JP2843236B2

JP2843236B2 - 磁気記録媒体の製造方法及び製造装置

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Publication number: JP2843236B2
Application number: JP5231761A
Authority: JP
Inventors: 典之北折; 修吉田; 博英水野谷
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Filing date: 1993-09-17
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Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体の製造方
法及び製造装置並びにそれによる磁気記録媒体に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】磁気記録媒体、例えば磁気テープには、
非磁性支持体であるフィルム上に磁性粉をバインダーに
分散させた磁性塗料を塗布してなる従来からある塗布型
テープと、フィルム上に真空中で金属を蒸着してなるバ
インダーを全く含まない蒸着型テープとがある。

【０００３】蒸着型テープは、磁性層にバインダーを含
まないことから磁性材料の密度を高められるため、高密
度記録に有望であるとされている。

【０００４】現在発売又は開発されている蒸着型テープ
の主な構成は、図３に示すようになっている。

【０００５】フィルム51は、ＰＥＴ（ポリエチレンテレ
フタレート）、ポリイミド、アラミドなどが用いられて
いる。厚さは２〜50μｍまでいろいろ用いられている。

【０００６】磁性層52は、フィルム51上に、真空蒸着法
を用いて、Ｃｏ−Ｎｉ合金（80％−20％）を1500Åの厚
さで付着させている。尚、フィルム51と磁性層52との間
に結着性等の向上のためアンダーコート層を介在させる
こともある。

【０００７】トップコート層53は、磁性層52を保護し、
また記録・再生用ヘッドとの接触をスムーズにするため
の潤滑剤としての働きを持たせるためにコートする。コ
ートする方法はグラビア法又はダイ塗工法が用いられて
いる。成分はフッ素系の潤滑剤で、パーフルオロポリエ
ーテル（例えばモンテジソン社製の商品名「ホンブリ
ン」）が用いられている。

【０００８】バックコート層54は、カーボンブラック
（粒径10〜 100ｎｍ）をバインダー（塩ビ系、ウレタン
系、硝化綿系などを単独又は混合して用いる）中に分散
させ、グラビア法、リバース法又はダイ塗工方式で、乾
燥後の厚さが 0.4〜 1.0μｍになるように、フィルム51
の磁性層52の蒸着面とは反対側の面に塗布する。

【０００９】ここで、バックコート層の主な役割として
は、下記の点が挙げられる。

【００１０】（１）導電性を持たせることによって、帯
電防止効果で、ゴミの付着を防止する。（２）表面性（摩擦係数）をコントロールして、走行安
定性を得る。（３）硬さなどの点で、表の磁性層と裏とのバランスを
とって、反りの発生を防止する。従来は、バックコート層として、カーボンをバインダー
に分散させた塗料を塗布しており、上記（１）をカーボ
ンの導電性により、上記（２）をカーボンの粒径と塗布
工程のコントロールにより、上記（３）をバインダーと
塗布厚のコントロールにより、それぞれ満足させてい
た。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来に
おいては、蒸着型テープにおいても、バックコート層は
塗布型となっており、バックコート層を先に塗布してか
ら、磁性層を真空蒸着すると、真空系でバックコート層
からの脱ガス（バインダーの溶剤から発生する）を生
じ、真空度が落ちる結果、蒸着がうまくいかない。

【００１２】そこで、従来においては、真空中で磁性層
を蒸着した後、大気中にテープを取出してから、バック
コート層を塗布している。

【００１３】しかし、この方法では、バックコート層を
塗布する工程で、磁性層が傷ついたり、汚れたり、ゴミ
が付着して、ドロップアウト検査（磁気テープを検査用
のカセットデッキに入れて一定の信号を記録しつつ再生
し、テープ表面の傷や異物の付着などによる再生信号の
欠落であるところのドロップアウトを検出する検査）に
おいて、ドロップアウト数を増加させるという問題点が
あった。

【００１４】また、カーボンブラックは導電性は良好で
あるが、バインダーを入れるため、導電性が低下してし
まい、帯電防止効果が低下するという問題点があった。

【００１５】尚、どのぐらいの導電性が必要かと言え
ば、抵抗値（表面電気抵抗）として、10⁷Ω／□以下と
言われている（市販の８ｍｍビデオテープの場合）。実
際のテープでの値は10⁶Ω／□であるが、優れた値とは
言えない状態であり、より高い導電性が望まれている。

【００１６】一方、前述したように、金属薄膜型の磁気
記録媒体のトップコート層にはフッ素系潤滑剤が繁用さ
れているが、フッ素系の潤滑剤は、200 ℃以上で分解す
るなど高温に弱く蒸気圧が低いため、真空中での塗布は
実質的に不可能であり、トップコート層は、やはり別途
空気中での塗布工程により形成されており、生産性を悪
くする原因の一つとなっていた。

【００１７】本発明は、このような実情に鑑み、非磁性
支持体上の磁性層蒸着面と反対側の面にバックコート層
を形成するに際し、或いは磁性層上にトップコート層を
形成するに際し、ゴミの付着等の問題を解決でき、しか
も性能面でも十分な性能が得られる磁気記録媒体を提供
し、また、金属薄膜型の磁気記録媒体を製造するあた
り、更に生産性を向上させることを目的とする。

【００１８】

【課題を解決するための手段と作用】本発明者らは上記
課題を解決すべく鋭意研究した結果、本発明を完成する
に至った。

【００１９】すなわち本発明は、非磁性支持体の一方の
面に形成されたバックコート層と、該バックコート層が
形成されている面と反対の面に形成された磁性層と、該
磁性層上に形成されたトップコート層とを有する磁気記
録媒体の製造において、前記磁性層、前記バックコート
層及びトップコート層を真空中で形成し、且つ前記トッ
プコート層を、液状のフッ素系潤滑剤を霧化して用い
て、或いは、液状のフッ素系潤滑剤を噴霧することによ
り、形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法
を提供するものである。この製造方法は、磁性層とバッ
クコート層或いは磁性層とトップコート層の二層を、又
は磁性層とバックコート層とトップコート層の三層を真
空中で形成する方法であるが、一の層を形成して次の層
を形成する間が真空状態であるかどうかは問わない。

【００２０】このように磁性層と、トップコート層及び
／又はバックコート層を真空中で形成することにより、
ゴミの付着等の問題は生じない。尚、各層の形成は、連
続して行ってもよいし、工程を分けて一方の形成後にロ
ールに巻取ってからそのロールから巻出して他方の形成
を行ってもよい。分けて行う場合に途中で磁気記録媒体
が大気中に置かれるとしても、大気中ではロールに巻い
たままで巻出さなければ、ゴミの付着等の問題は生じな
い。

