JPH11334953A - 帯状ワークの搬送・加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 蛇行修正を行いながら波打ち等を生じさせる
ことなく帯状ワークを搬送でき、加工精度が高い帯状ワ
ークの搬送・加工装置を提供すること。 【解決手段】 帯状ワークＷを搬送する際は、搬送ロー
ラＲ４を駆動して、電磁ブレーキ等に連結されたテンシ
ョンブレーキロールＲ１によりブレーキを掛ける。この
ため、帯状ワークＷの搬送時は帯状ワークＷにテンショ
ンがかかる。帯状ワークＷの搬送中、エッジセンサＳ１
によりエッジ位置を検出し、帯状ワークＷに蛇行が有る
と中間ガイドロールＲ２を揺動させて蛇行を修正する。
ワーク加工時は、搬送ローラＲ４を停止し、帯状ワーク
Ｗにかかるテンションを解除し、テンションブレーキロ
ールＲ１と搬送ローラＲ４の押さえローラＲ１’，Ｒ４
を開き、帯状ワークＷをワークステージＷＳに吸着保持
して露光等の加工を行う。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、帯状ワークの搬送
・加工装置に関し、特に、本発明は帯状ワーク上へのマ
スクパターンの露光、レーザによる穴あけ加工、あるい
は、ＩＣチップの実装等のために使用される帯状ワーク
の搬送・加工装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】上記した帯状ワークの搬送・加工装置に
おいては、ロール状に巻かれた有機化合物のフィルム、
薄物金属等の長尺連続ワーク（以下帯状ワーク）をリー
ルから引き出して、搬送停止し、帯状ワークの各領域に
所定の加工を行っている。上記加工は、具体的には、露
光・レーザ等による表面の加工・精密なカラー印刷、Ｉ
Ｃチップの取り付けなどがあげられる。一般に、上記加
工装置に用いられる帯状ワークの搬送は、ワーク搬送中
のワーク送りの安定性、位置精度の確保、ワークの反り
・うねりの矯正のために、巻きだしロールから巻取りロ
ールの間で、ワークに対して常に張力（テンション）を
働かせている。

【０００３】図５は上記した帯状ワークの加工装置の従
来例を示す図である。同図において、１０は巻出しロー
ル部であり、巻出しロール部１０には巻出しロール１、
スペーサ巻取りロール１ａ、テンションロールＲ１１が
設けられている。帯状ワークＷは通常スペーサＳと重ね
合わせて巻出しロール１にロール状に巻かれており、巻
出しロール１から帯状ワークＷが引き出されるとき、ス
ペーサＳはスペーサ巻取りロール１ａにより巻き取られ
る。

【０００４】巻出しロール１から引き出された帯状ワー
クＷは上記したテンションロールＲ１１、帯状ワークの
エッジ位置を検出するエッジセンサＳ１、ガイドロール
Ｒ１２、エンコーダロールＲ１３（押さえロールＲ１
３’とともに帯状ワークＷを挟持する）を介して、例え
ばワークステージＷＳ等から構成される加工部３に送ら
れる。帯状ワークＷの所定の領域が加工部３に達する
と、帯状ワークＷの搬送が停止し、帯状ワークＷに露光
処理等の加工が行われる。加工部３で加工された帯状ワ
ークＷは、搬送ロールＲ１４（押さえロールＲ１４’と
ともに帯状ワークＷを挟持する）、ガイドロールＲ１
５、テンションロールＲ１６を介して巻取りロール２に
巻き取られる。帯状ワークＷが巻き取られるとき、スペ
ーサ巻出しロール２ａからスペーサＳが送り出され、加
工済の帯状ワークＷはスペーサＳとともに巻取りロール
２に巻き取られる。

