JP4876265B2 - シート部材の塵除去装置、及びシート部材検査装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、シート部材の塵除去装置、及びシート部材検査装置に関し、特に、シート部材表面に付着した塵を確実に除去することのできるシート部材の塵除去装置、及びシート部材検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
写真用フィルム、印刷用フィルム、パターン(配線)の形成されたフィルムやテープ状の基板、半導体製造用のマスク、ウエハー等のシート部材表面の塵は、これらシート状部材にとっては品質の低下を招く不用のもの、即ち異物であり、種々の方法によって除去されてきた。
【0003】
また、上記シート部材の欠陥を検査するために、テレビカメラでシート部材を撮影し、画像処理を行って欠陥を検出する方法が考えられている。
【0004】
しかしながら、シート部材の表面に、塵等が付着していると、塵を欠陥として判断してしまう問題がある。
【0005】
そこで、シート部材の表面を撮影する前に、表面の塵を除去する必要がある。
【0006】
従来、写真用フィルム、印刷用フィルム、パターン(配線)の形成されたフィルムやテープ状の基板、半導体製造用のマスク、ウエハー等のシート部材の表面に付着した塵を除去する塵除去装置としては、粘着性を有するローラをフィルム表面に接触させて塵を除去する装置や、イオン風により塵を除去する装置がある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記粘着性を有するローラを用いた塵除去装置では、ローラの粘着力の低下により塵除去性能が低下するため、定期的にローラの清掃や交換等のメインテナンスが必要となる問題がある。
【0008】
また、イオン風により塵を除去する塵除去装置では、塵が帯電しなければ効果が無く、また強固に付着した塵を除去することが出来ない問題がある。
【0009】
本発明は上記事実を考慮し、面倒なメインテナンスを必要とせず、シート部材の表面に付着した塵を確実にすることのできるシート部材の塵除去装置を提供することが第1の目的である。
【0010】
また、第2の目的は、シート部材表面の塵を読取手段で読み取る前に除去し、シート部材の欠陥部位の判断ミスを誘発することの無いシート部材検査装置を提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】
請求項1に記載の発明は、シート部材表面に付着した塵を除去するシート部材の塵除去装置であって、前記シート部材表面との間に0.1〜1.0mmの間隙を設けて前記シート部材の一方面及び他方の面に対向するように配置され、マトリクス状に配置された多数の孔からシート部材表面に向けて高圧の空気を噴出して前記間隙に前記シート部材表面に沿って速度5m/s以上の空気流を生成する互いに平行な一対の空気噴出面と、前記空気噴出面の孔に向けて圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、を備え、一方の前記空気噴出面の孔と他方の前記空気噴出面の孔とは互いに対向し、かつ前記孔は前記空気噴出面に対して直角に形成されている、ことを特徴としている。
【0012】
請求項1に記載のシート部材の塵除去装置では、圧縮空気供給手段から供給された高圧の空気が、マトリクス状に配置された多数の孔を介して空気噴出面とシート部材表面との間の0.1〜1.0mmの狭い間隙内に噴出される。
【0013】
空気噴出面とシート部材表面の間に形成される狭い間隙、即ち、面と面の間に形成される狭い間隙内に高圧の空気を噴出するので、孔から噴出された空気は、狭い間隙内をシート部材表面に沿って5m/s以上の高速で流れ、シート部材表面に強固に付着した塵であっても、狭い間隙の外へと吹き飛ばして除去することができる。
【0014】
なお、空気噴出面の孔の正面を横切るようにシート部材を搬送することにより、長尺状のシート部材を連続して処理することが出来る。
【0015】
【0016】
【0017】
シート部材表面に沿って流れる空気の速度を5m/s以上としたので、シート部材表面に付着した塵を確実に除去することが出来る。
【0018】
なお、シート部材表面に沿って流れる空気の速度は、30m/s以上とすることが好ましく、50m/s以上とすることが更に好ましい。
【0019】
【0020】
一対の空気噴出面の間にシート部材を通過させることにより、シート部材の両面の塵を除去することが出来る。
【0021】
また、一方の空気噴出面の孔と、他方の空気噴出面の孔とが互いに対向しているので、一対の空気噴出面の中間位置にシート部材を非接触で安定した状態で通過させることができる。
【0022】
【0023】
【0024】
【0025】
【0026】
【0027】
