JPH08325731A - 真空成膜装置 - Google Patents
真空成膜装置Info
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- JPH08325731A JPH08325731A JP14968295A JP14968295A JPH08325731A JP H08325731 A JPH08325731 A JP H08325731A JP 14968295 A JP14968295 A JP 14968295A JP 14968295 A JP14968295 A JP 14968295A JP H08325731 A JPH08325731 A JP H08325731A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 薄膜が付与される側のフイルム面、特にフイ
ルムに付与された薄膜表面にフイルム搬送用のロール類
で傷を入れないような真空成膜装置を提供する。 【構成】 ロールツーロール方式の真空成膜装置におい
て、真空槽１８内でフイルム１６を搬送するために使用
されるロール類からなるフイルム搬送設備１５ａ〜１５
ｆのうち、少なくとも膜付与手段１３に対向する位置に
ある冷却ロール１４からフイルム巻き取り部１２に至る
フイルム搬送経路に配置されているフイルム搬送設備１
５ｄ〜１５ｆを、フイルムの非膜付与面１６ｂ側にのみ
設置させる。
ルムに付与された薄膜表面にフイルム搬送用のロール類
で傷を入れないような真空成膜装置を提供する。 【構成】 ロールツーロール方式の真空成膜装置におい
て、真空槽１８内でフイルム１６を搬送するために使用
されるロール類からなるフイルム搬送設備１５ａ〜１５
ｆのうち、少なくとも膜付与手段１３に対向する位置に
ある冷却ロール１４からフイルム巻き取り部１２に至る
フイルム搬送経路に配置されているフイルム搬送設備１
５ｄ〜１５ｆを、フイルムの非膜付与面１６ｂ側にのみ
設置させる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空中で長尺の合成樹
脂製フイルムを連続的に搬送しながらスパッタリング
法、蒸着法、ＣＶＤ法などの膜付与手段により薄膜をフ
イルム上に形成する真空成膜装置に関する。
脂製フイルムを連続的に搬送しながらスパッタリング
法、蒸着法、ＣＶＤ法などの膜付与手段により薄膜をフ
イルム上に形成する真空成膜装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法な
どの膜付与手段により真空中で薄膜をフイルム上に形成
する真空成膜装置においては、出来るだけ短時間で大気
圧から目的とする真空領域に到達するようにするため、
真空槽の内容積を極力小さくし、かつ真空槽内壁より発
生するガスの放出量を極力少なくするため、真空槽内の
表面積も極力狭くするのが一般的である。真空槽を小さ
くすることは、真空槽の強度を確保する点からも有効で
あるため、真空槽を製作する場合は、機能上、問題のな
い範囲で極力小さな真空槽が製作されてきた。
どの膜付与手段により真空中で薄膜をフイルム上に形成
する真空成膜装置においては、出来るだけ短時間で大気
圧から目的とする真空領域に到達するようにするため、
真空槽の内容積を極力小さくし、かつ真空槽内壁より発
生するガスの放出量を極力少なくするため、真空槽内の
表面積も極力狭くするのが一般的である。真空槽を小さ
くすることは、真空槽の強度を確保する点からも有効で
あるため、真空槽を製作する場合は、機能上、問題のな
い範囲で極力小さな真空槽が製作されてきた。
【０００３】従って、フイルム原反ロールからフイルム
を連続的に解除しつつ薄膜をフイルム上に付与し、その
後、ロール状に巻き取る、いわゆるロールツーロール方
式の真空成膜装置においては、フイルムの巻き出し部、
薄膜付与部、フイルム巻取り部などの設備を狭い真空槽
内に極力コンパクトにまとめることや、薄膜付与前のフ
イルム原反ロール、あるいは薄膜付与後にフイルム巻き
取り部に巻き取られた製品ロールを真空槽内部の巻き出
し部や巻き取り部に取り付けたり、取り外したりするフ
イルムロールの交換作業が容易に行えるような、作業性
を配慮した真空槽内の設備レイアウトにならざるを得な