【００２１】また、本発明は、非磁性支持体の一方の面
に形成されたバックコート層と、該バックコート層が形
成されている面と反対の面に形成された磁性層と、該磁
性層上に形成されたトップコート層とを有する磁気記録
媒体の製造において、前記磁性層、前記バックコート層
及びトップコート層を、これらの層の形成工程を通して
真空状態を維持しつつ形成し、且つ前記トップコート層
を、液状のフッ素系潤滑剤を霧化して用いて、或いは、
液状のフッ素系潤滑剤を噴霧することにより形成するこ
とを特徴とする磁気記録媒体の製造方法を提供するもの
である。

【００２２】この製造方法は、磁性層とバックコート層
或いは磁性層とトップコート層の二層を、又は磁性層と
バックコート層とトップコート層の三層を、これらの層
の形成工程を通じて、即ち、テープ巻出しからテープ巻
き取りまでの工程を通じて、途中で真空状態が途切れる
ことなく、連続的に形成する方法である。

【００２３】本発明の磁気記録媒体の製造方法におい
て、バックコート層は、金属又は半金属を真空中で付着
させることにより形成することが好ましく、この場合、
酸化性ガスを導入しながら行なうが好ましい。バックコ
ート層を形成する金属としては、アルミニウムが好まし
い。

【００２４】本発明の磁気記録媒体の製造方法におい
て、トップコート層は、液状のフッ素系潤滑剤を噴霧す
ることが好ましく、特に、超音波を印加して霧化された
液状のフッ素系潤滑剤を噴霧することによりトップコー
ト層を形成することが好ましい。また、潤滑剤として、
フッ素系潤滑剤が好ましい。

【００２５】また、本発明の磁気記録媒体の製造方法に
おいて、磁性層は、鉄、鉄を主体とする強磁性合金及び
これらの窒化物もしくは炭化物から選ばれる少なくとも
１種であることが好ましい。

【００２６】以下に本発明の磁気記録媒体の製造方法に
ついて詳述する。

【００２７】〔バックコート層〕本発明の磁気記録媒体
の製造方法では、バックコート層を、真空中で金属又は
半金属を磁性層上に付着させることにより形成する。こ
こで、真空中で金属又は半金属を付着させる方法は限定
されないが、蒸着、スパッタリング等が挙げられる。

【００２８】また、単に金属又は半金属を付着させただ
けではバックコート層の表面が平滑すぎて走行安定性が
悪くなる場合があるので、そのような場合はバックコー
ト層の摩擦係数をコントロールするために付着するとき
に酸化性ガスを導入して、酸化作用により表面を粗くす
る。酸化性ガスとしては、酸素、空気、オゾン等が挙げ
られる。

【００２９】ここで、バックコート層の表面電気抵抗が
金属を用いる場合は５〜10⁵Ω／□、特に 10²〜10³Ω
／□となるように酸化性ガス導入量を設定することが望
ましい。また、半金属を用いる場合は 10⁵〜10⁸Ω／
□、特に 10⁶〜10⁷Ω／□となるように酸化性ガス導入
量を設定することが望ましい。

【００３０】すなわち、酸素等の酸化性ガスを導入する
ことにより、金属又は半金属の結合が弱まって、導電性
が低下するから、そのために、表面電気抵抗値を決め
て、酸化性ガス導入量を規制するのである。

【００３１】金属バックコート層の場合、表面電気抵抗
値を５〜10⁵Ω／□とするのは、表面電気抵抗値が５Ω
／□より低い場合、酸素量が少なくてバックコート層の
摩擦係数が低くなりすぎてしまう。表面電気抵抗値が10
⁵Ω／□より高いと、摩擦係数が高くなり過ぎてしまう
他、導電率が低下し過ぎて、ゴミの付着を招く恐れがあ
る。目標とすべきはおおよそ 10²〜10³Ω／□である。
尚、中心線平均粗さでは、Ｒａ＝８〜20ｎｍに相当す
る。

【００３２】バックコート層として付着する金属として
は、いろいろ考えられるが、Ａｌ，Ｃｕ，Ｚｎ，Ｓｎ，
Ｎｉ，Ａｇなど及びこれらの合金が用いられる。但し、
価格、付着速度、酸化後の安定性の点から、Ｃｕ，Ａｌ
が最適であり、特にＡｌが好ましい。また、バックコー
ト層を形成する半金属としては、Ｓｉ，Ｇｅ，Ａｓ，Ｓ
ｃ，Ｓｂなどが用いられる。特に、価格、付着速度等の
点から、Ｓｉが最適である。

【００３３】バックコート層の厚さは、 0.2〜1.0 μm
程度である。バックコート層を形成するための蒸着やス
パッタリングの際の真空度は10^-4〜10^-7Torr程度、特に
10^-5〜10^-6Torrである。

【００３４】〔磁性層〕本発明の磁気記録媒体の製造方
法において、磁性層を形成する磁性材料としては、通常
の金属薄膜型の磁気記録媒体の製造に用いられる強磁性
金属材料が挙げられ、例えばCo, Ni, Fe等の強磁性金
属、また、Fe−Co、Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co−Ni、Fe−
Fh、Fe−Cu、Co−Cu、Co−Au、Co−Y 、Co−La、Co−P
r、Co−Gd、Co−Sm、Co−Pt、Ni−Cu、Mn−Bi、Mn−S
b、Mn−Al、Fe−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、Fe−Co−Cr、Ni
−Co−Cr等の強磁性合金が挙げられる。磁性層としては
鉄の薄膜或いは鉄を主体とする強磁性合金粉末の薄膜が
好ましく、特に、鉄、鉄を主体とする強磁性合金及びこ
れらの窒化物もしくは炭化物から選ばれる少なくとも１
種が好ましい。

