JP5859405B2 - ガラスフィルム搬送装置 - Google Patents

Description

本発明は、フレキシブルでロール状に巻くことが可能な薄膜ガラス（ガラスフィルム）の搬送装置に関する。

近年、映像等を表示する表示デバイス用の基板材料として、ガスバリア性や透光性などに優れる薄膜ガラス（ガラスフィルム）が用いられている。現在、一般的なガラスフィルムの厚さは２００μｍ程度であるが、最近では、２００μｍより薄い、厚さ３０μｍ〜１５０μｍほどの極めて薄いガラスフィルムが開発されている。
このような極めて薄いガラスフィルムは、その薄さゆえに可撓性を有するので、ガラスフィルムをロール状に巻き取ったガラスロールとして扱うことが可能である。ガラスロールには、ロール状に巻かれたガラスフィルムが内周側及び外周側に隣接するガラスフィルムと接触して破損するのを防ぐ目的で、隣接するガラスフィルム間に保護シート（保護フィルム）を挟み込んだものがある。

特許文献１は、隣接するガラスフィルム間に保護シートを挟み込んだガラスロールの製造方法を開示している。
特許文献１に開示のガラスロールの製造方法は、ダウンドロー法によってガラスフィルムを成形すると共に、その成形したガラスフィルムを保護シートに重ねてロール状に巻き取るガラスロールの製造方法であって、前記保護シートに、前記ガラスフィルムよりも大きな巻き取り方向の張力を付与しながら、前記ガラスフィルムと前記保護シートとを巻き取ることを特徴とするものである。

このような可撓性を有するガラスフィルムに対して効率的に各種処理を施す手法としては、長尺のガラスフィルムがロール状に巻かれたガラスロールをロール・ツー・ロール方式で搬送しつつ、その表面にコーティング等の各種処理を施す技術が様々に提案されている。
このガラスフィルムの表面に対する各種処理としては、例えば真空蒸着やスパッタリングなど、真空圧近傍にまで減圧された真空容器内で行われる処理がある。真空圧近傍にまで減圧された容器内では圧力変化による影響が様々に発生するので、発生する影響を考慮してガラスロールをロール搬送しつつ真空蒸着やスパッタリングなどの処理（表面処理）を施す様々な技術が提案されている。

特許文献２は、真空圧近傍下で薄膜ガラスを搬送する薄膜ガラスの搬送装置を開示している。
特許文献２に開示の薄膜ガラスの搬送装置は、真空容器内の圧力を制御可能な圧力制御手段を備え、真空圧近傍まで減圧された前記真空容器内で長尺な薄膜ガラスを搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、前記圧力制御手段は、ロール状の前記薄膜ガラスが前記真空容器内に配置された状態で、３分以上の時間をかけて前記真空容器内の圧力を１００００Ｐａまで減圧させた後に、真空圧近傍まで減圧させることを特徴とするものである。

この薄膜ガラスの搬送装置では、上述の条件で減圧した後に、ガラスロールの薄膜ガラス間に挟み込まれた保護フィルムを、巻き出し時に薄膜ガラスから取り外し、また、表面処理が施された薄膜ガラスの巻き取り時に、薄膜ガラス間に別の保護フィルムを挟み込んで薄膜ガラスをロール状に巻き取っている。
また、特許文献３は、保護材が積層されてロール状に巻かれた基材を保護材から分離しつつ巻き出し、巻き出された保護材を再び成膜処理が施された基材と共にロール状に巻き取る連続成膜装置を開示している。

特許文献３に開示の連続成膜装置は、保護材が積層され、ロール状に巻かれた基材を保持し、前記基材を保護材と共に巻き出す巻き出しロールと、前記巻き出しロールから前記保護材と共に巻き出された基材を前記保護材が接触するように回転自在に支持し、下流側へ搬送する巻出側支持ロールを備えた巻き出し部と、前記巻出側支持ロールに掛け渡された基材を回転自在に支持し、下流側へ搬送する巻取側支持ロールと、前記巻取側支持ロー
ルを介して前記基材を巻き取る巻き取りロールを備えた巻き取り部と、前記巻出側支持ロールから前記巻取側支持ロールへ張力が付加された状態で連続的に搬送される基材の表面に成膜する成膜源を有し、さらに、前記基材が保護材と共に前記巻出側支持ロールを通過する際、前記基材から保護材を分離し、巻き取り側へ搬送する保護材分離搬送手段と、成膜後の基材が前記巻取側支持ロールに支持される際に前記保護材分離搬送手段によって分離搬送された保護材を前記巻取側支持ロールに接触すると共に前記基材に積層するように前記基材に搬送しながら供給する保護材搬送供給手段を備えた保護材分離供給部を有するものである。

この連続成膜装置によれば、基材に欠陥を生じることなく皮膜を形成することができるとされている。
特許文献３の連続成膜装置は、特にガラスフィルムを対象とした処理を意図したものではないが、保護材を成膜対象物から分離して搬送し、巻取りの際に重ね合わせて巻き取るというような構成は、特許文献１に記載されたガラスフィルムと保護シート重ね合わせたガラスロールの成膜装置として好ましい構成であると考えられる。

特開２０１１−２０１７６５号公報 特開２０１２−１４０５号公報 特開２００８−１８９９５７号公報

特許文献１のような手法で製造される薄膜ガラス（ガラスフィルム）に対して、表面処理などを施すことを考え、特許文献３の連続成膜装置を採用する場合を考える。
ここで特許文献３の連続成膜装置は、基材及び保護材のいずれもが樹脂系材料であることを前提としているので、特許文献３の連続成膜装置における基材として特許文献２のように無機物である薄膜ガラスを採用すると、次のような問題が生じる。

つまり、樹脂系材料である保護材（保護フィルム）が真空中を搬送されると、内部に含まれる水分や有機成分が蒸発し保護フィルムが収縮することがあるが、その一方で、無機物であるガラスフィルムは収縮しない。従って、特許文献３の連続成膜装置のように、巻き出された保護フィルムを再びガラスフィルムと共にロール状に巻き取ると、保護フィルムは、収縮によってガラスフィルムよりも短くなって過剰な力をガラスフィルムに加えてしまったり、過剰な張力により強い皺を発生して、ガラスフィルムを破損してしまうことがある。

また逆に、樹脂系材料である保護フィルムは、材質や厚みによっては、加えられた張力によって伸びてしまうこともある。この場合は、保護フィルムが緩み勝手となって巻き取り時に波打ってしまい、この波打った保護フィルムの凹凸によってガラスフィルムが破損することもある。
すなわち、ガラスフィルムを処理対象とする場合、樹脂製の保護フィルムとガラスフィルムとを重ねて巻き合わせる際に、単純に巻き重ねるだけでは、保護フィルムを巻き取るときのわずかなうねり等でガラスフィルムを破損させるおそれがある。

本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、ガラスフィルムの破損を抑制しながら、ガラスフィルムと保護フィルムを重ねて巻き取ることができるガラスフィルム搬送装置を提供することを目的とする。

