JPH09274520A - 帯状ワークの搬送・位置決め方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 帯状ワークにパーフォレーションホール等を
設けることなく、帯状ワークの搬送方向の位置ずれの累
積の影響を低減化すること。 【解決手段】 帯状ワークＷをパターン領域のピッチに
対応した所定量だけ移動し停止させ、光照射部ＬＨより
露光光もしくは非露光光をマスクＭのマスクアライメン
ト・マークＭＡＭに照射する。そして、アライメントユ
ニットＡＵによりマスクアライメント・マークＭＡＭ像
と帯状ワークＷに設けられたワークアライメント・マー
クＷＡＭを検出し、帯状ワークＷの進行方向における上
記両マークＭＡＭ、ＷＡＭの位置ずれ量δを求め記憶す
る。そして、帯状ワークＷを次のパターン領域まで移動
させる際、上記帯状ワークＷのパターン領域のピッチに
対応した所定量に上記位置ずれ量δを加味した量だけ帯
状ワークＷを移動し停止させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】帯状のワーク上に複数の各種
電子的素子等を形成するため、帯状ワークを所定のパタ
ーン領域（帯状ワーク上の各露光エリア）毎に搬送・停
止し、マスクと帯状ワークの各パターン領域との位置合
わせを行ったのちマスクパターンをワーク上に露光する
露光工程が行われる。本発明は、上記のような露光工程
等において、ワーク搬送を所定のパターン領域で停止さ
せるための帯状ワークの搬送・位置決め方法および装置
に関し、特に本発明は、位置決め用のパーフォレーショ
ン・ホールや位置決めマークを使用することなくワーク
を正確に搬送・位置決めすることができる帯状ワークの
搬送・位置決め方法および装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】上記露光工程においては、薄い帯状ワー
ク（ロール状にまかれた厚さ２０μｍ程度のステンレス
板等）をリールから引き出して、所定のパターン領域毎
に搬送・停止し、各パターン領域に露光行っている。使
用されるワークの長さは、およそ１００ｍ、パターン領
域は１００〜２００ｍｍ角、１工程で約１０００回程度
の露光を行う。上記帯状ワークをリールから引出して所
定のパターン領域毎に搬送・停止する際、帯状ワークに
テンションをかけずに搬送・停止する必要がある。

【０００３】このため、通常、図３に示す搬送装置が使
用されている。図３において、ＷＳはワークステージで
あり、ワークステージＷの表面には多数の吸着孔ＶＣＨ
が形成されており、同図矢印の方向に搬送されてきた帯
状ワークが所定の位置で停止すると、帯状ワークＷを吸
着孔ＶＣＨにより吸着し、後述するようにマスクとワー
クの位置合わせを行ったのち露光する。

【０００４】ワークステージＷＳの下流側には、ドライ
ブローラＤＲが配置されており、帯状ワークＷはドライ
ブローラＤＲにより同図矢印方向に駆動される。また、
ワークステージＷＳの上流側には、帯状ワークＷにブレ
ーキをかけて波打ちを防止するブレーキローラＢＲが配
置されており、上記ドライブローラＤＲとブレーキロー
ラＢＲにより搬送装置を構成する。ドライブローラＤＲ
はドライブローラ軸ＤＲＳの両端に取り付けられ、ドラ
イブローラ軸ＤＲＳにエンコーダＥＣ１が接続されたモ
ータＭが取り付けられ、エンコーダＥＣ１によりドライ
ブローラＤＲの回転量を検出し、帯状ワークＷの進行方
向の位置を制御する。

【０００５】また、ドライブローラＤＲ上には押さえロ
ーラＤＲ’，ＤＲ’が上下動可能に配置されており、押
さえローラＤＲ’，ＤＲ’が下降し、回転するドライブ
ローラＤＲに帯状ワークＷの両端の非露光部分を押し付
けて駆動する。ブレーキローラＢＲはブレーキローラ軸
ＢＲＳの両端に取り付けられ、ブレーキ軸ＢＲＳはベア
リングの回転を抑制するによってブレーキ効果をもたせ
た回転制御機ＢＣに接続されている。そして、ブレーキ
ローラＢＲ上には押さえローラＢＲ’，ＢＲ’が上下動
可能に配置されており、押さえローラＢＲ’，ＢＲ’が
下降してプレーキローラＢＲに帯状ワークＷの両端の非
露光部分を押し付けて帯状ワークＷにブレーキをかけ、
帯状ワークＷの波打ちを防止する。

