CN102759864A - 用于防止图案膜上的图案弯曲的控制装置 - Google Patents

用于防止图案膜上的图案弯曲的控制装置 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种用于防止图案膜上的图案弯曲的控制装置，该控制装置用于包括膜传送设备和图案形成设备的图案膜制作装置，该控制装置包括：标记单元，该标记单元在膜的预定参考位置上形成标记，使用膜传送设备定位预定参考位置以作为参考；识别单元，该识别单元位于该标记单元的后部，且识别在膜上的标记的位置；运算单元，该运算单元基于标记的参考位置和被识别的位置之间的差值计算弯曲的量；控制单元，该控制单元产生校正信号，该校正信号对应于所计算的弯曲的量而校正标记单元和图案形成设备的位置；和校正单元，该校正单元接收校正信号和基于所接收的校正信号校正该标记单元与该图案形成设备的位置。

Description

用于防止图案膜上的图案弯曲的控制装置
技术领域
本发明涉及一种用于防止图案弯曲的控制装置，该装置可以在膜的确切位置上标记图案。
背景技术
伴随对高清三维显示器的爆炸性需求，对精密图案光学膜的需求也随之增加。通过例如JP 2003-337，226公开的在板型基膜上形成图案，可以制作图案膜。然而，在很多情况下，考虑到制作等，在逐渐退绕膜的同时通过在卷绕型基膜上形成图案，制作图案膜。
由于各种原因发生图案弯曲。例如，当膜还没有被适当卷绕时，膜的中心轴线可以偏移。即使膜已适当卷绕，当膜没有被适当地平衡或外力被施加到膜时可以发生弯曲。
不考虑该原因，由于当弯曲发生时弯曲导致膜质量上的缺陷，不能在膜上形成精确的图案。图1a示出不考虑弯曲时，图案形成设备在恒定位置形成图案，以及图1b示出在图1a已经形成的膜上图案的实际轨迹。
此外，特别是当制造用于三维显示器的图案膜时，不精确的图案可导致构造正确三维图像的问题。
边缘位置控制器(EPC)通常用于防止图案的弯曲。然而，因为EPC仅可以毫米级控制图案的位置，所以对于形成微米级的图案存在限制。
与此同时，还有通过比较在膜上形成的图案之间的距离用于识别图案弯曲的另一方法，然而，该方法仅在形成图案之后才可以检测弯曲。因此，需要用于实时监测图案弯曲的新技术。
发明内容
技术问题
本发明将提供一种能够控制膜上的图案弯曲的装置。
本发明将提供一种能够在图案在膜上被标记之前检测图案弯曲和能够校正图案的标记位置的控制装置。
本发明将提供一种仅使用控制装置或结合边缘位置控制器控制图案弯曲的方法。
技术手段
本发明提供一种用于防止图案弯曲的控制装置，该控制装置用于包括膜传送设备和图案形成设备的图案膜制作装置，该控制装置包括：标记单元，该标记单元在膜的预定参考位置上形成标记，使用膜传送设备作为参考定位预定参考位置；识别单元，该识别单元位于该标记单元的后部，且识别在膜上的标记的位置；运算单元，该运算单元基于标记的参考位置和被识别的位置之间的差值计算弯曲的量；控制单元，该控制单元产生校正信号，该校正信号根据所计算的弯曲的量校正标记单元和图案形成设备的位置；和校正单元，该校正单元接收校正信号和基于所接收的校正信号校正该标记单元和该图案形成设备的位置。
本发明还提供了一种使用控制装置控制图案弯曲的方法。
有益效果
根据本发明，可以容易地检测图案的弯曲和测量弯曲距离L和弯曲角度θ。基于该距离和该角度，本发明可以提供可以校正图案形成设备的位置的校正信号，使得图案形成设备可以形成稳定的图案。
因为在膜上形成图案之前可以检测和校正弯曲，所以本发明能够控制膜的质量。
根据本发明，因为根据计算的弯曲量得到图案形成设备和标记单元的位置，所以可以制作精确的图案膜。
根据本发明，当应用精密激光发生器和高分辨率视觉系统时，可以微米级测量和控制膜的弯曲。
当制作用于例如三维显示器的显示器的图案膜时，本发明的控制装置可被单独使用或结合边缘位置控制器控制弯曲。
附图说明
在附图中：