上記課題を解決するため、本発明の成膜方法は以下の技術的手段を講じている。
即ち、本発明のガラスフィルム搬送装置は、長尺のガラスフィルムを連続的に搬送するガラスフィルム搬送装置であって、長尺の保護シートが積層された前記ガラスフィルムを巻回したロールから、該ガラスフィルムを巻き出す巻出し部と、前記巻出し部から巻き出されて前記保護シートから分離したガラスフィルムを搬送するガラスフィルム搬送部と、前記ガラスフィルム搬送部によって搬送されたガラスフィルムに、前記保護シートを積層しつつロール状に巻き取る巻取り部と、前記巻出し部から巻き出されたガラスフィルムから分離した保護シートを搬出すると共に、前記巻取り部に向けて保護シートを搬入する保護シート搬送部と、を備え、前記巻取り部における保護シート及びガラスフィルムの巻き取り状態を調整する巻取調整機構を有するものであって、前記保護シート搬送部が、前記保護シート搬送部で搬送中の保護シートに対して該保護シートの幅方向に沿って接することで張力を付加すると共に、保護シート搬送部における保護シートの搬送経路の経路長を調整する経路長調整機構を有し、前記巻取調整機構は、前記巻取り部に保護シートが接した後の回転角が９０°以上３１５°以下となる回転範囲において前記ガラスフィルムが前記保護シート上に積層される位置関係を保ちつつ、保護シート及びガラスフィルムの巻き取り状態を調整することを特徴とする。
また、本発明のガラスフィルム搬送装置は、長尺のガラスフィルムを連続的に搬送するガラスフィルム搬送装置であって、長尺の保護シートが積層された前記ガラスフィルムを巻回したロールから、該ガラスフィルムを巻き出す巻出し部と、前記巻出し部から巻き出されて前記保護シートから分離したガラスフィルムを搬送するガラスフィルム搬送部と、前記ガラスフィルム搬送部によって搬送されたガラスフィルムに、前記保護シートを積層しつつロール状に巻き取る巻取り部と、前記巻出し部から巻き出されたガラスフィルムから分離した保護シートを搬出すると共に、前記巻取り部に向けて保護シートを搬入する保護シート搬送部と、を備え、前記巻取り部における保護シート及びガラスフィルムの巻き取り状態を調整する巻取調整機構を有するものであって、前記保護シート搬送部が、前記保護シート搬送部で搬送中の保護シートに対して該保護シートの幅方向に沿って接することで張力を付加すると共に、保護シート搬送部における保護シートの搬送経路の経路長を調整する経路長調整機構を有し、前記巻取調整機構は、前記保護シート搬送部によって搬送された保護シート上に前記ガラス搬送部によって搬送されたガラスフィルムを積層する積層ローラを有し、前記積層ローラに前記保護シートが接した後の前記積層ローラの第１の回転角が４５°以上となる回転範囲において、前記ガラスフィルムが前記保護シート上に積層され、該積層の後の前記積層ローラの第２の回転角が３０°以上９０°以下となる回転範囲において、前記ガラスフィルムが積層された保護シートは、前記積層ローラとの接触を保ちつつ搬送された後に前記積層ローラから離脱し、かつ、前記第１の回転角と前記第２の回転角の和が２７０°以下であることを特徴とする。

ここで、好ましくは、前記経路長調整機構がダンサーローラ機構であるとよい。
さらに、好ましくは、前記ダンサーローラ機構が、保護シートに対して、互いに平行な状態で接することで張力を付加する第１ローラ及び第２ローラを有し、第１ローラが前記保護シートの一方の面に接触可能な位置に配置されると共に、第２ローラが前記保護シートの他方の面に接触可能な位置に配置されていて、前記第１ローラ及び第２ローラが、前記保護シートと接触する方向への移動が可能であるとよい。

また、好ましくは、前記保護シート搬送部を構成する少なくとも１本のローラが、前記保護シートとの接触面に粘性を有するとよい。

さらに、前記ガラスシート搬送部と前記保護シート搬送部とを別々に格納する互いに独立した２つの領域を備え、前記２つの領域がそれぞれ独立に排気されるとよい。

本発明の成膜方法によれば、ガラスフィルムの破損を抑制しながら、ガラスフィルムと保護フィルムを重ねて巻き取ることができる。

本発明の第１実施形態によるガラスフィルム搬送装置の構成を示す概略図である。 第１実施形態によるガラスフィルム搬送装置のダンサーローラ機構を示す概略図であり、（ａ）〜（ｃ）は、それぞれ変形例を示す。 本発明の第２実施形態によるガラスフィルム搬送装置の構成を示す概略図である。 本発明の第３実施形態による真空チャンバにガラスフィルム搬送装置が格納された状態での概略構成を示す図である。 本発明の第１実施形態によるガラスフィルム搬送装置の構成を示す概略図であり、（ａ）及び（ｂ）は、それぞれ変形例を示す。 本発明の第２実施形態によるガラスフィルム搬送装置の巻取調整機構の変形例を示す概略図である。

以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態によるガラスフィルム搬送装置を説明する。なお、以下に説明する各実施形態及び図面において、ガラスフィルム搬送装置における同一の構成部材には、同一の符号及び同一の名称を付すこととする。従って、同一の符号及び同一の名称が付された構成部材については、同じ説明を繰り返さない。
［第１実施形態］
図１及び図２を参照しながら、本発明の第１実施形態によるガラスフィルム搬送装置１ａについて説明する。図１は、本実施形態によるガラスフィルム搬送装置１ａの構成を示す概略図である。図２は、ガラスフィルム搬送装置１ａに用いられるダンサーローラ機構の構成を示す概略図である。

ガラスフィルム搬送装置１ａは、例えば、幅１メートルほどで、厚さ３０μｍ〜１５０μｍ程度の極めて薄いガラスフィルムがロール状に巻かれたガラスロールからガラスフィルムを巻き出す巻出し部２と、巻き出されたガラスフィルムをスパッタリングや蒸着などの表面処理を施す表面処理工程へ搬送するガラスフィルム搬送部３と、表面処理が施されたガラスフィルムを再びロール状のガラスロールとして巻き取る巻取り部４とを有している。ガラスフィルム搬送装置１ａは、例えば１００ｍ以上にわたる長尺のガラスフィルムがロール状に巻かれたガラスロールを、いわゆるロール・ツー・ロール方式で搬送する装置である。

ここで、ガラスロールにおいて、ガラスフィルムは、ガラスフィルムと略同幅に成形された樹脂製の保護シートと交互に積層されている。保護シートの厚みは、ガラスフィルムと同程度であるが、ガラスフィルムを破損や損傷から保護できる厚みがあれば、ガラスフィルムと同程度でなくてもよい。なお、ここでガラスフィルムと保護シートが略同幅であると言うのは、ガラスフィルム幅と保護シート幅の差が１００ｍｍ程度未満、より代表的な例では５０ｍｍ程度以下であることを言う。最も代表的には、ガラスフィルム幅に対して保護シート幅を５０ｍｍ程度広くし、ガラスロールが端部から偶発的に力を受けた場合にもガラスフィルムの破損を防ぐことがある。また、別の例では、ガラスフィルムの両端にエッジタブと呼ばれる保護部材が取り付けられる場合があり、この場合は、保護シートはガラスフィルムより１０−５０ｍｍ幅を狭くして、保護シートと保護部材の干渉を避ける場合もある。あるいは、ガラスフィルムと保護シートの幅を完全に同じとする場合もある。

