JPS6217176A - 薄膜形成装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、薄膜形成装置、特に非磁性支持体上に金属磁
性材料を真空蒸着、スパッタ等の方法で成膜する磁気記
録媒体の薄膜形成装置に組み込まれた回転キャンのクリ
ーニング機構に関する。

（従来の技術） 広幅の非磁性支持体上にＣｏ合金、Ｃ「合金を蒸着また
はスパッタして、高密度磁気記録に適した媒体を製造す
る技術が、新しい製造技術として注目されてきている。

これらの製造技術においては、非磁性支持体を冷却した
回転キャンに巻き掛けて搬送し、この回転キャン上で非
磁性支持体上に蒸着またはスパッタ等を施して磁性膜を
形成することが一般になされている。

ところで、このような回転キャンを使用した薄　　　　
　“膜形成装置においては、非磁性支持体が持って来た
ゴミの付着や、蒸着時における蒸発した金属蒸気の裏回
り等によって回転キャンが汚れてしまうので、回転キャ
ンに対する非磁性支持体の密着不良箇所が発生し、蒸着
またはスパッタ等による成膜時における回転キャンによ
る非磁性支持体の冷却が不十分な箇所かでき、これによ
り磁気記録媒体にドロップアウトやノイズの原因となる
変形やピンホールなどを生じるという問題がある。

このような問題の対策として、回転キャンのクリーニン
グ機構を備える「磁気テープの蒸着装置」が特開昭５９
−１１００４０号に開示されている。すなわち、硬質物
質（例えばＣｒ　２０３　）をポリエステルベース上に
蒸着したクリーニングテープを回転キャン上で回転キャ
ンに対して相対的に走行させ、回転キャンから付着物を
剥ぎ取り掃除するものでおる。

しかしここに開示された装置は、硬質物質を蒸着したベ
ースが回転キャン表面を擦るため回転キャンの表面を傷
つける恐れがあり、また、硬質物質を蒸着したベースは
接着力を持たないため剥ぎ取られた回転キャンの付着物
が飛散して非磁性支持体に付着し、逆にドロップアウト
を増すという欠点がある。

（発明の目的） 本発明は、このような事情に鑑みなされたもので市って
、回転キャンを擦傷せず、かつ回転キャンからの剥離物
を飛散させることなく、回転キャンからゴミその他の付
着物を除去するクリーニング機構を備えた薄膜形成装置
を提供することを目的とする。

（発明の構成） 本発明による薄膜形成装置は、回転キャンの、非磁性支
持体が巻き掛けられていない円周面に、粘着性を有する
回転走行体を当接させ、この回転走行体を回転キャンと
等しい周速度で回転走行させることにより、回転キャン
上のゴミその他の付着物を除去するようにしたクリーニ
ング機構を具備するものである。

上記回転走行体は、回転キャンに当接して回転キャンと
等しい周速度で回転走行する部分が粘着性を有している
ものであれば特定の形状に限定されないが、例えばロー
ル形状とすることができ、或いはまた粘着性を有するエ
ンドレスベルトを回転キャンの円周面に所定長当接させ
て該エンドレスベルトを複数のロールにより回転支持す
る構造とすることもできる。

なお、上記のクリーニング機構は、回転キャンに非磁性
支持体を巻き掛けて回転キャンを回転させながら磁性膜
を蒸着により非磁性支持体上に形成させる薄膜形成装置
に組み込まれるものであるが、ここで「蒸着」とは、真
空蒸着のみならずスパッタ、イオンブレーティング、プ
ラズマ重合。

ＣＶＤ等をも含む薄膜形成方法を意味する。

（実施例） 以下、添付図面を参照して本発明の実施例につき詳述す
る。

第１図は本発明による薄膜形成装置の第１実施例を示す
。

薄膜形成装置１の略中央には冷却された回転キャン２が
回転自在に設けられていて、回転キャン２の左右には薄
膜形成装置１を上下２つに仕切る隔壁３が形成されてい
る。回転キャン２には、ポリエチレンテレフタレート等
からなるフィルムテープ状の非磁性支持体４が所定長巻
き掛けられている。この非磁性支持体４は巻出しリール
５からアイドラーロール６を経て送り出され、回転キャ
ン２に巻き掛けられて搬送された後、アイドラーロール
７を経て巻き取りリール８によって巻き取られる。

薄膜形成装置１の下部には耐火物等からなる蒸発源発生
器９が設けられていて、この蒸発源発生器９内には溶融
コバルト等の蒸発源１０が収容されている。蒸発源発生
器９と回転キャン２との間には、開口部１１を有するマ
スク１２が回転キャン２の円周面に沿って設けられてい
て、更にマスク１２の外周側には開口部１１を開閉する
シャッタ１３が設けられている。

薄膜形成装置１の下端部には、バルブ１４が設けられて
いて、このバルブ１４に連結された真空ポンプ１５によ
り隔壁３より下方のチャンバ１６を真空近くの状態まで
低圧とするようになっている。

こうして、真空ポンプ１５により極低圧状態とな　　　
　　□ったチャンバ１６内において、蒸発源発生器９内
の蒸発源１０を電子ビーム、抵抗加熱等の手段（図示せ
ず）により加熱すると、蒸発源１０か金属蒸気となって
飛び出し、マスク１２の開口部１１を通過した蒸気が回
転キャン２の回転により搬送される非磁性支持体４に蒸
着される。このとき非磁性支持体４への蒸気の入射範囲
は、マスク１？の開口部１１の形状およびシャッタ１３
の開閉操作により規定される。