【０００５】上記帯状ワークの加工装置において、帯状
ワークＷの搬送・蛇行修正・露光処理は次のように行わ
れる。 （１）帯状ワークＷの搬送 巻出しロール１から引き出した帯状ワークＷは、搬送ロ
ールＲ１４、押さえロールＲ１４’よって狭持されてお
り、搬送ロールＲ１４が図示しないモータ等により駆動
され回転することにより、帯状ワークＷは巻きだしロー
ル１から引き出され搬送される。そして、前記したよう
に、帯状ワークＷの所定の領域が、加工部３に達する
と、搬送ロールＲ１４の回転を停止し、加工処理を行
う。加工が終了すると、再び搬送ロールＲ１４が回転
し、帯状ワークＷを搬送する。ここで、帯状ワークＷ
に、波打ち、しわが生じないようにするためには、帯状
ワークＷに常にテンションをかけておくことが望まし
い。

【０００６】このため、巻出しロール１には、帯状ワー
クＷが搬送される方向と逆方向（図５では右回り）に回
転する力が、常に加えられている。したがって、帯状ワ
ークＷの搬送中、帯状ワークＷの停止中のいずれにおい
ても、巻出しロール１と搬送ロールＲ１４との間では、
帯状ワークＷに常にテンションがかかっている。同様
に、巻取りロール２には、帯状ワークＷを巻き取る方向
に回転する力が、常に加えられている。したがって、搬
送ロールＲ１４と巻取りロール２との間では、帯状ワー
クＷは常にテンションがかかっている。

【０００７】（２）帯状ワークの蛇行修正 帯状ワークＷを連続して搬送すると、帯状ワークＷが、
その幅方向（ワークの進行方向に対して直角方向）に位
置ずれを生じることがあり、これを修正し、加工部３で
の帯状ワークＷの位置を補正する必要がある。ここで、
帯状ワークＷの幅方向のずれをワークの蛇行と呼び、ワ
ークの蛇行を修正することを蛇行修正と呼ぶ。上記した
ように帯状ワークＷ全体に常時テンションをかける装置
の場合、ワークの蛇行の検出と、その修正は次のような
方法で行っている。すなわち、図６に示すように前記し
たエッジセンサＳ１により、帯状ワークＷのエッジを検
出し、エッジセンサＳ１の出力を制御部２１に入力す
る。制御部２１は、帯状ワークＷの位置がずれると、巻
出しロール駆動機構２２を介してアクチュエータ２０に
より巻出しロール部１０全体を帯状ワークＷの幅方向に
移動させ、帯状ワークＷの位置を修正する。

【０００８】（３）露光 帯状ワークＷは、加工部３に搬送され前記したように種
々の加工が行われるが、ここでは、帯状ワークＷ上に、
マスクパターンを有するマスクを介して紫外光を含む光
を照射して露光を行う場合について説明する。図５に示
すように、加工部３のワーク搬送下流側には、搬送用ロ
ールＲ１４が設けられており、搬送ロールＲ１４が所定
量回転することにより、帯状ワークＷは次の露光領域ま
で搬送される。なお、帯状ワークＷには、前記したよう
に搬送中、停止中の何れの場合でも、常にテンションが
かけられている。また、前記したように、エッジセンサ
Ｓ１により搬送中の帯状ワークＷの蛇行が検出され、帯
状ワークＷのエッジ位置がずれると、巻出しロール部１
０全体が帯状ワークＷの幅方向に移動し、蛇行を修正す
る

【０００９】帯状ワークＷの露光領域が加工部３のワー
クステージＷＳ上の所定位置まで達すると、ワークステ
ージ駆動機構ＷＳＤによって、帯状ワークＷの搬送に邪
魔にならない位置にまで下がっていたワークステージＷ
Ｓが、ワーク搬送レベルにまで上昇し、帯状ワークＷを
テンションがかかったままの状態で真空吸着機構（図示
せず）により保持する。ついで、光照射部４に設けられ
たマスクＭと帯状ワークＷの位置合わせを行い、光照射
部４から紫外光を含む光をマスクＭを介して帯状ワーク
Ｗ上に照射し、帯状ワークＷ上にマスクパターンを露光
する。なお、上記位置合わせ・露光の間もワークＷにテ
ンションがかけられている。したがって、マスクＭと帯
状ワークＷとの位置合わせは、マスクＭを移動させて行
うことになる（ワークはテンションがかかっていて移動
させられないため）。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来装置にお
いては次のように問題が生じた。 （１）帯状ワークＷにテンションがかかった状態で露光
しているので、帯状ワークＷが、例えば有機化合物の薄
いフィルムである場合、帯状ワークＷが伸びた状態で露
光される。このため、露光装置から取り外されると、ワ
ークＷにテンションがかからなくなりワークが縮み、露
光精度が変化するといった問題を生ずる。すなわち、図
７（ａ）に示すように、テンションを掛けた状態で露光
したのち、テンションを解除すると図７（ｂ）に示すよ
うに帯状ワークＷが縮んで露光パターンの位置がずれ、
露光精度を確保できなくなる。この問題は、上記露光の
場合だけでなく、例えば、帯状ワークＷに穴開け加工を
する場合や、帯状ワークにＩＣチップを実装する場合に
も、テンションを解除したとき穴の形状が変わったり、
チップ実装位置がずれる等、加工精度が低下する。以上
の問題は、露光パターンの微細化等、加工精度の向上に
伴い、近年問題視されるようになってきた。