い。
を連続的に解除しつつ薄膜をフイルム上に付与し、その
後、ロール状に巻き取る、いわゆるロールツーロール方
式の真空成膜装置においては、フイルムの巻き出し部、
薄膜付与部、フイルム巻取り部などの設備を狭い真空槽
内に極力コンパクトにまとめることや、薄膜付与前のフ
イルム原反ロール、あるいは薄膜付与後にフイルム巻き
取り部に巻き取られた製品ロールを真空槽内部の巻き出
し部や巻き取り部に取り付けたり、取り外したりするフ
イルムロールの交換作業が容易に行えるような、作業性
を配慮した真空槽内の設備レイアウトにならざるを得な
い。
【０００４】そのため、フイルムの巻き出し部から薄膜
付与部へのフイルム搬送経路、あるいは薄膜付与部から
フイルム巻き取り部までのフイルム搬送経路は、設備の
隙間をガイドロールによって案内しながら搬送すること
になる。このため、フイルムは、曲がりくねった経路を
取ることが多くなり、ガイドロールなどのフイルム搬送
ロールに、あるときはフイルムの表面が接触し、あると
きはフイルムの裏面が接しながら搬送される。
付与部へのフイルム搬送経路、あるいは薄膜付与部から
フイルム巻き取り部までのフイルム搬送経路は、設備の
隙間をガイドロールによって案内しながら搬送すること
になる。このため、フイルムは、曲がりくねった経路を
取ることが多くなり、ガイドロールなどのフイルム搬送
ロールに、あるときはフイルムの表面が接触し、あると
きはフイルムの裏面が接しながら搬送される。
【０００５】すなわち、従来は、図２のように、フイル
ムの巻き出し部１から解除された薄膜付与前のフイルム
６をガイドロール５ａ，５ｂによりジグザグ状に走行さ
せながら冷却ロール４に案内し、冷却ロール４に対向す
るように設けた薄膜付与手段３によりフイルム６の表面
に薄膜を付与後、再びガイドロール５ｃ，５ｄによりジ
グザグ状に走行させて巻き取り部２に巻き取るようにな
っている。
ムの巻き出し部１から解除された薄膜付与前のフイルム
６をガイドロール５ａ，５ｂによりジグザグ状に走行さ
せながら冷却ロール４に案内し、冷却ロール４に対向す
るように設けた薄膜付与手段３によりフイルム６の表面
に薄膜を付与後、再びガイドロール５ｃ，５ｄによりジ
グザグ状に走行させて巻き取り部２に巻き取るようにな
っている。
【０００６】従って、フイルム６は、狭い隙間をガイド
ロール５ａ，５ｂならびにガイドロール５ｃ，５ｄによ
って曲がりくねって搬送されるため、フイルム６の表裏
両面がガイドロール５ａ，５ｂならびにガイドロール５
ｃ，５ｄに接触する。なお、図２において、８は真空
槽、９は真空ポンプを示している。
ロール５ａ，５ｂならびにガイドロール５ｃ，５ｄによ
って曲がりくねって搬送されるため、フイルム６の表裏
両面がガイドロール５ａ，５ｂならびにガイドロール５
ｃ，５ｄに接触する。なお、図２において、８は真空
槽、９は真空ポンプを示している。
【０００７】一方、フイルムを搬送する設備において
は、フイルムが安定して搬送されるようにテンションの
コントロールを行ったり、ロールの回転精度を上げた
り、フイルムの搬送位置を制御するなどの対策が行なわ
れるのが一般的である。
は、フイルムが安定して搬送されるようにテンションの
コントロールを行ったり、ロールの回転精度を上げた
り、フイルムの搬送位置を制御するなどの対策が行なわ
れるのが一般的である。
【０００８】しかしながら、テンション変動やロール類
の回転不良、回転変動、あるいはフイルムの厚み斑やロ
ール類の取り付け精度不良などによりロール表面でフイ
ルムが滑り、フイルム表面が擦られると、フイルムに傷
が入る。ロールの表面性が悪い場合、あるいは軟らかい
種類のフイルムの場合は、フイルム面への傷入りは、特
にひどくなる。
の回転不良、回転変動、あるいはフイルムの厚み斑やロ
ール類の取り付け精度不良などによりロール表面でフイ
ルムが滑り、フイルム表面が擦られると、フイルムに傷
が入る。ロールの表面性が悪い場合、あるいは軟らかい
種類のフイルムの場合は、フイルム面への傷入りは、特
にひどくなる。
【０００９】フイルムに傷が入ると、当然のことながら
製品の品質を損なう。特に、薄膜が付与される側のフイ
ルム表面への傷入りは、品質を大きく損なう。中でも、
薄膜表面への傷入りは、品質上、致命的な欠陥になり、
