JP2003248113A - ウエブ加工装置及びウエブ加工装置の加工ヘッド位置決め方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 搬送ライン上のウエブを加工する加工ヘッド
の位置決めを高い精度で行う。 【解決手段】 ウエブ加工装置１１は、ウエブ１０の複
数の加工エリア１０ａに対して加工を施す。ウエブ１０
は、加工エリア１０ａの長さＬ１に応じた所定量間欠送
りされる。送り時に加工ヘッド１２によって加工が施さ
れ、一時停止時に各加工エリア１０ａ毎に位置決めライ
ン３１がマーキングされる。加工中には、この位置決め
ライン３１に基づいて、加工ヘッド１２を幅方向に移動
して、加工ヘッド１２と加工エリア２６との相対位置を
補正する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、走行中のウエブに
各種の加工を施すウエブ加工装置及びウエブ加工装置の
加工ヘッド位置決め方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】各種フイルム，レンズシート，カラーフ
イルタなどは、原材料となるシートに各種パターンの転
写やインクの塗布などの各種の加工を施すことにより製
造される。この加工時には、ミクロンオーダの高い精度
が要求されるため、シートの位置決めを行う際には、例
えば、特開平６−９９３９２号公報に記載されているよ
うな位置決め方法が広く用いられている。

【０００３】この位置決め方法では、まず、加工前に予
め所定サイズにカットされたシートに、このシートと加
工ヘッドとの相対位置を決めるための位置決めマークを
マーキングしておく。次に、このシートを加工台にセッ
トして、位置決めマークをＣＣＤカメラで読み取り、そ
の画像をディスプレイに表示する。オペレータは、ディ
スプレイを見ながら、位置決めマークの現在位置と基準
位置とのズレ量を確認して、加工台を移動させて位置決
めをする。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
位置決め方法は、高い精度の位置決めが可能である反
面、生産効率が悪く、シート１枚当たりの製造コストが
高くなるという問題がある。そこで、生産効率を向上さ
せるという観点から、ロールから引き出された長尺のウ
エブを搬送するライン上に加工装置を配置し、前記ウエ
ブを被加工物として、これを搬送させながら、搬送方向
に沿って連続する加工エリアに対して連続的に加工を行
うことが検討されている。

【０００５】しかし、長尺のウエブを加工する場合に
は、位置ズレを防止するために、ウエブにテンションを
与えた状態で加工する必要がある。上述の位置決め方法
では、位置補正のためにウエブ自体を移動させるので、
その移動の際にはテンションを緩めなければならず、却
って位置ズレを引き起こす原因となってしまう。また、
長尺のウエブは、蛇行発生等の不具合が生じやすく、ハ
ンドリングが非常に難しい。そのため、位置補正のため
にウエブ自体を移動することは、ウエブの蛇行発生等の
原因ともなる。

【０００６】前述した課題を解決するために、本発明
は、搬送ライン上のウエブに対して高い精度で位置決め
が可能なウエブ加工装置及びその加工ヘッド位置決め方
法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明のウエブ加工装置は、加工ライン上に配置さ
れ、長尺のウエブを搬送する搬送手段と、前記ウエブを
走行させた状態でウエブ上の複数の加工エリアに対して
各種の加工を施す加工ヘッドとを備えたウエブ加工装置
において、前記加工ヘッドを前記ウエブの幅方向に移動
して前記加工エリアとの相対位置を補正する位置補正手
段と、前記ウエブを停止させた状態で、前記位置補正を
する際の基準となる位置決めラインを前記各加工エリア
毎にマーキングするマーキング手段と、この位置決めラ
インを撮像する撮像手段と、この撮像手段で得られた画
像に基づいて、前記位置決めラインの位置と予め設定さ
れた基準位置とのズレを調べることにより、前記加工ヘ
ッドの位置補正量を求める補正量算出手段とを設けたこ
とを特徴とする。

【０００８】前記搬送手段によって前記長尺のウエブ全
体を前記加工エリアの長さに応じた所定量間欠送りする
ことにより、加工するためのウエブの送りとマーキング
をするためのウエブの停止とを行う。

