JP2001027813A - 露光方法およびその装置 - Google Patents
露光方法およびその装置Info
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- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
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- B66C1/00—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles
- B66C1/10—Load-engaging elements or devices attached to lifting or lowering gear of cranes or adapted for connection therewith for transmitting lifting forces to articles or groups of articles by mechanical means
- B66C1/42—Gripping members engaging only the external or internal surfaces of the articles
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- B66C1/445—Gripping members engaging only the external or internal surfaces of the articles and applying frictional forces motor actuated
- B66C1/447—Gripping members engaging only the external or internal surfaces of the articles and applying frictional forces motor actuated by hydraulic or pneumatic motors
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- B66—HOISTING; LIFTING; HAULING
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- B66C23/00—Cranes comprising essentially a beam, boom, or triangular structure acting as a cantilever and mounted for translatory of swinging movements in vertical or horizontal planes or a combination of such movements, e.g. jib-cranes, derricks, tower cranes
- B66C23/18—Cranes comprising essentially a beam, boom, or triangular structure acting as a cantilever and mounted for translatory of swinging movements in vertical or horizontal planes or a combination of such movements, e.g. jib-cranes, derricks, tower cranes specially adapted for use in particular purposes
- B66C23/36—Cranes comprising essentially a beam, boom, or triangular structure acting as a cantilever and mounted for translatory of swinging movements in vertical or horizontal planes or a combination of such movements, e.g. jib-cranes, derricks, tower cranes specially adapted for use in particular purposes mounted on road or rail vehicles; Manually-movable jib-cranes for use in workshops; Floating cranes
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- B66C—CRANES; LOAD-ENGAGING ELEMENTS OR DEVICES FOR CRANES, CAPSTANS, WINCHES, OR TACKLES
- B66C2700/00—Cranes
- B66C2700/03—Cranes with arms or jibs; Multiple cranes
- B66C2700/0321—Travelling cranes
- B66C2700/0357—Cranes on road or off-road vehicles, on trailers or towed vehicles; Cranes on wheels or crane-trucks