图1a和1b示出由膜的弯曲产生误差的实例；
图2a至图2d图示了需要根据膜的弯曲校正标记单元的位置的原因；
图3图示了在本发明中由第一标记构件标注的第一标记和由第二标记构件标注的第二标记；
图4a、图4b和图4c示出当膜的方向从膜的传送方向以一定的角度被旋转时，通过本发明的运算单元计算弯曲距离和弯曲角度的方法；
图5示出根据本发明的膜的传送方向；
图6示出根据本发明实例的弯曲控制装置；
图7图示了弯曲距离和弯曲角度；
图8a和8b示出通过由识别单元识别的第一标记构件和第二标记构件的标记的轨迹，和通过根据识别的坐标将标记数据分为块形成的二维分块矩阵；
图9示出用于从噪点中分出第一标记和第二标记的方法。
图10a和10b图示了用于计算根据本发明的运算单元的弯曲距离和弯曲角度的方法；
图11示出用于基于所计算的弯曲距离和弯曲角度调整图案形成设备和第二标记构件的位置的产生校正信号的结果；
图12示出根据本发明的实验控制弯曲的结果；
图13示出用于根据本发明的控制弯曲的实例；以及
图14a和14b示出用于计算弯曲距离L的方法。
具体实施方式
本发明涉及一种用于防止图案弯曲的控制装置，该控制装置用于包括膜传送设备和图案形成设备的图案膜的制作装置，该控制装置包括：标记单元，该标记单元在膜的预定参考位置上形成标记，使用膜传送设备作为参考定位预定参考位置；识别单元，该识别单元位于该标记单元的后部，且在膜上识别标记的位置；运算单元，该运算单元基于标记的参考位置和识别位置之间的差值计算弯曲的量；控制单元，该控制单元产生校正信号，该校正信号用于校正对应于所计算的弯曲的量的标记单元和图案形成设备的位置；和校正单元，该校正单元接收校正信号和基于所接收的校正信号校正该标记单元和该图案形成设备的位置。
在下文中详细描述了本发明。
在本发明中，图案的弯曲包括各种情况，其中膜传送设备的中心线和在膜上任意点的轨迹不是互相平行的(参见图7)。弯曲的量可以使用弯曲距离L和弯曲角度θ以算术方式表明。例如，如果卷绕膜的中心轴线在横向(垂直于膜的传送方向的方向)上移动一定量的距离，弯曲距离L与卷绕膜的移动距离的量相同，以及弯曲角度θ为0°。
在本发明中用于控制在膜上的图案的弯曲的两个基本原理如下所述。
(1)当弯曲(即，膜的中心轴线的移动和/或膜的传送方向的改变)发生在标记单元和识别单元之间时，通过膜的中心轴线的移动的量或膜的传送方向的改变的量，识别单元识别出由标记单元标注的标记在弯曲方向(即，在该方向中，中心轴线已经移动或改变了传送方向)上已经移动。
(2)当在膜上形成标记之前发生弯曲时，通过膜的中心轴线的移动的量或膜的传送方向的改变的量，标记被形成在当从膜观看时与弯曲方向(即，在该方向中，中心轴线已经移动或改变了传送方向)相反的方向上。
图2示出上述原理。图2图示了包括具有固定的第一标记构件和可调节的第二标记构件的标记单元的例子。
如图2a所示，当没有发生弯曲时，识别单元识别出通过标记单元在标记的正常位置形成的标记。
如图2b所示，当发生弯曲时，在膜上的图案由于弯曲而逐渐移动至一侧并且识别单元识别该移动。然而，因为标记单元的位置没有移动，所以，由于标记单元和膜之间的相对位置，故通过标记单元形成的标记逐渐移动至膜的另一侧。这可以通过根据弯曲的量移动标记单元和图案形成设备的位置而被校正。
如图2c中所示，当弯曲被稳定时，识别单元识别出在校正标记单元和图案形成设备的位置之前已经被标注的标记移动至一侧并随后移动至另一侧。另一方面，在调整标记单元和图案形成设备的位置之后已经标注的标记被识别出移动至与膜的移动一致的一侧并保持所移动的位置。
最后，如图2d中所示，如果没有根据弯曲来校正标记单元和图案形成设备的位置，则识别单元识别出当膜的中心轴线仍偏离起始位置时，标记已经返回原始位置。此外，在该情况中，因为图案的边界互相重叠，所以不可能在膜上准确地形成图案。
为了解决上述问题(不能识别膜的中心轴线的偏差)，根据本发明的弯曲控制装置被构造成根据膜的弯曲来移动标记单元和图案形成设备的位置。