【０００６】帯状ワークＷを搬送する際は、ワークステ
ージＷＳに設けられた吸着孔ＶＣＨからエアーを吹き出
しながら、モータＭによりドライブローラＤＲを駆動し
て、帯状ワークＷを搬送し、帯状ワークＷの所定のパタ
ーン領域がワークステージＷＳ上にくると上記モータＭ
の駆動を停止して、吸着孔ＶＣＨを負圧にし帯状ワーク
を吸着する。上記のように、搬送中、吸着孔ＶＣＨから
エアーを供給することにより、帯状ワークＷの裏面がワ
ークステージＷＳと擦れて傷がつくことを防止すること
ができる。

【０００７】以上のように、ブレーキローラＢＲにより
ブレーキを掛けながら、ドライブローラＤＲの駆動力に
よって帯状ワークＷを搬送することにより、帯状ワーク
Ｗの波打ちを防止して、帯状ワークに大きなテンション
をかけることなく搬送することができる。ところが、上
記した搬送方法では、モータＭとして駆動パルスに対応
した量だけ回転するパルスモータを用い、またエンコー
ダＥＣ１によりその回転量を検出しても、ローラの加工
精度により次のパターン領域に移動するための指定され
た一回の送り量（通常１００ｍｍ〜２００ｍｍ）に対し
て、±０．１〜０．２ｍｍ程度の帯状ワーク進行方向の
ズレが避けられない。

【０００８】一回の送りで０．１ｍｍのズレでも１００
０回の送りを繰り返すと、そのズレは一回毎に累積さ
れ、帯状ワークＷの終点付近で１００ｍｍのズレとな
る。これらのズレが累積されると、後述するマスクと帯
状ワークＷのアライメント時に、アライメントユニット
の視野からワーク・アライメント・マークが外れてしま
い、アライメントが出来なくなる。マスクＭと帯状ワー
クＷのアライメント時、後述するようにマスクＭを移動
させるのではなく、ワークステージＷＳを移動させて帯
状ワークを動かせば、上記ズレの累積は抑制される。し
かしながら、ワークステージＷＳをある程度移動させる
と、帯状ワークＷにしわが発生したり、傷がついたりす
るので、ワークステージＷＳの移動可能範囲は限定され
る。したがって、ズレ量がこのワークステージＷの移動
可能範囲より大きいと、上記アライメントをワークステ
ージＷＳの移動だけでは実現できず、マスクＭをも移動
させる必要が生じてくる。結局、累積ズレ量の吸収が困
難になり、やがては、先に述べたように、アライメント
ができなくなる。そこで、上記ズレの発生を防止し、指
定されたパターン領域で帯状ワークＷを精度よく停止さ
せるため、従来、次の方法により搬送・位置決めを行
い、露光を行っていた。以下、帯状ワークＷにマスクパ
ターンを投影露光する投影露光装置を一例として、従来
の帯状ワークＷの搬送・位置決め及び露光について説明
する。

【０００９】Ａ．スプロケットを利用する方法 図４（ａ）はスプロケットを用いた従来の帯状ワークの
投影露光装置の構成を示す図、（ｂ）は帯状ワークＷを
示す図であり、帯状ワークＷの非露光面には、同図に示
すようにブレーキローラ、ドライブローラのスプロケッ
トと係合するパーフォレーションホールＰＨが形成され
ており、また、露光面（パターン領域）には後述するよ
うにマスクＭとワークＷの位置合わせをするためのワー
クアライメント・マークＷＡＭが記されている。

【００１０】同図（ａ）において、Ｒ１は未露光の帯状
ワークが巻かれた巻き出しリール、ＢＲ１はスプロケッ
ト付きブレーキローラ、ＷＳはワークステージ、ＤＲ１
はスプロケット付きドライブローラ、Ｒ２は巻き取りリ
ールである。スプロケット付きブレーキローラＢＲ１、
スプロケット付きドライブローラＤＲ１、ワークステー
ジＷＳにより搬送装置を構成しており、ドライブローラ
ＤＲ１、ブレーキローラＢＲ１にスプロケットが設けら
れている点を除き基本的に前記図３に示したものと同様
の構成である。なお、この場合、帯状ワークＷにパーフ
ォレーションホールＰＨが設けられており、帯状ワーク
Ｗの移動量はモータの回転量に対応するので、モータＭ
としてパルスモータ等の駆動量に対応した量回転する駆
動手段を用いる場合にはエンコーダＥＣ１は必ずしも必
要でない。