Abstract
(57)【要約】
【課題】 効率を低下させることなく精度を確保した露
光方法およびその装置を提供する。 【解決手段】 ずれ量が露光後切換値以上で中断限度値
より小さい場合には、通常動作で長尺状の鉄板１の一連
のサイクルを終え、その後ガラス乾板６，７の位置ずれ
を修正するため、必要な精度を確保した上で所定時間内
に一連の鉄板１を露光処理できる。ずれ量が露光後切換
値および中断限度値以上の場合には、一旦露光を中断し
てガラス乾板６，７位置ずれ量を補正した後、その後通
常どおり長尺状の鉄板１を処理するため、必要以上の回
数でずれ量を補正しないため所定時間内に一連の鉄板１
を露光処理できる。
光方法およびその装置を提供する。 【解決手段】 ずれ量が露光後切換値以上で中断限度値
より小さい場合には、通常動作で長尺状の鉄板１の一連
のサイクルを終え、その後ガラス乾板６，７の位置ずれ
を修正するため、必要な精度を確保した上で所定時間内
に一連の鉄板１を露光処理できる。ずれ量が露光後切換
値および中断限度値以上の場合には、一旦露光を中断し
てガラス乾板６，７位置ずれ量を補正した後、その後通
常どおり長尺状の鉄板１を処理するため、必要以上の回
数でずれ量を補正しないため所定時間内に一連の鉄板１
を露光処理できる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、露光対象物を２枚
の原板で挟持して露光する露光方法およびその装置に関
する。
の原板で挟持して露光する露光方法およびその装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】従来、露光方法はたとえばカラー受像管
のシャドウマスクの製造で用いられており、このカラー
受像管のシャドウマスクの製造では、図６および図８に
示すように、露光対象物である長尺状の鉄板１を両面か
ら酸でエッチングして、大孔2aおよび小孔2bを両面から
形成して貫通した多数の穴２を精度よく設ける必要があ
る。
のシャドウマスクの製造で用いられており、このカラー
受像管のシャドウマスクの製造では、図６および図８に
示すように、露光対象物である長尺状の鉄板１を両面か
ら酸でエッチングして、大孔2aおよび小孔2bを両面から
形成して貫通した多数の穴２を精度よく設ける必要があ
る。
【０００３】そのため、図７および図９に示すように、
鉄板１の両面に感光剤３を塗布し、この鉄板１に大孔2a
が形成されている露光パターン４および小孔2bが形成さ
れている露光パターン５を内面に描画してある２枚のガ
ラス乾板６，７で挟持して密着させ、ガラス乾板６，７
の両面から水銀ランプによる紫外線を照射して感光剤３
を感光させ、現像して感光剤３の感光していない部分を
除去した後、酸でエッチングしている。
鉄板１の両面に感光剤３を塗布し、この鉄板１に大孔2a
が形成されている露光パターン４および小孔2bが形成さ
れている露光パターン５を内面に描画してある２枚のガ
ラス乾板６，７で挟持して密着させ、ガラス乾板６，７
の両面から水銀ランプによる紫外線を照射して感光剤３
を感光させ、現像して感光剤３の感光していない部分を
除去した後、酸でエッチングしている。
【０００４】そして、露光の際に、大孔2aの露光パター
ン４と小孔2bの露光パターン５の相対位置がずれている
と、酸でエッチングしたときに、穴２の形状が所定の形
状からずれたり、甚しい場合には穴２が貫通しないとい
う現象が起こる。
ン４と小孔2bの露光パターン５の相対位置がずれている
と、酸でエッチングしたときに、穴２の形状が所定の形
状からずれたり、甚しい場合には穴２が貫通しないとい
う現象が起こる。
【０００５】従来、たとえば特開平３−２１４５３６号
公報に記載のように、露光の際の２枚のガラス乾板６，
７の位置関係の調整は、鉄板１のない状態で２枚のガラ
ス乾板６，７の位置をこれら乾板６，７の露光パターン
４，５の重なり具合で調整し、鉄板１を２枚のガラス乾
板６，７の間に通して、鉄板１の上下の余白部にガラス
乾板６，７に位置決め用のアライメントマークを数個つ
けて、各露光処理の前にこれらアライメントマークのず
れを測定するアライメント測定をして、ガラス乾板６，
７の位置ずれを補正している。
公報に記載のように、露光の際の２枚のガラス乾板６，
７の位置関係の調整は、鉄板１のない状態で２枚のガラ
ス乾板６，７の位置をこれら乾板６，７の露光パターン
４，５の重なり具合で調整し、鉄板１を２枚のガラス乾
板６，７の間に通して、鉄板１の上下の余白部にガラス
乾板６，７に位置決め用のアライメントマークを数個つ
けて、各露光処理の前にこれらアライメントマークのず
れを測定するアライメント測定をして、ガラス乾板６，
７の位置ずれを補正している。
【０００６】また、シャドウマスクの製造に用いる露光
装置は、図８および図９に示すように、鉄板１の両端を
ドラム８に巻回され、この鉄板１に対して、順次、露光
を繰り返している。
装置は、図８および図９に示すように、鉄板１の両端を
ドラム８に巻回され、この鉄板１に対して、順次、露光
を繰り返している。
【０００７】そして、具体的には、たとえば図１０に示
すように、２枚のガラス乾板６，７の位置を合わせ（ス
テップ１）、真空にしてガラス乾板６，７を密着させ
（ステップ２）、ガラス乾板６，７のアライメントマー
クのずれ量を測定する（ステップ３）。
すように、２枚のガラス乾板６，７の位置を合わせ（ス
テップ１）、真空にしてガラス乾板６，７を密着させ
（ステップ２）、ガラス乾板６，７のアライメントマー
