JPS61266569A - 合成樹脂フイルムの金属等蒸着法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は合成樹脂フィルムに金属膜等を蒸着する際に、
輻射熱等により皺、垂み等を起生せしめないようにして
均一な蒸＠膜を形成せしめるようにした合成樹脂フィル
ムの金属膜等蒸着法に関するものである。

（従来の技術） アルミニウム等の金属蒸着膜を施した被蒸着合成樹脂フ
ィルムは装飾用に使用され、あるいは工業用として金属
蒸着形コンデンサーの誘電体、プラスチック圧電素子等
電子機器用の資材として用いられる。

特に、電子機器用資材としての被蒸着合成樹脂フィルム
は、機器の小形化、高性能化に伴って最近益々薄肉とな
る傾向にあるとともに厳格な性能、品質を有することが
要求されている。

然し、数ミクロンの極薄合成樹脂フィルムに金属膜等を
蒸着せしめる場合には、蒸着時の輻射熱、凝縮熱によっ
て皺、重みが起生じ、均一に金属膜等を蒸着した極薄合
成樹脂フィルムを得ることは工業的に容易ではなかった
。

蒸着装置内で金属膜等を合成樹脂フィルムに蒸着させる
には、第４図に示すように、巻出軸１に巻装した極薄合
成樹脂フィルム２を巻出し、案内ロール３を回して冷却
ロール４に添接走行させ、かかる添接走行時に蒸着金属
等蒸発源５より蒸発する金属等６を極薄合成樹脂フイル
ム２に蒸着させて蒸着膜７を形成し、かかる蒸着膜７を
施した被蒸着合成樹脂フィルム８を巻取軸９に案内ロー
ル１０を経て巻取った。

このように、蒸着装置内において蒸着金属等蒸発源５か
ら蒸発する金属等６を極薄合成樹脂フィルム２に蒸着さ
せる場合に、蒸発源５からの輻射熱が極薄合成樹脂フィ
ルム２に作用するとともに蒸着された金属等の凝縮熱に
よって極薄合成樹脂フィルム２の温度が上昇して軟化し
、案内ロール３を離れ冷却ロール４に添接しようとする
間において、または冷却ロール４に添接しようとする際
、あるいは冷却ロール４より離れる際において、さらに
案内ロール１０を回って巻取軸９により巻取られる際に
おいて、極薄合成樹脂フィルム２に引張力が作用し走行
方向と直交する方向に存在する微妙な厚さむらによって
、あるいは極薄合成樹脂フィルム２と案内ロール３．１
０．冷却ロール４との間の微妙な密着力の差によって極
薄合成樹脂フィルム２に厚さむら、皺、垂みが起生じ、
これら厚さむら、皺、垂み等の起生により均一な金属膜
等を形成することが困難であった。

また、極薄合成樹脂フィルムに金ａ膜等を比較的に厚く
蒸着させると、輻射熱、凝縮熱も大となって益々軟化し
引張力等により切断して蒸着不能となることもあった。

そこで、極薄合成樹脂フィルムに金属膜等を均一に蒸着
させるため、特公昭４６−１８６４０号公報および特公
昭５３−１４１１２号公報に開示された手段がある。

これらの手段は第５図に示すように、極薄合成樹脂フィ
ルム２を支持フィルム１１と積層状にして巻出軸１に巻
装しておぎ、合成樹脂フィルム２と支持フィルム１１と
の積層状フィルム１２を巻出し走行させ、この状態で案
内ロール３を経て冷却ロール４に添接走行させながら極
薄合成樹脂フィルム２に蒸Ｓ膜７を形成させ、案内ロー
ル１０を経て巻取軸９に巻装させる。

このため案内ロール３を離れて冷却Ｏ−ル４に添接する
までの間、冷却ロール４に接する際、あるいは離れる際
、巻取軸９に巻取られる際等における引張力による伸び
は低減されるが、蒸着時に極薄合成樹脂フィルム２と冷
却ロール４の間に支持フィルム１１が介在するため冷却
効率の点で劣る。このため冷却ロール４に添接し走行す
る間において蒸着された金属等の凝縮による発生熱が効
率よく冷却ロール４に移行しないので結局、極薄合成樹
脂フィルム２に皺、重みを起生し均一な蒸着膜の形成が
困難であった。