このようにガラスフィルムと保護シートは、後述する巻出し部２の一部を構成する巻出しコアに巻回されてガラスロールとなっている。巻出しコアは、例えばステンレスやプラスチック材料などで形成されている。
巻出し部２からガラスフィルムを巻き出す際には、まずガラスフィルムと保護シートを同時に巻き出して、その後ガラスフィルムと保護シートに分離するという方法と、ガラスフィルムを先に巻き出した後に保護シートを巻き出すといった、ガラスフィルムと保護シートを交互に巻き出すという方法がある。

図１を参照しながら、本実施形態によるガラスフィルム搬送装置１ａの構成を説明する。
以下の説明では、図１の紙面に向かっての上下方向を、ガラスフィルム搬送装置１ａの上下方向とし、同じく紙面に向かっての左右方向をガラスフィルム搬送装置１ａの左右方向とする。

ガラスフィルム搬送装置１ａは、上述のように、ガラスロールからガラスフィルムを巻き出す巻出し部２と、巻き出されたガラスフィルムを表面処理工程へ搬送するガラスフィルム搬送部３と、表面処理が施されたガラスフィルムを再びロール状に巻き取る巻取り部４とを有しており、加えて、巻出し部２でガラスロールから巻き出された保護シートを搬送すると共に、巻取り部４に向けて保護シートを搬入する保護シート搬送部５ａを有している。このような構成のガラスフィルム搬送装置１ａは、例えば箱形の真空チャンバ６内に設けられている。

真空チャンバ６は、内部が空洞の筺状に形成されており、真空チャンバ６の外部に対して内部を気密的に保持するものである。図示しないが、真空チャンバ６の下側には真空ポンプが設けられており、この真空ポンプによって真空チャンバ６の内部が真空状態または低圧状態にまで減圧される。
図１に示す真空チャンバ６内の上下方向における中央部の左側上方には、ガラスロールを装着した巻出し部２が配置されている。巻出しコアは、ガラスフィルムや保護シートの
幅よりも若干全長の長い円筒状又は円柱状の巻き付け芯である。巻出しコアには、ガラスフィルムと保護シートを交互に巻回することでガラスロールが形成されている。このガラスロールを装置に取り付けることで、巻出し部２となる。

このようにガラスロールを装着した巻出し部２は、巻出しコアを取り付けた巻出し部２の回転軸が、図１の紙面に向かって垂直方向となるように真空チャンバ６内に配置されている。従って、巻出し部２は、ガラスロールからガラスフィルムと保護シートを巻き出すことによって回転軸を中心に回転運動する部材であるといえる。
図１に示す真空チャンバ６内の上下方向における中央より下側であって、巻出し部２の下方には、巻出し部２から巻き出されて保護シートから分離したガラスフィルムの表面に対して、例えばスパッタリングやプラズマＣＶＤ等の表面処理工程を実施する成膜機構部が備えられている。本実施形態では、成膜機構部の一例としてスパッタ成膜部７が備えられている。

ガラスフィルム搬送部３は、この表面処理工程を実施するスパッタ成膜部７におけるガラスフィルムの搬送部材を含んで構成されている。図１は、一般的なスパッタ成膜部７の構成の一部である成膜ロール８及びスパッタ蒸発源Ｔが示されている。
図１に示すスパッタ成膜部７の成膜ロール８は、ステンレス材料等によって円筒状又は円柱状に形成されており、曲面を形成する外周面にガラスフィルムを巻き付けて搬送する搬送部材である。成膜ロール８は、回転中心となる成膜ロール８の軸心（回転軸）が、巻出し部２の回転中心となる軸心と略平行となるように配置されている。

スパッタ蒸発源Ｔは、成膜ロール８で搬送されるガラスフィルムと対向するように、成膜ロール８の左右側に配置されている。スパッタ蒸発源Ｔは、ガラスフィルムの表面に堆積させる成分で構成された蒸発源であり、周知のとおりグロー放電によってスパッタされた（蒸発した）成分がガラスフィルムの表面へ導かれて堆積する。
上述のとおり、成膜ロール８は、表面処理工程を実施するために巻出し部２から巻き出されたガラスフィルムを搬送するものとして、ガラスフィルム搬送部３を構成している。

また、図１を参照して、ガラスフィルム搬送装置１ａは、巻出し部２と成膜ロール８との間に第１ガイドローラ９を備えている。第１ガイドローラ９は、成膜ロール８と同様にステンレス材料等によって円筒状又は円柱状に形成された部材であるが、成膜ロール８の外径よりも小さな外径の円筒又は円柱形状を有している。
第１ガイドローラ９の回転軸は、巻出し部２及び成膜ローラ８の回転軸と平行であって、真空チャンバ６の左右方向において、成膜ロール８の左端よりも真空チャンバ６の中央寄り、つまり、成膜ロール８の回転軸寄りに配置されている。第１ガイドローラ９のこの配置は、成膜ロール８に対して、常に一定の角度及び方向からガラスフィルムを搬送することを可能にする。

ガラスフィルム搬送部３は、成膜ロール８だけで構成することが可能であるが、本実施形態では、ガラスフィルム搬送部３を成膜ロール８と第１ガイドローラ９とで構成することによって、ガラスフィルム搬送経路を形成する。
図１に示す真空チャンバ６内において、図１の紙面に向かって巻出し部２の右側には、巻取り部４が配置されている。巻取り部４は、ガラスフィルム搬送部３を通って表面処理が施されたガラスフィルムを再びロール状のガラスロールとして巻き取るものである。

巻取り部４は、巻出し部２と同様に構成されており、ガラスフィルムや保護シートの幅よりも若干全長の長い円筒状又は円柱状の巻き付け芯（巻取りコア）を有している。巻取り部４は、この巻き付け芯の軸心である巻取り部４の回転軸が、図１の紙面に向かって垂直方向となるように、つまり、上述した巻出し部２や成膜ロール８などの回転軸と平行となるように真空チャンバ６内に配置されている。

このような巻取り部４は、アクチュエータなどによって回転軸を中心に回転運動することで、後述する保護シート搬送部５からの保護シートを巻き取り、ガラスフィルム搬送部３からのガラスフィルムを巻き取る。
ここで、図１に示すように、ガラスフィルム搬送装置１ａは、巻取り部４と成膜ロール８との間であって第１ガイドローラ９の右側に、第２ガイドローラ１０を備えている。第
２ガイドローラ１０は、第１ガイドローラ９と同様の構成であって、成膜ロール８と同様にステンレス材料等によって円筒状又は円柱状に形成された部材であり、第１ガイドローラ９の外径と同じ外径を有している。

