JP2012001405A - 薄膜ガラスの搬送方法、及び薄膜ガラスの搬送装置 - Google Patents

Abstract

【課題】真空圧近傍下で薄膜ガラスを搬送する場合に、圧力変化に起因する薄膜ガラスの破損を抑制する。
【解決手段】真空容器１０内の圧力を調整する減圧工程と、真空圧近傍まで減圧された真空容器１０内で長尺な薄膜ガラスＧを搬送する搬送工程と、を備える薄膜ガラスＧの搬送方法において、減圧工程では、ロール状の薄膜ガラスＧが真空容器１０内に配置された状態で、３分以上の時間を掛けて真空容器１０内の圧力を１００００Ｐａまで減圧させた後に、真空圧近傍まで減圧させる。
【選択図】図１

Description

本発明は、薄膜ガラスの搬送方法、及び薄膜ガラスの搬送装置に関する。

近年、表示デバイス用の基板材料として、ガスバリア性や透光性などに優れる薄膜ガラスが好適に用いられている。この薄膜ガラスは、厚さが２００μｍ以下、好ましくは３０〜１５０μｍの極めて薄いガラスであり、この薄さによって可撓性を有し、例えばロール状に巻き取ることも可能となっている。

そのため、この可撓性を利用して薄膜ガラスに効率的に各種処理を施す手法として、長尺な薄膜ガラスをロールツーロール方式でロール搬送しつつ、その表面に各種処理を施す技術が提案されている。

ところで、薄膜ガラスの表面に施される処理として、例えば真空蒸着やスパッタリングなど、内部が真空圧近傍に減圧された真空容器内で行われるものがある。そこで、減圧された真空容器内において、薄膜ガラスをロール搬送しつつ当該薄膜ガラスに真空蒸着やスパッタリングなどの処理を施す技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００８−７１７２６号公報

しかしながら、真空容器内を薄膜ガラスの搬送前に真空圧近傍まで減圧する際や、搬送後に真空圧近傍から所定圧力まで加圧する際に、タクトタイムを抑えるために短時間で急激に圧力を変化させてしまうと（例えば図６参照）、ロール状の薄膜ガラスの各層間に圧力差が生じる結果、薄膜ガラスが破損してしまう場合がある。

本発明の課題は、真空圧近傍下で薄膜ガラスを搬送する場合に、圧力変化に起因する薄膜ガラスの破損を抑制することのできる薄膜ガラスの搬送方法、及び薄膜ガラスの搬送装置を提供することである。

前記の課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、真空容器内の圧力を調整する圧力調整工程と、真空圧近傍まで減圧された前記真空容器内で長尺な薄膜ガラスを搬送する搬送工程と、を備える薄膜ガラスの搬送方法において、
前記圧力調整工程では、ロール状の前記薄膜ガラスが前記真空容器内に配置された状態で、３分以上の時間を掛けて前記真空容器内の圧力を１００００Ｐａまで減圧させた後に、真空圧近傍まで減圧させることを特徴とする。

請求項２に記載の発明は、真空容器内の圧力を調整する圧力調整工程と、真空圧近傍まで減圧された前記真空容器内で長尺な薄膜ガラスを搬送する搬送工程と、を備える薄膜ガラスの搬送方法において、
前記圧力調整工程では、ロール状の前記薄膜ガラスが前記真空容器内に配置された状態で、３分以上の時間を掛けて前記真空容器内の圧力を真空圧近傍から２００００Ｐａまで加圧させることを特徴とする。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載の薄膜ガラスの搬送方法において、
前記圧力調整工程では、前記真空容器内の圧力を、所定の保持時間だけ一定に保持するようにステップ状に変化させることを特徴とする。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜３の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送方法において、
前記圧力調整工程では、前記真空容器内の減圧中には前記薄膜ガラスに張力を作用させないことを特徴とする。

