TWI505982B - Glass film conveying device - Google Patents

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TWI505982B
TWI505982B TW102127113A TW102127113A TWI505982B TW I505982 B TWI505982 B TW I505982B TW 102127113 A TW102127113 A TW 102127113A TW 102127113 A TW102127113 A TW 102127113A TW I505982 B TWI505982 B TW I505982B
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Hiroshi Tamagaki
Yoshimitsu Ikari
Naoki Ohba
Takeshi Sakurai
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Kobe Steel Ltd
Nippon Electric Glass Co
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Description

玻璃薄膜搬送裝置
本發明係關於具可撓性且可捲繞成捲筒狀的薄膜玻璃(玻璃薄膜)之搬送裝置。
近年，作為顯示影像等之顯示裝置用的基板材料，使用氣體屏蔽性、透光性等優良之薄膜玻璃亦即玻璃薄膜。現在，一般的玻璃薄膜之厚度為200μm左右，但，在最近開發較200μm更薄之厚度為30μm至150μm左右之極薄的玻璃薄膜。
這種極薄的玻璃薄膜係因其薄度而具有可撓性，所以，可作為將玻璃薄膜捲繞成滾筒狀之玻璃卷加以處理。玻璃卷係具有為了防止捲繞成滾筒狀的玻璃薄膜與鄰接於內周側及外周側之玻璃薄膜接觸而產生破損，在鄰接的玻璃薄膜間夾入有保護薄片(例如，保護薄膜)之玻璃卷。
專利文獻1係揭示有在鄰接的玻璃薄膜夾入有保護薄片的玻璃卷之製造方法。
專利文獻1所揭示的玻璃卷之製造方法係藉由下拉法成形玻璃薄膜，並且將該成形的玻璃薄膜重疊於保護薄片 而捲繞成捲筒狀的玻璃卷之製造方法。此製造方法的特徵係一邊對前述保護薄片賦予較前述玻璃薄膜更大的捲取方向之張力，一邊捲取前述玻璃薄膜與前述保護薄片。
作為對這種具有可撓性的玻璃薄膜有效地實施各種處理之方法，被提案有各種技術，亦即，從將長條狀的玻璃薄膜捲繞成捲筒狀的玻璃卷捲出玻璃薄膜，再以捲軸(Roll To Roll)方式搬送，並在其表面實施塗佈等的各種處理之技術。
作為對此玻璃薄膜的表面之各種處理，具有例如真空蒸鍍、濺鍍等，在減壓至真空壓附近之真空容器內進行的處理。在減壓至真空壓附近之容器內，會因壓力變化產生各種影響。因此，考量所產生的影響，被提案有一邊搬送玻璃薄膜一邊實施真空蒸鍍、濺鍍等的處理(表面處理)之各種技術。
專利文獻2係揭示在真空壓附近下搬送薄膜玻璃之薄膜玻璃的搬送裝置。
專利文獻2所揭示的薄膜玻璃的搬送裝置係具備可控制真空容器內的壓力之壓力控制手段，在被減壓至真空壓附近的前述真空容器內搬送長條狀的薄膜玻璃之薄膜玻璃的搬送裝置。在此搬送裝置，前述壓力控制手段係在將捲筒狀的前述薄膜玻璃配置在前述真空容器的狀態下，花費3分鐘以上的時間將前述真空容器內的壓力減壓至10000Pa後再減壓至真空壓附近。
在此薄膜玻璃的搬送裝置，在以前述條件減壓後，於 捲出時，將夾入於玻璃卷的薄膜玻璃間之保護薄膜自薄膜玻璃取下，又，捲取實施有表面處理的薄膜玻璃時，在薄膜玻璃間夾入其他保護薄膜而將薄膜玻璃捲取成捲筒狀。
又，專利文獻3係揭示有將層積有保護材並捲繞成捲筒狀的基材從保護材分離並加以捲出，再將捲出的保護材再次與實施有成膜處理的基材一同捲取成捲筒狀之連續成膜裝置。
專利文獻3所揭示的連續成膜裝置係具有：用來保持層積有保護材並捲繞成捲筒狀的基材，又將前述基材與保護材一同捲出之捲出滾子；具備有將自前述捲出滾子與前述保護材一同捲出的基材可旋轉地支承為與前述保護材接觸並朝下游側搬送的捲出側支承滾子之捲出部；具備有將掛設於前述捲出側支承滾子之基材可自由旋轉地支承並朝下游側搬送的捲取側支承滾子；具備有經由前述捲取側支承滾子捲取前述基材的捲取滾子之捲取部；及對在自前述捲出側支承滾子朝前述捲取側支承滾子施加了張力的狀態下被連續地搬送的基材表面進行成膜的成膜源。且，此連續成膜裝置係具有保護材分離供給部。保護材分離供給部係具備有：當前述基材與保護材一同通過前述捲出側支承滾子之際，將保護材自前述基材分離並朝捲取側加以搬送的保護材分離搬送手段；及保護材搬送供給手段，該保護材搬送供給手段是朝前述基材，將當成膜後的基材被支承於前述捲取側支承滾子之際藉由前述保護材分離搬送手段所分離搬送的保護材一邊搬送一邊供給，使其接觸於前述 捲取側支承滾子，並且層積於前述基材。
若依據此連續成膜裝置，在基材不會產生缺陷並可形成皮膜。
專利文獻3的連續成膜裝置並非意圖進行尤其以玻璃薄膜為對象之處理的裝置。但，此裝置的結構，亦即，將保護材從成膜對象物予以分離搬送，當進行捲取之際加以重疊並捲取之結構，可理想地作為將專利文獻1所記載的玻璃薄膜與保護薄片重疊之玻璃卷的成膜裝置的結構。
對藉由專利文獻1的製造方法所製造的薄膜玻璃(薄膜玻璃)，實施表面處理等，可考量採用專利文獻3的連續成膜裝置之情況。
在此，專利文獻3的連續成膜裝置係以基材及保護材均為樹脂系材料為前提而設計的。因此，作為專利文獻3的連續成膜裝置之基材，當採用如專利文獻2這種無機物之薄膜玻璃時，會產生以下的問題。
亦即，當在真空中搬送樹脂系材料之保護材(保護薄膜)時，其內部所含的水分、有機成分等會蒸發，造成保護薄膜收縮。另外，無機物之玻璃薄膜不會收縮。因此，如專利文獻3的連續成膜裝置，當將捲出的保護薄膜再次與玻璃薄膜一同捲取成捲筒狀時，保護薄膜會因收縮而成為較玻璃薄膜短，造成過多的力量施加至玻璃薄膜，或因過多的張力產生強皺紋，造成玻璃薄膜破損之虞。
