KR101689095B1 - 유리 필름 반송 장치 - Google Patents

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가부시키가이샤 고베 세이코쇼
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Abstract

유리 필름의 파손을 억제하면서, 유리 필름과 보호 시트를 겹쳐서 권취하는 유리 필름 반송 장치를 제공한다. 유리 필름 반송 장치(1a)는, 유리 필름과 대략 동일한 폭이며 또한 긴 보호 시트가 적층된 유리 필름을 권회한 롤로부터, 상기 유리 필름을 권출하는 권출부(2)와, 권출부(2)로부터 권출되어 보호 시트로부터 분리한 유리 필름을 반송하는 유리 필름 반송부(3)와, 유리 필름 반송부(3)에 의해 반송된 유리 필름에, 유리 필름과 대략 동일한 폭이며 또한 긴 보호 시트를 적층하면서 롤 형상으로 권취하는 권취부(4)와, 권출부(2)로부터 권출된 유리 필름으로부터 분리한 보호 시트를 반출함과 함께, 권취부(4)를 향해 보호 시트를 반입하는 보호 시트 반송부(5a)를 구비한다. 또한, 유리 필름 반송 장치(1a)는, 권취부(4)에 있어서의 보호 시트 및 유리 필름의 권취 상태를 조정하는 권취 조정 기구를 구비한다.

Description

유리 필름 반송 장치{GLASS FILM TRANSFER APPARATUS}
본 발명은 플렉시블하여 롤 형상으로 감는 것이 가능한 박막 유리(유리 필름)의 반송 장치에 관한 것이다.
최근 들어, 영상 등을 표시하는 표시 디바이스용 기판 재료로서, 가스 배리어성이나 투광성 등이 우수한 박막 유리, 즉 유리 필름이 사용되고 있다. 현재, 일반적인 유리 필름의 두께는 200㎛ 정도이지만, 최근에는 200㎛보다 얇은, 두께 30㎛ 내지 150㎛ 정도의 매우 얇은 유리 필름이 개발되고 있다.
이와 같은 매우 얇은 유리 필름은, 그 얇음으로 인해 가요성을 가지므로, 유리 필름을 롤 형상으로 권취한 유리 롤로서 취급하는 것이 가능하다. 유리 롤에는, 롤 형상으로 감긴 유리 필름이 내주측 및 외주측에 인접하는 유리 필름과 접촉하여 파손되는 것을 방지할 목적으로, 인접하는 유리 필름 사이에 보호 시트(예를 들어, 보호 필름)를 끼워 넣은 것이 있다.
특허문헌 1은, 인접하는 유리 필름 사이에 보호 시트를 끼워 넣은 유리 롤의 제조 방법을 개시하고 있다.
특허문헌 1에 개시된 유리 롤의 제조 방법은, 다운드로법에 의해 유리 필름을 성형함과 함께, 그 성형한 유리 필름을 보호 시트에 겹쳐서 롤 형상으로 권취하는 유리 롤의 제조 방법이다. 이 제조 방법은, 상기 보호 시트에, 상기 유리 필름보다도 큰 권취 방향의 장력을 부여하면서, 상기 유리 필름과 상기 보호 시트를 권취하는 것을 특징으로 한다.
이와 같은 가요성을 갖는 유리 필름에 대하여 효율적으로 각종 처리를 실시하는 방법으로서는, 긴 유리 필름이 롤 형상으로 감긴 유리 롤로부터 유리 필름을 권출하여 롤 투 롤 방식으로 반송하면서, 그 표면에 코팅 등의 각종 처리를 실시하는 기술이 다양하게 제안되어 있다.
이 유리 필름의 표면에 대한 각종 처리로서는, 예를 들어 진공 증착이나 스퍼터링 등, 진공압 근방에까지 감압된 진공 용기 내에서 행해지는 처리가 있다. 진공압 근방에까지 감압된 용기 내에서는 압력 변화에 의한 영향이 다양하게 발생한다. 그로 인해, 발생하는 영향을 고려하여 유리 필름을 반송하면서 진공 증착이나 스퍼터링 등의 처리(표면 처리)를 실시하는 다양한 기술이 제안되어 있다.
특허문헌 2는, 진공압 근방하에서 박막 유리를 반송하는 박막 유리의 반송 장치를 개시하고 있다.
특허문헌 2에 개시된 박막 유리의 반송 장치는, 진공 용기 내의 압력을 제어 가능한 압력 제어 수단을 구비하고, 진공압 근방까지 감압된 상기 진공 용기 내에서 긴 박막 유리를 반송하는 박막 유리의 반송 장치이다. 이 반송 장치에서는, 상기 압력 제어 수단은, 롤 형상의 상기 박막 유리가 상기 진공 용기 내에 배치된 상태에서, 3분 이상의 시간을 들여서 상기 진공 용기 내의 압력을 10000Pa까지 감압시킨 후에, 진공압 근방까지 감압시킨다.
이 박막 유리의 반송 장치에서는, 전술한 조건에서 감압한 후에, 유리 롤의 박막 유리 사이에 끼워 넣어진 보호 필름을, 권출 시에 박막 유리로부터 제거하고, 또한, 표면 처리가 실시된 박막 유리의 권취 시에, 박막 유리 사이에 다른 보호 필름을 끼워 넣어서 박막 유리를 롤 형상으로 권취한다.
또한, 특허문헌 3은, 보호재가 적층되어 롤 형상으로 감긴 기재(基材)를 보호재로부터 분리하면서 권출하고, 권출된 보호재를 다시 성막 처리가 실시된 기재와 함께 롤 형상으로 권취하는 연속 성막 장치를 개시하고 있다.
특허문헌 3에 개시된 연속 성막 장치는, 보호재가 적층되고, 롤 형상으로 감긴 기재를 보유 지지하고, 상기 기재를 보호재와 함께 권출하는 권출 롤과, 상기 권출 롤로부터 상기 보호재와 함께 권출된 기재를 상기 보호재가 접촉하도록 회전 가능하게 지지하고, 하류측으로 반송하는 권출측 지지 롤을 구비한 권출부와, 상기 권출측 지지 롤에 걸쳐진 기재를 회전 가능하게 지지하고, 하류측으로 반송하는 권취측 지지 롤과, 상기 권취측 지지 롤을 개재하여 상기 기재를 권취하는 권취 롤을 구비한 권취부와, 상기 권출측 지지 롤로부터 상기 권취측 지지 롤에 장력이 부가 된 상태에서 연속적으로 반송되는 기재의 표면에 성막하는 성막원을 갖는다. 또한, 이 연속 성막 장치는, 보호재 분리 공급부를 갖는다. 보호재 분리 공급부는, 상기 기재가 보호재와 함께 상기 권출측 지지 롤을 통과할 때, 상기 기재로부터 보호재를 분리하고, 권취측으로 반송되는 보호재 분리 반송 수단과, 성막 후의 기재가 상기 권취측 지지 롤에 지지될 때 상기 보호재 분리 반송 수단에 의해 분리 반송된 보호재를 상기 권취측 지지 롤에 접촉함과 함께 상기 기재에 적층하도록 상기 기재로 반송하면서 공급하는 보호재 반송 공급 수단을 구비하고 있다.
이 연속 성막 장치에 의하면, 기재에 결함을 발생시키지 않고 피막을 형성할 수 있다.
특허문헌 3의 연속 성막 장치는, 특히 유리 필름을 대상으로 한 처리를 의도한 것은 아니다. 그러나, 이 장치의 구성, 즉, 보호재를 성막 대상물로부터 분리하여 반송하고, 권취 시에 중첩하여 권취하는 구성은, 특허문헌 1에 기재된 유리 필름과 보호 시트를 중첩한 유리 롤의 성막 장치로서 바람직한 구성이라고 생각된다.
특허문헌 1의 제조 방법에 의해 제조되는 박막 유리(유리 필름)에 대하여 표면 처리 등을 실시하기 위해서, 특허문헌 3의 연속 성막 장치를 채용하는 경우를 고려한다.
여기서 특허문헌 3의 연속 성막 장치는, 기재 및 보호재 모두가 수지계 재료인 것을 전제로 하여 설계되어 있다. 그로 인해, 특허문헌 3의 연속 성막 장치에 있어서의 기재로서 특허문헌 2와 같이 무기물인 박막 유리를 채용하면, 다음과 같은 문제가 발생한다.
즉, 수지계 재료인 보호재(보호 필름)가 진공 중에서 반송되면, 내부에 포함되는 수분이나 유기 성분이 증발하여, 보호 필름이 수축되고, 그 한편, 무기물인 유리 필름은 수축되지 않는다. 따라서, 특허문헌 3의 연속 성막 장치와 같이, 권출된 보호 필름을 다시 유리 필름과 함께 롤 형상으로 권취하면, 보호 필름은, 수축에 의해 유리 필름보다도 짧아져서 과잉된 힘을 유리 필름에 가해버리거나, 또는 과잉 장력에 의해 강한 주름이 발생하여, 유리 필름이 파손되어버리는 경우가 있다.
또한 반대로, 수지계 재료인 보호 필름은, 재질이나 두께에 따라서는, 가해진 장력에 의해 늘어나버리는 일도 있다. 이 경우에는, 보호 필름의 권취 시에 보호 필름이 헐거워져 있어서 보호 필름이 구불구불해져버리고, 이 구불구불해진 보호 필름의 요철에 의해 유리 필름이 파손되기도 한다.