【０００９】前記搬送手段は、前記加工ヘッドとそれよ
りも上流に配置された前記マーキング手段との間にウエ
ブの一部を滞留させるアキュムレータを備えており、こ
のアキュムレータよりも上流にあるウエブの第１部分を
前記加工エリアの長さに応じた所定量間欠送りするとと
もに、それよりも下流にある第２部分を定速走行させ
る。

【００１０】マーキングをする前に停止したウエブのエ
ッジ位置を検出するエッジ位置検出手段と、このエッジ
位置検出手段からの信号に基づいてウエブの幅方向の位
置が予め設定された所定範囲内にあるかどうかを判定す
る判定手段とを設け、前記判定手段により前記ウエブの
幅方向の位置が所定範囲内にあると判定された場合には
マーキングを行い、所定範囲外にある場合にはマーキン
グをせずに加工ラインの運転を停止する。

【００１１】また、本発明のウエブ加工装置の加工ヘッ
ド位置決め方法は、長尺のウエブを走行させた状態で、
ウエブ上の複数の加工エリアに対して加工ヘッドによっ
て各種の加工を施す際、加工ヘッドよりも搬送方向上流
側に配置されたマーキング手段により、前記ウエブを停
止させた状態で、ウエブの搬送方向に沿った位置決めラ
インを各加工エリア毎にマーキングし、加工する際に
は、前記位置決めラインを撮像するとともに、撮像され
た画像に基づいて前記位置決めラインの位置と予め設定
された基準位置とのズレを調べることにより、前記加工
ヘッドの位置補正量を求め、この位置補正量に基づいて
前記加工ヘッドをウエブの幅方向に移動することにより
前記加工エリアとの相対位置を補正することを特徴とす
る。

【００１２】

【発明の実施の形態】図１に示すウエブ加工装置１１
は、液晶表示ディスプレイに使用されるカラーフイルタ
の加工ラインに配置される。カラーフイルタは、周知の
ように、透明の支持体上に、少なくともＲ，Ｇ，Ｂの３
色の画素をマトリックス状に配列したものである。各画
素はミクロンオーダーで配列されるため、その加工には
高精度な位置決めが要求される。各画素は、例えば、透
明な支持体上に各色のインクを塗布することにより形成
される。

【００１３】図２に示すように、カラーフイルタの原材
料となる透明な支持体は、長尺のウエブ１０として形成
される。このウエブ１０には、複数の加工エリア１０ａ
が所定間隔で配列されている。このウエブ１０をロール
状に巻いたウエブロール１６がウエブ加工装置１１にセ
ットされる。ウエブ加工装置１１は、ウエブロール１６
からウエブ１０を引き出し、このウエブ１０を搬送させ
ながら、ウエブ１０上の複数の加工エリア１０ａに対し
て連続的に加工を行う。このように複数の加工エリア１
０ａを連続的に加工することにより生産効率が高められ
る。

【００１４】ウエブ加工装置１１は、この長尺のウエブ
１０を搬送する搬送手段と、加工ヘッド１２とを備えて
おり、走行中のウエブ１０に対して加工ヘッド１２によ
り各色のインクを塗布することにより、ウエブ１０上に
三色のストライプパターンを形成する。加工ヘッド１２
は、その長手方向がウエブ１０の幅方向に沿うように配
置される。加工ヘッド１２は、Ｒ，Ｇ，Ｂの三色のイン
クを吐出するための多数の吐出口を備えており、これら
多数の吐出口はライン上に配列されている。この加工ヘ
ッド１２から搬送されるウエブ１０上に各色のインクが
吐出されて、三色のストライプパターンが形成される。

【００１５】搬送路上には、ウエブ１０を搬送するため
の各搬送ローラ１７，バックアップローラ１９，サクシ
ョンローラ１８，ラップローラ２０，ニップローラ４０
などからなる長尺のウエブ１０を搬送するための搬送手
段が配置されている。駆動モータ２３は、バックアップ
ローラ１９，サクションローラ１８，ニップローラ４０
を回転させる。これらの搬送手段によって、ウエブ１０
は、前記加工エリア１０ａの長さＬに応じた送り量分間
欠搬送され、その送り中に加工が施される。