又相反地，樹脂系材料之保護薄膜亦會依材質、厚度等，有因所施加的張力而延伸之情況。在此情況，亦會有 當捲取保護薄膜時，保護薄膜鬆弛，使得保護薄膜產生波紋而會因形成該波紋的保護薄膜之凹凸造成玻璃薄膜破損之虞。
亦即，在以玻璃薄膜為處理對象之情況，當將樹脂製的保護薄膜與玻璃薄膜重疊並捲取之際，僅單純將該等薄膜予以捲繞重疊的結構，會有因捲取保護薄膜時的稍許起伏而使玻璃薄膜破損之虞。
[先行技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開2011-201765號公報
[專利文獻2]日本特開2012-1405號公報
[專利文獻3]日本特開2008-189957號公報
本發明的目的係在於提供既可抑制玻璃薄膜的破損，又能夠將玻璃薄膜與保護薄膜予以重疊並捲繞之玻璃薄膜搬送裝置。
本發明的玻璃薄膜搬送裝置，係用來連續地搬送長條狀的玻璃薄膜之玻璃薄膜搬送裝置，其特徵為：具備有：自捲繞有層積著長條狀的保護薄片之前述玻璃薄膜的玻璃卷捲出該玻璃薄膜的捲出部；玻璃薄膜搬送部，該玻璃薄膜搬送部是搬送自前述捲出部所捲出並自前述保護薄片所分離之前述玻璃薄膜； 捲取部，該捲取部是對藉由前述玻璃薄膜搬送部所搬送的前述玻璃薄膜，一邊層積前述保護薄片一邊捲取成捲筒狀；保護薄片搬送部，該保護薄片搬送部是將從由前述捲出部所捲出的前述玻璃薄膜分離之前述保護薄片予以搬出，並且朝前述捲取部搬入保護薄片；及調整前述捲取部中之前述保護薄片及前述玻璃薄膜的捲取狀態的捲取調整機構。
1a‧‧‧玻璃薄膜搬送裝置
1b‧‧‧玻璃薄膜搬送裝置
2‧‧‧捲出部
2a‧‧‧捲出芯棒
3‧‧‧玻璃薄膜搬送部
4‧‧‧捲取部
5a‧‧‧保護薄片搬送部
5b‧‧‧保護薄片搬送部
6‧‧‧真空室
7‧‧‧濺鍍成膜部
8‧‧‧成膜滾子
9‧‧‧第1導引滾子
10‧‧‧第2導引滾子
11‧‧‧第1保護薄片滾子
12‧‧‧第2保護薄片滾子
13a‧‧‧跳動滾子
13e‧‧‧跳動滾子
14‧‧‧臂
15‧‧‧圓板
16‧‧‧層積滾子
19‧‧‧捲裝調整滾子
20‧‧‧捲裝調整滾子
GF‧‧‧玻璃薄膜
LF‧‧‧層積薄膜
P‧‧‧室隔壁
PF‧‧‧保護薄片
T‧‧‧濺鍍蒸發源
R1‧‧‧玻璃卷
R2‧‧‧玻璃卷
圖1係顯示本發明的第1實施形態之玻璃薄膜搬送裝置的結構之示意圖。
圖2係顯示第1實施形態之玻璃薄膜搬送裝置的跳動滾子機構之示意圖。其中，圖2(a)至圖2(c)係分別顯示變形例。
圖3係顯示本發明的第2實施形態之玻璃薄膜搬送裝置的結構之示意圖。
圖4係顯示本發明的第3實施形態之真空室中收納玻璃薄膜搬送裝置的狀態之概略結構的圖。
圖5係顯示本發明的第1實施形態之玻璃薄膜搬送裝置的結構之示意圖。其中，圖5(a)及圖5(b)係分別顯示變形例。
圖6係顯示本發明的第2實施形態之玻璃薄膜搬送裝置的捲取調整機構的變形例之示意圖。
以下，參照圖面，說明本發明的實施形態之玻璃薄膜搬送裝置。再者，在以下進行說明的各實施形態及圖面中，對玻璃薄膜搬送裝置之相同的結構構件賦予相同符號及相同名稱。因此，對賦予相同符號及相同名稱的構成構件省略相同說明。
<第1實施形態>
參照圖1及圖2，說明關於本發明的第1實施形態之玻璃薄膜搬送裝置1a。圖1係顯示本實施形態之玻璃薄膜搬送裝置1a的結構之示意圖。圖2係顯示用於玻璃薄膜搬送裝置1a的跳動滾子機構的結構之示意圖。
玻璃薄膜搬送裝置1a係具有：從將例如寬度1公尺左右、厚度30μm~150μm左右之極薄的玻璃薄膜GF捲繞成捲筒狀的玻璃薄膜R1捲出玻璃薄膜GF之捲出部2；將被捲出的玻璃薄膜GF朝濺鍍、蒸鍍等之表面處理的表面處理製程搬送之玻璃薄膜搬送部3；及將實施有表面處理的玻璃薄膜GF再次作為捲筒狀的玻璃卷R2予以捲取之捲取部4。玻璃薄膜搬送裝置1a係為自例如100m以上之長條狀的玻璃薄膜GF被捲繞成捲筒狀的玻璃卷R1捲出玻璃薄膜GF，再以所謂的捲軸方式加以搬送之裝置。
在玻璃卷R1，玻璃薄膜GF是和成形為與玻璃薄膜GF略同寬度之樹脂製保護薄片PF交互地層積。保護薄片 PF的厚度係與玻璃薄膜GF相同程度，但若為可保護玻璃薄膜GF不會受到破損、損傷等之厚度，則可與玻璃薄膜GF非相同程度。再者，在此，玻璃薄膜GF與保護薄片PF大致相同寬度係指玻璃薄膜寬度與保護薄片寬度之差是未滿100mm左右，更代表性的例子為50mm程度以下。最代表性的例子為對玻璃薄膜寬度，將保護薄片寬度擴大50mm左右，即使在玻璃卷從端部承受到偶發性力量的情況亦可防止玻璃薄膜GF破損。又，在其他的例子，亦有在玻璃薄膜GF的兩端安裝被稱為邊標籤的保護構件之情況。在此情況，亦有保護薄片PF作成為較玻璃薄膜GF寬度窄10-50mm，避免保護薄片PF與保護構件的干涉之情況。或，亦有將玻璃薄膜GF與保護薄片PF的寬度作成完全相同之情況。
如此，玻璃薄膜GF與保護薄片PF被捲繞於構成後述的捲出部2的一部分之捲出芯棒2a而成為玻璃卷R1。捲出芯棒2a係以例如不銹鋼、塑膠材料等所形成。
當自捲出部2捲出玻璃薄膜GF之際，具有：首先，將玻璃薄膜GF與保護薄片PF同時捲出，然後，分離成玻璃薄膜GF與保護薄片PF之方法；和在將玻璃薄膜GF先捲出後，再捲出保護薄片PF之交互地捲出玻璃薄膜GF與保護薄片PF的方法。
以下，參照圖1，說明本實施形態之玻璃薄膜搬送裝置1a的結構。在以下的說明，將朝向圖1的紙面之上下方向作為玻璃薄膜搬送裝置1a的上下方向，同樣地將朝 向紙面的左右方向作為玻璃薄膜搬送裝置1a的左右方向。
玻璃薄膜搬送裝置1a係如上述般，具有：自玻璃卷R1捲出玻璃薄膜GF之捲出部2；將捲出的玻璃薄膜GF朝表面處理製程搬送之玻璃薄膜搬送部3；及將實施有表面處理的玻璃薄膜GF再次捲取成捲筒狀的捲取部4。且，玻璃薄膜搬送裝置1a係具備搬出由捲出部2從玻璃卷R1所捲出的保護薄片PF並且朝捲取部4搬入保護薄片PF之保護薄片搬送部5a。具有這樣結構之玻璃薄膜搬送裝置1a係設在例如箱型的真空室6內。