（発明が解決しようとする問題点） 蒸着時に輻射熱、金属等の凝縮による発生熱が極薄合成
樹脂フィルムより冷却ロールに効率良く移行せず、皺、
垂みを起生ずる原因となるという問題点を解決しようと
する。

（問題点を解決するための手段） 本発明は、蒸着時において合成樹脂フィルムのみを冷却
ロールに添接走行させ、金属等の凝縮による発生熱を効
率より冷却ロールに移行させ冷却効果を高めて皺、重み
の起生を防止するようにしたものであって、蒸着装置内
において、合成樹脂フィルムと支持フィルムとを積層状
態で巻出し、前記合成樹脂フィルムをロール上で分離し
、次いで、この合成樹脂フィルムをロールに添接走行さ
せながら蒸発金属等を蒸着させ、さらに、ロール上で被
蒸着合成樹脂フィルムと支持フィルムを重合積層状とし
巻取るようにしたことを特徴とする合成樹脂フィルムの
金属等蒸着法を提供するものである。

本発明におけ６６合合成樹脂フィルム用樹脂しては特に
制限はなく、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメチ
ルペンテン、ポリアセタール、シアン化ビニリデン、ポ
リフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、ポリエチレン
テレフタレート、ポリカーボネイト、ポリサルホン、ボ
リアリレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエー
テルサルホン、ポリアミド、ポリイミド等及びその共重
合体、ならびにこれらの混合物等、さらにこれらの樹脂
にチタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸
鉛等の誘電性を有する微粉体を混合した物等がある。

また、フィルム成形には溶融押出法、溶剤に溶かず流延
法等によることができるが、他の成形手段によっても差
支えないことは勿論である。

さらに本発明において、蒸着前の合成樹脂フィルムと支
持フィルムとを積層した状態とするには、合成樹脂フィ
ルムと支持フィルムを共押出法により溶融状態で積層さ
せる場合、あるいは合成樹脂フィルムと支持フィルムを
別途工程で成形したのち、蒸着装置内あるいは蒸着Ｍ社
外で８１ｍされる場合の何れでもよい。

さらにまた、合成樹脂フィルムの両面にに支持フィルム
を積層した場合には、蒸着装置内あるいは蒸着装置外で
片面の支持フィルムを剥がしたのち、本発明法を適用す
ればよい。

またざらに、本発明における支持フィルムは、合成樹脂
フィルムと同種の樹脂からなるものであってもよいし、
異種の樹脂からなるものであってもよい。共押出法によ
り溶融状態でｖ４ＷＩさせる場合には、合成樹脂フィル
ムと支持フィルムが積層後剥離し易いように異種の樹脂
を選択することが必要である。

たとえば、合成樹脂フィルムの樹脂がポリフッ化ごニリ
デンである場合には、支持フィルムとしてボリエヂレン
、ポリプロピレン、ポリスチレン等が好適であり、合成
樹脂フィルムの樹脂がポリプロピレンである場合には、
支持フィルムとしてポリフッ化ごニリデン、ポリスチレ
ン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネイト等
が好適である。

本発明は比較的厚さのある合成樹脂フィルムに対して蒸
着膜を形成させる際に適用しても有効であるが、厚さが
５ミクロン以下の合成樹脂フィルムに対し適用して好適
であり、ざらにＪＩＳ　　Ｋ−７１１３により測定した
流れ方向の引張弾性率が４００００ＫＯ／Ｃ♂以下の所
謂引張力により伸び易い薄膜プラスチックフィルムに対
して特に有効である。

本発明において蒸着とは、真空蒸着、スパッタリング、
イオンプレーティング等を含む広義に解するものとする
。

また、蒸着される金属等には、アルミニウム、アンチモ
ン、ヒ素、バリウム、ビスマス、カルシウム、カドミウ
ム、炭素、クロム、コバルト、ゲルマニウム、金、イン
ジウム、イＩｊジウム、鉄、鉛、マグネシウム、マンガ
ン、モリブデン、ニッケル、白金、セレン、ケイ素、銀
、テルル、スズ、チタン、亜鉛、ジルコニウム、イツト
リウム、ベリリウム、セリウム、タンタル、トリウム、
リチウム及びこれらの化合物を用いることができる。

