JP2012059799A - 異方性導電膜圧着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】切断手段の取り付けが容易な異方性導電膜圧着装置を提供することを目的とする。
【解決手段】テープ切断装置２６が、円形の回転刃及び複数の案内ローラ２４により案内されるテープ部材Ｔの一部のベーステープＢｔ側の面を支持する切断用バックアップ５７を有して構成され、切断用バックアップ５７に支持されたテープ部材Ｔの異方性導電膜Ａｃｆに押し付けた回転刃６５をテープ部材Ｔの幅方向に転動させて異方性導電膜Ａｃｆの切断を行う。
【選択図】図６

Description

本発明は、異方性導電膜を基板上の電極に圧着する異方性導電膜圧着装置に関するものである。

液晶パネル等のパネルのモジュール製造工程では、基板上の電極にＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）と呼ばれる異方性導電膜を圧着する異方性導電膜圧着装置が用いられる。この異方性導電膜圧着装置は、基板を水平姿勢に支持する基板支持部、ベーステープの片面に異方性導電膜が取り付けられて成るテープ部材を搬送するテープ搬送手段、テープ搬送手段により搬送されるテープ部材の一部が基板支持部に支持された基板の電極の上方の所定領域（圧着領域）を水平に通過するようにテープ部材の案内を行う案内手段、ベース部材上で異方性導電膜を切断する切断手段、切断手段により所定長さに切断された異方性導電膜が圧着領域に位置するように案内手段によるテープ部材の案内が行われた状態で、テープ部材を上方から基板に押し付けて異方性導電膜を基板上の電極に圧着する圧着手段等を備えている（例えば、特許文献１）。

ここで切断手段は、テープ部材の幅方向に延びた直線状の刃面を有するカッターをテープ部材に押し付けることによってベーステープを切断することなく異方性導電膜を切断するようになっており、異方性導電膜を確実に切断できるようにするためには、カッターの刃面がテープ部材の表面（異方性導電膜の表面）に対してほぼ完全に平行となるようにしなければならない。

特開２００８−１９２７２８号公報

しかしながら、上記カッターの刃面がテープ部材の表面に対してほぼ完全に平行となるようにカッターの取り付けを行うことは容易ではなく、カッターの新規取り付け時やメンテナンスによる再取り付け時にはカッターの取り付けのために多大な時間を要し、基板の生産性の向上が妨げられるおそれがあった。

そこで本発明は、切断手段の取り付けが容易な異方性導電膜圧着装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の異方性導電膜圧着装置は、上面に電極を有する基板を水平姿勢に支持する基板支持部と、ベーステープの片面に異方性導電膜が取り付けられて成るテープ部材を搬送するテープ搬送手段と、テープ搬送手段により搬送されるテープ部材の一部が基板支持部に支持された基板の電極の上方の所定領域を水平に通過するようにテープ部材の案内を行う案内手段と、円形の回転刃及び案内手段により案内されるテープ部材の一部をベーステープの側から支持する支持部材を有して成り、支持部材に支持されたテープ部材の異方性導電膜に回転刃を押し付けてテープ部材の幅方向に転動させることにより異方性導電膜の切断を行う切断手段と、切断手段により所定長さに切断された異方性導電膜が前記所定領域に位置するように案内手段によるテープ部材の案内が行われた状態で、テープ部材を上方から基板に押し付けて異方性導電膜を基板上の電極に圧着する圧着手段とを備えた。

請求項２に記載の異方性導電膜圧着装置は、請求項１に記載の異方性導電膜圧着装置であって、切断手段は、テープ部材に接触している回転刃を支持部材の側に付勢する付勢手段を備えて成り、その付勢手段の付勢力は、テープ部材の異方性導電膜に接触している回転刃の接触荷重が、回転刃がテープ部材上で転動したときにベーステープが切断されることなく異方性導電膜が切断される大きさとなる値に設定されている。

請求項３に記載の異方性導電膜圧着装置は、請求項１に記載の異方性導電膜圧着装置であって、支持部材は弾性体を有して成り、その弾性体は、テープ部材の異方性導電膜に接触している回転刃の接触荷重が、回転刃が異方性導電膜上で転動したときにベーステープが切断されることなく異方性導電膜が切断される大きさとなるように弾性変形するものである。

本発明では、切断手段が、異方性導電膜に回転刃を押し付けてテープ部材の幅方向に転動させることにより異方性導電膜の切断を行う構成になっているので、切断手段の取り付け精度は比較的ラフでよく、取り付けが容易であるので切断手段の取り付けに要する時間は少なくて済み、その分、基板の生産性の向上を図ることができる。

本発明の実施の形態１における異方性導電膜圧着装置の正面図 本発明の実施の形態１における異方性導電膜圧着装置の側面図 （ａ）（ｂ）本発明の実施の形態１における異方性導電膜圧着装置が備えるテープ切断装置の側面図 本発明の実施の形態１における異方性導電膜圧着装置の制御系統を示すブロック図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の実施の形態１における異方性導電膜圧着装置が実行する異方性導電膜の圧着工程における圧着ユニットの動作説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の実施の形態１における異方性導電膜圧着装置が実行する異方性導電膜の圧着工程におけるテープ切断装置の動作説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の実施の形態１における異方性導電膜圧着装置が実行する異方性導電膜の圧着工程におけるテープ切断装置の動作説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の実施の形態１における異方性導電膜圧着装置が実行する異方性導電膜の圧着工程における圧着ユニットの動作説明図 本発明の実施の形態１における異方性導電膜圧着装置が備えるテープ切断装置の側面図 （ａ）（ｂ）本発明の実施の形態１における異方性導電膜圧着装置が備えるテープ切断装置の側面図 本発明の実施の形態２における異方性導電膜圧着装置の正面図 （ａ）（ｂ）本発明の実施の形態２における異方性導電膜圧着装置が備えるテープ切断装置の下面図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の実施の形態２における異方性導電膜圧着装置が実行する異方性導電膜の圧着工程における圧着ユニットの動作説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）実施の形態２における異方性導電膜圧着装置が実行する異方性導電膜の圧着工程におけるテープ切断装置の動作説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）（ｄ）実施の形態２における異方性導電膜圧着装置が実行する異方性導電膜の圧着工程におけるテープ切断装置の動作説明図 （ａ）（ｂ）（ｃ）本発明の実施の形態２における異方性導電膜圧着装置が実行する異方性導電膜の圧着工程における圧着ユニットの動作説明図

