JP2012219322A - 巻取式成膜装置及び巻取式成膜方法 - Google Patents

Abstract

【課題】真空中で成膜用フィルム上に形成された薄膜に対してダメージを与えることなく、成膜用フィルムを搬送して巻き取ることができる技術を提供する。
【解決手段】本発明は、成膜用フィルムロール４０から繰り出された成膜用フィルム４上に真空中で成膜を行い、かつ、成膜された成膜用フィルム４をロール状に巻き取る巻取式成膜装置１である。成膜用フィルム４をフィルム支持ローラ７に巻き付けた状態で成膜用フィルム４上に成膜を行う第１〜第４の成膜領域３１〜３４と、成膜された成膜用フィルム４の成膜されていない面４ｂを支持して搬送するフィルム搬送機構とを有する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、巻取式成膜装置に関し、特にフィルムロールから繰り出されたフィルム上に成膜を行って巻き取る技術に関する。

近年、ガラス基板等の基板のみならず、フィルム上にパターン成膜を行って液晶デバイス等の電子部品を作成することが広く行われている。
従来、この種の装置としては、真空中でフィルムロールから繰り出されたフィルム上に、真空蒸着法、スパッタリング法、プラズマＣＶＤ法等によって薄膜を形成して巻き取るものが知られている。

しかし、従来技術においては、フィルム上に薄膜を形成した後、複数のローラを介して巻取ロールまで搬送して巻き取るため、フィルムの成膜面がローラに接触して薄膜にダメージを与えるおそれがあるという問題があった。

特開２００８−１９００１２号公報 特開２００９−１９２４６号公報

本発明は、このような従来の技術の課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、真空中で成膜用フィルム上に形成された薄膜に対してダメージを与えることなく、成膜用フィルムを搬送して巻き取ることができる技術を提供することにある。

上記目的を達成するためになされた本発明は、フィルムロールから繰り出された成膜用フィルム上に真空中で成膜を行い、かつ、成膜された当該成膜用フィルムをロール状に巻き取る巻取式成膜装置であって、前記成膜用フィルムをフィルム支持ローラに巻き付けた状態で当該成膜用フィルム上に成膜を行う成膜領域と、成膜された前記成膜用フィルムの成膜されていない面を支持して搬送するフィルム搬送機構とを有するものである。
本発明では、前記フィルム搬送機構が、前記成膜用フィルムの成膜されていない面を支持して搬送するテンデンシーローラを有する場合にも効果的である。
本発明では、前記フィルム搬送機構が、前記成膜用フィルムの成膜面の非成膜領域に対して保護フィルムを密着させる密着機構を有する場合にも効果的である。
本発明では、前記成膜用フィルムに第１の保護フィルムが積層された第１の積層フィルムを搬送して前記フィルム支持ローラに導く第１の搬送手段と、前記成膜用フィルムから前記第１の保護フィルムを剥離するとともに、当該成膜用フィルムを前記フィルム支持ローラに巻き付けるように構成されたフィルム剥離機構と、成膜された前記成膜用フィルムの成膜面に第２の保護フィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ機構と、前記成膜用フィルムの成膜面に前記第２の保護フィルムが貼り合わされた第２の積層フィルムを搬送する第２の搬送手段と、前記第２の積層フィルムをロール状に巻き取る巻取手段とを有する場合にも効果的である。
一方、本発明は、フィルムロールから繰り出された成膜用フィルム上に真空中で成膜を行った後、成膜された当該成膜用フィルムをロール状に巻き取る工程を有する巻取式成膜方法であって、成膜された前記成膜用フィルムの成膜面に保護フィルムを貼り合わせて搬送し、当該貼り合わされた積層フィルムをロール状に巻き取る工程を有するものである。
本発明では、前記保護フィルムの前記成膜用フィルムの非成膜領域に対応する領域に、複数の突起が設けられている場合にも効果的である。

