CN116382041B - 用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法，其包括：S1、检测第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处是否存在重叠，及沿y方向的拼接处是否存在错位；S2、若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处存在重叠，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处进行重叠补偿；S3、若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处存在错位，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处进行错位补偿；本发明采用软件补偿的方式代替传统对DMD单元安装位置的调整，有效简化重叠、错位的补偿工序，并能够大大提高重叠、错位的补偿精度，从而大大提升曝光精度。

Description

用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法
技术领域
本发明涉及曝光技术领域，尤其涉及一种用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法。
背景技术
LDI曝光设备在曝光过程中，主要分为一个条带、两个条带以及三个条带为主。一幅完整的电路图按顺序一个条带接着一个条带图形曝光拼接而组成。由于每台LDI曝光设备的所有DMD单元安装位置都有细微的差别，会导致Y方向上下错位、以及X方向重叠和撕裂等问题，这样需要每个条带之间进行补偿。传统的办法就是通过细微的调节DMD单元安装的位置、角度或者调节镜头的倍率达到相对完美图形拼接的效果，但是这样很难把握好尺度，对调试人员要求较高，费时较多，有时还很难达到要求拼接效果，影响机器出货交期。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法，其采用软件补偿的方式代替传统对DMD单元安装位置的调整，有效简化重叠、错位的补偿工序，并能够大大提高重叠、错位的补偿精度，从而大大提升曝光精度。
为了实现上述目的，本发明公开了一种用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法，所述gds图形分割形成n个条带图形，n个条带图形依次拼接，设n个条带图形沿x方向从右向左依次拼接，所述用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法包括如下步骤：
S1、检测第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处是否存在重叠，及沿y方向的拼接处是否存在错位，其中，i＝1,……,n-1；
S2、若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处存在重叠，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处进行重叠补偿，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处不存在重叠；
S3、若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处存在错位，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处进行错位补偿，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处不存在错位；
S4、依次对所述gds图形的所有条带图形的x方向的重叠和y方向的错位进行补偿后，完成对所述gds图形的补偿调整。
较佳地，所述步骤S2具体包括：
S21、分别调整第i个条带图形和第i+1个条带图形的起始曝光位置，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠长度小于或等于预设重叠长度，测量第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠长度，并标记为Xi；
S22、对第i个条带图形沿x方向的末端进行切割，以切除第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠部分，得到新的第i个条带图形，及将切除得到的第i个条带图形沿x方向的末端拼接在第i+1个条带图形沿x方向的前端，得到新的第i+1个条带图形；
S23、沿x方向向左移动新的第i+1个条带图形Xi距离；
S24、判断新的第i+1个条带图形沿x方向的图形宽度是否完全落入第i+1个对应的曝光场域宽度内，依据判断结果沿x方向调整第i+1个条带图形对应的曝光场域，得到新的第i+1个条带图形对应的曝光场域。
较佳地，新的第i+1个条带图形沿x方向向左移动的总距离为
较佳地，所述步骤S24具体包括：
S241、若新的第i+1个条带图形沿x方向的图形宽度超出第i+1个条带图形对应的曝光场域宽度，则无需调整第i+1个条带图形对应的曝光场域，将第i+1个条带图形对应的曝光场域更新为新的第i+1个条带图形对应的曝光场域；
S242、若新的第i+1个条带图形沿x方向的图形宽度等于第i+1个条带图形对应的曝光场域宽度，则沿x方向向左增大第i+1个条带图形对应的曝光场域Xi距离，得到新的第i+1个条带图形对应的曝光场域。
较佳地，新的第i+1个条带图形对应的曝光场域沿x方向向左增大的总距离为
较佳地，通过图形倍率缩放或图形倍率运动，分别调整第i个条带图形和第i+1个条带图形的起始曝光位置，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠长度小于或等于预设重叠长度。
较佳地，所述步骤S3具体包括：
S31、确定第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向的错位方向，和测量第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向的错位长度Yi；
S32、依据第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向的错位方向，沿y方向移动第i+1个条带图形对应的曝光场域Yi距离，获得第i+1个条带图形对应的新的曝光场域。
较佳地，所述步骤S32具体包括：
S321、若第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向向上错位，则沿y方向向上移动以增加第i+1个条带图形对应的曝光场域Yi距离，获得第i+1个条带图形对应的新的曝光场域；
S322、若第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向向下错位，则沿y方向向下移动以减小第i+1个条带图形对应的曝光场域Yi距离，获得第i+1个条带图形对应的新的曝光场域。
较佳地，第i+1个条带图形对应的新的曝光场域沿y方向移动的总距离为
较佳地，曝光场域为LDI曝光设备的DMD单元可执行的曝光区域，每个条带图形对应至少一个DMD单元。