製品として提供することができなくなる。
製品の品質を損なう。特に、薄膜が付与される側のフイ
ルム表面への傷入りは、品質を大きく損なう。中でも、
薄膜表面への傷入りは、品質上、致命的な欠陥になり、
製品として提供することができなくなる。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、かかる従来
の問題に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、ロールツーロール方式の真空成膜装置におい
て、薄膜が付与される側のフイルム面、特にフイルムに
付与された薄膜表面にフイルム搬送用のロール類で傷を
入れないような真空成膜装置を提供することにある。
の問題に鑑みてなされたものであり、その目的とすると
ころは、ロールツーロール方式の真空成膜装置におい
て、薄膜が付与される側のフイルム面、特にフイルムに
付与された薄膜表面にフイルム搬送用のロール類で傷を
入れないような真空成膜装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は、合成樹脂製の
フイルム上に、スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法な
どの膜付与手段により薄膜を形成するロールツーロール
方式の真空成膜装置において、真空成膜装置を形成する
真空槽内でフイルムを搬送するために使用されるロール
類からなるフイルム搬送設備のうち、少なくとも膜付与
手段に対向する位置にある冷却ロールからフイルム巻き
取り部に至るフイルム搬送経路に配置されているフイル
ム搬送設備を、フイルムの非膜付与面側にのみ設置させ
た真空成膜装置である。
フイルム上に、スパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法な
どの膜付与手段により薄膜を形成するロールツーロール
方式の真空成膜装置において、真空成膜装置を形成する
真空槽内でフイルムを搬送するために使用されるロール
類からなるフイルム搬送設備のうち、少なくとも膜付与
手段に対向する位置にある冷却ロールからフイルム巻き
取り部に至るフイルム搬送経路に配置されているフイル
ム搬送設備を、フイルムの非膜付与面側にのみ設置させ
た真空成膜装置である。
【００１２】ここで、フイルムを搬送するために使用さ
れるロール類からなるフイルム搬送設備は、フイルムの
巻き出し部からフイルム巻き取り部に至る全工程にわた
ってフイルムの非膜付与面側にのみ設置させることが好
ましい。
れるロール類からなるフイルム搬送設備は、フイルムの
巻き出し部からフイルム巻き取り部に至る全工程にわた
ってフイルムの非膜付与面側にのみ設置させることが好
ましい。
【００１３】
【作用】このように、ロールツーロール方式の真空成膜
装置の真空槽内でフイルムを搬送するために使用される
フイルム搬送設備のうち、少なくとも膜付与手段に対向
する位置にある冷却ロールからフイルム巻き取り部に至
るフイルム搬送経路に配置されているフイルム搬送設備
を、フイルムの非膜付与面側にのみ設置させることによ
り、薄膜が付与される側のフイルム面、特にフイルム上
に付与された薄膜がフイルム搬送設備に接触しなくな
る。その結果、薄膜が付与される側のフイルム面、特に
フイルム上に付与された薄膜の損傷を完全に防止するこ
とができる。
装置の真空槽内でフイルムを搬送するために使用される
フイルム搬送設備のうち、少なくとも膜付与手段に対向
する位置にある冷却ロールからフイルム巻き取り部に至
るフイルム搬送経路に配置されているフイルム搬送設備
を、フイルムの非膜付与面側にのみ設置させることによ
り、薄膜が付与される側のフイルム面、特にフイルム上
に付与された薄膜がフイルム搬送設備に接触しなくな
る。その結果、薄膜が付与される側のフイルム面、特に
フイルム上に付与された薄膜の損傷を完全に防止するこ
とができる。
【００１４】
【実施例】以下、図面により本発明の実施例を説明す
る。図１において、１１は、フイルムの巻き出し部、１
２は、フイルムの巻き取り部であり、これらは、冷却ロ
ール１４の上方に位置し、かつ極力、冷却ロール１４に
近づけて平行な位置に設置されている。
る。図１において、１１は、フイルムの巻き出し部、１