本発明の場合、真空中でフィルム上に成膜を行う成膜装置において、成膜されたフィルムの成膜されていない面を支持して搬送するフィルム搬送機構を有することから、真空中で成膜用フィルム上の成膜された部分にダメージを与えることなく、連続的に成膜を行い巻き取ることができる。
本発明において、フィルム搬送機構が、成膜用フィルムの成膜されていない面を支持して搬送するテンデンシーローラを有する場合には、ベルトによって駆動される内側回転軸の駆動力が複数のボールベアリングにより速度の変化が緩和又は吸収されて外側回転軸に伝達されるため、メカニカルロスをより小さくすることが可能になる。
本発明において、フィルム搬送機構が、成膜用フィルムの成膜面の非成膜領域に対して保護フィルムを密着させる密着機構を有する場合には、成膜用フィルムの成膜領域を保護することができるとともに、成膜用フィルムと保護フィルムとを密着させて安定して搬送することができる。
本発明において、成膜用フィルムに第１の保護フィルムが積層された第１の積層フィルムを搬送して前記フィルム支持ローラに導く第１の搬送手段と、成膜用フィルムから第１の保護フィルムを剥離するとともに、当該成膜用フィルムをフィルム支持ローラに巻き付けるように構成されたフィルム剥離機構と、成膜された成膜用フィルムの成膜面に第２の保護フィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ機構と、成膜用フィルムに第２の保護フィルムが貼り合わされた第２の積層フィルムを搬送する第２の搬送手段と、第２の積層フィルムをロール状に巻き取る巻取手段とを有する場合には、成膜用フィルムは常に第１又は第２の保護フィルムによって保護されているので、成膜用フィルムの成膜面にダメージを与えることなく、連続的に成膜を行い巻き取ることができ、これにより装置構成の自由度を向上させることができる。
一方、本発明において、保護フィルムの成膜用フィルムの非成膜領域に対応する領域に、複数の突起が設けられている場合には、成膜後の成膜用フィルムに保護フィルムを貼り合わせた場合であっても、成膜用フィルムの成膜領域にはダメージを与えることがない。

本発明によれば、真空中で成膜用フィルム上に形成された薄膜に対してダメージを与えることなく、成膜用フィルムを搬送して巻き取ることができる。

本発明に係る巻取式成膜装置の実施の形態を示す概略構成図 （ａ）：テンデンシーローラの内部構成を示す断面図（ｂ）：テンデンシーローラの外観構成を示す斜視図 本発明に係る巻取式成膜装置の他の実施の形態を示す概略構成図 本発明に係る巻取式成膜装置の他の実施の形態を示す概略構成図 本実施の形態に用いる成膜用フィルムと保護フィルムとの関係を示す断面図 （ａ）〜（ｃ）：同実施の形態に用いる密着機構の例を示す概略構成図 本発明に係る巻取式成膜装置の他の実施の形態を示す概略構成図

以下、本発明を実施するための形態について図面を参照して説明する。
図１は、本発明に係る巻取式成膜装置の実施の形態を示す概略構成図である。
以下、図１に示す場合を例にとって部材間の上下関係を説明する。

図１に示すように、本実施の形態の巻取式成膜装置１は、繰出・巻取室２と、成膜室３とを有している。
これら繰出・巻取室２及び成膜室３は、それぞれ図示しない真空排気系に接続されている。

繰出・巻取室２内の例えば下部には、成膜用フィルム４が巻き付けられた成膜用フィルムロール４０が設けられ、この成膜用フィルムロール４０は、その回転軸４０ａが図示しない駆動機構に連結され、フィルム繰り出し方向に回転させるように構成されている。

繰出・巻取室２内の成膜用フィルムロール４０の近傍には、固定ローラからなる繰出ローラ２０が設けられ、さらに、繰出ローラ２０のフィルム搬送方向下流側には、テンションローラからなる第１の搬送ローラ２１が設けられている。

この第１の搬送ローラ２１は、図示しないアームの支軸を中心にして揺動自在に支持され、繰り出される成膜用フィルム４の張力を調整するように構成されている。
第１の搬送ローラ２１の例えば上方でフィルム搬送方向下流側には、固定ローラからなる第２の搬送ローラ２２が設けられている。

繰出・巻取室２の第２の搬送ローラ２２の近傍には、成膜用フィルム４を導出するための導出口（図示せず）が設けられている。この導出口は、成膜時には閉じられるように構成され、繰出・巻取室２内の真空雰囲気が維持されるようになっている。