즉, 유리 필름을 처리 대상으로 하는 경우, 수지제의 보호 필름과 유리 필름을 겹쳐 감을 때, 이 필름을 단순히 겹쳐 감기만 해서는, 보호 필름을 권취할 때의 약간의 굴곡 등으로도 필름을 파손되게 할 우려가 있다.
일본특허공개 제2011-201765호 공보 일본특허공개 제2012-1405호 공보 일본특허공개 제2008-189957호 공보
본 발명의 목적은, 유리 필름의 파손을 억제하면서, 유리 필름과 보호 필름을 겹쳐서 권취할 수 있는 유리 필름 반송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 유리 필름 반송 장치는, 긴 유리 필름을 연속적으로 반송하는 유리 필름 반송 장치이며, 긴 보호 시트가 적층된 상기 유리 필름을 권회한 롤로부터, 상기 유리 필름을 권출하는 권출부와, 상기 권출부로부터 권출되어 상기 보호 시트로부터 분리된 상기 유리 필름을 반송하는 유리 필름 반송부와, 상기 유리 필름 반송부에 의해 반송된 상기 유리 필름에, 상기 보호 시트를 적층하면서 롤 형상으로 권취하는 권취부와, 상기 권출부로부터 권출된 상기 유리 필름으로부터 분리된 상기 보호 시트를 반출함과 함께, 상기 권취부를 향해 보호 시트를 반입하는 보호 시트 반송부와, 상기 권취부에 있어서의 상기 보호 시트 및 상기 유리 필름의 권취 상태를 조정하는 권취 조정 기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치의 구성을 나타내는 개략도이다.
도 2는, 제1 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치의 댄서 롤러 기구를 나타내는 개략도이며, 도 2의 (a) 내지 도 2의 (c)는, 각각의 변형예를 나타낸다.
도 3은, 본 발명의 제2 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치의 구성을 나타내는 개략도이다.
도 4는, 본 발명의 제3 실시 형태에 의한 진공 챔버에 유리 필름 반송 장치가 격납된 상태에서의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 5는, 본 발명의 제1 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치의 구성을 나타내는 개략도이며, 도 5의 (a) 및 도 5의 (b)는, 각각의 변형예를 나타낸다.
도 6은, 본 발명의 제2 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치의 권취 조정 기구의 변형예를 나타내는 개략도이다.
이하, 도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치를 설명한다. 또한, 이하에 설명하는 각 실시 형태 및 도면에 있어서, 유리 필름 반송 장치에 있어서의 동일한 구성 부재에는, 동일한 부호 및 동일한 명칭이 부여된다. 따라서, 동일한 부호 및 동일한 명칭이 부여된 구성 부재에 대해서는, 동일한 설명을 반복하지 않는다.
[제1 실시 형태]
도 1 및 도 2를 참조하면서, 본 발명의 제1 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치(1a)에 대하여 설명한다. 도 1은, 본 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치(1a)의 구성을 나타내는 개략도이다. 도 2는, 유리 필름 반송 장치(1a)에 사용되는 댄서 롤러 기구의 구성을 나타내는 개략도이다.
유리 필름 반송 장치(1a)는, 예를 들어 폭 1m 정도이고, 두께 30㎛ 내지 150㎛ 정도의 매우 얇은 유리 필름 GF가 롤 형상으로 감긴 유리 롤 R1로부터 유리 필름 GF를 권출하는 권출부(2)와, 권출된 유리 필름 GF를 스퍼터링이나 증착 등의 표면 처리를 실시하는 표면 처리 공정으로 반송하는 유리 필름 반송부(3)와, 표면 처리가 실시된 유리 필름 GF를 다시 롤 형상의 유리 롤 R2로서 권취하는 권취부(4)를 갖고 있다. 유리 필름 반송 장치(1a)는, 예를 들어 100m 이상에 걸친 긴 유리 필름 GF가 롤 형상으로 감긴 유리 롤 R1로부터 유리 필름 GF를 권출하여, 소위 롤 투 롤 방식으로 반송하는 장치이다.
유리 롤 R1에 있어서, 유리 필름 GF는, 유리 필름 GF와 대략 동일한 폭으로 성형된 수지제의 보호 시트 PF와 교대로 적층되어 있다. 보호 시트 PF의 두께는, 유리 필름 GF와 동일 정도이지만, 유리 필름 GF를 파손이나 손상으로부터 보호할 수 있는 두께이면, 유리 필름 GF와 동일 정도가 아니어도 된다. 또한, 여기서 유리 필름 GF와 보호 시트 PF가 대략 동일한 폭이라 함은, 유리 필름 폭과 보호 시트 폭의 차가 100㎜ 정도 미만, 보다 대표적인 예에서는 50㎜ 정도 이하임을 의미한다. 가장 대표적으로는, 유리 필름 폭에 대하여 보호 시트 폭을 50㎜ 정도 넓게 하고, 유리 롤이 단부로부터 우발적으로 힘은 받은 경우에도 유리 필름 GF의 파손을 방지하는 경우가 있다. 또한, 다른 예에서는, 유리 필름 GF의 양단에 에지 탭이라 불리는 보호 부재가 설치되는 경우가 있다. 이 경우에는, 보호 시트 PF는 유리 필름 GF보다 10~50mm 폭을 좁게 하여, 보호 시트 PF와 보호 부재의 간섭을 피하는 경우도 있다. 또는, 유리 필름 GF와 보호 시트 PF의 폭을 완전히 동일하게 하는 경우도 있다.
이와 같이 유리 필름 GF와 보호 시트 PF는, 후술하는 권출부(2)의 일부를 구성하는 권출 코어(2a)에 권회되어 유리 롤 R1로 되어 있다. 권출 코어(2a)는, 예를 들어 스테인리스나 플라스틱 재료 등으로 형성되어 있다.
권출부(2)로부터 유리 필름 GF를 권출할 때에는, 우선 유리 필름 GF와 보호 시트 PF를 동시에 권출하여, 그 후 유리 필름 GF와 보호 시트 PF로 분리한다는 방법과, 유리 필름 GF를 먼저 권출한 후에 보호 시트 PF를 권출하는 등의 유리 필름 GF와 보호 시트 PF를 교대로 권출한다는 방법이 있다.
도 1을 참조하면서, 본 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치(1a)의 구성을 설명한다. 이하의 설명에서는, 도 1의 지면을 향한 상하 방향을, 유리 필름 반송 장치(1a)의 상하 방향으로 하고, 동일하게 지면을 향한 좌우 방향을 유리 필름 반송 장치(1a)의 좌우 방향으로 한다.
유리 필름 반송 장치(1a)는, 전술한 바와 같이, 유리 롤 R1로부터 유리 필름 GF를 권출하는 권출부(2)와, 권출된 유리 필름 GF를 표면 처리 공정으로 반송하는 유리 필름 반송부(3)와, 표면 처리가 실시된 유리 필름 GF를 다시 롤 형상으로 권취하는 권취부(4)를 갖고 있다. 또한, 유리 필름 반송 장치(1a)는, 권출부(2)에서 유리 롤 R1로부터 권출된 보호 시트 PF를 반송함과 함께, 권취부(4)를 향해 보호 시트 PF를 반입하는 보호 시트 반송부(5a)를 갖고 있다. 이와 같은 구성의 유리 필름 반송 장치(1a)는, 예를 들어 상자형의 진공 챔버(6) 내에 설치되어 있다.
진공 챔버(6)는, 내부가 공동의 케이싱 형상으로 형성되어 있으며, 진공 챔버(6)의 외부에 대하여 내부를 기밀적으로 유지하는 것이다. 도시를 생략하였지만, 진공 챔버(6)의 하측에는 진공 펌프가 설치되어 있으며, 이 진공 펌프에 의해 진공 챔버(6)의 내부가 진공 상태 또는 저압 상태로까지 감압된다.
도 1에 도시한 진공 챔버(6) 내의 상하 방향에 있어서의 중앙부의 좌측 상방에는, 유리 롤을 장착한 권출부(2)가 배치되어 있다. 권출 코어(2a)는, 유리 필름 GF나 보호 시트 PF의 폭보다도 약간 전체 길이가 긴 원통 형상 또는 원기둥 형상의 권취심이다. 권출 코어(2a)에는, 유리 필름 GF와 보호 시트 PF를 교대로 권회함으로써, 유리 롤 R1이 형성되어 있다. 이 유리 롤 R1을 진공 챔버(6) 내에 설치함으로써, 권출부(2)로 된다.
이와 같이 유리 롤 R1을 장착한 권출부(2)는, 권출 코어(2a)를 설치한 권출부(2)의 회전축이, 도 1의 지면을 향해 수직 방향으로 되도록 진공 챔버(6) 내에 배치되어 있다. 따라서, 권출부(2)는, 유리 롤 R1로부터 유리 필름 GF와 보호 시트 PF를 권출함으로써 회전축을 중심으로 회전 운동하는 부재이다.
도 1에 도시한 진공 챔버(6) 내의 상하 방향에 있어서의 중앙보다 하측이며, 권출부(2)의 하방에는, 권출부(2)로부터 권출되어 보호 시트 PF로부터 분리된 유리 필름 GF의 표면에 대하여, 예를 들어 스퍼터링이나 플라즈마 CVD 등의 표면 처리 공정을 실시하는 성막 기구부가 구비되어 있다. 본 실시 형태에서는, 성막 기구부의 일례로서 스퍼터 성막부(7)가 구비되어 있다.
