JPH0675199A - 液晶パネル製造装置、位置決め装置および加工装置 - Google Patents

液晶パネル製造装置、位置決め装置および加工装置

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JPH0675199A
JPH0675199A JP15586493A JP15586493A JPH0675199A JP H0675199 A JPH0675199 A JP H0675199A JP 15586493 A JP15586493 A JP 15586493A JP 15586493 A JP15586493 A JP 15586493A JP H0675199 A JPH0675199 A JP H0675199A
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liquid crystal
cell
bonding
pressure
driving
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JP15586493A
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English (en)
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Tanemasa Harada
種真 原田
Masato Yasue
真人 安江
Shinichiro Ushijima
信一郎 牛島
Takashi Miyauchi
孝 宮内
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 液晶セルにTAB部品を仮圧着および本圧着
する場合において、必要な一連の作業をすべて自動化
し、それによって作業時間の短縮化と精度の向上および
不良の低減を図ることを目的とする。 【構成】 一対のガラス基板の対向面の両方にTAB部
品を仮圧着する仮圧着装置および本圧着装置とを有し、
上記仮圧着装置は、液晶セルを支持するセルステ−ジ1
2と、異方性導電膜が貼着されたTAB部品を供給する
TAB部品搬送機構16と、位置合わせされたTAB部
品とガラス基板とを仮圧着する仮圧着機構17と、この
液晶セルを反転させる反転機構57とを具備し、上記本
圧着装置16は、上記TAB部品2の本圧着を行う第
1、第2のボンディング部82、85と、この第1、第
2のボンディング部82、85間でTAB部品2を搬送
位置決めする第1、第2のセルステ−ジ81、84と、
この第1、第2のセルステ−ジ81、84間で液晶セル
1を反転し受け渡す反転装置83とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、液晶セルの互いに対
向する一対の液晶ガラス基板にTAB部品である液晶駆
動用ICを仮圧着し、その後本圧着して液晶パネルを製
造する液晶パネル製造装置等に関するものである。
【0002】
【従来の技術】液晶パネルの製造工程では、図21に示
すように2枚の第1、第2の液晶ガラス基板1a、1b
を対向させて形成される液晶セル1の周囲に液晶駆動用
ICが実装される。この液晶駆動用ICとしては、図2
2に示すようなTAB部品2(図21に示す2a、2
b)が一般的に使用されている。
【0003】このTAB部品2は、表面に所定の回路パ
タ−ン3が形成されてなる薄いシネフィルム状のフィル
ムキャリア4に半導体素子5をインナ−リ−ドボンディ
ングすることで製造されたものである。
【0004】このTAB部品2を、上記液晶セル1の第
1、第2のガラス基板1a、1bに実装するには、例え
ば異方性導電膜が用いられる。この異方性導電膜は、熱
硬化性あるいは熱可塑性の樹脂フィルム中に着中に導電
粒子を混入させたテ−プ状のものであり、図22に6で
示すように、上記TAB部品2の一端側に突設された複
数本のアウタリ−ド7…に、長手方向をこのアウタリ−
ド7と直交させた状態で貼付されている。
【0005】上記TAB部品2と上記第1、第2のガラ
ス基板1a、1bとを接続する場合には、まず、TAB
部品4のアウタリ−ド5とガラス基板の縁部に形成され
た配線パタ−ンとを、両者の間に上記異方性導電膜6を
介在させた状態で対向位置決めする。そして、上記TA
B部品2を上記第1、第2のガラス基板1a、1bに押
し付けることで、このTAB部品2を上記第1、第2の
ガラス基板1a、1bに仮圧着する。
【0006】ついで、図23に示すように、圧着ブロッ
ク8を用いて上記TAB部品2のアウタリ−ド7を上記
第1、第2のガラス基板1a、1bに対して加圧し加熱
する。このことで、上記異方性導電膜6は軟化し、この
アウタリ−ド7と上記第1、第2のガラス基板1a、1
bの配線パタ−ンは電気的、機械的に接合される。
【0007】上記TAB部品2は、このような仮圧着工
程および本圧着工程を経ることで、上記第1、第2のガ
ラス基板1a、1bに実装される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、従来の液晶
パネル製造技術には、上記仮圧着工程、本圧着工程共に
以下に説明するような解決すべき課題があった。
【0009】まず、仮圧着工程における課題について説
明する。
【0010】この仮圧着工程においては、通常、人手に
より上記TAB部品2のアウタリ−ド7と上記第1、第
2のガラス基板1a、1bの配線パタ−ンの端子とを位
置合わせしている。
【0011】しかし、A4版相当の液晶セル1において
は、接続するTAB部品2の数は12P〜24Pと極め
て多いのが現状である。このため、TAB部品2のアウ
タリ−ド7…のピッチは0.17〜0.25mmと非常
に狭くならざるを得ない。
【0012】したがって、人手による位置合わせは、非
常に時間がかかると共に、装着精度に限界があるために
接続不良が生じる恐れがある。また、作業中に接続部分
に塵埃が付着し、接続不良が生じる恐れもある。
【0013】一方、図22に示すように、上記TAB部
品2のアウタリ−ド7…に貼付された異方性導電膜6の
表面は塵埃付着防止のために離型紙6aで覆われてい
て、仮圧着の際にはこの離型紙6aを異方性導電膜6か
ら剥離する必要がある。
【0014】この剥離作業も従来は人手に頼っているた
め、非常に手間がかかるということがある。
【0015】一方、図21に示す液晶セル1は単純マト
リックス液晶パネルに用いるものであり、液晶セル1を
構成する一対の第1、第2のガラス基板1a、1bの対
向面の両方にそれぞれ異なる種類の第1、第2のTAB
部品2a…、2b…を装着する必要がある。このような
場合、上記一対のガラス基板1a、1bのうち第1のガ
ラス基板1aに上記第1のTAB部品2a…を仮圧着し
た後上記液晶セル1を裏返し第2のガラス基板1bに第
2のTAB部品2bを仮圧着する必要がある。
【0016】このような液晶セル1を反転させるための
段取り替え作業は、従来人手で行っていて非常に作業性
が悪いということがあった。また、この段取り替えの作
業の作業中に液晶セル1の配線パタ−ンに塵埃が付着す
る恐れがあるということもあった。
【0017】次に、本圧着工程おける解決すべき課題に
ついて説明する。
【0018】上記TAB部品2と第1、第2のガラス基
板1a、1bとを本圧着する場合に用いる圧着ブロック
8(図23に示す)は、コンスタントヒ−ト方式(常時
加熱方式)と、パルスヒ−ト方式(瞬間加熱方式)のい
ずれかの方式のものが採用されている。
【0019】この圧着ブロック8は、エアシリンダ9に
より上下駆動され、上記TAB部品2を所定のボンディ
ング圧力Pで上記ガラス基板1a(1b)に押圧するこ
とで、このTAB部品2をガラス基板1a(1b)にボ
ンディングするようになっている。
【0020】この場合の問題点として、第1に、ガラス
基板1a(1b)に異方性導電膜6を介してTAB部品
2を圧着する場合に、圧着ブロック8による加熱によっ
て上記TAB部品2のベ−スであるフィルムキャリア4
(樹脂製)が膨脹し、あらかじめ位置合わせしたガラス
基板1a(1b)の配線パタ−ンの端子とTAB部品2
のアウタリ−ド7との間に位置ずれが生じてしまうこ
と、および第2に、圧着ブロック8の押圧面の平行度や
平坦度等の精度を維持することが困難であることがあ
る。
【0021】上記圧着ブロック8の加熱方式としてパル
スヒ−ト方式を採用した場合には、加圧完了後に通電加
熱を開始することで上記フィルムキャリア4の伸びを抑
制することが可能である。
【0022】しかし、パルスヒ−ト方式ではその性質
上、均一な温度分布、強度、精度が得られる圧着ブロッ
ク8の押圧面の長さ(大きさ)に限界がある。このた
め、比較的大きな部品である液晶駆動用TAB部品2の
ボンディングには不向きである。また、このパルスヒ−
ト方式の圧着ブロック8の寿命は短いので維持費がかか
るという欠点を持つ。
【0023】一方、コンスタントヒ−ト方式を採用した
場合、パルスヒ−ト方式に比べて剛性があり、寿命も長
い。
【0024】しかし、図23に示すように、ヒ−タを内
装した一つの圧着ブロック8と、これを上下駆動する一
つのエアシリンダ8aとを具備する装置では、加圧完了
前のフィルムキャリア4の伸びを抑制するには圧着ブロ
ック8の下降スピ−ドを早く設定するしか方策はない。
【0025】一方、上記圧着ブロック8の下降スピ−ド
を早く設定すると、この圧着ブロック8が上記TAB部
品2に当接する際の衝撃が大きく、上記TAB部品2や
ガラス基板1a、1bを破損させる恐れがある。
【0026】これに対して、上記エアシリンダ9として
ボンディング圧力P以上の圧力を発生させる高圧のシリ
ンダを用いた場合には、上記アウタリ−ド7を初期状態
から力強く押圧さえることはできるが、ボンディング圧
力Pよりも高圧であるため上記TAB部品2やガラス基
板1a、1bを強く押さえすぎて破損させる問題点があ
る。
【0027】また、図23のように、一辺が比較的短い
液晶パネルを製造する場合は、一つの圧着ブロック8を
用いて一括的(この場合には、3つのTAB部品2…)
にボンディングをしても良いが、大型のTAB部品2…
を具備する比較的大きな液晶パネルを製造する場合には
押圧面を長くする必要があるために上記パルスヒ−ト型
と同様に精度上の問題がある。
【0028】したがって、多数個のTAB部品2をボン
ディングする場合には、図24に示すように、一つの圧
着ブロック8の押圧面の長さを短くして複数個設けるこ
とが行われている。しかし、図22に示したように、装
着されるTAB部品2の間隔が狭い場合には、隣り合う
圧着ブロック8、8同士が干渉し圧着ブロック8の配置
が困難となる問題点もある。
【0029】なお、前述したように単純マトリックス液
晶パネルの場合には、仮圧着と同様に、本圧着の場合に
おいても第1のガラス基板1aにTAB部品2…をボン
ディングした後、この液晶セル1を反転させ(裏返
し)、第2のガラス基板1bに上記TAB部品2…をボ
ンディングする必要がある。
【0030】従来、このような反転の段取り作業は第1
のガラス基板1aについての本圧着が終了した後、人手
で行うようにしていたため、作業性および生産性が非常
に悪いということがあった。
【0031】また、従来、ボンディングの位置合わせ
は、図示しない位置決め用のゲ−ジブロックを上記ガラ
ス基板1a、1bの一側面あるいは角部に当接させて、
機械的に行うようにしていた。
【0032】しかし、近年の高集積化に伴い、要求され
るボンディングの位置合わせ精度はガラス基板の形状精
度よりもシビアになり、従来の機械的な位置合わせは限
界に来ているということがある。
【0033】この発明はこのような事情に鑑みて成され
たもので、液晶セルを構成する一対のガラス基板の対向
面の両方にTAB部品をボンディングする場合におい
て、液晶セルの反転を含めた一連の作業をすべて自動化
しそれによって作業時間の短縮化図ると共に、このTA
B部品やガラス基板を破損させることが少なくかつ、精
度の良く液晶パネルの製造を行う液晶パネルの製造装置
等を提供することを目的とするものである。
【0034】
【課題を解決するための手段】この発明の第1の手段
は、キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された
液晶駆動用ICを順次供給する部品供給機構と、この部
品供給機構と並設され、互いに対向する一対の基板を有
する液晶セルを収納し、この液晶セルを順次給出するセ
ル供給機構と、このセル供給機構から給出された上記液
晶セルを保持し、この液晶セルの基板に設けられた端子
を所定の仮圧着位置に位置決めする仮圧着用のセルステ
−ジと、上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受
取り、この液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶
駆動用IC搬送機構と、上記液晶駆動用ICのアウタリ
−ドと上記基板に設けられた端子とを認識し、これらの
位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位置合わせ
された液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基板の端子
が設けられた部位とを接合材を介して押圧し仮圧着する
仮圧着機構と、上記基板に液晶駆動用ICが仮圧着され
てなる液晶セルを受け取ると共に、この液晶セルをXY
θ方向に駆動する本圧着用のセルステ−ジと、上記基板
に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像手段と、
上記撮像手段からの撮像信号に基づき、上記基板に仮圧
着されている上記液晶駆動用ICを本圧着するボンディ
ング機構と、上記基板に液晶駆動用ICが本圧着された
のに基づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取
り、この液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具
備することを特徴とする液晶パネル製造装置である。
【0035】第2の手段は、キャリアテ−プから個々に
打ち抜かれて成形された液晶駆動用ICを順次供給する
部品供給機構と、この部品供給機構と並設され、互いに
対向する一対の基板を有する液晶セルを収納し、この液
晶セルを順次給出するセル供給機構と、このセル供給機
構から給出された上記液晶セルを保持し、この液晶セル
の一対の基板のうち、どちらか一方の基板の端子を所定
の仮圧着位置に位置決めする仮圧着用のセルステ−ジ
と、上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取
り、この液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆
動用IC搬送機構と、上記液晶駆動用ICのアウタリ−
ドと上記基板の端子とを認識し、これらの位置合わせを
行う位置合わせ手段と、互いに位置合わせされた液晶駆
動用ICのアウタリ−ドと基板の端子が設けられた部位
とを接合材を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構と、上
記一方の基板の端子に液晶駆動用ICが仮圧着されたの
に基づき、上記液晶セルを反転させる反転機構と、上記
一方および他方の基板の端子に液晶駆動用ICが仮圧着
されてなる液晶セルを受け取ると共に、この液晶セルを
XYθ方向に駆動する本圧着用のセルステ−ジと、上記
一対の基板のうちどちらか一方の基板に設けられた位置
合わせ用目印を撮像する撮像手段と、上記撮像手段から
の撮像信号に基づき、上記一方の基板に仮圧着されてい
る上記液晶駆動用ICを本圧着するボンディング機構
と、上記一方の基板に液晶駆動用ICが本圧着されたの
に基づき、その液晶セルを反転させる反転手段と、上記
両方の基板に液晶駆動用ICが本圧着されたのに基づ
き、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、この
液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備するこ
とを特徴とする液晶パネル製造装置である。
【0036】第3の手段は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用液晶駆動用ICを仮圧着する液晶パネル製造
装置において、キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて
成形された液晶駆動用ICを順次供給する部品供給機構
と、この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容
し、この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、この
セル供給機構から給出された上記液晶セルを支持し、こ
の液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧着位置
に粗位置決めするセルステ−ジと、上記部品供給機構か
ら上記液晶駆動用ICを受取り、この液晶駆動用ICを
仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用IC搬送機構と、上記
液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基板に設けられた
端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合わせ
手段と、互いに位置合わせされた液晶駆動用ICのアウ
タリ−ドと上記基板の端子の設けられた部位とを接合材
を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備すること
を特徴とする液晶パネル製造装置である。
【0037】第4の手段は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用液晶駆動用ICを仮圧着する液晶パネル製造
装置において、アウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電
膜が貼着され、かつキャリアテ−プから個々に打ち抜か
れて成形された液晶駆動用ICを順次供給する部品供給