クのずれ量を測定する（ステップ３）。
【０００８】次に、このアライメントマークのずれ量が
中断限度値より小さいと判断されると（ステップ４）、
露光処理し（ステップ５）、ガラス乾板６，７の密着を
破壊し（ステップ６）、２枚のガラス乾板６，７を解放
し（ステップ７）、鉄板１を一定量送り（ステップ
８）、終了か否かを判断し（ステップ９）、終了の場合
には終了し、終了でない場合にはステップ１に戻る。
中断限度値より小さいと判断されると（ステップ４）、
露光処理し（ステップ５）、ガラス乾板６，７の密着を
破壊し（ステップ６）、２枚のガラス乾板６，７を解放
し（ステップ７）、鉄板１を一定量送り（ステップ
８）、終了か否かを判断し（ステップ９）、終了の場合
には終了し、終了でない場合にはステップ１に戻る。
【０００９】また、ステップ３でアライメントマークの
ずれ量が中断限度値以上であると判断された場合には
（ステップ11）、ガラス乾板６，７の密着を破壊し（ス
テップ12）、２枚のガラス乾板６，７を解放し（ステッ
プ13）、ガラス乾板６，７のずれ量を補正し（ステップ
14）、再試行でずれ量が設定値以下であるかを確認し
（ステップ15）、設定値以下の場合にはステップ１に戻
る。
ずれ量が中断限度値以上であると判断された場合には
（ステップ11）、ガラス乾板６，７の密着を破壊し（ス
テップ12）、２枚のガラス乾板６，７を解放し（ステッ
プ13）、ガラス乾板６，７のずれ量を補正し（ステップ
14）、再試行でずれ量が設定値以下であるかを確認し
（ステップ15）、設定値以下の場合にはステップ１に戻
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところが、ドラム８に
巻かれた鉄板１に対する露光は、７００回程度の感光を
１〜２日かけて繰り返すため、途中で何らかの理由でガ
ラス乾板６，７の位置ずれが起っても、鉄板１を装着し
た後はガラス乾板６，７の露光パターン４，５のずれの
観察ができないため、不良品を多量に生産してしまうお
それがある。
巻かれた鉄板１に対する露光は、７００回程度の感光を
１〜２日かけて繰り返すため、途中で何らかの理由でガ
ラス乾板６，７の位置ずれが起っても、鉄板１を装着し
た後はガラス乾板６，７の露光パターン４，５のずれの
観察ができないため、不良品を多量に生産してしまうお
それがある。
【００１１】また、ガラス乾板６，７の位置ずれを補正
しても、露光の輻射熱によりたとえばガラス乾板６，７
の温度が上昇すると、たとえば１ｍ角のガラス乾板６，
７は縦横それぞれ１６０μｍづつ膨張するとともに、露
光の際毎に密着しているガラス乾板６，７の間隔を広げ
る動作により、ガラス乾板６，７の露光を高精度に保つ
ためには、露光処理前毎にアライメント測定と、アライ
メント測定でガラス乾板６，７がずれているとされた場
合の位置ずれの補正動作が必要になる。
しても、露光の輻射熱によりたとえばガラス乾板６，７
の温度が上昇すると、たとえば１ｍ角のガラス乾板６，
７は縦横それぞれ１６０μｍづつ膨張するとともに、露
光の際毎に密着しているガラス乾板６，７の間隔を広げ
る動作により、ガラス乾板６，７の露光を高精度に保つ
ためには、露光処理前毎にアライメント測定と、アライ
メント測定でガラス乾板６，７がずれているとされた場
合の位置ずれの補正動作が必要になる。
【００１２】一方、ガラス乾板６，７のアライメントマ
ークを露光の前に毎回測定するため、ずれが許容される
規格値を性能限度近くに設定しておくと、その都度補正
動作に移行してしまい露光動作が進まずに効率が低下し
てしまう問題を有している。
ークを露光の前に毎回測定するため、ずれが許容される
規格値を性能限度近くに設定しておくと、その都度補正
動作に移行してしまい露光動作が進まずに効率が低下し
てしまう問題を有している。
【００１３】本発明は、上記問題点に鑑みなされたもの
で、効率を低下させることなく精度を確保した露光方法
およびその装置を提供することを目的とする。
で、効率を低下させることなく精度を確保した露光方法
およびその装置を提供することを目的とする。
【００１４】
【課題を解決するための手段】本発明は、両面に感光剤
を塗布した露光対象物を露光パターンを形成した２枚の
原板で挟持し、露光前にこれら２枚の原板のずれ量を検
出し、この検出されたずれ量を、あらかじめ設定されて
いる露光処理を中断して位置ずれ量を修正する中断限度
値、および、この中断限度値より小さくそのまま露光処
理して露光処理後に位置ずれを修正する露光後切換値と
比較し、ずれ量が中断限度値より大きい場合にはずれ修
正した後露光処理し、ずれ量が中断限度値以下の場合に
は露光処理した後ずれ修正するもので、露光後切換値よ
りずれ量が小さい場合には、そのまま露光処理して露光
処理後に位置づれを修正し、露光後切換値よりずれ量が
大きい場合には、露光処理を中断して位置づれを修正し
た後に露光処理することにより、ずれ量が比較的に小さ
い場合にはそのまま露光処理し補正の回数を減らして効
率の低下を抑制し、ずれ量が大きい場合には露光処理を
中断して補正した後露光処理をすることにより、精度の
低下を防止する。
を塗布した露光対象物を露光パターンを形成した２枚の
原板で挟持し、露光前にこれら２枚の原板のずれ量を検
出し、この検出されたずれ量を、あらかじめ設定されて
いる露光処理を中断して位置ずれ量を修正する中断限度
値、および、この中断限度値より小さくそのまま露光処
理して露光処理後に位置ずれを修正する露光後切換値と
比較し、ずれ量が中断限度値より大きい場合にはずれ修
正した後露光処理し、ずれ量が中断限度値以下の場合に
