像处理部34能够高精度地识别腔室24的间距。

接着，图像处理部34选定多个行L中的S220的解析结果与S230中识别出的间距一致的行L(S240)。而且，图像处理部34将选定的行L中的左右方向(U轴方向、X轴方向)的中央识别为腔室24的中心(S250)，结束间距识别处理。图10是表示识别腔室24的中心的状况的一个例子的说明图。如图示那样，例如，在多个行L中选定行L1～L3的3行。选定的行L的个数为奇数，因此，图像处理部34将中央的行L2识别为腔室24的中心。此外，若选定的行L的个数为偶数，则将U轴方向上两端的行L的中央位置识别为腔室24的中心，若选定的行L的个数为值1，则将该行L识别为腔室24的中心。

在图5的带进给相关处理中，控制装置30若进行S120(图6)的间距识别处理或者在S100中判定为不是间距识别时间点，则判定是否为带22的进给时间点(S130)。此外，控制装置30在不是由头14的吸嘴15进行元件吸附动作期间且准备好将接下来的元件P向元件供给位置进给的情况下，判定为是进给时间点。控制装置30若判定为是进给时间点，则执行基于S120中识别出的间距进给带22的带进给处理(S140)，返回S100。另外，控制装置30若在S130中判定为不是进给时间点，则跳过S140而返回S100。控制装置30基于通过间距识别处理识别出的间距执行带进给处理，因此，能够使各腔室24正确地移动至元件供给位置为止而适当地供给元件P。另外，控制装置30基于识别出的腔室24的中心，微调吸嘴15的左右方向上的吸附位置，由此，能够在元件供给位置更稳定地吸附元件P。

此处，在基于例如作业者经由管理装置40、未图示的操作面板等而输入的间距执行带进给处理的情况下，有时由于作业者的错误识别、错误输入而以错误的间距进给带22。若以比实际小的间距进给带22，则恐怕频繁发生吸嘴15的吸附错误。另外，若以比实际大的间距进给带22，则恐怕元件P保持没有被吸附的状态直接经过元件供给位置而使元件P废弃。在本实施方式中，由于通过间距识别处理正确地识别间距，所以能够防止这样的吸附错误、元件P的废弃的担忧。

此处，明确本实施方式的结构要素与本公开的结构要素的对应关系。本实施方式的图像处理部34相当于本公开的图像处理装置，腔室24相当于腔室，带22相当于带，执行图6的间距识别处理的S200、S210的图像处理部34相当于生成部，执行间距识别处理的S220、S230的图像处理部34相当于识别部。另外，供料器20相当于供料器，安装装置10相当于安装装置，标记相机18相当于拍摄装置，驱动控制部32相当于控制装置。此外，本实施方式通过说明安装装置10的动作也明确本公开的图像处理方法的一个例子。

对于以上说明的安装装置10而言，图像处理部34从图像G提取沿着带22的进给方向的行L的像素的亮度并生成亮度波形。而且，将通过周期解析得到的峰值的间距A(波长)识别为腔室24的间距。因此，即便为图像G的亮度变化不足的带22等，也能够高精度地识别腔室24的间距。另外，安装装置10基于识别出的间距执行带进给处理，因此，能够使各腔室24正确地移动至元件供给位置为止并适当地供给元件P。

另外，图像处理部34在多个行L中选定周期解析的结果与识别出的间距对应的行L，将选定的行L的中心识别为腔室24的中心。因此，即便为图像G的亮度变化不足的带22，也能够高精度地识别与进给方向正交的正交方向上的腔室24的中心。

另外，图像处理部34通过归一化平方差函数进行周期解析，因此，与通过傅立叶变换等进行周期解析的情况相比，抑制噪声的影响而容易检测相关性高的峰值，因此，能够更高精度地识别腔室24的间距。

此外，本公开没有被上述的实施方式作任何限定，只要属于本公开的技术范围则能够以各种方式实施是不言而喻的。

例如，在上述的实施方式中，通过归一化平方差函数进行周期解析，但不局限于此，进行亮度变化的周期性的解析处理即可。例如，也可以使用平均振幅差函数、傅立叶变换等。此外，平均振幅差函数记载于本申请申请人的国际申请(国际申请编号PCT/JP2014/065043)。

在上述的实施方式中，不仅识别出腔室24的间距还识别出腔室24的中心，但不局限于此，也可以不识别腔室24的中心而识别间距。在这样的情况下，不局限于进行多个行L的解析，也可以进行一个行L的解析。

[第2实施方式]