【0028】
【0029】
【0030】
請求項2に記載の発明は、シート部材を搬送する搬送手段と、前記搬送手段により搬送された前記シート部材を画像として読み取る画像読取手段と、前記画像読取手段により読み取られた画像を処理して欠陥部位を検出する検出手段と、を備えたシート部材検査装置であって、前記画像読取手段よりも、シート部材搬送方向上流側に、請求項1に記載のシート部材の塵除去装置を設けたことを特徴としている。
【0031】
請求項2に記載のシート部材検査装置では、搬送手段でシート部材を搬送しながら、読取手段によりシート部材表面を読み取り、読み取った画像を検出手段が画像処理して欠陥部位を検出することができる。
【0032】
ここで、読取手段で読み取る前に、シート部材表面の塵をシート部材の塵除去装置で除去するので、塵によって欠陥部位の判断ミスを誘発することが無くなる。
【0033】
【発明の実施の形態】
[実施形態]
以下、図1乃至図5を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
【0034】
図2に示すように、検査装置8は、多数のパッケージパターンが繰り返し形成されたCSPテープ12とスペーサテープ14とを共に巻き取ってロール状に形成したCSPロール10aを保持する供給側リールハンドラー20と、CSPロール10aから引き出されたCSPテープ12の搬送経路を形成するCSPテープ搬送用ローラ(第1のローラ22、第2のローラ24、第3のローラ26、第4のローラ28、第5のローラ30)と、CSPテープ12と共に引き出されたスペーサテープ14をCSPテープ12とは別の搬送経路で搬送するスペーサテープ搬送用ローラ34、36と、CSPテープ12の表面に付着した塵を除去する塵除去装置38、搬送中のCSPテープ12に対して光を照明する照明装置(光源50、照明光学系52)と、照明された位置のCSPテープ12を画像として取り込むCCDカメラ40と、CCDカメラ40からの画像情報に基づいて画像処理を行ってパッケージパターンの欠陥を検出するコンピュータ42と、欠陥有りと検知されたパッケージパターンの予め定めた位置に穿孔するパンチ装置54と、コンピュータ42からの情報に基づいてパンチ装置54の穿孔動作を制御する制御部46と、検査終了後のCSPテープ12を他の搬送経路で搬送されたスペーサテープ14と共に巻き取ってロール状のCSPロール10bとする巻取側リールハンドラー32とを備えている。
【0035】
このような構成の検査装置8において、CSPロール10aから引き出されたCSPテープ12は、第1のローラ22から第2のローラ24に搬送され、第2のローラ24と第3のローラ26及び第4のローラ28とによって平坦な状態で搬送される。
【0036】
このとき、欠陥のあるパッケージパターンの検出と、検出されたパッケージパターンに対するマーキングとが施される(詳細は後述する)。
【0037】
その後、第5のローラ30を介して巻取側リールハンドラー32により別の搬送経路で搬送されたスペーサテープ14と対となって巻き取られ、ロール状にされる。
【0038】
第2のローラ24と第3のローラ26との間には、CCDカメラ40が配置されており、また、CCDカメラ40の後段である第3のローラ26と第4のローラ28との間にはパンチ装置54が配置されている。
【0039】
CCDカメラ40の読取位置には、光源50からの光を集光する照明光学系52により光がCCDカメラ40と同じ側から照明されている。
【0040】
CCDカメラ40は、上記読取位置を反射した光を画像データとして読み取り、コンピュータ42に出力する。
【0041】
コンピュータ42は、予めプログラムされた演算により入力された画像データが正常なパッケージパターンを読み取ったものか、欠陥のあるパッケージパターンを読み取ったものかを判断する。
【0042】
コンピュータ42がパッケージパターンに欠陥があると判断すると、コンピュータ42は欠陥のあるパッケージパターンの位置を制御部46に出力する。
【0043】
制御部46は、入力された位置情報に基づき、欠陥有りと判断されたパッケージパターンがパンチ装置54の下方に配置された時にパンチ装置54に穿孔指示を出し、例えば、パッケージパターンの対向する2隅や4隅などのように、パッケージパターンの予め決定した箇所を穿孔して目印となる孔を形成する。
(塵除去装置)
CCDカメラ40よりもCSPテープ12の搬送方向上流側には、塵除去装置38を構成するノズル60が配置されている。
【0044】
ノズル60はCSPテープ12の幅方向に沿って長い角柱形状を呈しており、上下方向中間部分に、CSPテープ12が通過可能なスリット62が形成されている。
【0045】
図1に示すように、ノズル60は内部が中空であり、互いに平行なスリット62の上壁面62A及び下壁面62Bには、図1,4に示すように中空部分に連通する多数の小孔64がマトリクス状に形成されている。
