JP2012230380A - パターン化されたフィルムのパターンの蛇行制御装置および蛇行制御方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】フィルムの移送機器及びパターン形成機器を含む、パターン化されたフィルムの製造装置に使用されるパターンの蛇行を制御する装置であって、該制御装置は、フィルムの移送機器を基準に設定された、一定の基準位置でフィルム上にマーキングを形成するマーキング部と、マーキング部の後方に位置し、フィルム上のマーキングの位置を認識する認識部と、マーキング部の基準位置及び認識部により認識されたマーキングの位置の間の距離の差より蛇行を算出する演算部と、演算部により算出された蛇行に対応してマーキング部及びパターン形成機器の位置を補正する補正信号を生成する制御部と、制御部により生成された補正信号を受信してパターン形成前にマーキング部及びパターン形成機器の位置を補正する補正部とを備える。
【選択図】図2A
Description
図6は、本発明による制御装置の一例を図示するものである。
ライン速度がそれぞれ3m/分及び5m/分、並びにフィルムにかかる張力を130N、200N及び250Nの場合のフィルムの蛇行発生の可否を確認した。
ライン速度5m/分及びフィルムにかかる張力200Nの条件下で、上記実施形態にかかる制御装置を用いてフィルムの蛇行制御のシミュレーションを遂行した。EPCを適用せず、蛇行量の閾値を10μmとした。
Claims (23)
- フィルムの移送機器及びパターン形成機器を含む、パターン化されたフィルムの製造装置に使用されるパターンの蛇行制御装置であって、
前記フィルムの移送機器を基準に設定された、一定の基準位置で前記フィルム上にマーキングを形成するマーキング部と、
前記マーキング部の後方に位置し、前記フィルム上の前記マーキングの位置を認識する認識部と、
前記マーキング部の基準位置及び認識部により認識されたマーキングの位置の間の距離差で蛇行を算出する演算部と、
前記演算部により算出された蛇行に対応して前記マーキング部及び前記パターン形成機器の位置を補正する信号を生成する制御部と、
前記制御部で生成した補正信号を受信してパターン形成前に前記マーキング部及び前記パターン形成機器の位置を補正する補正部と
を含むパターンの蛇行制御装置。 - 前記マーキング部は、前記フィルム上に周期的にマーキングを形成する一のマーキング手段で構成されるものである、請求項1に記載の蛇行制御装置。
- 前記演算部は、前記マーキング手段の基準位置及びマーキングの位置の間の距離差で、前記フィルムの中心軸の側方移動による蛇行(フィルムの移送方向に対して垂直である方向に一定距離Lだけフィルムの中心軸が移動される)の量を算出するものである、請求項2に記載の蛇行制御装置。
- 前記制御部は、前記マーキング部及びパターン形成機器の位置をフィルムの移送方向に対して垂直である方向に蛇行距離Lだけ移動させる補正信号を生成するものである、請求項3に記載の蛇行制御装置。
- 前記マーキング部は、
第1のマーキング手段と、
前記第1のマーキング手段からフィルムの移送方向に一定距離d1離れた所に位置し、フィルムの移送方向の垂直方向に一定距離d2離れた所に位置する、第2のマーキング手段と
を含んで構成されるものである、請求項1に記載の蛇行制御装置。 - 前記マーキング部は、マーキングを形成する間に、前記第1のマーキング手段及び第2のマーキング手段の間の距離を調節する手段を更に含むものである、請求項5に記載の蛇行制御装置。
- 前記マーキング部は、前記第1のマーキング手段または第2のマーキング手段のいずれかの位置が固定されるように構成される、請求項5に記載の蛇行制御装置。
- 前記演算部は、前記第1のマーキング手段(または第2のマーキング手段)の基準位置と、前記第1のマーキング手段(または第2のマーキング手段)によるマーキングの実位置との間の距離差、d1及びd2を用いて蛇行距離L及び角度θを算出するものである、請求項6または7に記載の蛇行制御装置。
- 前記制御部は、前記マーキング部及びパターン形成機器の位置を前記蛇行距離L及び角度θだけ補正する補正信号を生成するものである、請求項8に記載の蛇行制御装置。
- 前記認識部は、
前記フィルム上のマーキングが含まれるイメージを周期的に撮影するカメラモジュールと、
前記カメラモジュールで得たイメージを周期的に保存し、前記イメージから前記マーキングの位置座標を導き出す装置と
を含んで構成されるものである、請求項1または5に記載の蛇行制御装置。 - 前記認識部は、マーキングからノイズを識別する手段を更に含むものである、請求項1または5に記載の蛇行制御装置。
- 前記演算部は、蛇行量を周期的に合算する手段を更に含むものである、請求項1または5に記載の蛇行制御装置。
- 前記蛇行量は、蛇行距離L、蛇行角度θ、または両方である、請求項12に記載の蛇行制御装置。
- 前記制御部は、前記演算部により合算された蛇行距離Lが、設定された閾値を越す場合、前記演算部により合算された蛇行角度θが、設定された閾値を越す場合、または前記演算部により合算された蛇行距離L及び蛇行角度θの両方が、設定された閾値を越す場合に補正信号を生成するものである、請求項13に記載の蛇行制御装置。
- 前記制御部は、前記第1のマーキング手段または第2のマーキング手段のいずれかに対する補正信号を生成するものである、請求項5に記載の蛇行制御装置。
- 前記パターン形成機器は、前記フィルムの移送方向に対して垂直の方向に配置されるマスクまたはロールを含むものである、請求項1または5に記載の蛇行制御装置。
- 前記補正部により前記パターン形成機器及び前記マーキング部の位置が補正された後、その補正された位置を前記パターン形成機器及び前記マーキング部の位置に対する基準値として再設定する初期化部を更に含む、請求項1または5に記載の蛇行制御装置。
- 前記マーキング部は、数十マイクロメートル直径のマーキングを形成することができるレーザ発生装置を含み、前記認識部は、数マイクロメートルの認識性能を有する高分解能のビジョンシステムを含む、請求項1または5に記載の蛇行制御装置。
- 前記高分解能のビジョンシステムは、マーキング形態のエラーによる誤差を減らすために、マーキング径の中心を代表座標として認識するものである、請求項18に記載の蛇行制御装置。
- 前記制御部は、前記フィルムのカッティング手段の位置を補正するための補正信号を更に生成するものである、請求項1または5に記載の蛇行制御装置。
- 前記認識部は、前記パターン形成機器の前方に位置し、前記フィルム上にパターンが形成される前に、蛇行を予め認識するものである、請求項1または5に記載の蛇行制御装置。
- 請求項1または5に記載の制御装置を使用する、パターンの蛇行制御方法。
- 前記制御装置と共にエッジポジションコントローラ(EPC)を使用する、請求項22に記載の蛇行制御方法。
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