JP2002211836A - フィルム剥離装置 - Google Patents
フィルム剥離装置Info
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- JP2002211836A JP2002211836A JP2001003429A JP2001003429A JP2002211836A JP 2002211836 A JP2002211836 A JP 2002211836A JP 2001003429 A JP2001003429 A JP 2001003429A JP 2001003429 A JP2001003429 A JP 2001003429A JP 2002211836 A JP2002211836 A JP 2002211836A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 フィルムの亀裂を生じることなく、確実に且
つ迅速にフィルムの剥離を行えるフィルム剥離装置を提
供する。 【解決手段】 プリント基板ＷのフィルムＦの端部に上
下からローレットローラ１を当接させ、プリント基板Ｗ
の中央部から端部方向にローレットローラ１を走行させ
て、フィルムＦの端部に剥離開始部を形成し、粘着ロー
ラ２０により剥離開始部から剥離を開始する。
つ迅速にフィルムの剥離を行えるフィルム剥離装置を提
供する。 【解決手段】 プリント基板ＷのフィルムＦの端部に上
下からローレットローラ１を当接させ、プリント基板Ｗ
の中央部から端部方向にローレットローラ１を走行させ
て、フィルムＦの端部に剥離開始部を形成し、粘着ロー
ラ２０により剥離開始部から剥離を開始する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ドライフィルムフォ
トレジストの表面に装着されているポリエステルカバー
フィルム等のフィルムを剥離するための装置に関する。
トレジストの表面に装着されているポリエステルカバー
フィルム等のフィルムを剥離するための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】基板などに回路を形成する際に、ＩＣ製
造技術に用いられているリソグラフィ法が近年用いられ
るようになってきている。その際に基板上に塗布される
フォトレジストとしてドライフィルムフォトレジストが
使用されるようになってきている。そして、該フォトレ
ジストの上にポリエステル製の保護用のカバーフィルム
が貼着されるのが普通である。このフィルムは、フォト
レジスト上に回路パターンを焼き付ける露光工程の後に
剥す必要があり、従来よりこの種のフィルムを自動的に
効率よく剥離する装置の開発が試みられている。その中
の１つに本願出願人により提案された特開平７−２３９
５５３号に開示されたものが知られている。この発明で
は、表面に凹凸が設けられたローレットローラによりフ
ィルム端部を引っかけて部分的に剥離部を形成し、ここ
から粘着ローラなどにより剥離を行う構成になってい
る。
造技術に用いられているリソグラフィ法が近年用いられ
るようになってきている。その際に基板上に塗布される
フォトレジストとしてドライフィルムフォトレジストが
使用されるようになってきている。そして、該フォトレ
ジストの上にポリエステル製の保護用のカバーフィルム
が貼着されるのが普通である。このフィルムは、フォト
レジスト上に回路パターンを焼き付ける露光工程の後に
剥す必要があり、従来よりこの種のフィルムを自動的に
効率よく剥離する装置の開発が試みられている。その中
の１つに本願出願人により提案された特開平７−２３９
５５３号に開示されたものが知られている。この発明で
は、表面に凹凸が設けられたローレットローラによりフ
ィルム端部を引っかけて部分的に剥離部を形成し、ここ
から粘着ローラなどにより剥離を行う構成になってい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のものは
剥離部が一部分であるため、剥がれにくい上、フィルム
端部に傷が生じて、剥離の際にそこから裂けが生じる等
の問題があった。そのため、ローラを基板の側方の端部
から当接させて、幅方向全体に剥離部を形成する方法も
提案されているが、この場合もローラと端部とが衝突し
て、その際にフィルムの亀裂などが生じる問題があっ
た。また、幅方向全体にローラを走行させるために動作
時間が長くなる等の問題があった。本発明は、このよう
な従来技術の問題点を解決することを目的とする。
剥離部が一部分であるため、剥がれにくい上、フィルム
端部に傷が生じて、剥離の際にそこから裂けが生じる等
の問題があった。そのため、ローラを基板の側方の端部
から当接させて、幅方向全体に剥離部を形成する方法も
提案されているが、この場合もローラと端部とが衝突し