第２ガイドローラ１０の回転軸は、巻取り部４及び成膜ローラ８の回転軸と平行であって、真空チャンバ６の左右方向において、成膜ロール８の右端よりも真空チャンバ６の中央寄り、つまり、成膜ロール８の回転軸寄りに配置されている。第２ガイドローラ１０のこの配置は、成膜ロール８に対して、常に一定の角度及び方向に沿ってガラスフィルムを搬出することを可能にする。

以上の説明で、ガラスフィルム搬送装置１ａにおいて、巻出し部２から巻き出されたガラスフィルムが巻取り部４に再び巻き取られるまでの構成を説明した。以下に、巻出し部２から巻き出された保護シートが巻取り部４に再びロールとして巻き取られるまでの構成を説明する。
ガラスフィルム搬送装置１ａは、巻出し部２から巻き出されたガラスフィルムから分離した保護シートを搬出すると共に、巻取り部４に向けて保護シートを搬入する保護シート搬送部５ａを備えている。

図１に示すように、保護シート搬送部５ａは、巻出し部２の上方に配置された第１保護シートローラ１１、巻取り部４の上方に配置された第２保護シートローラ１２、及び第１保護シートローラ１１と第２保護シートローラ１２のほぼ中間に配置されたダンサーローラ１３ａを有する。
第１保護シートローラ１１及び第２保護シートローラ１２は、第１ガイドローラ９及び第２ガイドローラ１０とほぼ同様の構成を有する円筒状又は円柱状のローラであり、本実施形態では、第１保護シートローラ１１及び第２保護シートローラ１２の外径は、第１ガイドローラ９及び第２ガイドローラ１０の外径よりも小さい。このような第１保護シートローラ１１及び第２保護シートローラ１２のそれぞれは、巻出し部２又は巻取り部４の直上付近で、回転軸が、巻出し部２及び巻取り部４の回転軸とほぼ平行となるように、配置されている。

ダンサーローラ１３ａは、第１保護シートローラ１１及び第２保護シートローラ１２とほぼ同様の構成を有するローラである。ダンサーローラ１３ａは、第１保護シートローラ１１と第２保護シートローラ１２のほぼ中間位置に、回転軸が第１保護シートローラ１１及び第２保護シートローラ１２の回転軸とほぼ平行となるように配置されるが、この回転軸の平行を保ちつつ上下方向に直線的な移動が可能となっている。

図２（ａ）に示すように、ダンサーローラ１３ａの上下方向の移動範囲における中間位置は、第１保護シートローラ１１及び第２保護シートローラ１２の回転軸よりも若干下方である。ダンサーローラ１３ａは、この上下方向の移動範囲内で自重又はリニアスライダによって上下に移動しつつ、第１保護シートローラ１１から第２保護シートローラ１２に架け渡された保護シートに対して、上方から保護シートの幅方向に沿って接することで加重して、保護シートの搬送方向に沿った張力を付加するダンサーローラ機構を実現している。

伸長によって保護シートの搬送経路長が長くなった場合は、搬送経路長が長くなった分だけダンサーローラ１３ａが下方に移動して、第１保護シートローラ１１と第２保護シートローラ１２の間における保護シートの搬送経路長が長くなるように調整される。逆に、収縮によって保護シートの搬送経路長が短くなった場合は、搬送経路長が短くなった分だけダンサーローラ１３ａが上方に移動して、第１保護シートローラ１１と第２保護シートローラ１２の間における保護シートの搬送経路長が短くなるように調整される。

つまり、ダンサーローラ１３ａは、保護シートの搬送経路長を適切に調整すると共に、保護シートの搬送経路長が変化しても、保護シートに対して常に張力を付加するので、保護シートの伸長による緩み及び収縮による過剰な張りを防止することができる。このように、ダンサーローラ１３ａは、安定した保護シートの搬送を実現することができる。
続いて、図１を参照しつつ、ガラスフィルム搬送装置１ａの動作を説明する。以下では、ガラスフィルム搬送装置１ａにガラスロールを搬入して各ローラに保護シート及びガラ
スフィルムを巻きかけるといった、ガラスフィルム搬送装置１ａを動作させるための準備操作の説明は省略する。

巻出し部２のガラスロールから、積層フィルムの一方のフィルムであるガラスフィルムが巻き出され、ガラスフィルム搬送部３へ搬送される。また、巻出し部２がガラスフィルムの巻き出しから約半回転した後に、積層フィルムの他方のフィルムである保護シートが巻き出され、保護シート搬送部５へ搬送される。
ガラスフィルム搬送部３へ搬送されたガラスフィルムは、第１ガイドローラ９から成膜ロール８に巻きかけられつつ、スパッタ処理などが施されることで表面処理が行われる。

表面処理が施されたガラスフィルムは、成膜ロール８から第２ガイドローラ１０へ搬送され、第２ガイドローラ１０から巻取り部４に搬送される。
このガラスフィルムの搬送と同時に、保護シートは、保護シート搬送部５に搬送されて、第１保護シートローラ１１から第２保護シートローラ１２を通過して巻取り部４へ搬送される。保護シートは、第１保護シートローラ１１から第２保護シートローラ１２へ搬送される途中で、ダンサーローラ１３ａによって張力が付加される。

図１に示すように、第２保護シートローラ１２を通過した保護シートは、巻取り部４に巻回される。巻取り部４は、保護シートが巻回されてから約半回転した後に、第２ガイドローラ１２から搬送されたガラスフィルムを先に巻回された保護シート上に巻き取って、再びガラスロールを形成する。
このように、巻取り部４は、保護シートを巻き取って直ぐにではなくある程度回転した後に、巻き取った保護シート上にガラスフィルムを巻き取っている。巻取り部４は、保護シートの巻き取りとガラスフィルムの巻き取りとをいわば時間差をもって行っている。この時間差は、巻取り部４に対する第２ガイドローラ１０及び第２保護シートローラ１２の位置関係によって実現するものであり、例えば第２ガイドローラ１０や第２保護シートローラ１２の位置を変更することで、ガラスフィルムや保護シートの特性に応じて変更することができる。

よって、巻取り部４、第２ガイドローラ１０、及び第２保護シートローラ１２によって、巻取調整機構を構成していると言える。第２保護シートローラ１２は、保護シート搬送部５ａと巻取調整機構の両方に含まれる構成部材である。
以上に説明した、ダンサーローラ機構を備えるガラスフィルム搬送装置１ａによって、巻取り部４から巻き出された樹脂製の保護シートは、真空中で収縮又は伸長しても、常に適切な搬送経路長に調整されると共に適切な張力が付加されるので、皺を生じたり波打ったりすることなく巻取り部４に巻き取られる。保護シートが皺を生じたり波打ったりすることなく巻き取られれば、保護シート上に巻き取られるガラスフィルムの破損を防ぐことができる。また、保護シートに過剰な張力が加わり、これによってガラスフィルムが破損することを防ぐことも出来る。