【００１６】ライン制御部２１は、モータ駆動部２２を
介して駆動モータ２３を制御し、ウエブ１０の搬送を制
御する。ライン制御部２１は、加工制御部４１に対し
て、ウエブ１０の搬送が開始されたことを示す搬送開始
信号を送る。加工制御部４１は、この搬送開始信号に基
づいて、加工を開始する。他方、加工制御部４１は、１
つの加工エリア１０ａの加工が終了したときに、ライン
制御部２１に対して加工完了信号を送る。ライン制御部
２１は、この加工完了信号を受け取ると、ウエブ１０の
搬送を一時停止する。

【００１７】バックアップローラ１９は、加工ヘッド１
２と対面する位置に配置され、ウエブ１０を背面から支
持する。バックアップローラ１９の両脇にはラップロー
ラ２０が配置されている。ラップローラ２０は、ウエブ
１０にテンションを与えてバックアップローラ１９の一
部に巻き付ける（ラップする）ことで、ウエブ１０の加
工部分を平らにする。

【００１８】蛇行修正装置２４は、蛇行修正ローラと、
蛇行検知センサとからなり、ウエブ１０の蛇行を修正す
る。蛇行検知センサは、ウエブ１０の幅方向のズレを検
知する。この検知信号に基づいて、蛇行修正ローラが角
度を変えることで、ウエブ１０の蛇行が修正される。乾
燥装置２８は、加工ヘッド１２によってウエブ１０上に
塗布されたインクを乾燥させる。

【００１９】カッタ２６は、加工が完了したウエブ１０
を加工エリア１０ａに応じた長さに切断する。この切断
は、ウエブ１０が停止している間に行われる。カッタ２
６は、カッタ制御部２７によって制御される。ライン制
御部２１は、カッタ制御部２７に対して、搬送停止信号
を送り、他方、カッタ制御部２７は、ライン制御部２１
は、切断完了信号を送る。

【００２０】図３に示すように、加工ヘッド１２の搬送
方向上流側にあるマーキングステージ３５には、マーキ
ング装置が配置されている。マーキング装置は、マーカ
ー２９を備えており、停止したウエブ１０上に、位置決
めライン３１をマーキングする。この位置決めライン３
１は、加工ヘッド１２と加工エリア１０ａとの相対位置
を補正するための基準となるラインである。この位置決
めライン３１に基づいて、加工ヘッド１２の幅方向の位
置が補正される。

【００２１】位置決めライン３１は、各加工エリア１０
ａ毎にマーキングされる。この位置決めライン３１の長
さは、加工エリア１０ａの長手方向の長さＬ１に応じて
予め決められる。ウエブ１０の両側縁部に、その搬送方
向に沿ってマーキングされる。この位置決めライン３１
は、加工エリア１０ａの外側にマーキングされるが、加
工エリア１０ａの境界位置にマーキングしてもよい。な
お、図上、加工エリア１０ａのうちハッチングで示す部
分は、加工済み部分であることを示す。

【００２２】マーカー２９は、アクチュエータ３０に取
り付けられており、ウエブ１０の搬送方向に沿って移動
する。アクチュエータ３０は、マーカー駆動部３２から
の駆動信号に基づいてマーカー２９を移動させる。マー
キング制御部２５は、マーカー駆動部３２を介してマー
カー２９を制御する。マーカー２９の移動範囲は、加工
エリア１０ａの長さＬ１に応じて決められる。

【００２３】このマーカー２９と対向する位置には、サ
クションテーブル３３が配置されている。サクションテ
ーブル３３は、停止状態にあるウエブ１０を吸い付けて
固定する。サクションテーブル３３の大きさは、加工エ
リア１０ａの長さＬ１に応じて決められる。