そして、成膜用フィルムロール４０から繰り出された成膜用フィルム４は、上述した繰出ローラ２０、第１の搬送ローラ２１及び第２の搬送ローラ２２に掛け渡され、繰出・巻取室２の導出口から成膜室３に向って搬送されるように構成されている。

一方、成膜室３の、繰出・巻取室２の導出口と対向する部分には、フィルムを導入するための導入口（図示せず）が設けられている。この導入口は成膜時には、閉じられるように構成され、成膜室３内の真空雰囲気が維持されるようになっている。

成膜室３内の導入口の近傍には、固定ローラからなる第３の搬送ローラ２３が設けられている。
第３の搬送ローラ２３のフィルム搬送方向下流側には、それぞれ固定ローラからなる第４及び第５の搬送ローラ２４、２５が設けられている。

本実施の形態では、これら第４及び第５の搬送ローラ２４、２５の間には、テンションローラからなる張力調整ローラ２６が設けられている。
この張力調整ローラ２６は、図示しないアームの支軸を中心にして揺動自在に支持され、搬送されるフィルムの張力を調整するように構成されている。

成膜室３内の第５の搬送ローラ２５の下方には、成膜用フィルム４を支持するフィルム支持ローラ７が設けられている。
このフィルム支持ローラ７は、その回転軸７ａが図示しない駆動機構に連結され、フィルム搬送方向に回転させるように構成されている。そして、搬送された成膜用フィルム４が、フィルム支持ローラ７の上方からほぼ全周に渡って巻き付けられ（例えば巻き付け角度が３００度以上）、成膜後の成膜用フィルム４が上方に向って送出されるようになっている。なお、本実施の形態では、フィルム支持ローラ７は接地されている。

成膜室３内のフィルム支持ローラ７の周囲には、５個の隔壁部８ａ〜８ｅによって仕切られた第１〜第４の成膜領域３１〜３４が設けられている。
第１〜第４の成膜領域３１〜３４内には、フィルム支持ローラ７に巻き付けられた成膜用フィルム４の表面に対向するように第１〜第４の成膜源（例えばプラズマＣＶＤ用のシャワーヘッド）３１ｓ〜３４ｓがそれぞれ配置されている。

そして、本実施の形態においては、成膜用フィルム４の成膜されていない面を支持して搬送するフィルム搬送機構として、以下に説明する第１〜第３の非接触搬送ローラ３５〜３７並びに非接触搬送機構３８が設けられている。

すなわち、成膜室３内のフィルム支持ローラ７の上方には、第１の非接触搬送ローラ３５が設けられており、この第１の非接触搬送ローラ３５は、成膜後の成膜用フィルム４の成膜面４ａと反対側の面、すなわち、成膜されていない面（以下、「非成膜面」という。）４ｂを支持して搬送するように構成されている。

また、第１の非接触搬送ローラ３５のやや上方でフィルム搬送方向下流側には、第２の非接触搬送ローラ３６が設けられている。
この第２の非接触搬送ローラ３６は、第１の非接触搬送ローラ３５と同様に、成膜された成膜用フィルム４の非成膜面４ｂを支持して搬送するように構成されている。

成膜室３の第２の非接触搬送ローラ３６の近傍には、成膜された成膜用フィルム４を導出するための導出口（図示せず）が設けられている。この導出口は成膜時には、閉じられるように構成され、成膜室３内の真空雰囲気が維持されるようになっている。

一方、繰出・巻取室２の、成膜室３の導出口と対向する部分には、成膜後の成膜用フィルム４を導入するための導入口（図示せず）が設けられている。この導入口は成膜時には、閉じられるように構成され、繰出・巻取室２内の真空雰囲気が維持されるようになっている。

そして、繰出・巻取室２内の導入口の近傍には、固定ローラからなる第３の非接触搬送ローラ３７が設けられている。
第３の非接触搬送ローラ３７は、第２の非接触搬送ローラ３６とほぼ同一の高さ位置に配置され、第２の非接触搬送ローラ３６と同様に、成膜された成膜用フィルム４の非成膜面４ｂを支持して搬送するように構成されている。