次に、図２を参照しながら、ダンサーローラ機構の変形例を説明する。
図２（ｂ）は、第２保護シートローラ１２の回転軸を中心に回動するダンサーローラ１３ｂを示している。図２（ｂ）では、第２保護シートローラ１２の両端側において第２保護シートローラ１２の回転軸には、該回転軸を中心に回動する平板状の２本のアーム１４の一端側が取り付けられている。２本のアーム１４の他端側には、第２保護シートローラ１２の回転軸と平行となるようにダンサーローラ１３ｂが取り付けられている。この２本のアーム１４によって、ダンサーローラ１３ｂは第２保護シートローラ１２の回転軸を中心に回動自在となり、図２（ｂ）に示すように、保護シートの上方から張力を付加することができる。ダンサーローラ１３ｂを保持する２本のアーム１４は、ダンサーローラ１３ｂの自重によって回動してもよいし、第２保護シートローラ１２の回転軸とは独立して該２本のアーム１４を回動させるアクチュエータによって回動してもよい。

ダンサーローラ機構の他の変形例として、図２（ｃ）に示すものがある。図２（ｃ）に示すダンサーローラ機構は、上述したダンサーローラ１３ｂと同様の構成の第１ローラ１３ｃと第２ローラ１３ｄを平行に保持するものである。平行に保った第１ローラ１３ｃ及び第２ローラ１３ｄを、各ローラの回転軸方向から２枚の円板１５で挟んで一体とするこ
とでダンサーローラ機構を構成する。このとき、平行に保った第１ローラ１３ｃ及び第２ローラ１３ｄの回転軸方向において、２枚の円板１５の中心が互いに対応することと、第１ローラ１３ｃ及び第２ローラ１３ｄの回転軸が各円板１５のある一本の直径上で円板１５の中心から等距離となるように、円板１５に保持されると好ましい。

また、図２（ｃ）に示すように、２枚の円板１５の中心、つまり第１ローラ１３ｃ及び第２ローラ１３ｄが一体となったダンサーローラ機構の回転軸は、２枚の円板１５の中心を貫く軸であって、第１保護シートローラ１１及び第２保護シートローラ１２の回転軸と平行となるように、第１保護シートローラ１１及び第２保護シートローラ１２のほぼ中間位置に配置される。

ダンサーローラ機構の第１ローラ１３ｃと第２ローラ１３ｄの間に保護シートを通過させた後に、ダンサーローラ機構を図２の紙面に向かって時計回りに回転トルクを与えると、第１ローラ１３ｃ及び第２ローラ１３ｄを保護シートを押圧する方向へ回転移動し、図２（ｃ−１）に示すように、保護シートに張力を付加することができる。
運転の過程で例えば保護シートの伸びが起こると、図２（ｃ−２）に示すように、ダンサーローラ機構は時計回りにさらに回転して、保護シートの伸びを吸収すると共に引続き適当な張力を付加可能である。保護シートに収縮が発生する場合には、これと逆の動作により経路長が調整される。

さらに、保護シート搬送機構５を構成するローラの少なくとも一本の表面に粘着性を持たせて、保護シートをクリーニングする機能を有するように構成してもよい。例えば、図２（ａ）の構成ならば、ダンサーローラ１３ａ、および、第１保護シートローラ１１又は第２保護シートローラ１２の一方、の表面がクリーニング機能を有すると、保護シートの両面をクリーニングすることができる。本実施形態によるガラスフィルム搬送装置１ａは、保護シートの表面に付着したダスト等の粒子を除去することによって、保護シートに付着した異物による巻き取ったガラスフィルムの破損を防止することができる。

但し、ガラスフィルムと保護シートを巻取り部４に巻き取るにあたり、巻取り部４に対するガラスフィルムの進入と保護シートの進入の位置関係を考慮無く決めると、ガラスフィルムを巻きつける前の保護シートの波打ちが残っているなどの原因により、ガラスフィルムの破損を引き起こすといった問題が生じる。
本実施形態の最後に、上述の問題を防止するための巻取り部４周辺の構造、具体的には巻取調製機構を構成する各ローラの好適な位置関係について説明する。

前述のように、巻取り部４、第２ガイドローラ１０、及び第２保護シートローラ１２によって、巻取調整機構を構成している。図１では、巻取り部４は、保護シートを巻き取って直ぐにではなくある程度回転した後に、巻き取った保護シート上にガラスフィルムを巻き取っている。巻取り部４は、保護シートの巻き取りとガラスフィルムの巻き取りとをいわば角度差をもって行っている。この角度差は、巻取り部４に対する第２ガイドローラ１０及び第２保護シートローラ１２の位置関係によって実現するものであり、例えば第２ガイドローラ１０や第２保護シートローラ１２の位置を変更することで、ガラスフィルムや保護シートの特性に応じて変更することができる。

再び、図１を参照しながら説明を行なう。本実施形態によるガラスフィルム搬送装置１ａでは、巻取調整機構が、保護シートローラ１２、巻取り部４、及び第２ガイドローラ１０で構成されており、巻取り部４は、保護シートローラ１２から供給された保護シートを巻き取った後に、所定の角度θを経過した後に、第２ガイドローラ１０からのガラスフィルムを巻き取っている。この角度θは、保護シートとガラスフィルムが巻取り部４へ供給される角度の関係によって実現するものである。

本実施形態において、巻取調整機構は、保護シートローラ１２から供給された保護シートが巻取り部４に接した後の巻取り部４の回転角θが９０°以上３１５°以下となる回転範囲において、先に巻き取られた保護シート上にガラスフィルムが積層される位置関係を保つことで、保護シート及びガラスフィルムの巻き取り状態を調整するものである。
例えば、図１において、保護シートローラ１２から供給された保護シートは巻取り部４の左側で接しているが、第２ガイドローラ１０からのガラスフィルムは巻取り部４の右側
で接するように、巻取り部４、保護シートローラ１２、及び第２ガイドローラ１０が配置されている。図１では、巻取り部４は、保護シートが巻取り部４と接する位置からガラスフィルムが巻取り部４と接する位置までに、約１８０°の回転角θを要する。

このように、保護シートが巻き取られてからガラスフィルムが巻き取られるまでの間に回転角θを設けることは、ガラスフィルムの破損を防止することを意図している。巻取り部４に巻き取られた直後の保護シートには、ガラスフィルムの破損を招くシートの波打ちが残存する可能性があるので、その波打ちが消失した後にガラスフィルムを積層するのが好ましい。保護シートが巻取り部に接触してから、ガラスフィルムの積層に適した安定的に広がった状態になるのには、経験的に９０°以上の角度を経過しているのが好ましい。一方で、保護シートを巻き取ってからガラスフィルムを巻き取るまでの回転角θが大きすぎると、逆にガラスフィルムを巻き取った直後に保護シートが接触してしまう。ガラスフィルムを巻き取った後、４５°以内で保護シートを巻きつけると、ガラスフィルムが巻取り部に十分落着いた状態で接触する前に保護シートが巻きつけられることになるので好ましくない。結果として、保護シートを巻き取ってからガラスフィルムを巻き取るまでの回転角は９０°〜３１５°の間の角度であるのが好ましい。なお、この回転角θは、保護シートやガラスフィルムの特性に応じて変更することができる。