【００３５】高密度記録のためには磁気記録媒体の磁性
層は、斜め蒸着により基材上に形成することが好まし
い。斜め蒸着の方法は特に限定されず、従来公知の方法
に準ずる。蒸着の際の真空度は10^-4〜10^-7Torr程度であ
る。蒸着による磁性層は単層構造でも多層構造の何れで
も良く、特に、酸化性ガスを導入して磁性層表面に酸化
物を形成することにより、耐久性の向上を図ることがで
きる。なお、本発明においては、磁性層は一層或いは多
層とすることができるが、蒸着で多層の磁性層を形成す
る場合、磁性層の厚さは、二層の場合、下層の磁性層の
厚さが 100〜2000Å、上層の磁性層の厚さが50〜1000Å
が好ましく、三層の場合、下層の磁性層の厚さが100 〜
2000Å、中間の磁性層の厚さが 100〜1000Å、上層の磁
性層の厚さが50〜1000Åが好ましい。また、磁性層の数
は高周波記録に対応するには、多い方が良いが、実用的
な範囲としては二〜五層が適当と考えられる。

【００３６】〔トップコート層〕本発明の磁気記録媒体の製造方法において、液状のフッ
素系潤滑剤は、超音波発振器を備えた噴霧器（以下、超
音波噴霧器という）により非磁性支持体上に形成された
磁性層上に噴霧するのが好ましい。より詳細には、超音
波噴霧器は、潤滑剤の供給手段と、該供給手段から供給
された潤滑剤に超音波を印加して霧化する手段（超音波
発振器）と、霧化された潤滑剤を噴霧するノズルとから
なる。

【００３７】超音波噴霧器を使用して潤滑剤を微細な粒
子として噴霧することにより、高温（200 ℃以上）に弱
く蒸気圧が低いため、従来空気中での塗布によるトップ
コート層の形成に用いられていたパーフルオロポリエー
テル等の弗素系潤滑剤の真空中での噴霧が可能となる。

【００３８】パーフルオロポリエーテルとしては、分子
量2000〜5000のものが好適であり、例えば「FOMBLIN Z
DIAC」〔カルボキシル基変性、モンテカチーニ (株)
製〕、「FOMBLIN Z DOL 」〔アルコール変性、モンテカ
チーニ (株) 製〕の商品名で市販されているものが使用
できる。これらは末端に水酸基或いはカルボキシル基を
有するため、潤滑剤と磁性層との結着を高め得るので、
本発明に特に好適に用いられる。

【００３９】尚、これら以外にも、ベンゼン環、二重結
合、分岐鎖等を含むフッ素系の潤滑剤、脂肪酸系の潤滑
剤、その他の潤滑剤を使用することも使用できる。しか
しながら、フッ素系潤滑剤は、脂肪酸系潤滑剤と比べ耐
久性だけでなく耐蝕性も向上させるため、本発明に特に
好適に用いられる。

【００４０】また、潤滑剤の噴霧にあたっては、潤滑剤
をフッ素系不活性溶媒（例えば住友スリーエム (株) 製
「フロリナート」等のパーフルオロカーボン）、トルエ
ン等の芳香族炭化水素系溶媒、アルコール系溶媒、ケト
ン系溶媒等の適当な溶媒に溶解させた 0.001〜10重量％
程度、特に0.02〜2.0 重量％の溶液として用いるのが好
ましい。潤滑剤としてパーフルオロポリエーテルを用い
る場合、溶媒としてはパーフルオロカーボンが使用で
き、その場合の濃度は 0.001〜1.0 重量％程度、特に0.
05〜0.2 重量％が好ましい。

【００４１】本発明の磁気記録媒体の製造方法において
は、噴霧する潤滑剤（潤滑剤溶液）の微粒子は出来るだ
け微細であることが望ましく、潤滑剤の種類や粘度によ
って適用する超音波の周波数が決定されるが、一般的に
は20 kHz〜10MHz の範囲から選択される。

【００４２】また、本発明の磁気記録媒体の製造方法に
おいて、潤滑剤の噴霧量は、磁気記録媒体の用途や潤滑
剤の種類等を考慮して適宜決定すればよいが、形成され
たトップコート層の厚さは50〜200 Å程度となるように
調節するのが好ましい。潤滑剤を噴霧する際の真空度は
５×10^-1〜５×10^-4 Torr 程度、好ましくは５×10^-1〜
５×10^-2 Torr である。

【００４３】〔本発明の製造方法の実施態様〕上記した
ような本発明の磁気記録媒体の製造方法の実施態様とし
ては、例えば、以下のようなものがあるが、これらには
限定されない。

【００４４】(1) 非磁性支持体上の磁性層蒸着面と反対
側の面にバックコート層を形成するに際し、真空中に
て、金属又は半金属を付着させることを特徴とする磁気
記録媒体の製造方法。

【００４５】(2) バックコート層を最初に非磁性支持体
上に形成する磁気記録媒体の製造方法。

【００４６】(3) 磁性層を最初に非磁性支持体上に形成
する磁気記録媒体の製造方法。

【００４７】(4) 非磁性支持体の一方の面に形成された
バックコート層と、該バックコート層が形成されている
面と反対の面に形成された磁性層と、該磁性層上に形成
されたトップコート層とを有する磁気記録媒体の製造に
おいて、真空中で非磁性支持体を走行させ、該非磁性支
持体の一方の面に金属又は半金属を付着させることによ
りバックコート層を形成し、次いで、該非磁性支持体の
前記金属バックコート層が形成されている面と反対の面
に、磁性材料を付着させることにより磁性層を形成し、
次いで該磁性層上に潤滑剤を噴霧してトップコート層を
形成する磁気記録媒体の製造方法。

【００４８】(5) 非磁性支持体の一方の面に形成された
バックコート層と、該バックコート層が形成されている
面と反対の面に形成された磁性層と、該磁性層上に形成
されたトップコート層とを有する磁気記録媒体の製造に
おいて、真空中で非磁性支持体を走行させ、該非磁性支
持体の一方の面に、磁性材料を付着させることにより磁
性層を形成し、次いで、該磁性層上に潤滑剤を噴霧して
トップコート層を形成し、次いで、前記該非磁性支持体
の前記磁性層が形成されている面と反対の面に金属又は
半金属を付着させることによりバックコート層を形成す
る磁気記録媒体の製造方法。

【００４９】(6) 非磁性支持体の一方の面に形成された
バックコート層と、該バックコート層が形成されている
面と反対の面に形成された磁性層と、該磁性層上に形成
されたトップコート層とを有する磁気記録媒体の製造に
おいて、真空中で非磁性支持体を走行させ、該非磁性支
持体の一方の面に、磁性材料を付着させることにより磁
性層を形成し、次いで、前記該非磁性支持体の前記磁性
層が形成されている面と反対の面に金属又は半金属を付
着させることによりバックコート層を形成し、次いで、
前記磁性層上に潤滑剤を噴霧してトップコート層を形成
する磁気記録媒体の製造方法。