請求項５に記載の発明は、請求項１〜４の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送方法において、
前記薄膜ガラスの搬送方向への張力を制御可能な張力制御手段を用い、
前記圧力調整工程では、前記真空容器内の圧力が一定のときに、前記薄膜ガラスを搬送するための所定の張力を前記張力制御手段により当該薄膜ガラスに作用させることを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の薄膜ガラスの搬送方法において、
前記圧力調整工程では、前記真空容器内の圧力が真空圧近傍まで減圧された場合に、所定の作用時間を掛けて前記所定の張力を前記張力制御手段により前記薄膜ガラスに作用させることを特徴とする。

請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送方法において、
前記薄膜ガラスとして、長手方向の始端と終端とに樹脂フィルムが接合されてロール状に巻回されたものを用いることを特徴とする。

請求項８に記載の発明は、請求項１〜７の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送方法において、
前記薄膜ガラスとして、表面に導電性金属酸化物が塗布されたものを用いることを特徴とする。

請求項９に記載の発明は、真空容器内の圧力を制御可能な圧力制御手段を備え、真空圧近傍まで減圧された前記真空容器内で長尺な薄膜ガラスを搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記圧力制御手段は、ロール状の前記薄膜ガラスが前記真空容器内に配置された状態で、３分以上の時間を掛けて前記真空容器内の圧力を１００００Ｐａまで減圧させた後に、真空圧近傍まで減圧させることを特徴とする。

請求項１０に記載の発明は、真空容器内の圧力を制御可能な圧力制御手段を備え、真空圧近傍まで減圧された前記真空容器内で長尺な薄膜ガラスを搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
前記圧力制御手段は、ロール状の前記薄膜ガラスが前記真空容器内に配置された状態で、３分以上の時間を掛けて前記真空容器内の圧力を真空圧近傍から２００００Ｐａまで加圧させることを特徴とする。

請求項１１に記載の発明は、請求項９又は１０に記載の薄膜ガラスの搬送装置において、
前記圧力制御手段は、前記真空容器内の圧力を、所定の保持時間だけ一定に保持するようにステップ状に変化させることを特徴とする。

請求項１２に記載の発明は、請求項９〜１１の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送装置において、
前記真空容器内の減圧中には前記薄膜ガラスに張力を作用させないことを特徴とする。

請求項１３に記載の発明は、請求項９〜１２の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送装置において、
前記薄膜ガラスの搬送方向への張力を制御可能な張力制御手段を備え、
前記張力制御手段は、前記真空容器内の圧力が一定のときに、前記薄膜ガラスを搬送するための所定の張力を当該薄膜ガラスに作用させることを特徴とする。

請求項１４に記載の発明は、請求項１３に記載の薄膜ガラスの搬送装置において、
前記張力制御手段は、前記真空容器内の圧力が真空圧近傍まで減圧された場合に、所定の作用時間を掛けて前記所定の張力を前記薄膜ガラスに作用させることを特徴とする。

本発明によれば、３分以上の時間を掛けて真空容器内の圧力を１００００Ｐａまで減圧させた後に更に真空圧近傍まで減圧させるか、或いは、３分以上の時間を掛けて真空容器内の圧力を真空圧近傍から２００００Ｐａまで加圧させるので、薄膜ガラスの搬送前での減圧時、又は搬送後での加圧時における真空容器内の急激な圧力変化を防止することができる。したがって、ロール状の薄膜ガラスの各層間に生じる圧力差を小さくすることができ、ひいては、真空容器内の圧力変化に起因する薄膜ガラスの破損を抑制することができる。

薄膜ガラスの搬送装置の概略構成を示す図である。 樹脂フィルムを接合した薄膜ガラスを説明するための図である。 実施例で用いた真空容器内の減圧パターンを示すグラフである。 実施例１の結果をまとめたグラフである。 実施例で用いた真空容器内の加圧パターンを示すグラフである。 従来における真空容器内の減圧パターンを示すグラフである。

以下、本発明の実施形態について、図を参照して説明する。

図１は、本実施形態における薄膜ガラスの搬送装置（以下、単に搬送装置という）１の概略構成を示す図である。

この図に示すように、搬送装置１は、真空圧近傍まで減圧された真空容器１０内で長尺な薄膜ガラスＧを長手方向に沿ってロールツーロール方式でロール搬送しつつ、当該薄膜ガラスＧの表面に機能性膜を被膜する装置である。具体的には、搬送装置１は、真空容器１０と、制御部１１とを備えている。