【００１１】（２）蛇行修正のために、巻出しロール部
１０を移動する必要があるが、例えば、薄いステンレス
の帯状ワークの場合、ロールの大きさがφ２００〜３０
０ｍｍ、重さが２０〜３０kg程度ある。このようなロー
ルを保持するユニット全体を、精度良く移動させるため
には、大型のロール部移動機構が必要となり、したがっ
て装置全体が大型化する。

【００１２】上記問題を解決するため、本出願人は、先
に、巻出しロールを移動せず、一時的に帯状ワークＷの
テンションを解除して帯状ワークＷを移動させ、蛇行修
正を行う装置を提案した（特開平９−７０７３１号公報
参照）。上記公報に記載される技術は、帯状ワークＷを
露光位置まで移動させて停止させたのち、帯状ワークＷ
のエッジ位置を検出し、蛇行が検出された場合、押さえ
ロールと搬送ロール等による挟持を解除して、蛇行修正
手段により帯状ワークＷの位置を移動させ蛇行を修正す
るものである。しかしながら、上記方法は、ワークの搬
送を停止した後、蛇行の修正を行っているので、搬送中
に蛇行修正する場合に比べ、スループットが悪くなると
いった問題がある。

【００１３】すなわち、上記した加工装置において、帯
状ワークＷに波打ち、しわが生じないようにするには、
帯状ワークＷにテンションをかけることが望ましいが、
テンションをかけてワークを搬送するとワークが伸びる
ことがあり、前記したように帯状ワークＷの露光・加工
精度が低下する。一方、帯状ワークＷの蛇行検出のため
には、ワークの位置を正確に把握する必要があり、ワー
クにテンションをかけた状態で蛇行検出を行う必要があ
るが、蛇行を修正するにはワークを移動させる必要があ
る。しかしながら、ワークにテンションがかかっている
と、帯状ワークＷを単純には移動させることができず、
例えば、前記したようにロールを保持するユニット全体
を移動させたり、あるいは、テンションを解除してから
蛇行を修正しなければならず、前者の場合には装置が大
型化し、後者の場合には、スループットが低下するとい
った問題が生ずる。

