TW499630B - Aligning method and aligner - Google Patents

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【發明所屬之技術領域】 本發明係有關將曝光對象物由2片原板夾持加以曝光 之取光方法及其裝置。 【先行技術】 以往，曝光方法係例如彩色影像管之遮屏（shadow mask )之製造所使用，此彩色影像管之遮屏之製造，係如 第6圖及第8圖所示，將屬於曝光對象物之長條狀鐵板1 從兩面使用酸蝕刻，將大孔2 a及小孔2 b從兩面形成所 貫通需要以良好精度設置多數孔2。 因此，如第7圖及第9圖所示，在鐵板1兩面塗布感 光劑3，將在鐵板1形成有大孔2 a之曝光圖案4及形成 小孔2 b之曝光圖案5由描繪於內面之2片玻璃乾板6， 7夾持使其密貼，從玻璃乾板6，7兩面由水銀燈照射紫 外線使感光劑3感光，加以顯像去除沒有感光之感光劑3 之後，使用酸蝕刻。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，曝光時，若大孔2 a之曝光圖案4與小孔2 b 之曝光圖案5之相對位置發生偏移時，使用酸蝕刻時，孔 2之形狀爲從既定之形狀偏移，甚至會發生孔2不會貫通 之現象。 習知，例如日本特開平3 - 2 1 4 5 3 6號公報所揭 示，曝光時之2片玻璃乾板6，7之相關位置之調整，係 於沒有鐵板1之狀態下將2片玻璃乾板6，7之位置由這 些乾板6，7之曝光圖案4，5之重疊程度加以調整，將 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 499630 A7 ___B7 五、發明説明) 鐵板1通過2片之玻璃乾板6，7間，在鐵板1之上下空 白部對於玻璃乾板6，7標示數個定位位置用之對準記號 ’在各曝光處理前之進行測定對準記號偏移之對準測定， 來修正玻璃乾板6，7之位置偏移。 又，使用於遮屏之製造用之曝光裝置，係如第8圖及 第9圖所示，將鐵板1之兩端捲撓於圓筒8，對於鐵板1 依序反復曝光。 並且，具體上爲例如第1 0圖所示，對準2片玻璃乾 板6，7 (步驟1 )，成爲真空使玻璃乾板6，7密貼（ 步驟2 )，測定玻璃乾板6，7之對準記號之偏移量（步 驟3 )。 其次，當判斷對此對準記號之偏移量較中斷限度値更 小時（步驟4 )，進行曝光處理（步驟5 )，破壞玻璃乾 板6，7之密貼（步驟6 )，釋放2片玻璃乾板6，7 ( 步驟7 )，進給一定量之鐵板1 (步驟8 )，判斷是否結 束（步驟9 )，若結束時就結束，並非結束時就返回到步 驟1。 又，於步驟3判斷對準記號之偏移量爲中斷値以上時 (步驟1 1 )，就破壞玻璃乾板6，7之密貼（步驟1 2 )’釋放2片玻璃乾板6，7 (步驟1 3 )，修正玻璃乾 板6 ’ 7之偏移量（步驟14) ’再試彳了確認偏移量是否 設定値以下（步驟1 5 )，若設定値以下時就返回到步驟 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再本頁) 項再本

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -5- 499630 A7 _ B7 _ 五、發明説明) 【發明所欲解決之問題】 然而，對於捲撓在圓筒8之鐵板1之曝光，係花費1 〜2天反復進行約7 0 0次之感光，所以倘若在途中由於 某種理由發生玻璃乾板6，7之位置偏移，即使裝設鐵板 1之後也因不能觀察玻璃乾板6，7之曝光圖案4，5之 偏移，所以具有生產多量不良品之虞。 