本発明の場合、特に限定されることはないが、よりメカニカルロスを小さくする観点からは、第２及び第３の非接触搬送ローラ３６、３７について、テンデンシーローラ（例えば、国際公開公報ＷＯ２００４／０５９０３２に記載されたもの）を用いることが好ましい。

図２（ａ）は、テンデンシーローラの内部構成を示す断面図、図２（ｂ）は、テンデンシーローラの外観構成を示す斜視図である。
図２（ａ）（ｂ）に示すように、本発明に用いるテンデンシーローラ１０は、例えば、真空槽（図示せず）の壁面に取り付けられる一対のボールベアリング１１、１２を有し、これらボールベアリング１１、１２に直線状の内側回転軸１３が回転可能に装着されている。この内側回転軸１３は、図示しない駆動機構に連結されたベルト１４によって回転駆動されるように構成されている。

そして、この内側回転軸１３の周囲に一対のボールベアリング１５、１６が成膜用フィルム４の幅程度の間隔をおいて取り付けられ、これらボールベアリング１５、１６に円筒状の外側回転軸１７が回転可能に装着されている。
このような構成を有するテンデンシーローラ１０では、ベルト１４の駆動によって内側回転軸１３を所定方向に回転させると、ボールベアリング１５、１６の摩擦抵抗によって外側回転軸１７が同一方向に回転する。

このように、第２及び第３の非接触搬送ローラ３６、３７として、テンデンシーローラ１０を用いれば、ベルト１４によって駆動される内側回転軸１３の駆動力が一対のボールベアリング１５、１６により速度の変化が緩和又は吸収されて外側回転軸１７に伝達されるため、メカニカルロスをより小さくすることが可能になる。

さらに、第３の非接触搬送ローラ３７のフィルム搬送方向下流側には、一対のローラとベルトからなる非接触搬送機構３８が設けられている。この非接触搬送機構３８は、ベルトの駆動により、成膜後の成膜用フィルム４の非成膜面４ｂを支持して搬送するように構成されている。

さらに、非接触搬送機構３８の下方でフィルム搬送方向下流側には、成膜された成膜用フィルム４を巻き取るための巻取軸９が設けられている。
巻取軸９は、図示しない駆動機構によって回転駆動するように構成されている。

このような構成を有する本実施の形態によれば、成膜された成膜用フィルム４の非成膜面４ｂを第１〜第３の非接触搬送ローラ３５〜３７及び非接触搬送機構３８によって搬送するようにしたことから、成膜用フィルム４上に形成された薄膜（成膜面４ａ）に対してダメージを与えることなく、成膜用フィルム４を搬送して巻き取ることができる。

図３は、本発明に係る巻取式成膜装置の他の実施の形態を示す概略構成図であり、以下、上記実施の形態と対応する部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
図３に示すように、本実施の形態の巻取式成膜装置１Ａは、繰出・巻取室２内に保護フィルム繰出機構５０が設けられ、成膜された成膜用フィルム４に保護フィルム５を貼り合わせるようにしたものである。

ここでは、繰出・巻取室２内の例えば巻取軸９の近傍で、成膜された成膜用フィルム４の成膜面４ａ側の位置に、所定の保護フィルム５を巻き付けた保護フィルムロール５１が設けられている。
この保護フィルムロール５１は、その回転軸５０ａが図示しない駆動機構に連結され、巻取軸９方向へ向って保護フィルム５を下方から繰り出す方向に回転させるように構成されている。

そして、成膜用フィルム４を巻き取る際に、保護フィルムロール５１から繰り出された保護フィルム５を、成膜用フィルム４の成膜面４ａ上に貼り合わせるように構成されている。

このような構成を有する本実施の形態によれば、上記実施の形態と同様の効果に加え、保護フィルム５付きの成膜用フィルム４をロール状にして提供することができる。
その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。

図４は、本発明に係る巻取式成膜装置の他の実施の形態を示す概略構成図であり、以下、上記実施の形態と対応する部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
図４に示すように、本実施の形態の巻取式成膜装置１Ｂは、保護フィルム５を繰り出す保護フィルム繰出室２Ｂを有するものである。