【００１１】ＬＨは露光光／非露光光を照射する光照射
部、Ｍはマスクパターンとマスクアライメント・マーク
が記されたマスク、ＭＳはマスクを載置するマスクステ
ージ、Ｌは投影レンズであり、光照射部ＬＨが放射する
露光光／非露光光はマスクＭ上に照射され、マスクＭ上
に設けられたマスクパターン、マスクアライメント・マ
ークは、投影レンズＬを介してワークステージＷＳ上の
帯状ワークＷに投影される。

【００１２】ＡＵはアライメントユニットであり、アラ
イメントユニットＡＵにより、ワークＷ上に結像したマ
スクアライメント・マークＭＡＭ（以下マスクマークＭ
ＡＭという）とワークＷ上に記されたワークアライメン
ト・マークＷＡＭ（以下ワークマークＷＡＭという）を
検出し、マスクマークＭＡＭとワークマークＷＡＭが重
なるようにマスクステージＭＳを移動させてマスクＭと
帯状ワークＷの位置合わせを行う。

【００１３】アライメントユニットＡＵは帯状ワークＷ
上に記されたワークマークＷＡＭに応じた数設けられ、
同図矢印方向に移動可能に構成されている。そして、ア
ライメントユニットＡＵを露光領域（露光光が照射され
る領域）内に動かしてアライメントを行う場合には、帯
状ワークＷを露光する際、アライメントユニットＡＵを
露光領域から退避させる。

【００１４】次に図３を参照しながら図４により、帯状
ワークの露光工程について説明する。 （１）吸着孔ＶＣＨからエアを放出し、スプロケット付
きドライブローラＤＲ１をモータＭにより所定数回転さ
せ帯状ワークＷを所定量だけ移動する。上記のようにス
プロケット付きドライブローラＤＲ１を用いているの
で、帯状ワークＷはモータＭの回転に対応した量だけ正
確に移動し、モータＭの回転量を制御することにより、
帯状ワークＷを正確に位置決めすることができる。 （２）後述するアライメント時にワークマークＷＡＭが
アライメントユニットＡＵの視野に入るように、帯状ワ
ークＷに形成されたパーフォレーションホールＰＨに図
示しない位置決めピン等を挿入し、帯状ワークＷの粗ア
ライメントを行い、モータＭの回転を停止する。

【００１５】（３）吸着孔ＶＣＨからのエアの放出を停
止し、吸着孔ＶＣＨにより帯状ワークＷを真空吸着して
固定する。ついで、アライメントユニットＡＵをワーク
マークＷＡＭを観察できる所定位置に挿入する（アライ
メントユニットＡＵを退避させている場合）。 （４）ワークステージＷＳをＺ軸（ワークステージＷＳ
の面に垂直な面上の軸）方向に移動させ（もしくはマス
クＭと投影レンズＬをＺ軸方向に移動させ）非露光によ
る収差を補正した後、光照射部ＬＨから非露光光を放射
してマスクマークＭＡＭを帯状ワークＷ上に結像させ
る。なお、光照射部ＬＨから非露光光を放射する代わり
に、光ファイバ等により露光光をワークマークＷＡＭ上
に部分的に照射してもよい。この場合、上記収差補正は
不要となる。

【００１６】（５）アライメントユニットＡＵによりマ
スクマークＭＡＭとワークマークＷＡＭを検出し、両マ
ークが重なるように、マスクＭを移動させて精アライメ
ントを行う。 （６）光照射部ＬＨから非露光光の放射を停止して、ア
ライメントユニットＡＵを退避させる（アライメントユ
ニットＡＵが露光領域内にある場合）。ついで、露光光
によるマスクＭのマスクパターンの投影像が帯状ワーク
Ｗ上に結像するようにワークステージＷＳのＺ方向の位
置（もしくは投影レンズＬとマスクＭのＺ方向の位置）
を調整したのち、光照射部ＬＨから露光光を放射し、マ
スクＭ上に記されたマスクパターンを帯状ワークＷ上に
結像させて露光を行い、光照射部ＬＨからの露光光の放
射を停止する。 （７）次のパターン領域がワークステージＷＳ上にくる
ように、モータＭによりドライブローラＤＲを所定量回
転させて帯状ワークＷを所定量移動させる。上記（２）
〜（７）の工程を繰り返す。