【００２４】サクションテーブル３３は、表面に微細な
孔が多数設けられたテーブルであり、吸引バルブが内蔵
されている。吸引バルブは、マーキング制御部２５と接
続された吸引バルブ駆動部３４によって駆動される。サ
クションテーブル３３は、マーキング制御部２５からの
駆動信号により、吸引バルブを解放して、空気の負圧に
よってウエブ１０を吸い付ける。マーキングはウエブ１
０がサクションテーブル３３に固定された状態で行われ
るので、ウエブ１０を走行させた状態でマーキングする
場合と比較して、ブレのない直線の位置決めライン３１
を引くことができる。位置決めライン３１は、加工ヘッ
ド１２の位置決めをする際の基準となるから、その精度
を向上することは、加工ヘッド１２の位置決めの精度向
上につながる。

【００２５】マーキング制御部２５には、加工制御部４
１と同様に、ライン制御部２１から搬送信号が送られ
る。マーキング制御部２５は、ライン制御部２１から搬
送停止信号を受け取ると、マーカー２９を作動させてマ
ーキングを開始する。そして、マーキング制御部２５
は、マーキングが完了すると、ライン制御部２１に対し
てマーキング完了信号を送る。ライン制御部２１は、こ
のマーキング完了信号を受信して、搬送を再開する。

【００２６】図４は、ウエブの搬送と、加工及びマーキ
ングのそれぞれのタイミングを示すタイミングチャート
である。ウエブを停止させた状態でマーキングが行わ
れ、搬送が再開されると、マーキングされた加工エリア
１０ａよりも下流側にある別の加工エリア１０ａの加工
が開始される。各加工エリア１０ａの配列間隔は予め決
められており、また、ウエブ１０の送り量もその加工エ
リア１０ａの大きさに応じて決められる。このため、加
工ヘッド１２とマーキングステージ３５の相対位置関係
は、加工エリア１０ａの大きさ及びそれらの配列間隔に
応じて決められる。

【００２７】すなわち、ウエブ１０は所定量の送り中に
加工が施され、一時停止中にマーキングがなされる。そ
のため、一時停止時には、次の送り中に加工されるべき
加工エリア１０ａの加工開始位置が、加工ヘッド１２の
上流側近傍に位置するとともに、マーキングステージ３
５には、マーキングが施される加工エリア１０ａが位置
していなければならない。マーキングステージ３５及び
加工ヘッド１２の相対位置関係は、このような条件を満
たすように配置される。なお、加工ヘッド１２の位置
に、次に加工される加工エリアの加工開始位置が位置す
るようにウエブ１０を一時停止させてもよいし、すでに
加工済みの加工エリア１０ａの加工終了位置が位置する
ように一時停止させてもよい。

【００２８】また、マーカー２９の近くには、マーキン
グする前に停止したウエブ１０のエッジ位置を検出する
エッジ位置検出センサ３６が配置されている。エッジ位
置検出センサ３６は、例えば、複数のフォトセンサから
なる。これらのフォトセンサは、幅方向に沿って配列さ
れている。エッジ位置検出センサ３６は、マーキング制
御部２５と接続されており、各フォトセンサがそれぞれ
ウエブ１０を検出した場合には、その検出信号がマーキ
ング制御部２５に送られる。マーキング制御部２５は、
各フォトセンサからの検出信号の有無を調べて、ウエブ
１０のエッジ位置を検出する。

【００２９】マーキング制御部２５は、ウエブ１０のエ
ッジ位置が所定の範囲内にあるかどうかを調べ、所定範
囲内にあると判定した場合には、マーカー駆動部３２に
対してマーキング開始信号を送る。所定範囲内に無い場
合には、ライン制御部２１に異常検出信号を送る。ライ
ン制御部２１は、ラインの運転を停止して、音声や、モ
ニタにメッセージを表示するなどの方法により警告を発
する。

【００３０】このように、ウエブ１０にマーキングを施
す前に、その位置が許容範囲内にあるかどうか調べるこ
とにより、ウエブ１０の搬送が正常に行われているかど
うかをチェックしている。このため、マーキングや加工
は、幅方向の位置が所定範囲内に入っている場合にだけ
行われることになる。したがって、補正のために加工ヘ
ッド１２が幅方向に移動する量は、比較的小さくて済む
ので、加工ヘッド１２の位置補正の精度も向上する。