真空室6係形成為內部空洞的框狀，對真空室6的外部將內部氣密地保持之真空室。雖未圖示，在真空室6的下側設有真空泵浦，藉由此真空泵浦，將真空室6的內部減壓至真空狀態或低壓狀態。
在圖1所示的真空室6內的上下方向之中央部的左側上方，配置有裝設玻璃卷之捲出部2。捲出芯棒2a係為具備有全長較玻璃薄膜GF、保護薄膜PF等的寬度若干長之圓筒狀或圓柱狀的捲繞芯。在捲出芯棒2a，藉由交互地捲繞玻璃薄膜GF與保護薄片PF，形成玻璃卷R1。藉由將此玻璃卷R1安裝於真空室6內，成為捲出部2。
如此，裝設有玻璃卷R1的捲出部2係以安裝有捲出芯棒2a的捲出部2的旋轉軸朝向圖1的紙面成為垂直方向的方式，配置在真空室6內。因此，捲出部2係藉由從玻璃卷R1捲出玻璃薄膜GF與保護薄片PF，以旋轉軸為 中心進行旋轉運動之構件。
在如圖1所示的真空室6內的上下方向之中央更下側且為捲出部2的下方，具備有成膜機構部，該成膜機構部是對自捲出部2捲出而自保護薄片PF分離的玻璃薄膜GF之表面，實施例如濺鍍、電漿CVD等的表面處理製程。在本實施形態，作為成膜機構部的一例，具有濺鍍成膜部7。
玻璃薄膜搬送部3係包含實施此表面處理製程的濺鍍成膜部7之玻璃薄膜GF的搬送構件。圖1係顯示一般的濺鍍成膜部7的結構之一部分的成膜滾子8及濺鍍蒸發源T。
圖1所示的濺鍍成膜部7的成膜滾子8係藉由不銹鋼材料等形成為圓筒狀或圓柱狀，在形成曲面的外周面將玻璃薄膜GF予以捲繞並搬送之搬送構件。成膜滾子8係配置成：成為旋轉中心的成膜滾子8的軸心(旋轉軸)形成為與成為捲出部2的旋轉中心之軸心略平行。
濺鍍蒸發源T係配置在成膜滾子8的左右側，與以成膜滾子8所搬送的玻璃薄膜GF相對向。濺鍍蒸發源T係為以堆積於玻璃薄膜GF的表面之成分所構成的蒸發源。濺鍍蒸發源T係如習知般，藉由輝光放電所濺鍍(蒸發)的成分朝玻璃薄膜GF的表面被導引並堆積。
如上述般，成膜滾子8係作為為了實施表面處理製程而搬送自捲出部2所捲出的玻璃薄膜GF的構件，構成玻璃薄膜搬送部3。
又，參照圖1，玻璃薄膜搬送裝置1a係在捲出部2與成膜滾子8之間具備有第1導引滾子9。第1導引滾子9係與成膜滾子8同樣地，藉由不銹鋼材料等形成為圓筒狀或圓柱狀之構件。第1導引滾子9係具有較成膜滾子8的外徑更小的外徑之圓筒或圓柱狀。
第1導引滾子9的旋轉軸係與捲出部2及成膜滾子8的旋轉軸呈平行，並且在真空室6的左右方向，配置在比起成膜滾子8的左端更靠近真空室6的中央，亦即配置在靠近成膜滾子8的旋轉軸之位置。第1導引滾子9的該配置能夠對成膜滾子8，始終從一定的角度及方向搬送玻璃薄膜GF。
玻璃薄膜搬送部3係能僅以成膜滾子8所構成，但在本實施形態，玻璃薄膜搬送部3藉由成膜滾子8與第1導引滾子9構成，形成玻璃薄膜搬送路徑。
在如圖1所示的真空室6內，在朝向圖1的紙面時捲出部2的右側，配置有捲取部4。捲取部4係透過玻璃薄膜搬送部3，將實施有表面處理的玻璃薄膜GF再次作為捲筒狀的玻璃卷R2予以捲取。
捲取部4係以與捲出部2同樣地構成，具有全長較玻璃薄膜GF、保護薄片PF等的寬度若干長之圓筒狀或圓柱狀的捲繞芯之捲取芯棒4a。捲取部4係以此捲繞芯的軸心之捲取部4的旋轉軸朝向圖1的紙面成為垂直方向，亦即，以與前述捲出部2、成膜滾子8等的旋轉軸呈平行的方式配置在真空室6內。
這樣的捲取部4係利用藉由致動器等以旋轉軸為中心進行旋轉運動，捲取來自於後述的保護薄片搬送部5之保護薄片PF，並捲取來自於玻璃薄膜搬送部3的玻璃薄膜GF。
在此，如圖1所示，玻璃薄膜搬送裝置1a係在捲取部4與成膜滾子8之間且為第1導引滾子9的右側，具備有第2導引滾子10。第2導引滾子10係具有與第1導引滾子9相同結構，與成膜滾子8同樣地藉由不銹鋼材料等形成為圓筒狀或圓柱狀之構件。第2導引滾子10係具有與第1導引滾子9的外徑相同外徑。
第2導引滾子10的旋轉軸係與捲取部4及成膜滾子8的旋轉軸呈平行，並且在真空室6的左右方向，配置在比起成膜滾子8的右端更靠近真空室6的中央，亦即配置在靠近成膜滾子8的旋轉軸之位置。第2導引滾子10的該配置能夠對成膜滾子8，始終可沿著一定的角度及方向搬出玻璃薄膜GF。
在以上的說明，在玻璃薄膜搬送裝置1a，說明了從捲出部2所捲出的玻璃薄膜GF再次被捲取部4捲取為止的結構。以下，說明從捲出部2所捲出的保護薄片PF再次作為滾子被捲取部4捲取為止的結構。
玻璃薄膜搬送裝置1a係具備搬出從由捲出部2所捲出的玻璃薄膜GF分離之保護薄片PF並且朝捲取部4搬入保護薄片PF之保護薄片搬送部5a。
如圖1所示，保護薄片搬送部5a係具有配置在捲出 部2的上方之第1保護薄片滾子11、配置在捲取部4的上方之第2保護薄片滾子12、及配置在第1保護薄片滾子11與第2保護薄片滾子12之大致中間的跳動滾子13a。
第1保護薄片滾子11及第2保護薄片滾子12係為具有與第1導引滾子9及第2導引滾子10大致相同結構的圓筒狀或圓柱狀之滾子。在本實施形態，第1保護薄片滾子11及第2保護薄片滾子12的外徑係較第1導引滾子9及第2導引滾子10的外徑小。這樣的第1保護薄片滾子11及第2保護薄片滾子12係分別配置成：在捲出部2或捲取部4的正上方附近，旋轉軸與捲出部2及捲取部4的旋轉軸大致呈平行。
跳動滾子13a係為具有與第1保護薄片滾子11及第2保護薄片滾子12大致相同結構。跳動滾子13a係在第1保護薄片滾子11及第2保護薄片滾子12的大致中間位置，配置成旋轉軸與第1保護薄片滾子11及第2保護薄片滾子12的旋轉軸大致呈平行。跳動滾子13a係安裝於真空室6的內部，使得既可保持此旋轉軸的平行又可朝上下方向進行直線狀移動。
