JP2003335443A - 帯状ワークの露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は帯状ワークにテンションをかけずに
露光し得る露光装置を提供せんとするものである。 【解決手段】 帯状ワークの未露光領域を間欠的に露光
部に搬送してワーク上に露光処理する露光装置におい
て、上記露光部の上流側と下流側に夫々グリップフィー
ド機構を配設し、巻き出しロールから巻き出された帯状
ワークを上記露光部の上流側と下流側に配設されたグリ
ップフィード機構で把持すると共に、両グリップフィー
ド機構を同時に同速で同じ送り量だけ駆動するようにす
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、帯状ワークの露光
装置に関し、更に詳しくは、帯状ワークへのマスクパタ
ーンの露光等に使用される帯状ワークの露光装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】帯状ワーク上へのマスクパターンの露光
には、生産効率の高い設備とするためにリール・ツウ・
リール方式が採用されている。かかるリール・ツウ・リ
ール方式では、ロール巻きした帯状ワークを巻き出し、
露光工程を経て、巻き取りリールに巻き取られるが、露
光工程においては帯状ワークの厳しい位置決め精度が必
要であるため、帯状ワークの搬送に十分配慮しなければ
ならない。

【０００３】従来、一般的に用いられるスプロケット方
式による帯状ワークの搬送では、帯状ワークが薄い場合
にスプロケット孔が張力により拡大し正確に搬送できな
いといった問題があるため、近時、グリップフィード方
式が採用されるようになってきている。例えば、特開２
０００−９５４０２号公報にはその一例が開示されてい
る。

【０００４】当該公報に開示されている露光装置におけ
る搬送機構は、露光部の上流側には固定グリップ部から
成る第１ワーク固定機構が、また、下流側には固定グリ
ップ部及び送りグリップ部から成る第２ワーク固定機構
が夫々設けられた構成であり、露光処理が終わった後次
回の露光処理のために、第２ワーク固定機構の送りグリ
ップ部で帯状ワークの周辺部を挟持して所定量搬送方向
下流側に搬送後、第１ワーク固定機構の固定グリップ部
で帯状ワークを固定し、その後、帯状ワークをテンショ
ンによる伸び分だけ上流側に戻し、次いで、第２ワーク
固定機構の固定グリップ部で帯状ワークを固定し、ワー
クステージに保持するようにしている。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】上述の従来例によれ
ば、帯状ワークがワークステージに吸着保持される寸前
まで帯状ワークにテンションがかかった状態であるの
で、帯状ワークに波打ち・しわが発生することがなく、
また、露光処理時、帯状ワークにテンションがかから
ず、帯状ワークが伸びた状態で露光を行うことがないの
で、極めて有効な技術であるが、帯状ワークの厚みが２
５μｍ〜５０μｍといった薄物ワークの場合には、ワー
クの伸びの関係でかけられるテンションには限界があ
る。このため、このような薄物の帯状ワークの場合には
かかる搬送機構は採用し得ない。

【０００６】そこで、本発明の目的は、グリップフィー
ド方式で帯状ワークの未露光領域を間欠的に露光位置に
搬送し、帯状ワークにテンションをかけずに露光し得る
露光装置を提供することにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成する本発
明の帯状ワークの露光装置は、帯状ワークの未露光領域
を間欠的に露光部に搬送してワーク上に露光処理する露
光装置において、上記露光部の上流側と下流側に夫々グ
リップフィード機構を配設すると共に、両グリップフィ
ード機構により帯状ワークを無緊張で搬送することを特
徴とするものである。

【０００８】かかる構成により、２５μｍ〜５０μｍと
いった薄物の帯状ワークであっても、帯状ワークにテン
ションをかけずに露光部へ搬送することができ、露光精
度向上に寄与すると共に、露光パターンの微細化にも対
応し得る。

【０００９】なお、グリップフィード機構は、固定グリ
ップ部と送りグリップ部からなり、送りグリップ部の構
成は特に限定はしないが、送りねじ機構やリニアガイド
機構を用いることができる。また、グリップフィード機
構は一般的には水平方式が用いられるが、縦型に配置す
ることで装置スペースを少なくすることもできる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て説明する。