２は、フイルムの巻き取り部であり、これらは、冷却ロ
ール１４の上方に位置し、かつ極力、冷却ロール１４に
近づけて平行な位置に設置されている。
【００１５】１３は、冷却ロール１４に対向するように
設置させたスパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法などの
公知の膜付与手段、１５ａ〜１５ｃは、フイルムの巻き
出し部１１から冷却ロール１４に至るフイルム搬送往路
を規制するためのガイドロール、１５ｄ〜１５ｆは、冷
却ロール１４からフイルム巻き取り部１２に至るフイル
ム搬送復路を規制するためのガイドロール、１６はフイ
ルム、１８は真空槽、１９は真空ポンプである。
設置させたスパッタリング法、蒸着法、ＣＶＤ法などの
公知の膜付与手段、１５ａ〜１５ｃは、フイルムの巻き
出し部１１から冷却ロール１４に至るフイルム搬送往路
を規制するためのガイドロール、１５ｄ〜１５ｆは、冷
却ロール１４からフイルム巻き取り部１２に至るフイル
ム搬送復路を規制するためのガイドロール、１６はフイ
ルム、１８は真空槽、１９は真空ポンプである。
【００１６】そして、ガイドロール１５ａ〜１５ｃは、
膜付与手段１３によって薄膜が付与されるフイルム表面
（以下、膜付与面と称する）１６ａが弓なりに膨らむよ
うにフイルム裏面、すなわち非膜付与面１６ｂ側に配置
される一方、ガイドロール１５ｄ〜１５ｆもフイルムの
膜付与面１６ａに付与された薄膜１７側が弓なりに膨ら
むようにフイルムの非膜付与面１６ｂに配置され、それ
ぞれフイルム１６に張力を付与するようになっている。
膜付与手段１３によって薄膜が付与されるフイルム表面
（以下、膜付与面と称する）１６ａが弓なりに膨らむよ
うにフイルム裏面、すなわち非膜付与面１６ｂ側に配置
される一方、ガイドロール１５ｄ〜１５ｆもフイルムの
膜付与面１６ａに付与された薄膜１７側が弓なりに膨ら
むようにフイルムの非膜付与面１６ｂに配置され、それ
ぞれフイルム１６に張力を付与するようになっている。
【００１７】そして、フイルム１６は、フイルムの巻き
出し部１１より時計方向に解除されながらフイルム１６
の非膜付与面１６ｂにのみ当接するガイドロール１５ａ
〜１５ｃに案内されて冷却ロール１４に至る。そして、
冷却ロール１４に対向するように配設された膜処理手段
１３によってフイルム１６の膜付与面１６ａに金属製の
薄膜１７を付与させたのち、さらにフイルム１６の非膜
付与面１６ｂにのみ当接するガイドロール１５ｄ〜１５
ｆに案内されてフイルム巻き取り部１２により時計方向
に巻き取られる。なお、図１において、Ａはフイルム原
反ロール、Ｂは製品ロールを示している。
出し部１１より時計方向に解除されながらフイルム１６
の非膜付与面１６ｂにのみ当接するガイドロール１５ａ
〜１５ｃに案内されて冷却ロール１４に至る。そして、
冷却ロール１４に対向するように配設された膜処理手段
１３によってフイルム１６の膜付与面１６ａに金属製の
薄膜１７を付与させたのち、さらにフイルム１６の非膜
付与面１６ｂにのみ当接するガイドロール１５ｄ〜１５
ｆに案内されてフイルム巻き取り部１２により時計方向
に巻き取られる。なお、図１において、Ａはフイルム原
反ロール、Ｂは製品ロールを示している。
【００１８】従って、本発明においては、フイルム搬送
設備であるガイドロール１５ａ〜１５ｃや、ガイドロー
ル１５ｄ〜１５ｆがフイルムの非膜付与面１６ｂ側にの
み設置されたレイアウトになっているため、フイルムの
膜付与面１６ａおよびフイルムの膜付与面１６ａに付与
された薄膜１７に傷が入る心配が全くない。
設備であるガイドロール１５ａ〜１５ｃや、ガイドロー
ル１５ｄ〜１５ｆがフイルムの非膜付与面１６ｂ側にの
み設置されたレイアウトになっているため、フイルムの
膜付与面１６ａおよびフイルムの膜付与面１６ａに付与
された薄膜１７に傷が入る心配が全くない。
【００１９】以上の説明では、フイルム搬送往路に設置
されたガイドロール１５ａ〜１５ｃおよびフイルム搬送
復路に設置されたガイドロール１５ｄ〜１５ｆの双方が
フイルムの非膜付与面１６ｂに接触する場合について説
明したが、レイアウトの都合上、フイルム搬送復路に配
置させたガイドロール１５ｄ〜１５ｆのみをフイルムの
非膜付与面１６ｂに当接させるようにしても実用上の支