유리 필름 반송부(3)는, 이 표면 처리 공정을 실시하는 스퍼터 성막부(7)에 있어서의 유리 필름 GF의 반송 부재를 포함하고 있다. 도 1은, 일반적인 스퍼터 성막부(7)의 구성의 일부인 성막 롤(8) 및 스퍼터 증발원 T가 도시되어 있다.
도 1에 도시한 스퍼터 성막부(7)의 성막 롤(8)은, 스테인리스 재료 등에 의해 원통 형상 또는 원기둥 형상으로 형성되고, 곡면을 형성하는 외주면에 유리 필름 GF를 감아 반송하는 반송 부재이다. 성막 롤(8)은, 회전 중심으로 되는 성막 롤(8)의 축심(회전축)이, 권출부(2)의 회전 중심으로 되는 축심과 대략 평행해지도록 배치되어 있다.
스퍼터 증발원 T는, 성막 롤(8)에서 반송되는 유리 필름 GF와 대향하도록, 성막 롤(8)의 좌우측에 배치되어 있다. 스퍼터 증발원 T는, 유리 필름 GF의 표면에 퇴적시키는 성분으로 구성된 증발원이다. 스퍼터 증발원 T는, 주지하는 바와 같이, 글로우 방전에 의해 스퍼터된(증발된) 성분이 유리 필름 GF의 표면으로 유도되어 퇴적된다.
전술한 바와 같이, 성막 롤(8)은, 표면 처리 공정을 실시하기 위해 권출부(2)로부터 권출된 유리 필름 GF를 반송하는 부재로서, 유리 필름 반송부(3)를 구성하고 있다.
또한, 도 1을 참조하여, 유리 필름 반송 장치(1a)는, 권출부(2)와 성막 롤(8)의 사이에 제1 가이드 롤러(9)를 구비하고 있다. 제1 가이드 롤러(9)는, 성막 롤(8)과 마찬가지로 스테인리스 재료 등에 의해 원통 형상 또는 원기둥 형상으로 형성된 부재이다. 제1 가이드 롤러(9)는, 성막 롤(8)의 외경보다도 작은 외경의 원통 또는 원기둥 형상을 갖고 있다.
제1 가이드 롤러(9)의 회전축은, 권출부(2) 및 성막 롤러(8)의 회전축과 평행하며, 진공 챔버(6)의 좌우 방향에 있어서, 성막 롤(8)의 좌측 단부보다도 진공 챔버(6)의 중앙 근처, 즉, 성막 롤(8)의 회전축 근처에 배치되어 있다. 제1 가이드 롤러(9)의 이 배치는, 성막 롤(8)에 대하여 항상 일정한 각도 및 방향에서 유리 필름 GF를 반송하는 것을 가능하게 한다.
유리 필름 반송부(3)는, 성막 롤(8)만으로 구성하는 것이 가능하지만, 본 실시 형태에서는, 유리 필름 반송부(3)가 성막 롤(8)과 제1 가이드 롤러(9)로 구성 됨으로써, 유리 필름 반송 경로가 형성된다.
도 1에 도시한 진공 챔버(6) 내에서, 도 1의 지면을 향해 권출부(2)의 우측에는, 권취부(4)가 배치되어 있다. 권취부(4)는, 유리 필름 반송부(3)를 통하여 표면 처리가 실시된 유리 필름 GF를 다시 롤 형상의 유리 롤 R2로서 권취한다.
권취부(4)는, 권출부(2)와 마찬가지로 구성되어 있으며, 유리 필름 GF나 보호 시트 PF의 폭보다도 약간 전체 길이가 긴 원통 형상 또는 원기둥 형상의 권취심인 권취 코어(4a)를 갖고 있다. 권취부(4)는 이 권취심의 축심인 권취부(4)의 회전축이, 도 1의 지면을 향해 수직 방향으로 되도록, 즉 전술한 권출부(2)나 성막 롤(8) 등의 회전축과 평행해지도록 진공 챔버(6) 내에 배치되어 있다.
이와 같은 권취부(4)는, 액추에이터 등에 의해 회전축을 중심으로 회전 운동 함으로써, 후술하는 보호 시트 반송부(5)로부터의 보호 시트 PF를 권취하고, 유리 필름 반송부(3)로부터의 유리 필름 GF를 권취한다.
여기서, 도 1에 도시한 바와 같이, 유리 필름 반송 장치(1a)는, 권취부(4)와 성막 롤(8)의 사이이며 제1 가이드 롤러(9)의 우측에, 제2 가이드 롤러(10)를 구비하고 있다. 제2 가이드 롤러(10)는, 제1 가이드 롤러(9)와 마찬가지의 구성을 갖고 있으며, 성막 롤(8)과 마찬가지로 스테인리스 재료 등에 의해 원통 형상 또는 원기둥 형상으로 형성된 부재이다. 제2 가이드 롤러(10)는, 제1 가이드 롤러(9)의 외경과 동일한 외경을 갖고 있다.
제2 가이드 롤러(10)의 회전축은, 권취부(4) 및 성막 롤러(8)의 회전축과 평행하며, 진공 챔버(6)의 좌우 방향에 있어서, 성막 롤(8)의 우측 단부보다도 진공 챔버(6)의 중앙 근처, 즉 성막 롤(8)의 회전축 근처에 배치되어 있다. 제2 가이드 롤러(10)의 이 배치는, 성막 롤(8)에 대하여 항상 일정한 각도 및 방향을 따라서 유리 필름 GF를 반출하는 것을 가능하게 한다.
이상의 설명에서는, 유리 필름 반송 장치(1a)에 있어서, 권출부(2)로부터 권출된 유리 필름 GF가 권취부(4)에 다시 권취될 때까지의 구성이 설명되어 있다. 이하에, 권출부(2)로부터 권출된 보호 시트 PF가 권취부(4)에 다시 롤로서 권취될 때까지의 구성이 설명된다.
유리 필름 반송 장치(1a)는, 권출부(2)로부터 권출된 유리 필름 GF로부터 분리한 보호 시트 PF를 반출함과 함께, 권취부(4)를 향해 보호 시트 PF를 반입하는 보호 시트 반송부(5a)를 구비하고 있다.
도 1에 도시한 바와 같이, 보호 시트 반송부(5a)는, 권출부(2)의 상방에 배치된 제1 보호 시트 롤러(11), 권취부(4)의 상방에 배치된 제2 보호 시트 롤러(12) 및 제1 보호 시트 롤러(11)와 제2 보호 시트 롤러(12)의 거의 중간에 배치된 댄서 롤러(13a)를 갖는다.
제1 보호 시트 롤러(11) 및 제2 보호 시트 롤러(12)는, 제1 가이드 롤러(9) 및 제2 가이드 롤러(10)와 거의 마찬가지의 구성을 갖는 원통 형상 또는 원기둥 형상의 롤러이다. 본 실시 형태에서는, 제1 보호 시트 롤러(11) 및 제2 보호 시트 롤러(12)의 외경은, 제1 가이드 롤러(9) 및 제2 가이드 롤러(10)의 외경보다도 작다. 이러한 제1 보호 시트 롤러(11) 및 제2 보호 시트 롤러(12)의 각각은, 권출부(2) 또는 권취부(4)의 바로 위 부근에서, 회전축이, 권출부(2) 및 권취부(4)의 회전축과 거의 평행해지도록, 배치되어 있다.
댄서 롤러(13a)는 제1 보호 시트 롤러(11) 및 제2 보호 시트 롤러(12)와 거의 마찬가지의 구성을 갖는 롤러이다. 댄서 롤러(13a)는, 제1 보호 시트 롤러(11)와 제2 보호 시트 롤러(12)의 거의 중간 위치에, 회전축이 제1 보호 시트 롤러(11) 및 제2 보호 시트 롤러(12)의 회전축과 거의 평행해지도록 배치되어 있다. 댄서 롤러(13a)는, 이 회전축의 평행을 유지하면서, 상하 방향으로 직선적인 이동이 가능하도록, 진공 챔버(6)의 내부에 설치되어 있다.
도 2의 (a)에 도시한 바와 같이, 댄서 롤러(13a)의 상하 방향의 이동 범위에서의 중간 위치는, 제1 보호 시트 롤러(11) 및 제2 보호 시트 롤러(12)의 회전축보다도 약간 하방이다. 댄서 롤러(13a)는, 이 상하 방향의 이동 범위 내에서 자중 또는 리니어 슬라이더에 의해 상하로 이동하면서, 제1 보호 시트 롤러(11)로부터 제2 보호 시트 롤러(12)에 걸쳐진 보호 시트 PF에 대하여 상방으로부터 보호 시트 PF의 폭 방향을 따라서 접함으로써 하중을 가하여, 보호 시트 PF의 반송 방향을 따른 장력을 부가하는 댄서 롤러 기구를 실현하고 있다.
신장에 의해 보호 시트 PF의 반송 경로 길이가 길어진 경우에는, 반송 경로 길이가 길어진 양만큼 댄서 롤러(13a)가 하방으로 이동하여, 제1 보호 시트 롤러(11)와 제2 보호 시트 롤러(12)의 사이에 있어서의 보호 시트 PF의 반송 경로 길이가 길어지도록 조정된다. 반대로, 수축에 의해 보호 시트 PF의 반송 경로 길이가 짧아진 경우에는, 반송 경로 길이가 짧아진 양만큼 댄서 롤러(13a)가 상방으로 이동하여, 제1 보호 시트 롤러(11)와 제2 보호 시트 롤러(12)의 사이에 있어서의 보호 시트 PF의 반송 경로 길이가 짧아지도록 조정된다.