て、その際にフィルムの亀裂などが生じる問題があっ
た。また、幅方向全体にローラを走行させるために動作
時間が長くなる等の問題があった。本発明は、このよう
な従来技術の問題点を解決することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は対象物に貼着されたフィルムを剥離するフ
ィルム剥離装置であって、対象物の幅方向のほぼ中央部
から端部へ向けて前記フィルムの端部に当接して凹凸を
形成し、前記フィルム端部に幅方向に剥離開始部を形成
するローレットローラと、該ローレットローラにより形
成されたフィルム端部の剥離開始部から該フィルムを剥
離する剥離手段と、を備えたことを特徴とする。ローレ
ットローラは表面に凹凸を設けたローラであり、該ロー
ラによりフィルムに凹凸を形成する。この凹凸の形成に
より部分的にフィルムが剥離し、この凹凸部分を剥離開
始部として、剥離手段によりフィルムの剥離を行う。該
剥離開始部はフィルム端部の幅方向に設けられるため、
広い範囲で剥離の開始が行える。しかも該開始部は中央
から端部に向けて形成されるため、ローラとフィルムの
衝突による亀裂などが生じない。しかも、前記ローレッ
トローラを少なくとも２個設け、各ローレットローラが
前記中央部から幅方向反対方向に剥離開始部を形成する
ように構成すれば、動作時間を半分に短縮できる。な
お、対象物の表裏にフィルムが貼着されている場合に
は、前記ローレットローラを対象物の表裏にそれぞれ対
向して少なくとも２個設け、各ローレットローラは対象
物の表裏のフィルム端部に剥離開始部を形成するように
構成すれば効率的である。前記剥離手段としては種々の
ものが採用可能であるが、好適な実施形態では粘着ロー
ラを用いている。また本装置の対象物としては、典型的
には回路基板と、該基板上に設けられたフォトレジスト
であり、該フォトレジスト上に前記フィルムが貼着され
ている構成が一般的である。
に、本発明は対象物に貼着されたフィルムを剥離するフ
ィルム剥離装置であって、対象物の幅方向のほぼ中央部
から端部へ向けて前記フィルムの端部に当接して凹凸を
形成し、前記フィルム端部に幅方向に剥離開始部を形成
するローレットローラと、該ローレットローラにより形
成されたフィルム端部の剥離開始部から該フィルムを剥
離する剥離手段と、を備えたことを特徴とする。ローレ
ットローラは表面に凹凸を設けたローラであり、該ロー
ラによりフィルムに凹凸を形成する。この凹凸の形成に
より部分的にフィルムが剥離し、この凹凸部分を剥離開
始部として、剥離手段によりフィルムの剥離を行う。該
剥離開始部はフィルム端部の幅方向に設けられるため、
広い範囲で剥離の開始が行える。しかも該開始部は中央
から端部に向けて形成されるため、ローラとフィルムの
衝突による亀裂などが生じない。しかも、前記ローレッ
トローラを少なくとも２個設け、各ローレットローラが
前記中央部から幅方向反対方向に剥離開始部を形成する
ように構成すれば、動作時間を半分に短縮できる。な
お、対象物の表裏にフィルムが貼着されている場合に
は、前記ローレットローラを対象物の表裏にそれぞれ対
向して少なくとも２個設け、各ローレットローラは対象
物の表裏のフィルム端部に剥離開始部を形成するように
構成すれば効率的である。前記剥離手段としては種々の
ものが採用可能であるが、好適な実施形態では粘着ロー
ラを用いている。また本装置の対象物としては、典型的
には回路基板と、該基板上に設けられたフォトレジスト
であり、該フォトレジスト上に前記フィルムが貼着され
ている構成が一般的である。
【０００５】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図面に
基づいて説明する。図１において、搬送ローラ３０によ
り搬送されてきたプリント基板Ｗはローレットローラ１
により、そのフィルムＦの先端部において幅方向（プリ
ント基板Ｗ搬送方向と直交する方向）に剥離開始部５０
を形成されるようになっている。基板Ｗは表裏にフォト
レジストとフィルムＦを装着しており、ここで表裏のフ
ィルムＦを同時に剥離するようになっている。
基づいて説明する。図１において、搬送ローラ３０によ
り搬送されてきたプリント基板Ｗはローレットローラ１
により、そのフィルムＦの先端部において幅方向（プリ
ント基板Ｗ搬送方向と直交する方向）に剥離開始部５０
を形成されるようになっている。基板Ｗは表裏にフォト
レジストとフィルムＦを装着しており、ここで表裏のフ
ィルムＦを同時に剥離するようになっている。
【０００６】ローレットローラ１は図２に示すように２
個一対のものが上下に合計４個設けられており、プリン
ト基板Ｗの上下から当接するようなっている。この実施
形態では該４個のローレットローラ１がプリント基板Ｗ
の幅方向に２基配設され、図３に示すようにプリント基