真空容器１０内には、繰出ロール２，巻取ロール３，複数の搬送ロール４，…，被膜処理部５及び成膜ドラム６からなる搬送系が収容されている。この搬送系は、ロール状の薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）を繰出ロール２から繰り出して搬送ロール４，…で搬送しつつ巻取ロール３で巻取りガラスとしてロール状に巻き取る過程において、被膜処理部５及び成膜ドラム６によって薄膜ガラスＧ表面に機能性膜を被膜するように構成されている。

真空容器１０内の搬送系のうち、繰出ロール２及び巻取ロール３には、これらを駆動するための駆動モータ２１及び駆動モータ３１が設けられている。また、繰出ロール２から繰り出される元巻ガラスには、いわゆる合紙としての樹脂フィルムＦ１が挟み込まれているため、この樹脂フィルムＦ１を巻き取るための合紙巻取ロール７１及びこの巻き取りラインを支持する合紙搬送ロール７２が繰出ロール２の近傍に設けられている。同様に、巻取ロール３は合紙としての樹脂フィルムＦ２を挟みつつ薄膜ガラスＧを巻き取るため、この樹脂フィルムＦ２を繰り出す合紙繰出ロール７３及びこの繰り出しラインを支持する合紙搬送ロール７４が巻取ロール３の近傍に設けられている。

また、真空容器１０は、当該真空容器１０内を減圧可能な真空ポンプ１２と連通されている。この真空ポンプ１２は、真空容器１０内の圧力を少なくとも大気圧から真空圧近傍までの範囲で調整可能となっている。

制御部１１は、真空ポンプ１２の駆動を制御して真空容器１０内の圧力を制御可能に構成されている。また、制御部１１は、駆動モータ２１及び駆動モータ３１の駆動を制御して繰出ロール２及び巻取ロール３の速度を制御可能に構成されており、ひいては、薄膜ガラスＧの搬送方向への張力を制御可能に構成されている。

搬送装置１が搬送する薄膜ガラスＧは、特に限定はされないが、厚さが２００μｍ以下、好ましくは３０〜１５０μｍの極めて薄いガラスである。また、薄膜ガラスＧには、図２（ａ）に示すように、長手方向の始端と終端とに樹脂フィルムＦが接合されていることが好ましい。この場合、この薄膜ガラスＧがロール状に巻回された元巻ガラス及び巻取りガラスでは、図２（ｂ）に示すように、繰出ロール２又は巻取ロール３と接する最内周部及び最外周部に樹脂フィルムＦが位置することとなる。なお、薄膜ガラスＧの表面には、帯電防止のために導電性金属酸化物を塗布しておくことが好ましい。この導電性金属酸化物の塗布により、大気圧中より帯電しやすい真空圧中においても、搬送ロール４又は成膜ドラム６と薄膜ガラスＧとの密着が抑制され、搬送性を向上させることができる。このような導電性金属酸化物としては、例えば、酸化スズ、酸化アンチモン、酸化イリジウム、スズ−アンチモン複合酸化物、インジウム−スズ複合酸化物等を適用することができる。なお、薄膜ガラスＧの表面に導電性金属酸化物を固着する手法は塗布に限定されない。

続いて、真空容器１０内で薄膜ガラスＧを搬送しつつ表面に機能性膜を皮膜する薄膜ガラスＧの搬送方法について説明する。

まず、ロール状の薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）を真空容器１０内の繰出ロール２にセットし、その先端を搬送系に沿って巻取ロール３まで張架する。但し、このときには未だ薄膜ガラスＧに張力を作用させない。

次に、真空容器１０内を減圧する減圧工程を行う。
この工程では、制御部１１により真空ポンプ１２の駆動を制御し、真空容器１０内の圧力を３分以上の時間を掛けて１００００Ｐａまで減圧させる。それから、真空容器１０内の圧力を真空圧近傍まで減圧させる。なお、この減圧中には、薄膜ガラスＧに張力が作用しないようにする。