は露光処理した後ずれ修正するもので、露光後切換値よ
りずれ量が小さい場合には、そのまま露光処理して露光
処理後に位置づれを修正し、露光後切換値よりずれ量が
大きい場合には、露光処理を中断して位置づれを修正し
た後に露光処理することにより、ずれ量が比較的に小さ
い場合にはそのまま露光処理し補正の回数を減らして効
率の低下を抑制し、ずれ量が大きい場合には露光処理を
中断して補正した後露光処理をすることにより、精度の
低下を防止する。
【００１５】また、原板は位置決め用のアライメントマ
ークを画像認識してずれ量を検出するもので、簡単にず
れ量を検出する。
ークを画像認識してずれ量を検出するもので、簡単にず
れ量を検出する。
【００１６】さらに、長尺状の露光対象物を一定量づつ
送り出して露光するもので、長尺状のものを順次全体に
露光する。
送り出して露光するもので、長尺状のものを順次全体に
露光する。
【００１７】またさらに、中断限度値以下の場合には長
尺状の露光対象物すべて一連に露光した後にずれ修正す
るもので、ずれ量が小さい場合には長尺状の露光対象物
すべてを露光した後にずれ量を修正することにより、効
率を低下させることなく精度を維持する。
尺状の露光対象物すべて一連に露光した後にずれ修正す
るもので、ずれ量が小さい場合には長尺状の露光対象物
すべてを露光した後にずれ量を修正することにより、効
率を低下させることなく精度を維持する。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の露光装置の一実施
の形態を図面を参照して説明する。なお、図６ないし図
１０で示す従来例に対応する部分には同一符号を付して
説明する。
の形態を図面を参照して説明する。なお、図６ないし図
１０で示す従来例に対応する部分には同一符号を付して
説明する。
【００１９】図２に示すように、矩形状の枠11，12はそ
れぞれ原板としてのガラス乾板６，７を保持しており、
その間を両端が供給手段であるドラム８に巻回された長
尺の鉄板１が移動する。
れぞれ原板としてのガラス乾板６，７を保持しており、
その間を両端が供給手段であるドラム８に巻回された長
尺の鉄板１が移動する。
【００２０】そして、これらの枠11，12は図示しない挟
持手段により開閉可能で、離間したり接近したりでき、
閉じることにより、ガラス乾板６，７を鉄板１の両面に
重ね合わせて挟持し、ガラス乾板６，７の中を真空にす
ることによって、ガラス乾板６，７を鉄板１の両面の感
光剤３に密着でき、両面から露光手段としての図示しな
い水銀ランプにより露光して感光剤３を感光させる。
持手段により開閉可能で、離間したり接近したりでき、
閉じることにより、ガラス乾板６，７を鉄板１の両面に
重ね合わせて挟持し、ガラス乾板６，７の中を真空にす
ることによって、ガラス乾板６，７を鉄板１の両面の感
光剤３に密着でき、両面から露光手段としての図示しな
い水銀ランプにより露光して感光剤３を感光させる。
【００２１】また、２枚のガラス乾板６，７のそれぞれ
の鉄板１を挾持しない部分の内面の２箇所には、図４に
示す位置決めパターン15，16あるいは図５に示す位置決
めパターン17，18が描画または貼付けにより相対向して
形成され、この２箇所の位置を挟むようにして、図３に
示すように、一方のガラス乾板６の外側に撮像装置とし
てのＣＣＤカメラ20，21が配設されているとともに、他
方のガラス乾板７の外側に照明用の光源22，23が配設さ
れており、ＣＣＤカメラ20，21の画像信号は、検出手段
および制御手段としての演算装置24に入力される。
の鉄板１を挾持しない部分の内面の２箇所には、図４に
示す位置決めパターン15，16あるいは図５に示す位置決
めパターン17，18が描画または貼付けにより相対向して
形成され、この２箇所の位置を挟むようにして、図３に
示すように、一方のガラス乾板６の外側に撮像装置とし
てのＣＣＤカメラ20，21が配設されているとともに、他
方のガラス乾板７の外側に照明用の光源22，23が配設さ
れており、ＣＣＤカメラ20，21の画像信号は、検出手段
および制御手段としての演算装置24に入力される。
【００２２】さらに、一方のガラス乾板６を保持した枠
11の下側の長辺部の外側の２箇所にモータ26，27によっ
て駆動するずれ量修正手段としてのずれ量修正機構28，
29が取付けられているとともに、枠11の一側の短辺部の
外側にモータ30によって駆動するずれ量修正手段として
のずれ量修正機構31が取付けられ、それぞれのずれ量修
正機構28，29，31によって枠11を押したり引いたりでき
るようになっており、これらのずれ量修正機構28，29，
31は演算装置24によって制御される。
11の下側の長辺部の外側の２箇所にモータ26，27によっ
て駆動するずれ量修正手段としてのずれ量修正機構28，
29が取付けられているとともに、枠11の一側の短辺部の
外側にモータ30によって駆動するずれ量修正手段として
のずれ量修正機構31が取付けられ、それぞれのずれ量修
正機構28，29，31によって枠11を押したり引いたりでき
るようになっており、これらのずれ量修正機構28，29，
31は演算装置24によって制御される。
【００２３】また、各ずれ量修正機構28，29，31に対向
して、枠11の上側の長辺部の外側の２箇所に修正量測定
機構34，35が取り付けられているとともに、枠11の他側
の短辺部の外側に修正量測定機構36が取り付けられ、そ
れぞれの修正量測定機構34，35，36によって対向したず
れ量修正機構28，29，31による実際の枠11の移動量を測
