JP2005091903A

JP2005091903A - 露光装置

Info

Publication number: JP2005091903A
Application number: JP2003326597A
Authority: JP
Inventors: Hideki Okaya; 秀樹岡谷
Original assignee: NSK Ltd; NSK Precision Co Ltd
Current assignee: NSK Ltd; NSK Precision Co Ltd
Priority date: 2003-09-18
Filing date: 2003-09-18
Publication date: 2005-04-07

Abstract

【課題】マスク側のパターンをワークに正確に露光転写できると共に、マスクに塵等が付着したりマスクが自重で変形するのを防止でき、更に、装置の設置スペースを小さくする。
【解決手段】帯状のワーク１２を所定の送り量でタクト搬送して、露光位置Ｐに送られた前記ワークにマスク１８，１９のパターンを露光転写するようにした露光装置において、前記ワーク１２を略鉛直方向に搬送する。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えばフィルム状のＦＰＣ材やガラスエポキシ材を極薄くしたＦＲ材等のワークにＩＣパッケージ用配線回路を露光転写するのに好適な露光装置に関する。

従来のこの種の露光装置としては、例えば図２に示す両面露光装置が知られている。
図２において、符号１はフープ材等のワーク２をタクト送りで巻き出すための巻出し装置、３は露光後のワーク２を巻き取るための巻取り装置、４ａ，４ｂは露光位置Ｐにあるワーク２を固定すべく該ワーク２の送り方向の両側に配置された固定用クランプ、５は固定用クランプ４ａ，４ｂの巻出し装置１側に配置されて露光位置Ｐにあるワーク２に対してテンションを付与するバックテンションロール、６は固定用クランプ４ａ，４ｂの巻取り装置３側に配置されてワーク２をクランプした状態で巻取り装置３側に所定量送り、その後クランプを解除して元の位置に戻るインデクサーであり、このインデクサー６の送り量に応じて巻出し装置１によるワーク２の巻出しと巻取り装置３によるワーク２の巻取りが行われる。なお、符号７は巻出し装置１側と巻取り装置３側に設けられたワーク送りのバッファ部分である。

また、露光位置Ｐでのワーク２の表裏面にはそれぞれ所定の転写パターンを有する表マスク８及び裏マスク９が配置されている。各マスク８，９は図示しないマスク保持フレームに真空吸着等により保持されている。そして、露光位置Ｐでワーク２及び各マスク８，９同士のアライメント（ずれ補正）が行われた後、各マスク８，９をワーク２の表裏面に密着させた状態で各マスク８，９に向けて平行光源１０から露光光を照射し、これにより、各マスク８，９のパターンがワーク２の表裏面に露光転写される。

この露光転写が行われた後、上述したインデクサー６でワーク２を巻取り装置３側に所定量送り、上記同様の工程で新たな露光転写が行われる。なお、露光時は、ワーク２はマスク（マスク保持フレーム）に保持されているため、固定用クランプ４ａ，４ｂやバックテンションロール５により付与されるワーク２へのテンションを解除してワーク２の伸びや変形を小さくすることで、製品精度を確保する。

しかしながら、上記従来の両面露光装置においては、ワーク２を水平に搬送していることから、ワーク２の自重による撓みを防止すべくワーク２に比較的大きなテンションを付与して、露光位置Ｐでワーク２が平坦になるようにする必要があるため、ワーク２が変形してしまう。
近年、ＩＣパッケージ配線回路に要求される回路線幅は２０μｍと細くなり、露光時にワーク２を変形させる程のテンションを加えると、露光後の後工程では、このテンションはなくなってワーク２は外力が加わらない自然状態となるため、マスク８，９のパターンの線幅に対し、ワーク２側の露光パターンが細くなったり、太くなったり、又は形状が変形し、この結果、マスク８，９側のパターンをワーク２に正確に露光転写できなくなるという問題がある。

また、ワーク２を水平に搬送しているため、ワーク２に付着した塵等が下側のマスク９に落下して該マスク９を傷付け、製品不良を増大させると共に、マスク８，９も自重で変形してマスクパターンをゆがめてしまい、更に、装置の設置スペースが広くなるため、装置を据え付けるクリーンルームも大きくなり、ランニングコストがかさむという問題がある。
本発明はこのような不都合を解消するためになされたものであり、マスク側のパターンをワークに正確に露光転写することができると共に、マスクに塵等が付着したりマスクが自重で変形するのを防止することができ、更に、装置の設置スペースを小さくすることができる露光装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、請求項１に係る発明は、帯状のワークを所定の送り量でタクト搬送して、露光位置に送られた前記ワークにマスクのパターンを露光転写するようにした露光装置において、前記ワークを略鉛直方向に搬送することを特徴とする。
請求項２に係る発明は、請求項１において、前記マスクは、前記露光位置に送られた前記ワークの表裏面にそれぞれ配置されていることを特徴とする。

本発明によれば、ワークを略鉛直方向に搬送することでワークの変形を最小限に抑えることができるので、マスクのパターンを正確にワークに露光転写することができる。
また、マスクのマスク面は鉛直方向に沿って配置されるので、マスクに塵等が付着したりマスクが自重で変形するのを防止することができる。
更に、ワークを略鉛直方向に搬送することで装置を縦型にすることができるので、装置の設置スペースを小さくすることができる。