【００１７】Ｂ．パーフォレーションホールＰＨに代え
てワーク停止マークを用いる方法。 図５（ａ）はワーク停止マークを用いた従来の帯状ワー
クの投影露光装置の構成を示す図、（ｂ）は帯状ワーク
を示す図であり、帯状ワークＷの非露光面には、同図に
示すようにワーク停止マークＷＳＭが形成されており、
また、露光面（パターン領域）には後述するようにマス
クＭとワークＷの位置合わせをするためのワークアライ
メント・マークＷＡＭが記されている。

【００１８】同図（ａ）において、図４に示したものと
同一のものには同一の符号が付されており、次の(a)(b)
の点を除き図４に示したものと同様の構成である。 (a) マスクＭには帯状ワークの停止位置を定めるための
マスク停止マークＭＳＭが記されており、停止マーク検
出用アライメントユニット（図示せず：前記アライメン
トユニットより視野が大きい）で上記マスク停止マーク
ＭＳＭとワーク停止マークＷＳＭを検出して粗アライメ
ントを行う。

【００１９】なお、同図に示すように、ワークステージ
ＷＳの下側に受像素子ＣＣＤを設け、上記マスク停止マ
ークＭＳＭを、帯状ワークＷに設けられたワーク停止マ
ークＷＳＭおよびワークステージＷＳに設けられた観察
穴ＷＨを介して観察し、粗アライメントを行ってもよい
（この場合にはワーク停止マークＷＳＭとして帯状ワー
クＷに穴が設けられている）。 (b) ドライブローラＤＲ、ブレーキローラＢＲには図３
に示したように、スプロケットが設けられていない。

【００２０】次に図３を参照しながら図５により、帯状
ワークの露光工程について説明する。 （１）ドライブローラＤＲをモータＭ（例えばパルスモ
ータ）により一定速度で回転させ、帯状ワークＷを搬送
する。また、前記したように非露光光による収差を補正
した後、光照射装置ＬＨから非露光光を照射し、マスク
Ｍ上のマスク停止マークＭＳＡを帯状ワークＷ上に結像
させる（前記したように光ファイバによりマスク停止マ
ークＭＳＡを部分的に露光光によって照明してもよ
い）。 （２）予めワーク停止マークＷＳＡのマークピッチが分
かっているので、所定量だけ高速で搬送したのち、帯状
ワークの停止位置に近づいたらモータＭの回転速度を低
下させる。ついで、前記した不図示の停止マーク検出用
アライメントユニットによりワーク停止マークＷＳＭと
帯状ワークＷ上に結像した停止マークＭＳＡを検出し、
両者が一致したとき、モータＭを停止させる（粗アライ
メント）。なお、前記したように受像素子ＣＣＤにより
両マークの位置の一致を検出してもよい。 （３）前記した「Ａ．スプロケットを利用する方法」に
おける（３）〜（７）の工程を行い、上記（１）〜
（３）の工程を繰り返す。

【００２１】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来方法は次
のような問題点を持っている。 （１）前記Ａに記した「スプロケットを利用する方法」
の場合は、帯状ワークにパーフォレーションホールを形
成するための装置が別途必要となり、また、パーフォレ
ーションホールを形成する工程を必要とする。また、上
記装置は帯状ワークの材質や幅に応じてそれぞれ用意す
る必要があり、上記装置により、使用する帯状ワークの
材質や幅が制限されることがある。また、パーフォレー
ションホールのバリ等のゴミが発生する可能性があり、
これが歩留りを低下させることがある。

【００２２】（２）前記Ｂに記した「ワーク停止マーク
を用いる方法」の場合は、帯状ワークにワーク停止マー
クを形成する装置が別途必要となり、また、ワーク停止
マークを形成する工程を必要とする。また、上記（１）
と同様、上記装置は帯状ワークの材質や幅に応じてそれ
ぞれ用意する必要があり、上記装置により、使用する帯
状ワークの材質や幅が制限されることがある。また、停
止マーク用のアライメントユニット、あるいは、ワーク
ステージに停止マークを観察するための受像素子等の観
察系を設けなければならず、装置の構成が複雑となる。