【００５０】(7) 非磁性支持体の一方の面に形成された
バックコート層と、該バックコート層が形成されている
面と反対の面に形成された磁性層とを有する磁気記録媒
体の製造において、前記バックコート層及び磁性層を真
空中で形成する磁気記録媒体の製造方法。

【００５１】(8) 上記 (1)〜(7) における各層の形成工
程を、真空状態を維持し、且つ連続的に行なう磁気記録
媒体の製造方法。

【００５２】等が挙げられる。

【００５３】なお、本発明の磁気記録媒体の製造方法に
おいて、非磁性支持体としては、ポリエチレンテレフタ
レート、ポリエチレンナフタレートのようなポリエステ
ル；ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィ
ン; セルローストリアセテート、セルロースジアセテー
ト等のセルロース誘導体；ポリカーボネート；ポリ塩化
ビニル；ポリイミド；芳香族ポリアミド等のプラスチッ
ク等が使用される。これらの非磁性支持体の厚さは３〜
50μm 程度である。

【００５４】〔本発明の製造装置Ａ〕また、本発明は、第１、第２及び第３のチャンバを有す
るハウジングと、前記各チャンバを真空に保つ真空手段
とを含む、非磁性支持体上に磁性層を形成してなる磁気
記録媒体の製造装置であって、前記各チャンバが、第
１、第２、第３のチャンバの順又は第１、第３、第２の
チャンバの順に隣接して配置され、隣接されたチャンバ
が相互に非磁性支持体通過用開口を介して連通され、前
記第１のチャンバは、非磁性支持体を搬送する第１の冷
却キャンと、該第１の冷却キャンの下方に配設された第
１の蒸着手段とを有し、前記第２のチャンバは、非磁性
支持体を搬送する第２の冷却キャンと、該第２の冷却キ
ャンの下方に配設された第２の蒸着手段とを有し、前記
第３のチャンバは、非磁性支持体を搬送する加熱キャン
と、該加熱キャンの下方に配設された液状のフッ素系潤
滑剤の噴霧手段を有することを特徴とする磁気記録媒体
の製造装置を提供するものである。

【００５５】本発明の製造装置Ａにおいて、真空手段と
しては、真空ポンプ等通常用いられているものが使用で
きる。また、非磁性支持体通過用開口は、通常、各チャ
ンバを連通するスリットからなる。

【００５６】本発明の製造装置Ａは、第１及び第２のチ
ャンバで磁性層とバックコート層を形成するものである
が、その順序は問わず、いずれを先に形成することもで
きる。従って、第１のチャンバで磁性層を形成する場合
は、金属材料として前述したような磁性金属が選択さ
れ、第２のチャンバでは前述したようなバックコート層
を形成するための金属が選択される。形成する順序を逆
にする場合は、この逆の金属が選択される。

【００５７】また、チャンバの配列は、第１、第２、第
３の順、又は第１、第３、第２の順であり、前者の場合
は最初の２つのチャンバでバックコート層と磁性層が形
成され、３つめのチャンバでトップコート層が形成され
る。後者の場合は最初のチャンバで磁性層が形成され、
次のチャンバでトップコート層が形成され、３つめのチ
ャンバでバックコート層が形成される。

【００５８】また、本発明の製造装置Ａにおいては、前
記第１のチャンバが、蒸着中又は蒸着後に酸化性ガスを
導入する第１の酸化性ガス導入手段を有し、前記第２の
チャンバが、蒸着後又は蒸着中に酸化性ガスを導入する
第２の酸化性ガス導入手段とを有する装置が好ましい。
酸化性ガス導入手段は何れも酸化性ガス導入管や適当な
開口等からなる。また、本発明の製造装置Ａは、必要に
応じて搬送ローラーや、チャンバ内部を画定する遮蔽板
等を有する。

【００５９】本発明の製造装置Ａの例を以下に示す。

【００６０】(1) 前記第１及び／又は第２の蒸着手段
が、前記第１又は第２の冷却キャンに対して開口してい
る金属材料の収容容器と、該収容容器中の金属材料に電
子ビームを照射するための電子ビーム発生装置を含む、
本発明の磁気記録媒体の製造装置が例示される。

【００６１】(2) 前記第１又は第２のチャンバが、更
に、蒸着中に窒素イオン又は窒素イオンと窒素の混合ガ
スを供給する第１の窒素イオン供給手段を有する、本発
明の磁気記録媒体の製造装置が例示される。かかる窒素
イオン供給手段は、磁性層を形成するチャンバに配設さ
れ、これから供給される窒素イオンが磁性金属の蒸気と
反応して金属窒化物が生成し、金属窒化物の薄膜からな
る磁性層が非磁性支持体上に形成される。なお、前述の
酸化性ガス導入手段は磁性層の表面を酸化する位置に配
置される。

【００６２】(3) 前記第１又は第２のチャンバが、更
に、前記第１又は第２の冷却キャンの下方に配設された
第３の蒸着手段と、該第３の蒸着手段による蒸着中に窒
素イオンを供給する第２の窒素イオン供給手段と、該第
３の蒸着手段による蒸着後に酸化性ガスを導入する第３
の酸化性ガス導入手段と、前記第１又は第２の蒸着手段
と前記第３の蒸着手段の蒸着領域を画定する手段を有す
る、上記(3) の磁気記録媒体の製造装置が例示される。
第３の蒸着手段、第２の窒素イオン供給手段、及び第３
の酸化性ガス導入手段は、磁性層が形成されるチャンバ
に配設される。

【００６３】(4) 前記第３のチャンバにおける前記フッ
素系潤滑剤の噴霧手段が、超音波発振器と噴霧ノズルを
含むものである、本発明の磁気記録媒体の製造装置が例
示される。

【００６４】(5) 前記第３のチャンバが、更に、フッ素
系潤滑剤が噴霧された非磁性支持体を加熱する手段を有
する、本発明の磁気記録媒体の製造装置が例示される。
潤滑剤が噴霧された非磁性支持体を加熱する手段として
は、加熱ランプが適当であり、その設置位置は、潤滑剤
が噴霧された非磁性支持体を加熱できる位置であれば、
特に限定はない。加熱ランプにより非磁性支持体を加熱
する場合、加熱温度は80〜100 ℃が最適である。