如圖2(a)所示，跳動滾子13a的上下方向的移動範圍之中間位置係較第1保護薄片滾子11及第2保護薄片滾子12的旋轉軸若干下方。跳動滾子13a係在此上下方向的移動範圍內，一邊藉由自重或線性滑塊朝上下移動，一邊對第1保護薄片滾子11架設至第2保護薄片滾子12 的保護薄片PF，自上方沿著保護薄片PF的寬度方向接觸，藉此施加荷重，實現附加有沿著保護薄片PF的搬送方向之張力的跳動滾子機構。
在藉由伸長，使得保護薄片PF的搬送路徑長度變長之情況，跳動滾子13a朝下方移動相當於搬送路徑長度變長的量，調整成第1保護薄片滾子11與第2保護薄片滾子12之間的保護薄片PF的搬送路徑長度變長。相反地在藉由收縮，使得保護薄片PF的搬送路徑長度變短之情況，跳動滾子13a朝上方移動相當於搬送路徑長度變短的量，調整成第1保護薄片滾子11與第2保護薄片滾子12之間的保護薄片PF的搬送路徑長度變短。
亦即，因跳動滾子13a係適當地調整保護薄片PF的搬送路徑長度，並且即使保護薄片PF的搬送路徑長度改變，對保護薄片PF也始終可附加張力，所以，能夠防止因保護薄片PF的伸長所引起之鬆弛及因收縮所引起之過多的張力產生。如此，跳動滾子13a係能夠達到穩定之保護薄片PF的搬送。其次，參照圖1說明玻璃薄膜搬送裝置1a的動作。在以下的說明中，省略下述說明，亦即將各滾子搬入至玻璃薄膜搬送裝置1a而捲繞保護薄片PF及玻璃薄膜GF等之用來使玻璃薄膜搬送裝置1a作動的準備操作之說明。
從安裝於捲出部2之玻璃卷R1，捲出層積薄膜的一方的薄膜之玻璃薄膜GF，並朝玻璃薄膜搬送部3搬送。又，在捲出部2自玻璃薄膜GF的捲出開始，進行大約一 半旋轉後，捲出層積薄膜的另一方的薄膜之保護薄片PF，朝保護薄片搬送部5搬送。
朝玻璃薄膜搬送部3搬送之玻璃薄膜GF，一邊從第1導引滾子9捲繞於成膜滾子8，一邊藉由實施濺鍍處理等，進行表面處理。
實施了表面處理之玻璃薄膜GF從成膜滾子8朝第2導引滾子10搬送，再從第2導引滾子10朝捲取部4搬送。
進行此玻璃薄膜GF搬送的同時，保護薄片PF被保護薄片搬送部5所搬送，自第1保護薄片滾子11通過第2保護薄片滾子12搬送至捲取部4。保護薄片PF在從第1保護薄片滾子11朝第2保護薄片滾子12搬送的途中，藉由跳動滾子13a附加張力。
如圖1所示，通過第2保護薄片滾子12之保護薄片PF被捲取部4捲繞。捲取部4係在保護薄片PF被捲繞後進行大約一半旋轉，將自第2導引滾子10所搬送的玻璃薄膜GF捲取至先被捲繞的保護薄片PF上，再次形成玻璃卷R2。
如此，捲取部4在捲取保護薄片PF後未立即捲取玻璃薄膜GF，而是在捲取保護薄片PF後進行某種程度旋轉後，在已經捲取的保護薄片PF上捲取玻璃薄膜GF。捲取部4係將保護薄片PF的捲取與玻璃薄膜GF的捲取在該等捲取之間以時間差來進行。該時間差是藉由第2導引滾子10及第2保護薄片滾子12對捲取部4的位置關係達到 的。例如藉由變更第2導引滾子10、第2保護薄片滾子12的位置，能夠因應玻璃薄膜GF、保護薄片PF等的特性改變該時間差。
在本實施形態，藉由第2導引滾子10及第2保護薄片滾子12構成捲取調整機構。捲取調整機構係調整捲取部4之保護薄片PF及玻璃薄膜GF的捲取狀態。第2保護薄片滾子12係保護薄片搬送部5a與捲取調整機構雙方所含的構成構件。
藉由以上說明的具備跳動滾子機構的玻璃薄膜搬送裝置1a，自捲取部4所捲出的樹脂製保護薄片PF即使在真空中產生收縮或伸長，也能始終調整成適當的搬送路徑長度，並且附加適當的張力，因此，不會產生皺紋或波紋，可被捲取部4所捲取。若保護薄片PF不會產生皺紋或波紋而被捲取，則能夠防止捲取於保護薄片PF上的玻璃薄膜GF破損。又，亦可防止因過大的張力施加於保護薄片PF造成玻璃薄膜GF破損之情況產生。
其次，參照圖2，說明跳動滾子機構之變形例。
圖2(b)係顯示以第2保護薄片滾子12的旋轉軸為中心進行轉動之跳動滾子13b。在此，圖2(b)係包含圖(b-1)及圖(b-2)。圖(b-1)係將第1保護薄片滾子11、第2保護薄片滾子12及跳動滾子13b從各自的旋轉軸延伸方向觀看之圖，圖(b-2)係顯示第2保護薄片滾子12及跳動滾子13b的平面配置之圖。在圖2(b)，在第2保護薄片滾子12的兩端側，於第2保護薄片滾子12 的旋轉軸12a，安裝有以該旋轉軸12a為中心進行轉動的平板狀之2支臂14的一端側。在2支臂14的另一端側，以與第2保護薄片滾子12的旋轉軸12a平行的方式安裝有跳動滾子13b。藉由這2支的臂14，使得跳動滾子13b能以第2保護薄片滾子12的旋轉軸12a為中心自由轉動，如圖2(b)所示，能夠自保護薄片PF的上方附加張力。保持跳動滾子13b的2支的臂14，可藉由跳動滾子13b的自重進行轉動，亦可與第2保護薄片滾子12的旋轉軸12a獨立地，藉由使該2支的臂14轉動之致動器進行轉動。
作為跳動滾子機構的其他變形例，亦有如圖2(c)所示者。在此，圖2(c)係包含圖(c-1)、圖(c-2)、及圖(c-3)。圖(c-1)係將第1保護薄片滾子11、第2保護薄片滾子12、第1滾子13c及第2滾子13d各自的旋轉軸延伸方向觀看之圖，圖(c-2)係顯示第1滾子13c及第2滾子13d朝順時鐘方向繞著中心O周圍旋轉而吸收保護薄片PF的延伸之狀態的圖，圖(c-3)係顯示第1滾子13c及第2滾子13d之平面配置的圖。圖2(c)所示的跳動滾子機構係將與前述跳動滾子13b相同結構的第1滾子13c與第2滾子13d平行地保持者。在圖2(c)，利用將保持成平行的第1滾子13c及第2滾子13d從各滾子13c、13d的旋轉軸方向以2片的圓板15挾持並作成一體，構成跳動滾子機構。此時，在保持成平行的第1滾子13c及第2滾子13d的旋轉軸方向，2片的圓板15之中心 O相互地對應為佳。又，第1滾子13c及第2滾子13d之旋轉軸是被圓板15保持成：在各圓板15所存在的一條直徑上，自圓板15的中心O算起成為等距離為佳。
又如圖2(c)所示，2片圓板15的中心O，亦即，第1滾子13c及第2滾子13d成為一體的跳動滾子機構之旋轉軸15a係貫通2片圓板15的中心之軸，且配置在第1保護薄片滾子11及第2保護薄片滾子12的大致中間位置，使得與第1保護薄片滾子11及第2保護薄片滾子12的旋轉軸呈平行。
