JP2008028358A - 搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】鉛直方向に沿って設けられた露光ステージ14にテープTを搬送するとともに、露光ステージ14を境に一方側に配置される搬送装置Aにおいて、テープTを送り出す供給リール2と、供給リール2の下方に設けられ、テープTを巻き取る巻取リール5と、露光ステージ14を介して供給リール2から巻取リール5にテープTを搬送する保護シート搬送系4と、を有し、供給リール2には、テープTと対面するように設けられた保護シートSが巻回され、露光ステージ14とは異なる方向に迂回して供給リール2から巻取リール5に保護シートSを搬送する保護シート搬送系4を有する。
【選択図】図1
Description
第1従来技術としては、図5に示すように、巻回されるテープT1間に保護シートS1が介装された状態で、テープT1と保護シートS1が巻回された供給リール101と、この供給リール101から送り出されたテープT1を巻き取る巻取リール102と、供給リール101から送り出された保護シートS1をテープT1とは分離して巻き取る巻取リール103と、巻取リール102に巻き取るテープT1間に介装するための保護シートS2が巻回された供給リール104と、テープT1の搬送系である供給リール101と巻取リール102との間に設けられた処理部105と、を備えた搬送装置100がある(例えば、特許文献1〜3)。この搬送装置100では、テープT1と保護シートS1を分離して搬送することで、処理部105においてテープT1のみを処理できるようになっている。
第2従来技術としては、図6に示すように、テープT1と保護シートS1が巻回された供給リール201と、この供給リール201から送り出されたテープT1と保護シートS1を巻き取る巻取リール202と、供給リール201から巻取リール202に至るテープT1の搬送系203と、供給リール201から巻取リール202に至る保護シートS1の搬送系204と、搬送系203に設けられた検査装置205と、を備えた装置200がある(例えば、特許文献4参照)。この装置200では、供給リールから送り出されるテープT1と保護シートS1をそれぞれの搬送系203,204で別々に搬送し、検査装置205でテープT1のみを検査できるようになっている。
また、供給リールの下方に巻取リールが設けられているため、従来技術よりもワーク搬送系の水平方向の長さが短くなっており、装置を小型化することができる。
さらに、保護シート搬送手段は、供給リールおよび巻取リールまで処理ステージとは異なる方向に迂回して設けられているため、保護シートに塵埃が付着している場合でも、処理ステージの作業領域に塵埃が飛散することを防止することができる。
このような構成によれば、保護シート張力調整手段でテープの張力を調整し、保護シートを安定した張力の下で搬送することができる。
このような構成によれば、保護シートを巻き取るための専用のリールを不要とすることができる。
このような構成によれば、テープTの幅方向と保護シートSの幅方向とを正確に合わせた状態で、両者を巻取リールに巻き取ることができる。
このような構成によれば、第1張力調整手段と第2張力調整手段で張力を調整し、テープを安定した張力で搬送することができる。
(1)供給リールから送り出したワークと保護シートを、再び合わせた状態で巻取リールに巻き取るように構成されているため、保護シート専用の巻取リール等の付帯設備を不要とすることができる。
(2)供給リールの下方に巻取リールが設けられているため、従来技術よりも装置を小型化することができる。
(3)保護シート搬送手段が、処理ステージとは異なる方向に迂回していることで、保護シートに塵埃が付着している場合でも、処理ステージの作業領域に塵埃が飛散することを防止することができる。
(4)保護シートとワークとを幅方向に一致させて巻取リールに巻き取ることができる。
(5)保護シート搬送手段が保護シート張力調整手段を有し、ワーク搬送手段が第1,2の張力調整手段を有することで、ワークと保護シートの張力を安定させることができ、ワークと保護シートをバランスよく巻取ることができる。
図1は、本実施形態に係る搬送装置と露光装置を示す全体斜視図であり、図2は、本実施形態に係る搬送装置と露光装置を示す概略図である。
テープTは、フィルム状の基板であり、露光、洗浄、エッチング、検査等の各処理工程を経て電子部品を搭載する基板となる。ここでは、露光工程において露光装置Eにかけられるテープとして説明するが、テープTがかけられる処理工程はこれに限定されるものではない。このテープTは、例えば、幅250mm、厚み25μm、長さ200mの寸法を有しており、幅方向両側に長さ方向に沿って、所定間隔で形成された複数のパーフォレーションホールfが設けられている場合もある。
また、保護シートSは、テープTの表面を保護する薄い紙などで形成されたシートであり、リールに巻回されるテープTの間に介装されるものである。この保護シートSは、テープTと略同一の形状に形成されている。
露光装置Eは、搬送装置Aによって1単位である1ブロックずつ搬送されるテープTに、マスクMのパターンを露光する装置である。この露光装置Eは、光源系11と、この光源系の光軸上に配置するマスクMを保持するマスク保持枠12と、このマスク保持枠12から所定距離をあけて配置される投影光学系13と、この投影光学系13から送られてくる照射光の光路上に配置された露光ステージ14とを備えている。さらに露光装置Eは、露光に先行してテープTとマスクMとの整合マーク(図示せず)の位置を合わせるための撮像装置15と、撮像した整合マークを画像処理する画像処理装置16と、装置制御装置17と、を備えている。
