JP3672028B2 - 帯状ワークの露光装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、帯状ワークの露光装置に関し、更に詳しくは、帯状ワークへのマスクパターンの露光等に使用される帯状ワークの露光装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
帯状ワーク上へのマスクパターンの露光には、生産効率の高い設備とするためにリール・ツウ・リール方式が採用されている。かかるリール・ツウ・リール方式では、ロール巻きした帯状ワークを巻き出し、露光工程を経て、巻き取りリールに巻き取られるが、露光工程においては帯状ワークの厳しい位置決め精度が必要であるため、帯状ワークの搬送に十分配慮しなければならない。
【0003】
従来、一般的に用いられるスプロケット方式による帯状ワークの搬送では、帯状ワークが薄い場合にスプロケット孔が張力により拡大し正確に搬送できないといった問題があるため、近時、グリップフィード方式が採用されるようになってきている。例えば、特開2000−95402号公報にはその一例が開示されている。
【0004】
当該公報に開示されている露光装置における搬送機構は、露光部の上流側には固定グリップ部から成る第1ワーク固定機構が、また、下流側には固定グリップ部及び送りグリップ部から成る第2ワーク固定機構が夫々設けられた構成であり、露光処理が終わった後次回の露光処理のために、第2ワーク固定機構の送りグリップ部で帯状ワークの周辺部を挟持して所定量搬送方向下流側に搬送後、第1ワーク固定機構の固定グリップ部で帯状ワークを固定し、その後、帯状ワークをテンションによる伸び分だけ上流側に戻し、次いで、第2ワーク固定機構の固定グリップ部で帯状ワークを固定し、ワークステージに保持するようにしている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上述の従来例によれば、帯状ワークがワークステージに吸着保持される寸前まで帯状ワークにテンションがかかった状態であるので、帯状ワークに波打ち・しわが発生することがなく、また、露光処理時、帯状ワークにテンションがかからず、帯状ワークが伸びた状態で露光を行うことがないので、極めて有効な技術であるが、帯状ワークの厚みが25μm〜50μmといった薄物ワークの場合には、ワークの伸びの関係でかけられるテンションには限界がある。このため、このような薄物の帯状ワークの場合にはかかる搬送機構は採用し得ない。
【0006】
そこで、本発明の目的は、グリップフィード方式で帯状ワークの未露光領域を間欠的に露光位置に搬送し、帯状ワークにテンションをかけずに露光し得る露光装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成する本発明の帯状ワークの露光装置は、帯状ワークの未露光領域を間欠的に露光部に搬送してワーク上に露光処理する露光装置において、上記露光部の上流側と下流側に夫々固定グリップ部と送りグリップ部から成る第 1 及び第 2 グリップフィード機構を配設し、前記露光部の上流側にある第 1 グリップフィード機構の送りグリップ部は、前記露光部の上流側にある帯状ワークの垂下部分の立ち上がりに沿って縦に配設された第 1 リニアガイドと、この第 1 リニアガイドに沿って移動する第 1 スライド片とから構成され、前記露光部の下流側にある第 2 グリップフィード機構の送りグリップ部は、前記露光部の下流側にある帯状ワークの垂下部分の立ち下がりに沿って縦に配設された第 2 リニアガイドと、この第 2 リニアガイドに沿って移動する第 2 スライド片とから構成され、前記両グリップフィード機構に夫々備わる駆動モータが、前記両グリップフィード機構の夫々の送りグリップ部を同速で所定量移動させることにより、帯状ワークを帯状ワークが伸張しない程度の張力で搬送することを特徴とするものである。
【0008】
かかる構成により、25μm〜50μmといった薄物の帯状ワークであっても、帯状ワークにテンションをかけずに露光部へ搬送することができ、露光精度向上に寄与すると共に、露光パターンの微細化にも対応し得る。
【0009】