【0046】
なお、上壁面62A及び下壁面62Bが、各々本発明の空気噴出面に相当する。
【0047】
図3に示すように、ノズル60は配管66を介してフィルター68及びエアーコンプレッサー70に接続されている。
【0048】
ここで、上壁面62AとCSPテープ12との間に形成される狭い空間の厚みt及び下壁面62BとCSPテープ12との間に形成される狭い空間の厚みtは、0.1〜1.0mm程度である(図5参照)。
【0049】
また、本実施形態の小孔64の径は0.8mmであり、上壁面62Aの小孔64と、下壁面62Bの小孔64とは20μmの精度で対向している。
(作用)
次に、本実施形態の作用を説明する。
【0050】
この検査装置8では、CSPテープ12のパッケージパターンをCCDカメラ40により読み取り、得られる画像データをコンピュータで画像処理してパターン欠陥があるかないか判断し、パターン欠陥が有ると判断した場合には、CCDカメラの後段に配置したパンチ装置により対応するパッケージパターンに対して孔を形成するため、その後の処理工程においてパターン欠陥のあるパッケージを他と区別することができる。
【0051】
また、CCDカメラ40で読み取る直前で、CSPテープ12は、ノズル60のスリット62内を通過する。
【0052】
ノズル60の小孔64からは高圧の空気が噴出され、噴出された空気はスリット62内をCSPテープ12の表面に沿って高速で流れ、スリット62外へ排出される。
【0053】
本実施形態では、噴出された空気が図5の矢印Aで示すように、CSPテープ12の表面に沿って、CSPテープ12の搬送方向上流側及び下流側(矢印B方向)に高速で流れる。
【0054】
CSPテープ12の表面に付着していた塵は、スリット62内を通過する際に、CSPテープ12の表面に沿って流れる高速の空気で吹き飛ばされ除去される。
【0055】
スリット62内を通過した後のCSPテープ12の表面には塵が付着していないので、CCDカメラ40は、塵の付着していないCSPテープ12を読み取ることができ、付着した塵をパターン欠陥として認識する判断ミスを犯すことが無くなる。
【0056】
また、上の小孔64と下の小孔64とを互いに対向させているので、スリット62の中間位置にCSPテープ12を非接触で安定した状態で通過させることができる。
【0057】
なお、CSPテープ12の表面に付着した塵を確実に吹き飛ばすには、CSPテープ12の表面に沿って流れる空気(図5の矢印A)の速度は、5m/s以上が好ましく、30m/s以上が更に好ましく、50m/s以上がより一層好ましい。
【0058】
また、図5に示すように、上壁面62A及び下壁面62Bの幅(テープ搬送方向の幅)W、即ち、CSPテープ12の表面に沿って流れる空気流の長さは、10mm以上、好ましくは30mm以上である。
【0059】
上記幅Wは大きい方が、高速で流れる空気とCSPテープ12との接触時間が長くなり、塵の除去性能が向上する。
【0060】
なお、図6に示すように、ノズル60のスリット62内部にCSPテープ12を送りこむローラ72をノズル60に設けても良い。
[第1の参考例]
次に、参考例を説明する。なお、第1の実施形態と同一構成には同一符号を付し、その説明は省略する。
【0061】
この例では、図7及び図8に示すように、CSPテープ12は複数の回転するローラ74によって水平に搬送され、所定のローラ74の真上にノズル60が接近して配置されている。
【0062】
参考例のノズル60は、第1の実施形態のノズル60の上半分の部分で構成されている。
【0063】
ノズル60には、後述する制御装置76によって駆動を制御されるソレノイド等のアクチュエータ78が連結されている。このアクチュエータ78はノズル60を上下方向に移動することができる。
【0064】
また、ノズル60よりもCSPテープ12の搬送方向上流側には、光学式の距離計測器80が配置されている。
【0065】
距離計測器80は、距離計測器80からCSPテープ12の上面までの距離を測定し、距離検出信号を制御装置76に出力する。
【0066】
制御装置76は、距離計測器80で計測した距離が、予め設定した値以下であるか否かを判断し、予め設定した値以下の場合には、アクチュエータ78を制御してノズル60を一定時間上方に移動する。
【0067】
参考例では、厚みのある部材82が表面に装着されたCSPテープ12を搬送する場合に、上記部材82がノズル60に接触しないようにCSPテープ12を搬送することができる。
[第2の参考例]
次に、第2の参考例を説明する。なお、第1の参考例と同一構成には同一符号を付し、その説明は省略する。
【0068】