接下来，对第2实施方式进行说明。在第2实施方式中，腔室24的间距的识别处理与第1实施方式不同。图11是表示第2实施方式的间距识别处理的一个例子的流程图，图12是表示第2实施方式的行L的一个例子的说明图。在第2实施方式的间距识别处理中，图像处理部34首先从图像G检测出进给孔23(S300)。接下来，图像处理部34将从检测出的进给孔23的中心位置起向图像G中的左方(U轴方向)离开预定距离D的位置作为预定基准位置RP，从该基准位置RP设定行L(S310)。此外，与第1实施方式相同，行L沿着带22的进给方向。另外，预定距离D相当于进给孔23的中心与腔室24的中心之间的距离。接着，图像处理部34以多种中的最小间距MP提取该行L的各像素的亮度(S320)。例如，在如上述那样作为多个间距而存在1mm、2mm、4mm、8mm等的情况下，最小间距MP成为1mm。在该情况下，图像处理部34在S320中以1mm间距提取亮度。另外，如上述那样腔室24位于进给孔23的中心位置的侧方，因此，图像处理部34能够将该腔室24的位置作为基准位置RP以最小间距MP提取亮度。

图像处理部34若以最小间距MP提取行L的亮度，则通过将各亮度与预定阈值进行比较而判别亮度的大小来计算大小变化的间距B(S330)。图13是表示亮度的大小变化的间距B的一个例子的说明图。如图示那样，示出将各亮度分别与预定阈值(例如值190)比较而判别出的亮度的大小交替变化为小、大、小、大、小的状况。即，该例子中，亮度的大小变化的间距B成为最小间距MP的2倍。而且，图像处理部34将多个种类的间距中的相当于大小变化的间距B的间距识别为腔室24的间距(S340)，结束间距识别处理。图13的例子中，图像处理部34判定为最小间距MP的2倍的2mm间距。此外，例如存在最小间距MP为2mm且识别对象的间距为3mm等识别对象的间距不是最小间距MP的整数倍的情况。在该情况下，也由于间距B以最小间距MP和识别对象的间距的公倍数出现，所以图像处理部34能够识别腔室24的间距。

这样，在第2实施方式中，图像处理部34基于从行L以最小间距MP提取出的亮度与预定阈值的比较而求出亮度的大小变化的间距B，将多个间距中的与求出的间距B对应的间距识别为腔室24的间距。由此，在为图像G的亮度变化不足的带22的情况下，与仅根据亮度的大小的变化识别间距的情况比较，能够高精度地识别腔室24的间距。另外，控制装置30由于基于识别出的间距而进给带22，所以与第1实施方式相同，能够使各腔室24正确地移动至元件供给位置为止并适当地供给元件P。

另外，图像处理部34也可以均能够执行第1实施方式的间距识别处理和第2实施方式的间距识别处理。在这样的情况下，图像处理部34也可以进行双方的间距识别处理，也可以进行由作业者等选择指示出的某一个间距识别处理，也可以根据带22、元件P的种类选择性地进行更适当的间距识别处理。

此处，本公开的图像处理装置可以如以下那样构成。例如，也可以是，在本公开的第1图像处理装置中，上述生成部生成在与上述进给方向正交的正交方向上排列的多个上述行各自的上述亮度波形，上述识别部选定多个上述行中的上述周期解析的结果与识别出的上述间距对应的一个以上的上述行，将所选定的上述行的上述正交方向上的中心识别为上述腔室的上述正交方向上的中心。这样，即便为图像的亮度变化不足的带，也能够高精度地识别腔室的中心。

也可以是，在本公开的第1图像处理装置中，上述识别部通过归一化平方差函数进行上述周期解析。这样，与通过傅立叶变换等进行周期解析的情况相比，抑制噪声的影响而容易检测相关性高的峰值，因此，能够更高精度地识别腔室的间距。

本公开的第2图像处理装置的主旨在于对沿着预定的进给方向以多个间距中的某一个固定间距设置有元件收纳用的腔室的带的图像进行处理，上述图像处理装置具备：提取部，从上述图像中，从上述进给方向上的预定基准位置起以上述多个间距中的最小间距提取沿着上述进给方向的行的像素的亮度；及识别部，基于上述亮度与预定阈值的比较，求出上述亮度的大小变化的间距，将上述多个间距中的与求出的间距对应的间距识别为上述腔室的间距。

本公开的第2图像处理装置从带的图像中，从进给方向上的预定基准位置以多个间距中的最小间距提取沿着进给方向的行的像素的亮度。而且，基于亮度与预定阈值的比较求出亮度的大小变化的间距，将多个间距中的与求出的间距对应的间距识别为腔室的间距。由此，在为图像的亮度变化不足的带的情况下，与仅根据亮度的大小的变化来识别间距的情况比较，能够高精度地识别腔室的间距。

本公开的安装装置的主旨在于供进给上述带的供料器安装，并安装从上述带的上述腔室供给的上述元件，上述安装装置具备：拍摄装置，拍摄上述带的图像；上述的任一个图像处理装置；及控制装置，以基于由上述图像处理装置识别出的上述腔室的间距进给上述带的方式控制上述供料器。

本公开的安装装置以基于由上述的任一个图像处理装置识别出的腔室的间距进给带的方式控制供料器，因此，即便为亮度变化不足的带，也能够高精度地识别腔室的间距而正确地进给带。因此，能够防止因带的进给量的过量和不足引起的元件的供给错误、供给的元件的拾取错误等，能够防止生产率降低。