즉, 댄서 롤러(13a)는, 보호 시트 PF의 반송 경로 길이를 적절하게 조정함과 함께, 보호 시트 PF의 반송 경로 길이가 변화하여도, 보호 시트 PF에 대하여 항상 장력을 부가하므로, 보호 시트 PF의 신장에 의한 헐거워짐 및 수축에 의한 과잉 장력을 방지할 수 있다. 이와 같이, 댄서 롤러(13a)는, 안정된 보호 시트 PF의 반송을 실현할 수 있다. 계속해서, 도 1을 참조하면서, 유리 필름 반송 장치(1a)의 동작을 설명한다. 이하에서는, 유리 필름 반송 장치(1a)에 유리 롤을 반입하여 각 롤러에 보호 시트 PF 및 유리 필름 GF를 권출 등의 유리 필름 반송 장치(1a)를 동작시키기 위한 준비 조작의 설명이 생략된다.
권출부(2)의 유리 롤 R1로부터, 적층 필름의 한쪽 필름인 유리 필름 GF가 권출되고, 유리 필름 반송부(3)로 반송된다. 또한, 권출부(2)가 유리 필름 GF의 권출로부터 약 반회전된 후에, 적층 필름의 다른 쪽 필름인 보호 시트 PF가 권출되고, 보호 시트 반송부(5)로 반송된다.
유리 필름 반송부(3)로 반송된 유리 필름 GF는, 제1 가이드 롤러(9)로부터 성막 롤(8)에 감기면서, 스퍼터 처리 등이 실시됨으로써 표면 처리가 행해진다.
표면 처리가 실시된 유리 필름 GF는, 성막 롤(8)로부터 제2 가이드 롤러(10)로 반송되고, 제2 가이드 롤러(10)로부터 권취부(4)로 반송된다.
이 유리 필름 GF의 반송과 동시에, 보호 시트 PF는, 보호 시트 반송부(5)로 반송되어, 제1 보호 시트 롤러(11)로부터 제2 보호 시트 롤러(12)를 통과하여 권취부(4)로 반송된다. 보호 시트 PF는, 제1 보호 시트 롤러(11)로부터 제2 보호 시트 롤러(12)로 반송되는 도중에, 댄서 롤러(13a)에 의해 장력이 부가된다.
도 1에 도시한 바와 같이, 제2 보호 시트 롤러(12)를 통과한 보호 시트 PF는, 권취부(4)에 권회된다. 권취부(4)는, 보호 시트 PF가 권회되고 나서 약 반회전된 후에, 제2 가이드 롤러(10)로부터 반송된 유리 필름 GF를 먼저 권회된 보호 시트 PF 위에 권취하여, 다시 유리 롤 R2를 형성한다.
이와 같이, 권취부(4)는, 보호 시트 PF를 권취하고 나서 바로 유리 필름 GF를 권취하지 않고, 보호 시트 PF를 권취하여 어느 정도 회전한 후에, 권취된 보호 시트 PF 위에 유리 필름 GF를 권취한다. 권취부(4)는, 보호 시트 PF의 권취와 유리 필름 GF의 권취를 이들 사이에 소위 시간차를 갖고 행한다. 이 시간차는, 권취부(4)에 대한 제2 가이드 롤러(10) 및 제2 보호 시트 롤러(12)의 위치 관계에 의해 실현한다. 예를 들어 제2 가이드 롤러(10)나 제2 보호 시트 롤러(12)의 위치를 변경함으로써, 유리 필름 GF나 보호 시트 PF의 특성에 따라서 이 시간차를 변경할 수 있다.
본 실시 형태에서는, 제2 가이드 롤러(10) 및 제2 보호 시트 롤러(12)에 의해, 권취 조정 기구를 구성하고 있다. 권취 조정 기구는, 권취부(4)에 있어서의 보호 시트 PF 및 유리 필름 GF의 권취 상태를 조정한다. 제2 보호 시트 롤러(12)는, 보호 시트 반송부(5a)와 권취 조정 기구의 양쪽에 포함되는 구성 부재이다.
이상으로 설명한, 댄서 롤러 기구를 구비하는 유리 필름 반송 장치(1a)에 의해, 권취부(4)로부터 권출된 수지제의 보호 시트 PF는, 진공 중에서 수축 또는 신장하여도, 항상 적절한 반송 경로 길이로 조정됨과 함께 적절한 장력이 부가되므로, 주름이 발생하거나 구불구불해지지 않고 권취부(4)에 권취된다. 보호 시트 PF가 주름이 발생하거나 구불구불해지지 않고 권취되면, 보호 시트 PF 위에 권취되는 유리 필름 GF의 파손을 방지할 수 있다. 또한, 보호 시트 PF에 과잉 장력이 가해짐으로써 유리 필름 GF가 파손되는 것을 방지할 수도 있다.
다음으로, 도 2를 참조하면서, 댄서 롤러 기구의 변형예를 설명한다.
도 2의 (b)는, 제2 보호 시트 롤러(12)의 회전축을 중심으로 회동하는 댄서 롤러(13b)를 나타내고 있다. 여기서, 도 2의 (b)는, (b-1) 및 (b-2)를 포함한다. (b-1)은, 제1 보호 시트 롤러(11), 제2 보호 시트 롤러(12) 및 댄서 롤러(13b)를 각각의 회전축이 연장하는 방향에서 본 도면, (b-2)는, 제2 보호 시트 롤러(12) 및 댄서 롤러(13b)의 평면 배치를 나타내는 도면이다. 도 2의 (b)에서는, 제2 보호 시트 롤러(12)의 양단측에 있어서 제2 보호 시트 롤러(12)의 회전축(12a)에는, 상기 회전축(12a)을 중심으로 회동하는 평판 형상의 2개의 아암(14)의 일단부측이 설치되어 있다. 2개의 아암(14)의 타단부측에는, 제2 보호 시트 롤러(12)의 회전축(12a)과 평행해지도록 댄서 롤러(13b)가 설치되어 있다. 이 2개의 아암(14)에 의해, 댄서 롤러(13b)는 제2 보호 시트 롤러(12)의 회전축(12a)을 중심으로 회동 가능하게 되어, 도 2의 (b)에 도시한 바와 같이, 보호 시트 PF의 상방으로부터 장력을 부가할 수 있다. 댄서 롤러(13b)를 보유 지지하는 2개의 아암(14)은 댄서 롤러(13b)의 자중에 의해 회동하여도 되고, 제2 보호 시트 롤러(12)의 회전축(12a)과는 독립하여 상기 2개의 아암(14)을 회동시키는 액추에이터에 의해 회동하여도 된다.
댄서 롤러 기구의 다른 변형예로서, 도 2의 (c)에 도시한 것이 있다. 여기서, 도 2의 (c)는, (c-1), (c-2) 및 (c-3)을 포함한다. (c-1)은, 제1 보호 시트 롤러(11), 제2 보호 시트 롤러(12), 제1 롤러(13c) 및 제2 롤러(13d)를 각각의 회전축이 연장하는 방향에서 본 도면, (c-2)는, 제1 롤러(13c) 및 제2 롤러(13d)가 중심 O 주위로 시계 방향으로 회전하여 보호 시트 PF의 늘어남을 흡수하고 있는 상태를 나타내는 도면, (c-3)은, 제1 롤러(13c) 및 제2 롤러(13d)의 평면 배치를 나타내는 도면이다. 도 2의 (c)에 도시한 댄서 롤러 기구는, 전술한 댄서 롤러(13b)와 마찬가지의 구성의 제1 롤러(13c)와 제2 롤러(13d)를 평행하게 보유 지지하는 것이다. 도 2의 (c)에서는, 평행하게 유지한 제1 롤러(13c) 및 제2 롤러(13d)를 각 롤러(13c, 13d)의 회전축 방향으로부터 2매의 원판(15) 사이에 끼워서 일체로 함으로써 댄서 롤러 기구를 구성한다. 이때, 평행하게 유지한 제1 롤러(13c) 및 제2 롤러(13d)의 회전축 방향에 있어서, 2매의 원판(15)의 중심 O가 서로 대응하는 것이 바람직하다. 또한, 제1 롤러(13c) 및 제2 롤러(13d)의 회전축이 각 원판(15)의 어떤 1개의 직경상에서 원판(15)의 중심 O로부터 등거리로 되도록, 원판(15)에 보유 지지되는 것이 바람직하다.
또한, 도 2의 (c)에 도시한 바와 같이, 2매의 원판(15)의 중심 O, 즉 제1 롤러(13c) 및 제2 롤러(13d)가 일체로 된 댄서 롤러 기구의 회전축(15a)은 2매의 원판(15)의 중심을 가로지르는 축이며, 제1 보호 시트 롤러(11) 및 제2 보호 시트 롤러(12)의 회전축과 평행해지도록, 제1 보호 시트 롤러(11) 및 제2 보호 시트 롤러(12)의 거의 중간 위치에 배치된다.
댄서 롤러 기구의 제1 롤러(13c)와 제2 롤러(13d)의 사이에 보호 시트 PF를 통과시킨 후에, 댄서 롤러 기구를 도 2의 지면을 향해 시계 방향으로 회전 토크를 부여하면, 제1 롤러(13c) 및 제2 롤러(13d)를 보호 시트 PF를 가압하는 방향으로 회전 이동하고, 도 2의 (c)의 (c-1)에 도시한 바와 같이, 보호 시트 PF에 장력을 부가할 수 있다.