また、露光ステージ14は、図示しない真空ポンプの配管が接続されており、テープTを吸着して固定するように構成されている。露光ステージ14では、テープTが1ブロック搬送され、テープTとマスクMの位置合わせが終了した後、露光が行われるようになっている。
また、装置制御装置17は、画像処理装置16からの画像データに基づいて、テープTとマスクMのマークの位置を整合させるように、テープ搬送系3のガイドローラ31c、ステージガイドローラ32,32およびガイドローラ33bを制御する。さらに、装置制御装置17は、マスク保持枠12のマクスMの駆動機構も制御する。また、装置制御装置17は、保護シートSとテープTとが巻取リール5に巻き取られる際に、幅方向に両者がずれないように保護シート搬送系4のガイドローラ41cを制御する。
次に、搬送装置Aの構成について説明する。以下においては、図2に示す搬送装置Aの状態を基準にして、上下左右の方向を定めて説明する。
図1および図2に示すように、搬送装置Aは、供給リール2と、テープTが搬送されるテープ搬送系3(テープ搬送手段)と、保護シートSが搬送される保護シート搬送系4(保護シート搬送手段)と、巻取リール5と、を備えている。
供給リール2には、テープTが巻回されるとともに、このテープTに対面するように保護シートSが巻回されている。この供給リール2は、例えば、直径600mmのリールである。この供給リール2は、図示しない駆動軸がモータ等で駆動され、時計回りに回転するようになっている。これにより、供給リール2から送り出されたテープTと保護シートSは、別々の搬送系(テープ搬送系3、保護シート搬送系4)を介して、巻取リール5に至るようになっている。
図2に示すように、テープ搬送系3は、供給リール2から巻取リール5までテープTを搬送する系であり、その途中に露光装置Eが配置されている。このテープ搬送系3には、供給リール2と搬送装置Aとの間に設けられる第1張力調整手段31と、露光装置Eの露光ステージ14にテープTを案内する一対のステージガイドローラ32,32と、露光装置Eと巻取リール5との間に設けられる第2張力調整手段33と、を備えている。
ガイドローラ31cは、露光ステージ14にテープTの姿勢が正確に送られるように、軸方向に移動できる構造としてもよい。
ガイドローラ33bは、露光ステージ14にテープTの姿勢が正確に送られるように、軸方向に移動できる構造としてもよい。上述したガイドローラ31cと対になって軸方向に移動することで、テープTの幅方向のずれ量を直したり、テープTの傾き(姿勢)を直したりすることができる。
保護シート搬送系4は、供給リール2から、テープ搬送系3が繰出する方向とは異なる方向(左方向)かつ下方向に繰出するように設けられている。保護シートSに塵埃が付着していたとしても、その塵埃がテープ搬送系3に設けられた露光装置Eの露光ステージ14に飛散することを防止することができるようになっている。
この保護シート搬送系4は、供給リール2から巻取リール5まで保護シートSを搬送する系であり、第3張力調整手段41を有している。
図3は、第3張力調整手段41におけるガイドローラ41cを示す拡大断面図である。
図3に示すガイドローラ41cは、保護シートSを第1エアダンサ41aから巻取リール5に向けて送ると共に(図2参照)、保護シートSを矢印bの幅方向(矢印aの軸方向)に移動させることができるワーク位置調整手段142を備えたローラである。ガイドローラ41cは、保護シートSを搬送するための回転自在なローラ本体141と、ボールねじ144の回転によって軸方向に移動するナット145と、このナット145と一体に動くスプライン軸146と、このスプライン軸146と一体に動く支軸147と、この支軸147とローラ本体141との間に介在されたベアリング148と、を備えている。
装置筐体143は、モータM1を保持してモータ軸M1aが挿通される部材であり、適宜な位置に固定されている。ガイドローラ41cは、この装置筐体143によって所定の位置に保持されている。
ナット145は、中央部の雌ねじ部がボールねじ144に螺合される。ナット145の外周面は、スプライン溝が形成された円筒状のスプライン軸146内に装着され、このボールねじ144の回転で矢印aの軸方向に移動する。
支軸147は、スプライン軸146の底面部に固着されてスプライン軸146と共に軸方向に移動しながら回転し、両端部がベアリング148で軸支されている。
ローラ本体141は、ベアリング148と共に矢印aの軸方向に移動し、保護シートSを巻き取り、両端部にフランジ部を有するボビン形状をしている。このローラ本体141は、少なくともローラ表面141aが合成樹脂によって形成されて、微振動を吸収する。
また、上述したガイドローラ31cとガイドローラ33bとは、このガイドローラ41cと同一構造としても良い。
巻取リール5は、供給リール2とともに露光ステージ14に対して水平方向の一方(露光ステージ14の左側)に配置されており、かつ、供給リール2の下方に配置されている。これにより、搬送装置Aの水平方向の長さ寸法を短くでき、装置を小型化することができる。巻取リール5は、図示しない駆動軸がモータ等で駆動されることで、時計回りに回転するようになっている。これにより、巻取リール5は、テープ搬送系3から搬送されたテープTと、保護シート搬送系4から搬送された保護シートSとを、交互に巻き取る。
ちなみに、このようにテープTと保護シートSが供給リール2と巻取リール5を介して閉ループを構成することで、従来技術の保護シート専用の巻取リール等が不要となっている。