【００３１】加工ヘッド１２は、ヘッド取り付け部４５
に取り付けられており、ウエブ１０上の複数の加工エリ
ア１０ａに対して加工を施す。加工エリア１０ａの幅Ｗ
は、所定の長さで決められており、この幅Ｗに応じて加
工ヘッド１２の長さが決められる。

【００３２】ヘッド取り付け部４５は、ウエブ１０の幅
方向に移動自在に設けられている。ヘッド移動機構３７
は、ヘッド取り付け部４５をウエブ１０の幅方向に移動
して、加工エリア１０ａと加工ヘッド１２との相対位置
を補正する。

【００３３】各ＣＣＤカメラ３８は、ウエブ１０上の位
置決めライン３１を読みとるための撮像手段である。こ
れら各ＣＣＤカメラ３８によって撮像された各撮像デー
タは、加工制御部４１内の画像解析部４２へ送られる。
画像解析部４２は、各撮像データを解析して各位置決め
ライン３１の現在位置を測定する。この測定結果は、位
置補正量算出部４３へ送られる。

【００３４】位置補正量算出部４３は、位置決めライン
３１の現在位置のデータを基に、加工ヘッド１２の幅方
向の補正量を算出する。加工制御部４１は、この補正量
に基づいて、ヘッド移動機構３７を制御する。これによ
り、ヘッド取り付け部４５とともに加工ヘッド１２が移
動し、加工エリア１０ａとの相対位置が補正される。各
ＣＣＤカメラ３８は、加工中に所定の間隔で撮像した画
像を随時画像解析部４２に対して送る。加工制御部４１
は、この画像を基に加工ヘッド１２と位置決めライン３
１との相対位置をフィードバック制御する。

【００３５】以下、上記構成による作用について、図５
に示すフローチャートに従って説明する。ライン制御部
２１は、加工エリア１０ａがマーキングステージ３５に
達すると、ウエブ１０の搬送を一時停止して搬送停止信
号をマーキング制御部２５に送る。

【００３６】マーキング制御部２５は、この搬送停止信
号を受けると、サクションテーブル３３をＯＮしてその
表面にウエブ１０を吸着させる。そして、マーキング制
御部２５は、エッジ位置検出センサ３６にからの検出信
号に基づいて、ウエブ１０のエッジ位置が所定範囲内に
あるかどうかを調べる。ウエブ１０が所定範囲外にある
場合には、ライン制御部２１に異常検出信号を送る。ラ
イン制御部２１は、異常検出信号を受けると、ラインの
運転を止めて警告を発する。

【００３７】他方、ウエブ１０が所定範囲内にある場合
には位置決めライン３１をマーキングをする。マーキン
グが完了すると、マーキング制御部２５は、ライン制御
部２１に対してマーキング完了信号を送る。また、ウエ
ブ１０の一時停止中には、カッタ２６によってウエブ１
０が所定サイズのシートに切断される。カッタ制御部２
７は、切断完了信号をライン制御部２１に送る。ライン
制御部２１は、マーキング完了信号及び切断完了信号を
受信すると、ウエブ１０の搬送を再開するとともに、搬
送開始信号を加工制御部４１に送る。

【００３８】加工制御部４１は、搬送開始信号を受ける
と、ヘッド駆動部４４を介して加工ヘッド１２を作動さ
せて加工を開始する。これにより、加工エリア１０ａに
三色のストライプパターンが形成される。

【００３９】この加工途中に、加工制御部４１は、各Ｃ
ＣＤカメラ３８を作動させて位置決めライン３１を読み
とる。各ＣＣＤカメラ３８は、その撮像データを画像解
析部４２に送る。画像解析部４２は、この撮像データを
解析して、位置決めマーク３１の現在位置を測定する。
位置補正量算出部４３は、この位置決めマーク３１の現
在位置と、基準位置とのズレに応じて補正量を求める。