機構と、この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを
収容し、この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、
このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
し、この液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧
着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、上記部品供給
機構から上記液晶駆動用ICを受取り、この液晶駆動用
ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用IC搬送機構
と、この液晶駆動用IC搬送機構の搬送経路途中に配置
され、上記液晶駆動用ICの異方性導電膜から上記離型
紙を剥離する離型紙剥離機構と、上記液晶駆動用ICの
アウタリ−ドと上記基板に設けられた端子とを認識し、
これらの位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位
置合わせされた液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基
板の端子が設けられた部位とを上記異方性導電膜を介し
て押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備することを特徴
とする液晶パネル製造装置である。
【0038】第5の手段は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動
用ICを仮圧着する液晶パネル製造装置において、キャ
リアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶駆動
用ICを順次供給する部品供給機構と、この部品供給機
構と並設され、上記液晶セルを収容し、この液晶セルを
順次給出するセル供給機構と、このセル供給機構から給
出された上記液晶セルを支持し、この液晶セルの一対の
基板のうち、どちらか一方の基板に設けられた端子を所
定の仮圧着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、上記
部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取り、この液
晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用IC搬
送機構と、上記液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基
板の端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合
わせ手段と、互いに位置合わせされた液晶駆動用ICの
アウタリ−ドと基板の端子が設けられた部位とを接合材
を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構と、上記一方の基
板の端子に液晶駆動用ICが仮圧着されたのに基づき、
上記液晶セルを反転させる反転機構とを具備することを
特徴とする液晶パネル製造装置である。
【0039】第6の手段は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動
用ICを仮圧着する液晶パネル製造装置において、アウ
タリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着され、かつ
キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶
駆動用ICを順次供給する部品供給機構と、この部品供
給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、この液晶セ
ルを順次給出するセル供給機構と、このセル供給機構か
ら給出された上記液晶セルを支持し、この液晶セルの一
対の基板のうち、どちらか一方の基板に設けられた端子
を所定の仮圧着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、
上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取り、こ
の液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用I
C搬送機構と、この液晶駆動用IC搬送機構の搬送経路
途中に配置され、上記液晶駆動用ICの異方性導電膜か
ら上記離型紙を剥離する離型紙剥離機構と、上記液晶駆
動用ICのアウタリ−ドと上記基板の端子とを認識し、
これらの位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位
置合わせされた液晶駆動用ICのアウタリ−ドと基板の
端子が設けられた部位とを上記異方性導電膜を介して押
圧し仮圧着する仮圧着機構と、上記一方の基板の端子に
液晶駆動用ICが仮圧着されたのに基づき、上記液晶セ
ルを反転させる反転機構とを具備することを特徴とする
液晶パネル製造装置である。
【0040】第7の手段は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用ICを本圧着する液晶パネルの製造装置にお
いて、上記基板に上記液晶駆動用ICが仮圧着されてな
る液晶セルを保持すると共にこの液晶セルをXYθ方向
に駆動するセルステ−ジと、上記基板に設けられた位置
合わせ用目印を撮像する撮像手段と、上記撮像手段から
の撮像信号に基づいて駆動位置決めされた基板に仮圧着
されている上記液晶駆動用ICを本圧着するボンディン
グ部と、上記基板に液晶駆動用ICが本圧着されたのに
基づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、
この液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備す
ることを特徴とする液晶パネル製造装置である。
【0041】第8の手段は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子に、それぞれ液晶駆動用ICを
本圧着する液晶パネルの製造装置において、上記一対の
基板に上記液晶駆動用ICが仮圧着されてなる液晶セル
を保持すると共にこの液晶セルをXYθ方向に駆動する
セルステ−ジと、上記一対の基板のうちどちらか一方の
基板に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像手段
と、上記撮像手段からの撮像信号に基づいて駆動位置決
めされた一方の基板に仮圧着されている上記液晶駆動用
ICを本圧着するボンディング部と、上記一方の基板に
液晶駆動用ICが本圧着されたのに基づき、その液晶セ
ルを反転させる反転手段と、上記両方の基板に液晶駆動
用ICが本圧着されたのに基づき、上記セルステ−ジか
ら上記液晶セルを受取り、この液晶セルを排出位置に移
送する排出手段とを具備することを特徴とする液晶パネ
ル製造装置である。
【0042】第9の手段は、第7あるいは第8の手段に
おいて、上記ボンディング部は、基板の端子に液晶駆動
用ICを接合材を介してボンディングする圧着ブロック
と、この圧着ブロックを保持しこの圧着ブロックを所定
のボンディング圧力で加圧する加圧用シリンダと、この
加圧用シリンダを上記ボンディング圧力よりも高い圧力
で上下駆動可能な上下駆動用シリンダとを具備するもの
であることを特徴とする液晶パネル製造装置。
【0043】第10の手段は、第7の手段あるいは第8
の手段において、上記ボンディング部は、少なくとも一
つの液晶駆動用ICの接合幅に対応する押圧面を有しか
つ互いに少なくとも一つの液晶駆動用ICの接合幅以上
離間して設けられた少なくとも2以上の圧着ブロック
と、この圧着ブロックと上記基板とを相対的に移動させ
て上記圧着ブロックの押圧面を未だボンディングされて
いない液晶駆動用ICに順次対向させる駆動手段とを具
備するものであることを特徴とする液晶パネル製造装置
である。
【0044】第11の手段は、実装基板を保持すると共
に、任意の位置に位置決め駆動する位置決め駆動手段
と、上記位置決め駆動手段の駆動経路に設けられ、上記
実装基板に設けられたマークあるいは端子を撮像する撮
像手段と、上記撮像手段により撮像された画像から上記
マークあるいは端子を検出する画像処理装置と、この画
像処理装置による画像処理結果により上記実装基板のず
れを求め、このずれ量と上記位置決め駆動手段の位置決
め誤差量とを比較し、この誤差量よりも上記ずれ量が大
きい場合にのみ上記駆動手段に命令を発し、上記実装基
板の位置を補正する演算制御部とを具備することを特徴
とする位置決め装置である。
【0045】第12の手段は、互いに隣り合って設けら
れ、被加工物に加工を施す少なくとも2以上の加工部
と、上記複数の加工部にそれぞれ設けられ、上記被加工
物を搬送位置決めする複数のステ−ジと、上記加工部間
に設けられ、加工部で加工された被加工物をその加工部
に設けられたステ−ジから受けとり、次の加工部に設け
られたステ−ジに受け渡す受け渡し機構と、上記加工部
のステ−ジと次の加工部のステ−ジとが互いに干渉する
位置に移動する場合には、上記加工部に設けられたステ
−ジから基板を受けとって保持し次の加工部に設けられ
たステ−ジに受け渡すまでの時間と上記次の加工部での
加工が終了してから上記被加工物を受けとるまでの時間
とを比較して、前者が後者より長い場合には、上記加工
部のステ−ジを優先的に移動させ、後者が長い場合に
は、次の加工部のステ−ジを優先的に移動させる制御部
と、を具備することを特徴とする被加工物の加工装置で
ある。
【0046】第13の手段は、実装基板を保持し位置決
め駆動する駆動機構と、この駆動機構により保持された
実装基板に設けられたマークあるいは端子を撮像する撮
像手段と、上記撮像手段により撮像されたマークあるい
は端子と、この画像中心とのずれを検出する検出手段
と、過去に上記検出手段により検出されたずれ量に基づ
いて上記駆動機構の駆動経路を補正する制御手段とを具
備することを特徴とする位置決め装置である。
【0047】
【作用】第1の手段によれば、液晶セルを構成する基板
に液晶駆動用ICを仮圧着および本圧着する作業を、こ
の液晶セルを受け渡す作業を含めて連続的かつ自動的に
行うことができる。
【0048】第2の手段によれば、液晶セルを構成する
一対の基板の対向面に液晶駆動用ICを仮圧着および本
圧着する作業を、この液晶セルを反転させる作業および
受け渡す作業を含めて連続的かつ自動的に行うことがで
きる。
【0049】第3の手段によれば、液晶セルを構成する
基板に液晶駆動用ICを仮圧着する作業を連続的かつ自
動的に行うことができる。
【0050】第4の手段によれば、液晶セルを構成する
基板の対向面に液晶駆動用ICを仮圧着する作業を、こ
の液晶駆動用ICのアウタリ−ドに貼着された異方性導
電膜から離型紙を剥離する作業を含めて連続的かつ自動
的に行うことができる。
【0051】第5の手段によれば、液晶セルを構成する
一対の基板の対向面に液晶駆動用ICを仮圧着する作業
を、この液晶セルを反転させる作業を含めて連続的かつ
自動的に行うことができる。
【0052】第6の手段によれば、液晶セルを構成する
一対の基板の対向面に液晶駆動用ICを仮圧着する作業
を、この液晶駆動用ICのアウタリ−ドに貼着された異
方性導電膜から離型紙を剥離する作業およびこの液晶セ
ルを反転させる作業を含めて連続的かつ自動的に行うこ
とができる。
【0053】第7の手段によれば、液晶セルを構成する
基板に液晶駆動用ICを本圧着する作業を連続的かつ自
動的に行うことができる。
【0054】第8の手段によれば、液晶セルを構成する
一対の基板の対向面に液晶駆動用ICを本圧着する作業
を、この液晶セルを反転させる作業を含めて連続的かつ
自動的に行うことができる。
【0055】第9の手段によれば、圧着ブロックや基板
を破損させることなく、所定のボンディング圧力で本圧
着を行うことができる。
【0056】第10の手段によれば、2以上の圧着ブロ
ックを用いて複数の液晶駆動用ICを順次基板に本圧着
することができる。
【0057】第11の手段によれば、実装基板の位置ず
れ量がこの実装基板を位置決めする位置決め駆動手段の
位置決め駆動精度よりも小さい場合には、この位置決め
駆動手段の駆動に補正を行わせないようにすることがで
きる。
【0058】第12の手段によれば、2以上の加工部に
おいて被加工物を保持するステ−ジ間に優先順位を定
め、これに基づいて各加工部において被加工物の加工を
行うことができる。
【0059】第13の手段によれば、基板に設けられた
マークを常に撮像手段の撮像画像の中心位置近くで捕ら
えることができる。
【0060】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図面を参照して
説明する。なお、従来例で説明した構成要素と同一の構
成要素には同一符号を付してその説明は省略する。
【0061】この発明の液晶パネル製造装置は、図1に
示すように、上記液晶セル1にTAB部品2を仮圧着す
る仮圧着装置15と、この仮圧着装置15により仮圧着
されたTAB部品2を上記液晶セル1に本圧着する本圧
着装置16とが順次接続されてなる。両者は分離可能で
あるが、接続して使用することで、上記仮圧着と本圧着
とを連続的に行うことができるようになっている。
【0062】以下、上記仮圧着装置15と本圧着装置1
6の構成をこの順に説明する。
【0063】まず、上記仮圧着装置15の構成および作
用について説明する。
【0064】この仮圧着装置15において、上記TAB
部品2が仮圧着される液晶セル1は、図21を引用して
示すように、図示しない透明電極と配向膜(配線パタ−
ン)が形成された第1、第2のガラス基板1a、1b
(基板)を対向させ、これらを所定隙間を存して張り合
わせてなるものである。そして、この仮圧着装置15
は、この液晶セル1の上記第1、第2のガラス基板1
a、1bに、それぞれ種類の異なる第1、第2のTAB
部品2a、2b(液晶駆動用IC)を仮圧着する。
【0065】この仮圧着装置15は、図2に示すよう
に、架台17上に、上記液晶セル1を供給する液晶セル
供給機構18と、この液晶セル供給機構18から供給さ
れた液晶セル1を搬送し、仮圧着位置(後述するD)で
保持するセルステ−ジ19とを具備する。
【0066】さらに、この仮圧着装置15は、すでに半
導体素子5(図22)が所定の間隔でインナ−リ−ドボ
ンディングされていると共にアウタリ−ド7となる部分
にあらかじめ離型紙6a付きの異方性導電膜6が貼着さ
れてなる長尺テ−プ状のフィルムキャリア2を供給する
フィルムキャリア供給機構20(部品供給機構)と、こ
のフィルムキャリア4を打ち抜きTAB部品2を成形す
る打ち抜き機構21(同じく部品供給機構)と、TAB
部品2を受取り上記離型紙6aを剥離すると共にこのT
AB部品2を所定の姿勢に位置決めし、上記仮圧着位置
に供給するTAB部品搬送機構23と、このTAB部品
2のアウタリ−ド7と上記液晶セル1の端子(配線パタ
−ン)とを上記異方性導電膜6を介して仮圧着する仮圧
着機構24とを具備する。
【0067】次に、これらの構成を図1〜図3を参照し
てさらに詳しく説明する。
【0068】上記液晶セル供給機構18は、エレベ−タ
手段26を具備する。このエレベ−タ手段26は、上記
液晶セル1を複数枚積層した状態で収容するマガジン
(図1に示す27)を保持する保持テ−ブル28と、こ
の保持テ−ブル28を上下駆動するZ駆動部29とから
なる。
【0069】また、この液晶セル供給機構18は、液晶
セル1を上記マガジン27から取り出すための供給ア−
ム30を具備する。この供給ア−ム30は、X駆動部3
1に保持されていると共に、先端部がコの字形状に形成
されている。そして、この先端部を上記マガジン27内
に挿入し、このマガジン27内から液晶セル1を取り出
し、この液晶セル1を上記セルステ−ジ19の方向に搬
送することができるようになっている。
【0070】一方、上記セルステ−ジ19は、X方向に
沿って設けられたガイドレ−ル33上にX方向移動自在
に設けられたXYテ−ブル34と、このXYテ−ブル3
4上に立設されたθ駆動部35と、このθ駆動部35の
上面設けられたX字形状の吸着ア−ム36とからなる。
【0071】また、上記θ駆動部35には、このθ駆動
部35の上面から突没自在に設けられ、突出すること
で、上端で上記液晶セル1を保持することができる図示
しない少なくとも3つのリフトピンが設けられている。
【0072】このセルステ−ジ19に上記液晶セル1を
受け渡す場合には、まず、このセルステ−ジ19の上方
に上記セル供給装置機構18の供給ア−ム30の上面に
保持された液晶セル1が位置決めされる。ついで、上記
セルステ−ジ19は、上記リフトピンを上昇させること
で、上記供給ア−ム30の上面から上記液晶セル1を持
ち上げる。そして、上記供給ア−ム30をこのセルステ
−ジ19から後退させた後、上記リフトピンを上記θ駆
動部35内に収納する。このことで、上記液晶セル1
は、上記X字形状の吸着ア−ム36の上面に受け渡さ
れ、この吸着ア−ム36の先端部に吸着保持される。
【0073】また、上記フィルムキャリア供給機構20
は、テ−プ状のフィルムキャリア4を巻回収納する供給
リ−ル38を回転自在に保持するフィルムキャリア収納
部39を具備する。上記供給リ−ル38に巻回されたフ
ィルムキャリア4には、半導体素子5…が所定間隔でイ
ンナ−リ−ドボンディングされていると共にアウタリ−
ド7となる部位にはあらかじめ離型紙6a付きの異方性
導電膜6(図22参照)が貼着されている。
【0074】また、上記フィルムキャリア供給機構20
は、テンションプ−リ40および送り用スプロケット4
1を具備し、上記供給リ−ル38の上方に設けられた巻
取リ−ル42でスペーサテ−プ43(フィルムキャリア
4の表面に貼付されている保護テ−プ)を剥がしなが
ら、上記フィルムキャリア4を間欠送り駆動し、上記打
ち抜き機構21に供給する。
【0075】上記打ち抜き機構21は、図3に示すよう
に、上型43および下型44を具備する。上記フィルム
キャリア4は、図示しないが、この上型43と下型44
との間に供給され、上記半導体素子5がインナ−リ−ド