【００１４】以上のように、帯状ワークの搬送・加工装
置においては、上記した相反する要求を満たすことが要
求されるが、従来においては、これらの要求を全て満た
すことができる装置が実現されていなかった。本発明は
上記した従来技術の問題点を考慮してなされたものであ
って、帯状ワークの加工精度を向上させることができる
とともに、波打ち、しわを生じさせることなく帯状ワー
クを搬送することができ、かつ、装置を大型化させたり
スループットを低下させることなく、帯状ワークの蛇行
を検出してその蛇行修正を行うことができる帯状ワーク
の搬送・加工装置を提供することである。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明においては、次の
ようにして前記課題を解決する。 （１）帯状ワークを搬送し、加工部においてワークステ
ージにワークを吸着保持して加工する装置において、ブ
レーキロールと押さえロールからなり、ワークが移動し
ているとき、ワークの移動を抑制するようなブレーキ力
を作用させるワーク搬送ブレーキ部と、ワークの搬送方
向に対して垂直方向にワークを移動させるように揺動す
る中間ガイドロールからなる蛇行修正部と、ワークのエ
ッジを検出するセンサからなるワークエッジ検出部と、
ワーク加工部と、搬送ロールと押さえロールとよりなる
ワーク搬送部とを設け、帯状ワークを、ワーク搬送ブレ
ーキ部から、蛇行修正部と、ワークエッジ検出部と、ワ
ーク加工部と、ワーク搬送部の順に搬送する。そして、
ワーク搬送時は、ワーク搬送ブレーキ部によってブレー
キのかかったワークを、ワーク搬送部によってテンショ
ンをかけて搬送し、ワークエッジ検出手段によってワー
クエッジ位置を検出し、ワークに蛇行が有れば中間ガイ
ドロールを揺動させて蛇行を修正する。また、ワーク加
工時は、ワーク搬送部を停止してワークにかかるテンシ
ョンを解除し、ワークをワークステージに吸着保持し
て、ワーク搬送ブレーキとワーク搬送部の押さえロール
を解除して、加工を行う。 （２）上記ワーク加工部を露光装置とし、帯状ワークを
露光する。

【００１６】本発明の請求項１，２の発明においては、
上記のように、ワーク搬送時は、ワーク搬送ブレーキ部
によってブレーキのかかったワークを、ワーク搬送部に
よってテンションをかけて搬送し、搬送中、ワークエッ
ジ検出手段によってワークエッジ位置を検出してワーク
の蛇行を中間ガイドロールを揺動させて修正し、また、
ワーク加工時は、ワーク搬送部を停止してワークにかか
るテンションを解除してワークの加工もしくは露光を行
っているので、従来技術のように加工後、帯状ワークＷ
が縮んで加工精度が低下するといった問題が生ずること
がない。また、波打ち、しわが生じさせることなく帯状
ワークを搬送することができるとともに、装置を大型化
させたりスループットを低下させることなく、帯状ワー
クの蛇行を検出してその蛇行修正を行うことができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。なお、以下の説明では本発明を帯状ワーク
の露光装置に適用した場合について説明するが、本発明
は、露光装置以外に、前記したように種々の搬送・加工
装置に適用することができる。図１は本発明の実施例の
帯状ワークの搬送・加工装置の構成を示す図である。帯
状ワークＷはスペーサＳと重ね合わせて巻出しロール１
にロール状に巻かれており、巻出しロール１から帯状ワ
ークＷが引き出されるとき、スペーサＳはスペーサ巻取
りロール１ａにより巻き取られる。巻出しロール１から
出た帯状ワークＷは、たるみ部Ａ１を経てテンションブ
レーキロールＲ１と、押さえロールＲ１’により狭持さ
れる。押さえロールＲ１’は開閉移動し、ワーク搬送時
は、帯状ワークＷをテンションブレーキロールＲ１との
間で、狭持する。

【００１８】テンションブレーキロールＲ１は、テンシ
ョンブレーキロールＲ１が回転するとき回転方向とは逆
向きの力が発生する例えば電磁ブレーキのようなブレー
キに連結しており、帯状ワークＷの移動時、帯状ワーク
Ｗの移動が抑制され、帯状ワークＷにテンションが加わ
る。なお、テンションブレーキロールＲ１の回転を抑制
する手段としては、上記電磁ブレーキの外、例えば、オ
イルダンパーのように、回転時、その回転を抑制する機
能を備えた種々の手段を用いることができる。帯状ワー
クＷは、蛇行を修正する働きをする中間ガイドロールＲ
２の部分で、９０度方向転換し、帯状ワークＷのエッジ
位置を検出するエッジセンサＳ１、エンコーダロールＲ
３（押さえロールＲ３’とともに帯状ワークＷを挟持す
る）を介して露光部５に送られる。