なお、グリップフィード機構は、固定グリップ部と送りグリップ部からなり、送りグリップ部の構成は特に限定はしないが、送りねじ機構やリニアガイド機構を用いることができる。また、上流側下流側各グリップフィード機構は一般的には水平方式が用いられるが、縦型に配置することで装置スペースを少なくすることもできる。
【0010】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について説明する。
【0011】
本発明の帯状ワークの露光装置は、図1に示す如く、帯状ワーク1の搬送方向に沿って、帯状ワーク1の巻出しロール2、第1エアダンサー10、第1グリップフィード機構20、露光ユニット30、第2グリップフィード機構40、第2エアダンサー50及び巻取りロール3を配設したものである。
【0012】
第1エアダンサー10の入口部及び出口部には夫々ガイドローラ11、11′が設けられており、また、下部には吸引配管12を介して吸引ブロア13が接続されている。更に、側部には帯状ワーク1の垂下部分の下端位置を一定の範囲にコントロールするための上限レベルセンサ14、及び下限レベルセンサ15が設けられている。
【0013】
第1グリップフィード機構20は、固定グリップ部21と送りグリップ部22とから構成され、送りグリップ部22は駆動モータ23に接続された送り螺子24で左右動する。なお、詳細は特公平6−42504号公報に開示されている通りである。
【0014】
露光ユニット30は、露光照明部31と、マスク32と、露光時に帯状ワーク1を所定位置に固定する吸着ステージ34と、一対の昇降ローラ33、33′と、吸着ステージアライメント機構35とから構成されている。
【0015】
第2グリップフィード機構40は、第1グリップフィード機構20と同一であり、固定グリップ部41と送りグリップ部42とから構成され、送りグリップ部42は駆動モータ43に接続された送り螺子44で左右動する。第1グリップフィード機構20における駆動モータ23と、第2グリップフィード機構40における駆動モータ43は不図示の制御装置により同速で駆動される。
【0016】
第2エアダンサー50は、第1エアダンサー10と同一であり、入口部及び出口部には夫々ガイドローラ51、51′が設けられており、また、下部には吸引配管52を介して吸引ブロア53が接続されている。更に、側部には帯状ワーク1の垂下部分の下端位置を一定の範囲にコントロールするための上限レベルセンサ54、及び下限レベルセンサ55が設けられている。
【0017】
次に、上述の帯状ワークの露光装置を用いて帯状ワーク上に所定のマスクパターンを露光する方法を説明する。
【0018】
先ず、巻出しロール2から引出した帯状ワーク1の始端部のリードテープを第1エアダンサー10、第1グリップフィード機構20、露光ユニット30、第2グリップフィード機構40、第2エアダンサー50を通して巻取りロール3に巻き付ける。
【0019】
次いで、蛇行修正を行うと共に、帯状ワーク1の露光すべき領域とマスク32との位置合わせを行った後、昇降ローラ33、33′を下降させ、吸着ステージ34を作動させて、帯状ワーク1を吸着ステージ34に固定した後、第1及び第2グリップフィード機構20、40の固定グリップ部21、41を閉とし、露光を行う。そして、露光中に第1及び第2グリップフィード機構20、40の送りグリップ部22、42を元の位置に戻す。
【0020】
次いで、次回の露光時には、第1及び第2グリップフィード機構20、40の固定グリップ部21、41を開にすると共に、送りグリップ部22、42を閉にし、吸着ステージ34の吸引状態を解除し、昇降ローラ33、33′を上昇させる。次いで、第1グリップフィード機構20における送りグリップ部22の駆動モータ23と第2グリップフィード機構40の送りグリップ部42の駆動モータ43を同速で駆動させることにより、送りグリップ部22及び42を所定量移動させて、帯状ワーク1の次の露光領域が露光ユニット30の吸着ステージの所定個所に来るよう搬送する。その後、マスク32と帯状ワーク1の露光領域の位置合わせを行い、昇降ローラ33、33′を下降させ、固定グリップ部21、41を閉にし、送りグリップ部22、42を開にすると共に、吸着ステージ32を吸引状態にする。そして、露光処理を行うが、その間に送りグリップ部22、42は元の位置に戻しておく。