【００６５】本発明の製造装置Ａは、バックコート層、
磁性層及び磁性層上のトップコート層を、真空系を空気
圧に戻し別ラインに移行することなく、真空中で連続的
に形成できる。本発明の製造装置Ａは生産性が非常に高
く、空気中での非磁性支持体へのゴミの付着も防止でき
る。

【００６６】〔本発明の製造装置Ｂ〕本発明は、チャン
バと、該チャンバを真空に保つ真空手段とを含み、該チ
ャンバが非磁性支持体を搬送する冷却キャンと、該冷却
キャンの下方に配設された蒸着手段を有することを特徴
とする磁気記録媒体のバックコート層の製造装置を提供
するものである。特に、前記チャンバが蒸着中又は蒸着
後に酸化性ガスを導入する酸化性ガス導入手段を有する
ことが望ましい。本発明のバックコート層の製造装置の
一例を図１に示す。

【００６７】〔本発明の製造装置Ｃ〕本発明は、第１及
び第２のチャンバを有するハウジングと、前記各チャン
バを真空に保つ真空手段とを含む、非磁性支持体上に磁
性層とバックコート層を形成してなる磁気記録媒体の製
造装置であって、前記各チャンバが、第１、第２のチャ
ンバの順に隣接して配置され、隣接されたチャンバが相
互に非磁性支持体通過用開口を介して連通され、前記第
１のチャンバは、非磁性支持体を搬送する第１の冷却キ
ャンと、該第１の冷却キャンの下方に配設された第１の
蒸着手段とを有し、前記第２のチャンバは、非磁性支持
体を搬送する第２の冷却キャンと、該第２の冷却キャン
の下方に配設された第２の蒸着手段とを有することを特
徴とする磁気記録媒体の製造装置を提供するものであ
る。各チャンバは製造装置Ａで述べた要素を有すること
ができる。また該装置は非磁性支持体上に磁性層とバッ
クコート層を真空蒸着により形成する装置であるが、磁
性層とバックコート層の一方が第１のチャンバで形成さ
れ、もう一方が第２のチャンバで形成される。

【００６８】〔本発明の製造装置Ｄ〕また、本発明は、
第１及び第２のチャンバを有するハウジングと、前記各
チャンバを真空に保つ真空手段とを含む、非磁性支持体
上に磁性層を形成してなる磁気記録媒体のバックコート
層及び前記磁性層上のトップコート層の製造装置であっ
て、前記各チャンバが、第１、第２のチャンバの順序又
は第２、第１のチャンバの順に隣接して配置され、隣接
されたチャンバが相互に非磁性支持体通過用開口を介し
て連通され、前記第１のチャンバは、磁性層が形成され
た非磁性支持体を搬送する冷却キャンと、該冷却キャン
の下方に配設された蒸着手段とを有し、前記第２のチャ
ンバは、前記非磁性支持体を搬送する加熱キャンと、該
加熱キャンの下方に配設された潤滑剤の噴霧手段を有す
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造装置を提供する
ものである。この装置は磁性層が形成された非磁性支持
体の磁性層が形成されている面の反対の面にバックコー
ト層を形成し、また磁性層上にトップコート層を形成す
る装置である。各チャンバは製造装置Ａで述べた要素を
有することができる。

【００６９】〔本発明の製造装置Ｅ〕本発明は、真空状
態に保持された第一のチャンバ内で支持体上に第一の層
を形成する手段と、次いで真空状態に保持された第二の
チャンバ内で前記支持体上又は前記第一の層上に第二の
層を形成する手段と、前記第一のチャンバから前記第二
のチャンバへと前記支持体を搬送する手段とを有する磁
気記録媒体の製造装置を提供するものである。

【００７０】〔本発明の製造装置Ｆ〕また、本発明は、
真空状態に保持された第一のチャンバ内で支持体上に第
一の層を形成する手段と、次いで真空状態に保持された
第二のチャンバ内で前記支持体上又は前記第一の層上に
第二の層を形成する手段と、次いで真空状態に保持され
た第三のチャンバ内で前記支持体上、前記第一の層上又
は前記第二の層上に第三の層を形成する手段と、前記第
一のチャンバから前記第二のチャンバへと前記支持体を
搬送する手段と、前記第二のチャンバから前記第三のチ
ャンバへと前記支持体を搬送する手段とを有する磁気記
録媒体の製造装置を提供するものである。

【００７１】上述した二つの製造装置Ｅ及びＦは、磁気
記録媒体を構成する磁性層、トップコート層、バックコ
ート層等の層のうち、二層或いは三層を真空中で形成す
る装置である。各チャンバは目的とする層を形成できる
ような手段を有するが、具体的には、製造装置Ａ〜Ｄで
述べた要素を有することができる。

【００７２】〔本発明の磁気記録媒体〕本発明は、非磁
性支持体の一方の面に形成されたバックコート層と、該
バックコート層が形成されている面と反対の面に形成さ
れた磁性層と、該磁性層上に形成されたトップコート層
とを有する磁気記録媒体において、前記磁性層、前記バ
ックコート層及び／又はトップコート層が真空中で形成
されていることを特徴とする磁気記録媒体を提供するも
のである。

【００７３】本発明の磁気記録媒体は、磁性層とバック
コート層或いは磁性層とトップコート層の二層、又は磁
性層とバックコート層とトップコート層の三層が両方が
真空中で形成されていることを特徴とする。

【００７４】磁性層、バックコート層を真空中で形成す
る方法は限定されないが、蒸着、スパッタリング等が挙
げられる。バックコート層を形成する金属、半金属、磁
性層を形成する磁性材料、非磁性支持体の種類や各層の
厚さ等は、先に述べた本発明の製造方法に準じる。ま
た、トップコート層は、真空中で潤滑剤を噴霧すること
により形成されることが望ましく、潤滑剤の種類や噴霧
方法等は先に述べた本発明の製造方法に準じる。

【００７５】本発明の磁気記録媒体は、バックコート層
が、金属もしくは半金属又はこれらの酸化物の蒸着層で
あることが好ましく、特に好ましくは酸化アルミニウム
からなるバックコート層である。バックコート層が金属
又はその酸化物からなる場合は、バックコート層の表面
電気抵抗値が５〜10⁵Ω／□であることが望ましい。ま
た、バックコート層が半金属又はその酸化物からなる場
合は、バックコート層の表面電気抵抗値が 10⁵〜10⁸Ω
／□であるのが好ましい。特にバックコート層が半金属
により形成された本発明の磁気記録媒体は、真空中で製
造できる場合のメリットの他に、更にエンベロープ特性
が改良される。これは半金属でバックコート層を形成す
ることにより、磁気記録媒体に適度な弾力性を付与し、
磁気記録媒体と再生ヘッドの接触の程度（あたり）が適
切に保たれるためと考えられる。