以下、本発明の実施の形態の一例を図を参照して説明する。図１は本発明の実施の形態の一例である両面露光装置を説明するための概略斜視図である。
図１において、符号１１はフープ材等のワーク１２をタクト送りで鉛直方向の上方に巻き出すための巻出し装置、１３は露光位置Ｐの上方に配置されて露光後のワーク１２を巻き取るための巻取り装置である。
露光位置Ｐの巻出し装置１１側には、ワーク１２を一対のロール１４で挟持することで露光位置Ｐにあるワーク１２に対して比較的小さなテンションを付与するためのテンションロール１５が配置されている。

また、露光位置Ｐの巻取り装置１３側にはワーク１２をクランプした状態で巻取り装置１３側に所定量送り、その後、露光位置Ｐでワーク１２及び各マスク１８，１９のアライメントが行われ、各マスク１８，１９のワーク１２の表裏面への密着が完了すると、クランプを解除して元の位置に戻るインデクサー１６が配置されている。
クランプは例えばエアシリンダ等により行われ、クランプ部は例えば図示しないガイド装置により往復移動可能に案内される（例えば図２参照）とともに、モータ及びボールねじにより駆動される。

このインデクサー１６の送り量に応じて巻出し装置１１によるワーク１２の鉛直方向上方への巻出しと巻取り装置１３によるワーク１２の巻取りが行われる。なお、符号１７は巻出し装置１１とテンションロール１５との間に設けられたワーク送りのバッファ部分であり、このバッファ１７により露光位置Ｐにあるワーク１２に対して変な変形力が加わらないようにしている。なお、このバッファ１７は巻取り装置１３側、或いは両方に設けても良い。

また、露光位置Ｐで鉛直方向に沿うワーク１２の表裏面にはそれぞれ所定の転写パターンを有する表マスク１８及び裏マスク１９が配置されている。各マスク１８，１９は図示しないマスク保持フレームに真空吸着等により保持されている。
そして、露光位置Ｐでワーク１２及び各マスク１８，１９同士のアライメント（ずれ補正）が行われた後、各マスク１８，１９をワーク１２の表裏面に密着させた状態で各マスク１８，１９の外側にそれぞれ配置された平行光源２０ａ，２０ｂから各マスク１８，１９に向けて露光光を照射し、これにより、各マスク１８，１９のパターンがワーク１２の表裏面に露光転写される。

この露光転写が行われた後、上述したインデクサー１６でワーク１２を巻取り装置１３側に所定量送り、上記同様の工程で新たな露光転写が行われる。なお、露光時は、ワーク１２はマスク（マスク保持フレーム）に保持されるため、テンションロール１５により付与されるワーク１２へのテンションは解除される。
このようにこの実施の形態では、ワーク１２を鉛直方向上方向に搬送しているので、従来のように、ワークを水平に支持することによるワークの自重で撓むワークを平坦にするためにワークに対して例えば１００Ｎ以上の大きなテンションを付与する必要がなくなり、ワーク１２の変形を最小限に抑えることができ、しかも、ワーク１２を平坦にするための該ワーク１２にかかる力は、ワーク１２をインデクサー１６等で支持する範囲内の自重分、又はこの自重と従来より大幅に小さいテンション（例えば数Ｎ〜数１０Ｎ程度）を加えた力で済むため、マスク１８，１９のパターンを正確にワーク１２の表裏面に露光転写することができる。

テンションロール１５によるテンションの付加量がこのように小さいことは、必要とされるテンションによるワーク１２の変形の抑制のみでなく、予期せぬ偏荷重がワーク１２にかかる場合があっても、それによるワーク１２のゆがみ等の発生の可能性も低くなることを意味する。
また、各マスク１８，１９のマスク面は鉛直方向に沿って配置されるので、従来のように、ワークに付着した塵等が落下してマスクに付着したり、マスクが自重で変形してマスクパターンがゆがんだりするのを防止することができる。

更に、ワーク１２を鉛直方向に搬送することで装置を縦型にすることができるので、装置の設置スペースを小さくすることができ、この結果、装置を据え付けるクリーンルームも小さくなり、ランニングコストを削減することができる。
なお、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において適宜変更可能である。
例えば、上記実施の形態では、ワーク１２を鉛直方向上方向に搬送する場合を例に採ったが、これに代えて、ワーク１２を鉛直方向下方に搬送する場合にも本発明を適用できるのは言うまでもない。
また、上記実施の形態では、ワーク１２の表裏面にマスク１８，１９を配置して両面露光を行う場合を例示したが、これに限定されず、ワーク１２の片面のみにマスクを配置して露光を行う片面露光に本発明を適用できるのは勿論である。

本発明の実施の形態の一例である両面露光装置を説明するための概略斜視図である。従来の両面露光装置の一例を説明するための概略斜視図である。

符号の説明

１２ワーク
１８表マスク
１９裏マスク
Ｐ露光位置

Claims

帯状のワークを所定の送り量でタクト搬送して、露光位置に送られた前記ワークにマスクのパターンを露光転写するようにした露光装置において、前記ワークを略鉛直方向に搬送することを特徴とする露光装置。
前記マスクは、前記露光位置に送られた前記ワークの表裏面にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１に記載した露光装置。