この保護フィルム繰出室２Ｂは、図示しない真空排気系に接続されており、保護フィルム繰出室２Ｂ内の例えば下部には、保護フィルム５が巻き付けられた保護フィルムロール５１を有する保護フィルム繰出機構５０が設けられている。

保護フィルム繰出機構５０の保護フィルムロール５１は、その回転軸５０ａが図示しない駆動機構に連結され、フィルム繰り出し方向に回転させるように構成されている。
保護フィルム繰出室２Ｂ内の保護フィルムロール５１の近傍には、固定ローラからなる繰出ローラ５３が設けられ、さらに、繰出ローラ５３の保護フィルム搬送方向下流側には、テンションローラからなる張力調整ローラ５４が設けられている。

この張力調整ローラ５４は、図示しないアームの支軸を中心にして揺動自在に支持され、繰り出されるフィルムの張力を調整するように構成されている。
そして、張力調整ローラ５４の例えば上方で保護フィルム搬送方向下流側には、固定ローラからなる導出ローラ５５が設けられている。

保護フィルム繰出室２Ｂの導出ローラ５５の近傍には、保護フィルムを導出するための導出口（図示せず）が設けられている。この導出口は、成膜時には閉じられるように構成され、保護フィルム繰出室２Ｂ内の真空雰囲気が維持されるようになっている。

そして、保護フィルムロール５１から繰り出された保護フィルム５が、上述した繰出ローラ５３、張力調整ローラ５４、導出ローラ５５に掛け渡され、保護フィルム繰出室２Ｂの導出口から成膜室３に向って搬送されるように構成されている。

一方、成膜室３の、保護フィルム繰出室２Ｂの導出口と対向する部分には、保護フィルム５を導入するための導入口（図示せず）が設けられている。この導入口は、成膜時には閉じられるように構成され、成膜室３内の真空雰囲気が維持されるようになっている。

成膜室３内の導入口の近傍には、固定ローラからなる導入ローラ５６が設けられている。
導入ローラ５６の保護フィルム搬送方向下流側には、それぞれ固定ローラからなる第１、第２及び第３の搬送ローラ５７、５８、５９が順次設けられている。

さらに、成膜室３内の第３の搬送ローラ５９の保護フィルム搬送方向下流側には、成膜用フィルム４と保護フィルム５を密着させる密着機構６０が設けられている。

図５は、本実施の形態に用いる成膜用フィルムと保護フィルムとの関係を示す断面図、図６（ａ）〜（ｃ）は、本実施の形態に用いる密着機構の例を示す概略構成図である。
図５に示すように、本実施の形態では、成膜用フィルム４上に形成された薄膜層４Ａの表面即ち成膜面４ａに、保護フィルム５を密着させて貼り合わせる。

本実施の形態の場合、保護フィルム５には、例えばエンボス加工により、成膜用フィルム４の成膜領域以外の領域に、保護フィルム５の長手方向及び幅方向に、複数の突起５ａが設けられ、これらの突起５ａのみが成膜用フィルム４の薄膜層４Ａと接触するようになっている。

そして、このような構成により、成膜後の成膜用フィルム４に保護フィルム５を貼り合わせた場合であっても、成膜用フィルム４の成膜領域にはダメージが与えられないようになっている。

一方、図６（ａ）に示す密着機構６０Ａは、ガイドローラ６１Ａと、押圧ローラ６２Ａとから構成されている。
ここで、ガイドローラ６１Ａは、断面円形形状のローラ本体６３を有し、このローラ本体６３に、例えばシリコーンゴムからなり、ローラ本体６３より外径の大きい断面円形形状のガイド部６５を、成膜用フィルム４及び保護フィルム５の両縁部が載置されるように、所定の間隔をおいて二つ設けたものである。

一方、押圧ローラ６２Ａは、断面円形形状でガイドローラ６１Ａの回転軸と平行な回転軸を有するローラ本体６４に、ローラ本体６４より外径の大きい断面円形形状のガイド部６６を、ガイドローラ６１Ａのガイド部６５と同程度の間隔をおいて二つ設けたものである。