【００１９】エンコーダロールＲ３は、帯状ワークＷの
搬送時、帯状ワークＷが後述する搬送ロールＲ４におい
てスリップしていないかどうかを確認するためのロール
である。すなわち、帯状ワークＷが搬送されると、エン
コーダロールＲ３が回転する。その回転数はエンコーダ
ロールＲ３に取り付けたエンコーダ（図示せず）によっ
て検出され、帯状ワークＷの移動量が算出される。算出
したワークの移動量と設定された搬送量とを比較し、異
なる場合はワーク移動時にスリップが生じたとして、搬
送トラブルとし以後の処理を中止する。

【００２０】露光部５で露光された帯状ワークＷは、搬
送ロールＲ４と押さえロールＲ４’により狭持され、さ
らにガイドロールＲ５、たるみ部Ａ２を介してテンショ
ンブレーキロールＲ６と押さえロールＲ６’により挟持
され、巻取りロール２に巻き取られる。その際、スペー
サ巻出しロール２ａからスペーサＳが送り出され、露光
済の帯状ワークＷはスペーサＳとともに巻取りロール２
に巻き取られる。上記押さえロールＲ４’は開閉移動
し、帯状ワークＷの搬送時は、帯状ワークＷを搬送ロー
ルＲ４との間で狭持する。すなわち、帯状ワークＷの搬
送時は、帯状ワークＷに対し、搬送ロールＲ４とテンシ
ョンブレーキロールＲ１との間にテンションが発生する
ことになる。また、搬送ロールＲ４による搬送が停止す
ると、帯状ワークＷにはテンションがかからなくなる。

【００２１】また、搬送ロールＲ４から、巻取りロール
２の上流側に設けられたテンションブレーキロールＲ６
までの間にはたるみ部Ａ２が設けられており、帯状ワー
クＷは常時たるんでいる。そして、巻取りロール２によ
り帯状ワークＷを巻き取るとき、テンションブレーキロ
ールＲ６の押さえロールＲ６’が閉じてテンションブレ
ーキロールＲ６が帯状ワークＷを狭持する。このため、
帯状ワークＷにはテンションが掛かり、ワークの巻き締
めが可能になる。なお、露光部３への帯状ワークＷの搬
送と、帯状ワークＷの巻出しロール１からの巻出し、お
よび、巻取りロール２ヘの巻取りは、ワークのたるみ量
を検出してそれぞれ独立して行われる。すなわち、たる
み部Ａ１，Ａ２には、フォトセンサＳ２，Ｓ３が設けら
れており、フォトセンサＳ２，Ｓ３により検出されるた
るみ部Ａ１，Ａ２のたるみ量に応じて、巻出しロール１
の送り出し量、巻取りロール２の巻取り量が制御され
る。すなわち、たるみ量が常に一定になるように、巻出
しロール１からの巻出し、および、巻取りロール２ヘの
巻取り量が、露光部３への帯状ワークＷの搬送とは独立
して制御される。

【００２２】エッジセンサＳ１としては、図２に示すも
のを用いることができる。すなわち、図２（ａ）に示す
ように、発光素子Ｌ１１と受光素子ＰＴ１、発光素子Ｌ
１２と受光素子ＰＴ２から構成される２組のフォトセン
サＳ１１，Ｓ１２を帯状ワークＷの外側と内側に並べた
もの、あるいは、図２（ｂ）に示すように、発光素子Ｌ
１３と、ワークの搬送方向に対して直角に配置したＣＣ
Ｄ等のラインセンサＬＳ１から構成されるリニアセンサ
Ｓ１３を使用することができる。図２（ａ）に示すセン
サを用いる場合には、フォトセンサＳ１１，Ｓ１２のＯ
Ｎ，ＯＦＦの組み合わせにより帯状ワークＷのエッジ位
置を検出する。また、図２（ｂ）を用いる場合には、光
がラインセンサＬＳ１に入射する位置で帯状ワークＷの
エッジ位置を検出する。