（実施例） 本発明法の実施例を第１図について説明する。

第１図に示すように、ポリフッ化ビニリデン〔ペンウォ
ルト社製ＫＹＮＡＲ（登録商標）〕からなる極薄合成樹
脂フィルム１３と、この極薄合成樹脂フィルム１３にポ
リプロピレン〔三菱油化製ノープレン（登録商標）〕か
らなる支持フィルム１４を積層した積層フィルム１５を
形成する。

この場合、積層フィルム１５はポリフッ化ビニリデンと
、その両面にポリプロビリンを積層するよう共押出し、
次いで１２５℃で５倍に一軸延伸したのら、片面のポリ
プロピレン層を剥離させながら、ＪＩＳ　　Ｋ−７１１
３により測定した流れ方向の引張弾性率２５０００Ｋｇ
／ＣＩＮ厚さ１ミクロンのポリフッ化ビニリデンの極薄
合成樹脂フィルム１３と、厚さ１５ミクロンのポリプロ
ピレンの支持フィルム１４かうなる積層フィルム１５と
した。

８１層フィルム１５を巻出軸１６に巻装し、巻出軸１６
より積層フィルム１５を巻出し、案内ロール１７を回し
、上ロール１８、下ロール１９からなるニップロール２
０間を通過させながら上ロール１８に添って支持フィル
ム１４を走行させ、下ロール１９に添って極薄合成樹脂
フィルム１３を走行させるようにして下ロール１９上で
支持フィルム１４と分離させ、極薄合成樹脂フィルム１
３を下ロール１９より直ちに冷却ロール２１に添接走行
させながら、蒸発金属発生源２２、即ち坩堝的蒸発金属
を極薄合成樹脂フィルム１３に蒸着させ金属膜２３を形
成させる。

金属膜２３を形成した被蒸着合成樹脂フィルム２４は直
ちに次のニップロール２５の下ロール２６に移行し、ニ
ップロール２０の上ロール１８を回り、案内ロール２７
．２８を経てニップロール２５の上ロール２９に達した
支持フィルム１４と、下ロール２６に移行した被蒸着合
成樹脂フィルム２４とをニップロール２５で再び積層状
にし、この被蒸着フィルム積層体３０を巻取軸３１に案
内ロール３２を経て巻装させる。

この場合、ニップロール２０間を通り分離された４ｆＡ
ｓ合成樹脂フィルム１３は下ロール１９から冷却ロール
２１を経て次のニップロール２５の下ロール２６に移行
される間において移行時に非ロール添接部分を皆無とす
るようにし、常にロールに添接し走行するようにする。

また、案内ロール１７．２７，２８．３２およびニップ
ロール２０．２５は必要に応じて冷ｕ１する。

前記ニップロール２０．２５のそれぞれ下ロール１９．
２６は、冷却ロール２１に対し圧力ロールとしである。

積層され巻取軸３１に巻取られた被蒸着フィルム積層体
３０の被Ｍ摺合成Ｉｓ４脂フィルム２４の外面にはアル
ミニウム等の蒸着膜が均一な厚さ２５０Ａとして形成さ
れ、被蒸着合成樹脂フィルムには皺、重みがなかった。

第２図は極薄合成樹脂フィルムの内面、即ち支持フィル
ムとの積層面に蒸＠膜を形成する場合を示す。

この場合には、圧力口−ル３３と冷却ロール２１間を通
過したのち、直ちに極薄合成樹脂フィルム１３を冷却ロ
ール２１に添接走行させ、分離した支持フィルム１４は
案内ロール３４゜３５を回し、蒸着金属蒸発源２２によ
り蒸発する金属を蒸着した被蒸着合成樹脂フィルム２４
を冷却ロール２１と圧力ロール３６間に通し、案内ロー
ル３４．３５を回って走行する支持フィルム１４を冷却
ロール２１、圧力ロール３６間で被蒸着合成樹脂フィル
ム２４に積層させる。