板Ｗの中央から幅方向端部に向けてローレットローラ１
をプリント基板ＷのフィルムＦ上で回転接触させて、図
４に示すようにプリント基板ＷのフィルムＦの先端部に
剥離開始部５０を形成するようになっている。
個一対のものが上下に合計４個設けられており、プリン
ト基板Ｗの上下から当接するようなっている。この実施
形態では該４個のローレットローラ１がプリント基板Ｗ
の幅方向に２基配設され、図３に示すようにプリント基
板Ｗの中央から幅方向端部に向けてローレットローラ１
をプリント基板ＷのフィルムＦ上で回転接触させて、図
４に示すようにプリント基板ＷのフィルムＦの先端部に
剥離開始部５０を形成するようになっている。
【０００７】ローレットローラ１は支持台３に昇降エア
シリンダ２を介して上下方向昇降可能に装着され、プリ
ント基板Ｗに対して接離するようになっている。該支持
台３は更にガイドレール５を介して基台１０に幅方向移
動可能に支持され、横移動エアシリンダ４の駆動により
幅方向に移動するようになっている。該支持台３の移動
によりローレットローラ１は図３に示すようにフィルム
Ｆ上を回転しながら、移動するように構成されている。
シリンダ２を介して上下方向昇降可能に装着され、プリ
ント基板Ｗに対して接離するようになっている。該支持
台３は更にガイドレール５を介して基台１０に幅方向移
動可能に支持され、横移動エアシリンダ４の駆動により
幅方向に移動するようになっている。該支持台３の移動
によりローレットローラ１は図３に示すようにフィルム
Ｆ上を回転しながら、移動するように構成されている。
【０００８】ローレットローラ１のプリント基板Ｗ搬送
方向下流側にはストッパ６が設けられており、ストッパ
エアシリンダ７により昇降するようになっている。この
ストッパ６によりプリント基板Ｗを所定位置で停止さ
せ、ローレットローラ１によりプリント基板Ｗのフィル
ムＦの先端部の位置に正確に剥離開始部５０を形成する
ように構成されている。基板確認センサ９はプリント基
板Ｗの到来を検出するためのもので、該基板確認センサ
９からの信号により一連の動作を実行するようになって
いる。
方向下流側にはストッパ６が設けられており、ストッパ
エアシリンダ７により昇降するようになっている。この
ストッパ６によりプリント基板Ｗを所定位置で停止さ
せ、ローレットローラ１によりプリント基板Ｗのフィル
ムＦの先端部の位置に正確に剥離開始部５０を形成する
ように構成されている。基板確認センサ９はプリント基
板Ｗの到来を検出するためのもので、該基板確認センサ
９からの信号により一連の動作を実行するようになって
いる。
【０００９】ローレットローラ１のプリント基板Ｗ搬送
方向上流側には、基板クランプ８が設けられ、プリント
基板Ｗを基台１０との間でクランプしてローレットロー
ラ１のフィルムＦ上の走行時にプリント基板Ｗを固定す
るようになっている。
方向上流側には、基板クランプ８が設けられ、プリント
基板Ｗを基台１０との間でクランプしてローレットロー
ラ１のフィルムＦ上の走行時にプリント基板Ｗを固定す
るようになっている。
【００１０】昇降エアシリンダ２の更に下流側には粘着
ローラ２０、２０が設けられており、フィルムＦに密着
して剥離開始部５０が形成された端部からフィルムＦを
剥がすように構成されている。粘着ローラ２０に代え
て、他のどのような剥離手段も採用可能である。
ローラ２０、２０が設けられており、フィルムＦに密着
して剥離開始部５０が形成された端部からフィルムＦを
剥がすように構成されている。粘着ローラ２０に代え
て、他のどのような剥離手段も採用可能である。
【００１１】図５によりローレットローラ１のフィルム
Ｆ上の走行のパターンを説明する。ローレットローラ１
はプリント基板Ｗの幅方向中央部から端部方向に走行さ
せる。これによりフィルムＦの幅方向端部に裂け目等を
生じないようになっている。ローレットローラ１の走行
は１回だけに限定されるものではなく、図示するように
必要に応じて複数回行うことが可能である。但し、Ｒで
示すプリント基板Ｗ幅方向中央部方向へ向かう走行の場
合には、端部を出発点とせずに、図示するようにプリン
ト基板Ｗの幅方向途中から走行を行わせる。これにより
フィルムＦの裂け等を防止することが可能である。
Ｆ上の走行のパターンを説明する。ローレットローラ１
はプリント基板Ｗの幅方向中央部から端部方向に走行さ
せる。これによりフィルムＦの幅方向端部に裂け目等を
生じないようになっている。ローレットローラ１の走行
は１回だけに限定されるものではなく、図示するように
必要に応じて複数回行うことが可能である。但し、Ｒで
示すプリント基板Ｗ幅方向中央部方向へ向かう走行の場
合には、端部を出発点とせずに、図示するようにプリン
ト基板Ｗの幅方向途中から走行を行わせる。これにより
フィルムＦの裂け等を防止することが可能である。