次に、テープTおよび保護シートSの搬送経路に沿って、各装置の動作について説明する。まず、搬送装置Aには、テープTと保護シートSが巻回された供給リール2が設置されるとともに、空の巻取リール5が設置される。そして、供給リール2からテープ搬送系3にテープTが送り出されるとともに、保護シート搬送系4に保護シートSが送り出される。
なお、テープTの張力は、露光処理でテープTの位置を制御されたり、テープT間に保護シートSを介装したりすることで、不均一になるが、本実施形態では、第2張力調整手段33で、テープTの張力が調整されているので、テープTの巻取りを安定して行うことができる。これにより、巻姿を楕円状ではなく、円形にすることができる。また、テープTと保護シートSとが幅方向に一致して巻き取られるので、巻姿の側面が均一となる。
また、保護シートSを送り出すときに、保護シートSに張力を強くかけると、肝心のテープTの送り出し量に影響し、露光処理後のテープTを安定して巻き取ることができなくなるが、本実施形態では、第3張力調整手段41でテープTの張力を調整するので、巻取リール5の巻取り動作に影響を与えないようにすることができる。
本実施形態に係る搬送装置Aでは、供給リール2から送り出されたテープTと保護シートSは、別々の搬送系(テープ搬送系3、保護シート搬送系4)で搬送された後、再び合わされた状態で、巻取リール5に巻き取られるようになっている。これにより、従来技術のような付帯設備を不要とすることができる。
3 テープ搬送系
4 保護シート搬送系
5 巻取リール
31 第1張力調整手段
31a 第2エアダンサ
31b,31c ガイドローラ
32 ステージガイドローラ
33 第2張力調整手段
33a 第3エアダンサ
33b,33c ガイドローラ
41 第3張力調整手段
41a 第1エアダンサ
41b,41c ガイドローラ
51a,51b 第1、第2センサ
A 搬送装置
E 露光装置
S 保護シート
T テープ
Claims (5)
- 鉛直方向に沿って設けられた処理ステージにテープ状のワークを搬送するとともに、前記処理ステージを境に一方側に配置される搬送装置において、
巻回された前記ワークとこのワークと対面するように巻き回された保護シートとを送り出す供給リールと、
前記供給リールの下方に設けられ、前記供給リールから送り出された前記ワークを巻き取る巻取リールと、
前記処理ステージを介して前記供給リールから前記巻取リールに前記ワークを搬送するワーク搬送手段と、
前記供給リールを基点に前記処理ステージとは異なる方向に迂回して前記供給リールから前記巻取リールに前記保護シートを搬送する保護シート搬送手段と
を有することを特徴とする搬送装置。 - 前記保護シート搬送手段は、前記供給リールから送り出された前記保護シートを案内する第1ローラと、前記巻取ローラに前記保護シートを案内する第2ローラと、前記第1ローラと前記第2ローラとの間の前記保護シートの張力を調整する第1エアダンサと、からなる保護シート張力調整手段を有することを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記供給リールから前記処理ステージを介して前記巻取リールに搬送される前記ワークと、前記供給リールから前記巻取リールに搬送される前記保護シートが、前記供給リールと前記巻取リールを介して閉ループを構成していることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の搬送装置。
- 前記処理ステージから前記巻取リールへ搬送される前記ワークの幅方向の位置を検出する第1検出器と、前記供給リールから前記巻取リールへ搬送される前記保護シートの幅方向の位置を検出する第2検出器とをさらに有し、
前記第1検出器と前記第2検出器との結果に基づいて、前記巻取リールに巻き取られる前記ワークと保護シートとの幅方向を一致させることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の搬送装置。 - 前記ワーク搬送手段は、前記供給リールと前記処理ステージとの間に設けられ、前記処理部に供給される前記ワークの張力を調整する第1張力調整手段と、前記処理部と前記巻取リールとの間に設けられ、前記巻取リールに巻き取られる前記ワークの張力を調整する第2張力調整手段と、を備え、
前記第1張力調整手段は、前記供給リールから送り出された前記テープを案内する第3ローラと、前記処理ステージ側に前記テープを案内する第4ローラと、前記第3ローラと前記第4ローラとの間の前記テープの張力を調整する第2エアダンサと、を有し、
前記第2張力調整手段は、前記処理ステージ側からの前記テープを案内する第5ローラと、前記巻取リールに前記テープを案内する第6ローラと、前記第5ローラと前記第6ローラとの間の前記テープの張力を調整する第3エアダンサと、を有すことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の搬送装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8319946B2 (en) * | 2007-11-08 | 2012-11-27 | Orc Manufacturing Co., Ltd. | Transfer device |
WO2014024398A1 (ja) * | 2012-08-07 | 2014-02-13 | 株式会社神戸製鋼所 | ガラスフィルム搬送装置 |
KR20170082652A (ko) * | 2010-04-09 | 2017-07-14 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 처리 장치 |