【００７６】

【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。しかしな
がら、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。

【００７７】実施例１先ず、厚さ 9.8μｍのＰＥＴフィルムの上に、真空蒸着
により、Ｃｏ−Ｎｉ合金（80％−20％）を1500Å蒸着
し、このようにして磁性層を形成した磁気テープをロー
ルに巻取った。

【００７８】次に、図１の真空蒸着装置を用いて、この
磁気テープの裏面にＡｌ（アルミニウム）金属を1000Å
蒸着して、バックコート層を形成した。

【００７９】図１の真空蒸着装置について説明する。

【００８０】真空容器１は、ターボポンプ２とロータリ
ポンプ３との運転により真空状態とされる。

【００８１】真空容器１内には、巻出しロール４と巻取
りロール５とが設けられ、巻出しロール４から巻出され
て巻取りロール５に巻取られる間で、磁気テープ６は冷
却キャン７の下側面に巻掛けられて走行するようになっ
ている。

【００８２】冷却キャン７の下方にはＭｇＯ製のルツボ
８が置かれ、この中にＡｌが入れられている。

【００８３】そして、ルツボ８中のＡｌに対し斜め上方
の電子ビーム銃９から電子ビームを照射し、これにより
加熱してＡｌを蒸発させるようになっている。

【００８４】そして、ルツボ８と冷却キャン７との間に
磁気テープ６への蒸着範囲を規制するための遮蔽板10を
配置してある。

【００８５】そして、真空容器１外部から内部へ導いた
酸素導入管11の先端部を遮蔽板10の穴部より蒸着面を臨
むように配置してある。酸素導入量は図示しない流量制
御弁により調整可能である。

【００８６】ここにおいて、前述の磁性層を形成した磁
気テープのロールを巻出しロール４にセットして、磁気
テープ６の裏面を外側にして、冷却キャン７上を走行さ
せ、酸素導入管11により酸素を導入しつつ、電子ビーム
銃９により加熱されて蒸発されるＡｌを付着させた。酸
素導入量については、純度99.998％酸素を毎分25cc導入
した。そして、バックコート層の蒸着を終えた磁気テー
プ６は巻取りロール５に巻取った。

【００８７】その後、磁気テープを大気中に取出し、８
ｍｍ幅にスリッタ（裁断）し、８ｍｍのカセットに挿入
し、ドロップアウトとバックコートの表面電気抵抗とを
測定した。

【００８８】ここで、表面電気抵抗値は、図４に示すよ
うに、断面が半径約１cmの４分の１の円をなす２本の棒
状金属製電極（図中Ａ）を８ｍｍ離して置き、これらの
上に直角に８ｍｍ幅の磁気テープ（図中Ｂ）の磁性面を
接して置いてテープの両端に各質量30ｇの分銅をつる
し、絶縁抵抗計を用い、直流500 ±50Ｖの測定電圧をこ
れらの電極に加えて測定した抵抗値から表面電気抵抗値
を算出する。また、ドロップアウトの測定は、ドロップ
アウトカウンタを用い、10μｓの間に−16ｄＢ以上出力
が低下したものをドロップアウトとした。

【００８９】比較例としては、粒径20ｎｍのカーボンブ
ラックと60ｎｍのカーボンブラックとを１：１に混合し
たカーボンブラックを塩ビとウレタンとを１：１に混合
したバインダー中に分散させた塗料を用い、実施例と同
じ磁性層蒸着済みのフィルムに、バックコート層として
厚さ 0.5μｍになるように塗布した。そして、実施例と
同様にドロップアウトとバックコートの表面電気抵抗と
を測定した。

【００９０】これらの測定結果を下記に示す。

【００９１】ドロップアウト（個／分）表面電気抵抗（Ω／□）〔実施例〕８７×10² 〔比較例〕 11 ５×10⁶ この結果から、本発明方法である実施例では従来方法で
ある比較例と比べてドロップアウトが３割ほど低くなっ
ている。この理由として、バックコート層を塗布しない
ことによるキズ、ゴミの防止と、表面電気抵抗値の向上
により、ゴミの付着を防止できたためと考えられる。

【００９２】尚、図１の真空蒸着装置についてはバック
コート層の蒸着用としてのみ説明したが、本装置によ
り、ＡｌをＣｏ−Ｎｉ合金に代え、また酸素の導入を停
止して、磁性層の真空蒸着を行い、その後に巻取りロー
ル５の磁気テープを巻出しロール４にセットして裏面に
対し前述のようにバックコート層の蒸着を行ってもよ
い。

【００９３】また、真空容器内で１走行経路に連続して
磁性層の蒸着部とバックコート層の蒸着部とを設けて、
磁性層とバックコート層の真空蒸着を連続して行うよう
にしてもよい。

【００９４】実施例２実施例１において、バックコート層を形成する材料を半
金属のＳｉに代えた以外は実施例１と同様にして８ｍｍ
カセットを作製した。この８ｍｍカセットについて実施
例１と同様にドロップアウトと表面電気抵抗値を測定し
たところ、ドロップアウトは７個／分、表面電気抵抗値
は７×10²（Ω／□）であった。

【００９５】更にこの８ｍｍカセットのエンベロープ特
性を評価した。すなわち８ｍｍカセットを、市販のＨｉ
８ＶＴＲを改造した装置に装着し、７MHz の信号を記録
し、その再生出力を測定する。この際、次式で定義する
１トラック間の出力変動の値を測定する。出力変動（％）＝Ｂ／Ａ×１００Ａ：１トラック間の出力の最大値〔Ｖ〕Ｂ：１トラック間の出力の最小値〔Ｖ〕すなわち、上記式により求められる値が大きい方が出力
変動が少ない良好なエンベロープ特性を示す。このよう
にしてエンベロープ特性を評価したところ、８０％と非
常に良好な結果を示した。

【００９６】実施例３図２は本発明による磁気記録媒体の製造装置の一例を示
す略図であり、該装置では最初にバックコート層が、次
いで磁性層が、最後にトップコート層が形成される。