かかる搬送の結果、第2エアダンサー50において、帯状ワーク1の垂下部分の下端が下限レベルセンサ55で検知されると巻取りロール3を駆動し、上限レベルセンサ54で検知されると巻取りロール3の駆動は停止される。一方、第1エアダンサー10において、帯状ワーク1の垂下部分の下端が上限レベルセンサ14で検知されると巻出しロール2を駆動し、下限レベルセンサ15で検知されると巻出しロール2の駆動は停止される。
【0021】
以上の作業を繰り返して、帯状ワーク1に所定の露光を行うことになる。
【0022】
図2は本発明の他の実施形態であり、省スペース化のために、上流側下流側各水平方式の第1及び第2グリップフィード機構を縦型に配置した点に特徴がある。なお、送りグリップ部22及び42は、夫々スライド片25とリニアガイド26、及びスライド片45とリニアガイド46との組合せから構成されている。他の構成は図1の実施態様と同一であり、説明は省略する。
【0023】
また、図3はグリップフィード機構の固定グリップ部の一実施態様を示すものであり、第1グリップフィード機構20における固定グリップ部21、21′、及び第2グリップフィード機構40における固定グリップ部41、41′は、それぞれ独立しており、帯状ワーク1の奥側の固定グリップ部21、41は、X方向(帯状ワークの搬送方向)及びY方向(帯状ワークの搬送方向と直交する方向)の位置を固定とし、帯状ワーク1の手前側の固定グリップ部21′、41′はX方向に関しては位置固定であるが、Y方向に関しては、リニアガイド27、27′上を移動し得ると共に、エアシリンダー28、28′の引張り力により、帯状ワーク1のY方向(帯状ワークの搬送方向と直交する方向)の変形を矯正することができる。
【0024】
【発明の効果】
本発明の帯状ワークの露光装置は、帯状ワークの未露光領域を間欠的に露光部に搬送してワーク上に露光処理する露光装置において、上記露光部の上流側と下流側に夫々グリップフィード機構を配設すると共に、両グリップフィード機構により帯状ワークを帯状ワークが伸張しない程度の張力で搬送することを特徴とするものであり、薄物の帯状ワークであっても、帯状ワークにテンションをかけずに露光部へ搬送することができ、露光精度向上に寄与すると共に、露光パターンの微細化にも対応し得るという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の帯状ワークの露光装置の一実施形態を示す正面図である。
【図2】本発明の帯状ワークの露光装置の他の実施形態を示す正面図である。
【図3】本発明の帯状ワークの露光装置におけるグリップフィード機構の固定グリップ部の一実施態様を示す平面図である。
【符号の説明】
1 帯状ワーク
2 巻出しロール
3 巻取りロール
10 第1エアダンサー
20 第1グリップフィード機構
30 露光ユニット
40 第2グリップフィード機構
50 第2エアダンサー
Claims (1)
- 帯状ワークの未露光領域を間欠的に露光部に搬送してワーク上に露光処理する露光装置において、上記露光部の上流側と下流側に夫々固定グリップ部と送りグリップ部から成る第 1 及び第 2グリップフィード機構を配設し、
前記露光部の上流側にある第 1 グリップフィード機構の送りグリップ部は、前記露光部の上流側にある帯状ワークの垂下部分の立ち上がりに沿って縦に配設された第 1 リニアガイドと、この第 1 リニアガイドに沿って移動する第 1 スライド片とから構成され、
前記露光部の下流側にある第 2 グリップフィード機構の送りグリップ部は、前記露光部の下流側にある帯状ワークの垂下部分の立ち下がりに沿って縦に配設された第 2 リニアガイドと、この第 2 リニアガイドに沿って移動する第 2 スライド片とから構成され、
前記両グリップフィード機構に夫々備わる駆動モータが、前記両グリップフィード機構の夫々の送りグリップ部を同速で所定量移動させることにより、帯状ワークを帯状ワークが伸張しない程度の張力で搬送することを特徴とする帯状ワークの露光装置。
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