障がない。
されたガイドロール１５ａ〜１５ｃおよびフイルム搬送
復路に設置されたガイドロール１５ｄ〜１５ｆの双方が
フイルムの非膜付与面１６ｂに接触する場合について説
明したが、レイアウトの都合上、フイルム搬送復路に配
置させたガイドロール１５ｄ〜１５ｆのみをフイルムの
非膜付与面１６ｂに当接させるようにしても実用上の支
障がない。
【００２０】また、フイルムの巻き出し部１１から冷却
ロール１４に至るフイルム搬送経路に配置されているガ
イドロール１５ａ〜１５ｃを、フイルムの膜付与面１６
ａ側が弓なりに膨らむように配置させると、フイルムの
膜付与面１６ａを傷つけることなく、フイルム１６に解
除張力を付与することができる。
ロール１４に至るフイルム搬送経路に配置されているガ
イドロール１５ａ〜１５ｃを、フイルムの膜付与面１６
ａ側が弓なりに膨らむように配置させると、フイルムの
膜付与面１６ａを傷つけることなく、フイルム１６に解
除張力を付与することができる。
【００２１】なお、フイルムの卷き出し部１１とフイル
ム卷き取り部１２の配置を相互に入れ換える場合は、卷
き出し部１１からフイルム１６を反時計方向に解除しな
がら冷却ロール１４に供給し、卷き取り部１２でフイル
ム１６を反時計方向に卷き取る。
ム卷き取り部１２の配置を相互に入れ換える場合は、卷
き出し部１１からフイルム１６を反時計方向に解除しな
がら冷却ロール１４に供給し、卷き取り部１２でフイル
ム１６を反時計方向に卷き取る。
【００２２】
【発明の効果】上記のように、本発明によれば、薄膜が
付与される側のフイルム面、特にフイルム上に付与され
た薄膜がフイルム搬送用のガイドロールなどのフイルム
搬送設備に接触しなくなる。その結果、薄膜が付与され
る側のフイルム面、特にフイルム上に付与された薄膜の
損傷を完全に防止できるようになった。
付与される側のフイルム面、特にフイルム上に付与され
た薄膜がフイルム搬送用のガイドロールなどのフイルム
搬送設備に接触しなくなる。その結果、薄膜が付与され
る側のフイルム面、特にフイルム上に付与された薄膜の
損傷を完全に防止できるようになった。
【図１】本発明に係る真空成膜装置の一部拡大断面部を
有する概略図である。
有する概略図である。
【図２】従来の真空成膜装置の概略図である。
１２ フイルム巻き取り部 １３ 膜付与手段 １４ 冷却ロール １５ａ〜１５ｃ フイルム搬送設備 １５ｄ〜１５ｆ フイルム搬送設備 １６ フイルム １６ｂ フイルムの非膜付与面 １７ 薄膜 １８ 真空槽
Claims (2)
- 【請求項１】 合成樹脂製のフイルム上に、スパッタリ
ング法、蒸着法、ＣＶＤ法などの膜付与手段により薄膜
を形成するロールツーロール方式の真空成膜装置におい
て、真空成膜装置を形成する真空槽内でフイルムを搬送
するために使用されるロール類からなるフイルム搬送設
備のうち、少なくとも膜付与手段に対向する位置にある
冷却ロールからフイルム巻き取り部に至るフイルム搬送
経路に配置されているフイルム搬送設備を、フイルムの
非膜付与面側にのみ設置させた真空成膜装置。 - 【請求項２】 フイルムを搬送するために使用されるロ
ール類からなるフイルム搬送設備を、フイルムの巻き出
し部からフイルム巻き取り部に至る全工程にわたってフ
イルムの非膜付与面側にのみ設置させた請求項１記載の
真空成膜装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14968295A JPH08325731A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | 真空成膜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14968295A JPH08325731A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | 真空成膜装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08325731A true JPH08325731A (ja) | 1996-12-10 |
Family