在使保護薄片PF通過跳動滾子機構的第1滾子13c與第2滾子13d之間後，將跳動滾子機構朝圖2的紙面向順時鐘方向旋轉地賦予旋轉扭矩時，使第1滾子13c及第2滾子13d朝按壓保護薄片PF的方向旋轉移動，如圖2(c)的圖(c-1)所示，能夠對保護薄片PF附加張力。
在玻璃薄膜搬送裝置的運轉過程，例如當產生保護薄片PF的延伸時，如圖2(c)的圖(c-2)所示，跳動滾子機構朝順時鐘方向進一步旋轉，吸收保護薄片PF的延伸並且接著賦予適當的張力。在保護薄片PF產生收縮之情況，藉由與其相反的動作，調整路徑長度。
且，亦可構成為使構成保護薄片搬送機構5的滾子之至少一支的表面具有黏著性，具備清潔保護薄片PF的功能。例如，若圖2(a)的結構，當跳動滾子13a的表面、及第1保護薄片滾子11或第2保護薄片滾子12的一方的表面分別具有清潔功能時，能夠將保護薄片PF的兩面予 以清潔。本實施形態之玻璃薄膜搬送裝置1a係藉由除去附著於保護薄片PF的表面之粉塵等的粒子，可防止因附著於保護薄片PF的異物造成捲取之玻璃薄膜GF的破損產生。
但，將玻璃薄膜GF與保護薄片PF捲取於捲取部4之構造，若不考量玻璃薄膜GF對捲取部4的進入、保護薄片PF對捲取部4的進入之位置關係就加以決定，則會因捲繞玻璃薄膜GF前的保護薄片PF之波紋殘留等的原因，造成引起玻璃薄膜GF破損的問題產生之虞。
在本實施形態的最後，說明關於用來防止前述問題之捲取部4的周邊構造，具體而言，為構成捲取調整機構之各滾子的理想位置關係。
如前述般，藉由第2導引滾子10及第2保護薄片滾子12，構成調整捲取部4之保護薄片PF及玻璃薄膜GF的捲取狀態之捲取調整機構。在圖1中，捲取部4在捲取保護薄片PF後未立即捲取玻璃薄膜GF，而是在捲取保護薄片PF後進行某種程度旋轉後，在已經捲取的保護薄片PF上捲取玻璃薄膜GF。捲取部4係以所謂的角度差進行保護薄片PF的捲取與玻璃薄膜GF的捲取。該角度差是藉由第2導引滾子10及第2保護薄片滾子12對捲取部4的位置關係達到的。例如藉由變更第2導引滾子10、第2保護薄片滾子12的位置，能夠因應玻璃薄膜GF、保護薄片PF等的特性改變該角度差。
再次參照圖1進行說明。在本實施形態之玻璃薄膜搬 送裝置1a，調整捲取部4之保護薄片PF及玻璃薄膜GF的捲取狀態之捲取調整機構係以保護薄片滾子12及第2導引滾子10所構成，捲取部4是在捲取自保護薄片滾子12所供給的保護薄片PF後，經過預定的角度θ後，捲取來自於第2導引滾子10之玻璃薄膜GF。此角度θ係藉由保護薄片PF與玻璃薄膜GF朝捲取部4供給之角度關係達到。
在本實施形態，捲取調整機構係在自保護薄片滾子12所供給的保護薄片PF接觸至捲取部4後的捲取部4之旋轉角θ成為90°以上315°以下之旋轉範圍(亦即，從保護薄片PF開始被捲取部4捲取之位置起成為90°以上315°以下之旋轉範圍)，藉由保持玻璃薄膜GF被層積於先被捲取的保護薄片PF上之位置關係，調整捲取部4之保護薄片PF及玻璃薄膜GF的捲取狀態。
例如，在圖1中，自保護薄片滾子12所供給的保護薄片PF是在捲取部4的左側接觸，但，為了讓來自於第2導引滾子10的玻璃薄膜GF在捲取部4的右側接觸，配置捲取部4、保護薄片滾子12、及第2導引滾子10。在圖1中，捲取部4係從保護薄片PF與捲取部4接觸的位置到玻璃薄膜GF與捲取部4接觸的位置為止，需要大約180°的旋轉角θ。
如此，從保護薄片PF被捲取至玻璃薄膜GF被捲取的期間設置旋轉角θ是為了防止玻璃薄膜GF破損。亦即，因在剛被捲取部4捲取之保護薄片PF，會有導致玻 璃薄膜GF破損之薄片的波紋殘存的可能性，所以，在該波紋消失後再層積玻璃薄膜GF為佳。從保護薄片PF接觸到捲取部後成為擴展成適合進行玻璃薄膜GF層積的狀態，在經驗上經過90°以上的角度為佳。
另外，當捲取保護薄片PF到捲取玻璃薄膜GF為止的旋轉角θ過大時，則相反地在剛捲取玻璃薄膜GF後即會與保護薄片PF接觸。當在捲取玻璃薄膜GF後，於45°以內捲繞保護薄片PF時，會在玻璃薄膜GF以充分沉靜的狀態(亦即，充分穩定的狀態)接觸至捲取部前，捲繞保護薄片PF，因此並不理想。其結果，從捲取保護薄片PF到捲取玻璃薄膜GF為止的旋轉角是90°至315°度之間的角度為佳。再者，此旋轉角θ係可因應保護薄片PF、玻璃薄膜GF等的特性加以變更。
接著，參照圖5說明關於具備用來調整旋轉角θ的捲裝調整滾子19之捲取調整機構。
圖5(a)係作為第1實施形態的變形例，顯示捲裝調整滾子19配置在保護薄片滾子12與捲取部4之間的捲取調整機構的結構。捲裝調整滾子19係具有與保護薄片滾子12大致相同結構。捲裝調整滾子19係將自保護薄片滾子12所供給的保護薄片PF先朝較捲取部4更靠近左側誘導後再供給至捲取部4的左下側。當與圖1比較時，藉由此捲裝調整滾子19，使保護薄片PF與捲取部4接觸的位置朝捲取部4的下方側移動，從保護薄片PF與捲取部4接觸的位置到玻璃薄膜GF與捲取部4接觸的位置為止 之捲取部4的旋轉角θ大致為90°。
圖5(b)係作為第1實施形態的其他變形例，顯示捲裝調整滾子19配置在捲取部4的右側方的捲取調整機構的結構。捲裝調整滾子19係將自保護薄片滾子12所供給的保護薄片PF先朝較捲取部4右側方誘導後再供給至捲取部4的右側。藉此，保護薄片PF與捲取部4接觸的位置係朝與捲取部4的左下側之圖5(a)完全不同之位置移動。在圖5(b)中，從保護薄片PF與捲取部4接觸的位置到玻璃薄膜GF與捲取部4接觸的位置為止之捲取部4的旋轉角θ為大約315°。
如上述般，藉由讓用來使自保護薄片滾子12所供給的保護薄片PF朝與捲取部4不同的位置誘導之捲裝調整滾子19設置在保護薄片滾子12與捲取部4之間，能夠因應保護薄片PF、玻璃薄膜GF等的特性將前述旋轉θ加以變更。