又，即使修正玻璃乾板6，7之位置偏移，由於曝光 之輻射熱例如玻璃乾板6，7之溫度上升時，例如1 πι角 之玻璃乾板6，7不僅縱橫分別各膨脹1 6 0 // m，並且 每當曝光時由於擴展已密貼之玻璃乾板6，7間隔之動作 ，欲保持玻璃乾板6，7之曝光於高精度時，需要每各曝 光處理前進行對準位置之測定，與若對準位置之測定時發 覺玻璃乾板6，7發生偏移時就需要位置偏移之修正動作 〇 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 另一方面，爲了欲將玻璃乾板6，7之對準記號在曝 光之前每次測定，可容許偏移之規格値設定於性能限度附 近時，每一次就移行於修正動作致使具有曝光動作不能進 展而引起效率降低之問題。 本發明係鑑於上述問題所發明者，其目的係提供一種 不至於降低效率而可確保精度之曝光方法及其裝置。 【解決問題之手段】 本發明係將在兩面塗布感光劑之曝光對象物由形成曝 光圖案之2片原板夾持，在曝光前檢測這些2片原板之偏 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -6- 499630 A7 B7 ___ 五、發明説明& ) 移量，將所檢測之偏移量，中斷預先所設定之曝光處理以 修正位置偏移量之中斷限度値，及，較此中斷限度値更小 直接加以曝光處理在曝光處理後與欲修正位置偏移之曝光 處理後與切換値做比較，若偏移量較中斷限度値爲大時就 修正偏移之後加以曝光處理，若偏移量爲中斷限度値以下 時則曝光處理後修正偏移量，所以若較曝光後切換値其偏 移量小時，就直接加以爆光處理在曝光處理後修正位置偏 移量，若較曝光切換値之偏移量爲大時，就中斷曝光處理 而修正位置偏移量之後藉曝光處理，若偏移量較小時就直 接曝光處理減少修正次數來抑制效率之降低，若偏移量大 時就中斷曝光處理加以修正後藉曝光處理，來防止精度之 降低。 又，原板係將定位用之對準記號加以圖像辨識來檢測 偏移量者，所以可簡單檢測偏移量。 並且，將長條狀之曝光對象物各以一定量送出加以曝 光者，將長條狀者依序進行全體曝光。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，更且，若中斷限度値以下時對於所有長條狀之曝 光對象物進行一系列曝光後才修正偏移量者，若偏移量小 時，就將所有長條狀之曝光對象物加以曝光後藉修正偏移 量，就不至於降低效率可維持精度。 【發明之實施形態】 茲參照圖面說明本發明之曝光裝置之一實施形態如下 。按，對應於第6圖至第1 0圖所示習知例之部分則標示 I紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐）~' 499630 A7 B7 五、發明説明) 同一符號說明之。 如第2圖所示，矩形狀之框1 1，1 2係固持分別作 爲原板之玻璃乾板6，7，在其時段兩端就有屬於供給手 段捲撓圓筒8之長條鐵板1之移動。 並且，這些框1 1，1 2係由未圖示之夾持手段成爲 可開閉，可離開，靠近，藉關閉將玻璃乾板6，7重疊於 鐵板1之兩面加以夾持，藉將玻璃乾板6，7中變成真空 ，就可將玻璃乾板6，7密貼於鐵板1兩面之感光劑3， 從兩面作爲曝光手段之未圖示水銀燈加以曝光來感光感光 劑3。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 又，在不夾持2片玻璃乾板6，7之各個鐵板1部分 內面之2個處所，第4圖所示定位圖案1 5，1 6或第5 圖所示定位圖案1 7，1 8爲由描繪或張貼形成Μ相對向 ，如夾住此2處所之位置，如第3圖所示，在一方玻璃乾 板6外側配設作爲攝影裝置之C C D ( Carge Coupled Camera )照相機2 0，2 1，並且，在他方之玻璃乾板7 外側配設有照明用之光源2 2，2 3，C C D照相機2 0 ，2 1之圖像訊號，係輸入於作爲檢測手段及控制手段之 演算裝置2 4。 