【００１２】図６乃至図９により動作を説明する。プリ
ント基板Ｗが搬送ローラ３０により基台１０に搬送され
（図６）、ストッパ６に当接して停止すると、基板クラ
ンプ８が下降して基台１０との間でプリント基板Ｗをク
ランプする（図７）。そして、ローレットローラ１によ
りプリント基板Ｗを表裏から挟み（図８）、横移動エア
シリンダ４によりローレットローラ１を幅方向に横移動
させる。ローレットローラ１は当初は図２に示すように
プリント基板Ｗの中央側に寄せておき、プリント基板Ｗ
の中央から端部方向に走行させる。
ント基板Ｗが搬送ローラ３０により基台１０に搬送され
（図６）、ストッパ６に当接して停止すると、基板クラ
ンプ８が下降して基台１０との間でプリント基板Ｗをク
ランプする（図７）。そして、ローレットローラ１によ
りプリント基板Ｗを表裏から挟み（図８）、横移動エア
シリンダ４によりローレットローラ１を幅方向に横移動
させる。ローレットローラ１は当初は図２に示すように
プリント基板Ｗの中央側に寄せておき、プリント基板Ｗ
の中央から端部方向に走行させる。
【００１３】該走行によりローレットローラ１は図３に
示すように回転しながらプリント基板ＷのフィルムＦに
接触して、フィルムＦ上に凹凸を形成する。この凹凸が
図４に示す剥離開始部５０となる。該剥離開始部５０は
プリント基板Ｗの中央部を境にフィルムＦの先端部に左
右に１対形成される。
示すように回転しながらプリント基板ＷのフィルムＦに
接触して、フィルムＦ上に凹凸を形成する。この凹凸が
図４に示す剥離開始部５０となる。該剥離開始部５０は
プリント基板Ｗの中央部を境にフィルムＦの先端部に左
右に１対形成される。
【００１４】ローレットローラ１を所定回数横行させた
ら、ローレットローラ１と基板クランプ８をプリント基
板Ｗから離してフリーにし、搬送ローラ３０により、粘
着ローラ２０に搬送する（図９）。そして、粘着ローラ
２０により剥離開始部５０からフィルムＦが剥がされ
る。
ら、ローレットローラ１と基板クランプ８をプリント基
板Ｗから離してフリーにし、搬送ローラ３０により、粘
着ローラ２０に搬送する（図９）。そして、粘着ローラ
２０により剥離開始部５０からフィルムＦが剥がされ
る。
【００１５】以上説明した実施形態では、剥離開始部５
０はフィルムＦ先端の幅方向ほぼ全体に形成されるた
め、粘着ローラ２０による剥離作業が極めて円滑に行わ
れ、部分的な剥離不良に起因するフィルムＦの裂け等が
生じない。また、剥離開始部５０はプリント基板Ｗの幅
方向中央部から端部に向かって形成されているため、ロ
ーレットローラ１とフィルムＦ端部との衝突による亀裂
等が生じておらず、剥離中にフィルムＦが裂ける等の問
題がない。更に４個のローレットローラ１を備えた機器
を２基配設して、同時に走行させるため作業時間が大幅
に短縮できる等の効果がある。
０はフィルムＦ先端の幅方向ほぼ全体に形成されるた
め、粘着ローラ２０による剥離作業が極めて円滑に行わ
れ、部分的な剥離不良に起因するフィルムＦの裂け等が
生じない。また、剥離開始部５０はプリント基板Ｗの幅
方向中央部から端部に向かって形成されているため、ロ
ーレットローラ１とフィルムＦ端部との衝突による亀裂
等が生じておらず、剥離中にフィルムＦが裂ける等の問
題がない。更に４個のローレットローラ１を備えた機器
を２基配設して、同時に走行させるため作業時間が大幅
に短縮できる等の効果がある。
【００１６】
【発明の効果】以上説明したように本発明の剥離装置に
よれば、フィルムの亀裂などが生じない正確なフィルム
の剥離作業が行え、しかも作業時間も短い等の効果があ
る。
よれば、フィルムの亀裂などが生じない正確なフィルム
の剥離作業が行え、しかも作業時間も短い等の効果があ
る。
【図１】本発明の一実施形態を示す概略立面図。
【図２】本発明の一実施形態の動作を示す概略正面図。
【図３】本発明の一実施形態の動作を示す説明図。
【図４】本発明の一実施形態の動作を示す説明図。
【図５】本発明の一実施形態の動作を示す説明図。
【図６】本発明の一実施形態の動作を示す概略立面図。
【図７】本発明の一実施形態の動作を示す概略立面図。
【図８】本発明の一実施形態の動作を示す概略立面図。
【図９】本発明の一実施形態の動作を示す概略立面図。
１：ローレットローラ、２：昇降エアシリンダ、３：支
持台、４：横移動エアシリンダ、５：ガイドレール、
６：ストッパ、７：ストッパエアシリンダ、８：基板ク
ランプ、９：基板確認センサ、１０：基台、２０：粘着
ローラ、３０：搬送ローラ、５０：剥離開始部。
持台、４：横移動エアシリンダ、５：ガイドレール、
６：ストッパ、７：ストッパエアシリンダ、８：基板ク
ランプ、９：基板確認センサ、１０：基台、２０：粘着
ローラ、３０：搬送ローラ、５０：剥離開始部。
Claims (5)
- 【請求項１】 対象物に貼着されたフィルムを剥離する