再者，前述保護薄片PF與玻璃薄膜GF被供給至捲取部4的角度關係係在本發明的對象之具有保護薄片PF的搬送機構之玻璃薄膜搬送裝置以外也有效。例如，如先前文獻2所記載，在將保護薄片PF在捲出部2附近予以回收或未使用保護薄片PF而捲取的玻璃卷安裝於捲出部2之情況，要朝捲取側搬送的保護薄片PF不存在。在這種的情況，保護薄片PF的供給部是例如先前文獻2所記載，設置在捲取部4附近。即使在這種情況，以符合前述角度關係的方式供給由保護薄片供給部所供給的保護薄片 PF為佳。具體而言，在保護薄片滾子12的位置，亦可替代設置保護薄片供給部。
<第2實施形態>
以下，參照圖3，說明關於本發明的第2實施形態之玻璃薄膜搬送裝置1b。
圖3係顯示第2實施形態之玻璃薄膜搬送裝置1b的概略結構。圖3之捲出部2、成膜滾子8、捲取部4、第1導引滾子9、及第2導引滾子10係具有與在第1實施形態賦予相同符號的構成構件相同的結構。
與第1實施形態比較時，本實施形態之玻璃薄膜搬送裝置1b係包含跳動滾子機構的保護薄片搬送部5b之結構及配置與第1實施形態的保護薄片搬送部5a不同。因此，以下說明關於包含跳動滾子機構的保護薄片搬送部5b之結構及配置。
保護薄片搬送部5b係具有第1保護薄片滾子11、第2保護薄片滾子12、及替代跳動滾子13e之層積滾子16。保護薄片搬送部5b的第1保護薄片滾子11、第2保護薄片滾子12、跳動滾子13e係配置位置與第1實施形態不同，設在較捲出部2、捲取部4更下方的位置，但進行與第1實施形態之第1保護薄片滾子11、第2保護薄片滾子12及跳動滾子13a相同的功能。
層積滾子16係具有與第2導引滾子10大致相同結構。層積滾子16係在捲取部4與第2導引滾子10之間， 設置成與捲取部4及第2導引滾子10呈平行。以保護薄片搬送部5b所移送的保護薄片PF係從下側捲裝至層積滾子16改變搬送方向，在層積滾子16上，與自玻璃薄膜搬送部3所搬送來的玻璃薄膜GF重疊並層積，再搬送至捲取部4。捲取部4係捲取自層積滾子16所搬送來的層積薄膜LF，形成玻璃卷R2。
如圖3所示，保護薄片搬送部5b係與第1實施形態中圖2(a)所示的跳動滾子機構同樣地，在第1保護薄片滾子11、第2保護薄片滾子12之間具有可朝上下方向進行直線狀移動之跳動滾子13e。在本實施形態，跳動滾子13e係利用以致動器從上方朝下方移動，沿著寬度方向與保護薄片PF接觸，對保護薄片PF賦予張力。
在本實施形態之玻璃薄膜搬送裝置1b，即使自捲取部4所捲出的樹脂製保護薄片PF在真空中收縮或伸長，也能夠藉由跳動滾子機構，始終調整成適當的搬送路徑長度並且附加適當的張力。因此，保護薄片PF不會產生皺紋或波紋而可捲裝至層積滾子16。藉由保護薄片PF不會產生皺紋或波紋而捲裝至層積滾子16上，能夠防止層積於保護薄片PF上的玻璃薄膜GF破損。
如此，捲取部4捲取以層積滾子16將保護薄片PF與玻璃薄膜GF層積之層積薄膜LF。層積滾子16係以若干的時間差來進行保護薄片PF的捲取與玻璃薄膜GF的捲取。該時間差是藉由第2導引滾子10對層積滾子16的位置關係達到的。因此，此時間差是藉由變更第2導引滾子 10、層積滾子16等的位置，能夠因應玻璃薄膜GF、保護薄片PF等的特性加以改變。
因此，藉由第2導引滾子10、第2保護薄片滾子12及層積滾子16，構成調整捲取部4之保護薄片PF及玻璃薄膜GF的捲取狀態之捲取調整機構。層積滾子16係保護薄片搬送部5b與捲取調整機構雙方所含的構成構件。
但，將玻璃薄膜GF與保護薄片PF在層積滾子16上重疊之構造，若不考量玻璃薄膜GF對層積滾子16的進入、保護薄片PF對層積滾子16的進入之位置關係就加以決定，則會因捲繞玻璃薄膜GF前的保護薄片PF之波紋殘留等的原因，造成引起玻璃薄膜GF破損的問題產生之虞。
因此，說明關於用來防止前述問題之層積滾子16的周邊構造，具體而言，為構成捲取調整機構之各滾子的理想位置關係。
如前述般，藉由層積滾子16、第2導引滾子10及第2保護薄片滾子12，構成調整捲取部4之保護薄片PF及玻璃薄膜GF的捲取狀態之捲取調整機構。在圖3中，在層積滾子16，捲取保護薄片PF後未立即捲取玻璃薄膜GF，而是在捲取保護薄片PF再進行某種程度旋轉後，在已經捲取的保護薄片PF上捲繞重疊玻璃薄膜GF。在層積滾子16上，以角度差進行保護薄片PF的捲繞與朝其上之玻璃薄膜GF的捲繞重疊。該角度差是藉由第2導引滾子10及第2保護薄片滾子12及捲取部4對層積滾子16的 位置關係達到的。例如藉由變更第2導引滾子10、第2保護薄片滾子12的位置，能夠因應玻璃薄膜GF、保護薄片PF等的特性改變該角度差。
再次參照圖3進行說明。在本實施形態之玻璃薄膜搬送裝置1b，調整捲取部4之保護薄片PF及玻璃薄膜GF的捲取狀態之捲取調整機構是以層積滾子16、第2保護薄片滾子12及第2導引滾子10構成。在層積滾子16上，首先，捲繞從第2保護薄片滾子12所供給的保護薄片PF，然後，層積滾子16旋轉預定的旋轉角θ後，來自於第2導引滾子10的玻璃薄膜GF捲繞重疊於保護薄片PF上。其次，玻璃薄膜GF在捲繞重疊於保護薄片PF上的狀態，在層積滾子16上搬送預定的的旋轉角η量。然後，層積玻璃薄膜GF與保護薄片PF之層積薄膜LF朝向捲取部4。此旋轉角θ與旋轉角η係藉由保護薄片PF與玻璃薄膜GF朝層積滾子16供給之角度和朝捲取部4的角度之關係來達到。
在本實施形態，捲取調整機構係將自第2保護薄片滾子12所供給的保護薄片PF在層積滾子16上以旋轉角θ(第1旋轉角)為45°以上加以捲繞後，將玻璃薄膜GF層積於先捲取的保護薄片PF上，且藉由保持保護薄片PF與玻璃薄膜GF層積之狀態在層積滾子16被保持的旋轉角η(第2旋轉角)為30°以上90°以下(30°至90°)的範圍，且保護薄膜捲裝於層積滾子16的旋轉角(亦即，第1旋轉角與第2旋轉角之和(旋轉角θ+旋轉角η)未滿 270°之位置關係，藉以調整保護薄片PF與玻璃薄膜GF之捲取狀態。