【００９７】ハウジング21は第１のチャンバ22、第２の
チャンバ23及び第３のチャンバ24により画定されてい
る。また各チャンバは、図示しない真空手段に接続さ
れ、適当な真空度を保っている。なお、各チャンバの真
空度は付着させる材料等により適宜決定され、全てが同
一でも異なっていてもよい。

【００９８】第１のチャンバ22は、巻き出しロール25
と、非磁性支持体28を搬送する第１の冷却キャン26と、
送りロール27と、第１の蒸着手段と、第１の酸素ガス導
入管33を有する。また、巻き出しロール25を出た非磁性
支持体、或いは送りロール27に入る非磁性支持体に微細
なごみやちりが付着しないように、ボンバード装置 29,
29' が設置されている。

【００９９】第１のチャンバ22における第１の蒸着手段
は、第１の冷却キャン26の下方に配設されたルツボ30と
電子銃32からなり、このルツボ30は冷却キャン26に対し
て開口しており、凹部内にバックコート層となる金属ア
ルミニウム31が収容されている。電子銃32から電子ビー
ムが発射され、この電子ビームがルツボ30のアルミニウ
ム31に照射されるようになっている。また、アルミニウ
ム蒸気の蒸発領域内には第１の酸素ガス導入管33により
酸素ガスが導入され、アルミニウムを酸化し、酸化アル
ミニウムの薄膜がバックコート層として形成される。酸
素導入量は図示しない流量制御弁により調整可能であ
る。

【０１００】バックコート層が形成された非磁性支持体
28は、送りロール27上を搬送され、非磁性支持体通過用
開口であるスリット46を経て第２のチャンバ23に誘導さ
れる。

【０１０１】第２のチャンバ23は、送りロール34,34'
と、非磁性支持体28が走行する第２の冷却キャン35とを
有する。図２では、第２のチャンバが、第２の蒸着手段
と第３の蒸着手段を有する装置が示されている。

【０１０２】第２の蒸着手段は、第２の冷却キャン35の
下方に配設されたルツボ36と電子銃38からなり、このル
ツボ36は第２の冷却キャン35に対して開口しており、凹
部内に磁性層となる金属鉄37が収容されている。電子銃
38から電子ビームが発射され、この電子ビームがルツボ
36の金属鉄37に照射されるようになっている。

【０１０３】また、鉄の蒸発領域内には第１の窒素イオ
ン供給手段39より窒素イオンが供給され、蒸発した鉄を
窒化し、これが非磁性支持体上に付着し、窒化鉄の薄膜
が非磁性支持体上に形成される。

【０１０４】次いで、第２の酸素ガス導入管33' より、
蒸着後に酸素ガスが供給され、磁性層の表面近傍を酸化
する。第２のチャンバでは酸素ガス導入管は、窒化鉄が
非磁性支持体に付着した直後に磁性層の表面を酸化でき
る位置に設置する必要がある。

【０１０５】第３の蒸着手段も、第２の蒸着手段と同
様、第２の冷却キャン35の下方に配設されたルツボ36'
と電子銃38' からなり、このルツボ36' は第２の冷却キ
ャン35に対して開口しており、凹部内に磁性層となる金
属鉄37' が収容されている。電子銃38' から電子ビーム
が発射され、この電子ビームがルツボ36' の金属鉄37'
に照射されるようになっている。

【０１０６】また、鉄の蒸発領域内には第２の窒素イオ
ン供給手段39' より窒素イオンが供給され、蒸発した鉄
を窒化し、これが非磁性支持体上に付着し、窒化鉄の薄
膜が非磁性支持体上に形成される。

【０１０７】次いで、第３の酸素ガス導入管33''より、
蒸着後に酸素ガスが供給され、磁性層の表面近傍を酸化
する。本装置では、前記の第２の酸素ガス導入管33' と
第３の酸素ガス導入管33''は、同じ酸素供給源につなが
る分岐管により構成されている。

【０１０８】また、前記第２の蒸着手段と第３の蒸着手
段から発生する金属蒸気の領域を画定する手段は、遮蔽
板47であり、通常は金属板からなる。

【０１０９】本装置では、コランダムの傾斜方向が互い
に異なる２層の磁性層が形成される。磁性層が形成され
た非磁性支持体28は送りロール34' 上を搬送され、スリ
ット46' を経て第３のチャンバ24に誘導される。

【０１１０】第３のチャンバ24は、送りロール40,40'
と、非磁性支持体28を搬送する加熱キャン41と、巻取り
ロール42と、潤滑剤の噴霧手段を有する。ここで、潤滑
剤の噴霧手段は、超音波噴霧装置43と、噴霧ノズル44か
らなり、加熱キャン41の下方、図面左側に配設されてい
る。潤滑剤は超音波により微粒子化され、噴霧ノズル44
から加熱キャン41を走行する非磁性支持体28に噴霧され
て、磁性層上にトップコート層が形成される。また、本
装置は、第３のチャンバが加熱ランプ45を有し、非磁性
支持体に噴霧された潤滑剤の乾燥を促進している。

【０１１１】かくしてトップコート層が形成された非磁
性支持体28は、送りロール40' 上を搬送されて巻取りロ
ール42により巻き取られる。

【０１１２】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、真
空中にてバックコート層を蒸着により形成するため、ゴ
ミの付着等の問題が解消される。

【０１１３】更に、本発明によれば、金属薄膜型の磁気
記録媒体のバックコート層、磁性層及びトップコート層
を真空中で連続的に形成することができるため、生産性
が非常に高くなる。

【０１１４】また、バックコート層を単なる真空蒸着に
より形成すると、表面が平滑すぎて走行安定性が悪くな
る場合があるが、蒸着するときに酸化性ガスを導入し
て、バックコート層の摩擦係数をコントロールすること
により、走行安定性も維持できる。しかも、酸化性ガス
を導入することにより、表面粗さをコントロールするば
かりでなく、耐食性をも向上できる。

【０１１５】また、酸化性ガスを導入することにより、
金属結合が弱まって、導電性が低下するが、表面電気抵
抗値を決めて、酸化性ガス導入量を規制することによ
り、導電性も維持できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の製造方法の一実施例で用いる真空蒸
着装置の概略図。