（実施の形態１）
図１及び図２に示す異方性導電膜圧着装置１は、上流側に配置された電極洗浄装置、下流側に配置された仮圧着装置や本圧着装置等とともに基板製造ラインを構成しており、上流側の電極洗浄装置から基板２を受け取った後、その基板２の上面の縁部に設けられた複数の電極３に対してＡＣＦ（Ａｎｉｓｏｔｒｏｐｉｃ Ｃｏｎｄｕｃｔｉｖｅ Ｆｉｌｍ）と呼ばれる異方性導電膜を圧着したうえで、その基板２を下流側の仮圧着装置に受け渡すものである。

図１及び図２において、異方性導電膜圧着装置１は、ＸＹテーブル１１に取り付けられて基板２を下方から水平姿勢に支持する基板支持部としての基板支持台１２、上下方向に延びた一対の縦フレーム１３ａ及びこれら一対の縦フレーム１３ａに掛け渡された横フレーム１３ｂから成る門型フレーム１３、門型フレーム１３の横フレーム１３ｂ上を移動自在に設けられた圧着ユニット１４、圧着ユニット１４の下方に設けられたバックアップステージ１５を備えている。以下、説明の便宜上、横フレーム１３ｂの延びる水平面内方向をＸ軸方向、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸方向のうち、図１の紙面左側を左方、図１の紙面右側を右方とし、Ｙ軸方向のうち、図２の紙面左側を前方、図２の紙面右側を後方とする。

図１及び図２において、ＸＹテーブル１１は左右方向（Ｘ軸方向）に移動自在なＸ軸テーブル１１ａと、Ｘ軸テーブル１１ａに対して前後方向（Ｙ軸方向）に移動自在なＹ軸テーブル１１ｂと、Ｙ軸テーブル１１ｂに設けられてＺ軸回りに回転自在なθテーブル１１ｃを有して成り、基板支持台１２はθテーブル１１ｃの上面に取り付けられている。このため基板支持台１２は、Ｘ軸テーブル１１ａの左右方向（Ｘ軸方向）への移動、Ｙ軸テーブル１１ｂの前後方向（Ｙ軸方向）への移動及びθテーブル１１ｃのＺ軸回りの回転によりＸＹ平面内で移動自在である。

図１及び図２において、圧着ユニット１４は、門型フレーム１３の横フレーム１３ｂに取り付けられてＸＺ面内に延び、横フレーム１３ｂに沿った左右方向（Ｘ軸方向）への移動が自在な移動プレート２１、移動プレート２１の前面上部に設けられ、テープ部材Ｔを供給する供給リール２２、同じく移動プレート２１の前面上部に設けられて供給リール２２より供給されるテープ部材Ｔを巻き取る巻き取りリール２３、供給リール２２と巻き取りリール２３によって搬送されるテープ部材Ｔの案内を行う案内手段としての複数の案内ローラ２４（第１の案内ローラ２４ａ、第２の案内ローラ２４ｂ、第３の案内ローラ２４ｃ、第４の案内ローラ２４ｄ及び第５の案内ローラ２４ｅ）、供給リール２２と巻き取りリール２３によって搬送されるテープ部材Ｔの送り量を検出する一対の送り量検出ローラ２５ａ，２５ｂ、移動プレート２１の下部に設けられたテープ切断装置２６、移動プレート２１の中央部を上下方向に延びて設けられた空圧シリンダから成る圧着シリンダ２７、圧着シリンダ２７によって昇降され、内部にヒータ２８ａを備えた圧着ツール２８、移動プレート２１の下方右側に設けられた剥離ユニット２９及び撮像視野を下方に向けた撮像カメラ３０を備えている。

図１及び図２において、供給リール２２は移動プレート２１の後面上部に設けられた供給リール駆動モータ３１によって駆動され、巻き取りリール２３は同じく移動プレート２１の後面中部に設けられた巻き取りリール駆動モータ３２によって駆動される。テープ部材Ｔは、図１中の拡大図に示すように、ベーステープＢｔの片面に異方性導電膜Ａｃｆが取り付けられて成る。

図１において、複数の案内ローラ２４のうち、第１の案内ローラ２４ａは移動プレート２１における供給リール２２の左方に設けられている。第２の案内ローラ２４ｂは移動プレート２１における第１の案内ローラ２４ａの左方を上下方向に延びて設けられたローラ移動溝２１ａ内を上下方向に移動自在に取り付けられており、図示しない付勢部材によって上方に付勢されている。第３の案内ローラ２４ｃは移動プレート２１の下端部の左側の位置に設けられており、第４の案内ローラ２４ｄは移動プレート２１の下端部の右側の位置に設けられている。第５の案内ローラ２４ｅは移動プレート２１の上下方向中間部であって、第４の案内ローラ２４ｄの直上の位置に設けられている。

