JP6145415B2 - 剥離方法、プログラム、コンピュータ記憶媒体、剥離装置及び剥離システム - Google Patents
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Description
別な観点による本発明は、第1基板と第2基板が接合された重合基板を剥離する剥離方法であって、前記重合基板のうち前記第1基板を保持する保持部において、位置調節部によって前記保持部における前記重合基板の位置調節を行った後、前記保持部を所定の高さ位置に配置する第1工程と、前記第1基板と前記第2基板が剥離するきっかけとなる剥離開始部位を前記重合基板の一端側の側面に形成する剥離誘引部において、当該剥離誘引部の鋭利部材を所定の高さ位置に配置する第2工程と、前記第1工程と前記第2工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に当接させ、当該鋭利部材の当接を検知する第3工程と、前記第3工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に挿入し、当該重合基板の一端側の側面に前記剥離開始部位を形成する第4工程と、前記第4工程の後、前記重合基板のうち前記第2基板を吸着し、前記第2基板を前記第1基板から離す方向へ移動させる複数の吸着移動部によって、前記剥離開始部位を起点として、前記一端側から他端側へ向けて前記第2基板を前記第1基板から剥離する第5工程と、を有し、前記第5工程において、前記複数の吸着移動部のうち、前記一端側の前記第2基板の周縁部を吸着する第1吸着移動部を、当該第1吸着移動部にかかる力を一定にして、前記周縁部を前記第1基板から離す方向に移動させ、前記第2基板が前記第1基板から剥離する剥離速度を大きくすることを特徴としている。
また別な観点による本発明は、第1基板と第2基板が接合された重合基板を剥離する剥離方法であって、前記重合基板のうち前記第1基板を保持する保持部において、位置調節部によって前記保持部における前記重合基板の位置調節を行った後、前記保持部を所定の高さ位置に配置する第1工程と、前記第1基板と前記第2基板が剥離するきっかけとなる剥離開始部位を前記重合基板の一端側の側面に形成する剥離誘引部において、当該剥離誘引部の鋭利部材を所定の高さ位置に配置する第2工程と、前記第1工程と前記第2工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に当接させ、当該鋭利部材の当接を検知する第3工程と、前記第3工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に挿入し、当該重合基板の一端側の側面に前記剥離開始部位を形成する第4工程と、前記第4工程の後、前記重合基板のうち前記第2基板を吸着し、前記第2基板を前記第1基板から離す方向へ移動させる複数の吸着移動部によって、前記剥離開始部位を起点として、前記一端側から他端側へ向けて前記第2基板を前記第1基板から剥離する第5工程と、を有し、前記重合基板は、接着剤を介して前記第1基板と前記第2基板が接合され、前記第1基板は被処理基板であり、前記第2基板は被処理基板を支持する支持基板であって、当該第2基板の側面は円弧状に形成されており、前記第3工程において、前記重合基板のうち前記第2基板の前記接着剤よりの側面に前記鋭利部材を当接させることを特徴としている。
別な観点による本発明は、第1基板と第2基板が接合された重合基板を剥離する剥離装置であって、前記重合基板のうち前記第1基板を保持する保持部と、前記重合基板のうち前記第2基板を吸着し、前記第2基板を前記第1基板から離す方向へ移動させる複数の吸着移動部と、前記保持部における前記重合基板の位置調節を行う位置調節部と、鋭利部材を備え、前記保持部に保持された前記重合基板の一端側の側面に前記鋭利部材を当接させて、前記第1基板と前記第2基板が剥離するきっかけとなる剥離開始部位を前記重合基板の一端側の側面に形成する剥離誘引部と、前記位置調節部によって前記保持部における前記重合基板の位置調節を行った後、前記保持部を所定の高さ位置に配置する第1工程と、前記鋭利部材を所定の高さ位置に配置する第2工程と、前記第1工程と前記第2工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に当接させ、当該鋭利部材の当接を検知する第3工程と、前記第3工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に挿入し、当該重合基板の一端側の側面に前記剥離開始部