在下文将详细描述本发明的用于防止图案弯曲的控制装置。
控制装置被用于包括膜传送设备和图案形成设备的图案膜的制作装置。
图案膜的实例可以为用于实现三维图像的图案延迟器。图案形成设备为用于在膜上形成图案的设备。例如，图案形成设备可以为曝光设备，该曝光设备包括光源和掩模，或辊。该掩模或辊的图案轴线可以为垂直于膜的退绕方向。
当在片形膜上形成图案时，本发明的控制装置可以被使用，然而，当用于在卷绕型膜上持续地形成图案时更为有利。
本发明的控制装置包括在膜上形成标记的标记单元。
使用固定膜传送设备的位置作为参考确定标记单元的参考位置，使得标记单元可以在固定点上形成标记而不考虑弯曲。
标记单元不限于任何具体类型，只要该标记构件可以在膜上形成可以通过识别单元检测或识别的标记同时并不损坏膜，该膜被用于例如LCD等的显示器设备。然而，优选使用激光发生器作为用于更为精确的测量和控制的标记单元(当标记单元包括第一标记构件和第二标记构件时，第一标记构件和第二标记构件都可以为激光发生器)。
标记单元可以被构造成包括一个或多个标记构件。
当标记单元包括一个标记构件时，标记单元可以识别和计算图案的弯曲，该图案的弯曲由膜的中心轴线的横向移动引起，即，在垂直于传送方向的方向中图案的移动。在该情况中，使用下述方法可以计算弯曲距离L，并且弯曲角度θ为0°。
当标记单元包括两个或更多个标记构件时，可以计算每种类型的弯曲。下文将描述使用两个或更多个标记构件计算弯曲距离L和弯曲角度θ的具体方法。
两个或更多个标记构件可以包括第一标记构件和第二标记构件，所述第二标记构件位于在膜的传送方向上与所述第一标记构件相距d1处和在所述膜的传送方向的垂直方向上与所述第一标记构件相距d2处(d2可以为0)。图3中示出由上述标记构件形成的标记的形状的实例。
而且，标记单元还可以包括用于调节当形成标记时的第一标记构件和第二标记构件之间的距离的部件，并且在一些情况下可以固定第一标记构件或第二标记构件的位置。
当标记单元包括两个或更多个标记构件时，每个标记构件可以形成带有不同形状或颜色的标记，使得每个标记可以被容易地互相区分或与噪声区分。
当没有发生弯曲时，标记画出直的虚线。当发生弯曲时，标记画出例如图2b示出的线。膜的传送速度或弯曲的角度和距离可以影响线的形状。线由下文将描述的识别单元识别出。
根据本发明的控制装置包括位于标记单元后部的识别单元。
识别单元位于标记单元(膜的传送方向)的后部并且识别当膜被传送到识别区(即，在该区，如果识别单元包括相机组件，则相机模组可以捕捉图像)时的标记的位置。
在本发明中，如图5中所示，传送方向指垂直于卷绕膜的中心轴线的方向。当没有发生弯曲时传送方向平行于膜的纵向。
识别单元可包括一个或多个识别区。根据识别区的数量，由第一标记构件和第二标记构件形成的标记可以被同时识别或分别识别。
任何可以识别或检测在膜上的标记和计算标记的位置或坐标的识别构件可以被用作本发明的识别单元。例如，识别单元可包括：相机组件，该相机组件捕捉包括膜的标记的图像；和计算机装置，该计算机装置存储所捕捉的图像和计算从所捕捉的图像中的标记的位置。
当使用可以识别具有数十微米的直径的标记的高分辨率图像系统时，可以更精确地测量标记的位置的改变和更准确地控制弯曲。例如，优选使用具有例如小于10微米的微米级尺寸的分辨率的相机组件。
识别单元还可包括区分噪点与标记的部件。当标记单元包括激光发生器时，该部件尤其是有用的，这是因为可以防止由于激光或灰尘所产生的杂质作为标记被检测。
此外，为了最小化由于标记的形状带来的误差，优选识别每个标记的边界和识别标记的中心坐标作为标记的位置。
本发明的控制装置包括运算单元。
通过在基于膜传送设备所确定的已知参考位置作为参考和由识别单元识别的标记的位置之间的比较，运算单元被构造成计算图案的弯曲。
图14示出用于计算弯曲距离L的方法。