図１において、供給リール２２から供給されるテープ部材Ｔは、第１の案内ローラ２４ａ、第２の案内ローラ２４ｂ、第３の案内ローラ２４ｃ、第４の案内ローラ２４ｄ及び第５の案内ローラ２４ｅによってこの順で案内され、巻き取りリール２３によって巻き取られる。テープ部材Ｔは、第２の案内ローラ２４ｂがローラ移動溝２１ａ内で上方に付勢されることによって適度なテンションが与えられ、第３の案内ローラ２４ｃと第４の案内ローラ２４ｄの間のテープ部材Ｔの一部が、基板支持台１２により支持された基板２の電極３の上方の所定領域（圧着ツール２８が昇降するときの圧着ツール２８の通過領域。以下、圧着ツール通過領域Ｒｇと称する）を水平に（右方に）通過するようになっている。

図１において、送り量検出ローラ２５ａ，２５ｂは移動プレート２１の前面の右側中間部に設けられており、第４の案内ローラ２４ｄと第５の案内ローラ２４ｅの間のテープ部材Ｔを左右方向から挟み、供給リール２２と巻き取りリール２３によってテープ部材Ｔが搬送されると、一対の送り量検出ローラ２５ａ，２５ｂが互いに逆方向に回転するようになっている。これら一対の送り量検出ローラ２５ａ，２５ｂのうちの一方（送り量検出ローラ２５ａ）には、その回転数を検出する回転数センサ３３が設けられている。

図３（ａ），（ｂ）において、テープ切断装置２６は、移動プレート２１の下端部に取り付けられたベース部４１、ベース部４１の右面に前後方向（Ｙ軸方向）に平行に延びて設けられた上下一対のスライドガイド４２、これらスライドガイド４２にガイドされて前後方向に移動自在な切断ユニット４３、ベース部４１に前後方向に延びて設けられ、ピストンロッド４４ａの進退動作によって切断ユニット４３をスライドガイド４２に沿って（すなわち前後方向に）スライドさせるスライドシリンダ４４から成る。

図３（ａ），（ｂ）において、切断ユニット４３は、スライドシリンダ４４のピストンロッド４４ａに取り付けられて前後方向（Ｙ軸方向）に駆動されるスライドブロック５１、スライドブロック５１の右面に上下方向に延びて設けられた昇降ガイド５２、昇降ガイド５２にガイドされて上下方向（Ｚ軸方向）に移動自在な昇降ブロック５３、スライドブロック５１の右面に上下方向に延びて設けられ、ピストンロッド５４ａの進退動作によって昇降ブロック５３を昇降ガイド５２に沿って昇降させる昇降シリンダ５４、昇降ブロック５３に設けられ、前後方向に延びたピストンロッド５５ａを備えた切断シリンダ５５、切断シリンダ５５のピストンロッド５５ａの先端部（前端部）に取り付けられ、ピストンロッド５５ａの進退動作によって前後方向に移動自在な切断ヘッド５６及びスライドブロック５１の前端部から前方に延びて設けられた切断用バックアップ５７を備えている。

図３（ａ），（ｂ）において、切断ヘッド５６は、切断シリンダ５５のピストンロッド５５ａに取り付けられたヘッドベース６１、ヘッドベース６１の後方下部に設けられた枢支ピン６２、枢支ピン６２に枢支された揺動アーム６３、揺動アーム６３の先端部の回転軸６４に回転自在に支持された円形の回転刃６５、ヘッドベース６１の前方上部に設けられた第１のばね係止ピン６６と揺動アーム６３の中間部に設けられた第２のばね係止ピン６７とに両端が係止され、揺動アーム６３の前端部を上方に付勢する引っ張りばねから成る付勢ばね６８及びヘッドベース６１の前端部に設けられ、揺動アーム６３の上縁が当接することによって揺動アーム６３の上動範囲を規制するストッパ６９から成る。

このテープ切断装置２６では、スライドシリンダ４４のピストンロッド４４ａが進退すると切断ユニット４３が（すなわち切断ヘッド５６が）後退位置（図３（ａ））又は前進位置（図３（ｂ））に位置し、昇降シリンダ５４のピストンロッド５４ａが進退すると切断ヘッド５６が上昇位置（図３（ａ））又は下降位置（図３（ｂ））に位置する。また、切断シリンダ５５のピストンロッド５５ａが進退すると切断ヘッド５６が後退位置（図３（ａ））又は前進位置（図３（ｂ））に位置する。

昇降ブロック５３が（従って切断ヘッド５６が）上昇位置にあり、かつ切断ヘッド５６が後退位置にある状態（図３（ａ））では、付勢ばね６８により上方に付勢された揺動アーム６３によって、回転刃６５は切断用バックアップ５７の下面に下方から当接又は切断用バックアップ５７の下面に近接（近接時における回転刃６５の刃面と切断用バックアップ５７の下面との間の最小距離は、ベーステープＢｔの厚み以下の距離とする）した状態となっている。この状態から切断シリンダ５５が作動して切断ヘッド５６が前進すると、回転刃６５は回転軸６４回りに回転し、切断用バックアップ５７の下面を転動する。

テープ切断装置２６は、回転刃６５の刃面が、圧着ツール２８の左端を通るＹＺ面Ｐｓ（図１）内に位置するように移動プレート２１に取り付けられている。このため、スライドシリンダ４４によって切断ユニット４３を前後方向に進退させたとき及び切断シリンダ５５によって切断ヘッド５６を前後方向に進退させたときの回転刃６５の刃面は上記ＹＺ面Ｐｓ内で移動する。

図１において、剥離ユニット２９は、移動プレート２１の下端に取り付けられた剥離ユニットベース２９ａと、剥離ユニットベース２９ａの前面側に設けられた上方ローラ２９ｂ及び下方ローラ２９ｃから成る。第３の案内ローラ２４ｃと第４の案内ローラ２４ｄの間でテープ部材Ｔが圧着ツール通過領域Ｒｇを水平方向に案内されている状態で、上方ローラ２９ｂはテープ部材Ｔの上方に位置し、下方ローラ２９ｃはテープ部材Ｔの下方に位置している。