定できるようになっており、これらの修正量測定機構3
4，35，36の測定結果は演算装置24に入力される。
して、枠11の上側の長辺部の外側の２箇所に修正量測定
機構34，35が取り付けられているとともに、枠11の他側
の短辺部の外側に修正量測定機構36が取り付けられ、そ
れぞれの修正量測定機構34，35，36によって対向したず
れ量修正機構28，29，31による実際の枠11の移動量を測
定できるようになっており、これらの修正量測定機構3
4，35，36の測定結果は演算装置24に入力される。
【００２４】そうして、このような構成により、ＣＣＤ
カメラ20，21で図４に示す位置決めパターン15，16ある
いは図５に示す位置決めパターン17，18を撮像して、演
算装置24において、位置決めパターン15，16あるいは位
置決めパターン17，18のずれを検出するとともに、その
ずれ量を計算し、算出したずれ量に基づいて、それぞれ
の修正量測定機構34，35，36によって実際の枠11の移動
量を測定しながら、それぞれのずれ量修正機構28，29，
31によって一方の枠11を押したり引いたりして一方のガ
ラス乾板６を他方のガラス乾板７に対して面方向に移動
することにより、２枚のガラス乾板６，７の露光パター
ン４，５のずれを修正することができる。
カメラ20，21で図４に示す位置決めパターン15，16ある
いは図５に示す位置決めパターン17，18を撮像して、演
算装置24において、位置決めパターン15，16あるいは位
置決めパターン17，18のずれを検出するとともに、その
ずれ量を計算し、算出したずれ量に基づいて、それぞれ
の修正量測定機構34，35，36によって実際の枠11の移動
量を測定しながら、それぞれのずれ量修正機構28，29，
31によって一方の枠11を押したり引いたりして一方のガ
ラス乾板６を他方のガラス乾板７に対して面方向に移動
することにより、２枚のガラス乾板６，７の露光パター
ン４，５のずれを修正することができる。
【００２５】なお、この場合、２枚のガラス乾板６，７
の間には鉄板１の厚みに比例した隙間ができるので、両
方の位置決めパターン15，16あるいは位置決めパターン
17，18を好ましくは同時に撮像するため、ＣＣＤカメラ
20，21には、被写界深度が０．２５ｍｍ以上ある光学系
を設定する必要がある。
の間には鉄板１の厚みに比例した隙間ができるので、両
方の位置決めパターン15，16あるいは位置決めパターン
17，18を好ましくは同時に撮像するため、ＣＣＤカメラ
20，21には、被写界深度が０．２５ｍｍ以上ある光学系
を設定する必要がある。
【００２６】つぎに、演算装置24によるずれの算出方法
を説明する。
を説明する。
【００２７】まず、図４に示す位置決めパターン15，16
は、２枚のガラス乾板６，７のそれぞれに大きさとピッ
チを変えて多数配置した黒点である。
は、２枚のガラス乾板６，７のそれぞれに大きさとピッ
チを変えて多数配置した黒点である。
【００２８】この位置決めパターン15，16を使用した場
合、どちらのガラス乾板６，７につけられた黒点かは、
大きさで判断でき、ピッチが異なるため、１ｍｍ以内の
所で、両方の黒点の重なっていない測定しやすい部分41
があるので装置を設定し易い。
合、どちらのガラス乾板６，７につけられた黒点かは、
大きさで判断でき、ピッチが異なるため、１ｍｍ以内の
所で、両方の黒点の重なっていない測定しやすい部分41
があるので装置を設定し易い。
【００２９】また、図５に示す位置決めパターン17，18
は、一方のガラス乾板６に位置決めパターン17，17とし
て一対の黒点を上下に表示するとともに、他方のガラス
乾板７に位置決めパターン18，18として一対の黒点を左
右に表示した例である。
は、一方のガラス乾板６に位置決めパターン17，17とし
て一対の黒点を上下に表示するとともに、他方のガラス
乾板７に位置決めパターン18，18として一対の黒点を左
右に表示した例である。
【００３０】前述の図４の位置決めパターン15，16を用
いる方法は、実際の鉄板１の露光上で重要な大きい露光
パターン４や小さい露光パターン５と位置決めパターン
15，16との位置関係を一定に設定できない場合の例であ
ったが、この図５の位置決めパターン17，18は、大きい
露光パターン４や小さい露光パターン５と位置決めパタ
ーン17，18との位置関係を一定に設定できる場合の例で
ある。
いる方法は、実際の鉄板１の露光上で重要な大きい露光
パターン４や小さい露光パターン５と位置決めパターン
15，16との位置関係を一定に設定できない場合の例であ
ったが、この図５の位置決めパターン17，18は、大きい
露光パターン４や小さい露光パターン５と位置決めパタ
ーン17，18との位置関係を一定に設定できる場合の例で
ある。
【００３１】すなわち、この図５に示す例では、２枚の
ガラス乾板６，７上の位置決めパターン17，18を一定の
位置関係に合わせると、自動的に、大きい露光パターン
４と小さい露光パターン５の位置決めができる。
ガラス乾板６，７上の位置決めパターン17，18を一定の
位置関係に合わせると、自動的に、大きい露光パターン
４と小さい露光パターン５の位置決めができる。
【００３２】また、演算装置24には、あらかじめ設定さ
れている露光処理を中断して位置ずれ量を修正するたと
えば２μｍの中断限度値、および、この中断限度値より
小さくそのまま露光処理して露光処理後に位置ずれを修
正するたとえば６μｍの露光後切換値を設定しておく。
れている露光処理を中断して位置ずれ量を修正するたと