【００１１】本発明の帯状ワークの露光装置は、図１に
示す如く、帯状ワーク１の搬送方向に沿って、帯状ワー
ク１の巻出しロール２、第１エアダンサー１０、第１グ
リップフィード機構２０、露光ユニット３０、第２グリ
ップフィード機構４０、第２エアダンサー５０及び巻取
りロール３を配設したものである。

【００１２】第１エアダンサー１０の入口部及び出口部
には夫々ガイドローラ１１、１１′が設けられており、
また、下部には吸引配管１２を介して吸引ブロア１３が
接続されている。更に、側部には帯状ワーク１の垂下部
分の下端位置を一定の範囲にコントロールするための上
限レベルセンサ１４、及び下限レベルセンサ１５が設け
られている。

【００１３】第１グリップフィード機構２０は、固定グ
リップ部２１と送りグリップ部２２とから構成され、送
りグリップ部２２は駆動モータ２３に接続された送り螺
子２４で左右動する。なお、詳細は特公平６−４２５０
４号公報に開示されている通りである。

【００１４】露光ユニット３０は、露光照明部３１と、
マスク３２と、露光時に帯状ワーク１を所定位置に固定
する吸着ステージ３４と、一対の昇降ローラ３３、３
３′と、吸着ステージアライメント機構３５とから構成
されている。

【００１５】第２グリップフィード機構４０は、第１グ
リップフィード機構２０と同一であり、固定グリップ部
４１と送りグリップ部４２とから構成され、送りグリッ
プ部４２は駆動モータ４３に接続された送り螺子４４で
左右動する。第１グリップフィード機構２０における駆
動モータ２３と、第２グリップフィード機構４０におけ
る駆動モータ４３は不図示の制御装置により同速で駆動
される。

【００１６】第２エアダンサー５０は、第１エアダンサ
ー１０と同一であり、入口部及び出口部には夫々ガイド
ローラ５１、５１′が設けられており、また、下部には
吸引配管５２を介して吸引ブロア５３が接続されてい
る。更に、側部には帯状ワーク１の垂下部分の下端位置
を一定の範囲にコントロールするための上限レベルセン
サ５４、及び下限レベルセンサ５５が設けられている。

【００１７】次に、上述の帯状ワークの露光装置を用い
て帯状ワーク上に所定のマスクパターンを露光する方法
を説明する。

【００１８】先ず、巻出しロール２から引出した帯状ワ
ーク１の始端部のリードテープを第１エアダンサー１
０、第１グリップフィード機構２０、露光ユニット３
０、第２グリップフィード機構４０、第２エアダンサー
５０を通して巻取りロール３に巻き付ける。

【００１９】次いで、蛇行修正を行うと共に、帯状ワー
ク１の露光すべき領域とマスク３２との位置合わせを行
った後、昇降ローラ３３、３３′を下降させ、吸着ステ
ージ３４を作動させて、帯状ワーク１を吸着ステージ３
４に固定した後、第１及び第２グリップフィード機構２
０、４０の固定グリップ部２１、４１を閉とし、露光を
行う。そして、露光中に第１及び第２グリップフィード
機構２０、４０の送りグリップ部２２、４２を元の位置
に戻す。

【００２０】次いで、次回の露光時には、第１及び第２
グリップフィード機構２０、４０の固定グリップ部２
１、４１を開にすると共に、送りグリップ部２２、４２
を閉にし、吸着ステージ３４の吸引状態を解除し、昇降
ローラ３３、３３′を上昇させる。次いで、第１グリッ
プフィード機構２０における送りグリップ部２２の駆動
モータ２３と第２グリップフィード機構４０の送りグリ
ップ部４２の駆動モータ４３を同速で駆動させることに
より、送りグリップ部２２及び４２を所定量移動させ
て、帯状ワーク１の次の露光領域が露光ユニット３０の
吸着ステージの所定個所に来るよう搬送する。その後、
マスク３２と帯状ワーク１の露光領域の位置合わせを行
い、昇降ローラ３３、３３′を下降させ、固定グリップ
部２１、４１を閉にし、送りグリップ部２２、４２を開
にすると共に、吸着ステージ３２を吸引状態にする。そ
して、露光処理を行うが、その間に送りグリップ部２
２、４２は元の位置に戻しておく。かかる搬送の結果、
第２エアダンサー５０において、帯状ワーク１の垂下部
分の下端が下限レベルセンサ５５で検知されると巻取り
ロール３を駆動し、上限レベルセンサ５４で検知される
と巻取りロール３の駆動は停止される。一方、第１エア
ダンサー１０において、帯状ワーク１の垂下部分の下端
が上限レベルセンサ１４で検知されると巻出しロール２
を駆動し、下限レベルセンサ１５で検知されると巻出し
ロール２の駆動は停止される。