図５を参照して、回転角θを調整するための巻付調整ローラ１９を備えた巻取調整機構について説明する。
図５（ａ）は、巻付調整ローラ１９が保護シートローラ１２と巻取り部４との間に配置された巻取調整機構の構成を示している。巻付調整ローラ１９は、保護シートローラ１２とほぼ同様の構成を有する。巻付調整ローラ１９は、保護シートローラ１２から供給される保護シートを、一旦巻取り部４よりも左側に誘導してから巻取り部４の左下側に供給している。図１と比較すると、この巻付調整ローラ１９によって、保護シートが巻取り部４と接する位置が、巻取り部４の下方側に移動しており、保護シートが巻取り部４と接する位置からガラスフィルムが巻取り部４と接する位置までの巻取り部４の回転角θは、ほぼ９０°である。

図５（ｂ）は、巻付調整ローラ１９が巻取り部４の右側方に配置された巻取調整機構の構成を示している。巻付調整ローラ１９は、保護シートローラ１２から供給される保護シートを、一旦巻取り部４の右側方に誘導してから巻取り部４の右側に供給している。これによって、保護シートが巻取り部４と接する位置は、巻取り部４の左下側であった図５（ａ）とは、まったく異なった位置に移動している。図５（ｂ）において、保護シートが巻取り部４と接する位置からガラスフィルムが巻取り部４と接する位置までの巻取り部４の回転角θは、ほぼ３１５°である。

上述のように、保護シートローラ１２から供給される保護シートを巻取り部４とは異なる位置に誘導する巻付調整ローラ１９を保護シートローラ１２と巻取り部４との間に設けることで、上述した回転角θを、保護シートやガラスフィルムの特性に応じて変更することができる。
なお、上述の保護シートとガラスフィルムが巻取り部４に供給される角度の関係は、本発明が対象とする、保護シートの搬送機構を有するガラスフィルム搬送装置以外でも有効である。たとえば、先行文献２に記載されたように、保護シートを巻出し部２近傍で回収したり、あるいは、保護シートを使用せずに巻き取ったガラスロールを巻出し部２に取り付けた場合には、巻取り側に搬送すべき保護シートが存在しない。このような場合には、保護シートの供給部を、例えば先行文献２の記載のように巻き取り部４の近傍に設ける。このような場合も、保護シート供給部から供給される保護シートを上述の角度の関係を満たすように供給すると良い。具体的には、保護シートローラ１２の位置に、代わりに保護シート供給部を設けると良い。

［第２実施形態］
図３を参照して、本発明の第２実施形態によるガラスフィルム搬送装置１ｂについて説明する。
図３は、第２実施形態によるガラスフィルム搬送装置１ｂの概略構成を示しており、巻
出し部２、成膜ロール８、巻取り部４、第１ガイドローラ９、及び第２ガイドローラ１０は、第１実施形態において同一の符号を付した構成部材と同様の構成を有している。

本実施形態によるガラスフィルム搬送装置１ｂは、第１実施形態と比較すると、ダンサーローラ機構を含む保護シート搬送部５ｂの構成及び配置が、第１実施形態の保護シート搬送部５ａとは異なっているので、以下には、ダンサーローラ機構を含む保護シート搬送部５ｂの構成及び配置について説明する。
保護シート搬送部５ｂは、第１保護シートローラ１１、第２保護シートローラ１２、ダンサーローラ１３ｅに加えて、積層ローラ１６を有している。保護シート搬送部５ｂの第１保護シートローラ１１、第２保護シートローラ１２、ダンサーローラ１３ｅは、配置される位置が第１実施形態とは異なり、巻出し部２、巻取り部４より下方に設置されるが、同様の機能を行なう。

積層ローラ１６は、第２ガイドローラ１０とほぼ同様の構成を有しており、巻取り部４と第２ガイドローラ１０の間で、巻取り部４及び第２ガイドローラ１０と平行となるように設けられている。保護シート搬送部５ｂで移送された保護シートは、積層ローラ１６に下側から巻き付いて搬送方向を変え、積層ローラ１６上でガラスフィルム搬送部３から搬送されたガラスフィルムと重なり合って積層され、巻取り部４に搬送される。巻取り部４は、積層ローラ１６から搬送された積層フィルムを巻き取って、ガラスロールを形成する。

図３に示すように、保護シート搬送部５ｂは、第１実施形態において図２（ａ）に示したダンサーローラ機構と同様に第１保護シートローラ１１、第２保護シートローラ１２の間に上下方向に直線的な移動が可能なダンサーローラ１３ｅを有している。本実施形態において、ダンサーローラ１３ｅは、アクチュエータによって上方から下方に向かって移動することで、保護シートと幅方向に沿って接触し保護シートに張力を付加するものである。

本実施形態によるガラスフィルム搬送装置１ｂにおいても、巻取り部４から巻き出された樹脂製の保護シートは、真空中で収縮又は伸長しても、ダンサーローラ機構によって、常に適切な搬送経路長に調整されると共に適切な張力が付加されるので、皺を生じたり波打ったりすることなく積層ローラ１６に巻き付く。保護シートが皺を生じたり波打ったりすることなく積層ローラ１６に巻き付けば、保護シート上に積層されるガラスフィルムの破損を防ぐことができる。

このように、巻取り部４は、積層ローラ１６で保護シートとガラスフィルムが積層された積層フィルムを巻き取っている。積層ローラ１６は、保護シートの巻き取りとガラスフィルムの巻き取りとを若干の時間差をもって行っており、この時間差は、積層ローラ１６に対する第２ガイドローラ１０の位置関係によって実現するものである。したがって、この時間差は、第２ガイドローラ１０や積層ローラ１６の位置を変更することで、ガラスフィルムや保護シートの特性に応じて変更することができる。

よって、巻取り部４、第２ガイドローラ１０、及び積層ローラ１６によって、巻取調整機構を構成していると言える。積層ローラ１６は、保護シート搬送部５ｂと巻取調整機構の両方に含まれる構成部材である。
但し、ガラスフィルムと保護シートを積層ローラ１６で重ねるにあたり、積層ローラ１６に対するガラスフィルムの進入と保護シートの進入の位置関係を考慮無く決めると、ガラスフィルムを巻きつける前の保護シートの波打ちが残っているなどの原因により、ガラスフィルムの破損を引き起こす問題が生じる。

続いて、上述の問題を防止するための積層ローラ１６周辺の構造、具体的には巻取調製機構を構成する各ローラの好適な位置関係について説明する。
前述のように、巻取り部４、第２ガイドローラ１０、及び第２保護シートローラ１２によって、巻取調整機構が構成されている。図３では、積層ローラ１６上で、保護シートを巻き付けて直ぐにではなくある程度回転した後に、巻き付けた保護シート上にガラスフィルムを巻き重ねている。積層ローラ１６上では、保護シートの巻き付けと、その上へのガラスフィルムの巻き重ねを角度差をもって行っている。この角度差は、積層ローラ１６に
対する第２ガイドローラ１０、第２保護シートローラ１２および巻取り部４の位置関係によって実現するものであり、例えば第２ガイドローラ１０や、第２保護シートローラの位置の変更によって、ガラスフィルムや保護シートの特性に応じて変更することができる。