【００４０】加工制御部４１は、この補正量に基づいて
加工ヘッド１２を幅方向に移動して、加工ヘッド１２と
加工エリア１０ａとの相対位置を補正する。この補正
は、各ＣＣＤカメラ３８の撮像間隔に応じて随時行われ
る。このように、ウエブ１０自体を移動する代わりに、
ウエブ１０の変位に追従して加工ヘッド１２を移動して
位置補正をするので、精度の高い位置決めを行うことが
できる。

【００４１】加工制御部４１は、１つの加工エリア１０
ａの加工が完了すると、ライン制御部２１に対して加工
完了信号を送る。ライン制御部２１は、所定量の搬送を
終了すると、ウエブ１０を停止させる。加工完了信号を
受けた後にマーキング制御部２５及びカッタ制御部２７
に搬送停止信号を送る。この搬送停止信号を受けて、マ
ーキング制御部２５及びカッタ制御部２７がそれぞれの
処理を開始する。以上の手順が加工予定数分終了するま
で繰り返される。ライン制御部２１は、加工予定数分の
処理が終了した場合には、ラインの運転を停止する。

【００４２】上記実施形態では、マーカーの移動範囲を
予め決められた加工エリアの長さＬ１に応じて決めてい
るが、図６に示すように、マーカー２９の移動範囲Ｒを
比較的長くするとともに、マーキングの開始位置を可変
とすることにより、加工エリア長Ｌ１だけでなく、この
Ｌ１よりも短いＬ２や、Ｌ１よりも長いＬ３などの各種
の長さを持つ加工エリアのマーキング及び加工が可能に
なる。

【００４３】図６（Ａ）は、加工エリア長Ｌ１を加工す
る場合であり、この場合には、マーカー２９のマーキン
グ開始位置がＰ１となる。図から明らかなように、上記
第１の実施形態と比較して、マーカー２９の移動範囲Ｒ
は長くしてある。それに応じてサクションテーブル３３
の長さも長い。

【００４４】図６（Ｂ）は、加工エリア長Ｌ２を加工す
る場合であり、この場合には、マーカー２９のマーキン
グ開始位置は、Ｐ１よりも上流のＰ２となる。そして、
図６（Ｃ）は、加工エリア長Ｌ３を加工する場合であ
り、この場合には、マーカー２９のマーキング開始位置
は、Ｐ２よりも下流で、かつ、Ｐ１よりも上流のＰ３と
なる。

【００４５】各加工エリアＬ１〜Ｌ３のいずれの場合に
おいても、マーキングステージ３５と、加工ヘッド１２
との位置関係は、上述の関係を満たしており、マーキン
グステージ３５にマーキングされる加工エリア１０ａが
ある場合には、その加工エリア１０ａとは別の加工され
るべき加工エリア１０ａの加工開始位置が加工ヘッド１
２の位置Ｐｈの近傍に位置している。

【００４６】また、上記実施形態では、ウエブ１０の全
体を間欠搬送することにより、マーキングのための停止
と、加工のための走行とを繰り返している。しかし、マ
ーキングはウエブを停止させた状態で行った方が位置決
めラインの精度は上がるが、間欠送りは、ウエブの位置
ズレの原因となる場合もあるため、加工については、ウ
エブを定速走行させた状態で行った方が加工精度の向上
につながる。

【００４７】そこで、図７に示すように、加工ヘッド１
２と、それよりも上流に配置されたマーキングステージ
３５との間に、ウエブ１０の一部を滞留させるアキュム
レータ５１を設け、このアキュムレータ５１よりも上流
にあるウエブ１０の第１部分５２を、加工エリア１０ａ
の長さに応じた送り量分間欠送りするとともに、それよ
りも下流にある第２部分５３を定速走行させるようにし
てもよい。