【００２３】本発明は上記した従来技術の問題点を考慮
してなされたものであって、本発明の目的は、帯状ワー
クにパーフォレーションホールやワーク停止マークを設
けることなく、帯状ワークの搬送方向の位置ズレを小さ
くし、その累積の影響を軽減することである。

【００２４】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の請求項１，２の発明においては、帯状ワー
クＷをパターン領域のピッチに対応した所定量だけ移動
し停止させ、光照射部ＬＨより露光光もしくは非露光光
を、マスクパターンとマスクアライメント・マークＭＡ
Ｍを有するマスクのマスクアライメント・マークＭＡＭ
に照射する。ついで、上記マスクアライメント・マーク
ＭＡＭ像と帯状ワークＷに設けられたワークアライメン
ト・マークＷＡＭを検出し、帯状ワークＷの進行方向に
おける上記マスクアライメント・マークＭＡＭ像とワー
クアライメント・マークＷＡＭの位置ズレ量δを求め
る。そして、帯状ワークＷを次のパターン領域まで移動
させる際、上記帯状ワークＷのパターン領域のピッチに
対応した所定量に上記位置ズレ量δを加味した量だけ帯
状ワークＷを移動し停止させる。

【００２５】本発明の請求項１，２の発明においては、
上記のように、マスクアライメント・マークＭＡＭ像と
ワークアライメント・マークＷＡＭの位置ズレ量を求
め、帯状ワークＷを次のパターン領域まで移動させる
際、上記帯状ワークＷのパターン領域のピッチに対応し
た所定量に上記位置ズレ量δを加味した量だけ帯状ワー
クＷを移動しているので、帯状ワークＷの進行方向のズ
レを露光する毎に補正することができ、ズレ量の累積を
防止することができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】帯状ワークＷにマスクパターンを
投影露光する投影露光装置を一例として、本発明の実施
例について説明する。なお、本発明は下記実施例に示す
投影露光装置だけでなく、マスクとワークを接触させ露
光するコンタクト露光装置、マスクとワークを近接させ
て露光するプロキシミティ露光装置にも適用することが
できる。

【００２７】図１は本発明の実施例を示す図であり、同
図（ａ）は本実施例の投影露光装置の構成を示し、
（ｂ）は本実施例の帯状ワークＷを示しており、本実施
例における帯状ワークＷには、前記したパーフォレーシ
ョンホールＰＨやワーク停止マークＷＳＭが設けられて
おらず、パターン領域にアライメント・マークのみが記
されている。同図（ａ）において、前記した図４に示し
たものと同一のものには同一の符号が付されており、図
４と同様な構成を備えている。

【００２８】同図（ａ）において、Ｒ１は未露光の帯状
ワークが巻かれた巻き出しリール、ＢＲはブレーキロー
ラであり、ブレーキローラＢＲの軸には第２のエンコー
ダＥＣ２が取り付けられている。ＷＳはワークステー
ジ、ＤＲはドライブローラであり、ドライブローラＤＲ
には前記図３に示したように第１のエンコーダＥＣ１と
モータＭ（例えばパルスモータ）が取り付けられてい
る。また、Ｒ２は巻き取りリールである。ブレーキロー
ラＢＲ、ドライブローラＤＲ、ワークステージＷＳによ
り前記図３に示した搬送装置を構成し、ブレーキローラ
ＢＲに第２のエンコーダが設けられている点を除き、前
記図３に示したものと同様の構成である。

【００２９】ＬＨは露光光／非露光光を照射する光照射
部、Ｍはマスクパターンとマスクアライメント・マーク
ＭＡＭ（以下マスクマークＭＡＭという）が記されたマ
スク、ＭＳはマスクＭを載置するマスクステージ、Ｌは
投影レンズであり、光照射部ＬＨが放射する露光光／非
露光光はマスクＭ上に照射され、前記したように、マス
クＭ上に設けられたマスクパターン、マスクマークＭＡ
Ｍは、投影レンズＬを介してワークステージＷＳ上の帯
状ワークＷに投影される。ＡＵはアライメントユニット
であり、アライメントユニットＡＵにより、ワークＷ上
に結像したマスクマークＭＡＭとワークＷ上に記された
ワークマークＷＡＭを検出し、マスクマークＭＡＭとワ
ークマークＷＡＭが一致するようにマスクステージＭＳ
を移動させてマスクＭと帯状ワークＷの位置合わせを行
う。