バックアップステージ１５はＸＺ面内方向に延びた形状を有し、圧着ユニット１４が備える圧着ツール２８の直下に設けられている。

基板支持台１２に支持された基板２の移動動作は、異方性導電膜圧着装置１が備える制御装置７０（図４）の作業実行制御部７０ａ（図４）が図示しないアクチュエータ等から成る基板支持台移動機構７１（図４）の作動制御を行うことによってなされる。

圧着ユニット１４の門型フレーム１３に対する左右方向（Ｘ軸方向）への移動は、制御装置７０の作業実行制御部７０ａが図示しないアクチュエータ等から成る圧着ユニット移動機構７２（図４）の作動制御を行うことによってなされる。

供給リール２２及び巻き取りリール２３から成るテープ搬送手段によるテープ部材Ｔの搬送動作は、制御装置７０の作業実行制御部７０ａが前述の供給リール駆動モータ３１及び巻き取りリール駆動モータ３２の作動制御を行うことによってなされる（図４）。

テープ切断装置２６における切断ユニット４３の前後方向（Ｙ軸方向）への進退動作は、制御装置７０の作業実行制御部７０ａが前述のスライドシリンダ４４の作動制御を行うことによってなされ（図４）、切断ヘッド５６の昇降動作は、制御装置７０の作業実行制御部７０ａが前述の昇降シリンダ５４の作動制御を行うことによってなされる（図４）。また、切断ヘッド５６の前後方向への進退動作は、制御装置７０の作業実行制御部７０ａが前述の切断シリンダ５５の作動制御を行うことによってなされる（図４）。

回転数センサ３３により検出される送り量検出ローラ２５ａの回転数の情報は制御装置７０に入力され（図４）、制御装置７０はその情報（送り量検出ローラ２５ａの回転数の情報）と送り量検出ローラ２５ａの寸法（例えば半径）の情報とに基づいて、テープ搬送手段（供給リール２２及び巻き取りリール２３）によるテープ部材Ｔの送り量を算出する。

圧着ツール２８の昇降動作は、制御装置７０の作業実行制御部７０ａが前述の圧着シリンダ２７の作動制御を行うことによってなされる（図４）。また、圧着ツール２８の内部に設けられたヒータ２８ａによる加熱動作は、制御装置７０の作業実行制御部７０ａがヒータ作動機構７３（図４）の作動制御を行うことによってなされる。

撮像カメラ３０による撮像動作制御は制御装置７０の作業実行制御部７０ａによって行われる（図４）。撮像カメラ３０によって撮像された画像データは制御装置７０に送られ、制御装置７０が備える画像認識部７０ｂ（図４）において画像認識される（図４）。

実施の形態１における異方性導電膜圧着装置１により、基板２に異方性導電膜Ａｃｆを圧着するには、制御装置７０は先ず、上面に基板２を支持した基板支持台１２をＸＹテーブル１１によって水平面内で移動させ、電極３が設けられた基板２の縁部をバックアップステージ１５の上面に接触させる（図２中に一点鎖線で示す基板２参照）。このとき、制御装置７０は、圧着ユニット１４を左右方向（Ｘ軸方向）に移動させつつ、撮像カメラ３０により、基板２の左右両端部に設けられた位置決め用のマーク（図示せず）を撮像して画像認識し、基板２のバックアップステージ１５に対する位置ずれが起きていないかどうかの確認を行う。

制御装置７０は、基板支持台１２により支持した基板２の縁部をバックアップステージ１５の上面に接触させたら、圧着ユニット１４を左右方向（Ｘ軸方向）に移動させて、基板２の縁部の、テープ部材Ｔの長手方向の両端が切断された異方性導電膜Ａｃｆが貼着される複数の導電膜貼着領域Ｓ（図５参照。各導電膜貼着領域Ｓ内には複数の電極３が含まれる）のうち、これから異方性導電膜Ａｃｆの圧着を行おうとする導電膜貼着領域Ｓ（以下、貼着対象領域Ｓａと称する）の直上であって、その貼着対象領域Ｓａの右端（図５における紙面右側の端部）とテープ部材Ｔの先端部（図５における紙面右側の端部）が上下方向に一致し、かつ、貼着対象領域Ｓａの左端（図５における紙面左側の端部）と圧着ツール２８の左端が上下方向に一致するようにテープ部材Ｔ及び圧着ツール２８の位置決めを行う（図５（ａ））。

制御装置７０は、上記テープ部材Ｔと圧着ツール２８の位置決めを行う前若しくは位置決めを行った後に、テープ切断装置２６によるテープ部材Ｔ上での異方性導電膜Ａｃｆの切断を行う（図５（ｂ））。

テープ切断装置２６による異方性導電膜Ａｃｆの切断では、制御装置７０は、切断ユニット４３と切断ヘッド５６がともに後退位置に位置する初期位置から（図６（ａ））、スライドシリンダ４４を作動させて、切断ユニット４３を前進位置まで前進させる（図６（ｂ）中に示す矢印Ａ１）。これにより、切断用バックアップ５７の下面が、第３の案内ローラ２４ｃと第４の案内ローラ２４ｄとの間で水平に保持されているテープ部材Ｔの上面（ベーステープＢｔ側の面）の上方に位置する（図６（ｂ））。

制御装置７０は、テープ部材Ｔの上方に切断用バックアップ５７を位置させたら、切断シリンダ５５を作動させて、切断ヘッド５６を前進させる（図６（ｃ）中に示す矢印Ｂ１）。これにより回転刃６５は回転軸６４回りに回転（切断用バックアップ５７の下面を転動）し、切断用バックアップ５７により支持されたテープ部材Ｔを下方から乗り上げてテープ部材Ｔの幅方向に移動する（図６（ｂ）→図６（ｃ）→図７（ａ））。