位を形成する第4工程と、前記第4工程の後、前記複数の吸着移動部によって、前記剥離開始部位を起点として、前記一端側から他端側へ向けて前記第2基板を前記第1基板から剥離する第5工程と、を行うように、前記保持部、前記複数の吸着移動部、前記位置調節部及び前記剥離誘引部を制御する制御装置と、を有し、前記複数の吸着移動部は、前記一端側の前記第2基板の周縁部を吸着する第1吸着移動部を有し、前記制御装置は、前記第5工程において、前記第1吸着移動部にかかる力を一定にして、前記周縁部を前記第1基板から離す方向に前記第1吸着移動部を移動させ、前記第2基板が前記第1基板から剥離する剥離速度を大きくするように制御することを特徴としている。
また別な観点による本発明は、第1基板と第2基板が接合された重合基板を剥離する剥離装置であって、前記重合基板のうち前記第1基板を保持する保持部と、前記重合基板のうち前記第2基板を吸着し、前記第2基板を前記第1基板から離す方向へ移動させる複数の吸着移動部と、前記保持部における前記重合基板の位置調節を行う位置調節部と、鋭利部材を備え、前記保持部に保持された前記重合基板の一端側の側面に前記鋭利部材を当接させて、前記第1基板と前記第2基板が剥離するきっかけとなる剥離開始部位を前記重合基板の一端側の側面に形成する剥離誘引部と、前記位置調節部によって前記保持部における前記重合基板の位置調節を行った後、前記保持部を所定の高さ位置に配置する第1工程と、前記鋭利部材を所定の高さ位置に配置する第2工程と、前記第1工程と前記第2工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に当接させ、当該鋭利部材の当接を検知する第3工程と、前記第3工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に挿入し、当該重合基板の一端側の側面に前記剥離開始部位を形成する第4工程と、前記第4工程の後、前記複数の吸着移動部によって、前記剥離開始部位を起点として、前記一端側から他端側へ向けて前記第2基板を前記第1基板から剥離する第5工程と、を行うように、前記保持部、前記複数の吸着移動部、前記位置調節部及び前記剥離誘引部を制御する制御装置と、を有し、前記重合基板は、接着剤を介して前記第1基板と前記第2基板が接合され、前記第1基板は被処理基板であり、前記第2基板は被処理基板を支持する支持基板であって、当該第2基板の側面は円弧状に形成されており、前記剥離誘引部は、前記重合基板のうち前記第2基板の前記接着剤よりの側面に前記鋭利部材を当接させることを特徴としている。
先ず、本実施形態に係る剥離システムの構成について、図1〜図3を参照して説明する。図1は、本実施形態に係る剥離システムの構成を示す模式平面図である。また、図2は、ダイシングフレームに保持された重合基板の模式側面図であり、図3は、同重合基板の模式平面図である。
次に、剥離ステーション14に設置される剥離装置141、142の構成について図5を参照して説明する。図5は、本実施形態に係る剥離装置141の構成を示す模式側面図である。なお、剥離装置142の構成は、剥離装置141の構成と同様であるので説明を省略する。
次に、剥離装置141を用いて行われる被処理基板Wと支持基板Sの剥離処理方法について説明する。図12は、かかる剥離処理の主な工程の例を示すフローチャートである。また、図13〜図21は、剥離処理の説明図である。なお、剥離装置141は、制御装置30の制御に基づき、図12に示す各処理手順を実行する。
以上の実施形態の剥離装置141において、支持基板Sの被処理基板Wとの接合面Sjの全てが被処理基板Wから剥がれて剥離が完了したことを検知する剥離完了検知部が設けられていてもよい。
10 第1処理ブロック
11 搬入出ステーション
13 第1搬送領域
14 剥離ステーション
20 第2処理ブロック
23 第2搬送領域
25 搬出ステーション
30 制御装置
131 第1搬送装置
141、142 剥離装置
241 第2搬送装置
310 第1保持部
330 回転機構
350 第2保持部
360 第1吸着移動部
370 第2吸着移動部
380 第3吸着移動部
400 位置調節部
430 剥離誘引部
431 鋭利部材
432 ロードセル
433 移動機構
F ダイシングフレーム
G 接着剤
P ダイシングテープ
S 支持基板
T 重合基板
W 被処理基板
Claims (17)
- 第1基板と第2基板が接合された重合基板を剥離する剥離方法であって、
前記重合基板のうち前記第1基板を保持する保持部において、位置調節部によって前記保持部における前記重合基板の位置調節を行った後、前記保持部を所定の高さ位置に配置する第1工程と、