图14a图示了标记单元包括一个标记构件的实施方式。在该情况下，随着膜的行进依次形成标记1、2、3和4。当膜的中心轴线移动到左侧时，第五标记从其参考位置(虚线圆)偏移并形成于在附图中标记为5的位置，以及通过识别单元识别第五标记的位置。在该情况中，弯曲距离L为参考位置和所识别的标记位置之间的距离。
图14b图示了包括第一标记构件和第二标记构件的标记单元的实施方式，所述第二标记构件位于在膜的传送方向上与所述第一标记构件相距d1处和在所述膜的所述传送方向的垂直方向上与所述第一标记构件相距d2处。
在这种情况下，随着膜的行进依次形成标记1-1/2-1、1-2/2-2、1-3/2-3和1-4/2-4(1-A表示由第一标记构件形成的标记，以及1-B表示由第二标记构件形成的标记，其中A和B为1到5之间的整数)。例如，当识别单元的识别区域被布置在传送方向的垂直方向上时，识别单元同时识别标记1-1和2-3，然后识别1-2和2-4。当膜的中心轴线在1-2和2-4形成之后移动至右侧时，第五标记以距离L偏移它们的参考位置，且形成在附图中的1-5和2-5表示的位置。
运算单元通过计算由识别单元识别的1-3和2-5之间的距离x和从d2减去x来计算弯曲距离L(即，在传送方向的垂直方向上的第一标记构件和第二标记构件之间的距离)。如果d2-x是正数，这意味着膜从传送方向偏移到右侧；以及如果d2-x是负数，则膜偏移到左侧。
图4示出用于计算弯曲角度θ的方法。
为了计算弯曲角度θ，标记单元需要具有两个或更多个标记构件。当标记单元包括第一标记构件和第二标记构件，如图14b所示，所述第二标记构件位于在膜的传送方向上与所述第一标记构件相距d1处和在所述膜的所述传送方向的垂直方向上与所述第一标记构件相距d2处，使用标记单元的参考位置和实际标记位置之间的距离以及d1和d2可以计算弯曲角度θ。
图4a示出没有弯曲的实例。在该情况中，通过第一标记构件和第二标记构件标注的标记之间的识别距离与d2相同。使用公式1(d1为已知值)可以计算弯曲角度θ。
[公式1]
θ＝atan[(d2-d2)/d1]＝0°
图4b图示了当在传送方向的左侧发生弯曲时的实例。被首先标注的第一标记(由第一标记构件标注的标记)以左侧的弯曲角度θ移动到形成第二标记(由第二标记构件标注的标记)的位置。在该情况下，通过第一标记构件和第二标记构件形成的标记之间的距离当膜前行时更加靠近。识别单元识别第一标记和第二标记，以及可以使用公式2计算弯曲角度θ。在公式2中，▲表示第一标记构件和第二标记构件之间的以机械方式确定的距离(或在没有弯曲时第一标记和第二标记之间的距离)，和α是由于弯曲导致的▲的变化值。α在图4b和公式2中用减号“-”表示(即，-α)，因为标记之间的距离比图4b中的▲由于弯曲而更为靠近。
[公式2]
θ＝atan[(d2-d2-α)/d1]＝atan[(-α)/d1]＝-▲°
图4c图示了当从传送方向的右侧发生弯曲时的实例。首先标注的第一标记(由第一标记构件标注的标记)以右侧的弯曲角度θ移动到形成第二标记(由第二标记构件标注的标记)的位置。在该情况下，通过第一标记构件和第二标记构件形成的标记之间的距离随着膜的前行时而变得分开。识别单元识别第一标记和第二标记，以及可以使用公式3计算弯曲角度θ。在公式3中，▲表示第一标记构件和第二标记构件之间的以机械方式确定的距离(或在没有弯曲时第一标记和第二标记之间的距离)，和α为由于弯曲导致的▲的改变值。α在图4c和公式3中用加号“+”表示(即，+α)，因为标记之间的距离比图4c中的▲由于弯曲而变得更远。
[公式3]
θ＝atan[(d2-d2+α)/d1]＝atan[(+α)/d1]＝+▲°
第一标记构件和第二标记构件优选被布置在垂直于图案形成设备的图案掩模(或图案辊)的直线上。
所计算的弯曲角度θ用于校正图案形成设备的位置。同时，第一标记构件(主要的标记构件)的位置在传送方向的垂直方向上被调节α。