ここで、付勢ばね６８は、テープ部材Ｔに接触している回転刃６５を切断用バックアップ５７の側に付勢する機能を果たしているが、この付勢ばね６８の付勢力は、テープ部材Ｔの異方性導電膜Ａｃｆに接触している回転刃６５の接触荷重が、回転刃６５がテープ部材Ｔ上で転動したときにベーステープＢｔが切断されることなく異方性導電膜Ａｃｆが切断される（異方性導電膜Ａｃｆは切断されるがベーステープＢｔは切断されない）大きさとなる値に設定されており、切断用バックアップ５７上を転動した回転刃６５がテープ部材Ｔを幅方向に通過すると、異方性導電膜Ａｃｆのみが切断され、テープ部材Ｔに切断溝Ｍ（図１中に示す拡大図）が形成されるようになっている。

また、前述のように、切断ユニット４３を前後方向（Ｙ軸方向）に進退させたときの回転刃６５の刃面は、圧着ツール２８の左端を通るＹＺ面Ｐｓ内で移動するようになっているので、切断ヘッド５６が後進位置から前進位置まで前進することにより、異方性導電膜Ａｃｆは圧着ツール２８の左端の直下で切断され、ベーステープＢｔの下面には、貼着対象領域Ｓａの左右方向（Ｘ軸方向）の寸法分の長さを有する異方性導電膜Ａｃｆが貼り付いている状態となる（図５（ｃ））。

このように実施の形態１において、テープ切断装置２６は、円形の回転刃６５及び複数の案内ローラ２４（第１の案内ローラ２４ａ、第２の案内ローラ２４ｂ、第３の案内ローラ２４ｃ、第４の案内ローラ２４ｄ及び第５の案内ローラ２４ｅ）により案内されるテープ部材Ｔの一部をベーステープＢｔの側から支持する支持部材としての切断用バックアップ５７を有して成り、切断用バックアップ５７に支持されたテープ部材Ｔの異方性導電膜Ａｃｆに回転刃６５を押し付けてテープ部材Ｔの幅方向に転動させることにより異方性導電膜Ａｃｆの切断を行う切断手段となっている。

制御装置７０は、異方性導電膜Ａｃｆの切断が終了したら、昇降シリンダ５４により昇降ブロック５３を下降位置に下降させ（図７（ａ）→図７（ｂ）。図７（ｂ）中に示す矢印Ｃ）、切断シリンダ５５により切断ヘッド５６を後退位置に位置させるとともに（図７（ｂ）→図７（ｃ）。図７（ｃ）中に示す矢印Ｂ２）、スライドシリンダ４４により切断ユニット４３を後退位置に位置させてから（図７（ｂ）→図７（ｃ）。図７（ｃ）中に示す矢印Ａ２）、昇降シリンダ５４により切断ヘッド５６を上昇位置に位置させる（図７（ｃ）→図６（ａ））。これにより回転刃６５が切断用バックアップ５７の下面に接触したテープ部材Ｔを再度乗り上げることなく、切断ユニット４３が後退位置に戻される。

なお、ここで、切断ユニット４３による異方性導電膜Ａｃｆの切断が終了した後、前進位置に位置している切断ユニット４３を後退位置に戻す（退避させる）のは、切断ユニット４３が前進位置に位置したままでは、以下に説明する圧着ツール２８の下降時に圧着ツール２８と切断ユニット４３が干渉してしまうからである。

制御装置７０は、切断ユニット４３を後退位置に戻したら、圧着シリンダ２７を作動させて圧着ツール２８を下降させ、ヒータ２８ａによって加熱された圧着ツール２８によって圧着ツール２８の直下のテープ部材Ｔを基板２上の貼着対象領域Ｓａに押し付ける（図５（ｃ）→図８（ａ）。図８（ａ）中に示す矢印Ｄ１）。これにより圧着ツール２８の直下の異方性導電膜Ａｃｆが基板２上の貼着対象領域Ｓａに圧着される。

このように実施の形態１において、圧着シリンダ２７及び圧着ツール２８は、テープ切断装置２６により所定長さに切断された異方性導電膜Ａｃｆが基板２の電極３の上方の所定領域（圧着ツール通過領域Ｒｇ）に位置するように複数の案内ローラ２４（第１の案内ローラ２４ａ、第２の案内ローラ２４ｂ、第３の案内ローラ２４ｃ、第４の案内ローラ２４ｄ及び第５の案内ローラ２４ｅ）によるテープ部材Ｔの案内が行われた状態で、テープ部材Ｔを上方から基板２に押し付けて異方性導電膜Ａｃｆを基板２上の電極３に圧着する圧着手段となっている。

制御装置７０は、圧着ツール２８によるテープ部材Ｔの基板２への圧着が終了したら、圧着シリンダ２７の作動制御を行って圧着ツール２８を上昇させる（図８（ａ）→図８（ｂ）。図８（ｂ）中に示す矢印Ｄ２）。

ここで、圧着ツール２８が上昇されても、第３の案内ローラ２４ｃと第４の案内ローラ２４ｄの間のテープ部材Ｔ（ベーステープＢｔ）は、圧着ツール２８によって基板２に押し付けられた異方性導電膜Ａｃｆが基板２の貼着対象領域Ｓａに圧着されたことによって下方に撓んだ状態が維持されるが（図８（ｂ））、制御装置７０が、圧着ユニット１４全体を左側（図８の紙面左側）に移動させるとともに（図８（ｃ）中に示す矢印Ｅ）、テープ搬送手段である供給リール２２と巻き取りリール２３によるテープ部材Ｔの送り動作を行うと（図８（ｃ）中に示す矢印Ｆ）、基板２上に圧着された異方性導電膜Ａｃｆの右端部から上方ローラ２９ｂ及び下方ローラ２９ｃによってベーステープＢｔが引き剥がされる（図８（ｂ）→図８（ｃ））。これにより、基板２上のひとつの導電膜貼着領域Ｓへの異方性導電膜Ａｃｆの圧着が完了する。