そして、このようなガイドローラ６１Ａと押圧ローラ６２Ａとの間に成膜用フィルム４と保護フィルム５とを挿入し、図示しない押圧機構によって押圧ローラ６２Ａをガイドローラ６１Ａ側に押圧することにより、成膜用フィルム４の成膜面４ａに対して保護フィルム５を密着させるようになっている。

図６（ｂ）に示す密着機構６０Ｂは、上述したガイドローラ６１Ａと、押圧機構６２Ｂとから構成されている。
ここで、押圧機構６２Ｂは、ガイドローラ６１Ａの回転軸と平行な回転支軸６８を中心として回転可能な押圧ローラ６６が本体部６９に取り付けられているもので、本例では、ガイドローラ６１Ａのガイド部６５と同程度の間隔をおいて押圧機構６２Ｂを二つ設けて構成されている。

このような構成において、ガイドローラ６１Ａと押圧機構６２Ｂの押圧ローラ６６との間に成膜用フィルム４と保護フィルム５とを挿入し、押圧機構６２Ｂの押圧ローラ６６をガイドローラ６１Ａ側に押圧することにより、成膜用フィルム４の成膜面４ａに対して保護フィルム５を密着させるようになっている。

図６（ｃ）に示す密着機構６０Ｃは、ガイドローラ６１Ｃと、上述した押圧機構６２Ｂとから構成されている。
本例では、上述したローラ本体６３に、ローラ本体６３より外径の大きい断面円形形状のガイド部６５を、成膜用フィルム４及び保護フィルム５の中央部及び両縁部が載置されように、所定の間隔をおいて三つ設けたものである。

さらに、図６（ｂ）に示す押圧機構６２Ｂを、ガイドローラ６１Ｃのガイド部６５と同程度の間隔をおいて押圧機構６２Ｂを三つ設けている。
このような構成において、ガイドローラ６１Ｃと各押圧機構６２Ｂの押圧ローラ６６との間に成膜用フィルム４と保護フィルム５とを挿入し、押圧機構６２Ｂの押圧ローラ６６をガイドローラ６１Ｃ側に押圧することにより、成膜用フィルム４の成膜面４ａに対して保護フィルム５を密着させるようになっている。

上述した密着機構６０Ａ〜６０Ｃによれば、成膜用フィルム４の成膜領域を保護することができるとともに、成膜用フィルム４と保護フィルム５とを密着させて安定して搬送することができる。

図７は、本発明に係る巻取式成膜装置の他の実施の形態を示す概略構成図であり、以下、上記実施の形態と対応する部分には同一の符号を付しその詳細な説明を省略する。
図７に示すように、本実施の形態の巻取式成膜装置１Ｃは、成膜室３の一方の側部側に、第１の繰出・巻取室２Ｃが設けられ、成膜室３の他方の側部側に、第２の繰出・巻取室２Ｄが設けられている。

第１及び第２の繰出・巻取室２Ｃ、２Ｄは、それぞれ図示しない真空排気系に接続されている。
第１の繰出・巻取室２Ｃ内の例えば上部には、上述した成膜用フィルム４上に第１の保護フィルム５Ａが積層された第１の積層フィルム７１を巻回した第１のフィルムロール７０が設けられている。この第１のフィルムロール７０は、その回転軸７０ａが図示しない駆動機構に連結されている。

第１の繰出・巻取室２Ｃ内には、以下の構成を有する第１の搬送手段が設けられている。
すなわち、第１の繰出・巻取室２Ｃの第１のフィルムロール７０の上方近傍には、一対の固定ローラと、一対の固定ローラに掛け渡されたベルトによって構成された繰出機構７２が設けられ、この繰出機構７２によって第１の積層フィルム７１を斜め上方に繰り出すようになっている。

繰出機構７２の下方には、テンションローラからなる搬送ローラ７３が設けられ、搬送ローラ７３のフィルム搬送方向下流側には、導出ローラ７４が設けられている。
第１の繰出・巻取室２Ｃの導出ローラ７４の近傍には、第１の積層フィルム７１を導出するための上述した導出口（図示せず）が設けられている。

そして、第１のフィルムロール７０から繰り出された第１の積層フィルム７１が、搬送ローラ７３及び導出ローラ７４に掛け渡され、第１の繰出・巻取室２Ｃの導出口から成膜室３に向って搬送されるように構成されている。