このようにすれば極薄合成樹脂フィルム１３の８１層面
側、即ら内筒に蒸着膜が形成される。

この場合においても、圧力ロール３３と冷却ロール２１
間を通る極薄合成樹脂フィルム１３は冷却ロール２１に
直ちに添接走行し、次の圧力ロール３６と冷Ｗロール２
１で積層されるまでは冷却ロール２１の添接状態を維持
し、極薄合成樹脂フィルム１３は常に冷却ロール２１に
添接し走行させる。

図中、３７はテンションロールである。

第３図に示すものは、極薄合成樹脂フィルム１３の内面
にＮ着膜を形成する別の手段を示すものである。

この場合は、第１支持フイルム３８と、第２支持フイル
ム３９を用いるものであり、極薄合成樹脂フィルム１３
と第１支持フイルム３８を積層した８１層フィルム４０
を巻出軸１６に巻装し、案内ロール１７を回した積層フ
ィルム４０を圧力ロール３３と冷１！ＪＯ−ル２１の間
を通過させながら極薄合成樹脂フィルム１３を冷却ロー
ル２１に直ちに添接走行させ、第１支持フイルム３８を
第１咎取軸４１に巻取らせ、蒸着金属蒸発源２．２より
蒸発した金属を極薄合成樹脂フィルム１３に蒸着させ、
蒸着膜を形成した被蒸着合成樹脂フィルム２４を冷却ロ
ール２１より圧力ロール３６に移行させるとともに、巻
出軸４２に巻装した第２支持フイルム３９を巻出して冷
却ロール２１と圧力ロール３６間で被蒸着合成樹脂フィ
ルム２４に１層させ、圧力ロール３６を回り案内ロール
３２を経て巻取軸３１に巻取り、このようにして極薄合
成樹脂フィルム１３の内面に蒸着膜が形成される。

さらにまた、第１図に示す手段により、極薄合成樹脂フ
ィルムの一方の片面に蒸着膜を形成したのち、引続き第
２図に示す手段により、他方の片面に蒸着膜を形成して
、薄膜合成樹脂フィルムの両面に蒸着膜を形成すること
もできる。

（発明の効！１り 本発明は引張力が作用する間は合成樹脂フィルムが支持
フィルムに積層状態となっているため伸びにより合成樹
脂フィルムに皺、垂みおよび切断を起生ずることなく、
蒸着時には合成樹脂フィルムが冷却ロールに直接添接し
ているため、合成樹脂フィルムに作用す、る輻射熱、凝
縮熱が冷ＩＪＪロールに直ちに移行するから冷却効率が
格段に向上し、輻射熱等が作用しても皺、垂みの起生を
防止でき、結局、蒸＠膜を形成した合成樹脂フィルムの
品質を格段に向上させることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は極薄合成樹脂フィルムの内面に蒸着膜を形成す
る場合の本発明の詳細説明図、第２図極薄合成樹脂フィ
ルムの内面に蒸＠膜を形成する場合の本発明の詳細説明
図、第３図は極薄合成樹脂フィルムの内面に蒸着膜を形
成する場合の本発明法の別例を示す概要説明図、第４図
は従来法の概要説明図、第５図は従来法の別例を示す概
要説明図である。 １３・・・極薄合成樹脂フィルム、１４・・・支持フィ
ルム、１５・・・積層フィルム、１６・・・巻出軸、２
０．２５・・・ニップロール、２１・・・冷却ロール、
２２・・・蒸発金属発生源、２３・・・金属膜、２４・
・・被蒸着合成樹脂フィルム、３０・・・被蒸着フィル
ム＆４層体、３１・・・巻取軸。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　蒸着装置内において、合成樹脂フィルムと支持フィル
   ムとを積層状態で巻出し、前記合成樹脂フィルムをロー
   ル上で分離し、次いで、この合成樹脂フィルムをロール
   に添接走行させながら蒸発金属等を蒸着させ、さらに、
   ロール上で被蒸着合成樹脂フィルムと支持フィルムを重
   合積層状とし巻取るようにしたことを特徴とする合成樹
   脂フィルムの金属等蒸着法。