【００３０】アライメントユニットＡＵは帯状ワークＷ
上に記されたワークマークＷＡＭに応じた数設けられ、
同図矢印方向に移動可能に構成されている。そして、ア
ライメントをする時にアライメントユニットＡＵが露光
領域内にある場合には、帯状ワークＷを露光する際、ア
ライメントユニットＡＵを露光領域から退避させる。Ｃ
ｎｔは制御装置であり、アライメントユニットＡＵによ
り受像されたマスクマークＭＡＭ像、ワークマークＷＡ
Ｍ像、エンコーダＥＣ１，ＥＣ２により検出されたドラ
イブローラＤＲ、ブレーキローラＢＲの回転量は制御装
置Ｃｎｔに送られ、制御装置ＣｎｔはモータＭの回転量
を制御して後述するように帯状ワークＷの位置決めを行
うとともに、マスクステージＭＡＭを駆動して、マスク
とワークのアライメントを行う。

【００３１】次に図３を参照しながら図１により、帯状
ワークの露光工程について説明する。 （１）ワークステージＷＳに設けられた吸着穴ＶＣＨか
らエアを吹き出して帯状ワークＷをワークステージＷＳ
から浮上させた状態で、ドライブローラＤＲをモータＭ
により所定数回転させ帯状ワークＷを所定量Ｐw （帯状
ワークのパターン領域のピッチに相当した量）だけ移動
させ、モータＭの駆動を停止する。同時に、エンコーダ
ＥＣ１、ＥＣ２によりドライブローラＤＲ、ブレーキロ
ーラＢＲの回転量を検出し記憶する。

【００３２】（２）エンコーダＥＣ１、ＥＣ２により検
出されたドライブローラＤＲ、ブレーキローラＢＲの回
転量を比較する。ここで、ドライブローラＤＲ、ブレー
キローラＢＲのいずれか一方、あるいは両方で帯状ワー
クＷがすべった場合には、エンコーダＥＣ１の検出値に
対してエンコーダＥＣ２の検出値は小さくなる。また、
エンコーダＥＣ１、ＥＣ２の検出値が一致している場合
は、帯状ワークＷはローラの滑り等の影響を受けること
なく所定量正確に送られていたものと考えられる。

【００３３】したがって、上記エンコーダＥＣ１、ＥＣ
２の検出値が一致しない場合には、ローラ等の磨耗等に
より滑りが生じたものとしてエラーを出力し、帯状ワー
クＷの搬送動作を停止する。なお、上記のようにエンコ
ーダＥＣ１、ＥＣ２によりドライブローラＤＲ、ブレー
キローラＢＲの回転量を検出しても前記したように、モ
ータＭに連結したドライブローラＤＲの停止精度によ
り、一回の送り量（約１００ｍｍ〜２００ｍｍ）に対し
て、±０．１〜０．２ｍｍ程度の帯状ワークＷの進行方
向のズレは避けられない。そこで、後述するように毎回
の搬送時におけるズレを検出して補正し、ズレの累積を
防止する。

【００３４】（３）吸着孔ＶＣＨからのエアの放出を停
止し、吸着孔ＶＣＨにより帯状ワークＷを真空吸着して
固定する。ついで、アライメントユニットＡＵをワーク
マークＷＡＭを観察できる所定位置に挿入する（アライ
メントユニットＡＵを退避させている場合）。 （４）前記したように非露光光による収差補正をした
後、光照射部ＬＨから非露光光を放射してマスクマーク
ＭＡＭを帯状ワークＷ上に結像させる。なお、光照射部
ＬＨから非露光光を放射する代わりに、光ファイバ等に
より露光光をワークマークＷＡＭ上に部分的に照射して
もよい。

【００３５】（５）アライメントユニットＡＵによりマ
スクマークＭＡＭとワークマークＷＡＭを検出し、ワー
クマークＷＡＭとマスクマークＭＡＭの帯状ワーク進行
方向のズレ量δを求め記憶する（ワークマークＷＡＭが
帯状ワークＷの進行方向側にズレているとき、δはマイ
ナスとなる）。図２は本実施例における搬送・位置決め
の様子を示す図であり、同図（ａ）に示すように、帯状
ワークＷを移動させてパターン領域１を露光領域に移動
させたとき、マスクマークＭＡＭとワークマークＷＡＭ
に位置ズレδが生じたら、その位置ズレ量δを記憶す
る。ついで、ワークマークＷＡＭとマスクマークＭＡＭ
が重なるように、マスクＭを移動させて精アライメント
を行う。