ID=15480518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14968295A Withdrawn JPH08325731A (ja) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | 真空成膜装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08325731A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001223375A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 可撓性基板の搬送装置及び成膜装置 |
| JP2010111948A (ja) * | 2009-12-25 | 2010-05-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 成膜装置、太陽電池及び太陽電池の作製方法 |
| WO2010090504A2 (en) | 2009-02-03 | 2010-08-12 | Sidrabe, Inc. | Highly productive apparatus for vacuum coating roll substrates |
| JP2012219322A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Ulvac Japan Ltd | 巻取式成膜装置及び巻取式成膜方法 |
| EP2889396A1 (en) * | 2013-12-24 | 2015-07-01 | Bobst Manchester Limited | Vacuum coaters and methods of operating a vacuum coater |
-
1995
- 1995-05-25 JP JP14968295A patent/JPH08325731A/ja not_active Withdrawn
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001223375A (ja) * | 2000-02-10 | 2001-08-17 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 可撓性基板の搬送装置及び成膜装置 |
| WO2010090504A2 (en) | 2009-02-03 | 2010-08-12 | Sidrabe, Inc. | Highly productive apparatus for vacuum coating roll substrates |
| JP2010111948A (ja) * | 2009-12-25 | 2010-05-20 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 成膜装置、太陽電池及び太陽電池の作製方法 |
| JP2012219322A (ja) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Ulvac Japan Ltd | 巻取式成膜装置及び巻取式成膜方法 |
| EP2889396A1 (en) * | 2013-12-24 | 2015-07-01 | Bobst Manchester Limited | Vacuum coaters and methods of operating a vacuum coater |
| GB2527622A (en) * | 2013-12-24 | 2015-12-30 | Bobst Manchester Ltd | Vacuum coaters and methods of operating a vacuum coater |
| GB2527622B (en) * | 2013-12-24 | 2017-02-01 | Bobst Manchester Ltd | Vacuum coaters and methods of operating a vacuum coater |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20020806 |