计算单元还可包括周期性地累加弯曲的量(即，弯曲距离L和/或弯曲角度θ)的构件。在该情况下，在下文描述的控制单元仅当累加量大于预定阈值时可以被构造成产生校正信号。
本发明的控制装置包括控制单元，控制单元产生至少用于标记单元和图案形成设备的校正信号。控制单元产生用于校正标记单元和图案形成设备的位置的、与运算单元计算的图案的计算的弯曲的量对应的校正信号。
不论何时弯曲被识别时，控制单元可以产生对应于图案的弯曲的量(即，弯曲距离L和/或弯曲角度θ)的校正信号。或者，控制单元可周期性地产生对应于累加的弯曲量(即，累加的弯曲距离L和/或累加的弯曲角度θ)的校正信号。或者，控制单元可仅当累加量大于预定阈值时产生校正信号。
例如，当累加的弯曲距离大于20μm时，控制单元可产生校正信号。或者，例如，当累加的弯曲角度θ大于0.5°时，控制单元可产生校正信号。
当必要时，控制单元还可产生附加的校正信号，用于根据弯曲的量调节需要调节的其他部件(例如识别单元或膜的切割构件等)的位置。
控制单元可产生和传送用于标记单元的一部分的校正信号。例如，当标记单元包括第一标记构件和第二标记构件时，控制单元可产生用于第一标记构件和/或第二标记构件的校正信号。或者，当第一标记构件是可调节的时，同时第二标记构件被固定时，控制单元可产生仅用于第一标记构件的校正信号。
本发明的控制装置包括校正单元，该校正单元在膜上形成图案之前接收校正信号和基于所接收的校正信号校正或调节标记单元和图案形成设备的位置。
校正信号可以为用于以一定的距离移动标记单元和图案形成设备和/或以一定角度旋转标记单元和图案形成设备的信号。
因此，校正或调节标记单元和图案形成设备的位置是指移动标记单元和图案形成设备一定距离和/或以一定角度旋转标记单元和图案形成设备。
如上文所述，但弯曲返回到正常时，标记单元的位置以及图案形成设备的位置被调节，使得本发明的控制装置可以识别正常状态(即没有弯曲的状态)。因此，根据本发明，可以解决因为图案的边界的一部分重叠而不能形成一致图案的问题。
本发明可以构造成在形成图案之前校正图案形成设备的位置。
本发明的控制装置可包括初始化单元，在通过该校正单元校正该图案形成设备和该标记单元的位置之后，该初始化单元设定该图案形成设备和该标记单元的校正位置作为新的参考位置。
在本发明的控制装置上执行的弯曲控制方法可包括例如，用于使用分别被布置在预定位置的第一标记构件和第二标记构件周期性地形成第一标记和第二标记的步骤，用于周期性地识别第一标记和第二标记和计算第一标记和第二标记之间的距离的步骤，用于使用第一标记和第二标记之间的距离以及第一标记和第二标记之间的参考距离来计算和累加弯曲距离和弯曲角度的步骤，用于当累加的弯曲距离或弯曲角度大于预定值时产生用于校正图案形成设备、第一标记或第二标记构件的位置中的至少一个的校正信号的步骤，以及，用于接收校正信号和校正图案形成设备、第一标记构件或第二标记构件的位置中的至少一个的步骤。
本发明的控制方法包括用于以一定距离移动标记单元和图案形成设备和/或以一定角度旋转标记单元和图案形成设备的步骤。
本发明的控制方法优选如图13所示的方法。
本发明的控制装置可以被单独用于有效控制膜上的图案的弯曲，然而，更优选结合控制装置使用边缘位置控制器(EPC)。
在下文中，为方便理解本发明提供了实例。然而，所提供的下述实施方式仅作为本发明的实例，并且，对本领域的技术人员来说容易理解的是，可对本文公开的本发明作出替换和改变而不违背本发明的范围和精神，以及这样的改变和变型可以被视为在如权利要求书所限定的本发明的范围内。
实例
图6图示了根据本发明的示例性控制装置。
如图6所示，标记单元包括第一标记构件和第二标记构件。具有15±3μm的宽度的线性激光发生器被用作第一标记构件和第二标记构件。线性激光发生器被布置在靠近卷绕膜的右边界处，以及第一标记构件和第二标记构件之间的距离在膜(d1＝100mm)的传送方向上为100mm，以及在膜(d2＝2mm)的传送方向的垂直方向上为2mm。因此，当弯曲角度θ以0.1°被改变时，d2以177μm[100*tan(0.1)μm]增大或减小。