一方、成膜室３の、第１の繰出・巻取室２Ｃの導出口と対向する部分には、第１の積層フィルム７１を導入するための上述した導入口（図示せず）が設けられている。
成膜室３内の上部には、固定ローラからなる第１及び第２の搬送ローラ７５、７６が設けられ、さらに、フィルム支持ローラ７の上方近傍には、第１の積層フィルム７１から第１の保護フィルム５Ａを剥離するための剥離機構（図示せず）を有する剥離ローラ（フィルム剥離機構）７７が設けられている。この剥離ローラ７７は、テンションローラからなるものである。

なお、第１の積層フィルム７１から第１の保護フィルム５Ａが剥離された成膜用フィルム４は、フィルム支持ローラ７に巻き付けられるように構成されている。
成膜室３内の剥離ローラ７７の第１の繰出・巻取室２Ｃ側には、剥離された第１の保護フィルム５Ａを第１の繰出・巻取室２Ｃ側に戻すための第１及び第２の戻しローラ７８、７９が順次設けられている。

成膜室３の第２の戻しローラ７９の近傍には、第１の保護フィルム５Ａを導出するための上述した導出口（図示せず）が設けられている。
一方、第１の繰出・巻取室２Ｃの、成膜室３の導出口と対向する部分には、第１の保護フィルム５Ａを導入するための上述した導入口（図示せず）が設けられている。

また、第１の繰出・巻取室２Ｃ内の下部には、第１の保護フィルム５Ａを巻き取るための巻取軸８０が設けられている。そして、第１の繰出・巻取室２Ｃの導入口から巻取軸８０に向って第３〜５の戻しローラ８１〜８３と、一対の固定ローラとベルトから構成された戻し機構８４が設けられ、これら第３〜５の戻しローラ８１〜８３と、戻し機構８４を介して第１の保護フィルム５Ａを巻取軸８０に導くように構成されている。

一方、第２の繰出・巻取室２Ｄ内の例えば下部には、第２の保護フィルム５Ｂが巻き付けられ、その回転軸９０ａが図示しない駆動機構に連結された保護フィルムロール９０が設けられている。

第２の繰出・巻取室２Ｄ内の保護フィルムロール９０の上方近傍には、一対の固定ローラと、一対の固定ローラに掛け渡されたベルトによって構成された繰出機構９１が設けられ、この繰出機構９１によって第２の保護フィルム５Ｂを斜め上方に繰り出すようになっている。

第２の繰出・巻取室２Ｄ内の繰出機構９１の成膜室３側には、第１及び第２の搬送ローラ９２、９３及び導出ローラ９４が順次設けられ、これら第１及び第２の搬送ローラ９２、９３及び導出ローラ９４と第２の保護フィルム５Ｂを成膜室３に向って搬送した後、上述した導出口を介して第２の保護フィルム５Ｂを成膜室３に向って導出するように構成されている。

成膜室３の、第２の繰出・巻取室２Ｄの導出口と対向する部分には、第２の保護フィルム５Ｂを導入するための上述した導入口（図示せず）が設けられ、さらに、この導入口の近傍には、第２の保護フィルム５Ｂを成膜室３内に導入するための第１及び第２の導入ローラ９５、９６が順次設けられている。

そして、成膜室３内のフィルム支持ローラ７の上方近傍には、成膜が行われた成膜用フィルム４と第２の保護フィルム５Ｂを貼り合わせるための貼り合わせローラ（フィルム貼り合わせ機構）９７が設けられている。なお、貼り合わせローラ９７は、テンションローラからなるものである。

さらに、成膜室３内の貼り合わせローラ９７の上方には、貼り合わされた第２の積層フィルム９８を第２の繰出・巻取室２Ｄに向って搬送するための第１及び第２の戻しローラ（第２の搬送手段）９９、１００が設けられている。

そして、第１及び第２の戻しローラ９９、１００によって搬送された第２の積層フィルム９８は、成膜室３に設けられた導出口（図示せず）を介して第２の繰出・巻取室２Ｄに向って導出され、さらに、第２の繰出・巻取室２Ｄに設けられた導入口（図示せず）を介して第２の繰出・巻取室２Ｄ内に導入されるように構成されている。