与现有技术相比，本发明在第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处存在重叠时，对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处进行重叠补偿，及在第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处存在错位时，对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处进行错位补偿，其采用软件补偿的方式代替传统对DMD单元安装位置的调整，有效简化重叠、错位的补偿工序，并能够大大提高重叠、错位的补偿精度，从而大大提升曝光精度。
附图说明
图1是本发明的用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法的流程框图；
图2是本发明的第i个条带图形和第i+1个条带图形的分离状态下的位置关系示意图；
图3是本发明的第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向重叠Xi的位置关系示意图；
图4是图3中的第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向重叠补偿后的位置关系示意图；
图5是本发明的第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向向上错开的位置关系示意图；
图6是本发明的第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向向下错开的位置关系示意图；
图7是图3或图4中的第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向错位补偿后的位置关系示意图。
具体实施方式
为详细说明本发明的技术内容、构造特征、所实现目的及效果，以下结合实施方式并配合附图详予说明。
请参阅图1-图7所示，本实施例的用于LDI(LDI：Laser Direct Imaging，激光直接成像技术)曝光设备的gds图形补偿方法，适于以gds图形对电路板进行曝光处理。所述gds图形分割形成n个条带图形，n个条带图形依次拼接，设n个条带图形沿x方向从右向左依次拼接，所述用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法包括如下步骤：
S1、检测第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处是否存在重叠，及沿y方向的拼接处是否存在错位，其中，i＝1,……,n-1。
S2、若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处存在重叠，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处进行重叠补偿，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处不存在重叠。
S3、若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处存在错位，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处进行错位补偿，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处不存在错位。
S4、依次对所述gds图形的所有条带图形的x方向的重叠和y方向的错位进行补偿后，完成对所述gds图形的补偿调整。
较佳地，所述步骤S2具体包括：
S21、分别调整第i个条带图形和第i+1个条带图形的起始曝光位置，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠长度小于或等于预设重叠长度，测量第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠长度，并标记为Xi。
可以理解的是，这里的预设重叠长度为预设的可接受的最大重叠量，当超过该重叠量时，可以认为调整失败。
S22、对第i个条带图形沿x方向的末端进行切割，以切除第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠部分，得到新的第i个条带图形，及将切除得到的第i个条带图形沿x方向的末端拼接在第i+1个条带图形沿x方向的前端，得到新的第i+1个条带图形。
S23、沿x方向向左移动新的第i+1个条带图形Xi距离。
S24、判断新的第i+1个条带图形沿x方向的图形宽度是否完全落入第i+1个对应的曝光场域宽度内，依据判断结果沿x方向调整第i+1个条带图形对应的曝光场域，得到新的第i+1个条带图形对应的曝光场域。
较佳地，曝光场域为LDI曝光设备的DMD单元可执行的曝光区域，每个条带图形对应至少一个DMD单元。当条带图形只对应有一个DMD单元时，该DMD单元的可执行的曝光区域即为条带图形对应的曝光场域；当条带图形对应有多个DMD单元时，多个DMD单元的可执行的曝光区域的叠加区域构成条带图形对应的曝光场域。
较佳地，新的第i+1个条带图形沿x方向向左移动的总距离为
较佳地，所述步骤S24具体包括：
S241、若新的第i+1个条带图形沿x方向的图形宽度超出第i+1个条带图形对应的曝光场域宽度，则无需调整第i+1个条带图形对应的曝光场域，将第i+1个条带图形对应的曝光场域更新为新的第i+1个条带图形对应的曝光场域；
S242、若新的第i+1个条带图形沿x方向的图形宽度等于第i+1个条带图形对应的曝光场域宽度，则沿x方向向左增大第i+1个条带图形对应的曝光场域Xi距离，得到新的第i+1个条带图形对应的曝光场域，从而达到将重叠区域拉开补偿的效果。
较佳地，新的第i+1个条带图形对应的曝光场域沿x方向向左增大的总距离为
可以理解的是，本实施例对gds图形中任意相邻的两个条带图形进行描述，对于每一个条带图形的总的重叠补偿，应该是按照需要叠加前面的所有的条带图形的总的重叠补偿。
较佳地，通过图形倍率缩放或图形倍率运动，分别调整第i个条带图形和第i+1个条带图形的起始曝光位置，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠长度小于或等于预设重叠长度。
较佳地，所述步骤S3具体包括：
S31、确定第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向的错位方向，和测量第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向的错位长度Yi。
S32、依据第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向的错位方向，沿y方向移动第i+1个条带图形对应的曝光场域Yi距离，获得第i+1个条带图形对应的新的曝光场域。
较佳地，所述步骤S32具体包括：
S321、若第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向向上错位，则沿y方向向上移动以增加第i+1个条带图形对应的曝光场域Yi距离，获得第i+1个条带图形对应的新的曝光场域。
S322、若第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向向下错位，则沿y方向向下移动以减小第i+1个条带图形对应的曝光场域Yi距离，获得第i+1个条带图形对应的新的曝光场域。
通过上述操作，达到将错位补偿的效果。
较佳地，第i+1个条带图形对应的新的曝光场域沿y方向移动的总距离为