えば２μｍの中断限度値、および、この中断限度値より
小さくそのまま露光処理して露光処理後に位置ずれを修
正するたとえば６μｍの露光後切換値を設定しておく。
【００３３】そして、具体的には、演算装置24では、た
とえば図１に示すように、２枚のガラス乾板６，７の位
置を合わせ（ステップ21）、真空にしてガラス乾板６，
７を密着させ（ステップ22）、ガラス乾板６，７のアラ
イメントマークのずれ量を測定する（ステップ23）。
とえば図１に示すように、２枚のガラス乾板６，７の位
置を合わせ（ステップ21）、真空にしてガラス乾板６，
７を密着させ（ステップ22）、ガラス乾板６，７のアラ
イメントマークのずれ量を測定する（ステップ23）。
【００３４】次に、このアライメントマークのずれ量が
露光後切換値および中断限度値より小さい、たとえば１
μｍであると判断されると（ステップ24）、露光処理し
（ステップ25）、ガラス乾板６，７の密着を破壊し（ス
テップ26）、２枚のガラス乾板６，７を解放し（ステッ
プ27）、鉄板１を一定量送り（ステップ28）、終了か否
かを判断し（ステップ29）、終了の場合には終了し、終
了でない場合にはステップ１に戻る。
露光後切換値および中断限度値より小さい、たとえば１
μｍであると判断されると（ステップ24）、露光処理し
（ステップ25）、ガラス乾板６，７の密着を破壊し（ス
テップ26）、２枚のガラス乾板６，７を解放し（ステッ
プ27）、鉄板１を一定量送り（ステップ28）、終了か否
かを判断し（ステップ29）、終了の場合には終了し、終
了でない場合にはステップ１に戻る。
【００３５】また、ステップ23でアライメントマークの
ずれ量が中断限度値以上露光後切換値より小さい、たと
えば４μｍであると判断された場合には（ステップ3
1）、ガラス乾板６，７の密着を破壊し（ステップ3
2）、２枚のガラス乾板６，７を解放し（ステップ3
3）、ガラス乾板６，７のずれ量を補正するとともに鉄
板１を一定量送り（ステップ34）、終了か否かを判断し
（ステップ35）、終了の場合には終了し、終了でない場
合にはステップ１に戻る。
ずれ量が中断限度値以上露光後切換値より小さい、たと
えば４μｍであると判断された場合には（ステップ3
1）、ガラス乾板６，７の密着を破壊し（ステップ3
2）、２枚のガラス乾板６，７を解放し（ステップ3
3）、ガラス乾板６，７のずれ量を補正するとともに鉄
板１を一定量送り（ステップ34）、終了か否かを判断し
（ステップ35）、終了の場合には終了し、終了でない場
合にはステップ１に戻る。
【００３６】さらに、ステップ23でアライメントマーク
のずれ量が中断限度値以上で露光後切換値以上、たとえ
ば７μｍであると判断された場合には（ステップ41）、
ガラス乾板６，７の密着を破壊し（ステップ42）、２枚
のガラス乾板６，７を解放し（ステップ43）、ガラス乾
板６，７のずれ量を補正し（ステップ44）、再試行でず
れ量が設定値以下であるかを確認し（ステップ45）、設
定値以下の場合にはステップ１に戻る。
のずれ量が中断限度値以上で露光後切換値以上、たとえ
ば７μｍであると判断された場合には（ステップ41）、
ガラス乾板６，７の密着を破壊し（ステップ42）、２枚
のガラス乾板６，７を解放し（ステップ43）、ガラス乾
板６，７のずれ量を補正し（ステップ44）、再試行でず
れ量が設定値以下であるかを確認し（ステップ45）、設
定値以下の場合にはステップ１に戻る。
【００３７】上述のように、ずれ量が露光後切換値およ
び中断限度値より小さい場合には、通常動作で長尺状の
鉄板１の一連のサイクルを終えるため、必要な精度を確
保した上で所定時間内に一連の鉄板１を露光処理でき
る。
び中断限度値より小さい場合には、通常動作で長尺状の
鉄板１の一連のサイクルを終えるため、必要な精度を確
保した上で所定時間内に一連の鉄板１を露光処理でき
る。
【００３８】また、ずれ量が露光後切換値以上で中断限
度値より小さい場合には、通常動作で長尺状の鉄板１の
一連のサイクルを終え、その後ガラス乾板６，７の位置
ずれを修正するため、必要な精度を確保した上で所定時
間、たとえば３０時間以内に一連の鉄板１を露光処理で
きる。
度値より小さい場合には、通常動作で長尺状の鉄板１の
一連のサイクルを終え、その後ガラス乾板６，７の位置
ずれを修正するため、必要な精度を確保した上で所定時
間、たとえば３０時間以内に一連の鉄板１を露光処理で
きる。
【００３９】さらに、ずれ量が露光後切換値および中断
限度値以上の場合には、一旦露光を中断してガラス乾板
６，７の位置ずれ量を補正した後、その後通常どおり長
尺状の鉄板１を処理するため、必要以上の回数でずれ量
を補正しないため所定時間内に一連の鉄板１を露光処理
できる。
限度値以上の場合には、一旦露光を中断してガラス乾板
６，７の位置ずれ量を補正した後、その後通常どおり長
尺状の鉄板１を処理するため、必要以上の回数でずれ量
を補正しないため所定時間内に一連の鉄板１を露光処理
できる。
【００４０】このように、中断限度値および露光後切換
値の２つの基準値を設け、それぞれ必要に応じて対応す
ることにより、大きく効率を低下させることなく、ま
た、精度も低下させることなく露光できる。
値の２つの基準値を設け、それぞれ必要に応じて対応す
ることにより、大きく効率を低下させることなく、ま
た、精度も低下させることなく露光できる。
【００４１】
【発明の効果】本発明によれば、露光後切換値よりずれ
量が小さい場合には、そのまま露光処理して露光処理後
に位置づれを修正し、露光後切換値よりずれ量が大きい
場合には、露光処理を中断して位置づれを修正した後に