【００２３】蛇行を修正する働きをする中間ガイドロー
ルＲ２は図３に示す構成を持つ。図３（ａ）は中間ガイ
ドロールＲ２近傍の斜視図、図３（ｂ）は中間ガイドロ
ールＲ２の動作を示す図〔図３（ａ）のＡ方向から見た
図〕であり、図３（ａ）に示すように、中間ガイドロー
ルＲ２はガイドロール駆動部材１１に設けられたロール
支持部１１ａに回転可能に取り付けられている。また、
ガイドロール駆動部材１１は、図示しない基台に軸Ｒを
中心として揺動可能に取り付けられており、アクチュエ
ータ１２により駆動され上記軸Ｒを中心として図３
（ｂ）に示すように傾く。エッジセンサＳ１の出力は、
図３（ａ）に示すように制御部１３に与えられる。制御
部１３は、エッジセンサＳ１の出力に基づき帯状ワーク
Ｗがどの方向に蛇行しているかを判別し、帯状ワークＷ
が蛇行すると中間ガイドロール駆動機構１４を介してア
クチュエータ１２を駆動し、中間ガイドロールＲ２を蛇
行とは反対方向に揺動させる。そして、帯状ワークＷの
蛇行が修正される。

【００２４】例えば、帯状ワークＷの搬送中、帯状ワー
クＷが図４に示すように、紙面左側に蛇行したとする。
エッジセンサＳ１の出力に基づき制御部１３が帯状ワー
クＷの蛇行を判別すると、帯状ワークＷを搬送している
状態で、中間ガイドロール駆動機構１４を介してアクチ
ュエータ１２を駆動し、中間ガイドロールＲ２を、同図
に示すように蛇行した方向と反対側（右側）に傾ける。
帯状ワークＷは、紙面右側に距離ａ移動することにな
り、搬送されるにしたがって、帯状ワークＷは徐々に右
に寄り、左側への蛇行が修正される。

【００２５】前記図２（ａ）のセンサを用いる場合に
は、センサ出力がＯＮ／ＯＦＦなので、制御部１３は帯
状ワークＷが右に蛇行したか、左に蛇行したかに応じ
て、一定量アクチュエータ１２を上側もしくは下側に駆
動して、蛇行修正を行う。また、前記図２（ｂ）のセン
サを用いる場合には、蛇行量をリニアに検出できるの
で、制御部１３は、蛇行量に応じてアクチュエータ１２
を駆動し、中間ガイドロールＲ２を傾ける量を変えて蛇
行修正を行う。なお、図３（ｂ）、図４は説明のために
傾け量を誇張して描いているが、実際の装置において、
図３（ｂ）におけるｒ＝６００〜７００ｍｍ、ガイドロ
ールの移動幅＝１０ｍｍであり、実際の修正する蛇行量
は１〜２ｍｍ程度である。

【００２６】図１に戻り、露光部５には、ワークステー
ジＷＳが設けられており、ワークステージＷＳの表面に
は帯状ワークＷを保持するための真空吸着孔Ｍが設けら
れている。また、ワークステージＷＳはワークステージ
駆動機構ＷＳＤに取り付けられており、ワークステージ
駆動機構ＷＳＤはワークステージＷＳを図の上下方向に
移動させる。そして、帯状ワークＷの搬送時には、帯状
ワークＷの裏面とワークステージＷＳ表面とが擦れ合わ
ないようにするため、ワークステージＷＳはワークステ
ージ駆動機構ＷＳＤにより下側に駆動され、ワークステ
ージＷＳ面は搬送面より下に位置する。また、露光時
は、ワークステージＷＳは帯状ワークＷを保持しワーク
露光位置にまで上昇する。また、ワークステージ駆動機
構ＷＳＤは、光照射部４に設けられたマスクＭと、帯状
ワークＷの位置合わせのために、ワークステージをＸＹ
Ｚθ（Ｘは例えば帯状ワークＷの進行方向、Ｙは帯状ワ
ークＷの幅方向、Ｚは上下方向、θはＸＹ平面に直交す
る軸を中心とした回転）方向に移動させる機構も有して
いる。