유리 필름 반송 장치의 운전 과정에서 예를 들어 보호 시트 PF가 늘어나게 되면, 도 2의 (c)의 (c-2)에 도시한 바와 같이, 댄서 롤러 기구는 시계 방향으로 더 회전하여, 보호 시트 PF의 늘어남을 흡수함과 함께 계속해서 적당한 장력을 부가 가능하다. 보호 시트 PF에 수축이 발생하는 경우에는, 이들과 반대 동작에 의해 경로 길이가 조정된다.
또한, 보호 시트 반송 기구(5)를 구성하는 롤러 중 적어도 1개의 표면에 점착성을 갖게 하여, 보호 시트 PF를 클리닝하는 기능을 갖도록 구성하여도 된다. 예를 들어, 도 2의 (a)의 구성이라면, 댄서 롤러(13a)의 표면 및 제1 보호 시트 롤러(11) 또는 제2 보호 시트 롤러(12)의 한쪽 표면이 각각 클리닝 기능을 가지면, 보호 시트 PF의 양면을 클리닝할 수 있다. 본 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치(1a)는, 보호 시트 PF의 표면에 부착된 더스트 등의 입자를 제거함으로써, 보호 시트 PF에 부착된 이물에 의한 권취된 유리 필름 GF의 파손을 방지할 수 있다.
단, 유리 필름 GF와 보호 시트 PF를 권취부(4)에 권취하는 구조는, 권취부(4)에 대한 유리 필름 GF의 진입과 보호 시트 PF의 진입의 위치 관계를 고려하지 않고 결정되면, 유리 필름 GF를 감기 전의 보호 시트 PF의 구불구불해짐이 남아 있는 등의 원인에 의해, 유리 필름 GF의 파손을 야기한다는 등의 문제가 발생할 우려가 있다.
본 실시 형태의 마지막으로, 전술한 문제를 방지하기 위한 권취부(4) 주변의 구조, 구체적으로는 권취 제조 기구를 구성하는 각 롤러의 적합한 위치 관계에 대하여 설명한다.
전술한 바와 같이, 제2 가이드 롤러(10) 및 제2 보호 시트 롤러(12)에 의해, 권취부(4)에 있어서의 보호 시트 PF 및 유리 필름 GF의 권취 상태를 조정하는 권취 조정 기구가 구성되어 있다. 도 1에서는, 권취부(4)는, 보호 시트 PF를 권취하고 나서 바로가 아니라, 어느 정도 회전한 후에, 권취된 보호 시트 PF 위에 유리 필름 GF를 권취하고 있다. 권취부(4)는, 보호 시트 PF의 권취와 유리 필름 GF의 권취를 소위 각도차를 갖고 행하고 있다. 이 각도차는, 권취부(4)에 대한 제2 가이드 롤러(10) 및 제2 보호 시트 롤러(12)의 위치 관계에 의해 실현하는 것이다. 예를 들어 제2 가이드 롤러(10)나 제2 보호 시트 롤러(12)의 위치를 변경함으로써, 유리 필름 GF나 보호 시트 PF의 특성에 따라서 이 각도를 변경할 수 있다.
다시, 도 1을 참조하면서 설명을 행한다. 본 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치(1a)에서는, 권취부(4)에 있어서의 보호 시트 PF 및 유리 필름 GF의 권취 상태를 조정하는 권취 조정 기구가, 보호 시트 롤러(12) 및 제2 가이드 롤러(10)로 구성되어 있으며, 권취부(4)는 보호 시트 롤러(12)로부터 공급된 보호 시트 PF를 권취한 후에, 소정의 각도 θ를 경과한 후에, 제2 가이드 롤러(10)로부터의 유리 필름 GF를 권취하고 있다. 이 각도 θ는, 보호 시트 PF와 유리 필름 GF가 권취부(4)로 공급되는 각도의 관계에 의해 실현한다.
본 실시 형태에 있어서, 권취 조정 기구는, 보호 시트 롤러(12)로부터 공급된 보호 시트 PF가 권취부(4)에 접한 후의 권취부(4)의 회전각 θ가 90°이상 315°이하로 되는 회전 범위(즉, 보호 시트 PF가 권취부(4)에 권취되기 시작한 위치로부터 90°이상 315°이하로 되는 회전 범위)에 있어서, 먼저 권취된 보호 시트 PF 위에 유리 필름 GF가 적층되는 위치 관계를 유지함으로써, 권취부(4)에 있어서의 보호 시트 PF 및 유리 필름 GF의 권취 상태를 조정한다.
예를 들어, 도 1에 있어서, 보호 시트 롤러(12)로부터 공급된 보호 시트 PF는 권취부(4)의 좌측에서 접하고 있지만, 제2 가이드 롤러(10)로부터의 유리 필름 GF는 권취부(4)의 우측에서 접하도록, 권취부(4), 보호 시트 롤러(12) 및 제2 가이드 롤러(10)가 배치되어 있다. 도 1에서는, 권취부(4)는, 보호 시트 PF가 권취부(4)와 접하는 위치로부터 유리 필름 GF가 권취부(4)와 접하는 위치까지, 약 180°의 회전각 θ를 필요로 한다.
이와 같이, 보호 시트 PF가 권취되고 나서 유리 필름 GF가 권취될 때까지의 사이에 회전각 θ를 설치한다 함은, 유리 필름 GF의 파손을 방지할 것을 의도하고 있다. 즉, 권취부(4)에 권취된 직후의 보호 시트 PF에는, 유리 필름 GF의 파손을 초래하는 시트의 구불구불해짐이 잔존할 가능성이 있으므로, 그 구불구불해짐이 소실된 후에 유리 필름 GF를 적층하는 것이 바람직하다. 보호 시트 PF가 권취부에 접촉하고 나서, 유리 필름 GF의 적층에 적합한 안정적으로 넓어진 상태가 되기 위해서는, 경험적으로 90°이상의 각도를 경과하고 있는 것이 바람직하다.
한편, 보호 시트 PF를 권취하고 나서 유리 필름 GF를 권취할 때까지의 회전각 θ가 너무 크면, 반대로 유리 필름 GF를 권취한 직후에 보호 시트 PF가 접촉해버린다. 유리 필름 GF를 권취한 후, 45°이내에서 보호 시트 PF를 감으면, 유리 필름 GF가 권취부에 충분히 정착된 상태(즉, 충분히 안정된 상태)에서 접촉하기 전에 보호 시트 PF가 감기게 되므로 바람직하지 않다. 결과적으로, 보호 시트 PF를 권취하고 나서 유리 필름 GF를 권취할 때까지의 회전각은 90°내지 315°사이의 각도인 것이 바람직하다. 또한, 이 회전각 θ는, 보호 시트 PF나 유리 필름 GF의 특성에 따라서 변경할 수 있다.
다음으로, 도 5를 참조하여, 회전각 θ를 조정하기 위한 권취 조정 롤러(19)를 구비한 권취 조정 기구에 대하여 설명한다.
도 5의 (a)는, 제1 실시 형태의 변형예로서, 권취 조정 롤러(19)가 보호 시트 롤러(12)와 권취부(4)의 사이에 배치된 권취 조정 기구의 구성을 나타내고 있다. 권취 조정 롤러(19)는, 보호 시트 롤러(12)와 거의 마찬가지의 구성을 갖는다. 권취 조정 롤러(19)는, 보호 시트 롤러(12)로부터 공급되는 보호 시트 PF를, 일단 권취부(4)보다도 좌측으로 유도하고 나서 권취부(4)의 좌측 하방측에 공급하고 있다. 도 1과 비교하면, 이 권취 조정 롤러(19)에 의해, 보호 시트 PF가 권취부(4)와 접하는 위치가, 권취부(4)의 하방측으로 이동하고 있으며, 보호 시트 PF가 권취부(4)와 접하는 위치로부터 유리 필름 GF가 권취부(4)와 접하는 위치까지의 권취부(4)의 회전각 θ는, 거의 90°이다.
도 5의 (b)는, 제1 실시 형태의 다른 변형예로서, 권취 조정 롤러(19)가 권취부(4)의 우측 방향에 배치된 권취 조정 기구의 구성을 나타내고 있다. 권취 조정 롤러(19)는, 보호 시트 롤러(12)로부터 공급되는 보호 시트 PF를, 일단 권취부(4)의 우측 방향으로 유도하고 나서 권취부(4)의 우측에 공급하고 있다. 이에 의해, 보호 시트 PF가 권취부(4)와 접하는 위치는, 권취부(4)의 좌측 하방측인 도 5의 (a)와는, 완전히 상이한 위치로 이동하고 있다. 도 5의 (b)에 있어서, 보호 시트 PF가 권취부(4)와 접하는 위치로부터 유리 필름 GF가 권취부(4)와 접하는 위치까지의 권취부(4)의 회전각 θ는, 거의 315°이다.
전술한 바와 같이, 보호 시트 롤러(12)로부터 공급되는 보호 시트 PF를 권취부(4)와는 상이한 위치로 유도하는 권취 조정 롤러(19)를 보호 시트 롤러(12)와 권취부(4)의 사이에 설치함으로써, 전술한 회전각 θ를, 보호 시트 PF나 유리 필름 GF의 특성에 따라서 변경할 수 있다.