【００４８】アキュムレータ５１は、周知のように、昇
降部５６が昇降することによって、ウエブ１０を滞留さ
せる。このアキュムレータ５１よりも上流側の第１部分
５２は、搬送速度Ｖ１で間欠搬送される。その一時停止
時に位置決めライン３１のマーキングがなされる。アキ
ュムレータ５１よりも下流側の第２部分５３は、搬送速
度Ｖ１よりも遅い搬送速度Ｖ２で定速走行する。アキュ
ムレータ５１には、搬送速度Ｖ１でウエブ１０が送り込
まれる。アキュムレータ５１は、昇降部５６を下降させ
ることによりウエブ１０を滞留させて、搬送速度Ｖ１と
搬送速度Ｖ２との速度差を解消する。そして、マーキン
グのための停止中に、昇降部５６が上昇し、滞留したウ
エブ１０がアキュムレータ５１から吐き出される。

【００４９】なお、第１部分５２と第２部分５３との搬
送速度が異なるが、バックアップローラ１９と、サクシ
ョンローラ７２とをそれぞれ別のモータで駆動してもよ
い。

【００５０】図８は、この実施形態のタイミングチャー
トである。このチャートに示すように、この例では、マ
ーキングと加工とがほぼ同じタイミングで開始される。
そして、加工完了よりもマーキングの完了が速く、マー
キングが完了してから、次の加工が始まるまでの間に、
第１部分５２が１つの加工エリア長に応じた送り量Ｓ分
送られる。この送り量Ｓが、アキュムレータ５１に滞留
するウエブ１０の長さに対応する。

【００５１】こうすることで、ウエブ１０を定速走行さ
せながら加工を行うとともに、そのマーキング位置にお
いては、ウエブ１０を間欠搬送させ、その一時停止中に
ウエブ１０をマーキングすることができる。このため、
マーキングと加工の両方の精度を向上させることができ
る。

【００５２】上記実施形態においては、加工内容として
３色のインクを塗布してカラーフイルタを製造する例で
説明しているが、例えば、ウエブに発光体を転写してＥ
Ｌ（Electro luminescence）を製造したりする場合にも
適用することができる。もちろん、塗布加工に限らず、
例えば、ウエブにストライプ状の溝を形成するなどのエ
ッチング加工をする場合や、支持体上に感光（レジス
ト）膜を塗布したウエブを使用して、このウエブに対し
てレーザービームや電子ビームを照射して前記感光膜を
溶融することによりパターンを転写する場合に本発明を
適用してもよい。

【００５３】また、レーザーアブレーション法によって
ウエブ上に薄膜を形成する場合にも適用することができ
る。レーザーアブレーションとは、膜の材料となる物質
をターゲットとし、このターゲットに対してレーザーを
照射することにより、その物質の微粒子を飛散させる技
術である。

【００５４】エッチング加工やレーザーアブレーション
をする場合には、上記乾燥装置の代わりに除塵装置を設
け、加工後にウエブ表面に付着した削り屑や塵などを取
り除くようにするとよい。

【００５５】また、加工ヘッドとして、加工エリアの幅
に対応した長さを持つラインヘッドの例で説明したが、
ピンポイント加工を行うヘッドを用い、このヘッドを幅
方向に往復動させながら加工を施すようにしてもよい。
これによれば、搬送方向に沿ったストライプパターンだ
けでなく、ウエブの幅方向に沿ったパターンや幅方向に
対して傾斜したパターンなどを形成することも可能とな
る。

【００５６】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明は、
加工ライン上に配置され、長尺のウエブを走行させた状
態で、ウエブ上の複数の加工エリアに対して加工ヘッド
によって各種の加工を施す加工装置の加工ヘッド位置決
め方法において、加工ヘッドよりも搬送方向上流側に配
置されたマーキング手段により、前記ウエブを停止させ
た状態で、ウエブの搬送方向に沿った位置決めラインを
各加工エリア毎にマーキングし、加工する際には、前記
位置決めラインを撮像するとともに、撮像された画像に
基づいて前記位置決めラインの位置と予め設定された基
準位置とのズレを調べることにより、前記加工ヘッドの
位置補正量を求め、この位置補正量に基づいて前記加工
ヘッドをウエブの幅方向に移動することにより前記加工
エリアとの相対位置を補正するようにしたから、搬送ラ
イン上のウエブに対して高い精度で位置決めをすること
ができる。また、ウエブを停止させた状態で位置決めラ
インのマーキングを行うようにしたから、位置決めライ
ンの精度が向上し、この結果、加工ヘッドの位置決め精
度も向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】ウエブ加工装置の構成図である。