前記第1基板と前記第2基板が剥離するきっかけとなる剥離開始部位を前記重合基板の一端側の側面に形成する剥離誘引部において、当該剥離誘引部の鋭利部材を所定の高さ位置に配置する第2工程と、
前記第1工程と前記第2工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に当接させ、当該鋭利部材の当接を検知する第3工程と、
前記第3工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に挿入し、当該重合基板の一端側の側面に前記剥離開始部位を形成する第4工程と、
前記第4工程の後、前記重合基板のうち前記第2基板を吸着し、前記第2基板を前記第1基板から離す方向へ移動させる複数の吸着移動部によって、前記剥離開始部位を起点として、前記一端側から他端側へ向けて前記第2基板を前記第1基板から剥離する第5工程と、を有し、
前記位置調節部は、アーム部と、当該アーム部を回転させる回転移動機構と、を有し、
前記第1工程において、前記回転移動機構によって前記アーム部を回転移動させ、当該アーム部の先端部を前記第2基板の側面に当接させることで、前記保持部における前記重合基板の位置調節を行うことを特徴とする、剥離方法。 - 第1基板と第2基板が接合された重合基板を剥離する剥離方法であって、
前記重合基板のうち前記第1基板を保持する保持部において、位置調節部によって前記保持部における前記重合基板の位置調節を行った後、前記保持部を所定の高さ位置に配置する第1工程と、
前記第1基板と前記第2基板が剥離するきっかけとなる剥離開始部位を前記重合基板の一端側の側面に形成する剥離誘引部において、当該剥離誘引部の鋭利部材を所定の高さ位置に配置する第2工程と、
前記第1工程と前記第2工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に当接させ、当該鋭利部材の当接を検知する第3工程と、
前記第3工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に挿入し、当該重合基板の一端側の側面に前記剥離開始部位を形成する第4工程と、
前記第4工程の後、前記重合基板のうち前記第2基板を吸着し、前記第2基板を前記第1基板から離す方向へ移動させる複数の吸着移動部によって、前記剥離開始部位を起点として、前記一端側から他端側へ向けて前記第2基板を前記第1基板から剥離する第5工程と、を有し、
前記第5工程において、前記複数の吸着移動部のうち、前記一端側の前記第2基板の周縁部を吸着する第1吸着移動部を、当該第1吸着移動部にかかる力を一定にして、前記周縁部を前記第1基板から離す方向に移動させ、前記第2基板が前記第1基板から剥離する剥離速度を大きくすることを特徴とする、剥離方法。 - 前記第5工程において、前記複数の吸着移動部のうち、前記第2基板の周縁部よりも中央部寄りの領域を吸着する第2吸着移動部を、当該第2吸着移動部にかかる力を一定にして、前記領域を前記第1基板から離す方向に移動させることを特徴とする、請求項2に記載の剥離方法。
- 前記重合基板は、接着剤を介して前記第1基板と前記第2基板が接合され、
前記第3工程において、前記重合基板のうち前記接着剤の側面に前記鋭利部材を当接させることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の剥離方法。 - 第1基板と第2基板が接合された重合基板を剥離する剥離方法であって、
前記重合基板のうち前記第1基板を保持する保持部において、位置調節部によって前記保持部における前記重合基板の位置調節を行った後、前記保持部を所定の高さ位置に配置する第1工程と、
前記第1基板と前記第2基板が剥離するきっかけとなる剥離開始部位を前記重合基板の一端側の側面に形成する剥離誘引部において、当該剥離誘引部の鋭利部材を所定の高さ位置に配置する第2工程と、
前記第1工程と前記第2工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に当接させ、当該鋭利部材の当接を検知する第3工程と、
前記第3工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に挿入し、当該重合基板の一端側の側面に前記剥離開始部位を形成する第4工程と、
前記第4工程の後、前記重合基板のうち前記第2基板を吸着し、前記第2基板を前記第1基板から離す方向へ移動させる複数の吸着移動部によって、前記剥離開始部位を起点として、前記一端側から他端側へ向けて前記第2基板を前記第1基板から剥離する第5工程と、を有し、