【００２７】次に、図１に示した装置における搬送動作
および露光処理について説明する。 （１）ワークステージＷＳは帯状ワークＷの搬送面より
も下に下降している。搬送ロールＲ４とテンションブレ
ーキロールＲ１の押さえロールＲ４’，Ｒ１’は閉じて
おり、帯状ワークＷを狭持している。 （２）搬送ロールＲ４の回転を開始し、帯状ワークＷの
搬送を開始する。テンションブレーキロールＲ１も回転
を始めるが、同時にテンションブレーキロールＲ１には
電磁ブレーキによりロールの回転を止めようとする力が
働いている。したがって、帯状ワークＷには、搬送ロー
ルＲ４とテンションブレーキロールＲ１との間において
テンションがかかる。 （３）帯状ワークＷの搬送中、ワークステージＷＳに設
けられたワーク保持用の真空吸着孔Ｍからエアーを吹き
出すようにしておくと、帯状ワークＷが、ワークステー
ジＷＳ上面で持ち上がり、帯状ワークＷの裏面とワーク
ステージＷＳの表面とが接触し、ワーク裏面が傷つくと
いう心配がなくなる。

【００２８】（４）帯状ワークＷの搬送中、エッジセン
サＳ１が帯状ワークＷのエッジ位置を検出する。エッジ
センサＳ１により帯状ワークＷの蛇行が検出されると、
アクチュエータ１２により中間ガイドロールＲ２が駆動
され、中間ガイドロールＲ２が蛇行を修正する方向に傾
き、帯状ワークＷの蛇行を修正する。 （５）帯状ワークＷを所定の露光領域にまで搬送する
と、搬送ロールＲ４の回転が停止し、帯状ワークＷの搬
送が停止する。搬送が停止すると、テンションブレーキ
ロールＲ１に生じていたロールの回転を止めようとする
力も働かなくなり、したがって、帯状ワークＷにはテン
ションがかからない状態になる。

【００２９】（６）ワークステージ駆動機構ＷＳＤによ
り、ワークステージＷＳがワーク搬送位置にまで上昇す
るとともに、ワークステージＷＳの真空吸着孔Ｍに真空
が供給され、帯状ワークＷはワークステージＷＳ上に真
空吸着・保持される。即ち、帯状ワークＷにはテンショ
ンがかからない状態でワークステージＷＳに保持される
ことになる。 （７）搬送ロールＲ４とテンションブレーキロールＲ１
の押さえロールＲ４’、Ｒ１’を開き、帯状ワークＷの
狭持を解除する。 （８）ワークステージＷＳは、ワークステージ駆動機構
ＷＳＤにより、帯状ワークＷを保持した状態で、アライ
メント位置にまで移動する。

【００３０】（９）光照射部４に配置されたマスクと帯
状ワークＷとの位置合わせを行う。たるみ部Ａ１，Ａ２
があるので、ワークステージＷＳをＸＹＺθ方向に移動
させての位置合わせが可能であり、マスクＭを移動して
位置合わせを行っても良い。ただし、ワークステージＷ
Ｓを移動させる方が、帯状ワークＷの直上に、ゴミ発生
源となりうる移動機構を設ける必要がないという利点が
ある。 （１０）位置合わせ終了後、ワークステージＷＳを露光
位置にまで移動させ、マ光照射部４からマスクＭを介し
た紫外光を含む光を照射し、帯状ワークＷの露光処理を
行う。

【００３１】（１１）露光が終了すると、ワークステー
ジＷＳは帯状ワークＷを保持した状態で、ワーク搬送位
置にまで移動する。また、ワークステージＷＳはアライ
メント時ＸＹＺθ方向に移動しているので、移動前の原
点位置にまで戻る。 （１２）搬送ロールＲ４とテンションブレーキロールＲ
１の押さえロールＲ４’，Ｒ１が閉じ、帯状ワークＷを
狭持する。 （１３）ワークステージＷＳは、帯状ワークＷの真空吸
着保持を解除し、ワーク搬送レベルより下に下降する。
搬送ロールＲ４が駆動され、帯状ワークＷを次の露光領
域にまで搬送する。