ボンディングされた部位をこの位置に順次停止させる。
【0076】上記上型43は、下型44に対して上下駆
動されるようになっていて、下型38に接離する方向に
駆動されることで、上記フィルムキャリア4を打ち抜
く。このことで、図22を引用して示すTAB部品2
(第1、第2のTAB部品2a、2b)が成形される。
【0077】上記下型43はY駆動部45によってY方
向移動自在に保持されていて、上記TAB部品2を上面
に保持した状態で、この架台17上をY方向手前側に移
動し、このTAB部品2を上記打ち抜き機構21から取
り出すようになっている。
【0078】図2〜図4に示すように、このフィルムキ
ャリア供給機構20および打ち抜き機構21は、並列に
2組設けられている。これは、上記液晶セル1の第1、
第2のガラス基板1a、1bのそれぞれに仮圧着される
異なる種類の第1、第2のTAB部品2a、2bを成形
するためである。
【0079】一方、図3に示すように、上記架台17上
には、門型のフレ−ム46が設けられている。このフレ
−ム46の上部の水平梁部46aはX方向に沿って設け
られ、この水平梁部46aには、この水平梁部46aに
沿ってX方向に位置決め駆動されるTAB部品搬送ヘッ
ド47が設けられている。
【0080】このTAB部品搬送ヘッド47には、吸着
ノズル48が設けられ、この吸着ノズル48を上下方向
に駆動することで、上記下型43に保持されたTAB部
品2をこの下型43から上方に取り出すことができる。
そして、このTAB部品搬送ヘッド47は、X方向に駆
動されることでこのTAB部品2をTAB部品搬送機構
23の方向に移送する。
【0081】一方、上記TAB部品搬送機構26は、水
平面内で90°毎に間欠回転可能なロ−タリインデック
ステ−ブル48を具備する。このロ−タリインデックス
テ−ブル48の外周縁には、下面で上記TAB部品を吸
着保持可能なTABチャック50が、一端部をこのロ−
タリインデックステ−ブル44から径方向外側に突出さ
せた状態で周方向に90°毎に設けられている。
【0082】そして、このTABチャック50は、この
ロ−タリインデックステ−ブル48が90°毎に間欠回
転駆動されることで、図4にAで示す部品受け渡しステ
−ジから、離型紙剥離ステ−ジB、TAB仮位置決めス
テ−ジC、仮圧着ステ−ジDの4つのステ−ジに順次対
向位置決めされる。なお、この図において上記TABチ
ャック50は図示を省略した。
【0083】上記部品受け渡しステ−ジAには、上記架
台17上にX方向に移動可能かつ上下動可能な部品受け
渡しテ−ブル51が設けられている。この部品受け渡し
テ−ブル51は上記TAB部品搬送ヘッド47から上記
TAB部品2を受取り、これを上記部品受け渡しステ−
ジAに位置するTABチャック50の下方に搬送する。
【0084】そして、この位置で、上記TAB部品2を
上昇させることで、このTAB部品2を上記TABチャ
ック50の下面に当接させる。このことで上記TAB部
品2は上記TABチャック50の下面に吸着保持され、
受け渡しが完了する。
【0085】上記離型紙剥離ステ−ジBには、離型紙剥
離機構52が設けられている。図3に示すように、この
離型紙剥離機構52は、一面側のみを粘着面とした長尺
なる粘着テ−プ53を、その粘着面を上方に向けた状態
で間欠送り駆動する。
【0086】上記ロ−タリインデックステ−ブル48は
90°回動し、上記TAB部品2を受け渡しステ−ジA
から離型紙剥離ステ−ジBに搬送する。このことで、上
記TAB部品2の上記異方性導電膜6の上記離型紙6a
は、上記粘着テ−プ53の粘着面に対向させられる。
【0087】ついで、上記離型紙剥離機構52は、上記
粘着テ−プ53を上昇させ、その粘着面を上記離型紙6
aに接触させてこの粘着テ−プ53にこの離型紙6aを
転写する。そして、この粘着テ−プ53を下降させるこ
とで、上記離型紙6aを異方性導電膜6から剥離する。
【0088】ついで、上記離型紙剥離機構52は、上記
粘着テ−プ53をリ−ルに巻き取る。このことで、上記
剥離された離型紙6aは上記粘着テ−プ53と一緒にこ
のリ−ルに巻き取られると共に、粘着テ−プ53の未だ
上記離型紙6aが転写されていない部位が繰り出され上
記TABチャック50に対向する。
【0089】また、上記TAB仮位置決めステ−ジCに
は、上記TAB部品2に当接することで、このTAB部
品2の姿勢を機械的に補正(粗位置決め)する粗位置決
めユニット55が設けられている。
【0090】上記ロ−タリインデックステ−ブル48
は、さらに90°間欠的に回動することで、上記離型紙
6aが剥離されたTAB部品2をこのTAB仮位置決め
ステ−ジCに停止させ、上記粗位置決めユニット55を
用いてこのTAB部品2の粗位置決めを行わせる。
【0091】このTAB仮位置決めステ−ジCで粗位置
決めされた上記TAB部品2は、上記ロ−タリインデッ
クステ−ブル48がさらに90°回動することで、上記
仮圧着ステ−ジDに搬送される。この状態で、上記TA
B部品2のアウタリ−ド7は所定の仮圧着位置に位置決
めされる。
【0092】この仮圧着ステ−ジAの上方には、図1お
よび図2に示すように第1の撮像カメラ58が設けられ
ている。この第1の撮像カメラ58は、図5(a)、
(b)に示すように上記液晶セル1を構成する第1、第
2のガラス基板1a、1bのX辺およびY辺の両端部に
設けられた位置決め用+マ−ク(位置合わせ用目印、マ
ーク)57…を認識し、この液晶セル1全体の位置決め
を行なわせる役割を有する。
【0093】また、この仮圧着ステ−ジAの下側には、
図1および図2に示すように、位置認識光学系60が設
けられている。この位置認識光学系60は、図1に示す
ように、鏡筒61と、この鏡筒の基端部に接続された第
2の撮像カメラ62と、上記鏡筒61の先端部に設けら
れ上記TAB部品2の仮圧着が行われる仮圧着位置の像
を上記第2の撮像カメラ62に送る反射ミラ−63とを
有する。
【0094】この位置認識光学系60は、上記仮圧着位
置を視野に収め、上記TAB部品2のアウタリ−ド7と
ガラス基板1a、1bの端子とを上記第2の撮像カメラ
62を用いて認識することで、両者の位置合わせを行な
わせる役割を有する。
【0095】次に、この液晶セル1全体の位置決め、上
記TAB部品2のアウタリ−ド7と上記第1、第2のガ
ラス基板1a、1bに設けられた端子の位置決め、およ
び上記TAB部品2の仮圧着の動作を図7および図8に
示すフロチャ−トを参照しつつ説明する。
【0096】なお、この仮圧着装置15は、上記第1、
第2のガラス基板1a、1bのうち、まず上記第1のガ
ラス基板1aのX辺に設けられた各端子(図5にXで示
す)に、第1のTAB部品2a…を仮圧着し、その後上
記第2のガラス基板1bのY辺に設けられた各端子(図
5にYで示す)に第2のTAB部品2bを仮圧着するも
のとする。
【0097】上記マガジン27内に収納された液晶セル
1は、第1のガラス基板1aを下面側に位置させた状態
で(図5(b))複数枚積層保持されている。上記セル
ステ−ジ19は、液晶セル受け渡し位置に移動し、上記
供給ア−ム30によって取り出された上記液晶セル1を
上記リフトピンを上下させることで受け取る。(前述の
説明参照)ついで、上記セルステ−ジ19は、上記仮圧
着ステ−ジDの側方に移動し、上記液晶セル1の第1の
ガラス基板1aのX辺を上記第1の撮像カメラ58の下
方(位置認識位置)に対向させる。
【0098】上記セルステ−ジ19は、上記第1のガラ
ス基板1aのX辺の両端部に設けられた2つの位置決め
用+マーク57の両方を上記第1の撮像カメラ58で認
識するために、上記液晶セル1をX方向にスキャンす
る。
【0099】この第1の撮像カメラ58は、図1に示す
ように、画像処理装置65を介して演算処理部66に接
続されている。この演算制御部66は、上記画像処理装
置65からの上記2つの位置決め用+マーク57、57
の位置検出信号に基づいて上記第1のガラス基板1aの
位置ずれ量(x、y、θ)を算出する。そして、この演
算制御部は、このずれ量に基づいて、上記セルステ−ジ
19を制御し、上記第1のガラス基板1aのその後の駆
動経路を補正するようにする。
【0100】ただし、図7のフロ−チャ−トに示すよう
に、この演算制御部66は、上記セルステ−ジ19の位
置決め精度と上記第1のガラス基板1aのずれ量とを比
較し、ずれ量の補正を行うとかえってずれが大きくなる
と判断した場合、すなわち、上記ずれ量がセルステ−ジ
19の位置決め精度よりも小さい場合には、補正を行わ
ないようにする。
【0101】また、この演算制御部66は、フロチャ−
トに(1)で示す工程において、上記第1のガラス基板
1aに設けられた位置決め用+マーク57が常に上記第
1の撮像カメラ58の視野内に収められるように上記セ
ルステ−ジ19の補正を行う。
【0102】すなわち、上記第1の撮像カメラ58で撮
像される位置決め用+マーク57は、図6のモニタ−6
7に示すように撮像画面の中心に位置することが好まし
い。しかし、上記セルステ−ジ19の位置決め精度に起
因して、この位置決め用+マーク57は、位置決め毎に
同図(b)に示すようにこの撮像画像の中心からずれる
ことが多い。
【0103】上記演算制御部66は、過去に撮像された
位置決め用+マーク57と撮像画像の中心位置とのずれ
量(偏差(x、y))を記憶しておいて、この過去のデ
−タに基づいて、上記位置決め用+マーク57がこの撮
像画像の中心に位置するように上記セルステ−ジ19の
動きを制御するようにする。
【0104】具体的には、上記偏差量(ずれ量)の平均
値、最小2乗推定値等の統計的推定により、上記セルス
テ−ジ19に加える補正量を定め、その補正を加えて上
記セルステ−ジ19を位置決め駆動する。
【0105】このような工程を経てその位置およびずれ
量が認識された液晶セル1は、上記位置決め用+マ−ク
57の位置に基づいて、この第1のガラス基板1aの上
記第1のTAB部品2aが仮圧着される部位を順次上記
仮圧着ステ−ジDに位置決め駆動する。
【0106】上記演算制御部66で補正を行うことを決
定した場合には、フロ−チャ−トに(2)で示すように
上記セルステ−ジ19の駆動に補正を加えて上記液晶セ
ル1(第1のガラス基板1a)を駆動することとなる。
【0107】図1に示すように、上記位置認識光学系6
0は、この仮圧着位置で互いに対向させられる上記TA
B部品2のアウタリ−ド7と上記第1のガラス基板1a
の端子とを同時に視野に収め上記反射ミラ−63を介し
て上記第2の撮像カメラ62でこれを撮像する。
【0108】この第2の撮像カメラ62は、上記第1の
撮像カメラ58と同様に、画像処理装置65を経て上記
演算制御部66に接続されている。
【0109】上記演算制御部66は、上記画像処理装置
65からの上記第1のTAB部品2aのアウタリ−ド7
および上記第1ガラス基板1aの端子の位置検出信号に
基づき上記セルステ−ジ19を作動させ、上記第1のガ
ラス基板1aを移動させることで、両者を精密に位置合
わせ(補正)する。
【0110】この場合においても、上記演算処理部66
は、図8のフロ−チャ−トに示すように上記アウタリ−
ド7と端子のずれ量と上記セルステ−ジ19の位置決め
精度とを比較して、上記ずれ量が位置決め精度よりも小
さい場合には、位置合わせを行うことによりずれ量がか
えって大きくなることが予想されるので、位置合わせを
行わないようにする。
【0111】このようにして、互いに位置合わせがなさ
れたならば、上記第1のガラス基板1aは、上記端子を
上記TAB部品2のアウタリ−ド7の下側に位置させら
れる。このことで、上記アウタリ−ド7と上記端子とは
上記仮圧着位置において精密に対向位置決めされる。
【0112】一方、上記仮圧着ステ−ジDには、上述し
たように上記第1のTAB部品2aを上記第1のガラス
基板1aに仮圧着する仮圧着機構24が設けられている
(図1)。
【0113】この仮圧着機構24は、上記第1のガラス
基板1aの下面を保持する圧力支持部69を具備する。
この圧力支持部69は、詳しくは図示しないが、上記第
1のTAB部品2aが上記仮圧着ステ−ジDに搬送さ
れ、上記第1のガラス基板1aに対向位置決めされたな
らば、この第1のガラス基板1aの下面側に突出する構
成となっている。
【0114】また、上記仮圧着機構24は、上記圧力支
持機構69と上記第1のガラス基板1aを挟んで対向す
る位置に、仮圧着ブロック70を有する。この仮圧着ブ
ロック70は、上記圧力支持機構69が上記第1のガラ
ス基板1aの下面を保持したならば下降し、上記第1の
TAB部品2aのアウタリ−ド7を上記第1のガラス基
板1aの端子方向に押圧して、この第1のTAB部品2
aを上記第1のガラス基板1aに仮圧着する。上記第1
のTAB部品2aと第1のガラス基板1aとは、上記異
方性導電膜6の粘着力により容易に仮圧着される。
【0115】このような一連の動作により一つの第1の
TAB部品2aが上記液晶セル1の第1のガラス基板1
aのX辺に仮圧着される。このとき、次にこの第1のガ
ラス基板1aのX辺の他の位置に仮圧着される第1のT
AB部品2aが、すでに上記TAB位置合わせステ−ジ
Cに待機している。
【0116】上記セルステ−ジ19は、図8のフロチャ
−トに(3)で示すように、上記ガラス基板1aの次に
上記第1のTAB部品2aが仮圧着される部位を、上述
と同様の動作で上記仮圧着位置に位置決めする。そし
て、上述と同様の動作で上記第1のTAB部品2aをこ
の第1のガラス基板1aに仮圧着する。
【0117】このようにして、上記第1のガラス基板1
aの一方のX辺には、第1のTAB部品2a…が順次装
着されていく。途中、上記第1のガラス基板1aの他方
のX辺に上記第1のTAB部品2aを仮圧着するため
に、上記セルステ−ジ19は、この液晶セル1を水平方
向に180°回動させる。
【0118】この仮圧着装置は、上記液晶セル1を水平
方向に180°回動させたならば、フロチャ−トの
(1)以下の動作を行い、このX辺にも上記第1のTA
B部品2aを順次仮圧着していく。
【0119】また、図2に示すように、この仮圧着ステ
−ジDの側方には、液晶セル反転装置72が設けられて
いる。この液晶セル反転装置72は、上記門型フレ−ム
46の水平梁部46aの下面に軸線を垂直にして設けら
れた一対のガイドポ−ル73と、このガイドポ−ル73
に上下移動自在に取着された反転ヘッド74と、この反
転ヘッド74に開閉自在に設けられた一対のT字チャッ
ク75、75とを具備する。また、この一対のT字チャ
ック75、75は、水平軸線回りに一体的に180°回
動するようになっている。
【0120】上記セルステ−ジ19は、上記液晶セル1
の第1のガラス基板1aの両方のX辺に上記第1のTA
B部品2a…がすべて仮圧着されたならば、この液晶セ
ル1を上記反転装置72の方向に駆動する。そして、こ
の液晶セル1を上記一対のT字チャック75、75の間
に挿入する。
【0121】なお、この間に、上記フィルムキャリア供
給機構20および打ち抜き機構21では、品種の切り替
えが行われ、上記第1のTAB部品2aに代わって上記
第2のガラス基板1bに仮圧着される第2のTAB部品
2bが上記TAB部品搬送機構16に送られる。
【0122】一方、上記反転装置72は、この液晶セル
1を上昇させた後、上記T字チャック75を水平軸線回
りに180°回動させることで、上記液晶セル1を裏返
す(反転)ことができる。そして、この反転装置72
は、裏返した液晶セル1を上記セルステ−ジ19の吸着
ア−ム29上に再び載置する。
【0123】上記セルステ−ジ19は、上記液晶セル1
を水平面内で90°回動させ、上記第2のガラス基板1
bのY辺を(図5参照)を上記第1の撮像カメラ58の
下方に移動させる。
【0124】ついで、この仮圧着装置15は、図7およ
び図8のフロチャ−トの(1)以下の動作を繰り返すこ
とでこの第2のガラス基板1bのY辺の各仮圧着部位と
上記第2のTAB部品2b…とを位置合わせし、順次仮
圧着していく。
【0125】この液晶セル1の第2のガラス基板1bに
上記第2のTAB部品2bがすべて仮圧着されたなら
ば、上記セルステ−ジ19は、この液晶セル1を図4に
矢印(イ)で示す方向に駆動し、この架台17の端部に
停止させる。
【0126】この仮圧着装置の横側には上述した本圧着
装置16が接続されている。仮圧着装置の架台17の端
部に位置決めされた液晶セル1は、図1に示すように、
この本圧着装置16の架台80上に設けられた受け渡し
ユニット78によって保持され、上記本圧着装置16に
受け渡される。
【0127】なお、この仮圧着装置15においては、上
記TAB部品1個の仮圧着を約5秒で行い、一枚の液晶
セル1について、約60秒ですべてのTAB部品2…の
仮圧着を終了させ、この液晶セル1を上記本圧着装置1
6に送出する。
【0128】次に、この本圧着装置16の構成および動
作について説明する。
【0129】図9に示すように、この本圧着装置16
は、上記仮圧着装置15の架台20と略同じ高さで設け
られた架台80を備え、この架台80上には、上記受け
渡しユニット78と、この受け渡しユニット78から液
晶セル1を受取りXYθ方向に駆動し位置決めする第1
のセルステ−ジ81と、この第1のセルステ−ジ81か
ら供給された液晶セル1の第1のガラス基板1aに仮圧
着された第1のTAB部品2aをボンディング(本圧
着)する第1のボンディング部82と、この第1のボン
ディング部82から液晶セル1を受取り、この液晶セル
1を反転させる(裏返す)液晶セル反転装置83と、こ
の反転装置83によって反転された液晶セル1を受け取
り、これをXYθ方向に駆動し位置決めする第2のセル
ステ−ジ84と、この第2のセルステ−ジ84に保持さ
れた液晶セル1の第2のガラス基板1bに仮圧着された
第2のTAB部品2bをボンディング(本圧着)する第
2のボンディング部85と、この第2のボンディング部
85からすべてのTAB部品2についての本圧着が終了
した液晶セル1(液晶パネル)を受け取り、この液晶セ
ル1をこの熱圧着装置から排出するセル排出ユニット8
7とからなる。
【0130】上記受け渡しユニット78は、上記架台8
0上に固定された基台89と、この基台89の上面に突
設され軸線回りに180°回動する回動軸90と、この
回動軸90の上面にX方向に固定されたレ−ル91と、
このレ−ル91にスライド駆動自在に設けられたコの字
形状の供給ア−ム92とを具備する。
【0131】また、上記架台80上面の中央部には、ガ
イドレ−ル93が長手方向をX方向に一致させて設けら
れている。このガイドレ−ル93の上記受け渡しユニッ