次に、制御部１１により駆動モータ２１，３１の駆動を制御し、薄膜ガラスＧを搬送するための所定の張力を当該薄膜ガラスＧに作用させる。このときには、真空容器１０内の圧力が真空圧近傍一定になってから、所定の作用時間を掛けて張力を作用させるようにする。

次に、薄膜ガラスＧを搬送しつつ機能性膜を被膜する搬送工程を行う。この搬送工程を経て、表面に機能性膜を被膜された薄膜ガラスＧが順次巻取ロール３にロール状に巻き取られる。

次に、真空容器１０内を加圧する加圧工程を行う。
この工程では、制御部１１により真空ポンプ１２の駆動を制御し、真空容器１０内の圧力を３分以上の時間を掛けて真空圧近傍から２００００Ｐａまで加圧させる。それから、真空容器１０内の圧力を大気圧まで戻す。
こうして、所定の機能性膜が被膜された薄膜ガラスＧ（巻取りガラス）が得られる。

以上のように、３分以上の時間を掛けて真空容器１０内の圧力を１００００Ｐａまで減圧させた後に更に真空圧近傍まで減圧させるか、或いは、３分以上の時間を掛けて真空容器１０内の圧力を真空圧近傍から２００００Ｐａまで加圧させるので、薄膜ガラスＧの搬送前での減圧時、又は搬送後での加圧時における真空容器１０内の急激な圧力変化を防止することができる。したがって、ロール状の薄膜ガラスＧの各層間に生じる圧力差を小さくすることができ、ひいては、真空容器１０内の圧力変化に起因する薄膜ガラスＧの破損を抑制することができる。

なお、本発明を適用可能な実施形態は、上述した実施形態に限定されることなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

例えば、減圧工程又は加圧工程における真空容器１０内の圧力は、上述した変化態様の範囲内で変化するものであればよく、例えば、所定の保持時間だけ一定に保持するようにステップ状に変化させてもよい。

以下に、実施例を挙げることにより、本発明をさらに具体的に説明する。但し、本発明はこの実施例に限定されるものではない。

実施例１では、真空容器１０内の減圧パターンを変えたときの、各減圧パターンでの薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）の破損（破断）発生率を確認した。

＜薄膜ガラス＞
薄膜ガラスＧとして、ＣＯ２レーザーにて予め幅方向両端を切断済みの、厚さ７０μｍのホウケイ酸ガラスを用いた。元巻ガラスは、この薄膜ガラスＧを常圧下で合紙を用いずに外径２００ｍｍの繰出ロール２（コア）に巻き取った外径４００ｍｍのものとした。なお、薄膜ガラスＧの幅は、結果と併せて表１に示す。また、薄膜ガラスＧの張力は３０Ｎ／幅とした。

＜減圧パターン＞
評価した７つの減圧パターンＰ１〜Ｐ７を図３に示す。なお、何れの減圧パターンも最終的に１０^-2Ｐａまで減圧した。

＜結果とまとめ＞
結果を表１及び図４に示す。この結果から、ロール状の薄膜ガラスＧの破損に対しては、特に大気圧から１００００Ｐａまでの減圧速度が大きく影響することが分かる。また、この破損を抑制するためには、大気圧から１００００Ｐａまでの減圧に３分以上、好ましくは７分以上の時間を掛けるとよいことが分かる。

実施例２では、図３に示した減圧パターンＰ４，Ｐ７で減圧中の真空容器１０内において、薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）に張力を作用させたときの破損（破断）発生率を確認した。なお、評価条件は上記実施例１と同様とした。

＜結果とまとめ＞
結果を表２に示す。この表から、ロール状の薄膜ガラスＧの破損を抑制するためには、減圧中に当該薄膜ガラスＧに張力を作用させるべきでないことが分かる。

実施例３では、図３に示した減圧パターンＰ１で減圧した真空容器１０内において、所定張力が作用するまでの時間を変化させたときの薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）の破損（破断）発生率を確認した。なお、所定張力は５０Ｎ／幅とした。その他の評価条件は上記実施例１と同様とした。

＜結果とまとめ＞
結果を表３に示す。この表から、真空圧近傍下での元巻ガラスへの張力付与にあたっては、できるだけ時間を掛けて行うのがよく、好ましくは３秒以上、より好ましくは１０秒以上掛けて行うのがよいことが分かる。