또한, 전술한 보호 시트 PF와 유리 필름 GF가 권취부(4)에 공급되는 각도의 관계는, 본 발명이 대상으로 하는, 보호 시트 PF의 반송 기구를 갖는 유리 필름 반송 장치 이외에도 유효하다. 예를 들어, 선행 문헌 2에 기재된 바와 같이, 보호 시트 PF를 권출부(2) 근방에서 회수하거나, 혹은 보호 시트 PF를 사용하지 않고 권취된 유리 롤을 권출부(2)에 설치한 경우에는, 권취측으로 반송할 보호 시트 PF가 존재하지 않는다. 이러한 경우에는, 보호 시트 PF의 공급부가, 예를 들어 선행 문헌 2의 기재와 같이 권취부(4)의 근방에 설치된다. 이러한 경우에도, 보호 시트 공급부로부터 공급되는 보호 시트 PF를 전술한 각도의 관계를 만족하도록 공급하면 된다. 구체적으로는, 보호 시트 롤러(12)의 위치에, 대신에 보호 시트 공급부를 설치하면 된다.
[제2 실시 형태]
도 3을 참조하여, 본 발명의 제2 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치(1b)에 대하여 설명한다.
도 3은, 제2 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치(1b)의 개략 구성을 나타내고 있다. 도 3에 있어서의 권출부(2), 성막 롤(8), 권취부(4), 제1 가이드 롤러(9) 및 제2 가이드 롤러(10)는, 제1 실시 형태에 있어서 동일한 부호를 부여한 구성 부재와 마찬가지의 구성을 갖고 있다.
본 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치(1b)는 제1 실시 형태와 비교하면, 댄서 롤러 기구를 포함하는 보호 시트 반송부(5b)의 구성 및 배치가, 제1 실시 형태의 보호 시트 반송부(5a)와는 상이하다. 따라서, 이하에는, 댄서 롤러 기구를 포함하는 보호 시트 반송부(5b)의 구성 및 배치에 대하여 설명한다.
보호 시트 반송부(5b)는 제1 보호 시트 롤러(11), 제2 보호 시트 롤러(12), 댄서 롤러(13e) 외에 적층 롤러(16)를 갖고 있다. 보호 시트 반송부(5b)의 제1 보호 시트 롤러(11), 제2 보호 시트 롤러(12), 댄서 롤러(13e)는 배치되는 위치가 제1 실시 형태와는 달리, 권출부(2), 권취부(4)보다 하방에 설치되지만, 제1 실시 형태에 있어서의 제1 보호 시트 롤러(11), 제2 보호 시트 롤러(12), 댄서 롤러(13a)와 마찬가지의 기능을 행한다.
적층 롤러(16)는, 제2 가이드 롤러(10)와 거의 마찬가지의 구성을 갖고 있다. 적층 롤러(16)는, 권취부(4)와 제2 가이드 롤러(10)의 사이에, 권취부(4) 및 제2 가이드 롤러(10)와 평행해지도록 설치되어 있다. 보호 시트 반송부(5b)에서 이송된 보호 시트 PF는, 적층 롤러(16)에 하측으로부터 감아 반송 방향을 바꾸고, 적층 롤러(16) 위에서 유리 필름 반송부(3)로부터 반송된 유리 필름 GF와 중첩하여 적층되고, 권취부(4)로 반송된다. 권취부(4)는, 적층 롤러(16)로부터 반송된 적층 필름 LF를 권취하여, 유리 롤 R2를 형성한다.
도 3에 도시한 바와 같이, 보호 시트 반송부(5b)는, 제1 실시 형태에 있어서 도 2의 (a)에 도시한 댄서 롤러 기구와 마찬가지로 제1 보호 시트 롤러(11), 제2 보호 시트 롤러(12)의 사이에 상하 방향으로 직선적인 이동이 가능한 댄서 롤러(13e)를 갖고 있다. 본 실시 형태에 있어서, 댄서 롤러(13e)는 액추에이터에 의해 상방으로부터 하방을 향해 이동함으로써, 보호 시트 PF와 폭 방향을 따라서 접촉하여 보호 시트 PF에 장력을 부가한다.
본 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치(1b)에 있어서도, 권취부(4)로부터 권출된 수지제의 보호 시트 PF는, 진공 중에서 수축 또는 신장하여도, 댄서 롤러 기구에 의해, 항상 적절한 반송 경로 길이로 조정됨과 함께 적절한 장력이 부가된다. 그로 인해, 보호 시트 PF는, 주름이 발생하거나 구불구불해지거나 하지 않고 적층 롤러(16)에 감긴다. 보호 시트 PF가 주름이 발생하거나 구불구불해지거나 하지 않고 적층 롤러(16)에 감김으로써, 보호 시트 PF 위에 적층되는 유리 필름 GF의 파손을 방지할 수 있다.
이와 같이, 권취부(4)는, 적층 롤러(16)에서 보호 시트 PF와 유리 필름 GF가 적층된 적층 필름 LF를 권취한다. 적층 롤러(16)는, 보호 시트 PF의 권취와 유리 필름 GF의 권취를 약간의 시간차를 갖고 행한다. 이 시간차는, 적층 롤러(16)에 대한 제2 가이드 롤러(10)의 위치 관계에 의해 실현한다. 따라서, 이 시간차는, 제2 가이드 롤러(10)나 적층 롤러(16)의 위치를 변경함으로써, 유리 필름 GF나 보호 시트 PF의 특성에 따라서 변경할 수 있다.
따라서, 제2 가이드 롤러(10), 제2 보호 시트 롤러(12) 및 적층 롤러(16)에 의해, 권취부(4)에 있어서의 보호 시트 PF 및 유리 필름 GF의 권취 상태를 조정하는 권취 조정 기구가 구성된다. 적층 롤러(16)는, 보호 시트 반송부(5b)와 권취 조정 기구의 양쪽에 포함되는 구성 부재이다.
단, 유리 필름 GF와 보호 시트 PF를 적층 롤러(16) 위에서 겹치는 구조는, 적층 롤러(16)에 대한 유리 필름 GF의 진입과 보호 시트 PF의 진입의 위치 관계를 고려하지 않고 결정되면, 유리 필름 GF를 감기 전의 보호 시트 PF의 구불구불해짐이 남아 있는 등의 원인에 의해, 유리 필름 GF의 파손을 야기한다는 문제가 발생한다.
따라서, 전술한 문제를 방지하기 위한 적층 롤러(16) 주변의 구조, 구체적으로는 권취 제조 기구를 구성하는 각 롤러의 바람직한 위치 관계에 대하여 설명한다.
전술한 바와 같이, 적층 롤러(16), 제2 가이드 롤러(10) 및 제2 보호 시트 롤러(12)에 의해, 권취부(4)에 있어서의 보호 시트 PF 및 유리 필름 GF의 권취 상태를 조정하는 권취 조정 기구가 구성되어 있다. 도 3에서는, 적층 롤러(16) 위에서, 보호 시트 PF를 감고 나서 바로 유리 필름 GF를 권취하지 않고, 보호 시트 PF를 권취하여 어느 정도 회전한 후에, 감은 보호 시트 PF 위에 유리 필름 GF를 겹쳐 감을 수 있다. 적층 롤러(16) 위에서는, 보호 시트 PF의 감기와, 그 위로의 유리 필름 GF의 겹쳐 감기가 각도차를 갖고 행해지고 있다. 이 각도차는, 적층 롤러(16)에 대한 제2 가이드 롤러(10), 제2 보호 시트 롤러(12) 및 권취부(4)의 위치 관계에 의해 실현한다. 예를 들어 제2 가이드 롤러(10)나, 제2 보호 시트 롤러(12)의 위치 변경에 의해, 유리 필름 GF나 보호 시트 PF의 특성에 따라서 이 각도차를 변경할 수 있다.
다시, 도 3을 참조하면서 설명을 행한다. 본 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치(1b)에서는, 권취부(4)에 있어서의 보호 시트 PF 및 유리 필름 GF의 권취 상태를 조정하는 권취 조정 기구가, 적층 롤러(16), 제2 보호 시트 롤러(12) 및 제2 가이드 롤러(10)로 구성되어 있다. 적층 롤러(16)의 위에는, 우선, 제2 보호 시트 롤러(12)로부터 공급된 보호 시트 PF가 감기게 되고, 그 후, 적층 롤러(16)가 소정의 회전각 θ를 회전한 후에, 제2 가이드 롤러(10)로부터의 유리 필름 GF가 보호 시트 PF 위에 겹쳐 감기게 된다. 이어서, 유리 필름 GF는, 보호 시트 PF 위에 겹쳐 감기게 된 상태에서 소정의 회전각 η만큼 적층 롤러(16) 위에서 반송된다. 그 후, 유리 필름 GF와 보호 시트 PF가 적층된 적층 필름 LF는, 권취부(4)를 향한다. 이 회전각 θ와 회전각 η는, 보호 시트 PF와 유리 필름 GF가 적층 롤러(16)에 공급되는 각도와, 권취부(4)를 향하는 각도의 관계에 의해 실현한다.
본 실시 형태에 있어서, 권취 조정 기구는, 제2 보호 시트 롤러(12)로부터 공급된 보호 시트 PF가 적층 롤러(16) 위에서 회전각 θ(제1 회전각)가 45°이상 감기게 된 후에, 먼저 권취된 보호 시트 PF 위에 유리 필름 GF가 적층되고, 또한, 보호 시트 PF와 유리 필름 GF가 적층된 상태가 적층 롤러(16) 위에서 보유 지지되는 회전각 η(제2 회전각)가 30°이상 90°이하(30°내지 90°)의 범위이며, 또한, 보호 필름이 적층 롤러(16)에 감긴 회전각[즉, 제1 회전각과 제2 회전각의 합(회전각 θ+회전각 η)]을 270°미만으로 하는 위치 관계를 유지함으로써 보호 시트 PF 및 유리 필름 GF의 권취 상태를 조정한다.