【００２１】以上の作業を繰り返して、帯状ワーク１に
所定の露光を行うことになる。

【００２２】図２は本発明の他の実施形態であり、省ス
ペース化のために、第１及び第２グリップフィード機構
を縦型に配置した点に特徴がある。なお、送りグリップ
部２２及び４２は、夫々スライド片２５とリニアガイド
２６、及びスライド片４５とリニアガイド４６との組合
せから構成されている。他の構成は図１の実施態様と同
一であり、説明は省略する。

【００２３】また、図３はグリップフィード機構の固定
グリップ部の一実施態様を示すものであり、第１グリッ
プフィード機構２０における固定グリップ部２１、２
１′、及び第２グリップフィード機構４０における固定
グリップ部４１、４１′は、それぞれ独立しており、帯
状ワーク１の奥側の固定グリップ部２１、４１は、Ｘ方
向（帯状ワークの搬送方向）及びＹ方向（帯状ワークの
搬送方向と直交する方向）の位置を固定とし、帯状ワー
ク１の手前側の固定グリップ部２１′、４１′はＸ方向
に関しては位置固定であるが、Ｙ方向に関しては、リニ
アガイド２７上を移動し得ると共に、エアシリンダー２
８の引張り力により、帯状ワーク１の幅方向の変形を矯
正することができる。

【００２４】

【発明の効果】本発明の帯状ワークの露光装置は、帯状
ワークの未露光領域を間欠的に露光部に搬送してワーク
上に露光処理する露光装置において、上記露光部の上流
側と下流側に夫々グリップフィード機構を配設すると共
に、両グリップフィード機構により帯状ワークを無緊張
で搬送することを特徴とするものであり、薄物の帯状ワ
ークであっても、帯状ワークにテンションをかけずに露
光部へ搬送することができ、露光精度向上に寄与すると
共に、露光パターンの微細化にも対応し得るという効果
を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の帯状ワークの露光装置の一実施形態を
示す正面図である。

【図２】本発明の帯状ワークの露光装置の他の実施形態
を示す正面図である。

【図３】本発明の帯状ワークの露光装置におけるグリッ
プフィード機構の固定グリップ部の一実施態様を示す平
面図である。

【符号の説明】

１ 帯状ワーク ２ 巻出しロール ３ 巻取りロール １０ 第１エアダンサー ２０ 第１グリップフィード機構 ３０ 露光ユニット ４０ 第２グリップフィード機構 ５０ 第２エアダンサー

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 帯状ワークの未露光領域を間欠的に露光
   部に搬送してワーク上に露光処理する露光装置におい
   て、上記露光部の上流側と下流側に夫々グリップフィー
   ド機構を配設すると共に、両グリップフィード機構によ
   り帯状ワークを無緊張で搬送することを特徴とする帯状
   ワークの露光装置。
2. 【請求項２】 前記各グリップフィード機構は、固定グ
   リップ部と送りグリップ部から成ることを特徴とする請
   求項１に記載の帯状ワークの露光装置。
3. 【請求項３】 前記各グリップフィード機構を縦型に配
   置したことを特徴とする請求項１に記載の帯状ワークの
   露光装置。
4. 【請求項４】 前記各グリップフィード機構の固定グリ
   ップ部にワーク幅方向に移動可能な機能を付与したこと
   を特徴とする請求項２又は３に記載の帯状ワークの露光
   装置。