前記重合基板は、接着剤を介して前記第1基板と前記第2基板が接合され、
前記第1基板は被処理基板であり、
前記第2基板は被処理基板を支持する支持基板であって、当該第2基板の側面は円弧状に形成されており、
前記第3工程において、前記重合基板のうち前記第2基板の前記接着剤よりの側面に前記鋭利部材を当接させることを特徴とする、剥離方法。 - 前記剥離誘引部は、前記鋭利部材にかかる力を測定するロードセルと、前記鋭利部材を移動させる移動機構と、をさらに有し、
前記第3工程において、前記鋭利部材の当接の検知は、前記ロードセルによって測定される力の変化、又は前記移動機構のモータのトルクの変化のいずれか一方又は両方に基づいて行われることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の剥離方法。 - 前記第4工程において、前記保持部を回転させることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の剥離方法。
- 請求項1〜7のいずれか一項に記載の剥離方法を剥離装置によって実行させるように、当該剥離装置を制御する制御装置のコンピュータ上で動作するプログラム。
- 請求項8に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。
- 第1基板と第2基板が接合された重合基板を剥離する剥離装置であって、
前記重合基板のうち前記第1基板を保持する保持部と、
前記重合基板のうち前記第2基板を吸着し、前記第2基板を前記第1基板から離す方向へ移動させる複数の吸着移動部と、
前記保持部における前記重合基板の位置調節を行う位置調節部と、
鋭利部材を備え、前記保持部に保持された前記重合基板の一端側の側面に前記鋭利部材を当接させて、前記第1基板と前記第2基板が剥離するきっかけとなる剥離開始部位を前記重合基板の一端側の側面に形成する剥離誘引部と、
前記位置調節部によって前記保持部における前記重合基板の位置調節を行った後、前記保持部を所定の高さ位置に配置する第1工程と、前記鋭利部材を所定の高さ位置に配置する第2工程と、前記第1工程と前記第2工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に当接させ、当該鋭利部材の当接を検知する第3工程と、前記第3工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に挿入し、当該重合基板の一端側の側面に前記剥離開始部位を形成する第4工程と、前記第4工程の後、前記複数の吸着移動部によって、前記剥離開始部位を起点として、前記一端側から他端側へ向けて前記第2基板を前記第1基板から剥離する第5工程と、を行うように、前記保持部、前記複数の吸着移動部、前記位置調節部及び前記剥離誘引部を制御する制御装置と、を有し、
前記位置調節部は、アーム部と、当該アーム部を回転させる回転移動機構と、を有し、
前記制御装置は、前記第1工程において、前記回転移動機構によって前記アーム部を回転移動させ、当該アーム部の先端部を前記第2基板の側面に当接させることで、前記保持部における前記重合基板の位置調節を行うように、前記位置調節部を制御することを特徴とする、剥離装置。 - 第1基板と第2基板が接合された重合基板を剥離する剥離装置であって、
前記重合基板のうち前記第1基板を保持する保持部と、
前記重合基板のうち前記第2基板を吸着し、前記第2基板を前記第1基板から離す方向へ移動させる複数の吸着移動部と、
前記保持部における前記重合基板の位置調節を行う位置調節部と、
鋭利部材を備え、前記保持部に保持された前記重合基板の一端側の側面に前記鋭利部材を当接させて、前記第1基板と前記第2基板が剥離するきっかけとなる剥離開始部位を前記重合基板の一端側の側面に形成する剥離誘引部と、
前記位置調節部によって前記保持部における前記重合基板の位置調節を行った後、前記保持部を所定の高さ位置に配置する第1工程と、前記鋭利部材を所定の高さ位置に配置する第2工程と、前記第1工程と前記第2工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に当接させ、当該鋭利部材の当接を検知する第3工程と、前記第3工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に挿入し、当該重合基板の一端側の側面に前記剥離開始部位を形成する第4工程と、前記第4工程の後、前記複数の吸着移動部によって、前記剥離開始部位を起点として、前記一端側から他端側へ向けて前記第2基板を前記第1基板から剥離する第5工程と、を行うように、前記保持部、前記複数の吸着移動部、前記位置調節部及び前記剥離誘引部を制御する制御装置と、を有し、