본 실시 형태에 있어서, 권취 조정 기구는, 제2 보호 시트 롤러(12)로부터 공급된 보호 시트 PF가 적층 롤러(16)의 회전각 θ가 45°이상, 바람직하게는 60°이상으로 되는 회전 범위에서, 유리 필름 GF가 보호 시트 PF 위에 적층되는 위치 관계를 유지하면서, 보호 시트 PF 및 유리 필름 GF의 권취 상태를 조정하는 것이다.
본 출원의 발명자들은, 적층 롤러(16) 위에서는, 제1 실시 형태와 같이 유리 롤 R2 위에 감긴 경우에 비하여, 보호 시트 PF의 구불구불해짐이 소실되는 것이 빠르다는 사실을, 실험을 통하여 알 수 있게 되었다. 구체적으로는, 보호 시트 PF가 적층 롤러(16)에 접하고 나서 적층 롤러(16)의 회전각으로서 45°정도 반송되면, 보호 시트 PF가 적층 롤러(16) 위에 굴곡이나 주름이 없어 넓어지는 것을 알게 되었다.
이 밖에, 적층 롤러(16)의 온도를, 예를 들어 -20℃ 내지 80℃ 정도로 되도록 조정해 두면, 적층 롤러(16)에 접하고 있는 보호 시트 PF는, 표면 처리 공정에서 고온으로 된 유리 필름 GF가 적층되어도, 열에 의한 손상을 받는 일이 없다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 권취 조정 기구에서는, 적층 롤러(16) 위에서 보호 시트 PF와 유리 필름 GF가 적층되어 적층 필름 LF로 된 후에, 적층 필름 LF를, 또한 적층 롤러(16)의 소정의 회전각 η(회전각 η가 30°이상 90°이하로 되는 회전 범위)만큼 적층 롤러(16) 위에서 적층 롤러(16)와의 접촉을 유지하면서 반송한 후에, 적층 롤러(16)로부터 이탈시켜서 권취부(4)에 공급한다. 회전각 η는, 30°미만에서는 유리 필름 GF와 보호 시트 PF의 중첩이 안정화되기 전에 적층 롤러가 떨어지게 되어버려, 적층 필름 LF로서 안정되지 않는다. 한편, 90°이상의 각도로 겹치면 경험적으로 유리 필름 GF의 파손 가능성이 높아진다. 따라서, 회전각 η가 30°이상 90°이하로 되는 회전 범위로 설정되면, 유리 필름 GF와 보호 시트 PF의 중첩이 안정되고, 또한, 유리 필름 GF의 파손 가능성이 낮아지므로, 바람직하다.
여기서, 권취 조정 기구는, 전술한 2개의 회전각의 합, 즉 보호 시트 PF가 적층 롤러(16)에 접한 후 유리 필름 GF가 보호 시트 PF 위에 적층될 때까지의 적층 롤러(16)의 회전각 θ와, 적층 롤러(10) 위에서 적층 필름 LF가 적층 롤러(10)의 접촉을 유지하는 회전각 η의 합 (θ+η)가 270°이하로 되도록 구성되는 것이 바람직하다. 이것은, 270°를 초과하면 기계적인 구조에 무리가 발생하기 때문이다.
또한, 권취부(4)의 유리 롤의 직경은, 적층 필름 LF를 권취함에 따라서 커진다. 이러한 변동이 있는 경우에도, 전술한 각도의 관계가 만족되도록, 각 기구의 배치는 고려되어야 한다.
이와 같이, 본 실시 형태에 의한 유리 필름 반송 장치(1b)는, 적층 롤러(16)에 보호 시트 PF가 권취되고 나서 유리 필름 GF가 권취될 때까지의 동안에 회전각 θ를 설정함과 함께, 적층 롤러(16) 위에 있어서 적층 필름 LF를 얻은 후에 상기 적층 필름 LF를 권취부(4)에 공급할 때까지의 동안에 회전각 η를 설정하는 구성의 권취 조정 기구를 갖는 것을 특징으로 한다.
권취 조정 기구의 이와 같은 구성은, 유리 필름 GF의 파손을 방지할 것을 의도한다. 적층 롤러(16)에 권취된 직후의 보호 시트 PF에는, 유리 필름 GF의 파손을 초래하는 구불구불해짐이 존재할 가능성이 있으므로, 그 구불구불해짐이 소실된 후에 유리 필름 GF를 적층하는 것이 바람직하다. 또한, 적층 필름 LF는, 보호 시트 PF와 유리 필름 GF가 충분히 친밀해진 후에 권취되는 것이 바람직하다. 본 실시 형태에서는, 먼저, 권취된 보호 시트 PF의 구불구불해짐이 소실되는 데 필요한 적층 롤러(16)의 회전각 θ를 확보함과 함께, 적층된 보호 시트 PF와 유리 필름 GF가 서로 친밀해지는(예를 들어, 정착하는) 데 필요한 시간차를 적층 롤러(16)의 회전각 η로서 확보하고 있다. 또한, 이 회전각 θ, 회전각 η는, 보호 시트 PF나 유리 필름 GF의 특성에 따라서 변경할 수 있다.
다음으로, 도 6을 참조하여, 상기 2개의 각도 중, 권취된 보호 시트 PF의 구불구불해짐이 소실되는 데 필요한 회전각 θ를 조정하기 위한 권취 조정 롤러(20)를 구비한 권취 조정 기구가 설명된다.
도 6은, 본 실시 형태에 있어서의 권취 조정 기구의 구성을 나타낸다. 도 6에 있어서, 제2 보호 시트 롤러(12)와 거의 마찬가지의 구성을 갖는 권취 조정 롤러(20)가 보호 시트 롤러(12)의 우측 방향에서, 적층 롤러(16)의 약간 상방에 배치되어 있다. 권취 조정 롤러(20)는 제2 보호 시트 롤러(12)로부터 공급되는 보호 시트 PF를, 일단 적층 롤러(16)보다도 상방으로 유도하고 나서 적층 롤러(16)의 좌측에 공급한다.
도 3과 비교하면, 이 권취 조정 롤러(20)에 의해, 보호 시트 PF가 적층 롤러(16)와 접하는 위치가, 적층 롤러(16)의 좌측 상방으로 변화하고 있으며, 보호 시트 PF가 적층 롤러(16)와 접하는 위치로부터 유리 필름 GF가 접촉하는 위치까지의 회전각 θ가, 약 90°로부터 약 135°로 변화하고 있다. 권취 조정 롤러(20)는, 이 회전각 θ를 변화시킴으로써, 권취된 보호 시트 PF의 구불구불해짐이 완전히 소실되는 주행 길이를 실현한다.
전술한 바와 같이, 보호 시트 롤러(12)로부터 공급되는 보호 시트 PF를 일단 적층 롤러(16)와는 상이한 위치로 유도하는 권취 조정 롤러(20)를 제2 보호 시트 롤러(12)와 적층 롤러(16)의 사이에 설치함으로써, 전술한 회전각 θ를 보호 시트 PF나 유리 필름 GF의 특성에 따라서 변경할 수 있다.
또는, 권취 조정 롤러(20) 대신에, 제2 보호 시트 롤러(12)의 위치를 변경하는 것도 가능하다.
또한, 전술한 보호 시트 PF와 유리 필름 GF가 적층 롤(16)에 공급되고, 또한, 권취부(4)에 공급되는 각도의 관계는, 본 발명이 대상으로 하는, 보호 시트 PF의 반송 기구를 갖는 유리 필름 반송 장치 이외에도 유효하다. 예를 들어, 선행 문헌 2에 기재한 바와 같이, 보호 시트 PF를 권출부(2) 근방에서 회수하거나, 혹은, 보호 시트 PF를 사용하지 않고 권취된 유리 롤을 권출부(2)에 설치한 경우에는, 권취측으로 반송할 보호 시트 PF가 존재하지 않는다. 이러한 경우에는, 보호 시트 PF의 공급부를 권취부(4)의 근방에 별도 설치하면 된다. 이러한 경우에도, 보호 시트 공급부로부터 공급되는 보호 시트 PF를 전술한 각도의 관계를 만족하도록 공급한다. 구체적으로는, 제2 보호 시트 롤러(12)의 위치에, 보호 시트 공급부를 설치하면 된다.
[제3 실시 형태]
도 4를 참조하여, 본 발명의 제3 실시 형태에 대하여 설명한다. 도 4는, 제1 실시 형태에서 설명한 유리 필름 반송 장치(1a)가 챔버 격벽 P를 갖는 진공 챔버(6)에 격납된 상태에서의 개략 구성을 나타내고 있다. 도 4에 도시된 제3 실시 형태는, 진공 챔버(6)가 챔버 격벽 P를 갖는 점이 제1 실시 형태와는 상이하다.
도 4에 도시한 진공 챔버(6)는, 상하 방향에 있어서의 거의 중앙에서, 제1 가이드 롤(9) 및 제2 가이드 롤(10)이 배치된 위치에 챔버 격벽 P를 갖고 있다.
이 챔버 격벽 P는, 제1 가이드 롤(9) 및 제2 가이드 롤(10)과 간섭하지 않도록, 진공 챔버(6) 내의 좌측 측벽으로부터 우측의 측벽에 걸쳐 형성되어 있으며, 진공 챔버(6) 위 영역과 아래 영역을 구획하고 있다. 진공 챔버(6) 위 영역은 상방에 설치된 진공 펌프에 의해 감압되고, 진공 챔버(6) 아래 영역은 하방에 설치된 진공 펌프에 의해 감압된다.