ト78側の一端には第1の第1のセルステ−ジ81がス
ライド移動自在に設けられ、他端には第2のセルステ−
ジ84がスライド自在に設けられている。
【0132】この第1、第2のセルステ−ジ81、84
は共に同じ構成を有するものであるので、第1のセルス
テ−ジ81の構成のみを説明し、第2のセルステ−ジ8
4の構成の説明は省略する。
【0133】上記第1のセルステ−ジ81は、XYテ−
ブル94とこのXYテ−ブル94上に設けられたθ駆動
部95とを有する。このθ駆動部95には、X字形状の
4つのア−ムの先端に吸着部が設けられてなる吸着ア−
ム96がθ方向に位置決め自在に設けられている。
【0134】また、このθ駆動部95には、このθ駆動
部95の上面から突没可能に設けられ、上記吸着ア−ム
96の上面に保持された液晶セル1を持ち上げることが
できるリフトピン97を3本具備する。
【0135】また、上記架台80上のY方向奥行き側に
は、上記第1、第2のボンディング部82、85が、上
記第1、第2のセルステ−ジ81、84に対応するかた
ちで並列に設けられている。この第1、第2のボンディ
ング部82、85は、略同じ構成を有するので、第1の
ボンディング部82の構成のみを説明し、第2のボンデ
ィング部85の構成については同一符号を付してその説
明は省略する。
【0136】図中98は、この架台80上に立設された
コラムである。このコラム98の上部には一端部を上記
ガイドレ−ル93側に水平に突出させた保持板100の
他端部が固定されている。この保持板100の上面に
は、上下駆動用の第1のエアシリンダ101(上下駆動
用シリンダ)が設けられ、この第1のエアシリンダ10
1の駆動軸101aはこの保持板100の下方へ延出さ
せられている。
【0137】一方、上記コラム98の上記ガイドレ−ル
93側の一面には、上部が略水平に屈曲された逆さL字
形状のスライダ102が上下スライド駆動自在に設けら
れている。このスライダ102の水平部の上面には上記
第1のエアシリンダ101の駆動軸101aが固定さ
れ、このスライダ102は上記第1のエアシリンダ10
1によって上下駆動されるようになっている。
【0138】また、上記スライダ102の水平部の下面
には、加圧用の2つの第2のシリンダ103…(加圧用
シリンダ)が軸線を垂直にして並列に固定されている。
そして、各第2のシリンダ103には、下面を押圧面と
する圧着ブロック104が接続されている。
【0139】この圧着ブロック104は、コンスタント
ヒ−ト方式(常時加熱型)のもので、図19(a)にY
1で示すように2つのTAB部品2の接合幅に対応する
大きさ(長さ)の押圧面104aを具備する。また、上
記2つの圧着ブロック104は、同図にY1、Y1で示
すように、2つのTAB部品2の接合長さに対応する間
隔分互いに離間して設けられている。
【0140】また、図1に示すように、上記圧着ブロッ
ク104の下側には、架台80上に立設された板状のボ
ンディングステ−ジ(バックアップ)105が、その上
面を上記圧着ブロック104の押圧面104aに対向さ
せて設けられている。このボンディングステ−ジ105
は図示しないカム機構によって上下するようになってい
る。
【0141】さらに、この第1、第2のボンディング部
82、84には、それぞれ第1、第2の撮像カメラ10
7a、107bがその撮像面を下方に向けて設けられて
いる。この第1の撮像カメラ107aは、後述するよう
に、図19(a)に示す第2のガラス基板1bのY辺の
両端部に設けられた位置決め用+マーク57を認識する
ようになっている。また、第2の撮像カメラ107b
は、同図(c)に示す第1のガラス基板1aのX辺の両
端部に設けられた位置決め用+マーク57を認識するよ
うになっている。
【0142】次に、上記第1のボンディング部82(第
2のボンディング部85)の構成を図10を参照してさ
らに詳しく説明する。なお、図10は、上記第1、第2
シリンダ101、103および圧着ブロック104の関
係を簡略化して示す模式図である。
【0143】すなわち、上記第1のエアシリンダ101
はコラム98(100)に固定され、この第1のエアシ
リンダ101の駆動軸101aには、第2のシリンダ1
03が取り付けられている。したがって上記第1のエア
シリンダ101が作動することで、この第2のエアシリ
ンダ103全体が上下駆動されるようになっている。ま
た、この第2のエアシリンダ103の駆動軸103aに
は圧着ブロック104が設けられている。
【0144】上記第1のエアシリンダ101はクロ−ズ
ドセンタ形の4ポ−ト弁108を介して高圧ポンプ10
9に接続されている。上記高圧ポンプ109は上記第1
のエアシリンダ101の駆動軸101aをボンディング
圧力Pよりも大きい最大圧力Fで駆動する役割を有す
る。
【0145】第2のエアシリンダ103は、この第2の
エアシリンダ103の駆動軸103aを最大圧力P(F
>P)で駆動する低圧ポンプ111に接続され、この回
路にはリリ−フ弁112が接続されている。このリリ−
フ弁112は上記第2のエアシリンダ103内の圧力が
P以上になると作動し、上記第2のエアシリンダ103
内の圧力を常にPに保つ役割を有する。
【0146】一方、図1および図9に示すように、上記
第1のボンディング部82と第2のボンディング部85
との間には、上記液晶セル反転装置83が設けられてい
る。この反転装置83は上記架台80上に立設されたZ
駆動部113と、このZ駆動部113の上記ガイドレ−
ル93側の一面にZ方向に沿って設けられたガイド溝1
14とを有し、このガイド溝114には、反転ヘッド1
15が上下スライド駆動自在に取着されている。
【0147】この反転ヘッド115は、上記ガイドレ−
ル93側に水平に延出されかつ開閉自在に設けられた一
対のT字チャック117、117を有する。このT字チ
ャック117、117は上記液晶セル1を握持すること
ができると共に水平軸線回りに180°回転することで
この液晶セル1を反転する(裏返す)ことができるよう
になっている。
【0148】なお、上記第1、第2のボンディング部8
2、85は、この本圧着装置16の小形化のために、互
いに近接して設けられている。
【0149】また、位置認識に要するスペ−スをできる
かぎり小さくすることで装置の小型化を図るために、上
記第1、第2の撮像カメラ107a、107bは、それ
ぞれ上記反転装置72と上記第1、第2のボンディング
部82、84との間のスペ−スに配置され、上記第1の
ボンディング部82における位置認識と第2のボンディ
ング部84における位置認識とを略同じ空間で行えるよ
うにしている。
【0150】このように、第1、第2のボンディング部
82、84間の限られたスペ−スに上記第1、第2の撮
像カメラ107a、107bおよび反転装置72が配置
されている。このため、上記第1、第2の撮像カメラ1
07a、107bによる上記液晶セル1の位置認識と上
記反転装置72による液晶セル1の反転動作は、これら
の液晶セル1どうしが干渉する恐れがあるので同時には
行えない。また、上記第1の撮像カメラ107aによる
位置認識と、第2の撮像カメラ107bによる位置認識
も、上記液晶セル1どうしが場合によっては干渉するの
で同時には行えないようになっている。
【0151】また、上記ガイドレ−ル93の他端に対応
する上記架台80上の位置には上記セル排出ユニット8
7が設けられている。このセル排出ユニット87は、X
駆動部120を具備し、このX駆動部120には、排出
ヘッド121が設けられている。この排出ヘッド121
は、開閉自在に設けられた一対のT字形状の排出チャッ
ク122、122を有する。この排出ヘッド121は上
記排出チャック122、122を用いて上記液晶セル1
を握持し、X駆動部120によってX方向に駆動される
ことで上記液晶セル1をこの本圧着装置から排出するこ
とができる。
【0152】また、上述した第1、第2の撮像カメラ1
07a、107bは、図1に124で示す画像処理装置
を介して演算制御部125に接続されている。この演算
制御部125は、上記画像処理装置124からの画像処
理信号に基づいて上記第1、第2のガラス基板1a、1
bに設けられた位置決め用+マーク57を検出し、この
検出値からこの第1、第2のガラス基板1a、1bの位
置ずれを判断し、上記第1、第2のセルステ−ジ81、
84に作動命令を発するようになっている。
【0153】また、この演算制御部125は、上記反転
装置72に接続されていて、上記第1、第2のセルステ
−ジ81、84の動作に応じてこの反転装置72を作動
させるようになっている。また、この演算制御部125
は、この反転装置72が上記液晶セル1を保持している
時間t1 をカウントとするようになっている。
【0154】さらに、この演算制御部125は、この液
晶セル1を保持している時間t1と、上記第2のボンデ
ィング部85に設けられた第2のボンディングステ−ジ
84が、上記セル排出ユニット87に液晶セル1を受け
渡してから上記反転装置72で次の液晶セル1を受けと
るまでの時間t2 とをカウントするようになっている。
【0155】そして、この演算制御部125は、上記時
間t1 とt2 とを比較することによって後述するように
して上記第1、第2のセルステ−ジ81、84のどちら
を優先して作動させるかの「優先順位」を決定し、それ
に応じて上記第1、第2のセルステ−ジ81、84を制
御する機能を有する。
【0156】次に、この本圧着装置16の動作を図11
〜図17に示すフロ−チャ−トを参照して説明する。図
11は、上記受け渡しユニット78から第1のセルステ
−ジ81への液晶セル1の受け渡しの動作等を示すフロ
−チャ−ト、図12は第1のボンディング部82での圧
着動作を示すフロ−チャ−ト、図13は後述する優先権
を確認し、第1、第2のセルステ−ジ81、84の干渉
を防止する動作を示す第1のル−チン、図14は液晶セ
ル1の位置決め動作を示す第2のル−チン、図15はセ
ル反転装置78における上記液晶セル1の反転動作を示
すフロ−チャ−ト、図16は第2のボンディング部85
でのボンディング動作を示すフロ−チャ−ト、図17は
セル排出ユニット87による液晶セル1の排出動作を示
すフロ−チャ−トである。以下、これらのフロ−チャ−
トをこの順に説明する。
【0157】まず、図11に示すフロ−チャ−トについ
て説明する。
【0158】この本圧着装置16の側方には、上記仮圧
着装置15が設けられている。以下この仮圧着装置15
(LTM)という。この仮圧着装置15では、上述した
ように上記液晶セルの第1のガラス基板1aのX辺に第
1のTAB部品2aを仮圧着した後、この液晶セルを裏
返して第2のガラス基板1bのY辺に第2のTAB部品
2bを仮圧着した。
【0159】このため、上記仮圧着装置15のセルステ
−ジ19は、上記第2のガラス基板1bを下面側にした
状態で上記液晶セル1を保持している。そして、この液
晶セル1は、上記仮圧着装置15のセルステ−ジ19に
よって、上記本圧着装置16の方向に駆動され、この仮
圧着装置15の架台17の端部であるセル受け渡し位置
に停止される。
【0160】このとき、上記セル受け渡しユニット78
は、図9に示す状態からレ−ル91を180°回動さ
せ、上記供給ア−ム92のコの字の開放側を上記仮圧着
装置15(LTM)に対向させる。
【0161】上記仮圧着装置15のセルステ−ジ19
は、この本圧着装置の第1、第2のセルステ−ジ81、
84と略同様の構成を有し、複数本のリフトピンを上昇
させることで、このリフトピンで上記液晶セル1を保持
し上記セルステ−ジ19上から持ち上げる。
【0162】ついで、上記セル受け渡しユニット78は
上記供給ア−ム92を上記レ−ル91に沿って上記仮圧
着装置15の方向へ駆動し、この供給ア−ム92の開放
端部を上記液晶セル1の下側に潜りこませる。
【0163】そして、上記仮圧着装置15のセルステ−
ジ19のリフトピンの上端の高さが上端供給ア−ム92
の上面よりも低くなるようにこのリフトピンを下降させ
れば、上記液晶セル1は上記供給ア−ム92に受け渡さ
れる。
【0164】ついで、上記受け渡しユニット78は、上
記レ−ル91を180°回動駆動する(図9に示す状
態)。このことで、上記液晶セル1はこの本圧着装置1
6に受け渡される。
【0165】次に、この本圧着装置16(フロチャ−ト
には「LTB」と表示する)の第1のセルステ−ジ81
が上記ガイドレ−ル93の一端側(セル受け渡し位置)
に駆動され位置決めされる。
【0166】なお、この第1のセルステ−ジ81と上記
第2のセルステ−ジ84は、共に同一ガイドレ−ル93
上を往復するが、駆動機構(図示しない)自体は独立に
設けられていて、それぞれ独立して往復駆動されるよう
になっている。
【0167】一方、上記受け渡しユニット78は、上記
供給ア−ム92を上記第1のセルステ−ジ81の方向へ
駆動し、上記液晶セル1をこの第1のセルステ−ジ81
の上方に位置決めする。
【0168】ついで、上記第1のセルステ−ジ81は、
上記3つのリフトピン97…を上昇させ(上記θ駆動部
95の上面から突出させ)、このリフトピン97…の上
端で上記液晶セル1を保持し、この液晶セル1を上記供
給ア−ム92の上面から上方へと持ち上げる。
【0169】そして、上記受け渡しユニット78は、供
給ア−ム92を上記レ−ル91に沿って駆動し、この供
給ア−ム92をセル受け渡し位置から後退させる。つい
で、上記第1のセルステ−ジ81は、上記リフトピン9
7を下降駆動し上記θ駆動部95内に収納することで、
上記液晶セル1は上記セルステ−ジ81の吸着ア−ム9
6の上面に受け渡され4つのア−ム先端部に吸着保持さ
れる。
【0170】この後、上記セル供給ユニット81は上記
供給ア−ム92を180°回転させ、この供給ア−ム9
2を再び上記仮圧着装置15(LTM)に対向させる。
【0171】このことで、図11のフロ−チャ−トに示
す受け渡し工程が終了する。
【0172】次に、図12のフロ−チャ−トについて説
明する。
【0173】上記第1のステ−ジ81は、上記液晶セル
1を駆動し、液晶セル1の第2のガラス基板1bのY辺
(図19(a)、(b)にY1、Y2で示す辺)を上記
第1のボンディング部18に対向させる。
【0174】ついで、上記演算制御部125は、第1の
ル−チンに示すように優先権の有無を確認する。この段
階では優先権は未定であるので、上記第1、第2のボン
ディング部82、85間(第1、第2の撮像カメラ10
7a、107bの下方)に上記第2のセルステ−ジ84
が存在しないかを確認する。
【0175】存在しない場合には、上記第1のセルステ
−ジ81を移動させ、上記第2のガラス基板1bのY辺
の位置決め用+マーク57を上記第1の撮像カメラ10
7aの下方(位置認識位置)に対向させ、この第1の撮
像カメラ107aで上記位置決め用+マーク57を撮像
する。
【0176】上記位置決め用+マーク57は、上記Y辺
の両端部にそれぞれ設けられているから上記第1の撮像
カメラ107aによる撮像認識は合計2回行われること
となる。
【0177】なお、上記第1、第2のボンディング部8
2、85間に第2のセルステ−ジ84が存在する場合に
は、この第1のセルステ−ジ81で保持した液晶セル1
と上記第2のセルステ−ジ84で保持する液晶セル1と
が互いに干渉する恐れがある。このため、上記演算制御
部125は、第2のステ−ジ84が上記第1、第2のボ
ンディング部82、85間から退出するまで、上記第1
のセルステ−ジ81を待機させる。そして、上記第2の
セルステ−ジ84が退出したならば、上述したように、
第1の撮像カメラ107aによる位置決め用+マーク5
7の撮像認識を行う。
【0178】また、上記演算制御部125は、図13の
第2のル−チンに示すように、上記第1の撮像カメラ1
07aからの撮像信号に基づいて、上記位置決め用+マ
ーク57の位置を検出し、上記第2のガラス基板1bの
位置ずれ量を演算する。そして、この位置ずれ量と上記
第1のセルステ−ジ81の位置決め精度(既知であると
する)とを比較する。
【0179】上記ずれ量が、上記位置決め精度よりも小
さい場合には、この補正によってかえって上記第2のガ
ラス基板1bのずれ量が大きくなる恐れがある。したが
って、補正を加えないで以下の本圧着動作(ボンディン
グ)を行わせる。
【0180】また、上記ずれ量が第1のセルステ−ジ8
1の位置決め精度よりも大きい場合には、上記第1のセ
ルステ−ジ81に補正を加えて、以下の本圧着動作を行
わせる。
【0181】すなわち、この第1のセルステ−ジ81
は、上記演算制御部125からの認識信号に基づいて上
記第2のガラス基板1bのY辺に仮圧着された第2のT
AB部品2b…のうちY1、Y1の位置(図19(a)
に斜線で塗り潰して示す)を、上記圧着ブロック10
4、104の押圧面104a、104aに対向する位置
(圧着位置(1))に位置決めする。
【0182】次に、図18を参照して上記第1、第2の
エアシリンダ101、103、圧着ブロック104の動
作(ボンディング動作)を説明する。なお、図中6は異
方性導電膜(異方性導電接着剤)である。
【0183】(a)は図10に示す状態と同じで、作動
前の状態である。まず、上記ボンディングステ−ジ10
5(バックアップ)を上昇させて、このボンディングス
テ−ジ105の上面で上記第2のガラス基板1bの下面
を保持する。
【0184】この状態で上記4ポ−ト弁108が作動し
て上記第1のエアシリンダ101が作動し、上記第2の
エアシリンダ103および上記圧着ブロック104を下
降駆動する。このときの上記圧着ブロック104の下降
速度は、上記第2のTAB部品2bあるいは第2のガラ
ス基板1aに衝撃を与えないような値に設定される。ま
た、このとき、上記第2のエアシリンダ103内はすで
に圧力Pに保たれている。
【0185】ついで、(b)に示すように、上記圧着ブ
ロック104の押圧面104aが上記第2のTAB部品
2bに当接すると、高圧シリンダである第1のシリンダ
101により、上記第2のTAB部品2bの押圧力が急
激に上昇する。上記押圧力がPに達すると、上記第2シ
リンダ101の駆動軸101aは圧縮方向に駆動される
が、上記リリ−フ弁112からエアが抜けるために、上
記圧着ブロック104の押圧力はP以上に上昇すること
はない。
【0186】同図(c)、(d)に示すように、上記第
1のシリンダ103はさらに下降し、上記第2のエアシ
リンダ101を下降駆動する。このあいだ、上記リリ−
フ弁112が作動することで、上記第2のTAB部品2
bのアウタリ−ド7は異方性導電膜6を介して上記第2
のガラス基板1bの端子に圧力Pで押し付けられる。