蒸着の際、蒸気の一部は裏回りをして回転キャン２の円
周面に付着してしまうことがある。また、非磁性支持体
４には多くのゴミやスリッタ工程で発生したクズが付着
しているので、回転キャン２の円周面を搬送される過程
でこれらのゴミやクズは回転キャン２の円周面に付着す
る。実際１工程終了時には、回転キャン２の円周面がゴ
ミその他の付着物で相当に汚れている様子が観察される
。

もしも回転キャン２の円周面上に付着したゴミ等を放置
しておくと、第２図に示すように、非磁性支持体４の一
部に回転キャン２に対し密着不良な部分１７を生ずる。

この密着不良部分１７は回転キャン２による冷却が不十
分となるため、蒸発源１０からの蒸発潜熱や輻射熱によ
り非磁性支持体４は損傷を受けて変形し、ときにはピン
ホールを生ずることもめる。このような変形やピンホー
ルは、磁気テープにおいてはドロップアウトやノイズの
原因となり、数多く発生すると商品価値を著しく損うこ
ととなる。

第１図に示すように、本実施例においては、粘着性を有
するロール１８が回転キャン２の真上にその円周面と当
接して回転自在に設けられている。

このロール１８は、金属性の芯材の上に、粘着性物質、
好ましくは素材自体は粘着性を有するが粘着する相手側
には該粘着性物質をカスとして付着させない自己粘着性
物質、例えばポリウレタン、塩化ビニル、シリコンゴム
等のコーティングが施されてなり、回転キャン２の面長
（すなわち軸方向の幅）と略同−の面長を有している。

次にこの実施例の作用について説明する。

回転キャン２が回転すると、これに伴って粘着性を有す
るロール１８が回転キャン２と等しい周速度で回転する
。これにより回転キャン２の円周面上に付着したゴミ等
はロール１８の粘着力によって剥ぎ取られ、回転キャン
２の円周面上は常に清浄な状態に保たれる。

第３図は、本発明による薄膜形成装置の第２実施例を示
す。

本実施例は、回転キャン２の円周面からゴミ等の付着物
を除去するクリーニング機構として、第１実施例におけ
るロール１８の代わりに粘着性を有するエンドレスベル
ト１９およびこれを回転支持する３つのガイドロール２
０を用いたものである。エンドレスベルト１９は、回転
キャン２の面長と略同−の面長を有するゴム、ナイロン
等の材質からなるベルトの表面に、粘着性物質、好まし
くは自己粘着性物質、例えばポリウレタン、塩化ビニル
。

シリコンゴム等のコーティングが施されてなり、ガイド
ロール２０により回転キャン２の円周面に所定長当接さ
れている。

次にこの実施例の作用について説明する。

回転キャン２が回転すると、これに伴ってガイドロール
２０に回転支持されたエンドレスベルト１９が、回転キ
ャン２と等しい周速度で走行し、エンドレスベルト１９
の粘着力によって回転キャン２の円周面上の付着物を剥
ぎ取る。エンドレスベルト１９は回転キャン２の円周面
に所定長当接しているので、第１実施例に示すロール１
８に比べ粘着面積を大きくとることができ、非磁性支持
体４が長尺の場合であってもクリーニング効果が低下し
ない。　　　　”したがって、長尺品の薄膜形成に使用
するのに特　　　　　゛に適している。

（発明の効果） 以上詳述したように、本発明による薄膜形成装置は、粘
着性を有する回転走行体が回転キャンの円周面に当接し
て回転キャンと等しい周速度で回転走行するので、回転
キャンを擦傷させることなく、かつ回転キャンからの剥
離物を飛散さぜることなく回転キャンからゴミその他の
付着物を除去することができ、これにより磁気テープに
ドロップアウトやノイズの原因どなる変形やピンホール
などが発生するのを防止することができ、したがつて磁
気テープの商品価値を高く維持することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による薄膜形成装置の一例を示す正面図
、 第２図は回転キャンの円周面から付着物が除去されない
とした場合の影響を示す説明図、第３図は本発明による
薄膜形成装置の他の実施例を示す正面図でめる。 １・・・薄膜形成装置　　　　２・・・回転キャン４・
・・非磁性支持体　　　　１８・・・ロール１９・・・
エンドレスベルト　　２０・・・ガイドロール第１図　
　第３図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １）回転キャンの円周面上に非磁性支持体を所定長巻き
   掛け、前記回転キャンを回転させながら前記非磁性支持
   体上に磁性膜を蒸着により形成させる磁気記録媒体の薄
   膜形成装置において、 前記回転キャンの前記非磁性支持体が巻き掛けられてい
   ない円周面に、粘着性を有する回転走行体を当接させ、
   該回転走行体を前記回転キャンと等しい周速度で回転走
   行させるようにしたことを特徴とする薄膜形成装置。 ２）前記回転走行体がロール形状をしていることを特徴
   とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜形成装置。 ３）前記回転走行体が、前記回転キャンの円周面に所定
   長当接した粘着性を有するエンドレスベルトと、該エン
   ドレスベルトを回転支持する複数のロールとからなるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の薄膜形成装
   置。