並且，在固持一方之玻璃乾板6之框1 1下側之長邊 部外側之2處所安裝有由馬達2 6，2 7所驅動作爲偏移 量修正手段之偏移量修正機構28，29，並且，在框 1 1 一側之短邊部外側安裝由馬達3 0所驅動作爲偏移修 正手段之偏移量修正機構3 1，由各個偏移量修正機構 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） - 8 - 499630 A7 B7 五、發明説明6 ) 28，29，3 1可押壓或引動框1 1，這些偏移量修正 機構2 8，2 9係由演算裝置2 4加以控制。 又，對向於各偏移量修正機構2 8，2 9 ’ 3 1，在 框1 1之上側長邊部之外側2個處所安裝修正量測定機構 3 4，3 5，並且，框1 1他側之短邊部之外側安裝修正 量測定機構3 6，由各個修正量測定機構3 4，3 5， 3 6就由所對向之偏移量修正機構2 8，2 9，3 1則可 測定實際之框1 1之移動量，這些修正量測定機構3 4， 3 5，3 6之測定結果將輸入於演算裝置2 4。 像這樣，由這種構成，使用CCD照相機20，21 攝影第4圖所示定位圖案1 5，1 6或第5圖所示定位圖 案1 7，1 8，於演算裝置2 4，檢測定位圖案1 5， 16或定位圖案17，18之偏移量，並且，計算其偏移 量，依據所算出之偏移量，由各個修正量測定機構3 4， 35，3 1押壓或拉動一方之框1 1，將一方之玻璃乾板 6對於他邊之玻璃乾板7藉向面方向移動，就可修正2片 玻璃乾板6，7之曝光圖案4，5之偏移量。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 按，此時，在2片玻璃乾板6，7之間將形成比例於 鐵板1厚度之間隙，爲了將兩方之定位圖案1 5，1 6或 定位圖案1 7，1 8較佳地同時攝影，在C C D照相機 20，21就需要設定被攝界深度具有0 · 25mm以上 之光學系。 茲說明由演算裝置2 4之偏移量計算方法。 首先，第4圖所示定位圖案15，16，係對於2片 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 一 一 -9- 499630 Α7 Β7 五、發明説明& ) 玻璃乾板6，7之各個改變大小與節距配置多數之黑點。 若使用此定位圖案1 5，1 6時，標示於任一玻璃乾 板6，7之黑點，係可由大小判斷，因節距相異，在1 m m以內之處所，因具有兩方黑點沒有重疊容易測定部分 4 1所以容易設定裝置。 又，第5圖所示之定位圖案1 7，1 8，係在一方之 玻璃乾板6作爲定位圖案1 7，1 7顯示一對黑點，並且 ，在他方之玻璃乾板7作爲定位圖案1 8，1 8將一對黑 點左右顯示之例。 使用上述之第4圖之定位圖案1 5，1 6之方法，係 在實際鐵板1之曝光上將重要的大的曝光圖案4或小曝光 圖案5與定位圖案1 5，1 6之相關位置不能設定爲一定 時之例子，但是，此第5圖之定位圖案1 7，1 8，係可 將大的曝光圖案4或小曝光圖案5與定位圖案1 7，1 8 之相關位置設定爲一定時之例子。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 亦即，於此第5圖所示例，係將2片玻璃乾板6，7 上之定位圖案1 7，1 8配合成一定相關位置時，就可自 動地定位大的曝光圖案4與小的曝光圖案5。 又，於演算裝置2 4，係中斷預先所設定之曝光處理 來修正位置偏移量例如6 μ m之中斷限度値，及，較此中 斷限度値更小直接曝光處理在曝光處理後修正位置偏移量 例如設定3 // m之曝光後之切換値。 並且，具體上，在演算裝置2 4，係例如第1圖所示 ，對準2片玻璃乾板6，7之位置（步驟2 1 )，成爲真 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210Χ297公釐） -10- 499630 A7