図9(A),(B)に示すように、本参考例のノズル60は、第1の参考例のノズル60の変形例であり、ノズル60の上壁面62Aには、CSPテープ12の搬送方向とは直交方向(図9(A)の紙面裏表方向)に延びる絞り形成壁面84が、CSPテープ12の搬送方向に沿って間隔を開けて複数形成されている。
【0069】
なお、本参考例では、複数の小孔64が上壁面62Aの中央部分に一列に形成されているが、複数の小孔64の代わりに細長いスリットを形成しても良い。
【0070】
本参考例では、上壁面62Aの中央部分に形成された小孔64から圧縮空気が噴出されると、前述した参考例と同様に、上壁面62AとCSPテープ12との間ではCSPテープ12の表面に沿って、CSPテープ12の搬送方向上流側及び下流側(矢印B方向)に高速で流れるが、絞り形成壁面84の端部とCSPテープ12との間では、他の部分に比較して空気の流路断面積が小さくなるので、風速を増大させることができる。
【0071】
また、本参考例では、ノズル壁面とCSPテープ12との間隔を全体的に狭くするのに比べて、空気の流路抵抗を減少することができる。
【0072】
なお、上記実施形態では、検査装置8に塵除去装置38を組み込んだ例を説明したが、本発明はこれに限らず、塵除去装置38は、例えば、写真フィルムの画像を印画紙に焼き付ける露光装置等に用いることもでき、また、装置に組み込まずに単独で用いても良い。
【0073】
また、上記実施形態では、塵除去装置38でCSPテープ12の塵を除去する例を示したが、本発明はこれに限らず、例えば、LSI等を製造する際に用いるマスク、ウエハー、写真フィルム、印刷用フィルム、ガラス板、金属板等の他のシート状部材の塵除去を行うことも出来るのは勿論である。
【0074】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項1のシート部材の塵除去装置によれば、両側のシート部材表面に強固に付着した塵であっても、吹き飛ばして除去することが出来る、という優れた効果を有する。
【0075】
【0076】
【0077】
【0078】
【0079】
また、請求項2に記載のシート部材検査装置によれば、塵によって判断ミスを誘発することが無くなる、という優れた効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 ノズルのテープ幅方向の縦断面図である。
【図2】 本発明の一実施の形態にかかる検査装置の概略構成図である。
【図3】 塵除去装置の概略構成図である。
【図4】 ノズルの下壁面の正面図である。
【図5】 ノズルのテープ搬送方向の縦断面図である。
【図6】 他の実施形態に係るノズルのテープ幅方向の縦断面図である。
【図7】 第1の参考例に係るシート部材の塵除去装置のノズルのテープ幅方向の縦断面図である。
【図8】 第1の参考例に係るシート部材の塵除去装置の概略構成図である。
【図9】 (A)は第2の参考例に係るシート部材の塵除去装置のノズルのテープ搬送方向の縦断面図であり、(B)はノズルの上壁面の正面図である。
【符号の説明】
8 検査装置(シート部材検査装置)
12 CSPテープ(シート部材)
20 供給側リールハンドラー(搬送手段)
22 第1のローラ(搬送手段)
24 第2のローラ(搬送手段)
26 第3のローラ(搬送手段)
28 第4のローラ(搬送手段)
30 第5のローラ(搬送手段)
32 巻取側リールハンドラー(搬送手段)
38 塵除去装置(シート部材の塵除去装置)
40 CCDカメラ(画像読取手段)
42 コンピュータ(検出手段)
60 ノズル
62A 上壁面(空気噴出面)
62B 下壁面(空気噴出面)
64 小孔
70 エアーコンプレッサー(圧縮空気供給手段)
76 制御装置
Claims (2)
- シート部材表面に付着した塵を除去するシート部材の塵除去装置であって、
前記シート部材表面との間に0.1〜1.0mmの間隙を設けて前記シート部材の一方面及び他方の面に対向するように配置され、マトリクス状に配置された多数の孔からシート部材表面に向けて高圧の空気を噴出して前記間隙に前記シート部材表面に沿って速度5m/s以上の空気流を生成する互いに平行な一対の空気噴出面と、
前記空気噴出面の孔に向けて圧縮空気を供給する圧縮空気供給手段と、
を備え、
一方の前記空気噴出面の孔と他方の前記空気噴出面の孔とは互いに対向し、かつ前記孔は前記空気噴出面に対して直角に形成されている、ことを特徴とするシート部材の塵除去装置。 - シート部材を搬送する搬送手段と、前記搬送手段により搬送された前記シート部材を画像として読み取る画像読取手段と、前記画像読取手段により読み取られた画像を処理して欠陥部位を検出する検出手段と、を備えたシート部材検査装置であって、
前記画像読取手段よりも、シート部材搬送方向上流側に、請求項1に記載のシート部材の塵除去装置を設けたことを特徴とするシート部材検査装置。
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