CN111196518A (zh) * | 2020-02-19 | 2020-05-26 | 四川成创包装机械科技有限公司 | 一种用于自动包装机的卷膜成型装置 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5859405B2 (ja) | 2012-08-27 | 2016-02-10 | 株式会社神戸製鋼所 | ガラスフィルム搬送装置 |
JP2014228848A (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | 日東電工株式会社 | 光学フィルムロールの製造システムおよび光学フィルムロールの製造方法 |
JP2014228847A (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | 日東電工株式会社 | 光学フィルムロールの製造システムおよび光学フィルムロールの製造方法 |
JP2014228845A (ja) * | 2013-05-27 | 2014-12-08 | 日東電工株式会社 | 光学フィルムロールの製造システムおよび光学フィルムロールの製造方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0346243A (ja) * | 1989-07-14 | 1991-02-27 | Toshiba Corp | キャリアテープ部品の実装装置 |
JPH03106762A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-07 | Hitachi Ltd | 梱包体 |
JPH0714883A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-01-17 | Toshiba Corp | 電子部品供給装置 |
JPH09315691A (ja) * | 1996-05-28 | 1997-12-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | シート材巻き取り用の巻き芯 |
JP2005091903A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Nsk Ltd | 露光装置 |
JP2007314347A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-12-06 | Orc Mfg Co Ltd | 搬送装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0346243A (ja) * | 1989-07-14 | 1991-02-27 | Toshiba Corp | キャリアテープ部品の実装装置 |
JPH03106762A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-07 | Hitachi Ltd | 梱包体 |
JPH0714883A (ja) * | 1993-06-29 | 1995-01-17 | Toshiba Corp | 電子部品供給装置 |
JPH09315691A (ja) * | 1996-05-28 | 1997-12-09 | Fuji Photo Film Co Ltd | シート材巻き取り用の巻き芯 |
JP2005091903A (ja) * | 2003-09-18 | 2005-04-07 | Nsk Ltd | 露光装置 |
JP2007314347A (ja) * | 2006-04-27 | 2007-12-06 | Orc Mfg Co Ltd | 搬送装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8319946B2 (en) * | 2007-11-08 | 2012-11-27 | Orc Manufacturing Co., Ltd. | Transfer device |
KR20170082652A (ko) * | 2010-04-09 | 2017-07-14 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 처리 장치 |
KR20180058853A (ko) * | 2010-04-09 | 2018-06-01 | 가부시키가이샤 니콘 | 디바이스 제조 장치 |
KR101868304B1 (ko) * | 2010-04-09 | 2018-06-15 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 처리 장치 |
KR101887856B1 (ko) | 2010-04-09 | 2018-08-10 | 가부시키가이샤 니콘 | 디바이스 제조 장치 |
WO2014024398A1 (ja) * | 2012-08-07 | 2014-02-13 | 株式会社神戸製鋼所 | ガラスフィルム搬送装置 |
KR101605296B1 (ko) | 2012-08-07 | 2016-03-21 | 가부시키가이샤 고베 세이코쇼 | 글래스 필름 반송 장치 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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