【００３２】

【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
以下の効果を得ることができる。 （１）帯状ワークにテンションをかける範囲が、テンシ
ョンブレーキロールと搬送ロールとの間である。その範
囲内で、エッジセンサにより帯状ワークの蛇行を検出
し、中間ガイドロールにより蛇行を修正しているので、
大型の巻出しロール部移動装置を設ける必要がなく、装
置の小型化を図ることができる。 （２）テンションをかける時期がワークの搬送から停止
までの間である。ワーク搬送中は、ワークにテンション
がかかっているので、ワークエッジ検出センサによりワ
ークの位置を正確に検出することができる。また、ワー
ク搬送中に蛇行修正を行うので、蛇行修正によるスルー
プットの低下は生じない。

【００３３】（３）ワークをワークステージに吸着保持
する際、ワークにテンションがかかっていない。このた
め、ワークが伸びた状態で加工を行うことがない。した
がって、テンションが解除されたとき、帯状ワークが縮
むことがなく、加工精度が低下することがない。また、
帯状ワークがワークステージに吸着保持される寸前ま
で、ワークにテンションがかかった状態であるので、ワ
ークに波打ち・しわが発生することなくワークステージ
に吸着・保持することができる。したがって、加工時に
ワークのしわ・波打ちなどによる加工精度の低下を防ぐ
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例の帯状ワークの搬送・加工装置
の構成を示す図である。

【図２】エッジセンサの構成例を示す図である。

【図３】中間ガイドロールの構成およびその動作を説明
する図である。

【図４】蛇行修正動作を説明する図である。

【図５】従来装置の構成を示す図である。

【図６】従来装置における帯状ワークの蛇行修正を説明
する図である。

【図７】加工後、帯状ワークが縮むことによる加工精度
の低下を説明する図である。

【符号の説明】

１ 巻出しロール １ａ スペーサ巻取りロール ２ 巻取りロール ２ａ スペーサ巻出しロール ３ 加工部 ４ 光照射部 ５ 露光部 １０ 巻出しロール部 １１ ガイドロール駆動部材 １１ａ ロール支持部 １２ アクチュエータ １３ 制御部 １４ 中間ガイドロール駆動機構 Ｒ１ テンションブレーキロール Ｒ２ 中間ガイドロール Ｒ３ エンコーダロール Ｒ４ 搬送ロールＲ４ Ｒ５ ガイドロール Ｒ６ テンションブレーキロール Ｓ１ エッジセンサ Ｓ２，Ｓ３ フォトセンサ Ｓ１１，Ｓ１２ フォトセンサ Ｓ１３ リニアセンサ

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 帯状ワークを搬送し、加工部においてワ
   ークステージにワークを吸着保持して加工する搬送・加
   工装置において、 該装置は、ブレーキロールと押さえロールからなり、ワ
   ークが移動しているとき、ワークの移動を抑制するよう
   なブレーキ力を作用させるワーク搬送ブレーキ部と、ワ
   ークの搬送方向に対して垂直方向にワークを移動させる
   ように揺動する中間ガイドロールからなる蛇行修正部
   と、ワークのエッジを検出するセンサからなるワークエ
   ッジ検出部と、ワーク加工部と、搬送ロールと押さえロ
   ールとよりなるワーク搬送部とを備え、 帯状ワークは、ワーク搬送ブレーキ部から、その後、蛇
   行修正部と、ワークエッジ検出部と、ワーク加工部と、
   ワーク搬送部の順に搬送され、 ワーク搬送ブレーキ部とワーク搬送部と蛇行修正部と
   は、帯状ワークが蛇行修正部においてその搬送方向が変
   換されるように配置され、 ワーク搬送時は、ワーク搬送ブレーキ部によってブレー
   キのかかったワークを、ワーク搬送部によってテンショ
   ンをかけて搬送し、ワークエッジ検出手段によってワー
   クエッジ位置を検出し、ワークに蛇行が有れば中間ガイ
   ドロールを揺動させて蛇行を修正し、 ワーク加工時は、ワーク搬送部を停止してワークにかか
   るテンションを解除し、ワークをワークステージに吸着
   保持して、ワーク搬送ブレーキとワーク搬送部の押さえ
   ロールを解除して、加工を行うことを特徴とする帯状ワ
   ークの搬送・加工装置。
2. 【請求項２】 上記ワーク加工部が帯状ワークの露光装
   置であることを特徴とする請求項１の帯状ワークの搬送
   ・加工装置。