露光処理することにより、ずれ量が比較的に小さい場合
にはそのまま露光処理し補正の回数を減らして効率の低
下を抑制し、ずれ量が大きい場合には露光処理を中断し
て補正した後露光処理をすることにより、精度の低下を
防止できる。
量が小さい場合には、そのまま露光処理して露光処理後
に位置づれを修正し、露光後切換値よりずれ量が大きい
場合には、露光処理を中断して位置づれを修正した後に
露光処理することにより、ずれ量が比較的に小さい場合
にはそのまま露光処理し補正の回数を減らして効率の低
下を抑制し、ずれ量が大きい場合には露光処理を中断し
て補正した後露光処理をすることにより、精度の低下を
防止できる。
【図１】本発明の露光装置の一実施の形態を示すフロー
チャートである。
チャートである。
【図２】同上露光装置を示す斜視図である。
【図３】同上光源装置およびＣＣＤカメラの関係を示す
側面図である。
側面図である。
【図４】同上パターンのずれ量の関係を示す説明図であ
る。
る。
【図５】同上他のパターンのずれ量の関係を示す説明図
である。
である。
【図６】従来例のシャドウマスクの断面図である。
【図７】同上露光時の状態の断面図である。
【図８】同上露光装置を示す斜視図である。
【図９】同上他の角度から見た斜視図である。
【図１０】同上動作を示すフローチャートである。
１ 露光対象物である鉄板 ６，７ 原板としてのガラス乾板 ８ 供給手段であるドラム 24 検出手段および制御手段としての演算装置 28，29，31 ずれ量修正手段としてのずれ量修正機構
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 武田 均 埼玉県深谷市幡羅町一丁目９番地２号 株 式会社東芝深谷工場内 (72)発明者 佐々木 譲 埼玉県深谷市幡羅町一丁目９番地２号 株 式会社東芝深谷工場内 Ｆターム(参考） 2H097 BA03 KA13 KA20 LA05 5C027 HH09
Claims (8)
- 【請求項１】 両面に感光剤を塗布した露光対象物を露
光パターンを形成した２枚の原板で挟持し、 露光前にこれら２枚の原板のずれ量を検出し、 この検出されたずれ量を、あらかじめ設定されている露
光処理を中断して位置ずれ量を修正する中断限度値、お
よび、この中断限度値より小さくそのまま露光処理して
露光処理後に位置ずれを修正する露光後切換値と比較
し、 ずれ量が中断限度値より大きい場合にはずれ修正した後
露光処理し、 ずれ量が中断限度値以下の場合には露光処理した後ずれ
修正することを特徴とする露光方法。 - 【請求項２】 原板は位置決め用のアライメントマーク
を画像認識してずれ量を検出することを特徴とする請求
項１記載の露光方法。 - 【請求項３】 長尺状の露光対象物を一定量づつ送り出
して露光することを特徴とする請求項１または２記載の
露光方法。 - 【請求項４】 中断限度値以下の場合には長尺状の露光
対象物すべて一連に露光した後にずれ修正することを特
徴とする請求項１ないし３いずれか記載の露光方法。 - 【請求項５】 両面に感光剤を塗布した露光対象物を露
光パターンを形成した２枚の原板で挟持させる挟持手段
と、 露光対象物を露光させる露光手段と、 露光前にこれら挟持手段で挟持された２枚の原板のずれ
量を検出する検出手段と、 原板および露光対象物のずれ量を修正するずれ量修正手
段と、 この検出されたずれ量を、あらかじめ設定されている露
光処理を中断して位置ずれ量を修正する中断限度値、お
よび、この中断限度値より小さくそのまま露光処理して
露光処理後に位置ずれを修正する露光後切換値と比較
し、ずれ量が中断限度値より大きい場合には前記ずれ量
修正手段でずれ修正した後前記露光手段で露光処理さ
せ、ずれ量が中断限度値以下の場合には前記露光手段で
露光処理した後ずれ量修正手段でずれ修正させる制御手
段とを具備したことを特徴とする露光装置。 - 【請求項６】 原板は位置決め用のアライメントマーク
を有し、 検出手段は、これらアライメントマークを認識する画像
認識手段を有することを特徴とする請求項５記載の露光
装置。 - 【請求項７】 露光対象物は長尺で、 長尺状の露光対象物を一定量づつ供給する供給手段を具
備し、 この供給手段で一定づつ露光対象物を供給して露光手段
で露光することを特徴とする請求項５または６記載の露
光装置。 - 【請求項８】 露光対象物は長尺で、 制御手段は、中断限度値以下の場合には長尺の露光対象
物を一連に露光して交換する際にずれ量修正手段でずれ
修正させることを特徴とする請求項５ないし７いずれか
記載の露光装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11200642A JP2001027813A (ja) | 1999-07-14 | 1999-07-14 | 露光方法およびその装置 |
| TW089106917A TW499630B (en) | 1999-07-14 | 2000-04-13 | Aligning method and aligner |
| KR1020000020253A KR100542789B1 (ko) | 1999-07-14 | 2000-04-18 | 노광 방법 및 그 장치 |
| CNB001082620A CN1201205C (zh) | 1999-07-14 | 2000-04-26 | 曝光方法及其装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11200642A JP2001027813A (ja) | 1999-07-14 | 1999-07-14 | 露光方法およびその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001027813A true JP2001027813A (ja) | 2001-01-30 |