识别单元包括：相机组件，该相机组件具有3.0μm尺寸的分辨率；和计算机装置，该计算机装置可以计算从相机组件所捕捉的图像中的标记的位置。相机组件以750mm的距离布置在第二标记单元的后部。
曝光设备和掩模被布置在识别单元的后部，两个固定的标记被布置在掩模的每一侧以检查掩模的对齐，以及另一相机组件被安装在掩模上用于设别固定的标记。固定的标记和其他相机组件之间的距离为45mm。
此外，计算单元被构造成使用预定值d1和d2和通过识别单元识别的第一标记构件和第二标记构件之间的距离，计算弯曲距离L和弯曲角度θ。
控制单元被设计成基于膜每行进20mm的弯曲距离L和弯曲角度θ，将校正信号传送到图案形成设备和标记单元。
实验
1.在膜上的图案弯曲的发生
在线速度为3m/min和5m/min以及膜的张力为130N、200N和250N的情况下检查弯曲是否发生。
就如表1所示的实验结果而言，不考虑边缘位置控制器(ETC)，在每种情况下发生了显著的弯曲。
[表1]
Figure BSA00000706443200121
Figure BSA00000706443200131
2.根据本发明控制膜上图案的弯曲
在5m/min的线速度和200N的膜张力的情况下使用根据上述实例的控制装置进行对膜的弯曲的控制的模拟。没有应用EPC且弯曲的阈值为10μm。
首先，通过第一标记构件和第二标记构件从图8a示出的标记数据消除噪点和提取标记的轨迹，通过识别单元识别该标记数据。具体而言，通过根据识别的坐标将标记数据分成块而形成二维分块矩阵，将联接的块分段成斑点并从标记数据消除尺寸小于3000μm的斑点(例如噪点)，并研究主要的联接曲线和分开第一标记轨迹(上部的线)和第二标记轨迹(下部的线)(参见图9)。
当F表示整个分块组且S1，S2，......，Sn分别表示包括F的各个分块时，它们满足以下公式4。
[公式4]
Figure BSA00000706443200132
Si∩Sj＝φ，
Figure BSA00000706443200133
运算单元基于与第一标记和第二标记有关的数据计算弯曲距离L和弯曲角度θ。
如图11所示，使用公式5对每段计算弯曲角度θ。使用公式5计算在第一标记和第二标记之间的距离d，以及通过使用d的正切值(tan(d))获得角度θ。在公式5中，d3为在传送方向上第一激光发生器和第二激光发生器之间的距离，以及d4为在与传送方向垂直的方向上第一激光发生器和第二激光发生器之间的距离。在上述模拟中，d3为100mm并且d4为2mm。
[公式5]
Figure BSA00000706443200141
如图11所示，对每段利用公式6和第二标记的坐标计算弯曲距离L。在公式6中，x1，......，xn为与传送方向垂直的方向上的坐标。
[公式6]
L＝中间值(x1，x2，...，xn)
当弯曲距离L比预定值10μm大时，控制单元发送校正信号，并且校正位置被设定为新的参考位置。在图11中，其中已发送校正信号的段被标注为已检查。
图12示出根据本发明的实验控制弯曲的结果。

Claims (23)

1.一种用于防止图案弯曲的控制装置，所述控制装置用于包括膜传送设备和图案形成设备的图案膜制作装置，所述控制装置包括：
标记单元，所述标记单元在所述膜的预定参考位置上形成标记，使用所述膜传送设备作为参考定位所述预定参考位置；
识别单元，所述识别单元位于所述标记单元的后部，且识别在所述膜上的所述标记的位置；
运算单元，所述运算单元基于所述标记的所述参考位置和被识别的位置之间的差值计算弯曲的量；
控制单元，所述控制单元产生校正信号，所述校正信号对应于所计算的弯曲的量来校正所述标记单元和所述图案形成设备的位置；和
校正单元，所述校正单元接收所述校正信号和基于所接收的所述校正信号校正所述标记单元和所述图案形成设备的位置。