【0187】このことで、上記第2のTAB部品2bは
上記第2のガラス基板1bに本圧着(ボンディング)さ
れる。
【0188】ついで、上記4ポ−ト弁108を切り替
え、上記圧着ブロック104を上昇させる。そして、上
記ボンディングステ−ジ105を下降させた後、上記第
1のセルステ−ジ81を作動させて上記第2のガラス基
板1bをX方向にTAB部品2個分送り駆動し、未だ本
圧着されていない第2のTAB部品2b(図19(b)
に示すY2)を上記圧着ブロック104の押圧面104
aに対向する位置(圧着位置(2))に位置決めする。
【0189】そして、上述したのと同様の動作で上記圧
着ブロック104を駆動し、上記第2のTAB部品2b
を上記第2のガラス基板1bにボンディングする。
【0190】ついで、上記ボンディングステ−ジ105
(バックアップ)が下降駆動される。そして、上記液晶
セル1を保持する第1のセルステ−ジ81は、上記ガイ
ドレ−ル93上を移動し、この液晶セル1を上記セル反
転装置83に対向する位置(反転位置)に移送する。
【0191】なお、上記演算制御部125は、この液晶
セル1を反転位置に移送する前に図4に示す第2のル−
チンを実行する。すなわち、図14に示すように、まず
「優先権」の有無を確認する。この場合には、優先権が
未定であるとする。
【0192】したがって、上記演算制御部125は、上
記反転位置、すなわち上記第1、第2のボンディング部
82、85間に上記第2のセルステ−ジが存在しないか
を確認する。
【0193】上記第2のセルステ−ジ84が存在する場
合には、この上述した位置認識の場合と同様に、この第
1のセルステ−ジ81で保持した液晶セル1と、第2の
セルステ−ジ84で保持した液晶セル1とが干渉する恐
れがあるので、上記第2のセルステ−ジ84がこの位置
から退出するまで上記第1のセルステ−ジ81を待機さ
せる。そして、上記第2のセルステ−ジ84が退出した
ならば上記第1のセルステ−ジ81を上記反転位置に移
動させる。
【0194】以上で、図4に示す第1のガラス基板1a
のY辺に仮圧着された第2のTAB部品2b…の本圧着
(ボンディング)工程は終了する。
【0195】また、この演算制御部125は、図12の
フロチャ−トに(1)で示す工程において、上記第2の
ガラス基板1bに設けられた位置決め用+マーク57が
常に上記第1の撮像カメラ107aの視野内に収められ
るように上記第1のセルステ−ジ81の補正を行う。
【0196】すなわち、上記第1の撮像カメラ107a
で撮像される位置決め用+マーク57は、図1のモニタ
−126の撮像画面の中心に位置することが好ましい。
しかし、上記第1のセルステ−ジ81の位置決め精度に
起因して、この位置決め用+マーク57は、位置決め毎
に同図に示すようにこの撮像画像の中心からずれること
が多い。
【0197】上記演算制御部125は、過去に撮像され
た位置決め用+マーク57と撮像画像の中心位置とのず
れ量(偏差(x、y))を記憶しておいて、この過去の
デ−タに基づいて、上記位置決め用+マーク57がこの
撮像画像の中心に位置するように上記第1のセルステ−
ジ81の動きを制御するようにする。
【0198】具体的には、上記偏差量(ずれ量)の平均
値、最小2乗推定値等の統計的推定により、上記第1の
セルステ−ジ81に加える補正量を定め、その補正を加
えて上記セルステ−ジ81を位置決め駆動する。
【0199】次に、図5に示すフロ−チャ−トについて
説明する。
【0200】上記反転位置に移送された液晶セル1は、
上記第1のセルステ−ジ81によって上記セル反転装置
83の一対のT字チャック117の間に挿入される。つ
いで、上記セル反転装置83は上記T字チャック11
7、117を閉駆動すると共に真空吸着し、上記液晶セ
ル1を握持する。ついで、セル反転装置83はこのT字
チャック117、117を上昇駆動し、この液晶セル1
を上記第1のセルステ−ジ17から上方へ離間させる。
【0201】上記セル反転装置83は、上記液晶セル1
を所定量上昇させたところで、上記T字チャック11
7、117を反転させ、上記液晶セル1を裏返し、この
間に、上記第1のセルステ−ジ81は、上記反転位置か
ら後退し、かわりに、第2のセルステ−ジ21が上記反
転位置に位置決めされる。
【0202】なお、上記第1のボンディング部82での
本圧着作業と、第2のボンディング部85での本圧着作
業とでは、本圧着するTAB部品の種類および数が異な
るために上記本圧着作業にかかる時間が異なる。例え
ば、上記TAB部品一つを本圧着するには、上記圧着ブ
ロック104で20秒以上押し付けていなければならな
い。したがって、圧着する回数が一回異なれば20秒以
上の差が生じることとなる。
【0203】また、上記第2のセルステ−ジ84は、第
2のボンディング部85での本圧着動作が終了し、その
液晶セル1を上記セル排出ユニット87に受け渡してか
らでないと、上記反転装置83から液晶セル1を受けと
ることはできない。
【0204】このため、上述したように上記第1のセル
ステ−ジ81が反転位置から後退してから上記第2のセ
ルステ−ジ84がこの反転位置に位置決めされるまでに
時間がかかる場合がある。
【0205】上記演算制御部125は、上記セル反転装
置83において、上記液晶セル1を上記第2のセルステ
−ジ84に受け渡すまでの受け渡し待ち時間t1 をカウ
ントする。
【0206】時間t2 経過後、上記第2のセルステ−ジ
84がこの反転位置に位置決めされたならば、上記反転
装置83は、反転させた液晶セル1を下降駆動し、その
液晶セル1を上記第2のセルステ−ジ84の吸着ア−ム
96上に接触させる。
【0207】そして、上記T字チャック117、117
を開駆動すると共に真空吸着を解除することで、この液
晶セル1を解放する。このことで、上記液晶セル1は上
記第2のセルステ−ジ84に受け渡される。
【0208】上記反転された液晶セル1を受け取った第
2のセルステ−ジ84は、上記ガイドレ−ル93に沿っ
て移動し、この反転位置から後退する。
【0209】以上で、この図15のフロ−チャ−トに示
した反転工程は終了する。
【0210】次に、図16に示すフロチャ−トについて
説明する。
【0211】上記第2のセルステ−ジ84は第2のボン
ディング部82に対向する位置(回転位置)に位置決め
される。ここで、上記第2のセルステ−ジ84は、上記
液晶セル1を約90°回転させ、第1のガラス基板1a
のどちらか一方のX辺を上記第2のボンディング部82
の方向に向ける。
【0212】次に、この本圧着装置は、上記第1のガラ
ス基板1bの位置認識を行うわけであるが、その前に上
記演算制御部125は、第1のル−チン(図13)を実
行する。
【0213】すなわち、この演算制御部は、まず、「優
先権」の有無を確認する。この場合には、優先権が未定
であるので、上記第1、第2のボンディング部82、8
5間(第1、第2の撮像カメラ107a、107bの下
方)に上記第1のセルステ−ジ81が存在しないかを確
認する。
【0214】存在しない場合には、上記第2のセルステ
−ジ84を移動させ、上記第1のガラス基板1aの上記
一方のX辺の位置決め用+マーク57(図9(c)に示
す)を上記第2の撮像カメラ107bの下方(位置認識
位置)に対向させ、この第2の撮像カメラ107bで上
記位置決め用マーク57を撮像する。
【0215】上記位置決め用+マーク57は、上記Y辺
の場合と同様に、このX辺の両端部にそれぞれ設けられ
ているから上記第2の撮像カメラ107bによる撮像認
識は合計2回行われることとなる。
【0216】なお、上記第1、第2のボンディング部8
2、85間に第1のセルステ−ジ81が存在する場合に
は、この第1のセルステ−ジ81で保持した液晶セル1
と上記第2のセルステ−ジ84で保持する液晶セル1と
が互いに干渉する恐れがある。このため、上記演算制御
部125は、第1のステ−ジ81が上記第1、第2のボ
ンディング部82、85間から退出するまで、上記第2
のセルステ−ジ84を待機させる。そして、上記第1の
セルステ−ジ81が退出したならば、上述したように、
第2の撮像カメラ107bによる位置決め用+マーク5
7の撮像認識を行う。
【0217】なお、この位置認識工程((1)で示す)
においても、上記第2のガラス基板1bへの本圧着の場
合と同様に、上記第1のガラス基板1aに設けられた位
置決め用+マーク57が常に上記第2の撮像カメラ10
7bの視野内に収められるように上記第2のセルステ−
ジ84の補正を行う。
【0218】このことで、上記第2の撮像カメラ107
bは、常にモニタ−の撮像画像の中心位置近くで上記位
置決め用+マーク57をとらえることができる。
【0219】次に、上記演算制御部125は第2のル−
チン(図14)を実行する。
【0220】すなわち、上記演算制御部125は、第2
の撮像カメラ107bからの撮像信号に基づいて、上記
位置決め用+マーク57の位置を検出し、上記第1のガ
ラス基板1aの位置ずれ量を演算する。そして、この位
置ずれ量と上記第2のセルステ−ジ84の位置決め精度
とを比較する。
【0221】上記ずれ量が、上記位置決め精度よりも小
さい場合には、この補正によってかえって上記第1のガ
ラス基板1aのずれ量が大きくなる恐れがある。したが
って、補正を加えないで以下の本圧着動作(ボンディン
グ)を行わせる。
【0222】また、上記ずれ量が第2のセルステ−ジ8
4の位置決め精度よりも大きい場合には、上記第2のセ
ルステ−ジ84に補正を加えて、以下の本圧着動作を行
わせる。
【0223】すなわち、この第2のセルステ−ジ84
は、上記演算制御部125からの認識信号に基づいて上
記第1のガラス基板1aのX辺に仮圧着された第1のT
AB部品2a…のうちX1、X1の位置(図19(c)
に斜線で塗り潰して示す)を、上記圧着ブロック10
4、104の押圧面104a、104aに対向する位置
(圧着位置(1))に位置決めする。
【0224】そして、上記第2のボンディング部22
は、このX1、X1に位置する第1のTAB部品2a…
の本圧着(ボンディング)を行う。この本圧着動作はす
でに説明した第1のボンディング部82の動作と同じな
のでその説明は省略する。
【0225】次に、上記第2のセルステ−ジ84は、こ
の第1のガラス基板1aをX方向に上記第1のTAB部
品2aの2個分だけ移動させ、図19(d)にX2、X
2で示す第1のTAB部品2a…を上記圧着ブロック1
04の下側に対向位置決めする。なお、この位置決め
も、上記第2のル−チンで補正を行うことを決定した場
合には、補正を加えつつ行う。
【0226】そして、この第2のボンディング部85
は、この部分の第1のTAB部品2aについても上述し
た動作で本圧着(ボンディング)を行う。このことによ
って、液晶セル1の第1のガラス基板1aの一方のX辺
に仮圧着されたすべての第1のTAB部品2a…の本圧
着が終了する。
【0227】次に、上記第2のセルステ−ジ84は、こ
の液晶セル1を上記第2のボンディング部85から取り
出し、この位置から若干量後退させる(回転位置)。そ
して、上記第2のセルステ−ジ84はこの液晶セル1を
水平方向に180°回転させ、上記第1のガラス基板1
aの他方のX辺を上記第2のボンディング部85の方向
に向ける。
【0228】ついで、上記第2のボンディング部85は
上述したのと同様の位置決め動作およびボンディング動
作[b]で、図19(e)、(f)に示すように、X3
およびX4の位置にある第1のTAB部品2a…を順に
本圧着する。
【0229】このことにより、上記液晶セル1の互いに
対向する第1、第2のガラス基板1a、1bに仮圧着さ
れたすべての第1、第2のTAB部品2a、2bの本圧
着が終了する。
【0230】次に、上記第2のセルステ−ジ84は、上
記液晶セル1を上記第2のボンディング部85から取り
出し、上記回転位置でこの液晶セル1を水平方向に90
°回転させたのち、上記セル排出ユニット87の方向に
移送する。
【0231】このことで図16のフロ−チャ−トに示し
た第2のボンディング部82によるボンディング工程は
終了する。
【0232】次に、図17に示すフロ−チャ−トを説明
する。
【0233】上記液晶セル1は、上記第2のセルステ−
ジ84によって、上記排出ユニット87の一対の排出チ
ャック122、122間(排出位置)に挿入され位置決
めされる。ついで、上記排出チャック122、122は
閉駆動され、上記液晶セル1を握持すると共に真空吸着
する。ついで、上記排出ユニット23の排出ヘッド12
1は上昇駆動され、上記液晶セル1を上記第2のセルス
テ−ジ84の吸着ア−ム96の上面から持ち上げる。
【0234】そして、この排出ユニット87は上記X駆
動部120を作動させて上記排出ヘッド115を駆動
し、上記液晶セル1を図示しないコンベア上に載置す
る。そして、このコンベアは、この液晶セル1を図示し
ない製品組み立て装置に移送する。
【0235】ついで、上記排出ユニット87の排出ヘッ
ド115は元に位置に復帰させられ、次の液晶セル1を
排出するために排出位置で待機する。
【0236】このことで、図17に示した排出工程は終
了する。
【0237】なお、上記第2のセルステ−ジ84は、上
記排出ユニット87に液晶セル1を受け渡したならば、
上記反転位置(反転装置83)に移動させられ、この反
転位置で上記反転装置83から上記第1のボンディング
部82での本圧着を終えた液晶セル1を受けとる。
【0238】この場合にも、上記演算制御部125は、
図13に示す第1のル−チンを行い、上記反転位置に上
記第1のセルステ−ジ81が存在しないかを確認する。
なお、この第2のセルステ−ジ84が優先権を有する場
合には、このような確認は行わない。
【0239】また、上記演算制御部125は、上記第2
のセルステ−ジ84が、上記排出ユニット87に液晶セ
ル1を受け渡してから、上記反転位置で新たな液晶セル
1を受け取るまでの、受け取り待ち時間t2 をカウント
する。
【0240】このことにより、図17に示すフロ−チャ
−トは終了する。
【0241】このような仮圧着工程および本圧着工程
は、複数の液晶セル1…について繰り返し、連続的に行
われ、自動的に大量の液晶パネルを製造できるようにな
っている。
【0242】次に、上記本圧着装置16における演算処
理部125による「優先権」の決定および、その優先権
に基づく制御について説明する。
【0243】上述したように、この演算処理部125
は、上記反転装置83での受け渡し待ち時間t1 と、上
記第2のセルステ−ジ84が液晶セル1を排出してから
この反転位置で次の液晶セル1を受け取るまでの受け取
り時間t2 とをカウントする。
【0244】t1 >t2 の場合には、上記第1のボンデ
ィング部82での本圧着時間よりも上記第2のボンディ
ング部85での本圧着時間の方が長いことを意味し、t
1<t2 の場合には、第1のボンディング部82での本
圧着時間よりも第2のボンディング部85での本圧着時
間の方が短いことを意味する。
【0245】上記演算処理部125は、t1 >t2 の場
合には、第2のボンディング部82および上記第2のセ
ルステ−ジ84に「優先権」を与える。また、t1 <t
2の場合には、第1のボンディング部82および第1の
セルステ−ジ81に「優先権」を与える。
【0246】上記演算制御部125は、上述した「優先
権未定」の状態で本圧着工程を何度か行うことで、上記
時間t1 および時間t2 を監視し、その工程における
「優先権」をどちらに与えるかを決定する。
【0247】本実施例の場合には、上記第1のボンディ
ング部82が行う第2のガラス基板1bへの第2のTA
B部品2bの本圧着と第2のボンディング部85が行う
第1のガラス基板1aへの第1のTAB部品2aの本圧
着とを比較すると、上記第2のボンディング部85で行
う本圧着のほうがボンディング点数が多い。
【0248】したがって、t1 >t2 となることが明ら
かであり、上記第2のボンディング部85および第2の
セルステ−ジ84に優先権が付与されることとなる。
【0249】次に、この優先権の内容について説明す
る。
【0250】この優先権が上記第2のセルステ−ジ84
(第2のボンディング部85)に与えられた場合には、
上記第2のセルステ−ジ84を上記第1、第2のボンデ
ィング部82、85間に移動させる場合にでも、その位
置に第1のセルステ−ジ81が存在するかの確認は行わ
れない。
【0251】一方、優先権のない上記第1のセルステ−
ジ81を上記第1、第2にボンディング部82、85間
に移動させる場合には、その位置に上記第2のセルステ
−ジ84が存在するかの確認を行い、存在する場合に
は、上記第2のセルステ−ジ84がその位置から退出す
るまで、待機する。
【0252】さらに、上記演算制御部125は、上記第
2のボンディング部85での作業状況を監視し、優先権
を持つ上記第2のセルステ−ジ84が近く上記第1、第
2のボンディング部82、85間に移動する予定がある
場合には、やはり、上記第1のセルステ−ジ84を上記
第1、第2のボンディング部82、85間に移動させ
ず、待機させる。
【0253】そして、上記第2のセルステ−ジ84に保
持された液晶セル1についての位置認識が終了し、この
第2のセルステ−ジ84がこの位置から退出したなら
ば、上記第1のセルステ−ジ81を上記第1、第2のボ
ンディング部82、85間に移動させるようにする。
【0254】すなわち、本圧着作業により長い時間を要
する第2のボンディング部85(第2のセルステ−ジ8
4)に優先権を与えることで、この第2のボンディング
部85の本圧着時間にさらに位置認識およびセル受取り
のための待ち時間が積算されることを防止するのであ
る。これが優先権の内容である。
【0255】以上述べた液晶パネル製造装置(仮圧着装
置15、本圧着装置16)によれば、以下に説明する効
果がある。
【0256】まず、このような構成によれば、液晶セル
1の反転を含めた液晶セル1への第1、第2のTAB部
品2a、2bの仮圧着および本圧着の全工程を全自動
(フルオ−ト)で、かつ複数の液晶セル1について連続
的に行える効果がある。
【0257】また、自動の液晶セル反転装置72、83
を具備しているため、図20に示す単純マトリックス液
晶パネルのように配線パタ−ンの端子が一対のガラス基
板1a、1bの対向面にそれぞれ形成されている場合で
も、途中で人手による反転や仮圧着装置15と本圧着装
置16間の受け渡しのための段取り替えの作業を挟むこ
となく、連続的にすべてのTAB部品2a、2bの仮圧
着および本圧着を行うことができる。
【0258】さらに、上記液晶セル1の搬送を、この液