【００３６】（６）光照射部ＬＨから非露光光の放射を
停止して、アライメントユニットＡＵを退避させる（ア
ライメントユニットＡＵが露光領域内にある場合）。つ
いで、前記したように露光光によるマスクＭのマスクパ
ターンの投影像が帯状ワークＷ上に結像するように調整
した後、光照射部ＬＨから露光光を放射し、マスクＭ上
に記されたマスクパターンを帯状ワークＷ上に結像させ
て露光を行い、光照射部ＬＨからの露光光の放射を停止
する。

【００３７】（７）ワークステージＷＳの真空吸着を解
除し、ワークステージの吸着孔ＶＣＨからエアを吹き出
して帯状ワークＷをワークステージＷＳから浮上させた
状態で、ドライブローラＤＲをモータＭにより所定数回
転させ、帯状ワークＷを移動させ、モータＭを停止して
帯状ワークＷを停止させる。このときの帯状ワークＷの
移動量は、上記（５）で記憶したズレ量δを加味し〔ピ
ッチＰw ＋ズレ量δ〕とする。また、前記したように、
このときのエンコーダＥＣ１、ＥＣ２の検出値を記憶す
る。図２の場合、ズレ量δの値はマイナスとなっている
ので、移動量はＰW −δとなる。

【００３８】上記のように、帯状ワークＷの移動量をＰ
w ＋δとすることにより、次のパターン領域２を露光領
域（露光光が照射される領域）に移動させるとき、図２
（ｂ）に示すように帯状ワークＷを正確に位置決めする
ことができる。すなわち、帯状ワークＷがパターン領域
のピッチＰw に相当した量だけ移動した場合、上記ズレ
量δは補正され帯状ワークＷのパターン領域２のワーク
マークＷＡＭはマスクマークＭＡＭは略一致する。ま
た、仮に、このときの帯状ワークＷの移動量がドライブ
ローラＤＲの停止誤差により再度ズレても、前回の位置
ズレ量δは補正されているので、位置ズレ量δが累積す
ることはない。

【００３９】したがって、前記した±０．１〜０．２ｍ
ｍ程度の帯状ワークＷの進行方向のズレをマスクマーク
ＭＡＭとワークマークＷＡＭのアライメントを行う毎に
補正することができ、ズレ量の累積を防止することがで
きる。このため、パーフォレーションホールＰＨやワー
ク停止マークＷＳＭを用いた粗アライメントを行うこと
なく、帯状ワークＷのワークマークＷＡＭがアライメン
トユニットＡＵの視野内に入るように帯状ワークＷの位
置決めすることができる。

【００４０】（８）エンコーダＥＣ１、ＥＣ２により検
出されたドライブローラＤＲ、ブレーキローラＢＲの回
転量を比較し、両者が一致している場合には、帯状ワー
クが滑ることなく正常に送られたものとして、上記
（３）〜（８）の工程を繰り返す。なお、上記実施例で
は、アライメントユニットＡＵによりマスクマークＭＡ
ＭとワークマークＷＡＭを検出し、両マークが重なるよ
うに、マスクＭを移動させて精アライメントを行う場合
について説明したが、露光位置の位置決め精度をそれほ
ど要求されない露光工程においては、上記精アライメン
トを行わず、ワークマークＷＡＭとマスクマークＭＡＭ
の帯状ワーク進行方向のズレ量δを記憶しておき、次に
帯状ワークＷを移動させる際に、上記ズレ量δだけ補正
して帯状ワークを移動させてもよい。これにより、前記
した累積ズレの発生を防止することができる。また、常
に累積ズレ量が補正されるので、マスクマークＭＡＭと
ワークマークＷＡＭとの精アライメントのときの移動量
をある一定の範囲内にすることができる。したがって、
上記移動量範囲に対応したワークステージＷＳの移動量
が帯状ワークＷにしわが発生したり、傷をつけたりしな
い程度であるならば、精アライメントのとき、マスクＭ
を移動させる代わりにワークステージＷＳを移動させて
もよい。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明においては
以下の効果を得ることができる。 （１）帯状ワークにパーフォレーションホールやワーク
停止マークを設ける必要がないので、パーフォレーショ
ンホールやワーク停止マークを形成する装置を必要とせ
ず、また、上記パーフォレーションホールやワーク停止
マークを形成する工程を必要としない。このため、上記
パーフォレーションホールやワーク停止マークを形成す
る装置によるワークの材質、幅が制限させることがな
い。さらに、パーフォレーションホールのバリ等のゴミ
が発生することがなく、該ゴミにより歩留り等が低下す
ることがない。