在本實施形態，捲取調整機構係在自第2保護薄片滾子12所供給的保護薄片PF在層積滾子16的旋轉角θ成為45°以上理想為60°以上的旋轉範圍，一邊保持玻璃薄膜GF層積於保護薄片PF的位置關係，一邊調整保護薄片PF及玻璃薄膜GF的捲取狀態。
本案的發明者們係透過實驗發現，在層積滾子16上，如第1實施形態般，比起捲裝於玻璃卷R2之情況，保護薄片PF的波紋消失較快的事實。具體而言，保護薄片PF在接觸於層積滾子16後以層積滾子16的旋轉角呈45°左右的方式進行搬送，則保護薄片PF在層積滾子16上不會產生起伏、皺紋等而可擴展。
並且，將層積滾子16的溫度預先調整成例如-20℃至80℃左右，則接觸於層積滾子16之保護薄片PF，即使被層積了在表面處理製程成為高溫的玻璃薄膜GF，也不會承受因熱所引起之損傷。
且，在本實施形態之捲取調整機構，當在層積滾子16上將保護薄片PF與玻璃薄膜GF層積而成為層積薄膜LF後，將層積薄膜LF進一步在層積滾子16的預定的旋轉角η(旋轉角η為30°以上90°以下的旋轉範圍)，在層積滾子16一邊保持與層積滾子16的接觸一邊進行搬送，然後，使其從層積滾子16脫離並供給至捲取部4。當旋轉角η未滿30°時，在玻璃薄膜GF與保護薄片PF的重疊穩定化之 前，會脫離層積滾子，使得無法作為穩定的層積薄膜LF。另外，當以90°以上的角度重疊時，經驗上可知，玻璃薄膜GF破損的可能性。因此，設定成旋轉角η成為30°以上90°以下的旋轉範圍，能夠使玻璃薄膜GF與保護薄片PF之重疊穩定，且玻璃薄膜GF破損的可能性變低，極為理想。
在此，捲取調整機構係構成為前述2個旋轉角的和，亦即，保護薄片PF接觸至層積滾子16後到玻璃薄膜GF層積至保護薄片PF上為止的層積滾子16之旋轉角θ與在層積滾子16上，層積薄膜LF保持與層積滾子16接觸的旋轉角η之和(θ+η)成為270°以下為佳。這是因為當超過270°時在機械性構造上無法承受。
再者，捲取部4的玻璃卷之直徑係隨著捲取層積薄膜LF而變大。即使在有這種變動產生之情況，也應考量各機構的配置以符合前述角度關係。
如此，本實施形態之玻璃薄膜搬送裝置1b的特徵係在於具有下述結構的捲取調整機構，亦即該捲取調整機構的結構為在從保護薄片PF被層積滾子16捲取後到玻璃薄膜GF被捲取的期間設置旋轉角θ，並且，在層積滾子16上獲得層積薄膜LF後，將該層積薄膜LF供給至捲取部4為止的期間設置旋轉角η。
捲取調整機構的這種結構是用來防止玻璃薄膜GF的破損產生。因在剛被層積滾子16捲取之保護薄片PF，會有導致玻璃薄膜GF破損之波紋存在的可能性，所以，在 該波紋消失後再層積玻璃薄膜GF為佳。又，層積薄膜LF係在保護薄片PF與玻璃薄膜GF充分配合後再予以捲取為佳。在本實施形態，首先，確保所捲取的保護薄片PF之波紋消失所需的層積滾子16之旋轉角θ，並且將所層積的保護薄片PF與玻璃薄膜GF相互配合(例如固定)所需的時間差作為層積滾子16的旋轉角η予以確保。再者，該等旋轉角θ、旋轉角η係可因應保護薄片PF、玻璃薄膜GF等的特性加以變更。
其次，參照圖6說明關於具備用來調整前述2個角度中讓所捲取的保護薄片PF波紋消失所需的旋轉角θ之捲裝調整滾子20的捲取調整機構。
圖6係顯示本實施形態之捲取調整機構的結構。在圖6中，具有與第2保護薄片滾子12大致相同結構的捲裝調整滾子20係在保護薄片滾子12的右方，配置在層積滾子16的若干上方。捲裝調整滾子20係將自第2保護薄片滾子12所供給的保護薄片PF先朝較層積滾子16更靠近上方誘導後再供給至層積滾子16的左側。
當與圖3比較時，藉由此捲裝調整滾子20，使保護薄片PF與捲取部16接觸的位置朝層積滾子16的左側上方變化，從保護薄片PF與層積滾子16接觸的位置到玻璃薄膜GF接觸的位置為止之旋轉角θ從大致90°變化成大致為135°。捲裝調整滾子20係藉由使該旋轉角θ改變，達到所捲取的保護薄片PF之波紋完全地消失的行走長度。
如上述般，藉由讓用來使自保護薄片滾子12所供給 的保護薄片PF朝與層積滾子16不同的位置誘導之捲裝調整滾子20設置在第2保護薄片滾子12與層積滾子16之間，能夠因應保護薄片PF、玻璃薄膜GF等的特性將前述旋轉角θ加以變更。
或者亦可替代捲裝調整滾子20，變更第2保護薄片滾子12之位置。
再者，前述保護薄片PF與玻璃薄膜GF被供給至層積滾子16，進一步供給至捲取部4的角度關係，係在本發明的對象之具有保護薄片PF的搬送機構之玻璃薄膜搬送裝置以外也有效。例如，如先前文獻2所記載，在將保護薄片PF在捲出部2附近予以回收或未使用保護薄片PF而捲取的玻璃卷安裝於捲出部2之情況，要朝捲取側搬送的保護薄片PF不存在。在這種的情況，將保護薄片PF的供給部另外設置於捲取部4附近為佳。即使在這種情況，以符合前述角度關係的方式供給由保護薄片供給部所供給的保護薄片PF。具體而言，在第2保護薄片滾子12的位置，設置保護薄片供給部為佳。
<第3實施形態>
參照圖4，說明關於本發明的第3實施形態。圖4係顯示在第1實施形態所說明的玻璃薄膜搬送裝置1a被收納在具有室隔壁P的真空室6的狀態之概略結構。圖4所示的第3實施形態係真空室6具有室隔壁P的這一點與第1實施形態不同。
圖4所示的真空室6係在上下方向之大致中央，於配置有第1導引滾子9及第2導引滾子10的位置具有室隔壁P。
此室隔壁P係形成在從真空室6內的左側之側壁到右側的側壁範圍，形成不會與第1導引滾子9及第2導引滾子10相干涉，並區隔真空室6的上區域與下區域。真空室6的上區域係藉由設在上方的真空泵浦予以減壓，而真空室6的下區域是藉由設在下方的真空泵浦予以減壓。
藉由此室隔壁P，能夠將實施表面處理製程之濺鍍成膜部7與保護薄片搬送部5a隔離，可防止因進行成膜所產生的剝離之皮膜的碎片(薄片)等的粉塵附著到保護薄片搬送部5a的保護薄片PF。因此，能夠迴避因附著於保護薄片PF的粉塵造成層積於保護薄片PF上之玻璃薄膜GF破損的情況產生。