【図２】ウエブの説明図である。

【図３】ウエブ加工装置の要部斜視図である。

【図４】搬送，加工，マーキングのタイミングを示すチ
ャートである。

【図５】位置決め手順を示すフローチャートである。

【図６】加工エリア長を可変にする場合の構成図であ
る。

【図７】アキュムレータを付加した構成図である。

【図８】アキュムレータを付加した場合のタイミングチ
ャートである。

【符号の説明】

１０ ウエブ １０ａ 加工エリア １１ ウエブ加工装置 ２１ ライン制御部 ２５ マーキング制御部 ２９ マーカー ３１ 位置決めライン ３７ ヘッド移動機構 ３８ ＣＣＤカメラ ４１ 加工制御部

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 加工ライン上に配置され、長尺のウエブ
   を搬送する搬送手段と、前記ウエブを走行させた状態で
   ウエブ上の複数の加工エリアに対して各種の加工を施す
   加工ヘッドとを備えたウエブ加工装置において、 前記加工ヘッドを前記ウエブの幅方向に移動して前記加
   工エリアとの相対位置を補正する位置補正手段と、前記
   ウエブを停止させた状態で、前記位置補正をする際の基
   準となる位置決めラインを前記各加工エリア毎にマーキ
   ングするマーキング手段と、この位置決めラインを撮像
   する撮像手段と、この撮像手段で得られた画像に基づい
   て、前記位置決めラインの位置と予め設定された基準位
   置とのズレを調べることにより、前記加工ヘッドの位置
   補正量を求める補正量算出手段とを設けたことを特徴と
   するウエブ加工装置。
2. 【請求項２】 前記搬送手段によって前記長尺のウエブ
   全体を前記加工エリアの長さに応じた所定量間欠送りす
   ることにより、加工するためのウエブの送りとマーキン
   グをするためのウエブの停止とを行うことを特徴とする
   請求項１記載のウエブ加工装置。
3. 【請求項３】 前記搬送手段は、前記加工ヘッドとそれ
   よりも上流に配置された前記マーキング手段との間にウ
   エブの一部を滞留させるアキュムレータを備えており、
   このアキュムレータよりも上流にあるウエブの第１部分
   を前記加工エリアの長さに応じた所定量間欠送りすると
   ともに、それよりも下流にある第２部分を定速走行させ
   ることを特徴とする請求項１記載のウエブ加工装置。
4. 【請求項４】 マーキングをする前に停止したウエブの
   エッジ位置を検出するエッジ位置検出手段と、このエッ
   ジ位置検出手段からの信号に基づいてウエブの幅方向の
   位置が予め設定された所定範囲内にあるかどうかを判定
   する判定手段とを設け、前記判定手段により前記ウエブ
   の幅方向の位置が所定範囲内にあると判定された場合に
   はマーキングを行い、所定範囲外にある場合にはマーキ
   ングをせずに加工ラインの運転を停止することを特徴と
   する請求項１〜３いずれか記載のウエブ加工装置。
5. 【請求項５】 長尺のウエブを走行させた状態で、ウエ
   ブ上の複数の加工エリアに対して加工ヘッドによって各
   種の加工を施す加工装置の加工ヘッド位置決め方法にお
   いて、 加工ヘッドよりも搬送方向上流側に配置されたマーキン
   グ手段により、前記ウエブを停止させた状態で、ウエブ
   の搬送方向に沿った位置決めラインを各加工エリア毎に
   マーキングし、加工する際には、前記位置決めラインを
   撮像するとともに、撮像された画像に基づいて前記位置
   決めラインの位置と予め設定された基準位置とのズレを
   調べることにより、前記加工ヘッドの位置補正量を求
   め、この位置補正量に基づいて前記加工ヘッドをウエブ
   の幅方向に移動することにより前記加工エリアとの相対
   位置を補正することを特徴とするウエブ加工装置の加工
   ヘッド位置決め方法。