五、發明説明（8 ) 方ί -------- 空使玻璃乾板6，7密貼（步驟2 2 )，來測定玻璃乾板 6，7之對準記號之偏移量（步驟23)。 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 其次，若此對準記號之偏移量爲較曝光後切換値及中 斷限度値更小，例如判斷爲1 /z m時（步驟2 4 )，進行 曝光處理（步驟2 5 )，破壞玻璃乾板6，7之密貼（步 驟2 6 )，釋放2片玻璃乾板6，7 (步驟2 7 )，進給 一定量之鐵板1 (步驟2 8 )，判斷是否結束（步驟2 9 )，結束時就結束，若非結束時就返回到步驟2 1。 又，在步驟2 3若對準記號之偏移量爲曝光後切換値 以上較中斷限度値爲小時，例如判斷爲4 // m時（步驟 3 1)，進行曝光處理（步驟3 2 )，破壞玻璃乾板6， 7之密貼（步驟3 3 )，釋放2片玻璃乾板6，7 (步驟 3 4 )，校正玻璃乾板6，7並且進給一定量之鐵板1 ( 步驟3 5 )，判斷是否結束（步驟2 9 )，結束時就結束 ，若非結束時就返回到步驟2 1。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 並且，在步驟2 3若對準記號之偏移量爲中衞値以上 而曝光後爲切換値以上，例如判斷7 // m時（步驟4 1 ) 時，破壞玻璃乾板6，7之密貼（步驟4 2 )，釋放2片 玻璃乾板6，7 (步驟4 3 )，校正玻璃乾板6，7之偏 移量（步驟4 4 )，確認再試行而偏移量爲設定値以下（ 步驟4 5 )，設定値以下時就返回到步驟2 1。 如上述，倘若偏移量爲較曝光，後切換値及中斷限度値 爲小時，爲了以通常動作結束一系列長條狀之鐵板1之一 系列周期，所以，確保所需精度之後在既定時間內可進行 -11 - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） 499630 A7 B7 五、發明説明6 ) 一系列之鐵板1曝光處理。 按，偏移量爲曝光後切換値以上而較中斷限度値爲小 時（步驟3 1 )時，以通常動作結束一系列長條狀之鐵板 1之一系列周期，因其後爲了修正玻璃乾板6，7之位置 偏移量，確保所需精度之後，在既定時間，例如在3 0小 時以內可進行一系列鐵板1之曝光處理。 並且，若偏移量爲曝光後切換値及中斷限度値以上時 ，暫且中斷曝光校正玻璃乾板6，7之位置偏移量之後， 其後爲了如通常處理長條狀之鐵板1，因不以所需以上之 次數校正偏移量所以可在既定時間內可進行一系列鐵板1 之曝光處理。 像這樣，設中斷限度値及曝光後切換値之2個基準値 ，由於分別因應其需要對應，所以不至於大幅度地降低效 率，又，也不至於降低精度可進行曝光。 【發明之效果】 若依據本發明，若較曝光後切換値偏移量爲小時，就 直接進行曝光處理而在曝光處理後修正位置偏移量，若較 曝光後切換値偏移量爲大時，就中斷曝光處理修正位置偏 移量之後藉進行曝光處理，偏移量較小時就直接進行曝光 處理減少校正之次數來抑制效率之降低，若偏移量大時就 中斷曝光處理加以校正後藉進行曝光處理，就可防止精度 之降低。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -12- 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 499630 A7 B7___ 五、發明説明（10 ) 圖式之簡單說明 第1圖係表示本發明之曝光裝置之一實施形態之流程 圖。 第2圖係表示本發明之曝光裝置之斜視圖。 第3圖係表示本發明之光源裝置及c C D照相機關係 之側面圖。 第4圖係表示本發明之圖案偏移量關係之說明圖。 第5圖係表示本發明之其他圖案偏移量關係之說明圖 〇 第6圖係習知例之彩色影像管遮屏之剖面圖。 第7圖係習知例之曝光時狀態之剖面圖。 第8圖係習知例之曝光裝置之斜視圖。 第9圖係習知例從其他角度所視之斜視圖。’ 第1 0圖係表示習知例動作之流程圖。 【符號之說明】 1 屬於曝光對象物之鐵板， 6，7 作爲原板之玻罐乾板， 8 屬於供給手段之圓筒， 24 作爲檢測手段及控制手段之演算裝置， 28，29，3 1 作爲偏移量修正手段之偏移量修正機 構。 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X 297公釐） (請先聞讀背面之注意事項再填寫本頁)