実施例４では、始端及び終端に樹脂フィルムＦが接合された薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）を、図３に示した減圧パターンＰ１，Ｐ４で減圧したときの当該薄膜ガラスＧの破損（破断）発生率を確認した。なお、樹脂フィルムＦは厚さ５０μｍのＰＥＴフィルムとした。その他の評価条件は上記実施例１と同様とした。

＜結果とまとめ＞
結果を表４に示す。この表４を表１と対比すると、薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）に長さ５ｍの樹脂フィルムＦを接合することにより、破損を抑制できることが分かる。なお、このような元巻ガラスを用いると、当該元巻ガラスを搬送装置１に取り付ける際、特に切断・繋ぎの際に、作業が容易となる。また、樹脂フィルムＦのうち元巻ガラスの内周側のものは、ガラス自体の厚みに基づくいわゆる端末段差による転写故障や破損の抑制効果が期待できる。

実施例５では、真空容器１０内の加圧パターンを変えたときの、各加圧パターンでの薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）の破損（破断）発生率を確認した。

＜評価条件＞
評価した６つの加圧パターンＰ１１〜Ｐ１６を図５に示す。その他の評価条件は上記実施例１と同様とした。

＜結果とまとめ＞
結果を表５に示す。この表から、ロール状の薄膜ガラスＧの破損に対しては、特に０．０１Ｐａから２００００Ｐａまでの加圧速度が大きく影響することが分かる。また、この破損を抑制するためには、０．０１Ｐａから２００００Ｐａまでの加圧に３分以上、好ましくは７分以上の時間を掛けるとよいことが分かる。

実施例６では、始端及び終端に樹脂フィルムＦが接合された薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）を、図５に示した加圧パターンＰ１１，Ｐ１４で加圧したときの当該薄膜ガラスＧの破損（破断）発生率を確認した。なお、樹脂フィルムＦは厚さ５０μｍのＰＥＴフィルムとした。その他の評価条件は上記実施例１と同様とした。

＜結果とまとめ＞
結果を表６に示す。この表６を表５と対比すると、薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）に長さ５ｍ以上の樹脂フィルムＦを接合することにより、破損を抑制できることが分かる。

実施例７では、一方の主面に導電性金属酸化物を塗布した薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）を、図５に示した加圧パターンＰ１１，Ｐ１４で加圧したときの当該薄膜ガラスＧの破損（破断）発生率を確認した。また、導電性金属酸化物を塗布していない薄膜ガラスＧ（元巻ガラス）についても同条件で評価し、両者を比較した。

＜薄膜ガラス＞
導電性金属酸化物として、シリカゾル（コルコート株式会社製「コルコートＮ−１０３Ｘ」）から調製した固形分濃度２％のコーティング組成物を用いた。この導電性金属酸化物を薄膜ガラスＧの表面に９μｍのウェット膜厚で塗布し、続けて１２０℃の温風で６０秒間乾燥させた。元巻ガラスは、この薄膜ガラスＧを常圧下で一度巻取り、０．０１Ｐａ下で再度巻取り直したものとした。その他の条件は上記実施例１と同様とした。

＜結果とまとめ＞
結果を表７に示す。この表から、導電性金属酸化物の塗布により、ロール状の薄膜ガラスＧの破損を抑制できることが分かる。この効果は、表面の導電性金属酸化物により薄膜ガラスＧの層間での密着が抑えられることによるものと考えられる。

１ 搬送装置
２ 繰出ロール
３ 巻取ロール
４ 搬送ロール
５ 被膜処理部
６ 成膜ドラム
１０ 真空容器
１１ 制御部（圧力制御手段，張力制御手段）
１２ 真空ポンプ
２１，３１ 駆動モータ
７１ 合紙巻取ロール
７２ 合紙搬送ロール
７３ 合紙繰出ロール
７４ 合紙搬送ロール
Ｆ 樹脂フィルム
Ｆ１ 樹脂フィルム
Ｆ２ 樹脂フィルム
Ｇ 薄膜ガラス