이 챔버 격벽 P에 의해, 표면 처리 공정을 실시하는 스퍼터 성막부(7)를 보호 시트 반송부(5a)로부터 격리할 수 있어, 성막에 의해 발생한 박리한 피막의 플레이크(박편) 등의 더스트가 보호 시트 반송부(5a)의 보호 시트 PF에 부착되는 것을 방지할 수 있다. 그로 인해, 보호 시트 PF에 부착된 더스트에 의해 보호 시트 PF 위에 적층한 유리 필름 GF가 파손되는 등의 사태를 피할 수 있다.
또한, 감압에 수반하여 보호 필름으로부터 수증기 및 유기물 성분 등의 아웃 가스 성분이 방출되지만, 챔버 격벽 P를 설치함으로써, 아웃 가스 성분의 스퍼터 성막부(7) 주변으로의 이동을 억제할 수 있다. 그로 인해, 아웃 가스 성분이 성막 등의 처리에 미치는 영향을 최소한으로 할 수 있다.
또한, 전술한 구체적 실시 형태에는 이하의 구성을 갖는 발명이 주로 포함되어 있다.
본 발명의 유리 필름 반송 장치는, 긴 유리 필름을 연속적으로 반송하는 유리 필름 반송 장치이며, 긴 보호 시트가 적층된 상기 유리 필름을 권회한 롤로부터, 상기 유리 필름을 권출하는 권출부와, 상기 권출부로부터 권출되어 상기 보호 시트로부터 분리한 상기 유리 필름을 반송하는 유리 필름 반송부와, 상기 유리 필름 반송부에 의해 반송된 상기 유리 필름에, 상기 보호 시트를 적층하면서 롤 형상으로 권취하는 권취부와, 상기 권출부로부터 권출된 상기 유리 필름으로부터 분리한 상기 보호 시트를 반출함과 함께, 상기 권취부를 향해 상기 보호 시트를 반입하는 보호 시트 반송부와, 상기 권취부에 있어서의 상기 보호 시트 및 상기 유리 필름의 권취 상태를 조정하는 권취 조정 기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.
여기서, 바람직하게는 상기 보호 시트 반송부가, 상기 보호 시트 반송부에서 반송 중의 상기 보호 시트에 대하여 상기 보호 시트의 폭 방향을 따라서 접함으로써 장력을 부가함과 함께 보호 시트 반송부에 있어서의 상기 보호 시트의 반송 경로의 경로 길이를 조정하는 댄서 롤러 기구를 갖는 것이 좋다.
또한, 바람직하게는 상기 댄서 롤러 기구가, 상기 보호 시트에 대하여 서로 평행한 상태에서 접함으로써 장력을 부가하는 제1 롤러 및 제2 롤러를 갖고, 상기 제1 롤러가 상기 보호 시트의 한쪽 면에 접촉 가능한 위치에 배치됨과 함께, 상기 제2 롤러가 상기 보호 시트의 다른 쪽 면에 접촉 가능한 위치에 배치되어 있어, 상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러가, 상기 보호 시트와 접촉하는 방향으로의 이동이 가능한 것이 좋다.
또한, 바람직하게는, 상기 보호 시트 반송부는, 상기 보호 시트와 접촉하는 접촉면을 갖는 적어도 1개의 롤러를 포함하고, 상기 접촉면은, 점성을 갖는 것이 좋다.
또한, 바람직하게는, 상기 권취 조정 기구는, 상기 권취부에 상기 보호 시트가 접한 후의 회전각이 90°이상 315°이하로 되는 회전 범위에서 상기 유리 필름이 상기 보호 시트 위에 적층되는 위치 관계를 유지하면서, 상기 보호 시트 및 상기 유리 필름의 권취 상태를 조정하는 것이 좋다.
또한, 바람직하게는, 상기 권취 조정 기구는, 상기 보호 시트 반송부에 의해 반송된 상기 보호 시트 위에 상기 유리 반송부에 의해 반송된 상기 유리 필름을 적층하는 적층 롤러를 갖고, 상기 적층 롤러에 상기 보호 시트가 접한 후의 상기 적층 롤러의 제1 회전각이 45°이상으로 되는 회전 범위에서, 상기 유리 필름이 상기 보호 시트 위에 적층되고, 상기 적층 후의 상기 적층 롤러의 제2 회전각이 30°이상 90°이하로 되는 회전 범위에서, 상기 유리 필름이 적층된 상기 보호 시트는, 상기 적층 롤러와의 접촉을 유지하면서 반송된 후에 상기 적층 롤러로부터 이탈하고, 또한, 상기 제1 회전각과 상기 제2 회전각의 합이 270°이하인 것이 좋다.
또한, 상기 유리 시트 반송부와 상기 보호 시트 반송부를 따로따로 격납하는 서로 독립된 2개의 영역을 구비하고, 상기 2개의 영역이 각각 독립적으로 배기되는 것이 좋다.

Claims (7)

  1. 긴 유리 필름을 연속적으로 반송하는 유리 필름 반송 장치이며,
    긴 보호 시트가 적층된 상기 유리 필름을 권회한 롤로부터, 상기 유리 필름을 권출하는 권출부와,
    상기 권출부로부터 권출되어 상기 보호 시트로부터 분리한 상기 유리 필름을 반송하는 유리 필름 반송부와,
    상기 유리 필름 반송부에 의해 반송된 상기 유리 필름에, 상기 보호 시트를 적층하면서 롤 형상으로 권취하는 권취부와,
    상기 권출부로부터 권출된 상기 유리 필름으로부터 분리한 상기 보호 시트를 반출함과 함께, 상기 권취부를 향해 상기 보호 시트를 반입하는 보호 시트 반송부와,
    상기 권취부에 있어서의 상기 보호 시트 및 상기 유리 필름의 권취 상태를 조정하는 권취 조정 기구를 구비하고,
    상기 권취 조정 기구는, 상기 권취부에 상기 보호 시트가 접한 후의 회전각이 90°이상 315°이하로 되는 회전 범위에서 상기 유리 필름이 상기 보호 시트 위에 적층되는 위치 관계를 유지하면서, 상기 보호 시트 및 상기 유리 필름의 권취 상태를 조정하는, 유리 필름 반송 장치.
  2. 긴 유리 필름을 연속적으로 반송하는 유리 필름 반송 장치이며,
    긴 보호 시트가 적층된 상기 유리 필름을 권회한 롤로부터, 상기 유리 필름을 권출하는 권출부와,
    상기 권출부로부터 권출되어 상기 보호 시트로부터 분리한 상기 유리 필름을 반송하는 유리 필름 반송부와,
    상기 유리 필름 반송부에 의해 반송된 상기 유리 필름에, 상기 보호 시트를 적층하면서 롤 형상으로 권취하는 권취부와,
    상기 권출부로부터 권출된 상기 유리 필름으로부터 분리한 상기 보호 시트를 반출함과 함께, 상기 권취부를 향해 상기 보호 시트를 반입하는 보호 시트 반송부와,
    상기 권취부에 있어서의 상기 보호 시트 및 상기 유리 필름의 권취 상태를 조정하는 권취 조정 기구를 구비하고,
    상기 권취 조정 기구는, 상기 보호 시트 반송부에 의해 반송된 상기 보호 시트 위에 상기 유리 반송부에 의해 반송된 상기 유리 필름을 적층하는 적층 롤러를 갖고,
    상기 적층 롤러에 상기 보호 시트가 접한 후의 상기 적층 롤러의 제1 회전각이 45°이상으로 되는 회전 범위에서, 상기 유리 필름이 상기 보호 시트 위에 적층되고, 상기 적층의 후의 상기 적층 롤러의 제2 회전각이 30°이상 90°이하로 되는 회전 범위에서, 상기 유리 필름이 적층된 상기 보호 시트는, 상기 적층 롤러와의 접촉을 유지하면서 반송된 후에 상기 적층 롤러로부터 이탈하고, 또한, 상기 제1 회전각과 상기 제2 회전각의 합이 270°이하인, 유리 필름 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 보호 시트 반송부가, 상기 보호 시트 반송부에서 반송 중인 상기 보호 시트에 대하여 상기 보호 시트의 폭 방향을 따라서 접함으로써 장력을 부가함과 함께 상기 보호 시트 반송부에 있어서의 상기 보호 시트의 반송 경로의 경로 길이를 조정하는 댄서 롤러 기구를 갖는, 유리 필름 반송 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 댄서 롤러 기구가, 상기 보호 시트에 대하여 서로 평행한 상태에서 접함으로써 장력을 부가하는 제1 롤러 및 제2 롤러를 갖고, 상기 제1 롤러가 상기 보호 시트의 한쪽 면에 접촉 가능한 위치에 배치됨과 함께, 상기 제2 롤러가 상기 보호 시트의 다른 쪽 면에 접촉 가능한 위치에 배치되어 있으며,
    상기 제1 롤러 및 상기 제2 롤러가, 상기 보호 시트와 접촉하는 방향으로의 이동이 가능한, 유리 필름 반송 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 보호 시트 반송부는, 상기 보호 시트와 접촉하는 접촉면을 갖는 적어도 1개의 롤러를 포함하고, 상기 접촉면은, 점성을 갖는, 유리 필름 반송 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 유리 필름 반송부와 상기 보호 시트 반송부를 따로따로 격납하는 서로 독립된 2개의 영역을 구비하고,
    상기 2개의 영역이 각각 독립적으로 배기되는, 유리 필름 반송 장치.
  7. 삭제
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