Family
ID=16427797
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11200642A Pending JP2001027813A (ja) | 1999-07-14 | 1999-07-14 | 露光方法およびその装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001027813A (ja) |
| KR (1) | KR100542789B1 (ja) |
| CN (1) | CN1201205C (ja) |
| TW (1) | TW499630B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100429635B1 (ko) * | 2001-11-01 | 2004-05-03 | 엘지전자 주식회사 | 섀도우 마스크 제작을 위한 글라스 제조장치 및 그 제조방법 |
| CN114185187A (zh) * | 2021-09-23 | 2022-03-15 | 浙江泰嘉光电科技有限公司 | 一种基于spc控制液晶屏滤光片曝光偏移量的系统 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3652329B2 (ja) * | 2002-06-28 | 2005-05-25 | キヤノン株式会社 | 走査露光装置、走査露光方法、デバイス製造方法およびデバイス |
| JP4005881B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2007-11-14 | 株式会社東芝 | 露光装置の検査方法 |
| TW201200948A (en) | 2010-06-22 | 2012-01-01 | Au Optronics Corp | Pixel structure and method for manufacturing the same |
| CN101893797A (zh) * | 2010-07-01 | 2010-11-24 | 友达光电股份有限公司 | 画素结构及其制作方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63116140A (ja) * | 1986-11-04 | 1988-05-20 | Toshiba Corp | パタ−ン製作装置 |
| JP3034273B2 (ja) * | 1989-10-07 | 2000-04-17 | 株式会社東芝 | 露光方法及び露光装置 |
| JP3062390B2 (ja) * | 1994-04-22 | 2000-07-10 | 大日本スクリーン製造株式会社 | シャドウマスク用パターン版製造装置及び製造方法 |
| JPH10214562A (ja) * | 1997-01-30 | 1998-08-11 | Toppan Printing Co Ltd | シャドウマスクの製造方法 |
| JPH11339653A (ja) * | 1998-05-27 | 1999-12-10 | Toppan Printing Co Ltd | シャドウマスクの露光状態観測装置 |
-
1999
- 1999-07-14 JP JP11200642A patent/JP2001027813A/ja active Pending
-
2000
- 2000-04-13 TW TW089106917A patent/TW499630B/zh not_active IP Right Cessation
- 2000-04-18 KR KR1020000020253A patent/KR100542789B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2000-04-26 CN CNB001082620A patent/CN1201205C/zh not_active Expired - Fee Related
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| KR100429635B1 (ko) * | 2001-11-01 | 2004-05-03 | 엘지전자 주식회사 | 섀도우 마스크 제작을 위한 글라스 제조장치 및 그 제조방법 |
| CN114185187A (zh) * | 2021-09-23 | 2022-03-15 | 浙江泰嘉光电科技有限公司 | 一种基于spc控制液晶屏滤光片曝光偏移量的系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1281165A (zh) | 2001-01-24 |
| TW499630B (en) | 2002-08-21 |
| KR20010014751A (ko) | 2001-02-26 |
| KR100542789B1 (ko) | 2006-01-11 |
| CN1201205C (zh) | 2005-05-11 |
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