フィルム剥離装置であって、 対象物の幅方向のほぼ中央部から端部へ向けて前記フィ
ルムの端部に当接して凹凸を形成し、前記フィルム端部
に幅方向に剥離開始部を形成するローレットローラと、 該ローレットローラにより形成されたフィルム端部の剥
離開始部から該フィルムを剥離する剥離手段と、 を備えたことを特徴とするフィルム剥離装置。 - 【請求項２】 前記ローレットローラが少なくとも２個
設けられ、各ローレットローラが前記中央部から幅方向
反対方向に剥離開始部を形成する、請求項１に記載のフ
ィルム剥離装置。 - 【請求項３】 対象物の表裏にフィルムが貼着され、 前記ローレットローラが対象物の表裏にそれぞれ対向し
て少なくとも２個設けられ、各ローレットローラは対象
物の表裏のフィルム端部に剥離開始部を形成する、 請求項１又は２に記載のフィルム剥離装置。 - 【請求項４】 前記剥離手段が、前記フィルム端部に形
成された剥離開始部に当接し、粘着して該フィルムを対
象物から剥離する粘着ローラである、 請求項１又は２又は３に記載のフィルム剥離装置。 - 【請求項５】 前記対象物が回路基板と、該基板上に設
けられたフォトレジストであり、該フォトレジスト上に
前記フィルムが貼着されている、 請求項１又は２又は３又は４に記載のフィルム剥離装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001003429A JP2002211836A (ja) | 2001-01-11 | 2001-01-11 | フィルム剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001003429A JP2002211836A (ja) | 2001-01-11 | 2001-01-11 | フィルム剥離装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002211836A true JP2002211836A (ja) | 2002-07-31 |
Family
ID=18871772
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001003429A Pending JP2002211836A (ja) | 2001-01-11 | 2001-01-11 | フィルム剥離装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002211836A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008019021A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Fujifilm Corp | インクジェット記録装置 |
| CN100428016C (zh) * | 2004-09-14 | 2008-10-22 | 株式会社高鸟 | 叠片剥离方法及装置 |
| CN1963665B (zh) * | 2005-11-11 | 2011-08-17 | 株式会社阿迪泰克工程 | 薄膜剥离装置 |
-
2001
- 2001-01-11 JP JP2001003429A patent/JP2002211836A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN100428016C (zh) * | 2004-09-14 | 2008-10-22 | 株式会社高鸟 | 叠片剥离方法及装置 |
| CN1963665B (zh) * | 2005-11-11 | 2011-08-17 | 株式会社阿迪泰克工程 | 薄膜剥离装置 |
| KR101195344B1 (ko) | 2005-11-11 | 2012-10-29 | 가부시키가이샤 아도테크 엔지니어링 | 필름박리장치 |
| JP2008019021A (ja) * | 2006-07-11 | 2008-01-31 | Fujifilm Corp | インクジェット記録装置 |
| JP4610528B2 (ja) * | 2006-07-11 | 2011-01-12 | 富士フイルム株式会社 | インクジェット記録装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071127 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090901 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090908 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100112 |