制御装置７０は、基板２上のひとつの導電膜貼着領域Ｓへの異方性導電膜Ａｃｆの圧着を行ったら、基板２上の他の導電膜貼着領域Ｓ（異方性導電膜Ａｃｆの圧着を行った導電膜貼着領域Ｓの左隣の導電膜貼着領域Ｓ）への異方性導電膜Ａｃｆの圧着を行うため、圧着ユニット１４を左方に移動させたうえで、上述の工程を繰り返す。

このように、実施の形態１における異方性導電膜圧着装置１では、テープ切断装置２６が、異方性導電膜Ａｃｆに押し付けた回転刃６５をテープ部材Ｔの幅方向に転動させて異方性導電膜Ａｃｆの切断を行うようになっているので、従来のようにカッターの刃先とテープ部材Ｔとの平行度を調整しなくても異方性導電膜Ａｃｆを確実に切断することができる。このためテープ切断装置２６の取り付け精度は比較的ラフでよく、取り付けが容易であるのでテープ切断装置２６の取り付けに要する時間は少なくて済み、その分、基板２の生産性の向上を図ることができる。

ここで、テープ切断装置２６は、テープ部材Ｔに接触している回転刃６５を切断用バックアップ５７の側に付勢する付勢手段としての付勢ばね６８の付勢力が調節されることによって、テープ部材Ｔ上を転動する回転刃６５によって異方性導電膜Ａｃｆが切断される一方、ベーステープＢｔは切断されない構成となっていたが、図９に示すように、切断用バックアップ５７の下面（テープ部材Ｔを支持する面）に弾性体から成るシート部材５７ａを有し、テープ部材ＴのベーステープＢｔ側をシート部材５７ａによって支持した状態で回転刃６５をテープ部材Ｔの幅方向に転動させると、シート部材５７ａが弾性変形してテープ部材Ｔに対する回転刃６５の押し付け力の一部が吸収され、テープ部材Ｔのうち異方性導電膜Ａｃｆのみが切断される構成としてもよい（図１０（ａ）→図１０（ｂ））。

この場合には、テープ部材Ｔの異方性導電膜Ａｃｆ及びベーステープＢｔの材質や厚さ等に応じてシート部材５７ａの弾性率や形状、大きさ等を選択又は設定することにより、テープ部材Ｔの異方性導電膜Ａｃｆに接触している回転刃６５の接触荷重が、回転刃６５が異方性導電膜Ａｃｆ上で転動したときにベーステープＢｔが切断されることなく異方性導電膜Ａｃｆが切断される（異方性導電膜Ａｃｆは切断されるがベーステープＢｔは切断されない）大きさとなるようにシート部材５７ａが弾性変形するようにする。

（実施の形態２）
実施の形態２における異方性導電膜圧着装置８１は、図１１に示すように、テープ切断装置８２を除いては実施の形態１における異方性導電膜圧着装置１と構成が同じであり、テープ切断装置８２以外の構成要素については、実施の形態１の異方性導電膜圧着装置１の場合と同じ符号を付してその説明を省略する。

実施の形態２における異方性導電膜圧着装置８１が備えるテープ切断装置８２は、図１１に示すように、圧着ツール２８の直下ではなく、テープ部材Ｔの一部を圧着ツール通過領域Ｒｇにおいて水平に保持する一対のローラ（第３の案内ローラ２４ｃ及び第４の案内ローラ２４ｄ）のうち、テープ部材Ｔの流れにおいて圧着ツール２８の上流側に位置する側のローラ（第３の案内ローラ２４ｃ）よりも更に上流側（図１１における紙面左側）の位置に設けられている。

図１１及び図１２（ａ），（ｂ）において、テープ切断装置８２は、移動プレート２１の左部に前後方向（Ｙ軸方向）に延びて設けられたベース部９１、ベース部９１の左面に前後方向に延びて設けられ、制御装置７０によって作動制御がなされてピストンロッド９２ａを前後方向に進退させる切断シリンダ９２、切断シリンダ９２のピストンロッド９２ａの進退動作によって前後方向に移動する実施の形態１における切断ヘッド５６と同様の構成の切断ヘッド９３（切断ヘッド９３の各構成要素６１〜６９については実施の形態１におけるものと同じ符号を付して説明を省略する）及びベース部９１の左面に前後方向に延びて設けられた切断用バックアップ９４を備えている。

テープ切断装置８２では、切断シリンダ９２がピストンロッド９２ａを進退させることにより切断ヘッド９３を後退位置（図１２（ａ））又は前進位置（図１２（ｂ））に位置させることができる。切断ヘッド９３が後退位置にある状態（図１２（ａ））では、回転刃６５は揺動アーム６３が付勢ばね６８によって右方に付勢されることによって、切断用バックアップ９４の左面に左方から当接又は切断用バックアップ５７の下面に近接（近接時における回転刃６５の刃面と切断用バックアップ９４の左面との間の最小距離は、ベーステープＢｔの厚み以下の距離とする）した状態となっている。そして、この状態から切断シリンダ９２を作動させ、切断ヘッド９３を前進させると、回転刃６５は回転軸６４回りに回転し、切断用バックアップ９４の左面を転動する。

このようにテープ切断装置８２は、第１の実施の形態におけるテープ切断装置２６の場合と同様に、円形の回転刃６５及び複数の案内ローラ２４（第１の案内ローラ２４ａ、第２の案内ローラ２４ｂ、第３の案内ローラ２４ｃ、第４の案内ローラ２４ｄ及び第５の案内ローラ２４ｅ）により案内されるテープ部材Ｔの一部をベーステープＢｔの側から支持する支持部材としての切断用バックアップ９４を有して成り、切断用バックアップ９４に支持されたテープ部材Ｔの異方性導電膜Ａｃｆに回転刃６５を押し付けてテープ部材Ｔの幅方向に転動させることにより異方性導電膜Ａｃｆの切断を行う構成となっているが、第２の案内ローラ２４ｂと第３の案内ローラ２４ｃの間を上下方向（上から下に）進行するテープ部材Ｔの異方性導電膜Ａｃｆを切断する必要から、回転刃６５の回転軸６４は上下方向に延び、回転刃６５の刃面は水平面内で転動するようになっている。