结合图1-图7，本发明在第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处存在重叠时，对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处进行重叠补偿，及在第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处存在错位时，对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处进行错位补偿，其采用软件补偿的方式代替传统对DMD单元安装位置的调整，有效简化重叠、错位的补偿工序，并能够大大提高重叠、错位的补偿精度，从而大大提升曝光精度。
以上所揭露的仅为本发明的优选实施例而已，当然不能以此来限定本发明之权利范围，因此依本发明申请专利范围所作的等同变化，仍属本发明所涵盖的范围。

Claims (8)

1.一种用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法，其特征在于，所述gds图形分割形成n个条带图形，n个条带图形依次拼接，设n个条带图形沿x方向从右向左依次拼接，所述用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法包括如下步骤：
检测第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处是否存在重叠，及沿y方向的拼接处是否存在错位，其中，i＝1,……,n-1；
若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处存在重叠，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处进行重叠补偿，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处不存在重叠；
若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处存在错位，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处进行错位补偿，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处不存在错位；
依次对所述gds图形的所有条带图形的x方向的重叠和y方向的错位进行补偿后，完成对所述gds图形的补偿调整；
其中，所述若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处存在重叠，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处进行重叠补偿，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的拼接处不存在重叠，具体包括：
通过图形倍率缩放或图形倍率运动，分别调整第i个条带图形和第i+1个条带图形的起始曝光位置，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠长度小于或等于预设重叠长度，测量第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠长度，并标记为Xi；
对第i个条带图形沿x方向的末端进行切割，以切除第i个条带图形和第i+1个条带图形沿x方向的重叠部分，得到新的第i个条带图形，及将切除得到的第i个条带图形沿x方向的末端拼接在第i+1个条带图形沿x方向的前端，得到新的第i+1个条带图形；
沿x方向向左移动新的第i+1个条带图形Xi距离；
判断新的第i+1个条带图形沿x方向的图形宽度是否完全落入第i+1个对应的曝光场域宽度内，依据判断结果沿x方向调整第i+1个条带图形对应的曝光场域，得到新的第i+1个条带图形对应的曝光场域。
2.如权利要求1所述的用于LD I曝光设备的gds图形补偿方法，其特征在于，新的第i+1个条带图形沿x方向向左移动的总距离为
3.如权利要求1所述的用于LD I曝光设备的gds图形补偿方法，其特征在于，所述判断新的第i+1个条带图形沿x方向的图形宽度是否完全落入第i+1个条带图形对应的曝光场域宽度内，依据判断结果沿x方向调整第i+1个条带图形对应的曝光场域，得到新的第i+1个条带图形对应的曝光场域，具体包括：
若新的第i+1个条带图形沿x方向的图形宽度超出第i+1个条带图形对应的曝光场域宽度，则无需调整第i+1个条带图形对应的曝光场域，将第i+1个条带图形对应的曝光场域更新为新的第i+1个条带图形对应的曝光场域；
若新的第i+1个条带图形沿x方向的图形宽度等于第i+1个条带图形对应的曝光场域宽度，则沿x方向向左增大第i+1个条带图形对应的曝光场域Xi距离，得到新的第i+1个条带图形对应的曝光场域。
4.如权利要求3所述的用于LD I曝光设备的gds图形补偿方法，其特征在于，新的第i+1个条带图形对应的曝光场域沿x方向向左增大的总距离为
5.如权利要求1所述的用于LD I曝光设备的gds图形补偿方法，其特征在于，所述若第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处存在错位，则对第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处进行错位补偿，以使第i个条带图形和第i+1个条带图形沿y方向的拼接处不存在错位，具体包括：
确定第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向的错位方向，和测量第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向的错位长度Yi；
依据第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向的错位方向，沿y方向移动第i+1个条带图形对应的曝光场域Yi距离，获得第i+1个条带图形对应的新的曝光场域。
6.如权利要求5所述的用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法，其特征在于，所述依据第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向的错位方向，沿y方向移动第i+1个条带图形对应的曝光场域Yi距离，获得第i+1个条带图形对应的新的曝光场域，具体包括：
若第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向向上错位，则沿y方向向上移动以增加第i+1个条带图形对应的曝光场域Yi距离，获得第i+1个条带图形对应的新的曝光场域；
若第i+1个条带图形相对第i个条带图形沿y方向向下错位，则沿y方向向下移动以减小第i+1个条带图形对应的曝光场域Yi距离，获得第i+1个条带图形对应的新的曝光场域。
7.如权利要求5所述的用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法，其特征在于，第i+1个条带图形对应的新的曝光场域沿y方向移动的总距离为
8.如权利要求1所述的用于LDI曝光设备的gds图形补偿方法，其特征在于，曝光场域为LDI曝光设备的DMD单元可执行的曝光区域，每个条带图形对应至少一个DMD单元。
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