JP4775076B2 - 露光方法及び装置 - Google Patents
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Description
しかしながら、投影レンズの大口径化は、光学収差も大きくなることによる解像性の低下や、大口径レンズの製造コストの増大等により、250mmφ程度の照射径が限界となってきている。
搬送ローラーで送られてきた前記基板材料を吸着できるワークステージは前記ワークステージをXYZ方向へ移動可能に支持するワーク移動ステージにより支持され、前記ワーク移動ステージはステップ移動ステージにより前記基板材料の搬送方向と並行な方向にステップ移動されるように構成されていることを特徴とする。
感光性レジストが塗布され且つ位置決め用の少なくとも2つのアライメントマークを有する帯状フィルム基板材料を使用し、前記アライメントマークを用いて前記帯状フィルム基板材料を位置決めした後、前記ステップ移動ステージにより前記ワーク移動ステージをステップ移動させ、前記基板材料の搬送方向と直交する前記長方形の露光エリア内へ前記基板材料を有効露光エリアの横幅Wの整数倍逐次ステップ移動させ、前記感光性レジストを露光していくようにしたことを特徴としている。
図1は本発明に係る露光装置の概略構成図、図2は本発明露光装置により実現される帯状フィルム基板材料と露光エリアと投影レンズ有効径との相対位置関係を示す説明図、図3はステップ移動ステージとパターンマスクの位置関係を示す説明図、図4は本発明露光装置により実現されるステップ移動ステージとパターンマスクとの移動位置関係を示す説明図、図5は本発明に係る露光方法と従来の露光方法との露光動作比較図である。
先ず入力装置13を操作し、制御部12を介して搬送ローラー3を作動させ、露光有効エリア11の帯状フィルム基板材料1の長手方向長さに相当するピッチで穿孔されたアライメントマーク1aが、ガラスマスク7のアライメントマークが投影されるべき位置(観察孔2aの位置)まで、所定の送り量で搬送できる搬送ローらー3により移動させた後、ワークステージ2上に帯状フィルム基板材料1を真空吸着等で固定する。
本発明に係る露光装置では、投影レンズ9の有効露光エリア9aは250mmφ、製品パターンの幅は220mmであったため、有効露光エリア11の対角線長さは250mm以下、有効露光エリア11は220mm×118mm以下であった。位置決め孔形成工程によって、幅250mm、絶縁層厚さ0.038mm、導体層厚さ0.0003mmの複合材料の両側縁部に、一対の位置決め孔として直径0.5mmの孔を240mm間隔で基板材料送りピッチ342mmで穿設した。次に、この基板材料の孔間に幅220mmのドライフィルムレジスト(日立化成製RY-3315)をラミネートし、露光すべき材料を準備した。
このようにして準備した材料を、従来の露光装置と本発明による露光装置で露光を行ったときの処理能力を求めたところ、時間当たり1.5倍の処理能力の向上が確認された。
1a ワークアライメントマーク
2 ワークステージ
2a 観察孔
3 搬送ローラー
4 ワーク移動ステージ
5 ステップ移動ステージ
6 紫外光照射装置
7 ガラスマスク
8 マスクステージ
9 投影レンズ
9a 投影レンズの有効径
10 アライメントカメラ
11 有効露光エリア
12 制御部
13 入力装置
14 モニタ
Claims (4)
- 感光性レジストが塗布された帯状フィルム基板材料のレジスト面を露光し、現像することにより帯状フィルム基板材料上に所定の回路パターンを形成するのに用いられる露光装置において、前記レジスト面を露光するための、前記基板材料の搬送方向と直交する長方形の露光エリアを持つとともに、
搬送ローラーで送られてきた前記基板材料を吸着できるワークステージは前記ワークステージをXYZ方向へ移動可能に支持するワーク移動ステージにより支持され、前記ワーク移動ステージはステップ移動ステージにより前記基板材料の搬送方向と並行な方向にステップ移動されるように構成されていることを特徴とする露光装置。 - ガラスマスクを水平面内で移動させる位置調整用のマスクステージを備え、前記ガラスマスクに対する前記ワーク移動ステージの位置調整は前記ワーク移動ステージのXYZ方向への移動で調整し、前記ステップ移動ステージに対する前記ガラスマスクの位置調整は前記ガラスマスクを水平面内で移動させることにより調整するように構成されている請求項1に記載の露光装置。
- 請求項1または2のいずれかに記載した露光装置を用い、
感光性レジストが塗布され且つ位置決め用の少なくとも2つのアライメントマークを有する帯状フィルム基板材料を使用し、前記アライメントマークを用いて前記帯状フィルム基板材料を位置決めした後、前記ステップ移動ステージにより前記ワーク移動ステージをステップ移動させ、前記基板材料の搬送方向と直交する前記長方形の露光エリア内へ前記基板材料を有効露光エリアの横幅Wの整数倍逐次ステップ移動させ、前記感光性レジストを露光していくようにしたことを特徴とする露光方法。 - 前記ワーク移動ステージで前記基板材料を吸着した状態で前記ステップ移動ステージをステップ移動させて少なくとも2回以上露光を行った後、前記基板材料の吸着を解除して前記搬送ローラーで前記基板材料を送るようにした請求項3に記載の露光方法。
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