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Claims (1)

1. Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 附件2 第89106917號專利申請案 一.HJ 91. 2. ·ίΙ 中文申請專利範圍修正本 民國9 1年2月修正 種曝光方法，其特徵爲； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 將在兩面塗布感光劑之曝光 2片原板夾持， 在曝光前檢測這些2片原板 將此所檢測之偏移量，中斷 修正位置偏移量之中斷限度値、 直接進行曝光處理，而在曝光處 光後與切換値做比較， 若偏移量較中斷限度値爲大 ，就修正偏移量後進行曝光處理 若偏移量較中斷限度値爲大 ，就曝光處理後修正偏移量， 若偏移量爲中斷限度値以下 進行曝光處理。 2 .如申請專利範圍第1項 圖像辨識定位用之對準記號來檢 3 .如申請專利範圍第1項 中將長條狀之曝光對象物各進給 4 .如申請專利範圍第3項 限度値以下時對於所有長條狀之 光後修正偏移量。 對象物由形成曝光圖案之 之偏移量 預先所設 及，較此 理後修正 定之曝光處理來 中斷限度値更小 位置偏移量之曝 且較曝光後切換値以上時 且較曝光後切換値以上時 且較曝光後切換値小時則 之曝光方法，其中原板係 測偏移量。 或第2項之曝光方法，其 一定量加以曝光。. 之曝光方法，其中若中斷 曝光對象物進行一系列曝 本紙張尺度逋用中國國家橾準（CNS ) Α4規格（210Χ297公釐） (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 499630 A8 B8 C8 D8 六、申請專利範圍 5 · —種曝光裝置，其特徵爲具備； 將在兩面塗布感光劑之曝光對象物由形成曝光圖案之 2片原板夾持之夾持手段，與 曝光對象物之曝光手段，與 在曝光前檢測由這些夾持手段所夾持之2片原板之偏 移量之檢測手段，與 修正原板及曝光對象物之偏移量之偏移量修正手段， 與 將此所檢測之偏移量，中斷預先設定之曝光處理來修 正位置偏移量之中斷限度値，及，較此中斷限度値更小直 接進行曝光處理，與在曝光處理後進行位置偏移量之曝光 後切換値做比較， 若偏移量較中斷限度値爲大且較曝光後切換値以上時 ，就修正偏移量後進行曝光處理， 若偏移量較中斷限度値爲大且較曝光後切換値以上時 ，就曝光處理後修正偏移量， 若偏移量爲中斷限度値以下且較曝光後切換値小時則. 進行曝光處理之控制手段。 6 ·如申請專利範圍第5項之曝光裝置，其中原板係 具有定位用之對準記號， . 檢測手段係具有辨識這些對準記號之圖像辨識手段。 7 ·如申請專利範圍第5項或第6項之曝光裝置，其 中曝光對象物係長條， ’ 具備將長條狀之曝光對象物各進給一定量之供給手段 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） ~ " -2- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁)

   499630 Α8 Β8 C8 D8 六、申請專利範圍 ，由此供給手段各一定量供給於曝光對象物而由曝光手段 曝光。 8 .如申請專利範圍第7項之曝光裝置，其中曝光對 象物係長條， 控制手段係若中斷限度値以下時就將長條之曝光對象 物一系列地進行曝光而交換時由偏移量修正手段修正偏移 (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS ) A4規格（210X297公釐） -3 -