【図２】本発明の磁気記録媒体の製造装置の一例を示
す略図。

【図３】蒸着型テープの構成図。

【図４】実施例における表面電気抵抗値の測定方法を
示す略図。

【符号の説明】

１真空容器４巻出しロール５巻取りロール６磁気テープ７冷却キャン８ルツボ９電子ビーム銃 10 遮蔽板 11 酸素導入管 21 ハウジング 22 バックコート層を形成する第１のチャンバ 23 磁性層を形成する第２のチャンバ 24 トップコート層を形成する第３のチャンバ 43 超音波噴霧装置 44 噴霧ノズル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) G11B 5/84 G11B 5/66 G11B 5/72

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】非磁性支持体の一方の面に形成されたバッ
クコート層と、該バックコート層が形成されている面と
反対の面に形成された磁性層と、該磁性層上に形成され
たトップコート層とを有する磁気記録媒体の製造におい
て、前記磁性層、前記バックコート層及びトップコート
層を真空中で形成し、且つ前記トップコート層を、液状
のフッ素系潤滑剤を霧化して用いて形成することを特徴
とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項２】非磁性支持体の一方の面に形成されたバッ
クコート層と、該バックコート層が形成されている面と
反対の面に形成された磁性層と、該磁性層上に形成され
たトップコート層とを有する磁気記録媒体の製造におい
て、前記磁性層、前記バックコート層及びトップコート
層を、これらの層の形成工程を通して真空状態を維持し
つつ形成し、且つ前記トップコート層を、液状のフッ素
系潤滑剤を霧化して用いて形成することを特徴とする磁
気記録媒体の製造方法。
【請求項３】非磁性支持体の一方の面に形成されたバッ
クコート層と、該バックコート層が形成されている面と
反対の面に形成された磁性層と、該磁性層上に形成され
たトップコート層とを有する磁気記録媒体の製造におい
て、前記磁性層、前記バックコート層及びトップコート
層を真空中で形成し、且つ前記トップコート層を、液状
のフッ素系潤滑剤を噴霧することにより形成することを
特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
【請求項４】非磁性支持体の一方の面に形成されたバッ
クコート層と、該バックコート層が形成されている面と
反対の面に形成された磁性層と、該磁性層上に形成され
たトップコート層とを有する磁気記録媒体の製造におい
て、前記磁性層、前記バックコート層及びトップコート
層を、これらの層の形成工程を通して真空状態を維持し
つつ形成し、且つ前記トップコート層を、液状のフッ素
系潤滑剤を噴霧することにより形成することを特徴とす
る磁気記録媒体の製造方法。
【請求項５】前記トップコート層を、超音波を印加して
霧化された液状のフッ素系潤滑剤を噴霧することにより
形成することを特徴とする請求項３又は４記載の磁気記
録媒体の製造方法。
【請求項６】前記バックコート層を、金属又は半金属を
真空中で付着させることにより形成することを特徴とす
る請求項１〜５の何れか１項記載の磁気記録媒体の製造
方法。
【請求項７】前記バックコート層を、酸化性ガスを導入
することにより形成することを特徴とする請求項６記載
の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項８】前記バックコート層を、金属としてアルミ
ニウムを用いることにより形成することを特徴とする請
求項６又は７記載の磁気記録媒体の製造方法。
【請求項９】前記磁性層が、鉄、鉄を主体とする強磁性
合金及びこれらの窒化物もしくは炭化物から選ばれる少
なくとも１種である請求項１〜８の何れか１項記載の磁
気記録媒体の製造方法。
【請求項１０】前記バックコート層を最初に非磁性支持
体上に形成することを特徴とする請求項１又は２記載の
磁気記録媒体の製造方法。
【請求項１１】前記磁性層を最初に非磁性支持体上に形
成することを特徴とする請求項１又は２記載の磁気記録
媒体の製造方法。
【請求項１２】第１、第２及び第３のチャンバを有する
ハウジングと、前記各チャンバを真空に保つ真空手段と
を含む、非磁性支持体上に磁性層を形成してなる磁気記
録媒体の製造装置であって、前記各チャンバが、第１、第２、第３のチャンバの順又
は第１、第３、第２のチャンバの順に隣接して配置さ
れ、隣接されたチャンバが相互に非磁性支持体通過用開
口を介して連通され、前記第１のチャンバは、非磁性支持体を搬送する第１の
冷却キャンと、該第１の冷却キャンの下方に配設された
第１の蒸着手段とを有し、前記第２のチャンバは、非磁性支持体を搬送する第２の
冷却キャンと、該第２の冷却キャンの下方に配設された
第２の蒸着手段とを有し、前記第３のチャンバは、非磁性支持体を搬送する加熱キ
ャンと、該加熱キャンの下方に配設された液状のフッ素
系潤滑剤の噴霧手段を有することを特徴とする磁気記録
媒体の製造装置。
【請求項１３】前記第１のチャンバが、蒸着中又は蒸着
後に酸化性ガスを導入する第１の酸化性ガス導入手段を
有し、前記第２のチャンバが、蒸着後又は蒸着中に酸化
性ガスを導入する第２の酸化性ガス導入手段とを有する
ことを特徴とする請求項12記載の磁気記録媒体の製造装
置。
【請求項１４】前記第１及び／又は第２の蒸着手段が、
前記第１又は第２の冷却キャンに対して開口している金
属材料の収容容器と、該収容容器中の金属材料に電子ビ
ームを照射するための電子ビーム発生装置を含む請求項
12又は13記載の磁気記録媒体の製造装置。
【請求項１５】前記第１又は第２のチャンバが、更に、
蒸着中に窒素イオンを供給する第１の窒素イオン供給手
段を有する請求項12〜14の何れか１項記載の磁気記録媒
体の製造装置。
【請求項１６】前記第１又は第２のチャンバが、更に、
前記第１又は第２の冷却キャンの下方に配設された第３
の蒸着手段と、該第３の蒸着手段による蒸着中に窒素イ
オンを供給する第２の窒素イオン供給手段と、該第３の
蒸着手段による蒸着後に酸化性ガスを導入する第３の酸
化性ガス導入手段と、前記第１又は第２の蒸着手段と前
記第３の蒸着手段の蒸着領域を画定する手段を有する請
求項15記載の磁気記録媒体の製造装置。
【請求項１７】前記フッ素系潤滑剤の噴霧手段が、超音
波発振器と噴霧ノズルを含むものである請求項12〜16の
何れか１項記載の磁気記録媒体の製造装置。
【請求項１８】前記第３のチャンバが、更に、フッ素系
潤滑剤が噴霧された非磁性支持体を加熱する手段を有す
る請求項12〜17の何れか１項記載の磁気記録媒体の製造
装置。