この第２の実施の形態における異方性導電膜圧着装置８１により基板２に異方性導電膜Ａｃｆを圧着するには、制御装置７０は、上面に基板２を支持した基板支持台１２をＸＹテーブル１１によって水平面内で移動させ、電極３が設けられた基板２の縁部がバックアップステージ１５の上面に接触するようにした後、圧着ユニット１４を左右方向（Ｘ軸方向）に移動させて、基板２の縁部の、テープ部材Ｔの長手方向の両端が切断された異方性導電膜Ａｃｆが圧着される複数の導電膜貼着領域Ｓのうち、これから異方性導電膜Ａｃｆの圧着を行おうとする導電膜貼着領域Ｓ（貼着対象領域Ｓａ）の直上であって、その貼着対象領域Ｓａの右端（図１３における紙面右側の端部）とテープ部材Ｔの先端部（図１３における紙面右側の端部）が上下方向に一致し、かつ、貼着対象領域Ｓａの左端（図１３における紙面左側の端部）と圧着ツール２８の左端が上下方向に一致するようにテープ部材Ｔ及び圧着ツール２８の位置決めを行う（図１３（ａ）→図１３（ｂ））。

制御装置７０は、上記テープ部材Ｔと圧着ツール２８の位置決めを行う前に、テープ切断装置８２によるテープ部材Ｔ上での異方性導電膜Ａｃｆの切断を行う。テープ切断装置８２によりテープ部材Ｔ上で異方性導電膜Ａｃｆを切断するタイミングは、テープ搬送手段（供給リール２２及び巻き取りリール２３）により搬送されるテープ部材Ｔにおける異方性導電膜Ａｃｆの切断箇所がテープ切断装置８２の回転刃６５を通過するときであり、その異方性導電膜Ａｃｆの切断箇所が回転刃６５を通過するタイミングは、制御装置７０が、前述の回転数センサ３３から送られてくる送り量検出ローラ２５ａの回転数の情報に基づいて把握されるテープ搬送手段によるテープ部材Ｔの送り量に基づいて算出する。

テープ切断装置８２により異方性導電膜Ａｃｆを切断するとき、制御装置７０は、切断ヘッド９３が後退位置に位置する初期位置から（図１４（ａ）及び図１５（ａ））、切断シリンダ９２を作動させて、切断ヘッド９３を前進位置まで前進させる（図１４（ｂ）及び図１５（ｂ）中に示す矢印Ｇ）。これにより回転刃６５は回転軸６４回りに回転（切断用バックアップ９４の左面を転動）し、テープ部材Ｔを乗り上げてテープ部材Ｔの幅方向に移動する（図１４（ｂ）→図１４（ｃ）→図１４（ｄ）及び図１５（ｂ）→図１５（ｃ）→図１５（ｄ））。

ここで、第２の案内ローラ２４ｂと第３の案内ローラ２４ｃとの間で垂直姿勢に保持されているテープ部材Ｔの右面（ベーステープＢｔ側の面）は常時切断用バックアップ９４左方に位置しており、付勢ばね６８は、テープ部材Ｔに接触している回転刃６５を切断用バックアップ９４の側に付勢する機能を果たし、かつ、その付勢力は、テープ部材Ｔの異方性導電膜Ａｃｆに接触している回転刃６５の接触荷重が、回転刃６５がテープ部材Ｔ上で転動したときにベーステープＢｔが切断されることなく異方性導電膜Ａｃｆが切断される大きさとなる値に設定されているので、切断用バックアップ９４上を転動した回転刃６５がテープ部材Ｔを幅方向に通過すると、異方性導電膜Ａｃｆのみが切断され、テープ部材Ｔに切断溝Ｍ（図１１中に示す拡大図）が形成される。

この実施の形態２におけるテープ切断装置８２は、実施の形態１におけるテープ切断装置２６とは異なり、圧着ツール２８の下降時に圧着ツール２８と干渉することはないので、実施の形態１の場合のように、異方性導電膜Ａｃｆの切断を行うごとにテープ切断装置８２を退避させることなく、異方性導電膜Ａｃｆの連続切断をすることが可能である。このため、回転刃６５をテープ部材Ｔの幅方向の一の方向（前方）に転動させて異方性導電膜Ａｃｆの一の箇所の切断を行った後、テープ搬送手段（供給リール２２及び巻き取りリール２３）によるテープ部材Ｔの搬送を待って、回転刃６５をその一の方向とは反対の方向（後方）に転動させることにより異方性導電膜Ａｃｆの他の箇所の切断を行うことができる（図１４（ｄ）→図１４（ｃ）→図１４（ｂ）→図１４（ａ）及び図１５（ｄ）→図１５（ｃ）→図１５（ｂ）→図１５（ａ））。

なお、この実施の形態２においても、切断用バックアップ９４に、実施の形態１で示したシート部材５７ａのような弾性体から成るシート部材を設けることによって、回転刃６５により異方性導電膜Ａｃｆのみが切断されるようにしてもよい。

制御装置７０は、テープ部材Ｔ及び圧着ツール２８の位置決めを行ったら、圧着シリンダ２７を作動させてヒータ２８ａによって加熱された圧着ツール２８を下降させ、圧着ツール２８によって圧着ツール２８の直下のテープ部材Ｔを基板２上の貼着対象領域Ｓａに押し付ける（図１３（ｂ）→図１３（ｃ）。図１３（ｃ）中に示す矢印Ｄ１）。これにより圧着ツール２８の直下の異方性導電膜Ａｃｆが基板２上の貼着対象領域Ｓａに圧着される。