前記複数の吸着移動部は、前記一端側の前記第2基板の周縁部を吸着する第1吸着移動部を有し、
前記制御装置は、前記第5工程において、前記第1吸着移動部にかかる力を一定にして、前記周縁部を前記第1基板から離す方向に前記第1吸着移動部を移動させ、前記第2基板が前記第1基板から剥離する剥離速度を大きくするように制御することを特徴とする、剥離装置。 - 前記複数の吸着移動部は、前記第2基板の周縁部よりも中央部寄りの領域を吸着する第2吸着移動部をさらに有し、
前記制御装置は、前記第5工程において、前記第2吸着移動部にかかる力を一定にして、前記領域を前記第1基板から離す方向に前記第2吸着移動部を移動させるように制御することを特徴とする、請求項11に記載の剥離装置。 - 前記重合基板は、接着剤を介して前記第1基板と前記第2基板が接合され、
前記剥離誘引部は、前記重合基板のうち前記接着剤の側面に前記鋭利部材を当接させることを特徴とする、請求項10〜12のいずれか一項に記載の剥離装置。 - 第1基板と第2基板が接合された重合基板を剥離する剥離装置であって、
前記重合基板のうち前記第1基板を保持する保持部と、
前記重合基板のうち前記第2基板を吸着し、前記第2基板を前記第1基板から離す方向へ移動させる複数の吸着移動部と、
前記保持部における前記重合基板の位置調節を行う位置調節部と、
鋭利部材を備え、前記保持部に保持された前記重合基板の一端側の側面に前記鋭利部材を当接させて、前記第1基板と前記第2基板が剥離するきっかけとなる剥離開始部位を前記重合基板の一端側の側面に形成する剥離誘引部と、
前記位置調節部によって前記保持部における前記重合基板の位置調節を行った後、前記保持部を所定の高さ位置に配置する第1工程と、前記鋭利部材を所定の高さ位置に配置する第2工程と、前記第1工程と前記第2工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に当接させ、当該鋭利部材の当接を検知する第3工程と、前記第3工程の後、前記鋭利部材を前記重合基板の一端側の側面に挿入し、当該重合基板の一端側の側面に前記剥離開始部位を形成する第4工程と、前記第4工程の後、前記複数の吸着移動部によって、前記剥離開始部位を起点として、前記一端側から他端側へ向けて前記第2基板を前記第1基板から剥離する第5工程と、を行うように、前記保持部、前記複数の吸着移動部、前記位置調節部及び前記剥離誘引部を制御する制御装置と、を有し、
前記重合基板は、接着剤を介して前記第1基板と前記第2基板が接合され、
前記第1基板は被処理基板であり、
前記第2基板は被処理基板を支持する支持基板であって、当該第2基板の側面は円弧状に形成されており、
前記剥離誘引部は、前記重合基板のうち前記第2基板の前記接着剤よりの側面に前記鋭利部材を当接させることを特徴とする、剥離装置。 - 前記剥離誘引部は、前記鋭利部材にかかる力を測定するロードセルと、前記鋭利部材を移動させる移動機構と、をさらに有し、
前記制御装置は、前記第3工程における前記鋭利部材の当接の検知が、前記ロードセルによって測定される力の変化、又は前記移動機構のモータのトルクの変化のいずれか一方又は両方に基づいて行われるように、前記剥離誘引部を制御することを特徴とする、請求項10〜14のいずれか一項に記載の剥離装置。 - 前記保持部を回転させる回転機構をさらに有し、
前記制御装置は、前記第4工程において前記保持部を回転させるように、前記回転機構を制御することを特徴とする、請求項10〜15のいずれか一項に記載の剥離装置。 - 請求項10〜16のいずれか一項に記載の剥離装置を備えた剥離システムであって、
前記重合基板と前記第1基板に対する処理を行う第1処理ブロックと、
前記第2基板に対する処理を行う第2処理ブロックと、を有し、
前記第1処理ブロックは、
前記重合基板と前記第1基板が載置される搬入出ステーションと、
前記剥離装置を備えた剥離ステーションと、
前記搬入出ステーションと前記剥離ステーションとの間で、前記重合基板と前記第1基板を搬送する第1搬送装置を備えた第1搬送領域と、を有し、
前記第2処理ブロックは、
前記第2基板が載置される搬出ステーションと、
前記搬出ステーションに対して前記第2基板を搬送する第2搬送装置を備えた第2搬送領域と、を有することを特徴とする、剥離システム。
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