再び、図３を参照しながら説明を行なう。本実施形態によるガラスフィルム搬送装置１ｂでは、巻取調整機構が、積層ローラ１６、第２保護シートローラ１２、巻取り部４、及び第２ガイドローラ１０で構成されており、積層ローラ１６、第２保護シートローラ１２から供給された保護シートを巻き付けた後に、所定の回転角θを経過した後に、第２ガイドローラ１０からのガラスフィルムを巻き重ねており、次に、所定の回転角η分巻き重ねた状態で積層ローラ上で搬送を行い、その後、ガラスフィルムと保護シートが積層された状態で、巻取り部４へ向かう。この回転角θと回転角ηは、保護シートとガラスフィルムが積層ローラ１６へ供給される角度と、巻取り部４へと向かう角度との関係によって実現するものである。

本実施形態において、巻取調整機構は、第２保護シートローラ１２から供給された保護シートが積層ローラ１６上で回転角θ（第１の回転角）が４５°以上巻きつけられた後に、先に巻き取られた保護シート上にガラスフィルムが積層され、かつ、保護シートとガラスフィルムが積層された状態が積層ローラ１６上で保持される回転角η（第２の回転角）が３０°以上９０°以下（３０°〜９０°）の範囲であり、かつ、保護フィルムが積層ローラ１６に巻き付いた回転角（すなわち、第１の回転角と第２の回転角の和（回転角θ＋回転角η））を２７０°未満とする位置関係を保つことで、保護シート及びガラスフィルムの巻き取り状態を調整するものである。

本実施形態において、巻取調整機構は、第２保護シートローラ１２から供給された保護シートが積層ローラ１６の回転角θが４５°以上、好ましくは６０°以上となる回転範囲において、ガラスフィルムが保護シート上に積層される位置関係を保ちつつ、保護シート及びガラスフィルムの巻き取り状態を調整するものである。
本願の発明者らは、積層ローラ１６上では、第１実施形態のようにガラスロール上に巻き付けた場合に比べて、保護シートの波打ちが消失するのが早いという事実を、実験を通して知見している。具体的には、保護シートが積層ローラ１６に接してから積層ローラ１６の回転角にして４５°程度搬送されれば、保護シートが積層ローラ１６上にうねりや皺がなく広がることを知見している。

これに加えて、積層ローラ１６の温度を、例えば−２０℃〜８０℃程度となるように調整しておけば、積層ローラ１６に接している保護シートは、表面処理工程で高温となったガラスフィルムが積層されても、熱によるダメージを受けることがない。
さらに、本実施形態における巻取調整機構では、積層ローラ１６上で保護シートとガラスフィルムとが積層されて積層フィルムとなった後に、積層フィルムを、さらに積層ローラ１６の所定の回転角η（回転角ηが３０°以上９０°以下となる回転範囲）だけ積層ローラ１６上で積層ローラ１６との接触を保ちつつ搬送した後に、積層ローラ１６から離脱させて巻取り部４に供給する。回転角ηは３０°未満ではガラスフィルムと保護シートの重ね合せが安定化する前に積層ローラを離れてしまい、積層フィルムとして安定しない。一方で、９０°以上の角度で重ねると経験的に破損の可能性が高まる。

ここで、巻取調整機構は、上述の２つの回転角の和、つまり、保護シートが積層ローラ１６に接した後ガラスフィルムが保護シート上に積層されるまでの積層ローラ１６の回転角θと、積層ローラ１０上で積層フィルムが積層ローラ１０との接触を保つ回転角ηとの和（θ+η）が、２７０°以下となるように構成されるとよい。これは、２７０°を超えると機械的な構造に無理が生じるためである。

なお、巻取り部４のガラスロールの直径は、積層フィルムを巻き取るにつれて大きくなる。このような変動があった場合にも、上述の角度の関係が満たされるように、各機構の配置は考慮されるべきである。
このように、本実施形態によるガラスフィルム搬送装置１ｂは、積層ローラ１６に保護シートが巻き取られてからガラスフィルムが巻き取られるまでの間に回転角θを設けると共に、積層ローラ１６上において積層フィルムを得た後に該積層フィルムを巻取り部４に
供給するまでの間に回転角ηを設ける構成の巻取調整機構を有することを特徴としている。

巻取調整機構のこのような構成は、ガラスフィルムの破損を防止することを意図している。積層ローラ１６に巻き取られた直後の保護シートには、ガラスフィルムの破損を招く波打ちが存在する可能性があるので、その波打ちが消失した後にガラスフィルムを積層するのが好ましい。また、積層フィルムは、保護シートとガラスフィルムが十分に馴染んだ後に巻き取られるのが好ましい。本実施形態では、まず、巻き取られた保護シートの波打ちが消失するのに必要な積層ローラ１６の回転角θを確保すると共に、積層された保護シートとガラスフィルムが互いに馴染むのに必要な時間差を積層ローラ１６の回転角ηとして確保している。なお、これらの回転角θ、回転角ηは、保護シートやガラスフィルムの特性に応じて変更することができる。

図６を参照して、上記２つの角度のうち、巻き取られた保護シートの波打ちが消失するのに必要な回転角θを調整するための巻付調整ローラ２０を備えた巻取調整機構について説明する。
図６は、本実施形態における巻取調整機構の構成を示しており、第２保護シートローラ１２とほぼ同様の構成を有する巻付調整ローラ２０が、保護シートローラ１２の右方で、積層ローラ１０の若干上方に配置されている。巻付調整ローラ２０は、第２保護シートローラ１２から供給される保護シートを、一旦積層ローラ１０よりも上方に誘導してから積層ローラ１０の左側に供給している。

図３と比較すると、この巻付調整ローラ２０によって、保護シートが積層ローラ１０と接する位置が、積層ローラ１６の右側上方へと変化しており、保護シートが積層ローラ１６と接する位置からガラスフィルムが接触する位置までの回転角θが、約９０°から約１３５°へと変化している。巻付調整ローラ２０は、この回転角θを変化させることで、巻き取られた保護シートの波打ちが完全に消失する走行長を実現する。

上述のように、保護シートローラ１２から供給される保護シートを一旦積層ローラ１６とは異なる位置に誘導する巻付調整ローラ２０を、第２保護シートローラ１２と積層ローラ１０との間に設けることで、上述した回転角θを保護シートやガラスフィルムの特性に応じて変更することができる。
あるいは、巻付調整ローラ２０の替りに、第２保護シートローラ１２の位置を変更することも可能である。

なお、上述の保護シートとガラスフィルムが積層ロール１６に供給され、さらに、巻取り部４に供給される角度の関係は、本発明が対象とする、保護シートの搬送機構を有するガラスフィルム搬送装置以外でも有効である。たとえば、先行文献２に記載されたように、保護シートを巻出し部２近傍で回収したり、あるいは、保護シートを使用せずに巻き取ったガラスロールを巻出し部２に取り付けた場合には、巻取り側に搬送すべき保護シートが存在しない。このような場合には、保護シートの供給部を巻き取り部４の近傍に別途設けると良い。このような場合も、保護シート供給部から供給される保護シートを上述の角度の関係を満たすように供給する。具体的には、第２保護シートローラ１２の位置に、保護シート供給部を設けると良い。