晶セル1の下面を吸着保持して行うようにしたので、上
記液晶セル1を落して破損させたりすることがなく、接
続に悪影響が少ない。
【0259】したがって、生産性を向上させることがで
きると共に、作業者による部品(TAB部品2a、2b
や液晶セル1)の取扱いミスにより製品が破損すること
が少なくなる。
【0260】また、従来、液晶セル1のボンディング位
置を機械的に位置決めしていたのにくらべ、この位置決
めを上記第1、第2のガラス基板1a、1b上に形成さ
れた位置決めマーク57を撮像カメラ(58、62、1
07a、107b)で認識して行うようにしたので、よ
り高精度な位置決めを行うことが可能になる。このこと
により、より高密度かつ高品質の製品を製造することが
できる効果がある。
【0261】また、上記仮圧着装置15によれば、以下
の効果がある。
【0262】上記第1、第2のTAB部品2a、2bと
第1、第2のガラス基板1a、1bの位置合わせを、ま
ず、第1の撮像カメラ58を用いて液晶セル1(ガラス
基板1a、1b)全体の位置決めを行い、次に位置認識
光学系60を用いて上記ガラス基板1a、1bの配線パ
タ−ンの端子と上記第1、第2のTAB部品2a、2b
のアウタリ−ド7とを精密に位置合わせした。
【0263】したがって、人手で位置合わせを行う場合
にくらべ、位置合わせミスを少なくできると共に、位置
合わせ精度の向上および均一化、高速化を図ることがで
きる効果がある。
【0264】また、上記第1、第2のTAB部品2a、
2bに貼着された異方性導電膜6の離型紙6a剥離動
作、上記第1、第2のTAB部品2a、2bの仮位置決
め、液晶セル1の搬送位置決め、仮圧着動作を各々並行
して同時に行うことができるため、大幅な作業時間の短
縮となる。
【0265】さらに、従来は人手によって一つづつ異方
性導電膜6の離型紙6aを剥離していたため、自動機で
仮圧着をすることができなかったが、離型紙6aの剥離
を自動で行うことにより自動機による仮圧着が可能とな
った。
【0266】これらのことにより、上記ガラス基板1
a、1bの端子に塵埃が付着したり、このガラス基板1
a、1bを破損させることが少なくなり、かつ生産性が
大幅に向上する効果がある。
【0267】次に、上記本圧着装置16によれば、以下
に説明する効果がある。
【0268】この本圧着装置16の上記第1のエアシリ
ンダ101は高圧用シリンダなので、上記圧着ブロック
104をゆっくりと下降させても、上記圧着ブロック1
04の押圧力は瞬時に所定の圧力Pに達する。また、こ
れ以後は上記リリ−フ弁112が作動することにより、
上記圧着ブロック104の押圧力は常時Pに保たれるの
で、P以上の圧力で上記第1、第2のTAB部品2a、
2bを押さえ付けることはない。
【0269】このことにより、上記第1、第2のTAB
部品2a、2bに衝撃を与えることがなくかつ瞬時に押
圧力を上昇させることができるので、熱による上記第
1、第2のTAB部品2a、2bのフィルムキャリア4
の膨脹を有効に押さえることができる。また、上記第
1、第2のTAB部品2a、2bや第1、第2のガラス
基板1a、1bに衝撃を与えたりP以上の大圧力で押圧
することが防止されるので、この上記第1、第2のTA
B部品2a、2bや第1、第2のガラス基板1a、1b
を破損させることが少ない。
【0270】一方、上記本圧着装置16は、上記第1、
第2のガラス基板1a、1bの一辺(X辺、Y辺)に並
列に並べられて仮圧着された複数の第1、第2のTAB
部品2a、2b…を2回に別けて本圧着するようにした
ので、上記第1のTAB部品2a…の間隔および第2の
TAB部品2b…の間隔がそれぞれ狭い場合にでも、そ
れらのTAB部品2a、2bを効率的にかつ精度良く本
圧着することが可能である。
【0271】また、この装置は、第1、第2のボンディ
ング部82、85を設け、この各ボンディング部82、
85に設けられた第1、第2のセルステ−ジ81、84
間で液晶セル1の受け渡しをすることにしたが、上記第
1、第2のセルステ−ジ81、84は、同一ガイドレ−
ル93上を移動するようにすると共に上記第1、第2の
ボンディング部82、85間に、上記第1、第2のセル
ステ−ジ81、84上から上記液晶セル1を持ち上げる
ことができる装置(反転装置83)を設けた。
【0272】したがって、この装置で上記液晶セル1を
上下させると共に、上記第1、第2のセルステ−ジ8
1、84を上記ガイドレ−ル93上でそれぞれ往復移動
させるのみで、上記液晶セル1の受け渡しを行える。こ
のことにより上記液晶セル1を持ち上げてから移送する
等の動作が不要となり、構成が簡略化しかつ液晶セル1
を移送中に落とすということもないから液晶パネルの破
損も防止できる。
【0273】次に、上記仮圧着装置15および本圧着装
置16に設けられた演算制御部125の制御による効果
を以下に説明する。
【0274】まず、上記本圧着装置16は、2種類の第
1、第2のTAB部品2a、2bを本圧着するものであ
るために、これに対応する2つの第1、第2のボンディ
ング部82、85を設け、かつこの第1、第2のボンデ
ィング部82、85とを近接させて装置全体のコンパク
ト化を図っている。
【0275】さらに、第1、第2のセルステ−ジ81、
84を同一のガイドレ−ル93上を移動させることによ
って構成の簡略化を図ると共に、位置認識のため第1、
第2の撮像カメラ107a、107bおよび反転のため
の反転装置83を上記第1、第2のボンディング部間に
設けて、省スペ−ス化を図っている。
【0276】しかし、このような構成においては、上記
液晶セルの位置認識および反転の際に、上記第1、第2
のボンディング部82、85の間のスペ−スで上記第
1、第2のセルステ−ジ81、84どうし、あるいは、
これらに保持された液晶セル1、1どうしが干渉するお
それがある。
【0277】このような場合に、上記第1、第2のセル
ステ−ジ81、84の動きに何等の規制を行わないとき
には、より本圧着に長かかる上記第2のボンディング部
82の第2のセルステ−ジ84の動きが、上記第1のボ
ンディング部81における液晶セル1の位置認識等の動
作により制限される事態が生じる。
【0278】このことにより、この本圧着装置16にお
ける本圧着時間が伸びて、製品製造のタクトタイムを短
縮することの妨げになるということがある。
【0279】しかし、この発明においては、より本圧着
に時間のかかる第2のボンディング部82および第2の
セルステ−ジ84に「優先権」を与え、この第2のセル
ステ−ジ84を、上記第1のボンディング部82の第1
のセルステ−ジ81よりも優先させて作動させるように
した。
【0280】このことで、上記第2のボンディング部8
4における本圧着時間が伸びることが少ないので、結局
本圧着全体にかかる時間を短縮することができる。この
ことで、生産効率を向上させることができる効果があ
る。
【0281】第2に、上記仮圧着装置15および本圧着
装置16において、上記制御部125は、上記液晶セル
1やこの液晶セル1に設けられた配線パタ−ンの端子の
位置ずれ量と、各セルステ−ジ19、81、84の位置
決め精度とを比較し、この位置決め精度より上記液晶セ
ル1の位置ずれ量が小さい場合には、上記液晶セル1や
端子の位置ずれ補正を行わないようにした。
【0282】このことにより、上記液晶セル1の位置決
めや端子とアウタリ−ド7との位置合わせより高精度で
行えるから、上記第1、第2のTAB部品2a、2bの
仮圧着および本圧着にミスが生じることが少なくなる効
果がある。
【0283】第3に、上記演算制御部125は、過去の
位置決め用+マーク57の撮像デ−タに基づいて、上記
液晶セル1の位置決め用+マーク57が撮像画像の中心
位置近くで捕らえることができるように上記液晶セル1
を保持する上記セルステ−ジ19、81、84の移動経
路を適宜補正するようにした。
【0284】このことで、上記セルステ−ジ19、8
1、84による位置決め位置に経時的にずれが生じた場
合にでも、それを適宜補正することができるので、上記
位置決め用+マーク57を撮像することができず上記液
晶セル1の位置認識を行えないといった事態が発生する
ことが防止できる。このことにより、より長時間の連続
稼働が可能になる効果がある。
【0285】なお、この発明は、上記一実施例に限定さ
れるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲で種々
変形可能である。
【0286】例えば、上記一実施例の仮圧着装置15で
は、上記第1、第2のTAB部品2a、2bをフィルム
キャリア4から打ち抜き成形する機構を具備していた
が、これに限定されるものではなく、すでに成形された
第1、第2のTAB部品2a、2bをトレイ等に収納保
持し、このトレイから順次取り出して上記TAB部品搬
送機構23に供給するようにしても良い。
【0287】さらに、上記一実施例の仮圧着装置15で
は、上記異方性導電膜6は上記TAB部品2を上記フィ
ルムキャリア4から打ち抜き成形する前にすでに離型紙
6a付きの状態で上記フィルムキャリア4に貼着されて
いたが、これに限定されるものではない。
【0288】例えば、上記異方性導電膜6を上記仮圧着
ステ−ジDに位置決めする直前に上記第1、第2のTA
B部品2a、2bのアウタリ−ド7に貼着するようにし
ても良い。この場合には、上記離型紙6a付きでない異
方性導電膜6´(図示しない)を使用することができ
る。このため上記離型紙剥離装置は不要になる。
【0289】また、上記異方性導電膜6を上記液晶セル
1を構成する第1、第2のガラス基板1a、1b側に貼
着するようにしても良い。このようにした場合には、上
記セルステ−ジ19の側方に離型紙剥離装置を設け、上
記セルステ−ジ19を回転させることで、順次上記異方
性導電膜6から上記離型紙6aを剥離するようにすれば
良い。
【0290】また、上記一実施例の本圧着装置16で
は、2つの圧着ブロック104を併設したが、比較的小
さな液晶パネルを製造する場合には、一つの圧着ブロッ
ク104のみであっても良い。
【0291】この場合でも、上記一つの圧着ブロック1
04は、第1、第2のエアシリンダ101、103によ
って駆動するようにすれば、上記第1、第2のTAB部
品2a、2b…を上記第1、第2のガラス基板1a、1
bに良好に本圧着することができる。
【0292】また、上記一実施例の本圧着装置では、上
記圧着ブロック104は、TAB部品2個分の長さを有
する押圧面104aを有し、かつ互いに上記TAB部品
2個分離間して2つ設けられていたが、これに限定され
るものではなく、本接合される第1、第2のTAB部品
2a、2bの大きさ、個数および接合密度により自由に
決定しても良い。
【0293】例えば、圧着ブロック104はTAB部品
1個分の長さの押圧面104aを有し、かつ互いにTA
B部品3個分離間して3つ以上並列に設けるようにして
も良い。
【0294】また、上記一実施例では、上記第1、第2
のエアシリンダ101、103を制御するために図2に
示すような空圧回路を用いたが、これに限定されるもの
ではなく、他の制御回路によって制御するようにしても
良い。
【0295】さらに、上記一実施例では、上記仮圧着装
置15と本圧着装置16との間で、液晶セル1の受け渡
しを行う機構として、受け渡しユニット78を設けた
が、これに限定されるものではない。
【0296】例えば、図20に示すような機構であって
も良い。
【0297】図20(a)中17は、仮圧着装置15の
架台であり、80は本圧着装置16の架台である。両装
置の架台は、図にEで示す部分で接続されている。ま
た、この架台17、80上に設けられたガイドレ−ル1
27は両装置に亘って一体連続的に設けられたもので、
このガイドレ−ル127には、仮圧着装置15のセルス
テ−ジ19と、上記本圧着装置16の第1のセルステ−
ジ81とが、独立的に移動自在に設けられている。
【0298】そして、上記仮圧着装置15の架台17上
には受け渡しユニット128が設けられている。この受
け渡しユニット128は、上記架台17上に略垂直に立
設されたガイド129と、このガイド129に沿って上
下自在に設けられたスライダ130と、このスライダ1
30に開閉自在に設けられた一対のT字チャック13
1、131とからなる。
【0299】次に、この機構の動作について説明する。
【0300】図20(a)に示すように、上記仮圧着装
置15のセルステ−ジ19には、上記第1、第2のTA
B部品2a、2b(図示しない)の仮圧着が終了した液
晶セル1が保持されている。次に、上記仮圧着装置15
のセルステ−ジ19は、上記ガイドレ−ル127上を上
記受け渡しユニット128の方向に移動し、上記液晶セ
ル1を上記受け渡しユニット128の一対のT字チャッ
ク131、131間に挿入する。
【0301】ついで、上記T字チャック131、131
は閉駆動され、上記液晶セル1を握持すると共に、上記
セルステ−ジ19の吸着ア−ム36は、上記液晶セル1
の吸着を解除する。
【0302】上記受け渡しユニット128は、上記スラ
イダ130を上昇させることで、上記液晶セル1をこの
セルステ−ジ19から持ち上げる。
【0303】上記仮圧着装置15のセルステ−ジ19
は、この位置から退出し、かわりに上記本圧着装置16
の第1のセルステ−ジ81が上記受け渡しユニット12
8によって持ち上げられた液晶セル1の下側に位置決め
される。
【0304】上記受け渡しユニット128は、下降し、
上記第1のセルステ−ジ81の吸着ア−ム36上に上記
液晶セル1を載置した後、上記T字チャック131、1
31による握持を解除する。
【0305】上記第1のセルステ−ジ81の吸着ア−ム
96は上記液晶セル1を吸着保持し、この液晶セル1の
受け渡しが終了する。
【0306】このような構成によれば、受け渡しのため
の機構の構成および受け渡し動作が簡略化されるので、
装置のコンパクト化が図れると共に、受け渡しの高速化
および確実化を図ることがきる効果がある。
【0307】なお、この場合、上記仮圧着装置15の演
算制御部66と上記本圧着装置16の演算制御部125
とを接続し、両装置15、16間で上記一実施例で説明
したのと同様の性格を有する「優先権」を定めるように
しても良い。
【0308】このようにすれば、仮圧着装置と本圧着装
置とで、より作業時間が長い方の装置を優先させること
ができ、結果として装置の高速化を図ることができる効
果がある。
【0309】また、上記一実施例では、請求項7〜請求
項9記載の位置決め装置および加工装置を液晶パネル製
造装置(仮圧着装置15、本圧着装置16)に適用した
が、この用途に限定されるものではなく、他の用途、例
えば半導体パッケ−ジの製造装置等にも用いることがで
きる。
【0310】また、上記一実施例では、位置合わせ用目
印として、位置決め用+マーク57を用いたが、これに
限定されるものではなく、星形状のマークであっても良
いし、上記第1、第2の透明基板1a、1bに設けられ
た端子を位置合わせ用目印として用いるようにしても良
い。
【0311】また、上記一実施例では、単純マトリック
ス液晶パネルの製造について説明したがこれに限定され
るものでない。アクティブマトリックス液晶パネルの製
造に適用することもできる。
【0312】このアクティブマトリックス液晶パネルに
用いる液晶セルは、上記単純マトリックス液晶パネルと
同様に一対の透明基板により構成されているものである
が、上記単純マトリックス液晶パネルの場合と異なり上
記一対の透明基板のうちの一方にしか液晶駆動用ICが
取り付けられない。
【0313】したがって、このアクティブマトリックス
液晶パネルを製造する場合には、上記一実施例に示した
反転動作は不要となり、上記一実施例の反転装置72、
83、は、上記液晶セルを反転させず受け渡しのみを行
うこととなる。
【0314】また、上記一実施例では、上記液晶セル1
に種類の異なる第1、第2のTAB部品4a、4bを接
続したが、これに限定されるものではなく、上記第1、
第2の透明基板1a、1bに接続されるTAB部品は同
じ種類、すなわち一種類のみであっても良い。
【0315】さらに、上記一実施例では、上記液晶セル
1を構成する一対の基板は両基板ともに透明ガラス基板
1a、1bであったが、これに限定されるものではな
く、片方の基板は不透明(反射板)であっても良い。
【0316】
【発明の効果】以上述べたように、この発明の第1の構
成は、キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形され
た液晶駆動用ICを順次供給する部品供給機構と、この
部品供給機構と並設され、互いに対向する一対の基板を
有する液晶セルを収納し、この液晶セルを順次給出する
セル供給機構と、このセル供給機構から給出された上記
液晶セルを保持し、この液晶セルの基板に設けられた端
子を所定の仮圧着位置に位置決めする仮圧着用のセルス
テ−ジと、上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを
受取り、この液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液
晶駆動用IC搬送機構と、上記液晶駆動用ICのアウタ
リ−ドと上記基板に設けられた端子とを認識し、これら
の位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位置合わ
せされた液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基板の端
子が設けられた部位とを接合材を介して押圧し仮圧着す
る仮圧着機構と、上記基板に液晶駆動用ICが仮圧着さ
れてなる液晶セルを受け取ると共に、この液晶セルをX
Yθ方向に駆動する本圧着用のセルステ−ジと、上記基
板に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像手段
と、上記撮像手段からの撮像信号に基づき、上記基板に
仮圧着されている上記液晶駆動用ICを本圧着するボン
ディング機構と、上記基板に液晶駆動用ICが本圧着さ
れたのに基づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを
受取り、この液晶セルを排出位置に移送する排出手段と
を具備する液晶パネル製造装置である。
【0317】第2の構成は、キャリアテ−プから個々に
打ち抜かれて成形された液晶駆動用ICを順次供給する
部品供給機構と、この部品供給機構と並設され、互いに
対向する一対の基板を有する液晶セルを収納し、この液
晶セルを順次給出するセル供給機構と、このセル供給機