【００４２】（２）停止マークを検出するためのアライ
メントユニットや、停止マークを検出するための観察系
をワークステージに設ける必要がなく、装置の構成を簡
単にすることができる。 （３）露光時における搬送方向のズレ量を露光する都度
検出し、上記ズレ量により次回の移動量を定めているの
で、モータに連結したローラの停止精度により発生する
搬送方向のズレ量の累積の影響を低減化することができ
る。このため、アライメントユニットの視野からワーク
マークが外れてしまうことがなく、アライメントが不可
能となる事態が発生することがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例を示す図である。

【図２】本発明の実施例における搬送・位置決めの様子
を示す図である。

【図３】帯状ワークを搬送するための従来の搬送装置の
構成を示す図である。

【図４】スプロケットを用いた従来例を示す図である。

【図５】ワーク停止マークを用いた従来例を示す図であ
る。

【符号の説明】

Ｒ１ 巻き出しリール Ｒ２ 巻き取りリール Ｗ 帯状ワーク ＢＲ ブレーキローラ ＤＲ ドライブローラ ＥＣ１ エンコーダ ＥＣ２ エンコーダ Ｍ モータ ＢＣ 回転制御機 ＷＳ ワークステージ ＬＨ 光照射部 Ｍ マスク ＭＳ マスクステージ Ｌ 投影レンズ ＡＵ アライメントユニット ＭＡＭ マスクマーク ＷＡＭ ワークマーク Ｃｎｔ 制御装置

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 帯状ワークにマスクパターンを露光し、
   露光終了後、帯状ワークの次のパターン領域にマスクパ
   ターンを露光するため、上記帯状ワークをパターン領域
   のピッチに対応した所定量だけ移動し停止させる帯状ワ
   ークの搬送・位置決め方法であって、 帯状ワークが停止した後、光照射部より露光光もしくは
   非露光光を、マスクパターンとマスクアライメント・マ
   ークを有するマスクのマスクアライメント・マークに照
   射し、 上記マスクアライメント・マーク像と帯状ワークに設け
   られたワークアライメント・マークを検出し、帯状ワー
   クの進行方向における上記マスクアライメント・マーク
   像とワークアライメント・マークの位置ズレ量を求め、 帯状ワークを次のパターン領域まで移動させる際、上記
   帯状ワークのパターン領域のピッチに対応した所定量に
   上記位置ズレ量を加味した量だけ帯状ワークを移動し停
   止させることを特徴とする帯状ワークの搬送・位置決め
   方法。
2. 【請求項２】 帯状ワークにマスクパターンを露光し、
   露光終了後、帯状ワークの次のパターン領域にマスクパ
   ターンを露光するため、上記帯状ワークをパターン領域
   のピッチに対応した所定量だけ移動し停止させる帯状ワ
   ークの搬送・位置決め装置であって、 マスクパターンとマスクアライメント・マークを有する
   マスクと、 露光光もしくは非露光光を上記マスク上に照射する光照
   射部と、 上記マスクを介して上記光照射部から放射される露光光
   もしくは非露光光が照射されるワークアライメント・マ
   ークを有するワークと、 上記マスクアライメント・マーク像とワークアライメン
   ト・マークを検出するアライメントユニットと、 上記帯状ワークの移動を制御する制御部とを備え、 上記制御部は、帯状ワークが停止したのち、上記アライ
   メントユニットにより検出されるマスクアライメント・
   マーク像とワークアライメント・マークの位置ズレ量を
   求め、 帯状ワークを次のパターン領域まで移動させる際、上記
   帯状ワークのパターン領域のピッチに対応した所定量に
   上記位置ズレ量を加味した量だけ帯状ワークを移動し停
   止させることを特徴とする帯状ワークの搬送・位置決め
   装置。