本公开的第1图像处理方法的主旨在于对沿着预定的进给方向设置有多个元件收纳用的腔室的带的图像进行处理，上述图像处理方法包括如下步骤：(a)从上述图像中提取沿着上述进给方向的行的像素的亮度，生成上述行的亮度波形；及(b)进行上述亮度波形的亮度变化的周期解析，基于通过该周期解析得到的波长来识别上述腔室的间距。

在本公开的第1图像处理方法中，与上述的第1图像处理装置相同，即便为图像的亮度变化不足的带，也能够通过周期解析比较高精度地求出波长，因此，能够高精度地识别腔室的间距。此外，在该第1图像处理方法中，也可以采用上述的第1图像处理装置的各种方式，也可以追加实现上述的第1图像处理装置的各功能那样的步骤。

本公开的第2图像处理方法的主旨在于对沿着预定的进给方向以多个间距中的某一个固定间距设置有元件收纳用的腔室的带的图像进行处理，上述图像处理方法包括如下步骤：(a)从上述图像中，从上述进给方向上的预定基准位置起以上述多个间距中的最小间距提取沿着上述进给方向的行的像素的亮度；及(b)基于上述亮度与预定阈值的比较，求出上述亮度的大小变化的间距，将上述多个间距中的与求出的间距对应的间距识别为上述腔室的间距。

在本公开的第2图像处理方法中，与上述的第2图像处理装置相同，在为图像的亮度变化不足的带的情况下，与仅根据亮度的大小的变化识别腔室的间距的情况相比，能够高精度地识别腔室的间距。

工业实用性

本发明能够应用于进给收容于带的元件的供料器、将从供料器供给的元件向基板安装的安装装置等。

附图标记说明

10...安装装置、12...基板搬运装置、14...头、15...吸嘴、16...移动机构、18...标记相机、19...零件相机、20...供料器、21...带盘部、22...带、23...进给孔、24...腔室、25...供料器部、26...进给马达、27...引导框、28...基准标记、30...控制装置、32...驱动控制部、34...图像处理部、40...管理装置、42...管理控制部、44...输入设备、46...显示器、48...存储装置、D...预定距离、G...图像、L、L1～L3...行、P...元件、RP...基准位置、S...基板。

Claims (6)

1.一种图像处理装置，对沿着预定的进给方向设置有多个元件收纳用的腔室的带的图像进行处理，

所述图像处理装置具备：

生成部，从所述图像中提取沿着所述进给方向的行的像素的亮度，生成所述行的亮度波形；及

识别部，根据所述亮度波形进行亮度变化的周期解析，基于通过该周期解析得到的波长来识别所述腔室的间距，

所述生成部生成沿与所述进给方向正交的正交方向排列的多个所述行各自的所述亮度波形，

所述识别部选定多个所述行中的所述周期解析的结果与识别出的所述间距对应的一个以上的所述行，将所选定的所述行的所述正交方向上的中心识别为所述腔室的所述正交方向上的中心。

2.根据权利要求1所述的图像处理装置，其中，

所述识别部通过归一化平方差函数进行所述周期解析。

3.一种图像处理装置，对沿着预定的进给方向以多个间距中的某一个固定间距设置有元件收纳用的腔室的带的图像进行处理，

所述图像处理装置具备：

提取部，从所述图像中，从所述进给方向上的预定基准位置起以所述多个间距中的最小间距提取沿着所述进给方向的行的像素的亮度；及

识别部，基于所述亮度与预定阈值的比较，求出所述亮度的大小变化的间距，将所述多个间距中的与求出的间距对应的间距识别为所述腔室的间距。

4.一种安装装置，供进给所述带的供料器安装，并安装从所述带的所述腔室供给的所述元件，

所述安装装置具备：

拍摄装置，拍摄所述带的图像；

权利要求1～3中任一项所述的图像处理装置；及

控制装置，以基于由所述图像处理装置识别出的所述腔室的间距进给所述带的方式控制所述供料器。

5.一种图像处理方法，对沿着预定的进给方向设置有多个元件收纳用的腔室的带的图像进行处理，

所述图像处理方法包括如下步骤：

(a)从所述图像中提取沿着所述进给方向的行的像素的亮度，生成所述行的亮度波形；及

(b)进行所述亮度波形的亮度变化的周期解析，基于通过该周期解析得到的波长来识别所述腔室的间距；

(c)生成沿与所述进给方向正交的正交方向排列的多个所述行各自的所述亮度波形；及

(d)选定多个所述行中的所述周期解析的结果与识别出的所述间距对应的一个以上的所述行，将所选定的所述行的所述正交方向上的中心识别为所述腔室的所述正交方向上的中心。

6.一种图像处理方法，对沿着预定的进给方向以多个间距中的某一个固定间距设置有元件收纳用的腔室的带的图像进行处理，

所述图像处理方法包括如下步骤：

(a)从所述图像中，从所述进给方向上的预定基准位置起以所述多个间距中的最小间距提取沿着所述进给方向的行的像素的亮度；及

(b)基于所述亮度与预定阈值的比较，求出所述亮度的大小变化的间距，将所述多个间距中的与求出的间距对应的间距识别为所述腔室的间距。