JP6040417B2 - Acf貼着装置及びacf貼着方法 - Google Patents
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Description
2 基板
3 切片貼着部位
4 ACFテープ
4s ACF切片
11 基板保持部移動機構(基板移動手段)
22 テープ搬送部
29 ツール昇降シリンダ(切片貼着手段)
30 押し付けツール
33 第2撮像カメラ(切片位置検出手段)
40 制御装置(切片位置検出手段、基板移動手段)
Tp テープ部材
BT ベーステープ
Claims (2)
- ベーステープの片面側にACFテープが貼り付けられて成るテープ部材を搬送し、前記テープ部材の先頭部側の前記ACFテープが切断されて前記ベーステープ上に形成されたACF切片を水平姿勢にするテープ搬送部と、
前記テープ搬送部によって水平姿勢にされた前記ACF切片を下方から撮像して前記ACF切片の位置を検出する切片位置検出手段と、
前記切片位置検出手段により検出された前記ACF切片の位置に基づいて、前記ACF切片の下方に基板上の切片貼着部位が位置するように前記基板を移動させる基板移動手段と、
前記基板移動手段により前記ACF切片の下方に前記基板上の前記切片貼着部位が位置するように前記基板が移動された後、前記ACF切片を押し付けツールによって前記基板に押し付けて貼着する切片貼着手段とを備え、
前記切片位置検出手段は、前記テープ搬送部によって水平姿勢にされた前記ACF切片の前記テープ部材の搬送方向の少なくとも一方の端部を撮像して前記ACF切片の位置を検出し、
前記基板に設けられた位置決め用マークを上方から撮像して前記基板の位置を検出する基板位置検出手段を備え、
前記基板位置検出手段は、前記切片位置検出手段よりも前記基板移動手段の側に配置され、
前記切片位置検出手段は、前記基板位置検出手段による前記基板の位置の検出が行われている間に前記ACF切片の位置を検出することを特徴とするACF貼着装置。 - ベーステープの片面側にACFテープが貼り付けられて成るテープ部材を搬送し、前記テープ部材の先頭部側の前記ACFテープを切断して前記ベーステープ上に形成したACF切片を水平姿勢にするテープ搬送工程と、
前記テープ搬送工程で水平姿勢にした前記ACF切片を下方から撮像して前記ACF切片の位置を検出する切片位置検出工程と、
前記切片位置検出工程で検出した前記ACF切片の位置に基づいて、前記ACF切片の下方に基板上の切片貼着部位が位置するように前記基板を移動させる基板移動工程と、
前記基板移動工程で前記ACF切片の下方に前記基板上の前記切片貼着部位が位置するように前記基板を移動させた後、前記ACF切片を押し付けツールによって前記基板に押し付けて貼着する切片貼着工程と、
前記基板に設けられた位置決め用マークを上方から撮像して前記基板の位置を検出する基板位置検出工程とを含み、
前記切片位置検出工程では、前記テープ搬送工程で水平姿勢にされた前記ACF切片の前記テープ部材の搬送方向の少なくとも一方の端部を撮像して前記ACF切片の位置を検出し、
前記切片位置検出工程は前記基板位置検出工程を行っている間に行われることを特徴とするACF貼着方法。
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