2.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述标记单元包括在所述膜上周期性地形成标记的标记构件。
3.根据权利要求2所述的控制装置，其中，所述运算单元基于所述标记构件的参考位置和所述标记的所述被识别的位置之间的差值来计算由所述膜的中心轴线的横向移动引起的所述弯曲的量，所述膜的中心轴线的横向移动对应于在垂直于所述膜的传送方向的方向上所述膜的中心轴线的移动距离L。
4.根据权利要求3所述的控制装置，其中，所述控制单元根据在垂直于所述膜的所述传送方向的方向上的所述距离L，产生用于移动所述标记单元和所述图案形成设备的位置的所述校正信号。
5.根据权利要求1所述的控制装置，其中，所述标记单元包括：
第一标记构件；和
第二标记构件，所述第二标记构件在膜的传送方向上与所述第一标记构件相距距离d1处，在垂直于所述膜的所述传送方向的方向上与所述第一标记构件相距距离d2。
6.根据权利要求5所述的控制装置，其中，所述标记单元还包括当所述标记形成时调节所述第一标记构件和所述第二标记构件之间的距离的构件。
7.根据权利要求5所述的控制装置，其中，所述第一标记构件或所述第二标记构件的位置被固定。
8.根据权利要求6或7所述的控制装置，其中，所述运算单元使用所述第一标记构件或所述第二标记构件的参考位置与由所述第一标记构件或所述第二标记构件标记的实际位置之间的距离的差值和距离d1与距离d2来计算弯曲距离L和弯曲角度θ。
9.根据权利要求8所述的控制装置，其中，所述控制单元根据所述距离L和所述角度θ产生用于校正所述标记单元和所述图案形成设备的位置的所述校正信号。
10.根据权利要求1或5所述的控制装置，其中，所述识别单元包括：
相机组件，所述相机组件周期性地捕捉包括所述膜的所述标记的图像；和周期性地储存所捕捉的图像并且从所捕捉的图像计算所述标记的坐标的构件。
11.根据权利要求1或5所述的控制装置，其中，所述识别单元还包括区分噪声和所述标记的构件。
12.根据权利要求1或5所述的控制装置，其中，所述运算单元还包括周期性地累加所述弯曲的量的部件。
13.根据权利要求12所述的控制装置，其中，所述弯曲的量包括弯曲距离L和/或弯曲角度θ。
14.根据权利要求13所述的控制装置，其中，当由所述运算单元累加的所述弯曲距离L比预定阈值大和/或由所述运算单元累加的所述弯曲角度θ比预定阈值大时，所述控制单元产生所述校正信号。
15.根据权利要求5所述的控制装置，其中，所述控制单元产生用于所述第一标记构件或所述第二标记构件的校正信号。
16.根据权利要求1或5所述的控制装置，其中，所述图案形成设备包括被布置在与所述膜的所述传送方向垂直的方向上的掩模或辊。
17.根据权利要求1或5所述的控制装置，还包括初始化单元，所述初始化单元在通过所述校正单元校正所述图案形成设备和所述标记单元的位置之后设定所述图案形成设备和所述标记单元的校正位置作为参考位置。
18.根据权利要求1或5所述的控制装置，其中，所述标记单元包括激光发生装置，所述激光发生装置能够形成直径为数十微米的标记，并且所述识别单元包括高分辨率视觉系统，所述高分辨率视觉系统能够识别直径小于10微米的所述标记。
19.根据权利要求18所述的控制装置，其中，所述高分辨率视觉系统识别所述标记的中心坐标作为所述标记的坐标，以减少由于所述标记的形状产生的误差。
20.根据权利要求1或5所述的控制装置，其中，所述控制单元还产生用于校正所述膜的切割构件的位置的校正信号。
21.根据权利要求1或5所述的控制装置，其中，所述识别单元位于所述图案形成设备的前部且在所述膜上形成所述图案之前识别所述膜的所述图案的弯曲。
22.一种使用如权利要求1或5所述的控制装置控制图案的弯曲的方法。
23.根据权利要求22所述的方法，其中，所述方法结合所述控制装置使用边缘位置控制器(EPC)。
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