また、第２の繰出・巻取室２Ｄ内の上部には、第２の積層フィルム９８を巻き取るための巻取軸１０１が設けられている。そして、第２の繰出・巻取室２Ｄの導入口から巻取軸１０１に向って第３及び第４の戻しローラ１０２、１０３と、一対の固定ローラとベルトから構成された戻し機構１０４が設けられ、これら第３及び第４の戻しローラ１０２、１０３と、戻し機構１０４を介して第２の積層フィルム９８を巻取軸１０１に導くように構成されている。なお、第４の戻しローラ１０３は、テンションローラからなるものである。

このような構成を有する本実施の形態によれば、上述した効果に加え、成膜用フィルム４は常に第１又は第２の保護フィルム５Ａ、５Ｂによって保護されているので、成膜用フィルム４の成膜面４ａにダメージを与えることなく、連続的に成膜を行い巻き取ることができ、これにより装置構成の自由度を向上させることができる。

その他の構成及び作用効果については上述の実施の形態と同一であるのでその詳細な説明を省略する。
なお、本発明は上述の実施の形態に限られることなく、種々の変更を行うことができる。

例えば、上記実施の形態においては、成膜源として、プラズマＣＶＤ用のシャワーヘッドを設けた場合を例にとって説明したが、本発明はこれに限られず、例えば、第１〜第４の成膜領域３１〜３４内に電極を設けて放電を行うように構成することもできる。
また、本発明は、プラズマＣＶＤのみならず、真空蒸着やスパッタリングによって成膜を行う場合にも適用することができる。

１…巻取式成膜装置
２…繰出・巻取室
３…成膜室
４…成膜用フィルム
４ａ…成膜面
４ｂ…非成膜面
５…保護フィルム
７…フィルム支持ローラ
３１〜３４…第１〜第４の成膜領域
３５〜３７…第１〜第３の非接触搬送ローラ

Claims (6)

1. フィルムロールから繰り出された成膜用フィルム上に真空中で成膜を行い、かつ、成膜された当該成膜用フィルムをロール状に巻き取る巻取式成膜装置であって、
   前記成膜用フィルムをフィルム支持ローラに巻き付けた状態で当該成膜用フィルム上に成膜を行う成膜領域と、
   成膜された前記成膜用フィルムの成膜されていない面を支持して搬送するフィルム搬送機構とを有する巻取式成膜装置。
2. 前記フィルム搬送機構が、前記成膜用フィルムの成膜されていない面を支持して搬送するテンデンシーローラを有する請求項１記載の巻取式成膜装置。
3. 前記フィルム搬送機構が、前記成膜用フィルムの成膜面の非成膜領域に対して保護フィルムを密着させる密着機構を有する請求項１又は２のいずれか１項記載の巻取式成膜装置。
4. 前記成膜用フィルムに第１の保護フィルムが積層された第１の積層フィルムを搬送して前記フィルム支持ローラに導く第１の搬送手段と、
   前記成膜用フィルムから前記第１の保護フィルムを剥離するとともに、当該成膜用フィルムを前記フィルム支持ローラに巻き付けるように構成されたフィルム剥離機構と、
   成膜された前記成膜用フィルムの成膜面に第２の保護フィルムを貼り合わせるフィルム貼り合わせ機構と、
   前記成膜用フィルムの成膜面に前記第２の保護フィルムが貼り合わされた第２の積層フィルムを搬送する第２の搬送手段と、
   前記第２の積層フィルムをロール状に巻き取る巻取手段とを有する請求項１乃至３のいずれか１項記載の巻取式成膜装置。
5. フィルムロールから繰り出された成膜用フィルム上に真空中で成膜を行った後、成膜された当該成膜用フィルムをロール状に巻き取る工程を有する巻取式成膜方法であって、
   成膜された前記成膜用フィルムの成膜面に保護フィルムを貼り合わせて搬送し、当該貼り合わされた積層フィルムをロール状に巻き取る工程を有する巻取式成膜方法。
6. 前記保護フィルムの前記成膜用フィルムの非成膜領域に対応する領域に、複数の突起が設けられている請求項５記載の巻取式成膜方法。

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