構から給出された上記液晶セルを保持し、この液晶セル
の一対の基板のうち、どちらか一方の基板の端子を所定
の仮圧着位置に位置決めする仮圧着用のセルステ−ジ
と、上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取
り、この液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆
動用IC搬送機構と、上記液晶駆動用ICのアウタリ−
ドと上記基板の端子とを認識し、これらの位置合わせを
行う位置合わせ手段と、互いに位置合わせされた液晶駆
動用ICのアウタリ−ドと基板の端子が設けられた部位
とを接合材を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構と、上
記一方の基板の端子に液晶駆動用ICが仮圧着されたの
に基づき、上記液晶セルを反転させる反転機構と、上記
一方および他方の基板の端子に液晶駆動用ICが仮圧着
されてなる液晶セルを受け取ると共に、この液晶セルを
XYθ方向に駆動する本圧着用のセルステ−ジと、上記
一対の基板のうちどちらか一方の基板に設けられた位置
合わせ用目印を撮像する撮像手段と、上記撮像手段から
の撮像信号に基づき、上記一方の基板に仮圧着されてい
る上記液晶駆動用ICを本圧着するボンディング機構
と、上記一方の基板に液晶駆動用ICが本圧着されたの
に基づき、その液晶セルを反転させる反転手段と、上記
両方の基板に液晶駆動用ICが本圧着されたのに基づ
き、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、この
液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備する液
晶パネル製造装置である。
【0318】第3の構成は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用液晶駆動用ICを仮圧着する液晶パネル製造
装置において、キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて
成形された液晶駆動用ICを順次供給する部品供給機構
と、この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容
し、この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、この
セル供給機構から給出された上記液晶セルを支持し、こ
の液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧着位置
に粗位置決めするセルステ−ジと、上記部品供給機構か
ら上記液晶駆動用ICを受取り、この液晶駆動用ICを
仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用IC搬送機構と、上記
液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基板に設けられた
端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合わせ
手段と、互いに位置合わせされた液晶駆動用ICのアウ
タリ−ドと上記基板の端子の設けられた部位とを接合材
を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備する液晶
パネル製造装置である。
【0319】第4の構成は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用液晶駆動用ICを仮圧着する液晶パネル製造
装置において、アウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電
膜が貼着され、かつキャリアテ−プから個々に打ち抜か
れて成形された液晶駆動用ICを順次供給する部品供給
機構と、この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを
収容し、この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、
このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
し、この液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧
着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、上記部品供給
機構から上記液晶駆動用ICを受取り、この液晶駆動用
ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用IC搬送機構
と、この液晶駆動用IC搬送機構の搬送経路途中に配置
され、上記液晶駆動用ICの異方性導電膜から上記離型
紙を剥離する離型紙剥離機構と、上記液晶駆動用ICの
アウタリ−ドと上記基板に設けられた端子とを認識し、
これらの位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位
置合わせされた液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基
板の端子が設けられた部位とを上記異方性導電膜を介し
て押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備する液晶パネル
製造装置である。
【0320】第5の構成は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動
用ICを仮圧着する液晶パネル製造装置において、キャ
リアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶駆動
用ICを順次供給する部品供給機構と、この部品供給機
構と並設され、上記液晶セルを収容し、この液晶セルを
順次給出するセル供給機構と、このセル供給機構から給
出された上記液晶セルを支持し、この液晶セルの一対の
基板のうち、どちらか一方の基板に設けられた端子を所
定の仮圧着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、上記
部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取り、この液
晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用IC搬
送機構と、上記液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基
板の端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合
わせ手段と、互いに位置合わせされた液晶駆動用ICの
アウタリ−ドと基板の端子が設けられた部位とを接合材
を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構と、上記一方の基
板の端子に液晶駆動用ICが仮圧着されたのに基づき、
上記液晶セルを反転させる反転機構とを具備する液晶パ
ネル製造装置である。
【0321】第6の構成は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動
用ICを仮圧着する液晶パネル製造装置において、アウ
タリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着され、かつ
キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶
駆動用ICを順次供給する部品供給機構と、この部品供
給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、この液晶セ
ルを順次給出するセル供給機構と、このセル供給機構か
ら給出された上記液晶セルを支持し、この液晶セルの一
対の基板のうち、どちらか一方の基板に設けられた端子
を所定の仮圧着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、
上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取り、こ
の液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用I
C搬送機構と、この液晶駆動用IC搬送機構の搬送経路
途中に配置され、上記液晶駆動用ICの異方性導電膜か
ら上記離型紙を剥離する離型紙剥離機構と、上記液晶駆
動用ICのアウタリ−ドと上記基板の端子とを認識し、
これらの位置合わせを行う位置合わせ手段と、互いに位
置合わせされた液晶駆動用ICのアウタリ−ドと基板の
端子が設けられた部位とを上記異方性導電膜を介して押
圧し仮圧着する仮圧着機構と、上記一方の基板の端子に
液晶駆動用ICが仮圧着されたのに基づき、上記液晶セ
ルを反転させる反転機構とを具備する液晶パネル製造装
置である。
【0322】第7の構成は、液晶セルを構成する基板に
液晶駆動用ICを本圧着する液晶パネルの製造装置にお
いて、上記基板に上記液晶駆動用ICが仮圧着されてな
る液晶セルを保持すると共にこの液晶セルをXYθ方向
に駆動するセルステ−ジと、上記基板に設けられた位置
合わせ用目印を撮像する撮像手段と、上記撮像手段から
の撮像信号に基づいて駆動位置決めされた基板に仮圧着
されている上記液晶駆動用ICを本圧着するボンディン
グ部と、上記基板に液晶駆動用ICが本圧着されたのに
基づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、
この液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備す
る液晶パネル製造装置である。
【0323】第8の構成は、液晶セルを構成する一対の
基板に形成された各端子に、それぞれ液晶駆動用ICを
本圧着する液晶パネルの製造装置において、上記一対の
基板に上記液晶駆動用ICが仮圧着されてなる液晶セル
を保持すると共にこの液晶セルをXYθ方向に駆動する
セルステ−ジと、上記一対の基板のうちどちらか一方の
基板に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像手段
と、上記撮像手段からの撮像信号に基づいて駆動位置決
めされた一方の基板に仮圧着されている上記液晶駆動用
ICを本圧着するボンディング部と、上記一方の基板に
液晶駆動用ICが本圧着されたのに基づき、その液晶セ
ルを反転させる反転手段と、上記両方の基板に液晶駆動
用ICが本圧着されたのに基づき、上記セルステ−ジか
ら上記液晶セルを受取り、この液晶セルを排出位置に移
送する排出手段とを具備する液晶パネル製造装置であ
る。
【0324】第9の構成は、第7あるいは第8の構成に
おいて、上記ボンディング部は、基板の端子に液晶駆動
用ICを接合材を介してボンディングする圧着ブロック
と、この圧着ブロックを保持しこの圧着ブロックを所定
のボンディング圧力で加圧する加圧用シリンダと、この
加圧用シリンダを上記ボンディング圧力よりも高い圧力
で上下駆動可能な上下駆動用シリンダとを具備する液晶
パネル製造装置である。
【0325】第10の構成は、第7の構成あるいは第8
の構成において、上記ボンディング部は、少なくとも一
つの液晶駆動用ICの接合幅に対応する押圧面を有しか
つ互いに少なくとも一つの液晶駆動用ICの接合幅以上
離間して設けられた少なくとも2以上の圧着ブロック
と、この圧着ブロックと上記基板とを相対的に移動させ
て上記圧着ブロックの押圧面を未だボンディングされて
いない液晶駆動用ICに順次対向させる駆動手段とを具
備するものである液晶パネル製造装置である。
【0326】第11の構成は、実装基板を保持すると共
に、任意の位置に位置決め駆動する位置決め駆動手段
と、上記位置決め駆動手段の駆動経路に設けられ、上記
実装基板に設けられたマークあるいは端子を撮像する撮
像手段と、上記撮像手段により撮像された画像から上記
マークあるいは端子を検出する画像処理装置と、この画
像処理装置による画像処理結果により上記実装基板のず
れを求め、このずれ量と上記位置決め駆動手段の位置決
め誤差量とを比較し、この誤差量よりも上記ずれ量が大
きい場合にのみ上記駆動手段に命令を発し、上記実装基
板の位置を補正する演算制御部とを具備する位置決め装
置である。
【0327】第12の構成は、互いに隣り合って設けら
れ、被加工物に加工を施す少なくとも2以上の加工部
と、上記複数の加工部にそれぞれ設けられ、上記被加工
物を搬送位置決めする複数のステ−ジと、上記加工部間
に設けられ、加工部で加工された被加工物をその加工部
に設けられたステ−ジから受けとり、次の加工部に設け
られたステ−ジに受け渡す受け渡し機構と、上記加工部
のステ−ジと次の加工部のステ−ジとが互いに干渉する
位置に移動する場合には、上記加工部に設けられたステ
−ジから基板を受けとって保持し次の加工部に設けられ
たステ−ジに受け渡すまでの時間と上記次の加工部での
加工が終了してから上記被加工物を受けとるまでの時間
とを比較して、前者が後者より長い場合には、上記加工
部のステ−ジを優先的に移動させ、後者が長い場合に
は、次の加工部のステ−ジを優先的に移動させる制御部
と、を具備する被加工物の加工装置である。
【0328】第13の構成は、実装基板を保持し位置決
め駆動する駆動機構と、この駆動機構により保持された
実装基板に設けられたマークあるいは端子を撮像する撮
像手段と、上記撮像手段により撮像されたマークあるい
は端子と、この画像中心とのずれを検出する検出手段
と、過去に上記検出手段により検出されたずれ量に基づ
いて上記駆動機構の駆動経路を補正する制御手段とを具
備する位置決め装置である。
【0329】第1の構成によれば、液晶セルを構成する
基板に複数個の液晶駆動用ICを仮圧着および本圧着す
る場合において、必要な一連の作業をすべて自動化し、
それによって作業時間の短縮化と精度の向上を図ること
ができる。
【0330】第2の構成によれば、液晶セルを構成する
一対の基板の両方に複数個の液晶駆動用ICを仮圧着お
よび本圧着する場合において、必要な一連の作業をすべ
て自動化し、それによって作業時間の短縮化と精度の向
上を図ることができる。
【0331】第3、第4の構成によれば、液晶セルを構
成する基板に複数個の液晶駆動用ICを仮圧着する場合
において、必要な一連の作業をすべて自動化し、それに
よって作業時間の短縮化と精度の向上を図ることができ
る。
【0332】第5、第6の構成によれば、液晶セルを構
成する一対のガラス基板の両方に複数個の液晶駆動用I
Cを仮圧着する場合において、必要な一連の作業をすべ
て自動化し、それによって作業時間の短縮化と精度の向
上を図ることができる。
【0333】第7、第8の構成によれば、液晶セルを構
成する一対の基板の両方に複数個の液晶駆動用ICを本
圧着する場合において、必要な一連の作業をすべて自動
化し、それによって作業時間の短縮化と精度の向上を図
ることができる。
【0334】第9の構成によれば、液晶駆動用ICの膨
脹を防止できると共にこのICや基板を破損させること
がなくなるので、より良好な液晶パネルを製造すること
ができる。
【0335】第10の構成によれば、液晶セルに複数の
液晶駆動用ICが狭い間隔で実装される場合であって
も、それらを精度良くかつ効率的に本圧着することがで
き、それよって作業時間の短縮化と精度の向上を図るこ
とができる。
【0336】第11の構成によれば、実装基板の位置決
めをより高精度に行うことができる効果がある。
【0337】第12の構成によれば、より加工に時間が
かかる加工部を他の加工部に優先させることができるの
で、全体としての加工時間の短縮を図ることができる効
果がある。
【0338】第13の構成によれば、基板に設けられた
マークを認識できないということが少なくなるので、基
板の位置決めをより確実に行うことができる効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の一実施例の液晶パネル製造装置の全
体を示す概略構成図。
【図2】同じく、仮圧着装置を示す正面斜視図。
【図3】同じく、背面斜視図。
【図4】同じく、平面図。
【図5】(a)は、同じく単純マトリックス基板の第2
のガラス基板側から見た平面図、(b)は、第1のガラ
ス基板側から見た平面図。
【図6】(a)、(b)は、同じくモニタ−画像を示す
正面図。
【図7】同じく、仮圧着工程を示す第1のフロ−チャ−
ト。
【図8】同じく、仮圧着工程を示す第2のフロ−チャ−
ト。
【図9】同じく、本圧着装置を示す正面斜視図。
【図10】同じく、この本圧着装置の要部を示す模式
図。
【図11】同じく、受け渡しユニットから第1のセルス
テ−ジへの液晶セルの受け渡しの動作を示すフロ−チャ
−ト。
【図12】同じく、第1のボンディング部での本圧着動
作を示すフロ−チャ−ト。
【図13】同じく、第1、第2のセルステ−ジの干渉を
確認する動作を示す第1のル−チン。
【図14】同じく、液晶セルの位置決め動作を示す第2
のル−チン。
【図15】同じく、液晶セル反転ユニットにおける液晶
セルの反転動作を示すフロ−チャ−ト。
【図16】同じく、第2のボンディング部での本圧着動
作を示すフロ−チャ−ト。
【図17】同じく、セル排出ユニットによる液晶セルの
排出動作を示すフロ−チャ−ト。
【図18】(a)〜(d)は、同じく圧着ブロックの本
圧着動作を示す工程図。
【図19】(a)〜(f)は、同じくTAB部品の本圧
着工程を示す工程図。
【図20】(a)、(b)は、他の実施例を示す斜視
図。
【図21】一般的な単純マトリックス液晶パネルを示す
斜視図。
【図22】TAB部品を示す斜視図。
【図23】従来例を示す斜視図。
【図24】他の従来例を示す斜視図。
【符号の説明】
1…液晶セル、1a…第1のガラス基板(基板)、1b
…第2のガラス基板(基板)、X…端子、Y…端子、2
…TAB部品(液晶駆動用IC)、2a…第1のTAB
部品、2b…第2のTAB部品、4…フィルムキャリア
(キャリアテ−プ)、5…半導体素子、6…異方性導電
膜、7…アウタリ−ド、15…仮圧着装置(液晶パネル
製造装置)、16…本圧着装置(液晶パネル製造装
置)、、18…液晶セル供給機構、19…セルステ−