［第３実施形態］
図４を参照して、本発明の第３実施形態について説明する。図４は、第１実施形態で説明したガラスフィルム搬送装置１ａが、チャンバ隔壁Ｐを有する真空チャンバ６に格納された状態での概略構成を示しており、真空チャンバ６がチャンバ隔壁Ｐを有する点が第１実施形態とは異なっている。

図４に示す真空チャンバ６は、上下方向におけるほぼ中央で、第１ガイドロール９及び第２ガイドロール１０が配置された位置にチャンバ隔壁Ｐを有している。
このチャンバ隔壁Ｐは、第１ガイドロール９及び第２ガイドロール１０と干渉しないように、真空チャンバ６内の左側の側壁から右側の側壁にわたって形成されており、真空チャンバ６の上領域と下領域を仕切っている。真空チャンバ６の上領域は上方に設けられた真空ポンプによって減圧され、真空チャンバ６の下領域は下方に設けられた真空ポンプに
よって減圧される。

このチャンバ隔壁Ｐによって、表面処理工程を実施するスパッタ成膜部７を保護シート搬送部５ａから隔離することができ、成膜によって発生した剥離した皮膜のフレークなどのダストが保護シート搬送部５ａの保護シートに付着するのを防ぐことができるので、保護シートに付着したダストによって保護シート上に積層したガラスフィルムが破損するといった事態を回避することができる。

また、減圧に伴って保護フィルムから水蒸気、及び有機物成分等のアウトガス成分が放出されるが、チャンバ隔壁Ｐを設けることによって、アウトガス成分のスパッタ成膜部７周辺への移動を抑制することができ、アウトガス成分が成膜などの処理に与える影響を最小限にすることができる。
ところで、今回開示された実施形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。特に、今回開示された実施形態において、明示的に開示されていない事項、例えば、動作条件や測定条件、各種パラメータ、構成物の寸法、重量、体積などは、当業者が通常実施する範囲を逸脱するものではなく、通常の当業者であれば、容易に想定することが可能な値を採用している。

１ａ〜１ｄ ガラスフィルム搬送装置
２ 巻取り部
３ ガラスフィルム搬送部
４ 巻取り部
５ａ〜５ｂ 保護シート搬送部
６ 真空チャンバ
７ スパッタ装置
８ 成膜ロール
９ 第１ガイドローラ
１０ 第２ガイドローラ（積層ローラ）
１１ 第１保護シートローラ
１２ 第２保護シートローラ
１３ａ〜１３ｅ ダンサーローラ
１４ アーム
１５ 円板
１６ 積層ローラ
１９ 巻付調整ローラ
２０ 巻付調整ローラ
Ｐ チャンバ隔壁
Ｔ スパッタ蒸発源

Claims (6)

1. 長尺のガラスフィルムを連続的に搬送するガラスフィルム搬送装置であって、
   長尺の保護シートが積層された前記ガラスフィルムを巻回したロールから、該ガラスフィルムを巻き出す巻出し部と、前記巻出し部から巻き出されて前記保護シートから分離したガラスフィルムを搬送するガラスフィルム搬送部と、前記ガラスフィルム搬送部によって搬送されたガラスフィルムに、前記保護シートを積層しつつロール状に巻き取る巻取り部と、前記巻出し部から巻き出されたガラスフィルムから分離した保護シートを搬出すると共に、前記巻取り部に向けて保護シートを搬入する保護シート搬送部と、を備え、前記巻取り部における保護シート及びガラスフィルムの巻き取り状態を調整する巻取調整機構を有するものであって、
   前記保護シート搬送部が、前記保護シート搬送部で搬送中の保護シートに対して該保護シートの幅方向に沿って接することで張力を付加すると共に、保護シート搬送部における保護シートの搬送経路の経路長を調整する経路長調整機構を有し、
   前記巻取調整機構は、前記巻取り部に保護シートが接した後の回転角が９０°以上３１５°以下となる回転範囲において前記ガラスフィルムが前記保護シート上に積層される位置関係を保ちつつ、保護シート及びガラスフィルムの巻き取り状態を調整する
   ことを特徴とするガラスフィルム搬送装置。
2. 長尺のガラスフィルムを連続的に搬送するガラスフィルム搬送装置であって、
   長尺の保護シートが積層された前記ガラスフィルムを巻回したロールから、該ガラスフィルムを巻き出す巻出し部と、前記巻出し部から巻き出されて前記保護シートから分離したガラスフィルムを搬送するガラスフィルム搬送部と、前記ガラスフィルム搬送部によって搬送されたガラスフィルムに、前記保護シートを積層しつつロール状に巻き取る巻取り部と、前記巻出し部から巻き出されたガラスフィルムから分離した保護シートを搬出すると共に、前記巻取り部に向けて保護シートを搬入する保護シート搬送部と、を備え、前記巻取り部における保護シート及びガラスフィルムの巻き取り状態を調整する巻取調整機構を有するものであって、
   前記保護シート搬送部が、前記保護シート搬送部で搬送中の保護シートに対して該保護シートの幅方向に沿って接することで張力を付加すると共に、保護シート搬送部における保護シートの搬送経路の経路長を調整する経路長調整機構を有し、
   前記巻取調整機構は、前記保護シート搬送部によって搬送された保護シート上に前記ガラス搬送部によって搬送されたガラスフィルムを積層する積層ローラを有し、前記積層ローラに前記保護シートが接した後の前記積層ローラの第１の回転角が４５°以上となる回転範囲において、前記ガラスフィルムが前記保護シート上に積層され、該積層の後の前記積層ローラの第２の回転角が３０°以上９０°以下となる回転範囲において、前記ガラスフィルムが積層された保護シートは、前記積層ローラとの接触を保ちつつ搬送された後に前記積層ローラから離脱し、かつ、前記第１の回転角と前記第２の回転角の和が２７０°以下である
   ことを特徴とするガラスフィルム搬送装置。
3. 前記経路長調整機構がダンサーローラ機構であることを特徴とする請求項１又は２に記載のガラスフィルム搬送装置。
4. 前記ダンサーローラ機構が、保護シートに対して、互いに平行な状態で接することで張力を付加する第１ローラ及び第２ローラを有し、第１ローラが前記保護シートの一方の面に接触可能な位置に配置されると共に、第２ローラが前記保護シートの他方の面に接触可能な位置に配置されていて、
   前記第１ローラ及び第２ローラが、前記保護シートと接触する方向への移動が可能であることを特徴とする請求項１〜３のいずれかに記載のガラスフィルム搬送装置。
5. 前記保護シート搬送部を構成する少なくとも１本のローラが、前記保護シートとの接触面に粘性を有することを特徴とする１〜４のいずれかに記載のガラスフィルム搬送装置。
6. 前記ガラスシート搬送部と前記保護シート搬送部とを別々に格納する互いに独立した２つの領域を備え、
   前記２つの領域がそれぞれ独立に排気されることを特徴とする請求項１〜５のいずれかに記載のガラスフィルム搬送装置。

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