制御装置７０は、圧着ツール２８によるテープ部材Ｔの基板２への圧着が終了したら、圧着シリンダ２７の作動制御を行って圧着ツール２８を上昇させる（図１３（ｃ）→図１６（ａ）。図１６（ａ）中に示す矢印Ｄ２）。

ここで、圧着ツール２８を上昇させても、第３の案内ローラ２４ｃと第４の案内ローラ２４ｄの間のテープ部材Ｔは、圧着ツール２８によって基板２に押し付けられた異方性導電膜Ａｃｆが基板２の貼着対象領域Ｓａに圧着されたことによって下方に撓んだ状態が維持されるが（図１６（ａ））、制御装置７０が、圧着ユニット１４全体を左側（図１６の紙面左側）に移動させるとともに（図１６（ｂ）中に示す矢印Ｅ）、テープ搬送手段である供給リール２２と巻き取りリール２３によるテープ部材Ｔの送り動作を行うと（図１６（ｂ）中に示す矢印Ｆ）、基板２上に圧着された異方性導電膜Ａｃｆの右端部から上方ローラ２９ｂ及び下方ローラ２９ｃによってベーステープＢｔが引き剥がされる（図１６（ｂ）→図１６（ｃ））。これにより、基板２上のひとつの導電膜貼着領域Ｓへの異方性導電膜Ａｃｆの圧着が完了する。

制御装置７０は、基板２上のひとつの導電膜貼着領域Ｓへの異方性導電膜Ａｃｆの圧着を行ったら、基板２上の他の導電膜貼着領域Ｓ（異方性導電膜Ａｃｆの圧着を行った導電膜貼着領域Ｓの左隣の導電膜貼着領域Ｓ）への異方性導電膜Ａｃｆの圧着を行うため、圧着ユニット１４を左方に移動させたうえで、上述の工程を繰り返す。

このように、実施の形態２における異方性導電膜圧着装置８１においても、テープ切断装置８２が、異方性導電膜Ａｃｆに押し付けた回転刃６５をテープ部材Ｔの幅方向に転動させて異方性導電膜Ａｃｆの切断を行うようになっているので、従来のようにカッターの刃先とテープ部材Ｔとの平行度を調整しなくても異方性導電膜Ａｃｆを確実に切断することができ、実施の形態１における異方性導電膜圧着装置１と同様の効果を得ることができる。

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態２において示した、異方性導電膜Ａｃｆの切断を行うごとに退避させる必要のない構成のテープ切断装置８２は、テープ部材Ｔの第２の案内ローラ２４ｂと第３の案内ローラ２４ｃとの間で垂直姿勢に保持されている部分を切断する構成であったが、第３の案内ローラ２４ｃよりもテープ部材Ｔの流れの更に上流側（又は下流側）の位置であって、テープ切断装置８２が圧着ツール２８の下降時に圧着ツール２８と干渉しない位置であればよく、テープ部材Ｔの切断箇所が、案内手段によって垂直姿勢に保持されている部分に限定されるわけではない。

切断手段の取り付けが容易な異方性導電膜圧着装置を提供することを目的とする。

１ 異方性導電膜圧着装置
２ 基板
３ 電極
１２ 基板支持台（基板支持部）
２２ 供給リール（テープ搬送手段）
２３ 巻き取りリール（テープ搬送手段）
２４ 案内ローラ（案内手段）
２６ テープ切断装置（切断手段）
２７ 圧着シリンダ（圧着手段）
２８ 圧着ツール（圧着手段）
５７ 切断用バックアップ（支持部材）
５７ａ シート部材（弾性体）
６５ 回転刃
６８ 付勢ばね（付勢手段）
Ｒｇ 圧着ツール通過領域（所定領域）
Ｔ テープ部材
Ｂｔ ベーステープ
Ａｃｆ 異方性導電膜

Claims (3)

1. 上面に電極を有する基板を水平姿勢に支持する基板支持部と、
   ベーステープの片面に異方性導電膜が取り付けられて成るテープ部材を搬送するテープ搬送手段と、
   テープ搬送手段により搬送されるテープ部材の一部が基板支持部に支持された基板の電極の上方の所定領域を水平に通過するようにテープ部材の案内を行う案内手段と、
   円形の回転刃及び案内手段により案内されるテープ部材の一部をベーステープの側から支持する支持部材を有して成り、支持部材に支持されたテープ部材の異方性導電膜に回転刃を押し付けてテープ部材の幅方向に転動させることにより異方性導電膜の切断を行う切断手段と、
   切断手段により所定長さに切断された異方性導電膜が前記所定領域に位置するように案内手段によるテープ部材の案内が行われた状態で、テープ部材を上方から基板に押し付けて異方性導電膜を基板上の電極に圧着する圧着手段とを備えたことを特徴とする異方性導電膜圧着装置。
2. 切断手段は、テープ部材に接触している回転刃を支持部材の側に付勢する付勢手段を備えて成り、その付勢手段の付勢力は、テープ部材の異方性導電膜に接触している回転刃の接触荷重が、回転刃がテープ部材上で転動したときにベーステープが切断されることなく異方性導電膜が切断される大きさとなる値に設定されていることを特徴とする請求項１に記載の異方性導電膜圧着装置。
3. 支持部材は弾性体を有して成り、その弾性体は、テープ部材の異方性導電膜に接触している回転刃の接触荷重が、回転刃が異方性導電膜上で転動したときにベーステープが切断されることなく異方性導電膜が切断される大きさとなるように弾性変形するものであることを特徴とする請求項１に記載の異方性導電膜圧着装置。

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