ジ、20…フィルムキャリア供給機構、21…打ち抜き
機構、D…仮圧着位置、23…TAB部品搬送機構(液
晶駆動用IC搬送機構)、24…仮圧着機構、52…離
型紙剥離機構、57…位置決め用+マーク(目印、マー
ク)、58…第1の撮像カメラ(位置合わせ手段、撮像
手段)、60…位置認識光学系(位置合わせ手段、撮像
手段)、65…画像処理装置、66…演算制御部、72
…液晶セル反転装置、78…受け渡しユニット、81…
第1のセルステ−ジ、82…第1のボンディング部、8
3…液晶セル反転装置(反転手段)、84…第2のセル
ステ−ジ、85…第2のボンディング部、87…セル排
出ユニット(排出手段)、101…第1のエアシリンダ
(上下駆動用シリンダ)、103…第2のエアシリンダ
(加圧用シリンダ)、104…圧着ブロック、107a
…第1の撮像カメラ(撮像手段)、107b…第2の撮
像カメラ(撮像手段)、124…画像処理装置、125
…演算制御部。
フロントページの続き (72)発明者 宮内 孝 神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株 式会社東芝生産技術研究所内

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて
    成形された液晶駆動用ICを順次供給する部品供給機構
    と、 この部品供給機構と並設され、互いに対向する一対の基
    板を有する液晶セルを収納し、この液晶セルを順次給出
    するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを保持
    し、この液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧
    着位置に位置決めする仮圧着用のセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取り、こ
    の液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用I
    C搬送機構と、 上記液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基板に設けら
    れた端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合
    わせ手段と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ICのアウタリ−ド
    と上記基板の端子が設けられた部位とを接合材を介して
    押圧し仮圧着する仮圧着機構と、 上記基板に液晶駆動用ICが仮圧着されてなる液晶セル
    を受け取ると共に、この液晶セルをXYθ方向に駆動す
    る本圧着用のセルステ−ジと、 上記基板に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像
    手段と、 上記撮像手段からの撮像信号に基づき、上記基板に仮圧
    着されている上記液晶駆動用ICを本圧着するボンディ
    ング機構と、 上記基板に液晶駆動用ICが本圧着されたのに基づき、
    上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、この液晶
    セルを排出位置に移送する排出手段とを具備することを
    特徴とする液晶パネル製造装置。
  2. 【請求項2】 キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて
    成形された液晶駆動用ICを順次供給する部品供給機構
    と、 この部品供給機構と並設され、互いに対向する一対の基
    板を有する液晶セルを収納し、この液晶セルを順次給出
    するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを保持
    し、この液晶セルの一対の基板のうち、どちらか一方の
    基板に設けられた端子を所定の仮圧着位置に位置決めす
    る仮圧着用のセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取り、こ
    の液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用I
    C搬送機構と、 上記液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基板の端子と
    を認識し、これらの位置合わせを行う位置合わせ手段
    と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ICのアウタリ−ド
    と基板の端子が設けられた部位とを接合材を介して押圧
    し仮圧着する仮圧着機構と、 上記一方の基板の端子に液晶駆動用ICが仮圧着された
    のに基づき、上記液晶セルを反転させる反転機構と、 上記一方および他方の基板の端子に液晶駆動用ICが仮
    圧着されてなる液晶セルを受け取ると共に、この液晶セ
    ルをXYθ方向に駆動する本圧着用のセルステ−ジと、 上記一対の基板のうちどちらか一方の基板に設けられた
    位置合わせ用目印を撮像する撮像手段と、 上記撮像手段からの撮像信号に基づき、上記一方の基板
    に仮圧着されている上記液晶駆動用ICを本圧着するボ
    ンディング機構と、 上記一方の基板に液晶駆動用ICが本圧着されたのに基
    づき、その液晶セルを反転させる反転手段と、 上記両方の基板に液晶駆動用ICが本圧着されたのに基
    づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、こ
    の液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備する
    ことを特徴とする液晶パネル製造装置。
  3. 【請求項3】 液晶セルを構成する基板に液晶駆動用液
    晶駆動用ICを仮圧着する液晶パネル製造装置におい
    て、 キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶
    駆動用ICを順次供給する部品供給機構と、 この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、
    この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
    し、この液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧
    着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取り、こ
    の液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用I
    C搬送機構と、 上記液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基板に設けら
    れた端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合
    わせ手段と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ICのアウタリ−ド
    と上記基板の端子の設けられた部位とを接合材を介して
    押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備することを特徴と
    する液晶パネル製造装置。
  4. 【請求項4】 液晶セルを構成する基板に液晶駆動用液
    晶駆動用ICを仮圧着する液晶パネル製造装置におい
    て、 アウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着され、
    かつキャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された
    液晶駆動用ICを順次供給する部品供給機構と、 この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、
    この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
    し、この液晶セルの基板に設けられた端子を所定の仮圧
    着位置に粗位置決めするセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取り、こ
    の液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用I
    C搬送機構と、 この液晶駆動用IC搬送機構の搬送経路途中に配置さ
    れ、上記液晶駆動用ICの異方性導電膜から上記離型紙
    を剥離する離型紙剥離機構と、 上記液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基板に設けら
    れた端子とを認識し、これらの位置合わせを行う位置合
    わせ手段と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ICのアウタリ−ド
    と上記基板の端子が設けられた部位とを上記異方性導電
    膜を介して押圧し仮圧着する仮圧着機構とを具備するこ
    とを特徴とする液晶パネル製造装置。
  5. 【請求項5】 液晶セルを構成する一対の基板に形成さ
    れた各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動用ICを仮圧
    着する液晶パネル製造装置において、 キャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された液晶
    駆動用ICを順次供給する部品供給機構と、 この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、
    この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
    し、この液晶セルの一対の基板のうち、どちらか一方の
    基板に設けられた端子を所定の仮圧着位置に粗位置決め
    するセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取り、こ
    の液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用I
    C搬送機構と、 上記液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基板の端子と
    を認識し、これらの位置合わせを行う位置合わせ手段
    と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ICのアウタリ−ド
    と上記基板の端子が設けられた部位とを接合材を介して
    押圧し仮圧着する仮圧着機構と、 上記一方の基板の端子に液晶駆動用ICが仮圧着された
    のに基づき、上記液晶セルを反転させる反転機構とを具
    備することを特徴とする液晶パネル製造装置。
  6. 【請求項6】 液晶セルを構成する一対の基板に形成さ
    れた各端子にそれぞれ液晶駆動用液晶駆動用ICを仮圧
    着する液晶パネル製造装置において、 アウタリ−ドに離型紙付きの異方性導電膜が貼着され、
    かつキャリアテ−プから個々に打ち抜かれて成形された
    液晶駆動用ICを順次供給する部品供給機構と、 この部品供給機構と並設され、上記液晶セルを収容し、
    この液晶セルを順次給出するセル供給機構と、 このセル供給機構から給出された上記液晶セルを支持
    し、この液晶セルの一対の基板のうち、どちらか一方の
    基板に設けられた端子を所定の仮圧着位置に粗位置決め
    するセルステ−ジと、 上記部品供給機構から上記液晶駆動用ICを受取り、こ
    の液晶駆動用ICを仮圧着位置へ搬送する液晶駆動用I
    C搬送機構と、 この液晶駆動用IC搬送機構の搬送経路途中に配置さ
    れ、上記液晶駆動用ICの異方性導電膜から上記離型紙
    を剥離する離型紙剥離機構と、 上記液晶駆動用ICのアウタリ−ドと上記基板の端子と
    を認識し、これらの位置合わせを行う位置合わせ手段
    と、 互いに位置合わせされた液晶駆動用ICのアウタリ−ド
    と基板の端子が設けられた部位とを上記異方性導電膜を
    介して押圧し仮圧着する仮圧着機構と、 上記一方の基板の端子に液晶駆動用ICが仮圧着された
    のに基づき、上記液晶セルを反転させる反転機構とを具
    備することを特徴とする液晶パネル製造装置。
  7. 【請求項7】 液晶セルを構成する基板に液晶駆動用I
    Cを本圧着する液晶パネルの製造装置において、 上記基板に上記液晶駆動用ICが仮圧着されてなる液晶
    セルを保持すると共にこの液晶セルをXYθ方向に駆動
    するセルステ−ジと、 上記基板に設けられた位置合わせ用目印を撮像する撮像
    手段と、 上記撮像手段からの撮像信号に基づいて駆動位置決めさ
    れた基板に仮圧着されている上記液晶駆動用ICを本圧
    着するボンディング部と、 上記基板に液晶駆動用ICが本圧着されたのに基づき、
    上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、この液晶
    セルを排出位置に移送する排出手段とを具備することを
    特徴とする液晶パネル製造装置。
  8. 【請求項8】 液晶セルを構成する一対の基板に形成さ
    れた各端子に、それぞれ液晶駆動用ICを本圧着する液
    晶パネルの製造装置において、 上記一対の基板に上記液晶駆動用ICが仮圧着されてな
    る液晶セルを保持すると共にこの液晶セルをXYθ方向
    に駆動するセルステ−ジと、 上記一対の基板のうちどちらか一方の基板に設けられた
    位置合わせ用目印を撮像する撮像手段と、 上記撮像手段からの撮像信号に基づいて駆動位置決めさ
    れた一方の基板に仮圧着されている上記液晶駆動用IC
    を本圧着するボンディング部と、 上記一方の基板に液晶駆動用ICが本圧着されたのに基
    づき、その液晶セルを反転させる反転手段と、 上記両方の基板に液晶駆動用ICが本圧着されたのに基
    づき、上記セルステ−ジから上記液晶セルを受取り、こ
    の液晶セルを排出位置に移送する排出手段とを具備する
    ことを特徴とする液晶パネル製造装置。
  9. 【請求項9】 請求項7あるいは請求項8記載の液晶パ
    ネル製造装置において、 上記ボンディング部は、 基板の端子に液晶駆動用ICを接合材を介してボンディ
    ングする圧着ブロックと、 この圧着ブロックを保持しこの圧着ブロックを所定のボ
    ンディング圧力で加圧する加圧用シリンダと、 この加圧用シリンダを上記ボンディング圧力よりも高い
    圧力で上下駆動可能な上下駆動用シリンダとを具備する
    ものであることを特徴とする液晶パネル製造装置。
  10. 【請求項10】 請求項7あるいは請求項8記載の液晶
    パネル製造装置において、 上記ボンディング部は、 少なくとも一つの液晶駆動用ICの接合幅に対応する押
    圧面を有しかつ互いに少なくとも一つの液晶駆動用IC
    の接合幅以上離間して設けられた少なくとも2以上の圧
    着ブロックと、 この圧着ブロックと上記基板とを相対的に移動させて上
    記圧着ブロックの押圧面を未だボンディングされていな
    い液晶駆動用ICに順次対向させる駆動手段とを具備す
    るものであることを特徴とする液晶パネル製造装置。
  11. 【請求項11】 実装基板を保持すると共に、任意の位
    置に位置決め駆動する位置決め駆動手段と、 上記位置決め駆動手段の駆動経路に設けられ、上記実装
    基板に設けられたマークあるいは端子を撮像する撮像手
    段と、 上記撮像手段により撮像された画像から上記マークある
    いは端子を検出する画像処理装置と、 この画像処理装置による画像処理結果により上記実装基
    板のずれを求め、このずれ量と上記位置決め駆動手段の
    位置決め誤差量とを比較し、この誤差量よりも上記ずれ
    量が大きい場合にのみ上記駆動手段に命令を発し、上記
    実装基板の位置を補正する演算制御部とを具備すること
    を特徴とする位置決め装置。
  12. 【請求項12】 互いに隣り合って設けられ、被加工物
    に加工を施す少なくとも2以上の加工部と、 上記複数の加工部にそれぞれ設けられ、上記被加工物を
    搬送位置決めする複数のステ−ジと、 上記加工部間に設けられ、加工部で加工された被加工物
    をその加工部に設けられたステ−ジから受けとり、次の
    加工部に設けられたステ−ジに受け渡す受け渡し機構
    と、 上記加工部のステ−ジと次の加工部のステ−ジとが互い
    に干渉する位置に移動する場合には、上記加工部に設け
    られたステ−ジから基板を受けとって保持し次の加工部
    に設けられたステ−ジに受け渡すまでの時間と上記次の
    加工部での加工が終了してから上記被加工物を受けとる
    までの時間とを比較して、前者が後者より長い場合に
    は、上記加工部のステ−ジを優先的に移動させ、後者が
    長い場合には、次の加工部のステ−ジを優先的に移動さ
    せる制御部と、 を具備することを特徴とする被加工物の加工装置。
  13. 【請求項13】 実装基板を保持し位置決め駆動する駆
    動機構と、 この駆動機構により保持された実装基板に設けられたマ
    ークあるいは端子を撮像する撮像手段と、 上記撮像手段により撮像されたマークあるいは端子と、
    この画像中心とのずれを検出する検出手段と、 過去に上記検出手段により検出されたずれ量に基づいて
    上記駆動機構の駆動経路を補正する制御手段とを具備す
    ることを特徴とする位置決め装置。
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