Claims (14)

1. 真空容器内の圧力を調整する圧力調整工程と、真空圧近傍まで減圧された前記真空容器内で長尺な薄膜ガラスを搬送する搬送工程と、を備える薄膜ガラスの搬送方法において、
   前記圧力調整工程では、ロール状の前記薄膜ガラスが前記真空容器内に配置された状態で、３分以上の時間を掛けて前記真空容器内の圧力を１００００Ｐａまで減圧させた後に、真空圧近傍まで減圧させることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。
2. 真空容器内の圧力を調整する圧力調整工程と、真空圧近傍まで減圧された前記真空容器内で長尺な薄膜ガラスを搬送する搬送工程と、を備える薄膜ガラスの搬送方法において、
   前記圧力調整工程では、ロール状の前記薄膜ガラスが前記真空容器内に配置された状態で、３分以上の時間を掛けて前記真空容器内の圧力を真空圧近傍から２００００Ｐａまで加圧させることを特徴とする薄膜ガラスの搬送方法。
3. 前記圧力調整工程では、前記真空容器内の圧力を、所定の保持時間だけ一定に保持するようにステップ状に変化させることを特徴とする請求項１又は２に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
4. 前記圧力調整工程では、前記真空容器内の減圧中には前記薄膜ガラスに張力を作用させないことを特徴とする請求項１〜３の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
5. 前記薄膜ガラスの搬送方向への張力を制御可能な張力制御手段を用い、
   前記圧力調整工程では、前記真空容器内の圧力が一定のときに、前記薄膜ガラスを搬送するための所定の張力を前記張力制御手段により当該薄膜ガラスに作用させることを特徴とする請求項１〜４の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
6. 前記圧力調整工程では、前記真空容器内の圧力が真空圧近傍まで減圧された場合に、所定の作用時間を掛けて前記所定の張力を前記張力制御手段により前記薄膜ガラスに作用させることを特徴とする請求項５に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
7. 前記薄膜ガラスとして、長手方向の始端と終端とに樹脂フィルムが接合されてロール状に巻回されたものを用いることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
8. 前記薄膜ガラスとして、表面に導電性金属酸化物が塗布されたものを用いることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送方法。
9. 真空容器内の圧力を制御可能な圧力制御手段を備え、真空圧近傍まで減圧された前記真空容器内で長尺な薄膜ガラスを搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
   前記圧力制御手段は、ロール状の前記薄膜ガラスが前記真空容器内に配置された状態で、３分以上の時間を掛けて前記真空容器内の圧力を１００００Ｐａまで減圧させた後に、真空圧近傍まで減圧させることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。
10. 真空容器内の圧力を制御可能な圧力制御手段を備え、真空圧近傍まで減圧された前記真空容器内で長尺な薄膜ガラスを搬送する薄膜ガラスの搬送装置において、
    前記圧力制御手段は、ロール状の前記薄膜ガラスが前記真空容器内に配置された状態で、３分以上の時間を掛けて前記真空容器内の圧力を真空圧近傍から２００００Ｐａまで加圧させることを特徴とする薄膜ガラスの搬送装置。
11. 前記圧力制御手段は、前記真空容器内の圧力を、所定の保持時間だけ一定に保持するようにステップ状に変化させることを特徴とする請求項９又は１０に記載の薄膜ガラスの搬送装置。
12. 前記真空容器内の減圧中には前記薄膜ガラスに張力を作用させないことを特徴とする請求項９〜１１の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送装置。
13. 前記薄膜ガラスの搬送方向への張力を制御可能な張力制御手段を備え、
    前記張力制御手段は、前記真空容器内の圧力が一定のときに、前記薄膜ガラスを搬送するための所定の張力を当該薄膜ガラスに作用させることを特徴とする請求項９〜１２の何れか一項に記載の薄膜ガラスの搬送装置。
14. 前記張力制御手段は、前記真空容器内の圧力が真空圧近傍まで減圧された場合に、所定の作用時間を掛けて前記所定の張力を前記薄膜ガラスに作用させることを特徴とする請求項１３に記載の薄膜ガラスの搬送装置。

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