又，伴隨減壓，從保護薄膜會有水蒸氣及有機物成分等的逸出氣體成分被釋出，但，藉由設置室隔壁P，能夠抑制逸出氣體成分朝濺鍍成膜部7周邊移動。因此，可將逸出氣體成分對成膜等的處理所產生的影響抑制在最小限度。
再者，在前述的具體實施形態主要包含具有以下結構的發明。
本發明的玻璃薄膜搬送裝置係用來連續地搬送長條狀的玻璃薄膜之玻璃薄膜搬送裝置，其特徵為，具備有：從捲繞有層積著長條狀的的保護薄片之前述玻璃薄膜的玻璃 卷，捲出該玻璃薄膜之捲出部；搬送自前述捲出部所捲出並自前述保護薄片分離的前述玻璃薄膜之玻璃薄膜搬送部；對藉由前述玻璃薄膜搬送部所搬送的前述玻璃薄膜，一邊層積前述保護薄片一邊加以捲取成捲筒狀之捲取部；及搬出從前述捲出部所捲出的前述玻璃薄膜分離之前述保護薄片，並且朝前述捲取部搬入前述保護薄片之保護薄片搬送部；及調整前述捲取部之前述保護薄片及前述玻璃薄膜的捲取狀態之捲取調整機構。
在此，理想為前述保護薄片搬送部係具有跳動滾子機構，該跳動滾子機構是藉由對以前述保護薄片搬送部搬送中的前述保護薄片沿著該保護薄片的寬度方向接觸，予以附加張力，並且調整保護薄片搬送部之前述保護薄片的搬送路徑的路徑長度。
又，理想為前述跳動滾子機構係具有藉由對前述保護薄片以相互平行的狀態接觸來附加張力的第1滾子及第2滾子，前述第1滾子係配置在可與前述保護薄片的一方的面接觸的位置，並且前述第2滾子係配置在可與前述保護薄片的另一方的面接觸的位置，而前述第1滾子及前述第2滾子係可朝與前述保護薄片接觸的方向移動。
又，理想為前述保護薄片搬送部係包含具有與前述保護薄片接觸的接觸面之至少1支滾子，前述接觸面具有黏性。
再者，理想為前述捲取調整機構係在前述保護薄片接觸到前述捲取部後的旋轉角成為90°以上且315°以下的旋 轉範圍，一邊保持前述玻璃薄膜層積於前述保護薄片的位置關係，一邊調整前述保護薄片及前述玻璃薄膜的捲取狀態。
又，理想為前述捲取調整機構係具有在藉由前述保護薄片搬送部所搬送的前述保護薄片上層積藉由前述玻璃薄膜搬送部所搬送的前述玻璃薄膜之層積滾子，在前述保護薄片接觸到前述層積滾子後的前述層積滾子之第1旋轉角成為45°以上的旋轉範圍，前述玻璃薄膜層積於前述保護薄片上，在該層積後的前述層積滾子之第2旋轉角成為30°以上且90°以下之旋轉範圍，層積有前述玻璃薄膜的前述保護薄片一邊保持與前述層積滾子的接觸一邊被搬送，然後自前述層積滾子脫離且前述第1旋轉角與前述第2旋轉角之和為270°以下。
且，具備有分別收納前述玻璃薄膜搬送部與前述保護薄片搬送部之相互獨立的2個區域，前述2個區域分別獨立地排氣為佳。
1a‧‧‧玻璃薄膜搬送裝置
2‧‧‧捲出部
2a‧‧‧捲出芯棒
3‧‧‧玻璃薄膜搬送裝置
4‧‧‧捲取部
5a‧‧‧保護薄片搬送部
6‧‧‧真空室
7‧‧‧濺鍍成膜部
8‧‧‧成膜滾子
9‧‧‧第1導引滾子
10‧‧‧第2導引滾子
11‧‧‧第1保護薄片滾子
12‧‧‧第2保護薄片滾子
13a‧‧‧跳動滾子
GF‧‧‧玻璃薄膜
T‧‧‧濺鍍蒸發源
R1‧‧‧玻璃卷
R2‧‧‧玻璃卷
PF‧‧‧保護薄片
4a‧‧‧捲取芯棒

Claims (6)

  1. 一種玻璃薄膜搬送裝置，係連續地搬送長條狀的玻璃薄膜之玻璃薄膜搬送裝置，其特徵為：具備有：自捲繞有層積著長條狀的保護薄片之前述玻璃薄膜的玻璃卷捲出該玻璃薄膜的捲出部；玻璃薄膜搬送部，該玻璃薄膜搬送部是搬送自前述捲出部所捲出並自前述保護薄片所分離之前述玻璃薄膜；捲取部，該捲取部是對藉由前述玻璃薄膜搬送部所搬送的前述玻璃薄膜，一邊層積前述保護薄片一邊捲取成捲筒狀；保護薄片搬送部，該保護薄片搬送部是將從由前述捲出部所捲出的前述玻璃薄膜分離之前述保護薄片予以搬出，並且朝前述捲取部搬入前述保護薄片；調整前述捲取部中之前述保護薄片及前述玻璃薄膜的捲取狀態的捲取調整機構；及將前述玻璃薄膜搬送部與前述保護薄片搬送部分別收納之相互獨立的2個區域，前述2個區域分別獨立地排氣。
  2. 如申請專利範圍第1項之玻璃薄膜搬送裝置，其中，前述保護薄片搬送部係具有跳動滾子機構，該跳動滾子機構是藉由對以前述保護薄片搬送部搬送中的前述保護薄片沿著該保護薄片的寬度方向接觸，予以附加張力，並且調整前述保護薄片搬送部之前述保護薄片的搬送路徑的路徑長度。
  3. 如申請專利範圍第2項之玻璃薄膜搬送裝置，其中，前述跳動滾子機構係具有藉由對前述保護薄片以相互平行的狀態接觸來附加張力的第1滾子及第2滾子，前述第1滾子係配置在可與前述保護薄片的一方的面接觸的位置，並且前述第2滾子係配置在可與前述保護薄片的另一方的面接觸的位置，而前述第1滾子及前述第2滾子係可朝與前述保護薄片接觸的方向移動。
  4. 如申請專利範圍第2或3項之玻璃薄膜搬送裝置，其中，前述保護薄片搬送部係包含具有與前述保護薄片接觸的接觸面之至少1支滾子，前述接觸面具有黏性。
  5. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之玻璃薄膜搬送裝置，其中，前述捲取調整機構係在前述保護薄片接觸到前述捲取部後的旋轉角成為90°以上且315°以下的旋轉範圍，一邊保持前述玻璃薄膜層積於前述保護薄片上的位置關係，一邊調整前述保護薄片及前述玻璃薄膜的捲取狀態。
  6. 如申請專利範圍第1至3項中任一項之玻璃薄膜搬送裝置，其中，前述捲取調整機構係具有在藉由前述保護薄片搬送部所搬送的前述保護薄片上層積藉由前述玻璃薄膜搬送部所搬送的前述玻璃薄膜之層積滾子，在前述保護薄片接觸到前述層積滾子後的前述層積滾子之第1旋轉角成為45°以上的旋轉範圍，前述玻璃薄膜層積於前述保護薄片上，在該層積後的前述層積滾子之第 2旋轉角成為30°以上且90°以下之旋轉範圍，層積有前述玻璃薄膜的前述保護薄片一邊保持與前述層積滾子的接觸一邊被搬送，然後自前述層積滾子脫離且前述第1旋轉角與前述第2旋轉角之和為270°以下。
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